JP2018169591A - 光変調素子 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、この電極はポーリング処理の電圧印加に用いることもできる。また、光変調素子の高周波電極として用いることも出来る。
まず、下部クラッド層13をドライエッチングなどにより加工し、光導波路120のリッジ部となるトレンチ13aを形成する。次いで、トレンチ13aが形成された下部クラッド層13上に、コア層を積層することで基板面に向けて凸型形状を有する逆リッジ型の光導波路120が形成される。さらに、必要に応じて、コア層14より屈折率が低い材料を上部クラッド層15として積層してもよい。
また、光変調素子1の通常の動作環境温度の下限温度である「−10℃」と、コア層14の形成材料である電気光学効果を有する樹脂材料のガラス転移温度との差の絶対値を「ΔT」(単位:℃)とする。
(光変調素子の作製)
(ステップS1)
厚さ0.5mmのシリコンウエハを基板として用い、基板上に、接地電極を形成後、ポリメチルメタクリレートのメチルエチルケトン溶液をスピンコートして成膜した。次いで、80℃の減圧乾燥機にて1時間乾燥させ、下部クラッド層を形成した。下部クラッド層の厚みは5μmであった。
次いで、Disperse Red1(DR−1、有機EO分子)およびポリメチルメタクリレート(Tg:110℃、線膨張係数:7.0×10−5)のメチルエチルケトン溶液をスピンコートして成膜した。次いで、80℃の減圧乾燥機にて1時間乾燥させ、トレンチを有する下部クラッド層の表面に、コア層を形成した。形成されたコア層の厚みは3μmであった。
次いで、コア層の表面に、下部クラッド層と同様の方法で上部クラッド層を形成した。上部クラッド層の厚みは5μmであった。
その後、上部クラッド層の表面に、信号電極を形成した。
次いで、得られた積層体から、ダイサーを用いて5mm×30mmの短冊状のチップを切り出した。
次いで、チップの長手方向の両末端に、接着剤を塗布し、5mm×5mm×0.5mmの補助部材を仮固定した後、チップおよび補助部材と共に接着剤を加熱して硬化させ、チップと補助部材とを接着した。
次いで、補助部材を設けたチップを110℃に加熱した状態で、コア層14に対して50V/μmの電圧強度になるようにチップに電圧印加を行い、電圧印加したままチップを25℃まで冷却してポーリング処理を実施した。工程において110℃で加熱していた時間は30分間だった。加熱温度である「110℃」は、コア層の形成材料であるPMMAのガラス転移温度に相当する。
次いで、補助部材を設けたチップを、チップの長手方向両末端からそれぞれ4mmの位置にてダイサーで精密切断し、長手方向の端面が面一となるように加工した。これにより、5mm×26mmの短冊状の光変調素子を得た。
353ND(エポテック社製、エポキシ系接着剤)
3915P(NTT−AT社製、アクリル系接着剤)
14SI−3(NTT−AT社製、エポキシ系接着剤)
IL(dB)=10Log10(P2/P1) …(I)
コア層の形成材料としてポリカーボネート(Tg:145℃、線膨張係数:6.65×10−5/℃)を用いたこと、ステップS6における加熱温度をポリカーボネートのガラス転移温度に相当する145℃としたこと以外は水準1と同様にして、光変調素子を作製した。
コア層の形成材料としてポリイミド(Tg:274℃、線膨張係数:3.00×10−5/℃)を用いたこと、ステップS6における加熱温度をポリイミドのガラス転移温度に相当する274℃としたこと以外は水準1と同様にして、光変調素子を作製した。
なお、比較例3−1については、光挿入損失の測定自体ができなかった。
Claims (2)
- 基板と、
前記基板の表面に設けられ、内部に光導波路を有する構造体層と、
前記構造体層の表面に設けられた補助部材と、
前記構造体層と前記補助部材とを接着する接着剤層と、を有する光変調素子であって、
前記構造体層は、電気光学効果を有する樹脂材料を形成材料として含み、
前記樹脂材料の線膨張係数と、前記接着剤層の形成材料の線膨張係数との差の絶対値をΔCとし、
前記光変調素子の通常の動作環境温度の下限温度である−10℃と、前記樹脂材料のガラス転移温度との差の絶対値をΔTとしたとき、
ΔCとΔTとの積が0以上6.5×10−3以下である光変調素子。 - 前記構造体層は、前記樹脂材料を形成材料とするコア層と、
前記コア層と前記基板との間に設けられたクラッド層とを有し、
前記樹脂材料は、高分子材料と、
電気光学効果を発現する有機化合物と、を含み、
前記光導波路は、前記コア層に設けられている請求項1に記載の光変調素子。
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