JP2018161676A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置の概略構成を示すブロック図である。図1に示すように、レーザ加工装置100は、レーザ発振器101と、レーザ光102と、音響光学素子103と、光学調整部104と、ミラー105と、ガルバノスキャナ200と、fθレンズ106と、加工テーブル108と、制御部300とを備える。レーザ発振器101は、制御部300から出力されるレーザパルス出力指令信号401を受けてレーザ光102を出射する。レーザ発振器101から出射されたレーザ光102は、音響光学素子103に入射し、ピーク部分のみを切り取る。その後、マスクチェンジャ等を備えた光学調整部104によって加工目的に応じたビーム径に整形される。整形されたレーザ光102はガルバノスキャナ200に導かれる。ガルバノスキャナ200は、ガルバノ位置指令情報402を受けて動作を開始し、レーザ光102の位置決めをする。ガルバノスキャナ200で位置決めされたレーザ光102は、fθレンズ106で被加工物107に集光される。
モータの時定数によって補正の周期を変更する。
モータの経年劣化を考慮し、一定周期で補正テーブルを更新する。
101 レーザ発振器
102 レーザ光
103 音響光学素子
104 光学調整部
105 ミラー
106 レンズ
107 被加工物
108 加工テーブル
200 ガルバノスキャナ
201 モータ制御手段
202 駆動信号補正手段
203 補正値記憶手段
211 X方向モータ
212 Y方向モータ
221 X方向ミラー
222 Y方向ミラー
231 X方向アンプ
232 Y方向アンプ
240 エンコーダ
241 X方向エンコーダ
242 Y方向エンコーダ
300 制御部
401 レーザパルス出力指令信号
402 ガルバノ位置指令情報
404 駆動信号
405 信号
406 温度情報
Xa0、Xb0、Ya0、Yb0 ズレ量
Claims (4)
- レーザパルス出力指令信号を受けてレーザ光を出射するレーザ発振器と、
指令位置情報を受けて動作し被加工物の加工位置に前記レーザ光の位置決めをするガルバノスキャナと、
少なくとも前記レーザ発振器および前記ガルバノスキャナを制御する制御装置を備えたレーザ加工装置であって、
前記ガルバノスキャナは、
前記レーザ光をX方向に反射するX方向ガルバノミラーと、
前記レーザ光をY方向に反射するY方向ガルバノミラーと、
前記X方向ガルバノミラーを駆動するX方向モータと、
前記Y方向ガルバノミラーを駆動するY方向モータと、
前記X方向モータの温度を検出する温度センサーと、
前記Y方向モータの温度を検出する温度センサーを備え、
前記X方向モータの温度および前記Y方向モータの温度の2つの温度パラメータに基づいて補正データを作成し前記指令位置情報を補正するモータ制御部を備えたレーザ加工装置。 - 前記X方向モータの温度パラメータは、
前記X方向モータの温度上昇で発生する加工位置ずれとして、所定温度における回転方向ずれ量のデータと面倒れ方向ずれ量のデータを含み、
前記Y方向モータの温度パラメータは、
前記X方向モータの温度上昇で発生する加工位置ずれとして、所定温度における回転方向ずれ量のデータと面倒れ方向ずれ量のデータを含む、請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記X方向モータの補正データは、
前記X方向モータの所定温度における回転方向ずれ量のデータと、前記Y方向モータの所定温度における面倒れ方向ずれ量のデータからもとめ、
前記Y方向モータの補正データは、
前記Y方向モータの所定温度における回転方向ずれ量のデータと、前記X方向モータの所定温度における面倒れ方向ずれ量のデータからもとめる、請求項1または2に記載のレーザ加工装置。 - 前記X方向モータの温度パラメータは、所定の加工領域を格子状にX方向モータを優先的に動作させる加工パターンであらかじめ加工した結果に基づいて決定し、
前記Y方向モータの温度パラメータは、所定の加工領域を格子状にY方向モータを優先的に動作させる加工パターンであらかじめ加工した結果に基づいて決定する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
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- 2017-03-27 JP JP2017061049A patent/JP2018161676A/ja active Pending
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