JP2018200464A - マルチスペクトルフィルタ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 光学フィルタであって、
第1のミラーおよび第2のミラーであって、前記第1のミラーおよび前記第2のミラー各々は、1つ以上の第1の1/4波長スタックを含み、前記1つ以上の第1の1/4波長スタックのうちの1つの1/4波長スタックは、第1の材料および第2の材料の交互の層の組を含み、前記第1の材料は、前記第2の材料よりも高い屈折率と対応付けられ、前記第1のミラーおよび前記第2のミラー各々は、1つ以上の第2の1/4波長スタックを含み、前記1つ以上の第2の1/4波長スタックのうちの1つの1/4波長スタックは、第3の材料および第4の材料の1つ以上の交互の層を含み、前記第3の材料は、前記第4の材料よりも高い屈折率と対応付けられ、前記第1の材料、前記第2の材料、前記第3の材料、および前記第4の材料は、3つ以上の異なる材料を含む、第1のミラーおよび第2のミラーと、
前記第1のミラーと前記第2のミラーとの間に配置されるスペーサと
を備える、光学フィルタ。 - 前記3つ以上の異なる材料のうちの少なくとも1つは、酸化物材料であり、
前記酸化物材料は、酸化ニオブチタン(NbTiOx)、二酸化ケイ素(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)、二酸化チタン(TiO2)、五酸化ニオブ(Nb2O5)、五酸化タンタル(Ta2O5)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化イットリウム(Y2O3)、二酸化ハフニウム(HfO2)、それらの組み合わせのうちの少なくとも1つを含む、
請求項1に記載の光学フィルタ。 - 前記3つ以上の異なる材料のうちの少なくとも1つは、窒化物材料、フッ化物材料、硫化物材料、セレン化物材料、それらの組み合わせのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記第1のミラーおよび前記第2のミラーのうちの少なくとも1つは、水素化シリコン(Si:H)材料を含む、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記スペーサは、水素化シリコン(Si:H)スペーサである、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記3つ以上の異なる材料のうちの少なくとも1つは、約800nm〜約1100nmのスペクトル域での2.0を超える屈折率と対応付けられる、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記3つ以上の異なる材料のうちの少なくとも1つは、約800nm〜約1100nmのスペクトル域での3.0未満の屈折率と対応付けられる、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光学フィルタは、932nmの中心波長での約0.9nm〜約5.3nmの50%相対帯域幅と対応付けられる、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光学フィルタは、800nmの中心波長での約3.75nm〜約5.75nmの50%相対帯域幅と対応付けられる、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光学フィルタは、1100nmの中心波長での約4nm〜約8nmの50%相対帯域幅と対応付けられる、請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記光学フィルタは、センサ素子アレイのセンサ素子の組と対応付けられる基板上に形成され、
前記光学フィルタの前記スペーサは、前記センサ素子アレイの前記センサ素子の組に対応する複数のチャネルを形成する複数の層を含む、請求項1に記載の光学フィルタ。 - 前記光学フィルタは、センサ素子アレイのセンサ素子の組に対応する光学フィルタのアレイである、請求項1に記載の光学フィルタ。
- マルチスペクトルフィルタであって、
第1の誘電体層の組であって、当該第1の誘電体層の組への光の一部を反射し、1つ以上の第1の1/4波長スタックを含み、3つ以上の第1の異なる材料の組を備える、第1の誘電体層の組と、
スペーサ層の組であって、当該スペーサ層の組のうちの層は、当該層の屈折率に基づいて選択され、センサ素子の組のうちの前記スペーサ層の組によって形成されるチャネルの組のうちのチャネルに対応するセンサ素子へと向けられる光の波長に対応する、スペーサ層の組と、
第2の誘電体層の組であって、当該第2の誘電体層の組への光の一部を反射し、1つ以上の第2の1/4波長スタックを含み、3つ以上の第2の異なる材料の組を備える、第2の誘電体層の組と
を備える、マルチスペクトルフィルタ。 - 前記3つ以上の第1の異なる材料の組および前記3つ以上の第2の異なる材料の組は、共通の3つ以上の異なる材料の組である、請求項13に記載のマルチスペクトルフィルタ。
- 前記1つ以上の第1の1/4波長スタックは、
前記3つ以上の第1の異なる材料の組のうちの第1の材料と、前記3つ以上の第1の異なる材料の組のうちの第2の材料とを含む第1の1/4波長スタックと、
前記第1の材料と、前記3つ以上の第2の異なる材料の組のうちの第3の材料とを含む第2の1/4波長スタックと
を含む、請求項13に記載のマルチスペクトルフィルタ。 - 前記チャネルの組のチャネル量は、チャネル量閾値以上であり、
前記チャネル量閾値は、8チャネル、16チャネル、32チャネル、64チャネル、128チャネルのうちの1つである、
請求項13に記載のマルチスペクトルフィルタ。 - 前記第1の誘電体層の組および前記第2の誘電体層の組のうちの少なくとも1つの層の厚さは、1/4波長厚さから離調される、請求項13に記載のマルチスペクトルフィルタ。
- 前記厚さは、閾値パーセンテージによって離調され、
前記閾値パーセンテージは、10%低減、20%低減、30%低減、40%低減、50%低減、10%増加、20%増加、30%増加、40%増加、50%増加のうちの少なくとも1つを含む、請求項17に記載のマルチスペクトルフィルタ。 - 光学フィルタであって、
基板と、
第1のミラーおよび第2のミラーであって、前記第1のミラーおよび前記第2のミラー各々は、複数の1/4波長スタックを含み、前記複数の1/4波長スタックは、第1の材料、第2の材料、および第3の材料を含む複数の層を含む、第1のミラーおよび第2のミラーと、
前記第1のミラーと前記第2のミラーとの間に配置されるスペーサと
を備える、光学フィルタ。 - 前記複数の1/4波長スタックのうちの1つの1/4波長スタックの高指数材料の屈折率と前記複数の1/4波長スタックのうちの前記1つの1/4波長スタックの低指数材料の屈折率との差は、閾値よりも大きい、請求項19に記載の光学フィルタ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110989049A (zh) * | 2019-10-12 | 2020-04-10 | 信利光电股份有限公司 | 一种红外光高透过率的薄膜及其制备方法和应用 |
JP2020173420A (ja) * | 2019-04-08 | 2020-10-22 | 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司VisEra Technologies Company Limited | 光学フィルタおよびその形成方法 |
JP2022515987A (ja) * | 2018-12-27 | 2022-02-24 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド | 光学フィルタ |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017199953A1 (ja) * | 2016-05-20 | 2017-11-23 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネル、及び、液晶表示装置 |
US10782460B2 (en) * | 2017-05-22 | 2020-09-22 | Viavi Solutions Inc. | Multispectral filter |
CN110082849A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-02 | 信阳舜宇光学有限公司 | 近红外窄带滤光片及制作方法 |
US11789188B2 (en) * | 2019-07-19 | 2023-10-17 | Viavi Solutions Inc. | Optical filter |
KR20210014491A (ko) * | 2019-07-30 | 2021-02-09 | 삼성전자주식회사 | 광 필터 및 이를 포함하는 분광기 |
TWI706169B (zh) * | 2019-08-15 | 2020-10-01 | 晶瑞光電股份有限公司 | 紅外帶通濾波結構及應用該結構之紅外帶通濾波器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030048985A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-13 | Hulse Charles Andrew | Dispersion compensating filters |
JP2003177237A (ja) * | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学多層膜フィルタ |
JP2012530271A (ja) * | 2009-06-17 | 2012-11-29 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ミニスペクトロメータ用の高透過率及び広阻止帯域を有する干渉フィルタ |
WO2016118919A1 (en) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | Materion Corporation | Near infrared optical interference filters with improved transmission |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08508114A (ja) | 1993-12-23 | 1996-08-27 | ハネウエル・インコーポレーテッド | カラーフィルタ・アレイ |
US5926317A (en) * | 1996-11-06 | 1999-07-20 | Jds Fitel Inc. | Multilayer thin film dielectric bandpass filter |
WO1999036811A1 (en) | 1998-01-15 | 1999-07-22 | Ciena Corporation | Optical interference filter |
GB9901858D0 (en) * | 1999-01-29 | 1999-03-17 | Secr Defence | Optical filters |
WO2000063728A1 (en) | 1999-04-20 | 2000-10-26 | Ciena Corporation | Dual transmission band interference filter |
TW528891B (en) * | 2000-12-21 | 2003-04-21 | Ind Tech Res Inst | Polarization-independent ultra-narrow bandpass filter |
TW520447B (en) * | 2001-05-23 | 2003-02-11 | Univ Tsinghua | Interference filter |
US20030087121A1 (en) * | 2001-06-18 | 2003-05-08 | Lawrence Domash | Index tunable thin film interference coatings |
CA2456234A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Lawrence Domash | Tunable optical instruments |
US6963685B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-11-08 | Daniel Mahgerefteh | Power source for a dispersion compensation fiber optic system |
US6850366B2 (en) * | 2002-10-09 | 2005-02-01 | Jds Uniphase Corporation | Multi-cavity optical filter |
TWI298582B (en) * | 2002-10-25 | 2008-07-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Thin film filter for dense wavelength division multiplexing |
EP1671177A1 (en) * | 2003-10-07 | 2006-06-21 | Aegis Semiconductor, Inc. | Tunable optical filter with heater on a cte-matched transparent substrate |
JP4401880B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2010-01-20 | 光伸光学工業株式会社 | 多重バンドパスフィルタ |
CN100419471C (zh) * | 2005-08-02 | 2008-09-17 | 中山大学 | 一种多频锐角空间滤光片 |
US7848000B2 (en) * | 2006-01-09 | 2010-12-07 | Chemimage Corporation | Birefringent spectral filter with wide field of view and associated communications method and apparatus |
CN101038373A (zh) * | 2006-03-13 | 2007-09-19 | 爱普生拓优科梦株式会社 | 偏振光分离元件及其制造方法 |
US7378346B2 (en) * | 2006-03-22 | 2008-05-27 | Motorola, Inc. | Integrated multi-wavelength Fabry-Perot filter and method of fabrication |
US7968846B2 (en) | 2006-05-23 | 2011-06-28 | Regents Of The University Of Minnesota | Tunable finesse infrared cavity thermal detectors |
US7903338B1 (en) * | 2006-07-08 | 2011-03-08 | Cirrex Systems Llc | Method and system for managing light at an optical interface |
DE102007025600B4 (de) | 2007-05-31 | 2009-05-28 | Schott Ag | Interferenzfilter und Verfahren zu dessen Herstellung |
US8072402B2 (en) * | 2007-08-29 | 2011-12-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics |
WO2013041089A1 (de) * | 2011-09-20 | 2013-03-28 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optisches bauelement für den ir-bereich mit spannungskompensierter beschichtung |
JP5873355B2 (ja) | 2012-02-29 | 2016-03-01 | 三ツ星ベルト株式会社 | シームレスベルト |
JP2013190652A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
TWI648561B (zh) * | 2012-07-16 | 2019-01-21 | 美商唯亞威方案公司 | 光學濾波器及感測器系統 |
TWI623731B (zh) * | 2013-01-29 | 2018-05-11 | 唯亞威方案公司 | 光學濾波器以及光學濾波器之製造方法 |
CN103984054B (zh) * | 2014-05-16 | 2017-04-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 全介质f‑p窄带消偏振滤光片 |
EP3158371A4 (en) * | 2014-06-18 | 2018-05-16 | Viavi Solutions Inc. | Metal-dielectric optical filter, sensor device, and fabrication method |
JP6542511B2 (ja) | 2014-06-30 | 2019-07-10 | Agc株式会社 | 帯域透過フィルタ |
JP6137135B2 (ja) * | 2014-11-20 | 2017-05-31 | トヨタ自動車株式会社 | 車両の駆動制御装置 |
US20180170093A1 (en) | 2015-06-30 | 2018-06-21 | Spectral Devices Inc. | Flexible pixelated fabry-perot filter |
US9923007B2 (en) * | 2015-12-29 | 2018-03-20 | Viavi Solutions Inc. | Metal mirror based multispectral filter array |
US10782460B2 (en) * | 2017-05-22 | 2020-09-22 | Viavi Solutions Inc. | Multispectral filter |
CN108333661B (zh) * | 2018-03-13 | 2024-01-02 | 湖北五方光电股份有限公司 | 基于硼掺杂氢化硅的低角度偏移滤光片及其制备方法 |
-
2017
- 2017-05-22 US US15/601,753 patent/US10782460B2/en active Active
-
2018
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- 2018-05-22 CN CN202111322234.4A patent/CN114137646A/zh active Pending
- 2018-05-22 CN CN201810494349.3A patent/CN109061786B/zh active Active
- 2018-11-29 HK HK18115315.6A patent/HK1256258A1/zh unknown
-
2020
- 2020-08-27 US US16/948,003 patent/US11880054B2/en active Active
-
2021
- 2021-09-01 KR KR1020210116358A patent/KR102602452B1/ko active IP Right Grant
-
2023
- 2023-12-11 US US18/534,780 patent/US20240103210A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030048985A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-13 | Hulse Charles Andrew | Dispersion compensating filters |
JP2003177237A (ja) * | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学多層膜フィルタ |
JP2012530271A (ja) * | 2009-06-17 | 2012-11-29 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ミニスペクトロメータ用の高透過率及び広阻止帯域を有する干渉フィルタ |
WO2016118919A1 (en) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | Materion Corporation | Near infrared optical interference filters with improved transmission |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022515987A (ja) * | 2018-12-27 | 2022-02-24 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド | 光学フィルタ |
JP7404367B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-12-25 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッド | 光学フィルタ |
JP2020173420A (ja) * | 2019-04-08 | 2020-10-22 | 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司VisEra Technologies Company Limited | 光学フィルタおよびその形成方法 |
CN110989049A (zh) * | 2019-10-12 | 2020-04-10 | 信利光电股份有限公司 | 一种红外光高透过率的薄膜及其制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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