JP2018206851A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
基板処理方法および基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018206851A JP2018206851A JP2017108184A JP2017108184A JP2018206851A JP 2018206851 A JP2018206851 A JP 2018206851A JP 2017108184 A JP2017108184 A JP 2017108184A JP 2017108184 A JP2017108184 A JP 2017108184A JP 2018206851 A JP2018206851 A JP 2018206851A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- solvent
- hydrophobizing agent
- main surface
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/002—Processes for applying liquids or other fluent materials the substrate being rotated
- B05D1/005—Spin coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/30—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to control volume of flow, e.g. with adjustable passages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/024—Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67023—Apparatus for fluid treatment for general liquid treatment, e.g. etching followed by cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68764—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a movable susceptor, stage or support, others than those only rotating on their own vertical axis, e.g. susceptors on a rotating caroussel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2203/00—Details of cleaning machines or methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B2203/02—Details of machines or methods for cleaning by the force of jets or sprays
- B08B2203/0217—Use of a detergent in high pressure cleaners; arrangements for supplying the same
Abstract
【解決手段】リンス液供給工程が行われた後に、疎水化剤を基板Wの上面に供給する疎水化剤供給工程が行われる。この疎水化剤供給工程において、中心軸ノズル17の吐出口17aにおけるレイノルズ数が450以上でかつ1500以下の所定の値で、疎水化剤の連続流が吐出され続ける。
【選択図】図7
Description
具体的には、基板の上面に向けてノズルから疎水化剤が吐出されことにより、基板の上面に疎水化剤が供給され、基板の上面に、当該上面の全域を覆う疎水化剤の液膜が形成される。これにより、基板の上面が疎水化される。その後、IPAが基板に供給され、基板の上面に保持されている疎水化剤がIPAに置換される。疎水化剤がIPAに置換された後は、純水が基板に供給されることにより、基板の上面に保持されているIPAが、純水に置換される。その後、基板が高速回転されることにより、基板が乾燥する。
基板の上面に保持されている疎水化剤に波立ちが生じると、疎水化剤とその周囲の雰囲気中の水分との接触面積が増大する。疎水化剤は水と反応し易く、雰囲気中の水分とでも反応してしまう。雰囲気中の水分との反応により、基板の上面に保持されている疎水化剤の疎水化力が低下してしまう。その結果、基板の主面(上面)を良好に疎水化処理できない場合がある。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置1を水平方向に見た図である。基板処理装置1は、処理液(薬液やリンス液等)を用いて半導体ウエハなどの円板状の基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。基板処理装置1は、基板Wを水平に保持しながら基板Wの中央部を通る鉛直な回転軸線A1まわりに基板Wを回転させるスピンチャック(基板保持ユニット)2と、スピンチャック2に保持されている基板Wに処理液を供給する処理液供給ユニットと、スピンチャック2の上方に配置された遮断板3とを含む。
中心軸ノズル17に供給された処理液は、中心軸ノズル17の下端に設けられた吐出口17aから下方に吐出される。そして、図2に示すように、中心軸ノズル17から吐出された処理液は、遮断板3の中央部を上下に貫通する貫通穴(図示しない)を通って、遮断板3の下面中央部から下方に吐出される。これにより、スピンチャック2に保持された基板Wの上面の中央部に処理液が供給される。
疎水化剤は、金属を疎水化するメタル系の疎水化剤である。疎水化剤は、配位性の高い疎水化剤である。すなわち、疎水化剤は、主として配位結合によって金属を疎水化する溶剤である。疎水化剤は、たとえば、疎水基を有するアミン、および有機シリコン化合物の少なくとも一つを含む。疎水化剤は、シリコン系の疎水化剤であってもよいし、メタル系の疎水化剤であってもよい。
より具体的には、疎水化剤として、たとえば、OSRA−A004、OSRA−7801、PK−HP−S、PK-HUS等を例示することができる。
第1の溶剤供給ユニット53は、中心軸ノズル17と、第1の溶剤配管21と、第1の溶剤バルブ22と、第2の流量調整バルブ23とを含む。第1の溶剤は、水酸基を含まない溶剤である。すなわち、第1の溶剤は、水酸基を含まない化合物からなる溶剤である。第1の溶剤は、疎水化剤を溶解可能である。第1の溶剤は、水を含んでおらず、水よりも表面張力が低いことが好ましい。第1の溶剤は、ケトン類の溶剤、またはエーテル類の溶剤である。第1の溶剤の具体例としては、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)や、アセトンが挙げられる。ケトン類またはエーテル類の溶剤は、疎水化剤の原液の溶解度が高く、疎水化剤の原液をケトン類またはエーテル類の溶剤に混合すると、疎水化剤は、ケトン類またはエーテル類の溶剤に十分に分散する。
基板処理装置1は、制御装置26を備えている。制御装置26はCPU等の演算ユニット、固定メモリデバイス、ハードディスクドライブ等の記憶ユニット、および入出力ユニットを有している。記憶ユニットには、演算ユニットが実行するプログラムが記憶されている。
図3は、基板処理装置1の処理対象の基板Wの表面を拡大して示す断面図である。処理対象の基板Wは、たとえばシリコンウエハであり、そのパターン形成面である表面(上面32)にパターンPが形成されている。パターンPは、たとえば微細パターンである。パターンPは、図3に示すように、凸形状(柱状)を有する構造体31が行列状に配置されたものであってもよい。この場合、構造体31の線幅W1はたとえば10nm〜45nm程度に、パターンPの隙間W2はたとえば10nm〜数μm程度に、それぞれ設けられている。パターンPの膜厚Tは、たとえば、1μm程度である。また、パターンPは、たとえば、アスペクト比(線幅W1に対する膜厚Tの比)が、たとえば、5〜500程度であってもよい(典型的には、5〜50程度である)。
パターンPは、たとえば絶縁膜を含む。また、パターンPは、導体膜を含んでいてもよい。より具体的には、パターンPは、複数の膜を積層した積層膜により形成されており、さらには、絶縁膜と導体膜とを含んでいてもよい。パターンPは、単層膜で構成されるパターンであってもよい。絶縁膜は、シリコン酸化膜(SiO2膜)やシリコン窒化膜(SiN膜)であってもよい。また、導体膜は、低抵抗化のための不純物を導入したアモルファスシリコン膜であってもよいし、金属膜(たとえば金属配線膜)であってもよい。
図4は、基板処理装置1による基板処理例を説明するための流れ図である。
図1〜図4を参照しながら、第1の基板処理例について説明する。図5〜図9については適宜参照する。
その後、制御装置26は、スピンモータ7によって基板Wの回転を開始させる(図4のステップS2。回転工程)。基板Wは予め定める液処理速度(300〜1500rpmの範囲内で、たとえば500rpm)まで上昇させられ、その液処理速度に維持される。
PGMEAとIPAsとはそもそも親和性が低い。それに加えて、両者の粘度の相違も問題になる。具体的には、疎水化剤としてはPGMEAを用いる場合、その粘度はたとえば約1cpである。一方、IPAの粘度は約2.4cpである疎水化剤である。粘度の高いIPAの液膜41を粘度の低いPGMEAで置換するのは時間を要する。そのため、第1の溶剤を含む疎水化剤でIPAを置換する場合と比較して、同じ第1の溶剤を第1の溶剤を含む疎水化剤で、置換する方が、スムーズに置換することができる。したがって、IPA供給工程(S5)と疎水化剤供給工程(S7)との間に第1の溶剤供給工程(S6)を介在させることにより、IPA供給工程(S5)から疎水化剤供給工程(S7)に直接移行する場合と比較して、基板Wの上面の全域を覆う疎水化剤の液膜43を、短時間で形成することができる(すなわち、基板Wの上面の全域を疎水化剤でカバレッジするまでに要する時間を短くすることができる)。疎水化剤の消費量をできるだけ低減させることが望まれている。基板Wの上面の全域を疎水化剤でカバレッジするまでに要する時間を短くすることができるので、非常に高価である疎水化剤(とくに疎水化剤の原液)の消費量の低減を図ることができる。
疎水化剤供給工程(S7)において、中心軸ノズル17の吐出口17aから基板Wの上面に向けて、吐出口17aにおけるレイノルズ数が1500以下の所定の値で、疎水化剤の連続流が吐出され続ける。具体的には、制御装置26は、吐出口17aからの疎水化剤の吐出に先立って、吐出口17aにおけるレイノルズ数が1500以下の所定の値になるように、第1の流量調整バルブ20の開度を調整する。
これに対し、疎水化剤供給工程(S7)において、吐出口17aにおけるレイノルズ数が1500以下であるので、図9に示すように、吐出口17aから吐出される連続流状の疎水化剤が、乱れずに柱状をなす。すなわち、吐出の乱れが発生しないか、あるいは、発生しても少ない。したがって、基板Wの上面に供給される疎水化剤の吐出の乱れを抑制または防止することができる。これにより、基板Wの上面に供給された(上面に保持されている)疎水化剤における波立ち44(図8参照)の発生を抑制または防止することができ、その結果、疎水化剤と雰囲気中の水分との接触面積を少なく抑えることが可能である。ゆえに、基板Wの上面を良好に疎水化処理することができ、かつパーティクルの発生を抑制または防止することができる。
その後、処理済みの基板Wが、搬送ロボットによってスピンチャック2から搬出される(図4のステップS11)。
<第1の試験>
次に、第1の試験について説明する。第1の試験では、基板処理装置1において、吐出口17aから疎水化剤(SMT)を吐出させたときの、吐出の安定度合いを調べた。吐出口17aから吐出される疎水化剤の種類を、SMT1(OSRA−A004)、SMT2(OSRA−7801)およびSMT3(PK−HP−S)で異ならせた。また、吐出口17aからの疎水化剤の吐出流量を変化させた。その結果を、図10および図11に示す。図10では、吐出が安定しているものを、「〇」で示し、吐出がやや乱れているものを、「△」で示し、吐出が大きく乱れているものを、「×」で示している。図11は、疎水化剤の吐出流量と吐出口17aにおけるレイノルズ数との関係を示すが、吐出が安定しているものを、「●」で示し、吐出がやや乱れているものを、「★」で示し、吐出が大きく乱れているものを、「■」で示している。
<第2の試験>
次に、第2の試験について説明する。第2の試験では、基板処理装置1に図4に示す一連の処理を施した。疎水化剤供給工程(図4のS7)における、疎水化剤の吐出流量を、120ml/min、150ml/min、300ml/minで変化させると共に、
基板Wの回転速度を、300rpm、500rpm、800rpmで変化させた。基板Wはベアシリコンであり、第1の溶剤としてPGMEAを用い、疎水化剤の原液としてOSRA−A004を用いた。このような処理を施した後の、基板Wの表面の複数箇所において接触角を調べ、その平均値を求めた。その結果を図12に示す。
<第3の試験>
次に、第3の試験について説明する。
比較例:第3の試験では、比較例として、基板処理装置1に図4に示す処理から、第1の溶剤供給工程(図4のS6)を省略した処理例を実行した。すなわち、IPA供給工程(図4のS5)から疎水化剤供給工程図4の(S7)に直接移行させた。疎水化剤の吐出流量は120ml/min、基板Wの回転速度は300rpmとした。基板Wはベアシリコンであり、第1の溶剤としてPGMEAを用い、疎水化剤の原液としてOSRA−A004を用いた。
実施例では、疎水化剤の液膜43は、円形のまま拡がった。基板Wの上面を完全にカバレッジするまで、約1秒間しか要さなかった。
比較例では、疎水化剤の液膜には、図13に示すように、放射状に延びる筋(Radial Streak)RSが発生した。筋RSが疎水化剤の液膜43の拡がりを阻害し、その結果、基板Wの上面を疎水化剤で完全にカバレッジするまで、約8秒間要した。
たとえば、IPA供給工程(図4のS5)において、乾燥剤としてIPAを例に挙げて説明したが、乾燥剤は、アルコールや、フッ素系溶剤とアルコールの混合液が挙げられる。アルコールは、たとえば、メチルアルコール、エタノール、プロピルアルコール、およびIPAの少なくとも一つを含む。フッ素系溶剤は、たとえば、HFE(ハイドロフルオロエーテル)、HFC(ハイドロフルオロカーボン)の少なくとも一つを含む。
また、IPA供給工程(図4のS5)を省略してもよい。
また、前述の実施形態では、疎水化剤を吐出するノズルが、遮断板3に一体移動する中心軸ノズル16である場合について説明した。しかし、遮断板3とは別に設けられたノズルから、疎水化剤を吐出するようにしてもよい。この場合、ノズルを移動させることにより、基板Wの上面に対する薬液の疎水化剤の着液位置を、基板Wの上面の中央部と、それ以外の部分(たとえば周縁部)との間で移動させるノズル移動装置を備えていてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変更を行うことができる。
この明細書および添付図面からは、特許請求の範囲に記載した特徴以外にも、以下のような特徴が抽出され得る。これらの特徴は、課題を解決するための手段の項に記載した特徴と任意に組み合わせ可能である。
前記回転工程に並行して、水を含むリンス液を基板の上面に供給するリンス液供給工程と、
前記リンス液供給工程が行われた後に、前記回転工程に並行して、基板の上面に第2の溶剤を供給することにより前記基板の上面に保持されているリンス液を第2の溶剤に置換して、前記基板の上面の全域を覆う第2の溶剤の液膜を形成する第2の溶剤液膜形成工程と、
前記第2の溶剤の液膜形成工程が行われた後に、前記回転工程に並行して、基板の上面に第2の溶剤を供給することにより前記第2の溶剤の液膜に含まれる液体を、前記第2の溶剤とは種類の異なる第1の溶剤に置換して、前記基板の上面の全域を覆う第1の溶剤の液膜を形成する第1の溶剤液膜形成工程と、
前記第1の溶剤の液膜形成工程が行われた後に、前記回転工程に並行して、基板の上面に第1の溶剤を含む疎水化剤を供給することにより前記第1の溶剤の液膜に含まれる液体を疎水化剤に置換して、前記基板の上面の全域を覆う疎水化剤の液膜を形成する疎水化剤液膜形成工程とを含む。
2 :スピンチャック(基板保持ユニット)
7 :スピンモータ(回転ユニット)
17 :中心軸ノズル(ノズル)
17a :吐出口
26 :制御装置
41 :IPAの液膜
42 :第1の溶剤の液膜
43 :疎水化剤の液膜
51 :リンス液供給ユニット
52 :疎水化剤供給ユニット
53 :第1の溶剤供給ユニット
54 :第2の溶剤供給ユニット
A1 :回転軸線
W :基板
Claims (4)
- 水を含むリンス液を基板の主面に供給するリンス液供給工程と、
基板の主面の中央部を通る回転軸線回りに基板を回転させる回転工程と、
前記リンス液供給工程が行われた後に、前記回転工程に並行して、基板の主面に保持されている液体を、第1の溶剤を含む疎水化剤に置換するために疎水化剤を基板の主面に供給する疎水化剤供給工程とを含み、
前記疎水化剤供給工程は、ノズルの吐出口から前記基板保持ユニットに保持されている基板の主面に向けて、前記吐出口におけるレイノルズ数が1500以下で、疎水化剤の連続流を吐出する疎水化剤吐出工程を含む、基板処理方法。 - 前記リンス液供給工程が行われた後であって前記疎水化剤供給工程が行われる前に、基板の主面に保持されている液体を、前記第1の溶剤とは種類の異なる第2の溶剤に置換するために第2の溶剤を基板の主面に供給する第2の溶剤供給工程と、
前記第2の溶剤供給工程が行われた後であって前記疎水化剤供給工程が行われる前に、前記回転工程に並行して、基板の主面に保持されている液体を第1の溶剤に置換するために第1の溶剤を基板の主面に供給する第1の溶剤供給工程をさらに含む、請求項1に記載の基板処理方法。 - 基板を保持する基板保持ユニットと、
前記基板保持ユニットに保持されている基板を、当該基板の主面の中央部を通る回転軸線回りに回転させる回転ユニットと、
前記基板保持ユニットに保持されている基板に、水を含むリンス液を供給するリンス液供給ユニットと、
吐出口を有するノズルを有し、前記基板保持ユニットに保持されている基板に第1の溶剤を含む疎水化剤を供給する疎水化剤供給ユニットと、
制御装置とを含み、
前記制御装置は、前記リンス液供給ユニットを制御して、リンス液を基板の主面に供給するリンス液供給工程と、前記回転ユニットを制御して、基板の主面の中央部を通る回転軸線回りに基板を回転させる回転工程と、前記疎水化剤供給ユニットを制御して、前記リンス液供給工程が行われた後に、前記回転工程に並行して、基板の主面に保持されている液体を、第1の溶剤を含む疎水化剤に置換するために疎水化剤を基板の主面に供給する疎水化剤供給工程とを実行し、
前記疎水化剤供給工程において、前記制御装置は、ノズルの吐出口から前記基板保持ユニットに保持されている基板の主面に向けて、前記吐出口におけるレイノルズ数が1500以下で、疎水化剤の連続流を吐出する疎水化剤吐出工程を実行する、基板処理装置。 - 前記基板保持ユニットに保持されている基板に前記第1の溶剤とは種類の異なる第2の溶剤を供給する第2の溶剤供給ユニットと、
前記基板保持ユニットに保持されている基板に第1の溶剤を供給する第1の溶剤供給ユニットとをさらに含み、
前記制御装置は、 前記リンス液供給工程が行われた後であって前記疎水化剤供給工程が行われる前に、基板の主面に保持されている液体を第2の溶剤に置換するために第2の溶剤を基板の主面に供給する第2の溶剤供給工程と、前記第2の溶剤供給工程が行われた後であって前記疎水化剤供給工程が行われる前に、前記回転工程に並行して、基板の主面に保持されている液体を第1の溶剤に置換するために第1の溶剤を基板の主面に供給する第1の溶剤供給工程とをさらに実行する、請求項3に記載の基板処理装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017108184A JP6948840B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 基板処理方法および基板処理装置 |
US15/992,250 US10843223B2 (en) | 2017-05-31 | 2018-05-30 | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
CN201810541443.XA CN108987306A (zh) | 2017-05-31 | 2018-05-30 | 基板处理方法和基板处理装置 |
KR1020180061718A KR102075244B1 (ko) | 2017-05-31 | 2018-05-30 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
TW107118511A TWI680016B (zh) | 2017-05-31 | 2018-05-30 | 基板處理方法以及基板處理裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017108184A JP6948840B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018206851A true JP2018206851A (ja) | 2018-12-27 |
JP6948840B2 JP6948840B2 (ja) | 2021-10-13 |
Family
ID=64458623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017108184A Active JP6948840B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10843223B2 (ja) |
JP (1) | JP6948840B2 (ja) |
KR (1) | KR102075244B1 (ja) |
CN (1) | CN108987306A (ja) |
TW (1) | TWI680016B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022102469A1 (ja) * | 2020-11-16 | 2022-05-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7116534B2 (ja) * | 2017-09-21 | 2022-08-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2022104307A (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5980647A (en) * | 1997-07-15 | 1999-11-09 | International Business Machines Corporation | Metal removal cleaning process and apparatus |
US6730176B2 (en) * | 2001-07-09 | 2004-05-04 | Birol Kuyel | Single wafer megasonic cleaner method, system, and apparatus |
TW200535998A (en) | 2004-04-19 | 2005-11-01 | P C T Systems Inc | Substrate processing apparatus and method |
KR101266620B1 (ko) * | 2010-08-20 | 2013-05-22 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리방법 및 기판처리장치 |
JP6317547B2 (ja) | 2012-08-28 | 2018-04-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
JP6513361B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-05-15 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
KR20160141249A (ko) | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 세메스 주식회사 | 노즐, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR101842128B1 (ko) * | 2017-03-27 | 2018-03-27 | 세메스 주식회사 | 노즐, 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
-
2017
- 2017-05-31 JP JP2017108184A patent/JP6948840B2/ja active Active
-
2018
- 2018-05-30 CN CN201810541443.XA patent/CN108987306A/zh active Pending
- 2018-05-30 KR KR1020180061718A patent/KR102075244B1/ko active IP Right Grant
- 2018-05-30 US US15/992,250 patent/US10843223B2/en active Active
- 2018-05-30 TW TW107118511A patent/TWI680016B/zh active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022102469A1 (ja) * | 2020-11-16 | 2022-05-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI680016B (zh) | 2019-12-21 |
US20180345315A1 (en) | 2018-12-06 |
JP6948840B2 (ja) | 2021-10-13 |
KR20180131458A (ko) | 2018-12-10 |
US10843223B2 (en) | 2020-11-24 |
KR102075244B1 (ko) | 2020-02-07 |
CN108987306A (zh) | 2018-12-11 |
TW201904676A (zh) | 2019-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI698906B (zh) | 基板處理方法以及基板處理裝置 | |
US9005703B2 (en) | Substrate processing method | |
JP5662081B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP5771035B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2016127080A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
TWI792389B (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
TWI559399B (zh) | A sacrificial film removing method and a substrate processing apparatus | |
KR101743830B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP5248652B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR102075244B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
CN109545703B (zh) | 基板处理装置及基板处理方法 | |
JP6310583B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6901944B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6983571B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP5674851B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR20230086779A (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
US20230290631A1 (en) | Substrate processing method | |
JP6118309B2 (ja) | 基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200827 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210408 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210909 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6948840 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |