JP2018168216A - 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 - Google Patents
硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018168216A JP2018168216A JP2017064627A JP2017064627A JP2018168216A JP 2018168216 A JP2018168216 A JP 2018168216A JP 2017064627 A JP2017064627 A JP 2017064627A JP 2017064627 A JP2017064627 A JP 2017064627A JP 2018168216 A JP2018168216 A JP 2018168216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- group
- composition
- silicone resin
- cured product
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【課題】耐熱性に優れる硬化物を与える付加硬化型の硬化性シリコーン樹脂組成物および硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置を提供する。【解決手段】(A)成分は式[1]で示されるシリコーン樹脂、(B)成分は式[2]で示されるシリコーン樹脂、及び(C)成分はヒドロシリル化触媒、を少なくとも含む、光半導体封止用硬化性シリコーン樹脂組成物。(a、b及びdは夫々独立に0超、1未満、cは0を含む1未満、a+b+c+d=1、各構造単位におけるOは、シロキサン結合のO、又はシラノール基を形成しているO;R1は1価の不飽和炭化水素基;e〜gは0超、1未満、e+f+g=1)【選択図】図1
Description
本発明は、発光ダイオードなどの半導体素子の封止材の原料、接着剤の原料として好適に用いることができる硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置に関する。
発光ダイオード(略称:LED)などの半導体素子を利用した発光装置の封止材には、エポキシ樹脂組成物やシリコーン樹脂組成物などの硬化物が用いられる。これらの封止材には、長期間高温で曝されても分解せず、分子構造を維持することができる、すなわち、耐熱性に優れることが要求される。
一般的にエポキシ樹脂組成物は、ハンドリング性に優れ、硬化物の硬度が高い。そして、低出力の白色LED用封止に必要な耐久性が得られることから、低出力白色LED用封止材として多く用いられている。
しかし、近年LEDがますます高輝度化、高出力化するのに伴い、従来の透明エポキシ樹脂組成物の硬化体では、パワー半導体、高輝度発光素子(例えば、自動車のヘッドライトや液晶テレビのバックライト用高輝度LED)、UV−LEDまたは青色レーザー等の短波長半導体レーザーの封止材に用いるには耐熱性が不十分であり、高温劣化による樹脂の亀裂やLEDパッケージからの剥離等の問題が生じることが知られている。
最近では、これらの問題を解決するためにエポキシ樹脂に代わって、耐熱性に優れるシリコーン樹脂をベースにした樹脂組成物の硬化物がLEDの封止材に使用されるようになってきた。例えば、特許文献1では、光デバイスまたは半導体デバイスを封止保護する材料として、SiH基とアルケニル基との付加反応(ヒドロシリル化反応)を利用する付加硬化型シリコーン樹脂組成物の報告がなされている。
近年、半導体を光源とする装置において可視光領域の超高輝度化のみならず、UV−A領域のUV光への需要が高くなり、高耐熱性を有する材料も求められるようになってきた。従来では、石英ガラスを封止材として用いた封止方法がとられてきたが、製造過程の簡便性の観点から、樹脂による封止がふさわしい。すなわち、耐熱性に優れた硬化物を与える樹脂組成物が望まれている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、耐熱性に優れる硬化物を与える付加硬化型の硬化性シリコーン樹脂組成物および硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、
下記(A)成分、(B)成分および(C)成分を少なくとも含む、硬化性シリコーン樹脂組成物。
(A)成分: 下記式[1]で示されるシリコーン樹脂、
(B)成分: 下記式[2]で示されるシリコーン樹脂、
(C)成分: ヒドロシリル化触媒。
下記(A)成分、(B)成分および(C)成分を少なくとも含む、硬化性シリコーン樹脂組成物。
(A)成分: 下記式[1]で示されるシリコーン樹脂、
(B)成分: 下記式[2]で示されるシリコーン樹脂、
(C)成分: ヒドロシリル化触媒。
(式[1]中、Meはメチル基を示し、a、bおよびdはそれぞれ0超、1未満の数であり、cは0を含む、1未満の数であり、a+b+c+d=1を満たし、(H−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)、(MeSiO3/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。
式[2]中、R1は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を示し、Meはメチル基を示し、e、fおよびgはそれぞれ0超、1未満の数であり、e+f+g=1を満たし、(R1−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。)
すなわち、本発明は、以下の各発明を含む。
[発明1]
下記(A)成分、(B)成分および(C)成分を少なくとも含む、光半導体封止用硬化性シリコーン樹脂組成物。
(A)成分: 下記式[1]で示されるシリコーン樹脂、
(B)成分: 下記式[2]で示されるシリコーン樹脂、
(C)成分: ヒドロシリル化触媒。
式[2]中、R1は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を示し、Meはメチル基を示し、e、fおよびgはそれぞれ0超、1未満の数であり、e+f+g=1を満たし、(R1−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。)
すなわち、本発明は、以下の各発明を含む。
[発明1]
下記(A)成分、(B)成分および(C)成分を少なくとも含む、光半導体封止用硬化性シリコーン樹脂組成物。
(A)成分: 下記式[1]で示されるシリコーン樹脂、
(B)成分: 下記式[2]で示されるシリコーン樹脂、
(C)成分: ヒドロシリル化触媒。
(式[1]中、Meはメチル基を示し、a、bおよびdはそれぞれ0超、1未満の数であり、cは0を含む、1未満の数であり、a+b+c+d=1を満たし、(H−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)、(MeSiO3/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。
式[2]中、R1は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を示し、Meはメチル基を示し、e、fおよびgはそれぞれ0超、1未満の数であり、e+f+g=1を満たし、(R1−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。)
[発明2]
式[2]中のR1が、ビニル基である、発明1に記載の組成物。
[発明3]
(A)成分のaの値が0.01〜0.50であり、bの値が0.10〜0.94あり、cの値が0〜0.50であり、dの値が0.05〜0.50である、発明1または2に記載の組成物。
[発明4]
(B)成分のeの値が0.05〜0.50であり、fの値が0.10〜0.94あり、gの値が0.01〜0.50である、発明1乃至3のいずれかに記載の組成物。
[発明5]
(A)成分の質量平均分子量が500〜10,000である、発明1乃至4のいずれかに記載の組成物。
[発明6]
(B)成分の質量平均分子量が500〜10,000である、発明1乃至5のいずれかに記載の組成物。
[発明7]
[(A)成分に含有されるH−Si基のモル数]/[(B)成分に含有されるR1−Si基のモル数]が1〜4である、発明1乃至6のいずれかに記載の組成物。
[発明8]
硬化遅延剤、酸化防止剤、光安定剤、接着付与剤、蛍光体、無機粒子、離型剤、樹脂改質剤、着色剤、希釈剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤およびタレ防止剤からなる群より選ばれる少なくとも一種をさらに含む、発明1乃至7のいずれかに記載の組成物。
[発明9]
発明1乃至8のいずれかに記載の組成物を硬化してなる硬化物。
[発明10]
発明9に記載の硬化物で、半導体素子が少なくとも封止された光半導体装置。
[発明11]
発明9に記載の硬化物からなる光半導体用接着剤。
[発明12]
発明11に記載の光半導体用接着剤を用いた光半導体装置。
式[2]中、R1は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を示し、Meはメチル基を示し、e、fおよびgはそれぞれ0超、1未満の数であり、e+f+g=1を満たし、(R1−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。)
[発明2]
式[2]中のR1が、ビニル基である、発明1に記載の組成物。
[発明3]
(A)成分のaの値が0.01〜0.50であり、bの値が0.10〜0.94あり、cの値が0〜0.50であり、dの値が0.05〜0.50である、発明1または2に記載の組成物。
[発明4]
(B)成分のeの値が0.05〜0.50であり、fの値が0.10〜0.94あり、gの値が0.01〜0.50である、発明1乃至3のいずれかに記載の組成物。
[発明5]
(A)成分の質量平均分子量が500〜10,000である、発明1乃至4のいずれかに記載の組成物。
[発明6]
(B)成分の質量平均分子量が500〜10,000である、発明1乃至5のいずれかに記載の組成物。
[発明7]
[(A)成分に含有されるH−Si基のモル数]/[(B)成分に含有されるR1−Si基のモル数]が1〜4である、発明1乃至6のいずれかに記載の組成物。
[発明8]
硬化遅延剤、酸化防止剤、光安定剤、接着付与剤、蛍光体、無機粒子、離型剤、樹脂改質剤、着色剤、希釈剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤およびタレ防止剤からなる群より選ばれる少なくとも一種をさらに含む、発明1乃至7のいずれかに記載の組成物。
[発明9]
発明1乃至8のいずれかに記載の組成物を硬化してなる硬化物。
[発明10]
発明9に記載の硬化物で、半導体素子が少なくとも封止された光半導体装置。
[発明11]
発明9に記載の硬化物からなる光半導体用接着剤。
[発明12]
発明11に記載の光半導体用接着剤を用いた光半導体装置。
本発明によれば、耐熱性に優れる硬化物を与える硬化性シリコーン樹脂組成物及びその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置を提供することができる。
以下、本発明についてさらに詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
[硬化性シリコーン樹脂組成物]
本発明の硬化性シリコーン樹脂組成物(以下、単に「本発明の組成物」と称することがある。)は、(A)〜(C)成分を少なくとも含む。以下、本発明の組成物に含まれる各成分について説明する。
<(A)成分>
(A)成分は、下記式[1]で示されるシリコーン樹脂である。
[硬化性シリコーン樹脂組成物]
本発明の硬化性シリコーン樹脂組成物(以下、単に「本発明の組成物」と称することがある。)は、(A)〜(C)成分を少なくとも含む。以下、本発明の組成物に含まれる各成分について説明する。
<(A)成分>
(A)成分は、下記式[1]で示されるシリコーン樹脂である。
(式[1]中、Meはメチル基を示し、a、bおよびdはそれぞれ0超、1未満の数であり、cは0を含む、1未満の数であり、a+b+c+d=1を満たし、(H−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)、(MeSiO3/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。
式[1]中のaの値、bの値およびdの値はそれぞれ0超、1未満の範囲内であり、cの値は0を含む、1未満の範囲であり、a+b+c+d=1を満たせば、特に限定されない。aの値は0.01〜0.50であることが好ましく、0.01〜0.35であることが特に好ましい。bの値は0.10〜0.94であることが好ましく、0.45〜0.90であることが特に好ましい。cの値は0〜0.50であることが好ましく、0.01〜0.35であることが特に好ましい。dの値は0.05〜0.50であることが好ましく、0.10〜0.35であることが特に好ましい。a、b、cおよびdの値が先述の範囲であれば本発明の組成物および硬化体は、良好な成形性および良好な機械的強度を有する。
なお、aの値、bの値、cの値およびdの値は、核磁気共鳴装置を用いて式[1]で示されるシリコーン化合物の29Si−NMRスペクトルと1H−NMRスペクトルを測定し、これらを用いて算出することができる。
式[1]中、(H−MeSiO2/2)で表される構造単位は、下記式[1−2−a]で表される構造、すなわち、(H−MeSiO2/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがシラノール基を形成している構造を含んでいてもよい。
(H−MeSiO2/2)で表される構造単位は、下記式[1−1−a]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、さらに下記式[1−2−a]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、水素基とMeで表される基(メチル基)を有し、かつヒドロキシ基が末端に残存してケイ素原子とシラノール基を形成している構造単位も、(H−MeSiO2/2)で表される構造単位に含まれる。また、下記式[1−1−a]、[1−2−a]で表される構造単位において、Si−O−Si結合中の酸素原子は、隣接するケイ素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。したがって、Si−O−Si結合中の1つの酸素原子を「O1/2」とする。
(Me2SiO2/2)で表される構造単位は、下記式[1−2−b]で表される構造、すなわち、(Me2SiO2/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがシラノール基を形成している構造を含んでいてもよい。
(Me2SiO2/2)で表される構造単位は、下記式[1−1−b]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、さらに下記式[1−2−b]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、Meで表される基(メチル基)を有し、かつヒドロキシ基が末端に残存してケイ素原子とシラノール基を形成している構造単位も、(Me2SiO2/2)で表される構造単位に含まれる。また、下記式[1−1−b]、[1−2−b]で表される構造単位において、Si−O−Si結合中の酸素原子は、隣接するケイ素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。したがって、Si−O−Si結合中の1つの酸素原子を「O1/2」とする。
(MeSiO3/2)で表される構造単位は、下記式[1−2−c]および[1−3−c]で表される構造、すなわち、(MeSiO3/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがシラノール基を形成している構造、または(MeSiO3/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の2つがシラノール基を形成している構造を含んでいてもよい。
(MeSiO3/2)で表される構造単位は、下記式[1−1−c]で表される構造単位の破線で囲まれた部分、下記式[1−2−c]で表される構造単位の破線で囲まれた部分、さらには下記式[1−3−c]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、Meで表される基(メチル基)を有し、かつヒドロキシ基が末端に残存してケイ素原子とシラノール基を形成している構造単位も、(MeSiO3/2)で表される構造単位に含まれる。また、下記式[1−1−c]、[1−2−c]、[1−3−c]で表される構造単位において、Si−O−Si結合中の酸素原子は、隣接するケイ素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。したがって、Si−O−Si結合中の1つの酸素原子を「O1/2」とする。
式[1]中、(SiO4/2)で表される構造単位は、下記式[1−2−d]、[1−3−d]および[1−4−d]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、(SiO4/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがシラノール基を形成している構造単位、(SiO4/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の2つがシラノール基を形成している構造単位、(SiO4/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の3つがシラノール基を形成している構造単位も、(SiO4/2)で表される構造単位に含まれる。
(SiO4/2)で表される構造単位は、下記式[1−1−d]で表される構造単位の破線で囲まれた部分、下記式[1−2−d]で表される構造単位の破線で囲まれた部分、下記式[1−3−d]で表される構造単位の破線で囲まれた部分、さらには下記式[1−4−d]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、ヒドロキシ基が末端に残存してケイ素原子とシラノール基を形成している構造単位も、(SiO4/2)で表される構造単位に含まれる。また、下記式[1−1−d]、[1−2−d]、[1−3−d]、[1−4−d]で表される構造単位において、Si−O−Si結合中の酸素原子は、隣接するケイ素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。したがって、Si−O−Si結合中の1つの酸素原子を「O1/2」とする。
(A)成分の粘度は、25℃において100,000cP(センチポイズ)以下であれば特に限定されない。取扱作業性の観点から、30,000cP以下であることが好ましい。下限値は特に制限されず、粘度が低いほど、得られる本発明の組成物を低粘度化することが可能となり、ひいては、半導体装置の封止作業が容易となるので好ましい。(A)成分の粘度は、25℃において0cP超、100,000cP以下であってもよく、0cP超、30,000cP以下が好ましい。
ここで、(A)成分の粘度は回転粘度計などにより測定することができる。具体的には、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51。測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を本発明の組成物の粘度とする。
(A)成分はケイ素原子に結合する水素原子(H−Si基)を少なくとも含有し、その数は特に限定されない。一分子中に2個以上含有することが好ましい。良好な硬化物が得られることから、0.50〜4.0mmol/gであることが特に好ましい。
(A)成分の質量平均分子量は、特に限定されない。500〜10,000が好ましく、さらに好ましくは、800〜7,000である。質量平均分子量が500以上であれば本発明の硬化物は良好な成形性を有し、10,000以下であれば本発明の組成物は良好な樹脂強度を有する。
ここで、質量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(略称:GPC)法により測定し、標準ポリスチレン検量線により換算して得られる(本明細書において、以下同じ。)。
(A)成分に含有されるHO−Si基の量は特に限定されない。1.2〜4.5mmol/gが好ましく、1.7〜4.3mmol/gが特に好ましい。HO−Si基の含有量が4.5mmoml/gを超えると、硬化物に気泡が観測されることがある。
<(B)成分>
(B)成分は、下記式[2]で示されるシリコーン樹脂である。
(B)成分は、下記式[2]で示されるシリコーン樹脂である。
式[2]中、R1は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を示し、Meはメチル基を示し、e、fおよびgはそれぞれ0超、1未満の数であり、e+f+g=1を満たし、(R1−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。)
式[2]中のR1における炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基としては、ビニル基、プロペニル基、n−ブテニル基、n−ペンテニル基、n−ヘキセニル基が好ましく、ビニル基が特に好ましい。
式[2]中のR1における炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基としては、ビニル基、プロペニル基、n−ブテニル基、n−ペンテニル基、n−ヘキセニル基が好ましく、ビニル基が特に好ましい。
式[2]中のeの値、fの値およびgの値はそれぞれ0超、1未満の範囲内であり、e+f+g=1を満たせば、特に限定されない。eの値は0.05〜0.50であることが好ましく、0.05〜0.35であることが特に好ましい。fの値は0.10〜0.94であることが好ましく、0.45〜0.90であることが特に好ましい。gの値は0.01〜0.50であることが好ましく、0.05〜0.45であることが特に好ましい。e、fおよびgの値が先述の範囲であれば本発明の組成物および硬化体は、良好な成形性および良好な機械的強度を有する。
なお、eの値、fの値およびgの値は、核磁気共鳴装置を用いて式[2]で示されるシリコーン化合物の29Si−NMRスペクトルと1H−NMRスペクトルを測定し、これらを用いて算出することができる。
式[2]中、(R1−MeSiO2/2)で表される構造単位は、下記式[2−2−e]で表される構造、すなわち、(R1−MeSiO2/2)で表される構造単位中のケイ素原子に結合した酸素原子の1つがシラノール基を形成している構造を含んでいてもよい。
(R1−MeSiO2/2)で表される構造単位は、下記式[2−1−e]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、さらに下記式[2−2−e]で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R1とMeで表される基(メチル基)を有し、かつヒドロキシ基が末端に残存してケイ素原子とシラノール基を形成している構造単位も、(R1−MeSiO2/2)で表される構造単位に含まれる。また、下記式[2−1−e]、[2−2−e]で表される構造単位において、Si−O−Si結合中の酸素原子は、隣接するケイ素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。したがって、Si−O−Si結合中の1つの酸素原子を「O1/2」とする。
式[2]中、(Me2SiO2/2)で表される構造単位は、上記式[1]で表される構造単位と同義であり、(SiO4/2)で表される構造単位は、上記式[1]で表される構造単位と同義である。
(B)成分の粘度は、25℃において100,000cP(センチポイズ)以下であれば特に限定されない。取扱作業性の観点から、30,000cP以下であることが好ましい。下限値は特に制限されず、粘度が低いほど、得られる本発明の組成物を低粘度化することが可能となり、ひいては、半導体装置の封止作業が容易となるので好ましい。(B)成分の粘度は、25℃において0cP超100,000cP以下であってもよく、0cP超30,000cP以下が好ましい。
ここで、(B)成分の粘度は回転粘度計などにより測定することができる。具体的には、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51。測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を本発明の組成物の粘度とする。
(B)成分はケイ素原子に結合する炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を少なくとも含有し、その数は特に限定されない。一分子中に2個以上含有することが好ましい。良好な硬化物が得られることから、0.50〜4.0mmol/gであることが特に好ましい。
(B)成分の質量平均分子量は、特に限定されない。500〜100,000が好ましく、さらに好ましくは、800〜30,000である。質量平均分子量が500以上であれば本発明の硬化物は良好な成形性を有し、100,000以下であれば本発明の組成物は良好な樹脂強度を有する。
ここで、質量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(略称:GPC)法により測定し、標準ポリスチレン検量線により換算して得られる(本明細書において、以下同じ。)。
(B)成分に含有されるHO−Si基の量は特に限定されない。1.2〜4.5mmol/gが好ましく、1.7〜4.3mmol/gが特に好ましい。HO−Si基の含有量が4.5mmoml/gを超えると、硬化物に気泡が観測されることがある。
<(C)成分>
(C)成分であるヒドロシリル化触媒は、後述する(A)成分中のH−Si基と(B)成分中のR1−Si基とのヒドロシリル化反応(付加硬化反応)を促進するために配合される。
(C)成分であるヒドロシリル化触媒は、後述する(A)成分中のH−Si基と(B)成分中のR1−Si基とのヒドロシリル化反応(付加硬化反応)を促進するために配合される。
(C)成分の種類は上記ヒドロシリル化反応を促進させるものであれば特に限定されない。白金系触媒、ロジウム系触媒およびパラジウム系触媒からなる群より選ばれる少なくとも1種類以上を用いることが好ましい。中でも、封止材の透明性を高くすることができるため、白金系触媒を用いることが特に好ましい。
この白金系触媒としては、白金粉末、塩化白金酸、塩化白金酸等の白金成分とアルコール、アルデヒド、ケトン等との錯体、白金−オレフィン錯体、白金−アルケニルシロキサン錯体、白金−カルボニル錯体などが挙げられる。白金−カルボニルビニルメチル錯体、白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体(カーステッド触媒)、白金−シクロビニルメチルシロキサン錯体、白金−オクチルアルデヒド錯体、白金−ホスフィン錯体、ジカルボニルジクロロ白金などが挙げられる。
中でも、白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体、白金−シクロビニルメチルシロキサン錯体などが好ましい。
中でも、白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体、白金−シクロビニルメチルシロキサン錯体などが好ましい。
<その他の添加物>
本発明の組成物には、上記(A)〜(C)成分に加えて、その他の添加物を配合させてもよい。
本発明の組成物には、上記(A)〜(C)成分に加えて、その他の添加物を配合させてもよい。
((D)成分:硬化遅延剤)
その他の添加物としては、例えば、本発明の組成物には、当該組成物の保存安定性・取扱作業性を向上させること、硬化過程でのヒドロシリル化反応性を調整することなどを目的として、硬化遅延剤(以下、(D)成分と称することがある)を配合してもよい。
本発明の組成物は、比較的低温で硬化物とすることができるため、熱に弱い半導体部材への塗布・封止に好適に採用することができる。一方で、塗布・封止の作業環境によっては、本発明の組成物の保存経時安定性や取扱作業性の観点から、硬化速度を調整するために硬化遅延剤を配合することが好ましいこともある。
その他の添加物としては、例えば、本発明の組成物には、当該組成物の保存安定性・取扱作業性を向上させること、硬化過程でのヒドロシリル化反応性を調整することなどを目的として、硬化遅延剤(以下、(D)成分と称することがある)を配合してもよい。
本発明の組成物は、比較的低温で硬化物とすることができるため、熱に弱い半導体部材への塗布・封止に好適に採用することができる。一方で、塗布・封止の作業環境によっては、本発明の組成物の保存経時安定性や取扱作業性の観点から、硬化速度を調整するために硬化遅延剤を配合することが好ましいこともある。
(D)成分の種類としては、(C)成分に対して硬化遅延効果を有する化合物であれば特に限定されない。例えば、脂肪族不飽和結合を含有する化合物、有機リン化合物、窒素含有化合物、有機硫黄化合物、有機過酸化物などが挙げられる。これらの化合物は単種類を用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。
脂肪族不飽和結合を含有する化合物としては、例えば、プロパギルアルコール類、エン−イン化合物類、無水マレイン酸、マレイン酸エステル類などが挙げられる。具体的には、プロパギルアルコール類としては、2−メチル−3−ブチン−2−オール、2−フェニル−3−ブチン−2−オール、3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オール、1−エチニル−1−シクロヘキサノールなどが挙げられる。マレイン酸エステル類としては、マレイン酸ジメチルなどが挙げられる。
有機リン化合物としては、具体的にはトリオルガノホスフィン類、ジオルガノホスフィン類、オルガノホスフォン類、トリオルガノホスファイト類などが挙げられる。
窒素含有化合物としては、例えば、N,N,N’,N’−四置換アルキレンジアミン類、N,N−二置換アルキレンジアミン類、三置換アミン、ベンゾトリアゾール、2,2’−ビピリジンなどが挙げられる。具体的には、N,N,N’,N’−四置換アルキレンジアミン類としては、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラエチルエチレンジアミンなどが挙げられる。N,N−二置換アルキレンジアミン類としては、N,N−ジメチルエチレンジアミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、N,N−ジブチルエチレンジアミン、N,N−ジブチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジブチル−1,4−ブタンジアミンなどが挙げられる。三置換アミンとしては、トリブチルアミンなどが挙げられる。
有機硫黄化合物としては、具体的にはオルガノメルカプタン類、ジオルガノスルフィド類、硫化水素、ベンゾチアゾール、チアゾール、ベンゾチアゾールジサルファイドなどが挙げられる。
有機過酸化物としては、具体的にはジ−tert−ブチルパーオキシド、ジクミルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸tert−ブチルなどが挙げられる。
これらの酸化遅延剤の中でも、脂肪族不飽和結合を含有する化合物、窒素含有化合物が好ましく、具体的には、マレイン酸エステル類、プロパギルアルコール類、N,N,N’,N’−四置換アルキレジアミン類が好ましく、マレイン酸ジメチル、2−メチル−3−ブチン−2−オール、1−エチニル−1−シクロヘキサノール、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミンが特に好ましい。
これらの酸化遅延剤の中でも、脂肪族不飽和結合を含有する化合物、窒素含有化合物が好ましく、具体的には、マレイン酸エステル類、プロパギルアルコール類、N,N,N’,N’−四置換アルキレジアミン類が好ましく、マレイン酸ジメチル、2−メチル−3−ブチン−2−オール、1−エチニル−1−シクロヘキサノール、N,N,N’,N’−テトラメチルエチレンジアミンが特に好ましい。
本発明の組成物における(D)成分の含有量は、特に限定されない。通常、組成物に含有される(C)成分中の白金原子1当量に対して、硬化遅延剤を20〜200当量添加すればよい。硬化遅延剤による硬化遅延効果の度合は、その硬化遅延剤の化学構造によって異なる。したがって、使用する硬化遅延剤の種類によって、その配合量を最適な量に調整することが好ましい。最適な量の硬化遅延剤を添加することにより、本発明の組成物は室温(特に加熱または冷却しない雰囲気温度を言い、通常、15〜30℃である。以下同じ。)での長期貯蔵安定性及び加熱硬化性に優れたものとなる。
((E)成分:接着付与剤)
本発明の組成物には、その接着性を向上させることを目的として、上述した(A)〜(C)成分に加えて接着付与剤(以下、(E)成分と称することがある)を配合してもよい。
本発明の組成物には、その接着性を向上させることを目的として、上述した(A)〜(C)成分に加えて接着付与剤(以下、(E)成分と称することがある)を配合してもよい。
(E)成分の種類としては、シランカップリング剤やその加水分解重縮合物等が例示される。
シランカップリング剤としては、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシ基含有シランカップリング剤、(メタ)アクリル基含有シランカップリング剤、イソシアネート基含有シランカップリング剤、イソシアヌレート基含有シランカップリング剤、アミノ基含有シランカップリング剤、メルカプト基含有シランカップリング剤等、公知のものが例示される。
本発明の組成物における(E)成分の含有量は、特に限定されない。(A)〜(C)成分の合計質量に対して1〜20質量%配合することが好ましく、5〜15質量%が特に好ましい。
((F)成分:酸化防止剤)
硬化物の着色、酸化劣化などの発生を抑えるために、本発明の組成物に酸化防止剤(以下、(F)成分と称することがある)を添加してもよい。
硬化物の着色、酸化劣化などの発生を抑えるために、本発明の組成物に酸化防止剤(以下、(F)成分と称することがある)を添加してもよい。
(F)成分の種類としては、フェノール系酸化防止剤、チオエーテル系酸加防止剤、リン系酸化防止剤などが挙げられる。中でも、フェノール系酸化防止材、チオエーテル系酸化防止剤が好ましく、チオエーテル系酸化防止剤が特に好ましい。これらの酸化防止剤は1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
フェノール系酸化防止剤としては、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6−(1H,3H,5H)−トリオン、4,4’,4’−(1−メチルプロパニル−3−イリデン)トリス(6−tert−ブチル−m−クレゾール、6,6’−ジ−tert−ブチル−4,4’−ブチリデン−ジ−m−クレゾール、オクタデシル−3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、3,9−ビス{2−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニロキシ]−1,1−ジメチルエチル}−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]ウンデセン、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニルメチル)−2,4,6−トリメチルベンゼンなどが挙げられる。
チオエーテル系酸化防止剤としては、2,2−ビス({[3−(ドデシルチオ)プロピオニル]オキシ}メチル)−1,3−プロパンジイル=ビス[3−(ドデシルチオ)プロピオナート]、ジ(トリデシル)3,3’−チオジプロピオネートなどが挙げられる。
リン系酸化防止剤としては、3,9−ビス(オクタデシロキシ)−2,4,8,10−テトラオキサ−3,9−ジホスファスピロ[5,5]ウンデセン、3,9−ビス(2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノキシ)−2,4,8,10−テトラオキサ−3,9−ジホスファスピロ[5,5]ウンデセン、2,2’−メチレンビス(4,6−ジ−tert−ブチルフェニル)−2−エチルヘキシルホスファイト、トリス(2,4−ジtert−ブチルフェニル)ホスファイト、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、テトラ−C12−15−アルキル(プロパン−2,2−ジイルビス(4,1−フェニレン))ビス(ホスファイト)、2−エチルヘキシルジフェニルホスファイト、イソデシルジフェニルホスファイト、トリイソデシルホスファイト、トリフェニルホスファイトなどが挙げられる。
リン系酸化防止剤としては、3,9−ビス(オクタデシロキシ)−2,4,8,10−テトラオキサ−3,9−ジホスファスピロ[5,5]ウンデセン、3,9−ビス(2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノキシ)−2,4,8,10−テトラオキサ−3,9−ジホスファスピロ[5,5]ウンデセン、2,2’−メチレンビス(4,6−ジ−tert−ブチルフェニル)−2−エチルヘキシルホスファイト、トリス(2,4−ジtert−ブチルフェニル)ホスファイト、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、テトラ−C12−15−アルキル(プロパン−2,2−ジイルビス(4,1−フェニレン))ビス(ホスファイト)、2−エチルヘキシルジフェニルホスファイト、イソデシルジフェニルホスファイト、トリイソデシルホスファイト、トリフェニルホスファイトなどが挙げられる。
これらの酸化防止剤は、市販品を用いてもよいし、合成したものを用いてもよい。市販品としては、アデカスタブ(アデカ社製):AO−20、AO−30、AO−40、AO−50、AO−50F、AO−60、AO−60G、AO−80、AO−330、AO−412S、AO−503、PEP−8、PEP−8W、PEP−36、PEP−36A、HP−10、2112、2112RG、1178、1500、C、135A、3010、TPPなどを例示することができる。
本発明の組成物における(F)成分の含有量は、本発明の硬化物の透明性などの特徴を損なわない範囲で、かつ酸化防止剤としての有効量であれば特に限定されない。(A)〜(C)成分の合計質量に対して0.001〜2質量%配合してもよく、0.01〜1質量%配合することが好ましい。この範囲内であれば、酸化防止能力が十分発揮されるため、着色、白濁、酸化劣化などの発生を抑制しつつ、かつ工学的特性に優れた硬化物を得ることができる。
((G)成分:光安定剤)
太陽光線、蛍光灯などの光エネルギーによる光劣化に抵抗性を付与するために、本発明の組成物に光安定剤(以下、(G)成分と称することがある。)を添加してもよい。
太陽光線、蛍光灯などの光エネルギーによる光劣化に抵抗性を付与するために、本発明の組成物に光安定剤(以下、(G)成分と称することがある。)を添加してもよい。
(G)成分の種類としては、従来から公知のものを用いることができる。中でも、光酸化(光劣化)で生成するラジカルを捕捉するヒンダードアミン系安定剤が好適に用いられ、前述の酸化防止剤と併用することで、酸化防止効果をより向上させることもできる。この光安定剤の具体例としては、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)セバケート、4−ベンゾイル−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン、テトラキス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピペリジル)ブタン−1,2,3,4−テトラカルボキシレート、ビス(1−ウンデカノキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン−4−イル)カーボネートなどが挙げられる。中でも、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)セバケートが好ましい。
(G)成分は、市販品を用いてもよいし、合成したものを用いてもよい。市販品としては、アデカスタブ(アデカ社製):LA−77Y、LA−77G、LA−82などを例示することができる。
本発明の組成物における(G)成分の配合量は、本発明の硬化物の透明性などの特徴を損なわない範囲で、かつ光安定剤としての有効量であれば特に限定されない。(A)〜(C)成分の合計質量に対して0.01〜5質量%配合してもよく、0.05〜0.5質量%配合することが好ましい。
((H)成分:蛍光体)
本発明の組成物には、任意の成分として、蛍光体(以下、(H)成分と称することがある。)を配合してもよい。
本発明の組成物には、任意の成分として、蛍光体(以下、(H)成分と称することがある。)を配合してもよい。
(H)成分の種類としては従来公知のものを用いることができる。例えば、発光ダイオード(LED)に広く利用されている、酸化物系蛍光体、酸窒化物系蛍光体、窒化物系蛍光体、硫化物系蛍光体、酸硫化物系蛍光体などからなる、黄色、赤色、緑色、青色発光蛍光体が挙げられる。
酸化物系蛍光体としては、セリウムイオンを包含するイットリウム、アルミニウム、ガーネット系のYAG系緑色〜黄色発光蛍光体、セリウムイオンを包含するテルビウム、アルミニウム、ガーネット系のTAG系黄色発光蛍光体、セリウムやユーロピウムイオンを包含するシリケート系緑色〜黄色発光蛍光体などが挙げられる。酸窒化物蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するケイ素、アルミニウム、酸素、窒素系のサイアロン系赤色〜緑色発光蛍光体などが挙げられる。窒化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するカルシウム、ストロンチウム、アルミニウム、ケイ素、窒素系のカズン系赤色発光蛍光体などが挙げられる。硫化物系としては、銅イオンやアルミニウムイオンを包含するZnS系緑色発色蛍光体などが挙げられる。酸硫化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するY2O2S系赤色発光蛍光体などが挙げられる。これらの蛍光体は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上の混合物を用いてもよい。
(H)成分の配合量は、本発明の硬化物の透明性などの特徴を損なわない範囲で、かつ蛍光体としての有効量であれば特に限定されない。(A)〜(C)成分の合計質量に対して10〜70質量%配合することが好ましく、20〜50質量%が特に好ましい。
((I)成分:無機粒子)
本発明の組成物には、その硬化物における光学的特性や作業性、機械的特性、物理化学的特性を向上させることを目的として、無機粒子(以下、(I)成分と称することがある。)を配合してもよい。(I)成分の種類は目的に応じて選択すればよく、また、単種類を配合してもよく、複数種類を組み合わせて配合してもよい。また、分散性を改善するために、無機粒子はシランカップリング剤などの表面処理剤で表面処理されていてもよい。
本発明の組成物には、その硬化物における光学的特性や作業性、機械的特性、物理化学的特性を向上させることを目的として、無機粒子(以下、(I)成分と称することがある。)を配合してもよい。(I)成分の種類は目的に応じて選択すればよく、また、単種類を配合してもよく、複数種類を組み合わせて配合してもよい。また、分散性を改善するために、無機粒子はシランカップリング剤などの表面処理剤で表面処理されていてもよい。
(I)成分の種類としては、シリカ、チタン酸バリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化イットリウムなどの無機酸化物粒子や、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウムなどの窒化物粒子や、炭素化合物粒子、ダイヤモンド粒子などが例示されるが、目的に応じて他の物質を選択することもでき、これらに限定されるものではない。
(I)成分の形態は、紛体状、スラリー状等、目的に応じていかなる形態であってもよい。要求される透明性に応じて、本発明の硬化物と屈折率が可及的に同等となるように本発明の組成物に配合することが好ましい。また、水系・溶媒系の透明ゾルとして本発明の組成物に配合することが好ましい。
配合する(I)成分の平均粒子径は特に限定されず、目的に応じた平均粒子径のものが用いられる。通常、前述の蛍光体の粒子径の1/10以下程度である。なお、粒子径は、SEM(走査型電子顕微鏡)観察により、粒子の短径および長径を測定し、(短径+長径)/2を計算して得られた値である。この作業を、SEM画像中の一定区画中の粒子について行い、得られた各々の粒子径の算術平均値を(I)成分の平均粒子径とする。
(I)成分の配合量は、本発明の硬化物の耐熱透明性などの特徴を損なわない限り、任意である。(I)成分の配合量が少なすぎると所望の効果が得られなくなることがあり、多すぎると硬化物の耐熱透明性、密着性、透明性、成形性、硬度などの諸特性に悪影響を及ぼすことがある。(A)〜(C)成分の合計質量に対して1〜50質量%程度配合してもよく、5〜35質量%程度配合することが好ましい。
(I)成分の配合量は、本発明の硬化物の耐熱透明性などの特徴を損なわない限り、任意である。(I)成分の配合量が少なすぎると所望の効果が得られなくなることがあり、多すぎると硬化物の耐熱透明性、密着性、透明性、成形性、硬度などの諸特性に悪影響を及ぼすことがある。(A)〜(C)成分の合計質量に対して1〜50質量%程度配合してもよく、5〜35質量%程度配合することが好ましい。
(D)〜(I)成分の他にも、本発明の組成物には、硬化物の透明性などの特徴を損なわない範囲で、離型剤、樹脂改質剤、着色剤、希釈剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤、タレ防止剤などを配合させてもよい。
<(A)成分、(B)成分および(C)成分の配合比>
本発明の組成物における(A)成分と(B)成分の配合比は、特に限定されない。基本的には、(A)成分に含有されるH−Si基と、(B)成分に含有されるR1−Si基のモル比を基準として配合する。具体的には、[(A)成分に含有されるH−Si基のモル数]/[(B)成分に含有されるR1−Si基のモル数]=1〜4の範囲にすることが好ましく、1〜3が特に好ましい。この範囲内であれば本発明の組成物は良好な成形性を示し、また、本発明の硬化物は優れた耐熱性を有する。
本発明の組成物における(A)成分と(B)成分の配合比は、特に限定されない。基本的には、(A)成分に含有されるH−Si基と、(B)成分に含有されるR1−Si基のモル比を基準として配合する。具体的には、[(A)成分に含有されるH−Si基のモル数]/[(B)成分に含有されるR1−Si基のモル数]=1〜4の範囲にすることが好ましく、1〜3が特に好ましい。この範囲内であれば本発明の組成物は良好な成形性を示し、また、本発明の硬化物は優れた耐熱性を有する。
本発明の組成物における(C)成分の配合量は特に限定されない。(A)成分と(B)成分と(C)成分の合計質量に基づいて、(C)成分中の金属原子が質量単位で0.003〜300ppmの範囲内となる量であることが好ましい。中でも、得られる硬化物は優れた耐熱透明性を有する傾向があることから、0.003〜50.0ppmがより好ましく、0.003〜30.0ppmがさらに好ましく、0.003〜20.0ppmが特に好ましい。(C)成分の配合量が0.003〜300ppmであれば(A)成分と(B)成分のヒドロシリル化反応は円滑に進行する。
本発明の組成物の粘度は、25℃において100,000cP(センチポイズ)以下であれば特に限定されない。100,000cP以下であれば半導体装置の封止作業が、生産性を損なわず行うことができる。好ましくは30,000cP以下である。下限値は特に制限されず、粘度が低いほど半導体装置の封止作業が容易となるので好ましい。ない。本発明の組成物の粘度は、25℃において0cP超100,000cP以下であってもよく、0cP超30,000以下が好ましい。
ここで、本発明の組成物の粘度は回転粘度計などにより測定することができる。具体的には、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51、測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を本発明の組成物の粘度とする。
本発明の組成物は低粘度の樹脂組成物であるため流動性が良く、特に半導体装置の封止作業において、樹脂組成物の途切れや気泡の巻き込みが生じにくく、塗布しやすい。そのため、封止作業を効率的に行うことができる。さらに、本発明の組成物から得られる硬化物は、半導体装置の封止材用途において十分な耐久性を有する。このため、本発明の組成物は半導体装置の封止材用途に好適である。
本発明の組成物は低粘度の樹脂組成物であるため流動性が良く、特に半導体装置の封止作業において、樹脂組成物の途切れや気泡の巻き込みが生じにくく、塗布しやすい。そのため、封止作業を効率的に行うことができる。さらに、本発明の組成物から得られる硬化物は、半導体装置の封止材用途において十分な耐久性を有する。このため、本発明の組成物は半導体装置の封止材用途に好適である。
本発明の組成物における(A)成分と(B)成分中のHO−Si基の総含有量は特に限定されない。1.2〜4.5mmol/gであってもよく、1.7〜4.5mmol/gが好ましく、2.0〜4.3mmol/gが特に好ましい。この範囲内であれば、組成物の硬化が十分に進行し、所望の硬化物が得られやすい。
<硬化性シリコーン樹脂組成物の調製>
本発明の組成物は、(A)成分と(B)成分と(C)成分とを配合し、必要に応じてその他の添加物をさらに配合することで調製することができる。
本発明の組成物は、(A)成分と(B)成分と(C)成分とを配合し、必要に応じてその他の添加物をさらに配合することで調製することができる。
(A)成分、(B)成分、(C)成分、必要に応じて加えた添加物は混合により、実質的に均一に分散していることが好ましい。混合方法は特に限定されず、従来公知の混合方法を採用することができる。例えば、万能混練機、ニーダーなどの混合装置を用いる混合方法を採用することができる。
また、(C)成分は予め(A)成分および/または(B)成分と混合させてもよい。また、安定に長期間貯蔵するために、(B)成分と(C)成分を別途の容器に保存し、例えば、(A)成分の一部と(C)成分とを含む第一組成物と、(A)成分の残部と(B)成分とを含む第二組成物を、それぞれ別の容器に保存しておき、使用直前に混合して本発明の組成物を調製して使用に供してもよく、調製した組成物をさらに減圧で脱泡して使用に供してもよい。
((A)成分の製造方法)
(A)成分の製造方法は特に限定されない。一例として、以下の一般式[3]で表されるジアルコキシシラン化合物、一般式[4]で表されるジアルコキシシラン化合物および一般式[5]で表されるテトラアルコキシシラン化合物を加水分解重縮合させて(A)成分を製造することができる。以下に製造方法の詳細について説明する。
(A)成分の製造方法は特に限定されない。一例として、以下の一般式[3]で表されるジアルコキシシラン化合物、一般式[4]で表されるジアルコキシシラン化合物および一般式[5]で表されるテトラアルコキシシラン化合物を加水分解重縮合させて(A)成分を製造することができる。以下に製造方法の詳細について説明する。
一般式[3]においてR3は炭素数1〜3のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。2つのR2は同じ種類または互いに異なる種類であってもよい。
一般式[3]で表されるモノメチルジアルコキシシラン化合物(以下、「メチルジアルコキシシラン[3]」と表すことがある。)は、具体的には以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない:
メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、メチルジ-n-プロポキシシラン、メチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物として、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシランが挙げられる。
メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、メチルジ-n-プロポキシシラン、メチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物として、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシランが挙げられる。
一般式[4]において、R3は炭素数1〜3のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。2つのR3は同じ種類または互いに異なる種類であってもよい。
一般式[4]で表されるジメチルジアルコキシシラン化合物(以下、「ジメチルジアルコキシシラン[4]」と表すことがある。)は、具体的には以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない:
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ-n-プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物として、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシランが挙げられる。
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ-n-プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物として、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシランが挙げられる。
一般式[5]において、R4は炭素数1〜3のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。4つのR4は同じ種類または互いに異なる種類であってもよい。
一般式[5]で表されるテトラアルコキシシラン化合物(以下、「テトラアルコキシシラン[5]」と表すことがある。)は、具体的には以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない:
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン。
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン。
これらの中でも好ましい化合物として、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシランが挙げられる。
メチルジアルコキシシラン[3]、ジメチルジアルコキシシラン[4]、およびテトラアルコキシシラン[5]の組み合わせは特に限定されない。メチルジアルコキシシラン[3]、ジメチルジアルコキシシラン[4]およびテトラアルコキシシラン[4]はそれぞれ単種類を用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。好ましい組み合わせとしては、メチルジアルコキシシラン[3]は、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、メチルジ−n−プロポキシシラン、メチルジイソプロポキシシランからなる群から一種以上が選択され、ジメチルジアルコキシシラン[4]は、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ−n−プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシランからなる群から一種以上が選択され、テトラアルコキシシラン[5]は、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシランおよびテトライソプロポキシシランからなる群から一種以上が選択される。この中でも、特に好ましい組み合わせとしては、メチルジアルコキシシラン[3]は、メチルジメトキシシランおよびメチルジエトキシシランからなる群から一種以上が選択され、ジメチルジアルコキシシラン[4]は、ジメチルジメトキシシランおよびジメチルジエトキシシランからなる群から一種以上が選択され、テトラアルコキシシラン[5]は、テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシランからなる群から一種以上が選択される。
出発原料としては、一般式[3]、一般式[4]および一般式[5]で表されるアルコキシシラン化合物以外のアルコキシシラン化合物を含んでも良いが、含まないことが好ましい。
加水分解重縮合物の製造の手順について以下に説明する。まず、メチルジアルコキシシラン[3]、ジメチルジアルコキシシラン[4]および、テトラアルコキシシラン[5]を、室温(特に加熱または冷却しない雰囲気温度を言い、通常、約15〜約30℃である。以下同じ。)にて反応容器内に所定量入れた後、各々のアルコキシシラン化合物を加水分解重縮合するための水、必要であれば反応溶媒を加え、所望により、縮合反応を進行させるための触媒を加えて反応溶液とする。このときの投入順序はこれに限定されず、任意の順序で投入して反応溶液とすることができる。次いで、この反応溶液を撹拌しながら所定時間、所定温度で反応を進行させることで、加水分解重縮合物を得ることができる。この際、反応系中の未反応原料のアルコキシシラン化合物、水、反応溶媒および/または触媒が、反応系外へ留去されることを防ぐため、反応容器には還流装置を具備することが好ましい。
加水分解重縮合物の製造において、メチルジアルコキシシラン[3]、ジメチルジアルコキシシラン[4]、およびテトラアルコキシシラン[5]の使用量は、特に限定されない。(A)成分の物性の観点から、メチルジアルコキシシラン[3]:ジメチルジアルコキシシラン[4]は、モル比で表して5:95〜50:50で配合することが好ましく、7:93〜25:75で配合することが特に好ましい。メチルジアルコキシシラン[3]のモル比が5を下回ると、良好な硬化体が得られない可能性があり、50を超えると成形性が悪くなることがある。またテトラアルコキシシラン[5]を使用する量は、メチルアルコキシシラン[3]とジメチルジアルコキシシラン[4]、テトラアルコキシシラン[5]の合計100モルに対し5〜70であることが好ましく、7〜50であることが特に好ましい。
加水分解重縮合物の製造において使用する水の量は、特に限定されない。反応効率の観点から、原料化合物のアルコキシシラン化合物に含有されるアルコキシ基の合計モル当量、すなわち、メチルジアルコキシシラン[3]、ジメチルジアルコキシシラン[4]、テトラアルコキシシラン[5]に含有されるアルコキシ基の合計モル当量に対して、0.5倍以上、5倍以下であることが好ましい。0.5倍モル当量より少ないと、アルコキシシラン化合物の加水分解が効率よく行われないことがあり、また5倍モル当量より多く加える必要はない。
加水分解重縮合物の製造において、無溶媒条件でも反応させることは可能であるが、反応溶媒を使用することもできる。反応溶媒の種類としては、加水反応重縮合物を製造するための反応を阻害しなければ、特に限定されない。中でも、アルコール類などの親水性の有機溶媒が好ましい。具体的には、メタノール、エタノール、ノルマルプロパノール、イソプロパノール、ブタノールなどを例示することができるが、これらに限定されない。反応溶媒の使用量としては、使用するアルコキシシラン化合物全量に対して0.1〜1000質量%が好ましく、特に好ましくは1〜300質量%である。なお、反応過程で反応原料のアルコキシシラン化合物から生成するアルコール類が反応溶媒として機能するため、必ずしも加える必要はない場合がある。
加水分解重縮合物の製造において、使用する触媒の種類としては、酸性触媒または塩基性触媒を使用できる。加水分解重縮合物合成後の次工程で酸触媒を使用することから、酸性触媒の使用が好ましい。この酸性触媒の種類は特に限定されない。例えば、酢酸、塩酸、硝酸、硫酸、フッ化水素酸、トリフルオロメタンスルホン酸、トシル酸、トリフルオロ酢酸、シュウ酸、クエン酸などが挙げられる。中でも、反応終了後の酸触媒の除去処理が容易なことから、酢酸、塩酸、硝酸、硫酸、シュウ酸、クエン酸、フッ化水素酸が好ましく、より好ましくは酢酸、クエン酸、硝酸である。さらに好ましくは、クエン酸である。また、塩基性触媒の種類は特に限定されない。例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、水酸化マグネシウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸セシウム、トリエチルアミン、ピリジンなどが挙げられる。
加水分解重縮合物の製造において、触媒の使用量としては、使用するアルコキシシラン化合物、溶媒および水の合計量に対して0.0001〜10質量%が好ましく、特に好ましくは0.0005〜5質量%である。
加水分解重縮合物の製造において、反応時間は、通常約3時間以上約15時間以下であり、反応温度は、通常0℃以上150℃以下であり、20℃以上110℃以下が好ましい。
精製方法は特に限定されない。精製方法としては、例えば抽出する方法が挙げられる。具体的には、前述の反応後の反応溶液を室温まで降温させた後、抽出溶媒として非水性有機溶媒と接触させることで反応系中に存在する加水分解重縮合物を抽出する。次いで、抽出後の溶液に含まれる触媒の除去を行う。触媒の除去方法は、特に限定されない。例えば、使用した触媒(例えば、クエン酸)が水溶性であれば、抽出後の溶液を水で洗浄することでこの触媒を除去することができる。次いで、触媒を除去した後の溶液に乾燥剤を加えて、系中に溶解している水を除去する。さらに、乾燥剤の除去、抽出溶媒の減圧除去を経ることで、加水分解重縮合物を高純度で精製することができる。特に、加水分解重縮合物を単離することが好ましい。このとき、乾燥剤を用いずに、触媒を除去した後の溶液から抽出溶媒を減圧除去する過程で水を同時に減圧除去してもよい。
精製後の(A)成分は、無溶媒、減圧下で加熱攪拌することで、(A)成分中に含まれる水分をさらに除去することが好ましい。このときの加熱温度は特に限定されないが、通常、40〜150℃である。
精製後の(A)成分は、無溶媒、減圧下で加熱攪拌することで、(A)成分中に含まれる水分をさらに除去することが好ましい。このときの加熱温度は特に限定されないが、通常、40〜150℃である。
前記抽出溶媒としては、非水性有機溶媒を用いることができる。この非水性有機溶媒の種類は、特に限定されない。例えば、飽和炭化水素類、芳香族炭化水素類、エステル類、エーテル類などが挙げられる。具体的には、n−ヘキサン、トルエン、キシレン、酢酸エチル、ジエチルエーテル、イソプロピルエーテル、ジブチルエーテルなどが挙げられるが、これらに限定されない。
前記乾燥剤としては、系中から水を除去し、加水分解重縮合物と分離することができれば特に限定されない。このような乾燥剤としては、固体乾燥剤が好ましく用いられる。具体的には、硫酸マグネシウムなどが挙げられるが、これに限定されない。
((B)成分の製造方法)
本発明に係る(B)成分の製造方法について説明する。一例として、以下の一般式[3]で表されるジアルコキシシラン化合物、一般式[4]で表されるジアルコキシシラン化合物および一般式[5]で表されるテトラアルコキシシラン化合物を加水分解重縮合させて(A)成分を製造することができる。以下に製造方法の詳細について説明する。
本発明に係る(B)成分の製造方法について説明する。一例として、以下の一般式[3]で表されるジアルコキシシラン化合物、一般式[4]で表されるジアルコキシシラン化合物および一般式[5]で表されるテトラアルコキシシラン化合物を加水分解重縮合させて(A)成分を製造することができる。以下に製造方法の詳細について説明する。
一般式[6]において、R5は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基である。具体例として、ビニル基、プロペニル基、n−ブテニル基、n−ペンテニル基、n−ヘキセニル基が挙げられる。中でもビニル基が好ましい。
一般式[6]において、R6は炭素数1〜3のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。2つのR6は同じ種類または互いに異なる種類であってもよい。
一般式[6]で表されるアルケニルメチルジアルコキシシラン化合物(以下、「アルケニルメチルジアルコキシシラン[6]」と表すことがある。)は、具体的には以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない:
ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジ-n-プロポキシシラン、ビニルメチルジイソプロポキシシラン、プロペニルメチルジメトキシシラン、プロペニルメチルジメトキシシラン、プロペニルメチルジ-n-プロポキシシラン、プロペニルメチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物としてビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジジエトキシシランが挙げられる。
ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジ-n-プロポキシシラン、ビニルメチルジイソプロポキシシラン、プロペニルメチルジメトキシシラン、プロペニルメチルジメトキシシラン、プロペニルメチルジ-n-プロポキシシラン、プロペニルメチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物としてビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジジエトキシシランが挙げられる。
一般式[7]において、R7は炭素数1〜3のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。2つのR7は同じ種類または互いに異なる種類であってもよい。
一般式[7]で表されるジメチルジアルコキシシラン化合物(以下、「ジメチルジアルコキシシラン[7]」と表すことがある。)は、具体的には以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない:
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ-n-プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物として、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシランが挙げられる。
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ-n-プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシラン、これらの中でも好ましい化合物として、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシランが挙げられる。
一般式[8]において、R8は炭素数1〜3のアルキル基を表し、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。4つのR8は同じ種類または互いに異なる種類であってもよい。
一般式[8]で表されるテトラアルコキシシラン化合物(以下、「テトラアルコキシシラン[8]」と表すことがある。)は、具体的には以下の化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない:
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン。
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン。
これらの中でも好ましい化合物として、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシランが挙げられる。
アルケニルメチルジアルコキシシラン[6]、ジメチルジアルコキシシラン[7]、およびテトラアルコキシシラン[8]の組み合わせは特に限定されない。アルケニルメチルジアルコキシシラン[6]およびジメチルジアルコキシシラン[7]、およびテトラアルコキシシラン[8]はそれぞれ単種類を用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。好ましい組み合わせとしては、アルケニルメチルジアルコキシシラン[6]は、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、ビニルメチルジ-n-プロポキシシラン、ビニルメチルジイソプロポキシシランからなる群から一種以上が選択され、ジメチルジアルコキシシラン[7]は、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ-n-プロポキシシラン、ジメチルジイソプロポキシシランからなる群から一種以上が選択され、テトラアルコキシシラン[8]は、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシランおよびテトライソプロポキシシランからなる群から一種以上が選択される。この中でも、特に好ましい組み合わせとしては、アルケニルメチルジアルコキシシラン[6]は、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、ジメチルジアルコキシシラン[7]は、ジメチルジメトキシシランおよびジメチルジエトキシシランからなる群から一種以上が選択され、テトラアルコキシシラン[8]は、テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシランからなる群から一種以上が選択される。
出発原料としては、一般式[6]、一般式[7]および一般式[8]で表されるアルコキシシラン化合物以外のアルコキシシラン化合物を含んでも良いが、出発原料に含まれるアルコキシシラン化合物としては、アルケニルメチルジアルコキシシラン[6]、ジメチルジアルコキシシラン[7]、およびテトラアルコキシシラン[8]のみを含むことが好ましい。
加水分解重縮合物の製造手順については、上述の加水分解重縮合物から(A)成分を製造する方法を準用して製造することができる。すなわち、上述のメチルジアルコキシシラン[3]、ジメチルジアルコキシシラン[4]および、テトラアルコキシシラン[5]をそれぞれアルケニルメチルジアルコキシシラン[6]、ジメチルジアルコキシシラン[7]、およびテトラアルコキシシラン[8]に置き換えることで、加水分解重縮合物から(B)成分を製造する方法を説明することができる。
本発明に係る(C)成分である白金触媒は、市販品を使用してもよいし、合成したものを使用してもよい。市販品を用いる場合には、例えば、「白金(0)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体溶液」(アルドリッチ社製)などを例示することができる。合成したものを用いる場合には、従来知られている方法で本発明に係る(C)成分を合成することができる。
本発明に係る、酸化防止剤は、市販品を使用してもよいし、合成したものを使用してもよい。
市販品を用いる場合には、たとえばアデカスタブ(アデカ社製):AO−20、AO−30、AO−40、AO−50、AO−50F、AO−60、AO−60G、AO−80、AO−330、AO−412S、AO−503、PEP−8、PEP−8W、PEP−36、PEP−36A、HP−10、2112、2112RG、1178、1500、C、135A、3010、TPPなどを例示することができる。
本発明に係る、光安定剤は、市販品を使用してもよいし、合成したものを使用してもよい。
市販品を用いる場合には、たとえばアデカスタブ(アデカ社製):LA−77Y、LA−77G、LA−82を例示することができる。
[2.硬化性シリコーン樹脂組成物の硬化物]
本発明の硬化性シリコーン樹脂組成物の硬化物(以下、「本発明の硬化物」と称することがある。)は、本発明の組成物を加熱して得られる。
本発明の硬化性シリコーン樹脂組成物の硬化物(以下、「本発明の硬化物」と称することがある。)は、本発明の組成物を加熱して得られる。
本発明の硬化物は、半導体装置用の封止材として利用することができ、中でも光半導体装置用、パワー半導体装置用の封止材として好適である。光半導体装置用の封止材としては、LED用光学部材の封止材や半導体レーザー用光学部材の封止材などとして好適に利用することができ、中でも、LED用光学部材の封止材として特に好適である。
一般的に、半導体装置は各種の技術によりその光取り出し効率が高められているが、半導体素子の封止材の透明度が低いと、当該封止材が光を吸収してしまい、これを用いた半導体装置の光取り出し効率が低下する。その結果、高輝度な半導体装置製品を得にくくなる傾向にある。さらに、光取り出し効率が低下した分のエネルギーは熱に変わり、半導体装置の熱劣化の原因となるため好ましくない。
本発明の硬化物は、耐熱性に優れる。具体的には、本発明の硬化物は、5%重量減少温度(硬化物が初期値の5%低下する温度)が高い。したがって、高輝度LEDや超高輝度LEDに用いられ、発熱量が高い半導体装置に、本発明の硬化物を上記の封止材として用いれば、高輝度、超高輝度な半導体装置を得られるため好ましい。なお、このことは、高輝度LED、超高輝度LEDを有する半導体装置に、本発明の硬化物を封止材として用いることを妨げない。なお、上記の5%重量減少温度は、示差熱熱重量同時測定装置の重量変化を測定することで測定することができる。
本発明の組成物を硬化させる方法は、特に限定されない。例えば、本発明の組成物を、使用すべき部位に注入、滴下、流延、注型、容器からの押出しなどの方法により、またはトランスファー成形や射出成形による一体成形によって、LEDのような封止対象物と組み合わせ、通常、45〜300℃、好ましくは60〜200℃で加熱することで、該組成物を硬化させて硬化物とし、該封止対象物を封止することができる。加熱温度が45℃以上であれば、得られる硬化物に粘着性が観測され難く、300℃以下であれば、得られる硬化物に発泡が観測され難く、実用的である。加熱時間は特に限定されない。通常0.5〜18時間程度であり、1〜12時間程度が好ましい。加熱時間が0.5時間以上であれば、硬化が充分に進行するが、LED封止用など精度が要求される場合は、硬化時間を長めにすることが好ましい。
[3.封止材]
本発明の硬化物は、半導体装置用の封止材として用いることができ、特に光半導体装置用、パワー半導体装置用、チップスケールパッケージ(CSP)(ウエハレベルパッケージ(WLP)と呼ばれることもある。)用などの封止材として好適である。本発明の硬化物からなる封止材は、上述のように耐熱性に優れる。また、通常従来の付加硬化性シリコーン樹脂組成物の硬化物と同様に透明性、耐寒性、電気絶縁性に優れる。
本発明の硬化物は、半導体装置用の封止材として用いることができ、特に光半導体装置用、パワー半導体装置用、チップスケールパッケージ(CSP)(ウエハレベルパッケージ(WLP)と呼ばれることもある。)用などの封止材として好適である。本発明の硬化物からなる封止材は、上述のように耐熱性に優れる。また、通常従来の付加硬化性シリコーン樹脂組成物の硬化物と同様に透明性、耐寒性、電気絶縁性に優れる。
[4.半導体装置]
本発明の半導体装置は、半導体素子を少なくとも備える半導体装置であって、本発明の硬化物によって該半導体素子が少なくとも封止されてなる。本発明の半導体装置におけるその他の構成は特に限定されず、半導体素子のほかにも部材を備えていてもよい。そのような部材の一例としては、例えば、ベース基板、引き出し配線、ワイヤー配線、制御素子、絶縁基板、反射材、ヒートシンク、導電部材、ダイボンド材、ボンディングパッドなどが挙げられる。また、半導体素子に加えて、部材の一部または全部が、本発明の硬化物で封止されていてもよい。
本発明の半導体装置は、半導体素子を少なくとも備える半導体装置であって、本発明の硬化物によって該半導体素子が少なくとも封止されてなる。本発明の半導体装置におけるその他の構成は特に限定されず、半導体素子のほかにも部材を備えていてもよい。そのような部材の一例としては、例えば、ベース基板、引き出し配線、ワイヤー配線、制御素子、絶縁基板、反射材、ヒートシンク、導電部材、ダイボンド材、ボンディングパッドなどが挙げられる。また、半導体素子に加えて、部材の一部または全部が、本発明の硬化物で封止されていてもよい。
本発明の半導体装置としては、具体的には、発光ダイオード(LED)装置、半導体レーザー装置およびフォトカプラなどが挙げられるが、これらに限定されない。本発明の半導体装置は、例えば、液晶ディスプレイなどのバックライト、照明、各種センサー、プリンターおよびコピー機などの光源、車両用計測器光源、信号灯、表示灯、表示装置、面状発光体の光源、ディスプレイ、装飾、各種ライトならびにスイッチング素子などに好適に用いられる。
本発明の半導体装置の一例を図1に示す。図1に例示するように、半導体装置10は、封止材1と、半導体素子2と、ボンディングワイヤー3とを半導体基板6上に少なくとも備える。半導体基板6は、リードフレーム5からなる底面と、反射材4からなる内周側面とから構成される凹部を有する。
半導体素子2は、リードフレーム5上に、ダイボンド材(図示せず)を用いて接続されている。半導体素子2に備えられたボンディングパッド(図示せず)とリードフレーム5とは、ボンディングワイヤー3により電気的に接続されている。反射材4は、半導体素子2からの光を所定方向に反射させる作用を有する。半導体基板6が有する上記凹部の領域内には、半導体素子2を少なくとも封止するように封止材1が充填されている。このとき、ボンディングワイヤー3をも封止するように、封止材1が充填されていてもよい。封止材1は、本発明の硬化物からなる。封止材1の内部には、前述の蛍光体(図示せず)が含まれていてもよい。封止材1により、湿気、塵埃などから半導体素子2を保護し、長期間に渡って信頼性を維持することができる。さらに、封止材1がボンディングワイヤー3をも封止することで、同時に、ボンディングワイヤー3が外れたり、切断したり、短絡したりすることによって生じる電気的な不具合を防止することができる。
本発明の硬化物は、後述するように、半導体用接着剤として用いることができる。したがって、上述のダイボンド材などとして採用することもできる。
半導体装置10において、本発明の硬化物からなる封止材1によって封止される半導体素子2としては、例えばLED、半導体レーザー、フォトダイオード、フォトトランジスタ、太陽電池、CCD(電荷結合素子)などが挙げられる。なお、図1に示す構造は、本発明の半導体装置の一例にすぎず、反射材の構造、リードフレームの構造、半導体素子の実装構造などは適宜変形され得る。
図1で示される半導体装置10を製造する方法は、特に限定されない。例えば、反射材4を備えたリードフレーム5に半導体素子2をダイボンドし、この半導体素子2とリードフレーム5とをボンディングワイヤー3によりワイヤーボンドし、次いで、半導体素子の周囲に設けられた反射材の内側(リードフレームと反射材からなる凹部)に本発明の組成物を充填した後、50〜250℃で加熱することにより硬化させて封止材1とする方法が挙げられる。
[5.半導体装置用接着剤]
本発明の組成物は、良好な密着性を有するため、半導体装置用接着剤として用いることができる。具体的には、例えば、半導体素子とパッケージを接着する場合、半導体素子とサブマウントを接着する場合、パッケージ構成要素同士を接着する場合、半導体装置と外部光学部材とを接着する場合などに、本発明の組成物を塗布、印刷、ポッティングなどすることにより用いることができる。
本発明の組成物は、良好な密着性を有するため、半導体装置用接着剤として用いることができる。具体的には、例えば、半導体素子とパッケージを接着する場合、半導体素子とサブマウントを接着する場合、パッケージ構成要素同士を接着する場合、半導体装置と外部光学部材とを接着する場合などに、本発明の組成物を塗布、印刷、ポッティングなどすることにより用いることができる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
1.原料の物性評価方法
[組成比の決定およびHO−Si基の定量]
シリコーン樹脂200mgに、0.5mLの重クロロホルムを加えて溶解させ、緩和剤としてクロム(III)アセチルアセトナート錯体を10mg加えた。これにより調製した溶液を29Si−NMRで測定した。検出したシグナルを、表1に示すように、ピーク(a)〜(m)に分類し、それぞれのピークを全積分値の和から百分率(積分比)として算出した。なお、シリコーン樹脂の29Si−NMR測定には、共鳴周波数400MHzの核磁気共鳴装置(日本電子株式会社製、型番:JNM−AL400)を使用した。
シリコーン樹脂200mgに、0.5mLの重クロロホルムを加えて溶解させ、緩和剤としてクロム(III)アセチルアセトナート錯体を10mg加えた。これにより調製した溶液を29Si−NMRで測定した。検出したシグナルを、表1に示すように、ピーク(a)〜(m)に分類し、それぞれのピークを全積分値の和から百分率(積分比)として算出した。なお、シリコーン樹脂の29Si−NMR測定には、共鳴周波数400MHzの核磁気共鳴装置(日本電子株式会社製、型番:JNM−AL400)を使用した。
上記式[9]におけるa、b、c、dの値は以下の式から算出することで決定した:
a=(ピーク(i)面積+ピーク(i)面積)/全ピーク面積の和、
b=(ピーク(a)面積+ピーク(b)面積)/全ピーク面積の和、
c=(ピーク(c)面積+ピーク(d)面積+ピーク(e)面積)/全ピーク面積の和、
d=(ピーク(f)面積+ピーク(g)面積+ピーク(h)面積+ピーク(i)面積)/全ピーク面積の和。
a=(ピーク(i)面積+ピーク(i)面積)/全ピーク面積の和、
b=(ピーク(a)面積+ピーク(b)面積)/全ピーク面積の和、
c=(ピーク(c)面積+ピーク(d)面積+ピーク(e)面積)/全ピーク面積の和、
d=(ピーク(f)面積+ピーク(g)面積+ピーク(h)面積+ピーク(i)面積)/全ピーク面積の和。
e=(ピーク(l)面積+ピーク(m)面積)/全ピーク面積の和、
f=(ピーク(a)面積+ピーク(b)面積)/全ピーク面積の和、
g=(ピーク(f)面積+ピーク(g)面積+ピーク(h)面積+ピーク(i)面積)/全ピーク面積の和。
29Si−NMRにおいて、Me−Si基、H−Si基、CH2=CH−Si基またはその他の基のピークが重なった場合は、1H−NMRにおけるMe−Si基、H−Si基、CH2=CH−Si基またはその他の基のピークの積分面積に基づいて算出した。
HO−Si基の含有量(mmol/g)は、上述の方法で算出した積分比から以下の式に従って決定した:
[A]= 1×ピーク(a)積分比+2×ピーク(c)積分比+1×ピーク(d)積分比+3×ピーク(f)積分比+2×ピーク(g)積分比+1×ピーク(h)積分比+1×ピーク(j)積分比+1×ピーク(l)積分比、
[B]=ピーク(a)積分比×83.16+ピーク(b)積分比×74.15+ピーク(c)積分比×83.20+ピーク(d)積分比×75.10+ピーク(e)積分比×67.10+ピーク(f)積分比×87.92+ピーク(g)積分比×78.10+ピーク(h)積分比×69.09+ピーク(i)積分比×60.08+ピーク(j)積分比×69.14+ピーク(k)積分比×60・13+ピーク(l)積分比×83.16+ピーク(m)積分比×74.15、
HO−Si基の含有量(mmol/g)=([A]/[B])×1000。
[A]= 1×ピーク(a)積分比+2×ピーク(c)積分比+1×ピーク(d)積分比+3×ピーク(f)積分比+2×ピーク(g)積分比+1×ピーク(h)積分比+1×ピーク(j)積分比+1×ピーク(l)積分比、
[B]=ピーク(a)積分比×83.16+ピーク(b)積分比×74.15+ピーク(c)積分比×83.20+ピーク(d)積分比×75.10+ピーク(e)積分比×67.10+ピーク(f)積分比×87.92+ピーク(g)積分比×78.10+ピーク(h)積分比×69.09+ピーク(i)積分比×60.08+ピーク(j)積分比×69.14+ピーク(k)積分比×60・13+ピーク(l)積分比×83.16+ピーク(m)積分比×74.15、
HO−Si基の含有量(mmol/g)=([A]/[B])×1000。
[H−Si基及びCH2=CH−Si基の定量]
6mLのサンプル管にシリコーン樹脂を20〜30mg秤量し、0.8mLの重クロロホルムを加え、シリコーン樹脂を溶解させた。その溶液に10mgの1,3,5−トリオキサン(11mmol)を添加し、サンプル管を閉じ、溶液を攪拌して均一にして測定試料とした。その試料を1H−NMRで測定し、1,3,5−トリオキサンのプロトン比と、H−Si基またはCH2=CH−Si基のプロトン比とを算出して、測定試料中のH−Si基またはCH2=CH−Si基のモル数を決定した。次いで、以下の式に従って、測定試料1g中の各官能基の含有量を算出した:
シリコーン樹脂中の官能基のモル数(mmol)/測定試料量(mg)×1000=測定試料1g中の官能基量(mmol/g)。
6mLのサンプル管にシリコーン樹脂を20〜30mg秤量し、0.8mLの重クロロホルムを加え、シリコーン樹脂を溶解させた。その溶液に10mgの1,3,5−トリオキサン(11mmol)を添加し、サンプル管を閉じ、溶液を攪拌して均一にして測定試料とした。その試料を1H−NMRで測定し、1,3,5−トリオキサンのプロトン比と、H−Si基またはCH2=CH−Si基のプロトン比とを算出して、測定試料中のH−Si基またはCH2=CH−Si基のモル数を決定した。次いで、以下の式に従って、測定試料1g中の各官能基の含有量を算出した:
シリコーン樹脂中の官能基のモル数(mmol)/測定試料量(mg)×1000=測定試料1g中の官能基量(mmol/g)。
なお、シリコーン樹脂の1H−NMR測定には、共鳴周波数400MHzの核磁気共鳴装置(日本電子株式会社製、型番:ECA−400)を使用した。シリコーン樹脂中の各官能基のケミカルシフトを以下に示す:
Me−Si: 0.0〜0.5ppm(3H)、
H−Si: 4.0〜5.0ppm(1H)、
CH2=CH−Si: 5.5〜6.5ppm(3H)。
Me−Si: 0.0〜0.5ppm(3H)、
H−Si: 4.0〜5.0ppm(1H)、
CH2=CH−Si: 5.5〜6.5ppm(3H)。
[質量平均分子量(Mw)測定]
シリコーン樹脂の質量平均分子量(Mw)は、下記条件のゲル透過クロマトグラフィ(略称:GPC)法により、ポリスチレンを基準物質として検量線を作成して値を算出した:
装置:東ソー株式会社製、製品名:HLC−8320GPC、
カラム:東ソー株式会社製、製品名:TSK gel Super HZ 2000x4、3000x2、
溶離液:テトラヒドロフラン。
シリコーン樹脂の質量平均分子量(Mw)は、下記条件のゲル透過クロマトグラフィ(略称:GPC)法により、ポリスチレンを基準物質として検量線を作成して値を算出した:
装置:東ソー株式会社製、製品名:HLC−8320GPC、
カラム:東ソー株式会社製、製品名:TSK gel Super HZ 2000x4、3000x2、
溶離液:テトラヒドロフラン。
[屈折率]
シリコーン樹脂の屈折率は、屈折率計(京都電子工業株式会社製、型式:RA−600)を使用して測定した。
シリコーン樹脂の屈折率は、屈折率計(京都電子工業株式会社製、型式:RA−600)を使用して測定した。
[粘度測定]
シリコーン樹脂の粘度は、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51、測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を本発明の組成物の粘度を採用した。測定範囲未満の低粘度である場合には「<200」と表記した。
シリコーン樹脂の粘度は、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51、測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を本発明の組成物の粘度を採用した。測定範囲未満の低粘度である場合には「<200」と表記した。
[透明性]
紫外可視分光光度計(株式会社島津製作所製、型番:UV−3150)を使用して、405nm、365nmの波長領域における樹脂の透過率を測定した。測定セルは石英製を使用し、セルの厚みは1cmのものを使用した。
紫外可視分光光度計(株式会社島津製作所製、型番:UV−3150)を使用して、405nm、365nmの波長領域における樹脂の透過率を測定した。測定セルは石英製を使用し、セルの厚みは1cmのものを使用した。
2.原料合成例および比較合成例
[原料合成例1−1]シリコーン樹脂(A1)の合成
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、20.98g(0.156mol)のHSiMe(OEt)2、131.47g(1.094mol)のMe2Si(OMt)2、26.04g(0.125mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、54.05gの水および7.09gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に40℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(A1)を得た。
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、20.98g(0.156mol)のHSiMe(OEt)2、131.47g(1.094mol)のMe2Si(OMt)2、26.04g(0.125mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、54.05gの水および7.09gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に40℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(A1)を得た。
シリコーン樹脂(A1)の収量は37.263gであり、質量平均分子量(Mw)は2040であり、組成比は(H−SiMeO2/2)0.04(Me2SiO2/2)0.78(MeSiO3/2)0.04(SiO4/2)0.14であり、H−Si基の含有量は1.1mmol/gであり、HO−Si基の含有量は3.1mmol/gであった。
[原料合成例1−2] シリコーン樹脂(B1)の合成
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、41.32g(0.313mol)のCH2=CH−SiMe(OMe)2、262.94g(2.1875mol)のMe2Si(OMt)2、52.08g(0.250mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、108.09gの水および14.18gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(B1)を得た。
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、41.32g(0.313mol)のCH2=CH−SiMe(OMe)2、262.94g(2.1875mol)のMe2Si(OMt)2、52.08g(0.250mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、108.09gの水および14.18gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(B1)を得た。
シリコーン樹脂(B1)の収量は79.793gであり、質量平均分子量(Mw)は1742であり、組成比は(CH2=CH−SiMeO2/2)0.12(Me2SiO2/2)0.77(SiO4/2)0.11であり、CH2=CH−Si基の含有量は1.4mmol/gHO−Si基の含有量は2.7mmol/gであった。
[原料合成例2−1]シリコーン樹脂(A2)の合成
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、20.14g(0.150mol)のHSiMe(OEt)2、126.21g(1.0500mol)のMe2Si(OMt)2、62.52g(0.300mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、64.85gの水および8.51gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に40℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(A2)を得た。
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、20.14g(0.150mol)のHSiMe(OEt)2、126.21g(1.0500mol)のMe2Si(OMt)2、62.52g(0.300mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、64.85gの水および8.51gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に40℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(A2)を得た。
シリコーン樹脂(A2)の収量は43.489gであり、質量平均分子量(Mw)は3107であり、組成比は(H−SiMeO2/2)0.04(Me2SiO2/2)0.66(MeSiO3/2)0.06(SiO4/2)0.25であり、H−Si基の含有量は0.8mmol/gであり、HO−Si基の含有量は3.5mmol/gであった。
[原料合成例2−2] シリコーン樹脂(B2)の合成
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、33.06g(0.250mol)のCH2=CH−SiMe(OMe)2、210.35g(1.750mol)のMe2Si(OMt)2、104.15g(0.500mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、108.09gの水および14.18gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(B2)を得た。
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積1Lのガラス反応容器に、33.06g(0.250mol)のCH2=CH−SiMe(OMe)2、210.35g(1.750mol)のMe2Si(OMt)2、104.15g(0.500mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、108.09gの水および14.18gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび200mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで200mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(B2)を得た。
シリコーン樹脂(B2)の収量は91.751gであり、質量平均分子量(Mw)は2730であり、組成比は(CH2=CH−SiMeO2/2)0.09(Me2SiO2/2)0.67(SiO4/2)0.24であり、CH2=CH−Si基の含有量は1.2mmol/gHO−Si基の含有量は2.9mmol/gであった。
[比較合成例1−1] シリコーン樹脂(PI)の合成
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積2Lのガラス反応容器に、601.00g(5.00mol)のMe2Si(OMe)2、104.15g(0.50mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、216.18gの水および28.37gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に150mLのトルエンおよび250mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで250mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(PI)を得た。
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積2Lのガラス反応容器に、601.00g(5.00mol)のMe2Si(OMe)2、104.15g(0.50mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、216.18gの水および28.37gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に150mLのトルエンおよび250mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで250mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(PI)を得た。
シリコーン樹脂(PI)の収量は203.11gであり、質量平均分子量(Mw)は1617であり、組成比は(Me2SiO2/2)0.88(SiO4/2)0.12であり、HO−Si基の含有量は1.61mmol/gであった。
[原料合成例1−2] シリコーン樹脂(PA1)の合成
99.89gのシリコーン樹脂(PI)、299.67gのトルエン、99.89gのメタノール、17.51gの1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび0.42mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、300mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、短工程蒸留装置にて100℃、3.0Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PA1)を得た。
99.89gのシリコーン樹脂(PI)、299.67gのトルエン、99.89gのメタノール、17.51gの1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび0.42mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、300mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、短工程蒸留装置にて100℃、3.0Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PA1)を得た。
シリコーン樹脂(PA1)の収量は86.34gであり、質量平均分子量(Mw)は1833であり、粘度は200cP未満であり、組成比は(H−SiMe2O1/2)0.11(Me2SiO2/2)0.77(SiO4/2)0.12であり、H−Si基の含有量は1.4mmol/gであり、HO−Si基の含有量は0.9mmol/gであった。
[原料合成例1−3] シリコーン樹脂(PB1)の合成
97.72gのシリコーン樹脂(PI)、293.16gのトルエン、97.72gのメタノール、23.77gの1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび8.17mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、293mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、42.3mgの200ppm白金トルエン溶液を添加し、短工程蒸留装置にて100℃、3.6Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PB1)を得た。
97.72gのシリコーン樹脂(PI)、293.16gのトルエン、97.72gのメタノール、23.77gの1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび8.17mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、293mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、42.3mgの200ppm白金トルエン溶液を添加し、短工程蒸留装置にて100℃、3.6Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PB1)を得た。
シリコーン樹脂(PB1)の収量は83.56gであり、質量平均分子量(Mw)は1758であり、粘度は200cP未満であり、組成比は(CH2=CH−SiMe2O1/2)0.11(Me2SiO2/2)0.76(SiO4/2)0.13であり、CH2=CH−Si基の含有量は1.4mmol/gであり、HO−Si基の含有量は0.8mmol/gであった。
[原料合成例2−1] シリコーン樹脂(PII)の合成
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積2Lのガラス反応容器に、721.20g(6.00mol)のMe2Si(OMe)2、312.45g(1.50mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、324.27gの水および42.55gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび300mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで300mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(PII)を得た。
フッ素樹脂製の撹拌翼、ジムロート型還流器を具備した容積2Lのガラス反応容器に、721.20g(6.00mol)のMe2Si(OMe)2、312.45g(1.50mol)のSi(OEt)4を採取した。次いで、324.27gの水および42.55gのクエン酸を反応容器に加えて、反応容器内を6時間、連続的に100℃にて加温し、加水分解および縮合反応を行った。その後、反応液を室温に戻し、水層のみを除去した。有機層が残った反応容器に400mLのトルエンおよび300mLの水を加え、分液操作を行った後、水層を除去した。次いで300mLの水により有機層の洗浄操作を3回行った。その後、有機層を回収し、エバポレーターにて、トルエンを減圧留去した。さらに、短工程蒸留にて揮発成分を減圧留去した。無色の粘性液体としてシリコーン樹脂(PII)を得た。
シリコーン樹脂(PII)の収量は215.18gであり、質量平均分子量(Mw)は2985であり、組成比は(Me2SiO2/2)0.78(SiO4/2)0.22であり、HO−Si基の含有量は2.21mmol/gであった。
[原料合成例2−2] シリコーン樹脂(PA2)の合成
100.01gのシリコーン樹脂(PII)、300.03gのトルエン、100.01gのメタノール、14.84gの1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび0.35mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、300mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、短工程蒸留装置にて100℃、6.4Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PA2)を得た。
100.01gのシリコーン樹脂(PII)、300.03gのトルエン、100.01gのメタノール、14.84gの1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび0.35mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、300mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、短工程蒸留装置にて100℃、6.4Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PA2)を得た。
シリコーン樹脂(PA2)の収量は85.24gであり、質量平均分子量(Mw)は3099であり、粘度は200cP未満であり、組成比は(H−SiMe2O1/2)0.09(Me2SiO2/2)0.69(SiO4/2)0.22であり、H−Si基の含有量は1.1mmol/gであり、HO−Si基の含有量は1.1mmol/gであった。
[原料合成例2−3] シリコーン樹脂(PB2)の合成
99.99gのシリコーン樹脂(PII)、299.97gのトルエン、99.99gのメタノール、20.60gの1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび7.08mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、300mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、54.8mgの200ppm白金トルエン溶液を添加し、短工程蒸留装置にて100℃、4.0Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PB2)を得た。
99.99gのシリコーン樹脂(PII)、299.97gのトルエン、99.99gのメタノール、20.60gの1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンおよび7.08mLの70%濃硝酸をフラスコ内に加え、40℃で攪拌を行った。2時間後、分液ロートに反応溶液を移し、300mLの水を加え、抽出操作をした後、有機層を回収した。同様の操作を4回繰り返すことにより、有機層を洗浄した。エバポレーターにより有機層からトルエンを留去した後、54.8mgの200ppm白金トルエン溶液を添加し、短工程蒸留装置にて100℃、4.0Paで揮発成分を減圧留去し、無色透明な粘性液体としてシリコーン樹脂(PB2)を得た。
シリコーン樹脂(PB2)の収量は75.22gであり、質量平均分子量(Mw)は2951であり、粘度は200cP未満であり、組成比は(CH2=CH−SiMe2O1/2)0.10(Me2SiO2/2)0.67(SiO4/2)0.23であり、CH2=CH−Si基の含有量は1.1mmol/gであり、HO−Si基の含有量は1.0mmol/gであった。
合成したシリコーン樹脂(A1)、(B1)、(A2)、(B2)、(PA1)、(PB1)、(PA2)、(PB2)について、組成比および各物性値(HO−Si基の含有量、H−Si基またはCH2=CH−Si基の含有量、質量平均分子量、粘度、屈折率、透明性)について表2に示す。
表2に示されるように、原料合成例で得られたシリコーン樹脂(A1)、(A2)およびシリコーン樹脂(B1)、(B2)はいずれも、比較合成例で得られたシリコーン樹脂(PA1)、(PA2)、(PB1)および(PB2)と比較して、高いHO−Si量を有し、かつ同程度の透明性を示した。
3.硬化性シリコーン樹脂組成物の調製
後述する実施例1〜2、比較例1〜3において、
シリコーン樹脂(A1)、(A2)(PA1)および(PA2)からなる群より選ばれる一種を(A)成分とし、
シリコーン樹脂(B1)、(B2)、(PB1)および(PB2)からなる群より選ばれる一種を(B)成分とし、
(A1)、(A2)の(A)成分と(B1)、(B2)の(B)成分を、(A)成分の質量:(B)成分の質量=1:1となるように配合した。さらに、(C)成分として白金触媒と混合して、組成物1、2を調製した。
シリコーン樹脂(A1)、(A2)(PA1)および(PA2)からなる群より選ばれる一種を(A)成分とし、
シリコーン樹脂(B1)、(B2)、(PB1)および(PB2)からなる群より選ばれる一種を(B)成分とし、
(A1)、(A2)の(A)成分と(B1)、(B2)の(B)成分を、(A)成分の質量:(B)成分の質量=1:1となるように配合した。さらに、(C)成分として白金触媒と混合して、組成物1、2を調製した。
一方、(PA1)および(PA2)の(A)成分と(PB1)および(PB2)の(B)成分を、(A)成分の質量:(B)成分の質量=1:1となるように配合し、さらに、(C)成分として白金触媒と混合して、組成物3、4を調製した。
ここで、白金触媒としては、組成物全体量に対して、白金原子の含有量が質量単位で0.03〜0.3ppmとなるように白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体を用いた。
ここで、白金触媒としては、組成物全体量に対して、白金原子の含有量が質量単位で0.03〜0.3ppmとなるように白金−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体を用いた。
調製した組成物1〜4の各組成を表3に示す。
4.組成物およびその硬化物の物性評価方法
調製した組成物の粘度、HO−Si基含有量、該組成物から得られる硬化物の物理特性(5%重量減少温度、透明性、ショア硬度、接着強度)、硬化時の外観および打ち抜き成形性を次のようにして測定した。
[組成物の粘度]
調製した組成物の粘度は、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51、測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を採用した。測定範囲未満の低粘度液体の時は「<200」と表記した。
調製した組成物の粘度は、JIS Z8803(2011)における「円すい−板形回転粘度計による粘度測定方法」に従い、回転粘度計(ANTON PAAR製、品名:PHYSICA MCR51、測定範囲200〜1,000,000cP)と温度制御ユニット(ANTON PAAR製、品名:P−PTD200)を使用して、25℃の温度においてせん断速度30[1/s]で測定し、測定開始から1分後に得られた値を採用した。測定範囲未満の低粘度液体の時は「<200」と表記した。
[組成物のHO−Si基含有量]
調製した組成物のHO−Si基含有量について、下記に示す式より算出した:
[組成物のHO−Si基含有量]={((A)成分のHO−Si基含有量)×2+((B)成分のHO−Si基含有量)}/2
調製した組成物のHO−Si基含有量について、下記に示す式より算出した:
[組成物のHO−Si基含有量]={((A)成分のHO−Si基含有量)×2+((B)成分のHO−Si基含有量)}/2
[硬化物の5%重量減少温度]
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して厚さが2mmの板状硬化物を作製した。板状硬化物の一部を切り出した。示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA)としてSTA7200AS−3T(株式会社日立ハイテクサイエンス社製)を用いて、切り出した硬化物を空気中5℃/分の昇温速度で25℃から500℃まで加熱し、硬化物が初期重量から5%重量減少した時の温度を測定した。
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して厚さが2mmの板状硬化物を作製した。板状硬化物の一部を切り出した。示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA)としてSTA7200AS−3T(株式会社日立ハイテクサイエンス社製)を用いて、切り出した硬化物を空気中5℃/分の昇温速度で25℃から500℃まで加熱し、硬化物が初期重量から5%重量減少した時の温度を測定した。
[硬化物の透明性]
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して厚さが2mmの板状硬化物を作製した。紫外可視分光光度計(株式会社島津製作所製、型番:UV−3150)を使用して、この板状硬化物の405nm、365nm、300nm波長領域における透過率を測定した。さらに、目視観察も行って着色が見られるものを「×」、着色が見られないものを「○」と判定した。
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して厚さが2mmの板状硬化物を作製した。紫外可視分光光度計(株式会社島津製作所製、型番:UV−3150)を使用して、この板状硬化物の405nm、365nm、300nm波長領域における透過率を測定した。さらに、目視観察も行って着色が見られるものを「×」、着色が見られないものを「○」と判定した。
[硬化物の硬度]
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して厚さが2mmの板状硬化物を作製した。この硬化物を重ね合わせ6mm以上の厚みを有する試験片を作製した。この試験片のショアAまたはショアDの硬度を、デュロメータ(株式会社テクロック製、型式:GS−719R、GS−720R)を用いて、JIS K 7215「プラスチックのデュロメータ硬さ試験方法」に規定の方法により測定した。
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して厚さが2mmの板状硬化物を作製した。この硬化物を重ね合わせ6mm以上の厚みを有する試験片を作製した。この試験片のショアAまたはショアDの硬度を、デュロメータ(株式会社テクロック製、型式:GS−719R、GS−720R)を用いて、JIS K 7215「プラスチックのデュロメータ硬さ試験方法」に規定の方法により測定した。
[硬化物の接着強度]
調製した組成物と、直径50μmのジルコニアボールとを混合したものを、ガラスチップ(5.0mm×5.0mm×1.1mm)と、ガラス基板(50mm×50mm×3.0mm)との間に挟んだ状態で組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して硬化させた。作製した試料の接着力(接着強度)をボンドテスター(デイジ・ジャパン株式会社製、型式:Dage4000Plus)により測定した。
調製した組成物と、直径50μmのジルコニアボールとを混合したものを、ガラスチップ(5.0mm×5.0mm×1.1mm)と、ガラス基板(50mm×50mm×3.0mm)との間に挟んだ状態で組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して硬化させた。作製した試料の接着力(接着強度)をボンドテスター(デイジ・ジャパン株式会社製、型式:Dage4000Plus)により測定した。
[硬化物の外観]
調製した組成物1gを、ガラスモールド(22mmφ)に広げ、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して22mmφ、2mm厚の硬化物を作製した。3個の試験体を作製し、試験体の外観を目視確認し、全ての試験体において、硬化物中に泡およびクラックの発生が観測されない状態を「良好」とした。それ以外の場合には「不良」とした。
調製した組成物1gを、ガラスモールド(22mmφ)に広げ、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して22mmφ、2mm厚の硬化物を作製した。3個の試験体を作製し、試験体の外観を目視確認し、全ての試験体において、硬化物中に泡およびクラックの発生が観測されない状態を「良好」とした。それ以外の場合には「不良」とした。
[打ち抜き成形性試験]
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して板状硬化物を作製した。この板状硬化物を、JIS K 6251に準じてダンベル状8号形に打ち抜き成形した。硬化体の打ち抜き時に亀裂や樹脂欠けが生じずに打ち抜き成形できたものを「良好」と評価した。それ以外の場合には「不良」とした。
調製した組成物を型(90mm×90mm×2mm)に流し込み、組成物1、2は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で12時間加熱、組成物3、4は空気中90℃で1時間加熱し、さらに150℃で4時間加熱して板状硬化物を作製した。この板状硬化物を、JIS K 6251に準じてダンベル状8号形に打ち抜き成形した。硬化体の打ち抜き時に亀裂や樹脂欠けが生じずに打ち抜き成形できたものを「良好」と評価した。それ以外の場合には「不良」とした。
5.実施例および比較例
[実施例1、2および比較例1、2]
調製した組成物1、2を用いて、上述の物性評価試験を行った(実施例1、2)。同様にして、調製した組成物3、4を用いて、上述の物性評価試験を行った(比較例1、2)。これらの結果を表3に示す。
調製した組成物1、2を用いて、上述の物性評価試験を行った(実施例1、2)。同様にして、調製した組成物3、4を用いて、上述の物性評価試験を行った(比較例1、2)。これらの結果を表3に示す。
表3に示されるように実施例1、2で調製した組成物1、2は、比較例1、2で調製した組成物3、4と比較して、いずれも高い5%重量減少温度を有する。さらに、得られた硬化物は高いショア硬度、接着強度を示した。また、良好な透明性、外観、打ち抜き成形性を持ち合わす。
以上のことから、本発明の範疇にある実施例1、2で調製した組成物1、2は、高い5%重量減少温度を有し、その他物性においても良好な物性であることが示された。
1…封止材、 2…半導体素子、 3…ボンディングワイヤー、 4…反射材、 5…リードフレーム、 6…半導体基板、 10…半導体装置。
Claims (12)
- 下記(A)成分、(B)成分および(C)成分を少なくとも含む、光半導体封止用硬化性シリコーン樹脂組成物。
(A)成分: 下記式[1]で示されるシリコーン樹脂、
(B)成分: 下記式[2]で示されるシリコーン樹脂、
(C)成分: ヒドロシリル化触媒。
式[2]中、R1は炭素数2〜6の1価の不飽和炭化水素基を示し、Meはメチル基を示し、e、fおよびgはそれぞれ0超、1未満の数であり、e+f+g=1を満たし、(R1−SiMeO2/2)、(Me2SiO2/2)および(SiO4/2)で表される構造単位における酸素原子はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子、またはシラノール基を形成している酸素原子を示す。) - 式[2]中のR1が、ビニル基である、請求項1に記載の組成物。
- (A)成分のaの値が0.01〜0.50であり、bの値が0.10〜0.94あり、cの値が0〜0.50であり、dの値が0.05〜0.50である、請求項1または2に記載の組成物。
- (B)成分のeの値が0.05〜0.50であり、fの値が0.10〜0.94あり、gの値が0.01〜0.50である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の組成物。
- (A)成分の質量平均分子量が500〜10,000である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の組成物。
- (B)成分の質量平均分子量が500〜10,000である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の組成物。
- [(A)成分に含有されるH−Si基のモル数]/[(B)成分に含有されるR1−Si基のモル数]が1〜4である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の組成物。
- 硬化遅延剤、酸化防止剤、光安定剤、接着付与剤、蛍光体、無機粒子、離型剤、樹脂改質剤、着色剤、希釈剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤およびタレ防止剤からなる群より選ばれる少なくとも一種をさらに含む、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の組成物。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の組成物を硬化してなる硬化物。
- 請求項9に記載の硬化物で、半導体素子が少なくとも封止された光半導体装置。
- 請求項9に記載の硬化物からなる光半導体用接着剤。
- 請求項11に記載の光半導体用接着剤を用いた光半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017064627A JP2018168216A (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017064627A JP2018168216A (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018168216A true JP2018168216A (ja) | 2018-11-01 |
Family
ID=64019982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017064627A Pending JP2018168216A (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018168216A (ja) |
-
2017
- 2017-03-29 JP JP2017064627A patent/JP2018168216A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105518077B (zh) | 硬化性硅组合物、其硬化物、以及光半导体装置 | |
TWI465487B (zh) | 光半導體密封用樹脂組成物 | |
JP4911805B2 (ja) | 光半導体装置用封止剤及びそれを用いた光半導体装置 | |
WO2011125463A1 (ja) | 光半導体装置用封止剤及び光半導体装置 | |
WO2017010327A1 (ja) | 硬化性ポリボロシロキサン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた光半導体装置 | |
JP2006241462A (ja) | 光学材料用組成物、光学材料、その製造方法、およびそれを用いた液晶表示装置 | |
JP5149126B2 (ja) | 半導体封止用硬化性組成物 | |
JP5885368B2 (ja) | 硬化性組成物 | |
JP2008063565A (ja) | 光半導体用熱硬化性組成物、光半導体素子用封止剤、光半導体素子用ダイボンド材、光半導体素子用アンダーフィル材及び光半導体素子 | |
JP2009024041A (ja) | 光半導体用封止剤及び光半導体素子 | |
JP2016169358A (ja) | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた光半導体装置 | |
JP2018111783A (ja) | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 | |
JP2012111836A (ja) | 光半導体装置用封止剤及びそれを用いた光半導体装置 | |
JP2012007136A (ja) | 光半導体装置用封止剤及びそれを用いた光半導体装置 | |
WO2013035736A1 (ja) | 光半導体装置用硬化性組成物 | |
JP2015115494A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2017128707A (ja) | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた光半導体装置 | |
WO2018088316A1 (ja) | 硬化性シリコーン組成物およびそれを用いた光半導体装置 | |
JP2011178892A (ja) | 光半導体素子用封止剤及びそれを用いた光半導体装置 | |
JP5323037B2 (ja) | 光半導体装置用封止剤及びそれを用いた光半導体装置 | |
JP2017020005A (ja) | 硬化性ポリボロシロキサン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた光半導体装置 | |
JP2018168216A (ja) | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた半導体装置 | |
JPWO2018062513A1 (ja) | Led用封止材組成物 | |
KR20140015215A (ko) | 경화성 조성물 | |
WO2016013421A1 (ja) | 硬化性シリコーン樹脂組成物およびその硬化物、並びにこれらを用いた光半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20190628 |