JP2018169391A - 角度測定システム - Google Patents
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Abstract
Description
加えて前記第2構成部材2.1も環状の第2本体2.3が、1つ-ここでも、特に貼り付けられて-固定されている、環状のキー溝を1つ有している。前記第1構成部材1.1は、第1環状のキー溝1.11を1つ有し、前記第2本体2.3は、接触しないで前記第1キー溝1.11ないし、前記第1構成部材1.1の中に軸方向に浸っている。その結果、前記第1構成部材1.1も半径方向のスリットRi(図3参照)を伴って前記第2本体2.3の、軸方向に延在する1つの領域2.3Aに半径方向外側で対向する部分1.1Aを1つ有している。
前記の提示された実施例において前記半径方向のスリットRo、Riのスリット寸法rは、それぞれ同じ大きさで、rはこの場合0.5mmあり、いずれにせよ軸方向の前記スリットSの軸の延在方向aよりも大きい。
1.1 第1構成部材
1.11 第1環状キー溝
1.1A 部分
1.2 角スケール
1.2′ 角スケール
1.3 第1本体
1.3A 軸方向に延在する領域
1.4 平板
2 第2構成部材群
2.1 第2構成部材
2.11 第2環状キー溝
2.1A 半径方向外部において対峙する部分
2.2 走査器
2.21 光源
2.22 レンズ
2.23 走査板
2.24 基板
2.25 光検出器
2.3 第2本体
2.3A 軸方向に延在する領域
2.4 ケース
3 回転体
4 シール材
A 軸
a 軸の延在方向
Ri 溝穴
Ro 溝穴
r 溝穴寸法
S 溝穴
Claims (10)
- 第1構成部材群(1)と第2構成部材群(2)とを有する角度測定システムにおいて、前記第1構成部材群(1)は、前記第2構成部材群(2)に対して軸(A)周囲を回動可能に軸支されているように、回転体(3)が、両構成部材群(1、2)間に配置されていて、
−前記第1構成部材群(1)は、第1構成部材(1.1)と角スケール(1.2;1.2’)とを有し、
−前記第2構成部材群(2)は、第2構成部材(2.1)と走査器(2.2)を有し、
前記角スケール(1.2;1.2’)の位置関係に依存する位置信号が、走査器(2.2)によって生成可能であり、
軸の延在方向(a)を伴うスリット(S)が、前記第1構成部材(1.1)と前記第2構成部材(2.1)との間に延在する結果、これらの構成部材(1.1、2.1)は、前記スリット(S)の両側で接触しないで対向して配置されていて、
a)前記第2構成部材群(2)に対して接触しないで配置されている環状の第1構本体(1.3)が、前記第1構成部材(1.1)に固定されていて、前記第2構成部材(2.1)は、半径方向のスリット(Ro)を伴いながら、前記第1本体(1.3)の軸方向に延在する領域(1.3A)に、半径方向外側で対向する部分(2.1A)を有し、前記第1本体(1.3)は、前記回転体(3)に対して半径方向外側で前記軸(A)を中心に周設されていて、潤滑剤が、前記第1本体(1.3)によって潤滑剤が、吸収可能であり、及び/又は
b)前記第1構成部材群(1)に対して接触しないで配置されている環状の第2本体(2.3)が、前記第2構成部材(2.1)に固定されていて、前記第1構成部材(1.1)は、半径方向のスリット(Ri)を伴いながら、前記第2本体(2.3)の軸方向に延在する領域(2.3A)に、半径方向外側で対向する部分(1.2A)を有し、前記第2本体(2.3)は、前記回転体(3)に対して半径方向外側で前記軸(A)を中心にして周設されていて、潤滑剤が、前記第2本体(2.3)によって潤滑剤が、吸収可能である当該角度測定システム。 - 前記第1又は前記第2本体(1.3、2.3)は、前記潤滑剤を吸収するための細孔を有する請求項1に記載の角度測定システム。
- 前記第1又は前記第2本体(1.3、2.3)は、混合多孔に形成されている結果、この本体は、閉じた中空空間と、互いに且つ周囲とつながっている中空空間とを有する請求項2に記載の角度測定システム。
- 前記第1又は前記第2本体(1.3、2.3)は、ポリウレタン合成樹脂を含む材料から製作される請求項1〜3のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- a)前記第1本体(1.3)が、前記スリット(S)をその軸の延在方向(a)にわたって覆うように、前記第1本体(1.3)は、前記第1構成部材(1.1)に軸方向に張り出すように配置されていて且つ寸法決めされていて、及び/又は
b)前記第2本体(2.3)が、前記スリット(S)をその軸の延在方向(a)にわたって覆うように、前記第2本体(2.3)は、前記第2構成部材(2.1)に軸方向に張り出すように配置されていて且つ寸法決めされている請求項1〜4のいずれか1項に記載の角度測定システム。 - a)前記第1本体(1.3)は、前記第1構成部材(1.1)に固定されていて、接触しないで前記第2構成部材(2.1)内の第2環状キー溝(2.11)内に非接触式に浸っていて、及び/又は
b)前記第2本体(2.3)は、前記第2構成部材(2.1)に固定されていて、前記第1構成部材(1.1)内の第2環状のキー溝(1.11)内に非接触式に浸っている請求項1〜5のいずれか1項に記載の角度測定システム。 - a)前記第1本体(1.3)は、第1環状キー溝内の前記第1構成部材(1.1)に固定されていて、前記第2構成部材(2.1)内の第2環状キー溝(2.11)内に非接触式に浸っていて、及び/又は
b)前記第2本体(2.3)は、第1環状キー溝内の前記第2構成部材(2.1)に固定されていて、前記構成部材(1.1)の第2環状キー溝(1.11)内に非接触式に浸っている請求項1〜6のいずれか1項に記載の角度測定システム。 - 第1の環状の本体(1.3)が、前記第1構成部材(1.1)に固定されていて、第2の環状の本体(2.3)が、前記第2構成部材(2.1)に固定されており、前記第2環状本体(2.3)は、前記第1環状本体(1.3)に対して同心円上に配置されている請求項1〜7のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- 第1の環状の本体(1.3)が、第1構成部材(1.1)に固定されていて、第2の環状の本体(2.3)が、前記第2構成部材(2.1)に固定されており、第2環状本体(2.3)は、前記第1環状本体(1.3)に対して半径方向外側において配置されている請求項1〜8のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- 前記走査器(2.2)が、光源(2.21)1つと光検出器(2.25)1つを有していて、前記光源(2.21)から放たれる光は、前記角スケール(1.2;1.2’)によって、相対的角度関係に依存して、変調可能であり、前記光検出器(2.25)によって光電流に変換される請求項1〜9のいずれか1項に記載の角度測定システム。
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102305001B1 (ko) * | 2020-05-28 | 2021-09-23 | 김승중 | 맨홀 커버 제조 방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5355106A (en) * | 1976-10-29 | 1978-05-19 | Nec Corp | Bearing sealing mechanism of magnetic memory device |
JPH01168820U (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-28 | ||
JPH01320322A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非接触型密封装置及び電動機 |
JPH0875010A (ja) * | 1994-09-06 | 1996-03-19 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 軸受装置 |
US5743359A (en) * | 1996-11-22 | 1998-04-28 | General Electric Company | Bolt lubing tool |
JP2006038530A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Mitsubishi Electric Corp | エンコーダ |
JP2011080521A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 減速機のシール構造 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001249030A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Tamagawa Seiki Co Ltd | エンコーダ装置 |
JP4320428B2 (ja) * | 2000-04-06 | 2009-08-26 | 多摩川精機株式会社 | エンコーダ装置 |
DE10102278B4 (de) * | 2001-01-18 | 2004-10-28 | Raytheon Marine Gmbh | Datenübertragungsstrecke an einer n.360° Lagerung |
DE10203278B4 (de) * | 2001-03-09 | 2012-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Kupplung und Winkelmessvorrichtung mit einer derartigen Kupplung |
EP1447579B1 (en) | 2001-11-22 | 2012-03-28 | Nsk Ltd. | Sensor-equipped rolling bearing, and rotation state detecting device |
JP2007147381A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Ntn Corp | 回転角検出センサ |
DE102008013378A1 (de) * | 2008-03-10 | 2009-09-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmesssystem |
DE102008048140A1 (de) * | 2008-09-20 | 2010-03-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmesseinrichtung |
DE102010027900A1 (de) | 2010-04-19 | 2011-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Baueinheit für eine Winkelmesseinrichtung |
DE102011003091A1 (de) * | 2011-01-25 | 2012-07-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmesseinrichtung |
DE102012207656A1 (de) * | 2012-05-08 | 2013-11-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben der Positionsmesseinrichtung |
TWI454664B (zh) * | 2012-09-27 | 2014-10-01 | Sagatek Co Ltd | 液體多層電容傾斜微感測器 |
DE102013209106A1 (de) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmesseinrichtung |
CN107030718B (zh) * | 2013-05-17 | 2020-11-20 | 株式会社尼康 | 驱动装置和机械手装置 |
CN103644862B (zh) * | 2013-11-19 | 2016-05-04 | 重庆机床(集团)有限责任公司 | 一种高精度圆光栅总成装置 |
JP6499532B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2019-04-10 | ファナック株式会社 | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ |
DE102016224012A1 (de) * | 2016-12-02 | 2018-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung |
DE102018202239A1 (de) * | 2018-02-14 | 2019-08-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Lagerlose Winkelmesseinrichtung |
-
2017
- 2017-03-29 ES ES17163542T patent/ES2727850T3/es active Active
- 2017-03-29 EP EP17163542.8A patent/EP3382349B1/de active Active
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2018
- 2018-02-01 DE DE102018201516.3A patent/DE102018201516A1/de not_active Withdrawn
- 2018-03-26 JP JP2018058094A patent/JP7000224B2/ja active Active
- 2018-03-28 US US15/939,062 patent/US10612945B2/en active Active
- 2018-03-29 CN CN201810271678.1A patent/CN108692679B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5355106A (en) * | 1976-10-29 | 1978-05-19 | Nec Corp | Bearing sealing mechanism of magnetic memory device |
JPH01168820U (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-28 | ||
JPH01320322A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非接触型密封装置及び電動機 |
JPH0875010A (ja) * | 1994-09-06 | 1996-03-19 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 軸受装置 |
US5743359A (en) * | 1996-11-22 | 1998-04-28 | General Electric Company | Bolt lubing tool |
JP2006038530A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Mitsubishi Electric Corp | エンコーダ |
JP2011080521A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 減速機のシール構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10612945B2 (en) | 2020-04-07 |
JP7000224B2 (ja) | 2022-02-10 |
EP3382349B1 (de) | 2019-05-15 |
CN108692679A (zh) | 2018-10-23 |
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