JP2018199231A - 樹脂モールド金型 - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 81
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 81
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 66
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims abstract description 52
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 25
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 11
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000008185 minitablet Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
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- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
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Abstract
Description
以下、図面を参照して、本発明の第一の実施形態について詳しく説明する。図1は、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド金型10の例を示す概略図(正面図)である。また、図2は図1に示す樹脂モールド金型10の上型の例を示す概略図(底面図)である。また、図3は、図1のIII部拡大図である。ここで、説明の便宜上、図1、3、5、6、7において紙面の上下により樹脂モールド金型10における上下方向を説明する場合がある。なお、各実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
続いて、本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド金型10について説明する。本実施形態に係る樹脂モールド金型10は、前述の第一の実施形態に係る樹脂モールド金型10と基本的な構成は同様であるが、特にチャッキング機構の構成において相違する。以下、当該相違点を中心に本実施形態について説明する。
続いて、本発明の第三の実施形態に係る樹脂モールド金型10について説明する。本実施形態に係る樹脂モールド金型10は、前述の第一の実施形態に係る樹脂モールド金型10と基本的な構成は同様であるが、特に上型の構成において相違する。以下、当該相違点を中心に本実施形態について説明する。
12、18 上型
14 下型
16 キャビティ
20 ワーク支持機構
22 上プレート
24 下プレート
26 キャビティ駒
28 クランパ
32 第四付勢部材
36 キャビティプレート
40 吸引機構
42 第一付勢部材
44 吸引管
46 吸引路
50、70 チャッキング機構
52、72 チャッキング爪
54 第二付勢部材
56 第三付勢部材
60、80 押動ピン
F フィルム
R モールド樹脂
W ワーク
Wa キャリアプレート
Wb 半導体チップ
Claims (4)
- ワークを樹脂モールドする樹脂モールド金型であって、
前記ワークを支持するワーク支持機構が設けられた上型と、
前記ワーク上のチップを封止するキャビティが設けられた下型と、を備え、
前記ワーク支持機構は、前記ワークの上面を吸引して保持する吸引機構と、前記ワークの外縁を挟持して保持するチャッキング機構と、を有し、
前記吸引機構は、第一付勢部材により下方に付勢されて、下端が前記上型の金型面よりも下方に突出した位置と前記上型の金型面と同一の位置との間で上下動可能なように前記上型に支持された吸引管を有し、
前記チャッキング機構は、前記ワークの外縁に対して接離動可能であって、前記上型の金型面から所定距離だけ離間した前記ワークの保持位置と前記上型の金型面に所定距離まで接近した前記ワークの解放位置との間で上下動可能なように前記上型に支持されたチャッキング爪を有すること
を特徴とする樹脂モールド金型。 - 前記チャッキング機構は、前記チャッキング爪を前記ワークの外縁に接近する方向に付勢する第二付勢部材を有すること
を特徴とする請求項1記載の樹脂モールド金型。 - 前記チャッキング機構は、前記チャッキング爪が回動可能に前記上型に支持されており、前記チャッキング爪を前記ワークの外縁から離れる方向に回動させる押動ピンが設けられていること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の樹脂モールド金型。 - 前記チャッキング機構は、前記チャッキング爪が左右動可能に前記上型に支持されており、前記チャッキング爪に設けられたテーパ面を押動して前記チャッキング爪を前記ワークの外縁から離れる方向に移動させる押動ピンが設けられていること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の樹脂モールド金型。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017104074A JP6867229B2 (ja) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 樹脂モールド金型 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017104074A JP6867229B2 (ja) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 樹脂モールド金型 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018199231A true JP2018199231A (ja) | 2018-12-20 |
JP6867229B2 JP6867229B2 (ja) | 2021-04-28 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017104074A Active JP6867229B2 (ja) | 2017-05-26 | 2017-05-26 | 樹脂モールド金型 |
Country Status (1)
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