JP2018182300A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7204464B2 (ja) 2018-12-12 2023-01-16 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置および物品製造方法
JP7194010B2 (ja) * 2018-12-20 2022-12-21 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP7179655B2 (ja) * 2019-03-14 2022-11-29 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP7337670B2 (ja) * 2019-11-15 2023-09-04 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法
JP7407579B2 (ja) * 2019-12-04 2024-01-04 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP7431659B2 (ja) 2020-05-01 2024-02-15 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置および物品製造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4827513B2 (ja) * 2005-12-09 2011-11-30 キヤノン株式会社 加工方法
US7978308B2 (en) * 2006-05-15 2011-07-12 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
US8345242B2 (en) * 2008-10-28 2013-01-01 Molecular Imprints, Inc. Optical system for use in stage control
JP6045363B2 (ja) * 2012-01-27 2016-12-14 キヤノン株式会社 インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
JP6418773B2 (ja) * 2013-05-14 2018-11-07 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
JP6362399B2 (ja) * 2013-05-30 2018-07-25 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
JP6306830B2 (ja) * 2013-06-26 2018-04-04 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP6294680B2 (ja) * 2014-01-24 2018-03-14 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP6526695B6 (ja) * 2014-03-10 2019-06-26 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated 多重荷電粒子ビームリソグラフィのためのピクセルブレンディング
JP6282298B2 (ja) * 2015-06-10 2018-02-21 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法

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