JP7431659B2 - インプリント方法、インプリント装置および物品製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (18)
- 型を用いて基板のショット領域の上のインプリント材を成形するインプリント方法であって、
前記インプリント材と前記型のパターン領域とが接触した状態で前記ショット領域と前記型とのアライメントを行うアライメント工程と、
前記アライメント工程の後に、前記インプリント材に硬化光を照射することによって前記インプリント材を硬化させる硬化工程と、を含み、
前記アライメント工程は、前記ショット領域を変形させるための変形光が前記インプリント材を通して前記基板に照射される期間と前記インプリント材の粘度を高めるための重合光が前記インプリント材に照射される期間とが互いに重複する重複期間を含むように制御され、
前記インプリント材に照射される前記重合光の光量は、前記重複期間に前記インプリント材に照射される前記変形光の光量に応じて制御される、
ことを特徴とするインプリント方法。 - 前記重合光と前記変形光とは波長帯域が互いに異なる、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。 - 前記インプリント材の粘度は、前記変形光および前記重合光の双方が前記インプリント材に照射された場合、前記変形光および前記重合光のうち前記変形光のみが前記インプリント材に照射された場合よりも高くなる、
ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント方法。 - 前記変形光は、前記変形光および前記重合光のうち前記変形光のみが前記インプリント材に照射された場合において、前記インプリント材に光重合反応を起こさせない波長帯域を有する、
ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント方法。 - 前記基板に対する前記変形光の照射を制御するための変形制御情報を生成する第1生成工程と、
前記変形制御情報に基づいて、前記インプリント材に対する前記重合光の照射を制御するための重合制御情報を生成する第2生成工程と、
を更に含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記第2生成工程では、前記インプリント材に対する前記重合光の照射によって前記インプリント材の粘度が目標粘度に達するように、前記変形制御情報に基づいて前記重合制御情報を生成する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント方法。 - 前記重複期間に前記インプリント材に照射される前記重合光の照度は、前記変形制御情報に従う、
ことを特徴とする請求項5又は6に記載のインプリント方法。 - 前記重複期間は、前記変形制御情報に従う、
ことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記第2生成工程では、前記重複期間に前記ショット領域に照射される前記変形光の光量を前記ショット領域において平均した値に基づいて前記重合制御情報を生成することを特徴とする請求項5に記載のインプリント方法。
- 前記変形制御情報は、前記変形光の照度分布、照射面積および照射時間の少なくとも1つを示す情報を含む、
ことを特徴とする請求項5乃至8のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記変形制御情報は、前記ショット領域と前記パターン領域とのアライメント誤差が目標精度に収まるように前記ショット領域の形状を制御するための情報であり、
前記重合制御情報は、前記インプリント材の粘度が目標粘度に達するように前記重合光の照射を制御する情報である、
ことを特徴とする請求項5乃至10のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 型を用いて基板のショット領域の上のインプリント材を成形するインプリント方法であって、
前記インプリント材と前記型のパターン領域とが接触した状態で前記ショット領域と前記型とのアライメントを行うアライメント工程と、
前記アライメント工程の後に、前記インプリント材に硬化光を照射することによって前記インプリント材を硬化させる硬化工程と、を含み、
前記アライメント工程は、前記ショット領域を変形させるための変形光が前記インプリント材を通して前記基板に照射される期間と前記インプリント材の粘度を高めるための重合光が前記インプリント材に照射される期間とが互いに重複する重複期間を含むように制御され、
前記インプリント材に照射される前記重合光は、前記重複期間に前記インプリント材に照射される前記変形光に応じて制御され、
前記インプリント方法は、
前記基板に対する前記変形光の照射を制御するための変形制御情報を生成する第1生成工程と、
前記変形制御情報に基づいて、前記インプリント材に対する前記重合光の照射を制御するための重合制御情報を生成する第2生成工程と、を更に含み、
前記第2生成工程では、前記重複期間に前記ショット領域に照射される前記変形光の光量を前記ショット領域において平均した値に基づいて前記重合制御情報を生成する、
ことを特徴とするインプリント方法。 - 基板のショット領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させ、前記ショット領域と前記パターン領域とのアライメントを行い、前記インプリント材に硬化光を照射することによって前記インプリント材を硬化させるインプリント装置であって、
前記アライメントにおいて、前記ショット領域を変形させるための変形光が前記インプリント材を通して前記基板に照射される期間と前記インプリント材の粘度を高めるための重合光が前記インプリント材に照射される期間とが互いに重複する重複期間を含むように、前記基板に対する前記変形光の照射および前記インプリント材に対する前記重合光の照射を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記重複期間に前記インプリント材に照射される前記変形光の光量に応じて前記インプリント材に対する前記重合光の光量の照射を制御する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記重合光と前記変形光とは波長帯域が互いに異なる、
ことを特徴とする請求項13に記載のインプリント装置。 - 前記インプリント材の粘度は、前記変形光および前記重合光の双方が前記インプリント材に照射された場合、前記変形光および前記重合光のうち前記変形光のみが前記インプリント材に照射された場合よりも高くなる、
ことを特徴とする請求項14に記載のインプリント装置。 - 前記変形光は、前記変形光および前記重合光のうち前記変形光のみが前記インプリント材に照射された場合において、前記インプリント材に光重合反応を起こさせない波長帯域を有する、
ことを特徴とする請求項15に記載のインプリント装置。 - 基板のショット領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させ、前記ショット領域と前記パターン領域とのアライメントを行い、前記インプリント材に硬化光を照射することによって前記インプリント材を硬化させるインプリント装置であって、
前記アライメントにおいて、前記ショット領域を変形させるための変形光が前記インプリント材を通して前記基板に照射される期間と前記インプリント材の粘度を高めるための重合光が前記インプリント材に照射される期間とが互いに重複する重複期間を含むように、前記基板に対する前記変形光の照射および前記インプリント材に対する前記重合光の照射を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記重複期間に前記インプリント材に照射される前記変形光に応じて前記インプリント材に対する前記重合光の照射を制御し、
前記制御部は、
前記基板に対する前記変形光の照射を制御するための変形制御情報を生成する第1生成手段と、
前記変形制御情報に基づいて、前記インプリント材に対する前記重合光の照射を制御するための重合制御情報を生成する第2生成手段と、を含み、
前記第2生成手段では、前記重複期間に前記ショット領域に照射される前記変形光の光量を前記ショット領域において平均した値に基づいて前記重合制御情報を生成する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 請求項1乃至12のいずれか1項に記載のインプリント方法に従って基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程において前記パターンが形成された基板の加工を行う工程と、
を含み、前記加工が行われた前記基板から物品を得ることを特徴とする物品製造方法。
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