JP2018169575A - ペリクル用緩衝材、及び梱包体 - Google Patents

Abstract

【課題】長期保管後にペリクル用緩衝材を使用してペリクルケースを輸送した場合や、繰り返しペリクル用緩衝材を使用してペリクルケースを輸送した場合でも、ペリクルに対する異物の付着を効果的に抑制でき、かつ繰り返し使用できるペリクル用緩衝材を提供する。【解決手段】ペリクル９を載置したペリクルケース４が収納された梱包箱６の中に、前記ペリクルケース４が上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材１であって、前記ペリクル用緩衝材１に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ2で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、（（Ａ−Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係となる、ペリクル用緩衝材。【選択図】図１

Description

本発明は、ペリクル用緩衝材、及び梱包体に関する。

従来から、ペリクルを収納、保管、輸送する際には、所定の梱包体が用いられている。
半導体装置や液晶ディスプレイ等の回路パターン製造時のリソグラフィー工程においては、フォトマスクあるいはレティクル等の露光用基盤への異物除けの目的で、一般にペリクルと呼ばれる防塵フィルムを貼付する方法が用いられている。
このペリクルは、露光用基盤の形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体、又はフッ素ポリマー等よりなる透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）が展張して接着されており、かつ前記枠体の下縁面に粘着剤が塗着されていると共に、この粘着剤上に所定の接着力で、ライナーと呼ばれる保護フィルムが粘着された構成を有している。また、最近は、ライナーを具備しないライナーレスタイプのペリクルも知られている。
前記粘着剤は、ペリクルを露光用基盤に固着するためのものであり、露光用基盤にペリクルを固着させた際に微細な空洞が生じることが無いように、ミクロンオーダーの平坦性の精度が求められる。また、前記ライナーは前記粘着剤がその用に供するまで粘着剤の接着力を維持するために、粘着剤の接着面を保護するものである。

上述したようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するペリクルメーカーと、ペリクルをフォトマスク等に貼付するマスク等のメーカーとが、地理的に離れている場合が多く、ペリクルメーカーからマスク等のメーカーへの運搬作業が必須となっている。そのため、ペリクルの運搬作業においては、ペリクル膜等に異物が付着することを防止したり、ペリクルが損傷したりすることを防止するため、ペリクルを一個ずつ、トレイとフタからなる専用のペリクルケースに収納し、当該ペリクルケースを複数個重ね、その後、エアークッション等の所定の緩衝材を具備する梱包箱に梱包することが一般的に行われている（例えば、特許文献１参照）。
特に、大型ペリクル用のペリクルケースを梱包箱に梱包する際に用いる緩衝材としては、前記ペリクルケースとの接触面積を規定して緩衝能力を高めた緩衝材も提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。

特開平１０−３０５８１４号公報 特開２００８−１００７３３号公報 特開２０１０−６４７８０号公報

上述したように、従来技術においては、特に大型のペリクルケースは面積も大きく重量が大きいこと、輸送や保管の際に経時でペリクルケースの重量が緩衝材に加わること、さらには、緩衝材を繰り返し使用することは想定されていないことから、もっぱら、新品で緩衝能力が高い緩衝材を求めている。
また、従来においては、輸送中に発生する、悪路や荷運び中での強い衝撃等に起因する、比較的大きな振動を抑制する機能の高い緩衝材を得ることに注力されている。

しかしながら、従来技術においては、繰り返し緩衝材を使用した場合、大きな振動のみならず、比較的小さい振動がペリクルケースに加わった場合にも異物が発生し、これが輸送対象に付着してしまうおそれがあることについては、十分な検討がなされていないという問題を有している。

そこで本発明においては、上述した従来技術の問題点に鑑み、ペリクルを収納したペリクルケースを収納する梱包箱に配置する緩衝材に関して検討を行い、重量の大きい大型のペリクルケースを輸送する際や、長期保管した後に輸送する際にも異物が付着せず、かつ繰り返し使用しても異物の付着が効果的に低減できるペリクル用緩衝材を提供することを目的とする。

本発明者らは、上述した課題を解決するために鋭意検討した結果、ペリクルとペリクルケースに、ある特定の振動周波数が加わると、外的に加わる振動以上のストレスが発生することを発見した。
すなわち、所定の圧力で所定の期間加圧した時の、所定の振動周波数におけるペリクルケースとペリクルとの加速度差を所定の値以下に制御することにより、ライナーの脱落や、ライナーとトレイとの摩擦、ペリクルフレームとトレイとの摩擦による異物の発生、及び付着を効果的に防止し得ることを見出し、本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明は、下記のとおりである。

〔１〕
ペリクルを載置したペリクルケースが収納された梱包箱の中に、前記ペリクルケースが上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材であって、
前記ペリクル用緩衝材に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ²で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、
（（Ａ−Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係となる、
ペリクル用緩衝材。
〔２〕
前記ペリクル緩衝材が、少なくとも２重の構造体を含む、前記〔１〕に記載のペリクル用緩衝材。
〔３〕
前記ペリクル用緩衝材のうちの少なくとも一つの構造体が、反発弾性が６０％以下の構造体である、前記〔２〕に記載のペリクル用緩衝材。
〔４〕
前記反発弾性が６０％以下の構造体が、
防振ゴム系、金属バネ系、及び空気バネ系からなる群より選ばれるいずれかの構造体である、前記〔３〕に記載のペリクル用緩衝材。
〔５〕
前記反発弾性が６０％以下の構造体が、前記梱包箱の底面に接している、前記〔３〕又は〔４〕に記載のペリクル用緩衝材。
〔６〕
前記反発弾性が６０％以下の構造体以外の、他の構造体が、
発泡ポリエチレン、又は発泡スチロールである、前記〔３〕乃至〔５〕のいずれか一項に記載のペリクル用緩衝材。
〔７〕
前記〔１〕乃至〔６〕のいずれか一項に記載のペリクル用緩衝材によりペリクルを収納したペリクルケースを梱包箱内に水平に保持して収納してなる梱包体であって、
前記梱包箱の内側底面に、前記ペリクル用緩衝材が分散配置されており、
単数又は複数の前記ペリクルケースが、梱包箱内の最も下に位置するペリクルケースの底面積の２．０％以上３０．０％未満に該当する合計上面面積を有するペリクル用緩衝材の上面で支えられている、梱包体。

本発明によれば、長期保管後にペリクル用緩衝材を使用してペリクルケースを輸送した場合や、繰り返しペリクル用緩衝材を使用してペリクルケースを輸送した場合でも、ペリクルに対する異物の付着を効果的に抑制でき、かつ繰り返し使用できるペリクル用緩衝材を提供できる。

ペリクルを収納したペリクルケースを梱包箱に収納した状態の概略断面図を示す。 （ａ）〜（ｄ） ペリクル用緩衝材の配置の例を示す、梱包箱内部底部の模式的な平面図を示す。 振動周波数と加速度の測定試験の概略図を示す。 ペリクル及びペリクルケースの加速度測定位置を示す。

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」と記載する。）について詳細に説明するが、本発明は、下記の実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。

〔ペリクル用緩衝材〕
本実施形態のペリクル用緩衝材は、
ペリクルを載置したペリクルケースが収納された梱包箱の中に、前記ペリクルケースが上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材であって、
前記ペリクル用緩衝材に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ²で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、
（（Ａ−Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係を満たす、ペリクル用緩衝材である。

以下、本実施形態のペリクル用緩衝材について、図面を用いて説明する。
図１は大型のペリクルを収納した梱包体の一例を示す模式的な断面図である。
また、図２（ａ）〜（ｄ）は、ペリクル用緩衝材の配置の例を示す梱包箱の内側底面の平面図である。
ここで大型のペリクルとは、ペリクル膜の面積が１０００ｃｍ²以上５００００ｃｍ²以下であるものを言う。

図１に示すように、梱包体Ａは、ペリクルフレーム１０の一端面にペリクル膜が接着されているペリクル９を収納した、蓋４ａ及びトレイ４ｂからなるペリクルケース４と、当該ペリクルケース４を支持する、ペリクル用緩衝材１とを梱包箱６内に収納した構成を有している。
ここで梱包箱６に収納するペリクルケース４は、単数であっても複数であってもよいが、大型のペリクルケースの場合は、大きさと重量の関係から最大３枚までを一つの梱包箱６に収納させることが好ましい。
図１においては、下段保持部材２及び上段保持部材３により、各々ペリクルケース４が収納された２段構成となっており、天板５によって保持された状態で梱包箱６に収納された梱包体Ａが２段積み重ねられ、パレット８に載置され、輸送用天板７によって保持された構成となっている。

ペリクル用緩衝材１は、２重以上の構造体からなることが好ましく、図１においては、一例として、上部構造体１ｂと下部構造体１ａからなる２重構造を示しているが、本実施形態は、かかる構成に限定されるものではなく、単層構造であってもよく、また、３重以上の構造であってもよい。

本実施形態のペリクル用緩衝材は、図１に示すような構成で０．０６ｋｇ／ｃｍ²で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、（（Ａ−Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）である機能を有している。好ましくは２０％以下、より好ましくは１５％以下である。
従来は輸送や保管中の大きな振動だけに注力して、緩衝材の緩衝能力を高めていたが、実際の輸送には、振動は大きくない場合でも、ペリクルとペリクルケースに、ある特定の振動周波数が加わると、ペリクルが激しく動き、外的に加わっている振動以上のストレスが発生する。
特に、長期的に使用された後に輸送を行った場合、特定の振動周波数が加わると、ペリクルが新品のペリクルと比較して激しく動き、大きなストレスがペリクルに加わり、ペリクルとペリクルケースとの間に摩擦が発生し、ライナーの脱落や、ライナーとトレイとの摩擦、ペリクルのフレームとトレイとの摩擦により異物が発生する。
本実施形態においては、ペリクルの加速度Ａと、ペリクルケースの加速度Ｂとを、上記式の関係を満たすように特定し、ストレスが若干かかっても、ペリクルとペリクルケースとの間の摩擦の発生を効果的に抑制し、上述した異物等の発生を防止できる。

上述したように、ペリクルの加速度Ａと、ペリクルケースの加速度Ｂとを、（（Ａ−Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）に制御するためには、ペリクルケースに対する圧縮率が小さい緩衝材を使用したり、経日的に劣化の少ない緩衝材を使用したり、ペリクルケースを今よりも柔軟な素材にしたり、ペリクルとペリクルケースとの間に隙間を設けるような設計にしたりすることが有効である。

図１に示すように、本実施形態のペリクル用緩衝材１は、梱包箱６の中に、ペリクルケース４が上部に載置された状態で配置されるものである。
ペリクル用緩衝材１は、図２（ａ）〜（ｄ）に示すように、梱包箱６の内側底面に分散配置することが好ましい。
ここで、分散配置されたペリクル用緩衝材１は、個々に独立したものであることが好ましいが、少なくとも上面が独立していれば、下部において互いに連結していてもよい。独立している場合には、ペリクル用緩衝材１の占有体積を小さくでき、連結している場合には梱包箱６へのペリクル用緩衝材１の配置が容易になる。

ペリクル用緩衝材１の配置数と形状は、外部からの衝撃が無い時は、ペリクルケース４を平坦に保つことが可能な程度に適宜選択する。すなわち、梱包箱６の側面に沿って、ペリクルケース４の底面積の２．０％〜３０．０％となる合計上面面積を有する範囲で、複数のペリクル用緩衝材１を対称的に配置することが好ましい。
ペリクル用緩衝材１をこのように配置することにより、特に下方から梱包体Ａに強い衝撃が加わった場合においても、ペリクルケース４に梱包箱６が直接接触することを防止できるため、膜あたりが回避できる。
また、ペリクル用緩衝材１の形状は、荷重によりペリクルケースとの接触面積が大きく変化しない形状が好ましく、例えば直方体が好ましい。

本実施形態のペリクル用緩衝材１の形状、及び梱包箱６中における配置の具体例としては、図２（ａ）に示すように直方体形状のペリクル用緩衝材を梱包箱の内側底面の６カ所に配置する形態、図２（ｂ）に示すように直方体形状のペリクル用緩衝材を梱包梱の内側底面の６か所に配置する形態、図２（ｃ）に示すように、矩形断面のペリクル用緩衝材１を梱包箱内側底面の４か所に配置する形態、図２（ｄ）に示すように梱包箱の内側底面の短辺両側に、ペリクル用緩衝材１を各々平行２列に配置する形態が挙げられる。

ペリクルケース４を支持するペリクル用緩衝材１の上面の面積の合計は、梱包箱６内で、最も下に位置するペリクルケース４の底面積の２．０％以上３０．０％未満であることが好ましい。さらには、２．５％以上２５．０％未満であることがより好ましく、３．０％以上２０．０％未満がさらに好ましい。
また、本実施形態のペリクル用緩衝材１は、直接ペリクルケース４に接していてもよいし、後述する保持部材のようにペリクルケース４を固定するために使用する所定の部材を、ペリクルケース４とペリクル用緩衝材１の間に配置してもよい。
また、梱包箱６底面とペリクル用緩衝材１との間に、ペリクル用緩衝材１と接着力が良好な部材や底面を平行にするような部材を配置してもよい。

ペリクルケース４を支持するペリクル用緩衝材１の上面の面積の合計が、梱包箱６内で、最も下に位置するペリクルケース４の底面積に対して２．０％よりも少ない場合は、静置時に収納容器を十分に支持できないため平坦性が悪くなり、発塵のおそれがある。
一方において、３０．０％以上である場合は、逆に緩衝能力が悪くなり、外側からの衝撃を受けやすくなるため好ましくない。また、梱包箱６は段ボールのような素材で作られていることが一般的なため、フォークリフトの刺し傷や輸送中の強い衝撃に対して変形しやすいという問題がある。そのため、梱包箱６が変形した場合に、ペリクル用緩衝材１が衝撃を伝える媒体となってペリクルケース４に衝撃が伝わり、結果的に汚染や膜あたり等が生じるおそれがある。

本実施形態のペリクル用緩衝材１は、高さが５０〜５００ｍｍであることが好ましく、８０〜４００ｍｍがより好ましく、１００〜２５０ｍｍがさらに好ましい。
本実施形態のペリクル用緩衝材１の高さが５００ｍｍ以下であれば、無駄なスペースが少なく、５０ｍｍ以上であれば落下衝撃によって梱包体Ａの底面が衝撃を受けても、ペリクルケース４内のペリクル９が受ける影響を効果的に少なくできる。
従って、梱包体Ａの質量増に応じて、ペリクル用緩衝材１の高さを適宜設計することが好ましい。
上述したように、合計上面面積以外のペリクル用緩衝材１の形状、配置については、収納するペリクルケース４の質量に対して、上述した点を考慮して、所望の緩衝効果が得られるように適宜決定する。

本実施形態のペリクル用緩衝材１は、少なくとも２重の構造体を含むことが好ましい。
ペリクル用緩衝材１が、２重の構造体を含む場合、そのうちの少なくとも１つの構造体が、反発弾性が６０％以下の構造体であることが好ましい。
前記反発弾性は５８％以下であることがより好ましく、５５％以下であることがさらに好ましい。
反発弾性が前記数値範囲内にあることにより、長期間保管、使用しても、輸送中の特定の振動周波数によるそれぞれの振動を抑える効果を発揮できる。
また、長期保管後の輸送中でも、劣化なく振動を抑える効果を発揮でき、好ましい。

前記反発弾性が６０％以下の構造体は、例えば、防振ゴム系、樹脂発泡体系、金属バネ系、空気バネ系の緩衝材であることが好ましいが、より好ましくは、防振性のゴムスポンジやポリウレタン発泡体である。特に繰り返し使用する耐久性に優れるポリウレタン発泡体がさらに好ましい。

また、梱包箱６の底面に接する面には、前記反発弾性が６０％以下の構造体が接していることが好ましい。これによりペリクルケース４全体の振動を抑制することができる。
また、本実施形態のペリクル用緩衝材が２重の構造体を含む場合、当該２重構造の比率は、ペリクルケースの重量と面積の観点、及び、ペリクルケースと梱包箱底面に空間を設けて膜あたりを抑制したいという観点から、ペリクル用緩衝材１の高さ全体に対して、前記反発弾性が６０％以下の構造体が、２５％以下であることが好ましい。より好ましくは２０％以下、さらに好ましくは１５％以下である。

２重の構造体のうちの反発弾性が６０％以下の構造体以外の、他の構造体は、強い衝撃から抑制できる材料により形成されていることが好ましい。さらに、長期間保管を行った場合に、重量が大きいペリクルケースを保持した場合であっても、高さの変位を抑制することもでき、好ましい。
また、フォークリフト等で底面が突き上げられたときに、フォークリフトの爪がペリクルケース４に当たる確率が低くし、かつ輸送中のトラブルを少なくする観点から、ペリクルケース４と梱包箱６の底面との間に空間が設け、ペリクルケース４と梱包箱６の底面からの距離を保つことが好ましい。
２重の構造体のうちの反発弾性が６０％以下の構造体以外の他の構造体としては、以下に限定されるものではないが、例えば、フロー成形品の中空構造体、発泡ポリエチレン、発泡スチロール、段ボール、紙類で作製した構成体等を挙げられ、特に、適度な剛性と軽量性の観点から、発泡ポリエチレン、発泡スチロール、中空構造体が好ましい。

〔梱包体〕
本実施形態の梱包体は、上述した本実施形態のペリクル用緩衝材により、ペリクルを収納したペリクルケースを梱包箱内に水平に保持して収納してなるものであり、前記梱包箱の内側底面には、前記ペリクル用緩衝材が分散配置されており、単数又は複数の前記ペリクルケースが、梱包箱の最も下に位置するペリクルケースの底面積の２．０％以上３０．０％未満に該当する合計上面面積を有するペリクル用緩衝材の上面で支えられている構成を有している。
図１を用いて、本実施形態の梱包体Ａについて説明する。
図１に示す態様においては、梱包体Ａは、ペリクルケース４を１つずつ保持する下段保持部材２及び上段保持部材３と、上段保持部材３の上部に蓋をする天板５と、前記ペリクル用緩衝材１とを梱包箱６に収納してなるものである。
梱包体Ａにおいては、前記保持部材２、３を利用してペリクルケース４を複数重ねることができるが、重ねる段数は１段又は２段とすることが好ましい。
前記保持部材２、３は、ペリクルケース４の上下のスペースを調整する役割に加えて、ペリクルケース４の水平方向の位置を規制する役割も有している。さらに、梱包体Ａを複数本の結束バンド（図示しない）で強固に締結してもよい。

また、梱包体Ａは複数重ねて運送できるが、持ち運び易さや安定性から１箱又は２箱とすることが好ましい。
梱包体Ａを輸送する際には、その上部には輸送用天板７、その下部にはパレット８を配置した梱包パレットとすることが好ましい。そして、輸送用天板７、梱包体Ａ、パレット８の三つは、複数本の結束バンド（図示せず）で強固に締結されることが好ましい。
梱包体Ａはそのまま輸送することもできるが、輸送用天板７とパレット８を兼ね備えたほうがより好ましい。その場合、角あてを利用すると梱包パレットがより強固になる。

輸送用天板７、梱包体Ａ、パレット８（支持脚は除く）は、十分な強度を持つ材質で構成されることが好ましく、プラスチック段ボール、紙段ボール、強化段ボール、多層段ボール、ハニカム構造を有する板状材料、合成樹脂、合成樹脂の発泡体、金属類等から適宜選択できるが、これに限定されるものではない。また、角あてを利用する場合の材質は特に限定されず、適宜選択することができる。

パレット８の支持脚は、重量を支持できる強度を備え、特に上下の衝撃に対して緩衝効果が高い材質で構成されることが好ましく、発泡性樹脂（例えば、発泡性ポリエチレン、発泡性スチロール等）、プラスチック段ボール、紙段ボール、強化段ボール、多層段ボール、エアークッション、液体ゲル等から適宜選択できるが、これらに限定されるものではない。
形状としては、衝撃に対して潰れやすい方向に穴が貫通していることが好ましく、丸形状、楕円状、三角形状等が好ましいが、穴が貫通していなくても緩衝材となるような構成にしてもよい。
また、支持脚は、パレット８を利用しない場合は、梱包箱６の外側下部面に直接設置してもよい。

輸送用天板７、梱包体Ａ、パレット８を結束する結束バンドは、ポリプロピレン製のものが一般的であるが、各構成部材の重量に応じて適宜選択することが好ましい。

梱包体Ａ内で利用される保持部材２、３について説明する。
保持部材２、３の材質は、発泡性ポリエチレン、発泡性スチロール、発泡性ポリウレタン等、衝撃を吸収する緩衝材で、ペリクルケース４を平坦に保持できる程度の強度を持つ材質であればよい。
また、保持部材２、３は、ペリクルケース４を平坦に保持できる構造であることが好ましいが、ペリクルケース４の側面と底面を覆う凹形状より、ペリクルケースの側面と底面の一部を覆う形状であることが好ましい。より好ましくは、断面がＬ字形状のものである。

また、最下段の下段保持部材２は、ペリクル用緩衝材１の上面、当該ペリクル用緩衝材１が複数の構造体、例えば上部構造体１ｂ及び下部構造体１ａよりなる場合には、上部構造体１ｂに接して載置されていることが好ましい。

最上部の上部保持部材３の蓋となる天板５の材質について説明する。
天板５は、発泡性ポリエチレン、発泡性スチロール、発泡性ポリウレタン等、衝撃を吸収する緩衝材で構成されることが好ましく、上部保持部材３の周縁部に載置することができるように、少なくとも下面がフラットに形成されているものとする。また、天板５とペリクルケース４との間に、発泡性ウレタンやエアークッションのような柔らかい所定の緩衝材を配置して、さらにペリクルケース４に対しする衝撃を抑制する構成としてもよい。このような構成とすることで、梱包体Ａの天面を効果的に保護することができる。

本実施形態の梱包体Ａにおいては、ペリクル用緩衝材１によってペリクルケース９が梱包箱６内に水平に保持されて収納されている。
前記梱包箱６の内側底面には、前記ペリクル用緩衝材が分散配置されている。例えば、図２（ａ）〜（ｄ）に示した配置形態が挙げられる。
また、単数又は複数の前記ペリクルケース４が、梱包箱６の最も下に位置するペリクルケース４の底面積の２．０％以上３０．０％未満に該当する合計上面面積を有するペリクル用緩衝材１の上面で支えられている。
ペリクルケース４を支持するペリクル用緩衝材１の上面の面積の合計が、梱包箱６内で、最も下に位置するペリクルケース４の底面積に対して２．０％以上とすることにより、静置時に収納容器を十分に支持でき、良好な平坦性が得られ、発塵を効果的に防止できる。
また、３０．０％未満とすることにより、優れた緩衝能力を発揮でき、外側からの衝撃を抑制できる。

本実施形態の梱包体によれば、ペリクルの保管、輸送時の振動、衝撃から、ペリクルを効果的に保護でき、膜あたりを生じず、また、ペリクルに異物が付着することがなく、清浄な状態を保って輸送することができる。
また、緩衝材の占有体積を小さくして緩衝効果を発現することができる。

以下、具体的な実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
なお、実施例及び比較例中の各物性は下記の方法により測定した。

（（１）振動周波数と加速度の測定試験）
ペリクルケース、及びペリクルにかかる振動周波数と加速度を測定した。
図３に示すように、図１の梱包体Ａを一箱利用して測定を実施した。
図３に示すように、ペリクルケース４を上段保持部材３、下段保持部材２のそれぞれに、合計２個収納した。
下段保持部材２によって保持されている下段側のペリクルケース４に、ペリクル膜とペリクルフレーム１０を具備するペリクル９を載置し、上段保持部材３によって保持されている上段側のペリクルケース４にはペリクルフレーム１０のみを載置した。
上段のペリクルケース４の、ペリクルの短辺側の中央部に対応する位置に、図４のように粘着テープにより加速度計を取付け、かかる位置をペリクルケース４の加速度測定位置としてペリクルケースの加速度（Ｂ）を測定した。
ペリクルの加速度（Ａ）は、図４のように上記ペリクルケース４の加速度測定位置とほぼ同じ位置になるようにペリクルフレーム１０の短辺中央部における当該ペリクルフレーム上に同様に加速度計を取付け測定した。
ペリクルケース４を梱包箱に収納し、ペリクル用緩衝材１を配置した。
図３に示すように、ペリクルケース４を収納した梱包箱６を振動試験機ステージ上に載置し、振動駆動部により振動させる振動試験を行った。データ処理は、輸送振動記録計（Ｔｏｕｇｈ Ｌｏｇｇｅｒ ｍｏｄｅｌ ＴＲ−１０００ ＩＭＶ社製）を使用して、振動周波数、加速度を求めた。
振動試験機は、ＩＭＶ製 Ｋ１２５ＬＳ／ＳＡ１８Ｍを使用した。
試験条件は、加速度８Ｇ、振動周波数０〜２００Ｈｚとした。

（（２）異物検査）
前記と同様なサンプルを作製し、輸送試験を行った。
輸送試験は、宮崎から羽田を往復することにより行った。
宮崎−福岡往復はトラックで、福岡−羽田往復は空輸で輸送し、上下方向の衝撃を測定し、異物付着状態を評価した。

〔実施例１〕
図１に示すように、ペリクル９をペリクルケース４に載置した。
その際、ライナーをトレイ４ｂにとめるために粘着テープを使用した。
当該ペリクルケース４を梱包箱６に収納した。
ペリクル用緩衝材１としては、２重構造体１ａ、１ｂを有するものを用いた。
２重構造体のペリクル用緩衝材１は、上部構造体１ｂとして、１６０ｍｍ×５０ｍｍ、高さ１４０ｍｍの発泡ポリエチレン製の緩衝材を使用し、下部構造体１ａとして、１６０ｍｍ×５０ｍｍ、高さ２０ｍｍの、反発弾性が５０％のポリウレタンエラストマー製の緩衝材を用いた。これら上部及び下部構造体を接着剤にて貼り合わせ、ペリクル用緩衝材１とした。
ペリクルケース４としては、外寸が９５０ｍｍ×１３００ｍｍで、蓋４ａも合わせたペリクルケース４の高さが１００ｍｍであるものを用いた。
ペリクルケース４を、保持部材（発泡ポリエチレン製）２、３にて保持し、下段のペリクルケース４の底部に、ペリクル用緩衝材１を図２（ａ）のように６カ所に配置し、梱包体Ａとした。このとき、梱包箱６の底面にペリクル用緩衝材１を固定しやすいように、底面に発泡ポリエチレン製の板状物、外寸が１０５０ｍｍ×１４００ｍｍ、高さ４ｍｍを敷いてその上にペリクル用緩衝材１を接着剤にて貼り付けた。
このとき、ペリクル用緩衝材１に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ²の圧力がかかっていた。
上述のようにして得た梱包体において、倉庫にて梱包体を９０日間保管し、前記（（１）振動周波数と加速度試験）を実施した。
振動周波数が１０．５Ｈｚとし、ペリクルケースの加速度（Ｂ）と、ペリクルの加速度（Ａ）をそれぞれ測定した。
加速度差を（（Ａ）−（Ｂ）／（Ａ））×１００により算出したところ、３％であった。
また、（（２）異物検査）を実施したところ、異物付着が無いことが確認された。

〔比較例１〕
前記〔実施例１〕の上部構造体１ｂと下部構造体１ａを一体物として、反発弾性が７２％の発泡性ウレタンに替えた。
また、ペリクル用緩衝材１の配置を、図２（ｃ）のように４隅の４か所に変更した。
その他の条件は、〔実施例１〕と同様の条件とし、前記（１）及び（２）の評価を実施した。
（１）の加速度差は、振動周波数が１０．５Ｈｚの時に５８％であった。
また、（２）の異物検査の結果、異物付着が確認された。

本発明のペリクル用緩衝材は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルなどの露光用基盤に異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの緩衝材として産業上の利用可能性を有している。

１ ペリクル用緩衝材
１ａ 下部構造体
１ｂ 上部構造体
２ 下段保持部材
３ 上段保持部材
４ ペリクルケース
４ａ 蓋
４ｂ トレイ
５ 天板
６ 梱包箱
７ 輸送用天板
８ パレット
９ ペリクル
１０ ペリクルフレーム
Ａ 梱包体

Claims (7)

1. ペリクルを載置したペリクルケースが収納された梱包箱の中に、前記ペリクルケースが上部に載置された状態で配置されるペリクル用緩衝材であって、
   前記ペリクル用緩衝材に対して０．０６ｋｇ／ｃｍ²で９０日加圧した後の、振動周波数１０．５Ｈｚにおける、前記ペリクルの加速度Ａと、前記ペリクルケースの加速度Ｂとが、
   （（Ａ−Ｂ）／Ａ）×１００（％）≦２５（％）の関係となる、
   ペリクル用緩衝材。
2. 前記ペリクル緩衝材が、少なくとも２重の構造体を含む、請求項１に記載のペリクル用緩衝材。
3. 前記ペリクル用緩衝材のうちの少なくとも一つの構造体が、反発弾性が６０％以下の構造体である、請求項２に記載のペリクル用緩衝材。
4. 前記反発弾性が６０％以下の構造体が、
   防振ゴム系、金属バネ系、及び空気バネ系からなる群より選ばれるいずれかの構造体である、請求項３に記載のペリクル用緩衝材。
5. 前記反発弾性が６０％以下の構造体が、前記梱包箱の底面に接している、請求項３又は４に記載のペリクル用緩衝材。
6. 前記反発弾性が６０％以下の構造体以外の、他の構造体が、
   発泡ポリエチレン、又は発泡スチロールである、請求項３乃至５のいずれか一項に記載のペリクル用緩衝材。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載のペリクル用緩衝材によりペリクルを収納したペリクルケースを梱包箱内に水平に保持して収納してなる梱包体であって、
   前記梱包箱の内側底面に、前記ペリクル用緩衝材が分散配置されており、
   単数又は複数の前記ペリクルケースが、梱包箱内の最も下に位置するペリクルケースの底面積の２．０％以上３０．０％未満に該当する合計上面面積を有するペリクル用緩衝材の上面で支えられている、梱包体。