JP2018187678A5

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Publication number: JP2018187678A5
Application number: JP2018082911A
Authority: JP
Filing date: 2018-04-24
Publication date: 2021-03-04
Anticipated expiration: 2038-04-24

Claims

制御ユニット（３０）と、レーザアブレーション装置（１０）と、気体供給部（４０）とを有するレーザ加工システム（１）であって、前記レーザアブレーション装置（１０）が、レーザビーム（１４）を生成するためのレーザ（１２）と、該レーザ（１２）のレーザビーム（１４）を加工されるべきワークピース（２２）の表面（２０）へ向けるためのリダイレクト装置（１８）を含むレーザヘッド（１６）とを含んでおり、前記ワークピース（２２）が作業チャンバ（２８）内に配置された収容装置（２６）に配置されており、前記レーザヘッド（１６）と前記ワークピース（２２）の間の相対移動のために位置決め装置（３２）が設けられており、前記作業チャンバ（２８）が、気体のための少なくとも１つの入口（４６）及び少なくとも１つの出口（４８）を含んでいる、前記レーザ加工システムにおいて、
前記気体供給部（４０）が、前記作業チャンバ（２８）内での気体の流れを供給するように構成されており、前記気体の流れ（４４）の温度を調整するために温度システム（１１）が設けられており、前記温度システム（１１）が、前記気体の流れの温度を調整するための少なくとも１つの装置と、前記ワークピース（２２）の熱的な値及び／又は前記作業チャンバ（２８）における気体の熱的な値を特定するように構成された少なくとも１つの温度センサ（８４，８６）とを含んでおり、これら熱的な値が、入ってくる気体の流れの温度を調整するために前記制御ユニット（３０）によって用いられることを特徴とするレーザ加工システム。
前記気体が周囲からの空気であることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工システム（１）。
前記気体供給部（４０）は、入ってくる前記気体の流れ（４４）がポンプ及び少なくとも１つの出口（４８）を用いて前記作業チャンバへ圧縮又は吸引されるように、気体供給構造部（４１）及び気体排出構造部（４２）を含んでいることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ加工システム（１）。
前記気体供給部（４０）が前記制御ユニット（３０）によって制御されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
前記少なくとも１つの装置が熱交換器（８０）として構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
前記温度システム（１１）の前記少なくとも１つの温度センサ（８４，８６）が、前記ワークピース（２２）の熱的な値を設定するために構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
前記温度システム（１１）の前記少なくとも１つの温度センサ（８４，８６）が、前記作業チャンバ（２８）における気体の熱的な値を設定するために構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
前記温度センサ（８４，８６）によって設定された温度が、入ってくる前記気体の流れ（４４）の温度をあらかじめ設定された値へ調整するように前記熱交換器（８０）を制御するために前記制御ユニット（３０）によって用いられることを特徴とする請求項６又は７に記載のレーザ加工システム（１）。
入ってくる前記気体の流れ（４４）が、前記作業チャンバ（２８）へ入る前に、フィルタ手段を通過することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
アブレーションデブリが部分的に収集されるようにトレイ（８８）が配置されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
フィルタ手段が、アブレーションデブリを吸収するように適合された前記気体排出構造部（４２）に配置されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
前記作業チャンバ（２８）が二重壁によって限定されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のレーザ加工システム（１）。
前記作業チャンバ（２８）の前記二重壁が断熱材料で満たされた隙間を提供することを特徴とする請求項１２に記載のレーザ加工システム（１）。