JP2018166141A - トレイ、積層体処理システム、及び積層体処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係るトレイの一例を示す平面図である。なお、図1では、角部Cの一部を拡大した図を併せて示している。図2は、トレイの角部Cの一例を示す斜視図である。図3は、図2におけるA−A断面に沿った構成を示す図である。図1から図3に示すトレイ100は、パネル状の積層体Wを載置し、不図示の搬送装置等によって搬送される。積層体Wは、例えば、ファンアウト型PLP(Fan−out Panel Level Package)技術によって製造されたパネル状の積層体などが挙げられる。パネル状の積層体Wは、例えば、ガラス基板上に、分離層と、接着層と、電子部品を含むモールド層と、がこの順番で積層されて形成されている。ただし、積層体Wとしてはこの形態に限定されず、接着層がなくてもよく、また、電子部品を含むモールド層が多段に積層された形態であってもよい。
図8は、本実施形態に係る積層体処理システムSYSの一例を概略的に示す平面図である。積層体処理システムSYSは、上記したトレイ100を載置して、トレイ100に載置された積層体Wを処理する。積層体処理システムSYSは、は、例えば、トレイ100に載置された積層体Wに対して、膜の一部あるいは全部の除去を行う処理、または洗浄処理を行う。積層体処理システムSYSは、は、ステージ装置50と、ローダ装置60と、洗浄装置70と、乾燥装置80と、アンローダ装置90と、これら各部を統括して制御する不図示の制御装置とを有する。
図10は、本実施形態に係る積層体処理方法の一例を模式的に示しており、洗浄装置70の動作の一例を模式的に示す図である。本実施形態に係る積層体処理方法は、上記したように、トレイ100に、パネル状の積層体Wを載置することと、トレイ100に載置された積層体Wを処理することと、を含む。本実施形態では、処理の一例として、積層体Wを洗浄する工程を示している。また、処理としては、積層体Wの一部を形成(例えば成膜)することも含む。図10に示すように、洗浄装置70は、まず、第1ノズル部71により第1溶剤を噴射する。この場合、洗浄装置70は、第1ノズル部71を積層体Wのうちトレイ100の移動方向の後側端部に配置させ、スリットノズル75から第1溶剤を噴射させる。第1溶剤は、積層体Wのうち搬送方向の後方の縁部に噴射される。これにより、基板Sから移動方向の後方にはみ出した分離層Rが溶解して除去される。
上記した実施形態においては、トレイ100が液体吸引部30及び噴射部40を備える構成を例に挙げて説明したが、これに限定されない。図11〜図15は、それぞれ他の実施形態に係るトレイを示す断面図あるいは平面図である。なお、以下の図11〜図15に示す他の実施形態の説明において、上記したトレイ100に関する実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する
Claims (16)
- パネル状の積層体を載置するトレイであって、
前記積層体を吸着するための吸着部と、
前記吸着部よりも外側に設けられて液体を吸引するための液体吸引部と、を備える、トレイ。 - 前記液体吸引部は、前記積層体の縁部に対応するように一周にわたって設けられる、請求項1に記載のトレイ。
- 前記液体吸引部は、前記積層体を載置した際に、上方から見て前記積層体に覆われる位置に設けられる、請求項2に記載のトレイ。
- 前記液体吸引部は、前記積層体の縁部に対応した位置に前記トレイに形成されたテーパ面に設けられる、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のトレイ。
- 前記吸着部と前記液体吸引部との間に設けられ、前記積層体に向けてガスを噴射する噴射部を備える、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のトレイ。
- 前記噴射部は、外側に傾いた向きでガスを噴射する、請求項5に記載のトレイ。
- 前記噴射部は、少なくとも前記積層体の四隅に対応する位置に設けられる、請求項5又は請求項6に記載のトレイ。
- 前記液体吸引部は、前記トレイの四隅の近傍を含んで設けられ、
前記噴射部は、前記トレイの四隅近傍の前記液体吸引部に対応して配置される、請求項5から請求項7のいずれか一項に記載のトレイ。 - 前記噴射部からの単位時間あたりのガスの噴出量は、前記液体吸引部における単位時間当たりの吸引量より小さい、請求項5から請求項8のいずれか一項に記載のトレイ。
- 前記積層体の中央部が当接する部分に、シート状の防水透湿材を用いた保護部を備える、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のトレイ。
- 前記保護部は、前記吸着部に対応した切込みを備える、請求項10に記載のトレイ。
- 前記積層体の周縁部が当接する部分に、樹脂又はゴムを用いた当接部を備える、請求項10又は請求項11に記載のトレイ。
- 請求項1から請求項12のいずれか一項に記載のトレイと、
前記トレイに載置されたパネル状の積層体を処理する処理装置と、を備える、積層体処理システム。 - 前記トレイが備える前記吸着部及び前記液体吸引部の一方または双方は、前記トレイが前記処理装置に配置された際に、前記処理装置が備える吸引ラインに接続されて前記積層体の吸着又は前記液体の吸引を行う、請求項13に記載の積層体処理システム。
- 前記処理装置は、前記積層体を洗浄する洗浄装置を含む、請求項13又は請求項14に記載の積層体処理システム。
- 請求項1から請求項12のいずれか一項に記載のトレイに、パネル状の積層体を載置することと、
前記トレイに載置された前記積層体を処理することと、を含む、積層体処理方法。
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