JP2018191171A - 積層型導波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
このような積層型導波装置であれば、第一導波路構造の第一導波路が、第一結合窓、導電性接合部の内側及び第二結合窓を介して、第二導波路構造の第二導波路に電界的又は磁気的に結合される。
これにより、第二導体層と第三導体層を容易に接合することができるとともに、導電性接合部による接合に要するコストが低い。
これにより、導電性接合部の形成時にはんだが第二導体層と第三導体層に濡れやすく、導電性接合部が良好に形成される。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されている。そのため、本発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
積層型導波装置1は、ポスト壁型式の第一導波路構造10と、ポスト壁型式の第二導波路構造40と、第一導波路構造10と第二導波路構造40を接合する導電性接合部70と、を備える。まず、導波路構造10,40について説明する。ここで、ポスト壁型式とは、柱状又は筒状の導体ポストの集合(列)が擬似的な導体壁を成す型式をいう。擬似的な導体壁については後に詳述する。
導体ポスト22Aはポスト列21に対して平行な直線状に等ピッチで配列されることによって、ポスト列22を成している。ここで、ポスト列21,22の列方向はY軸に対して平行であり、Y軸の負方向を列前方とし、Y軸の正方向を列後方とする。
以上の実施の形態では、導波路31がポスト列23,24によって絞られていて、ポスト列23とポスト列24との間に誘導性窓32が形成されている。そのため、導波路31内を伝搬する電磁波は、ポスト列23,24により反射係数が小さい状態で誘導性窓32を通過し、ポスト列23,24とポスト列25の間の領域に取り込まれる。電磁波は結合窓73,結合開口71及び結合窓74を通過して、ポスト列53,54とポスト列55の間の領域に取り込まれる。電磁波は誘導性窓62を通過して、導波路61内を伝搬する。従って、導波路31と導波路61の結合性が高く、所定の周波数帯域の信号が導波路31から導波路61に伝送され、その周波数帯域が広い(後述の検証1参照)。同様に、広範な所定の周波数帯域の信号が導波路61から導波路31に伝送される。
以上、本発明を実施するための形態について説明したが、上記実施形態は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を上記実施形態に限定して解釈するものではない。また、本発明の趣旨を逸脱することなく、上記実施形態から変更或いは改良してもよく、本発明にはその等価物も含まれる。以下に、上記実施形態からの変更点について幾つか説明するが、以下に説明する幾つかの変更点を可能な限り組み合わせてもよい。
以下、シミュレーションにより導波路31と導波路61の結合性について検証する。以下の各シミュレーションにおける条件は表1の通りである。
導電性接合部70に銅の微粒子が分散していると、導電性接合部70が良好であることについて検証した。以下、詳細に説明する。
銅の微粒子が添加されていないはんだペーストBの場合、はんだにボイドが形成されたサンプルがあった(図9参照)。さらに、はんだが枠状に形成されなかったサンプルが1体あった。
銅の微粒子が添加されていないはんだペーストCの場合、はんだにボイドが形成されたサンプルがあった(図10参照)。さらに、はんだが枠状に形成されなかったサンプルが2体あった。
Claims (6)
- 第一誘電体と、前記第一誘電体を挟んで互いに対向した第一導体層及び第二導体層と、前記第一誘電体を貫通するとともに前記第一導体層及び前記第二導体層に接続された複数の導体ポストからなるポスト列が互いに平行に配列されてなる2列の第一ポスト列と、前記第一導体層、前記第二導体層及び前記第一ポスト列によって囲まれた第一導波路と、を有し、前記第一導波路の中途部がポスト列によって絞られ且つ前記第一導波路の末端がポスト列によって短絡された第一導波路構造と、
第二誘電体と、前記第二誘電体を挟んで互いに対向した第三導体層及び第四導体層と、前記第二誘電体を貫通するとともに前記第三導体層及び前記第四導体層に接続された複数の導体ポストからなるポスト列が互いに平行に配列されてなる2列の第二ポスト列と、前記第三導体層、前記第四導体層及び前記第二ポスト列によって囲まれた第二導波路と、を有し、前記第二導波路の中途部がポスト列によって絞られ且つ前記第二導波路の末端がポスト列によって短絡され、前記第三導体層が前記第二導体層に対向するよう前記第一導波路構造に積層された第二導波路構造と、
前記第二導体層のうち前記第一導波路の絞られた部分と短絡された部分の間の部位に形成された第一結合窓と、
前記第三導体層のうち前記第二導波路の絞られた部分と短絡された部分の間の部位に形成された第二結合窓と、
前記第二導体層と前記第三導体層を接合して、前記第一結合窓と前記第二結合窓を囲繞する導電性接合部と、を備える積層型導波装置。 - 前記導電性接合部が、はんだを有する
請求項1に記載の積層型導波装置。 - 前記導電性接合部が、前記はんだを母材として前記はんだに分散した銅の粒子を有する
請求項2に記載の積層型導波装置。 - 前記銅の粒子の粒径が15〜25μmである
請求項3に記載の積層型導波装置。 - 前記第二導体層を被覆するとともに、前記第一結合窓内において前記第一誘電体を被覆する第一誘電体膜と、
前記第三導体層を被覆するとともに、前記第二結合窓内において前記第二誘電体を被覆する第二誘電体膜と、を更に備え、
前記第一誘電体膜には前記第一結合窓を囲繞するよう枠状の溝が形成され、その溝を通じて前記導電性接合部が前記第二導体層に接合され、
前記第二誘電体膜には前記第二結合窓を囲繞するよう枠状の溝が形成され、その溝を通じて前記導電性接合部が前記第三導体層に接合されている
請求項1から4の何れか一項に記載の積層型導波装置。 - 前記第一導波路及び前記第二導波路の短絡された部分の反対側端部が入出力端子であり、前記第一導波路構造及び前記第二導波路構造は前記第一導波路の入出力端子と前記第二導波路の入出力端子が同一の向き又は反対の向きとなるように積層されている
請求項1から5の何れか一項に記載の積層型導波装置。
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