JP2018188708A - めっき装置およびめっき方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】めっき装置1は、ウェハ100にめっき処理を施す少なくとも1つのめっき処理部5と、めっき処理が施される前のウェハ100の処理前重量W1と、めっき処理が施された後のウェハ100の処理後重量W2とを計量する計量部7と、処理前重量W1と処理後重量W2との差を、めっき処理によりウェハ100に付着しためっき層102のめっき層重量(めっき部重量)ΔWとみなし、めっき層重量ΔWが所定の閾値の範囲内(閾値α1以上閾値α2以下)であるか否かを判断する制御部9(判断部)とを備える。
【選択図】図2
Description
(1) 被めっき物にめっき処理を施す少なくとも1つのめっき処理部と、
前記めっき処理が施される前の前記被めっき物の処理前重量と、前記めっき処理が施された後の前記被めっき物の処理後重量とを計量する計量部と、
前記処理前重量と前記処理後重量との差を、前記めっき処理により前記被めっき物に付着しためっき部のめっき部重量とみなし、該めっき部重量が所定の閾値の範囲内であるか否かを判断する判断部とを備えることを特徴とするめっき装置。
前記めっき処理の条件を変更するに際し、通電時間および電流値のうちの少なくとも一方を調整する調整部を備える上記(3)に記載のめっき装置。
(9) 前記めっき処理部は、複数配置されている上記(8)に記載のめっき装置。
前記計量部は、前記前処理が施される前の前記被めっき物の重量を前記処理前重量として計量する上記(1)ないし(12)のいずれかに記載のめっき装置。
前記計量部は、前記後処理が施された後の前記被めっき物の重量を前記処理後重量として計量する上記(1)ないし(14)のいずれかに記載のめっき装置。
前記めっき処理が施される前の前記被めっき物の処理前重量と、前記めっき処理が施された後の前記被めっき物の処理後重量とを計量する計量工程と、
前記処理前重量と前記処理後重量との差を、前記めっき処理により前記被めっき物に付着しためっき部のめっき部重量とみなし、該めっき部重量が所定の閾値の範囲内であるか否かを判断する判断工程とを有することを特徴とするめっき方法。
めっき装置1は、図1に示す外観を有するものであり、最外装がカバー10で覆われている。図2に示すように、カバー10の内側には、搬送部2と、第1載置部3Aと、第2載置部3Bと、前処理部4と、6つのめっき処理部5と、後処理部6と、計量部7とが収納、配置されている。また、カバー10には、例えば、トップカバー11と、フロントカバー12と、リアカバー13と、サイドカバー14と、サイドカバー15とが含まれている。
前処理槽41は、カップ状、すなわち、有底筒状をなし、上方に向かって開口した開口部411を有している。そして、ウェハ100は、前処理槽41の上側から開口部411を覆うように、開口部411の縁部412に支持される。このときのウェハ100は、レジスト層101側が前処理槽41の内側に臨んでいる。また、開口部411は、ウェハ100によって、液密的に封止される。
なお、液体43としては、特に限定されず、例えば、純水等を用いるのが好ましい。
2 搬送部
21 保持部
3A 第1載置部
3B 第2載置部
31 キャリア
32 仕切板
4 前処理部
41 前処理槽
411 開口部
412 縁部
413 底部
42 ノズル
43 液体
5、5A、5B、5C、5D、5E、5F めっき処理部
51 めっき処理槽
511 開口部
512 底部
513 側壁部
514 縁部
52 めっき液供給系統
521 タンク
522、523 パイプ
524 ポンプ
53 電気系統
531、532 電極
533 電源
54 めっき液(電解液)
6 後処理部
61 ターンテーブル
611 中心開口部
62 上側ノズル
63 下側ノズル
64、65 液体
7 計量部
71 天びん本体
72 計量皿
73 風防(フード)
8 操作部(操作パネル)
9 制御部
10 カバー
11 トップカバー
12 フロントカバー
13 リアカバー
14 サイドカバー
15 サイドカバー
16、17 フロントドア
100 ウェハ
101 レジスト層(レジスト膜)
102 めっき層(めっき部)
I 矢印
II 矢印
III 矢印
IV 矢印
V 矢印
VI 矢印
S101〜S104 ステップ
t0、t1 通電時間
W1 処理前重量
W2 処理後重量(処理後の総重量)
ΔW、ΔW0、ΔW1 めっき層重量(めっき部重量)
α1、α2 閾値
Claims (17)
- 被めっき物にめっき処理を施す少なくとも1つのめっき処理部と、
前記めっき処理が施される前の前記被めっき物の処理前重量と、前記めっき処理が施された後の前記被めっき物の処理後重量とを計量する計量部と、
前記処理前重量と前記処理後重量との差を、前記めっき処理により前記被めっき物に付着しためっき部のめっき部重量とみなし、該めっき部重量が所定の閾値の範囲内であるか否かを判断する判断部とを備えることを特徴とするめっき装置。 - 前記めっき部重量が前記閾値の範囲内である場合には、前記めっき処理の条件は、正常であると判断する請求項1に記載のめっき装置。
- 前記めっき部重量が前記閾値の範囲から外れた場合には、前記めっき処理の条件を変更する請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記めっき処理は、電解めっきであり、
前記めっき処理の条件を変更するに際し、通電時間および電流値のうちの少なくとも一方を調整する調整部を備える請求項3に記載のめっき装置。 - 前記調整部は、前記めっき部重量と前記通電時間との関係を示す検量線に基づいて、前記通電時間を調整する請求項4に記載のめっき装置。
- 前記めっき部重量が前記閾値の範囲内であるか否かの判断に用いられた前記被めっき物の後に前記めっき処理が施される前記被めっき物は、変更された前記めっき処理の条件下で前記めっき処理が施される請求項3ないし5のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記判断部による判断結果を報知する報知部を備える請求項1ないし6のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記めっき処理部と前記計量部との間を、前記被めっき物を搬送する搬送部を備える請求項1ないし7のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記めっき処理部は、複数配置されている請求項8に記載のめっき装置。
- 前記複数のめっき処理部は、前記搬送部を囲むように配置されている請求項9に記載のめっき装置。
- 前記めっき処理部ごとに前記めっき部重量が前記閾値の範囲から外れた場合には、前記めっき処理部ごとに前記めっき処理の条件を変更する請求項9または10に記載のめっき装置。
- 前記計量部は、質量比較器で構成されている請求項1ないし11のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記めっき処理が施される前の前記被めっき物に対して前処理を施す前処理部を備え、
前記計量部は、前記前処理が施される前の前記被めっき物の重量を前記処理前重量として計量する請求項1ないし12のいずれか1項に記載のめっき装置。 - 前記前処理は、前記被めっき物に対して液体を付与する処理である請求項13に記載のめっき装置。
- 前記めっき処理が施された後の前記被めっき物に対して後処理を施す後処理部を備え、
前記計量部は、前記後処理が施された後の前記被めっき物の重量を前記処理後重量として計量する請求項1ないし14のいずれか1項に記載のめっき装置。 - 前記後処理は、前記被めっき物を洗浄して、乾燥する処理である請求項15に記載のめっき装置。
- 被めっき物にめっき処理を施すめっき処理工程と、
前記めっき処理が施される前の前記被めっき物の処理前重量と、前記めっき処理が施された後の前記被めっき物の処理後重量とを計量する計量工程と、
前記処理前重量と前記処理後重量との差を、前記めっき処理により前記被めっき物に付着しためっき部のめっき部重量とみなし、該めっき部重量が所定の閾値の範囲内であるか否かを判断する判断工程とを有することを特徴とするめっき方法。
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KR20220068923A (ko) | 2020-11-19 | 2022-05-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
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