JP2018171698A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7235587B2 (ja) * 2019-05-14 2023-03-08 株式会社ディスコ 荷重センサの電圧調整方法
JP7278153B2 (ja) * 2019-06-04 2023-05-19 東京エレクトロン株式会社 基板加工装置、および基板加工方法
CN111922880A (zh) * 2020-09-09 2020-11-13 昆山欣建群精密工业有限公司 一种零件加工用抛光装置
CN112720246A (zh) * 2020-12-29 2021-04-30 安徽省旌德旌峰机械制造有限公司 一种基于气动控制机械加工用研磨设备
CN113488428A (zh) * 2021-06-04 2021-10-08 拓荆科技股份有限公司 一种晶圆载台垂直和水平位置的调节装置及其调节方法
JP2023127044A (ja) * 2022-03-01 2023-09-13 株式会社荏原製作所 研磨ヘッドおよび研磨装置
CN115502854A (zh) * 2022-09-14 2022-12-23 舟山中远海运重工有限公司 一种高压弥雾船舶除锈设备
KR20250116063A (ko) * 2022-12-02 2025-07-31 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 처리 방법, 처리 헤드 및 기판 처리 장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3166146B2 (ja) * 1995-05-26 2001-05-14 株式会社東京精密 表面研削方法及びその装置
JP2005022059A (ja) 2003-07-02 2005-01-27 Ebara Corp 研削盤及び研削方法
JP2009119537A (ja) * 2007-11-12 2009-06-04 Toshiba Corp 基板処理方法及び基板処理装置
JP5268599B2 (ja) 2008-12-03 2013-08-21 株式会社ディスコ 研削装置および研削方法
US10702972B2 (en) * 2012-05-31 2020-07-07 Ebara Corporation Polishing apparatus
JP2016046341A (ja) * 2014-08-21 2016-04-04 株式会社荏原製作所 研磨方法
JP6344950B2 (ja) 2014-03-31 2018-06-20 株式会社荏原製作所 研磨装置及び研磨方法

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