JP2018160952A - リニアモータ、ステージ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】界磁磁石を含む可動子の端部における漏れ磁束を低減することが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】界磁磁石列２４は、ヨーク２２に固定され磁気的空隙３４に界磁磁界を形成する。可動子２０は第１方向に移動可能に設けられる。シールド部材３０は、ヨーク２２の磁気的空隙３４とは反対側において第１方向に延在する板状部３０ｂを含む。板状部３０ｂは、第１方向においてヨーク２２の可動範囲を越えて両側に延びる延出部３０ｎを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、リニアモータおよびステージ装置に関する。

電気エネルギーを直線運動に変換するためにリニアモータが利用される。例えば、特許文献１には、多相コイルを備えた固定子と、永久磁石を備えた可動子とから構成される可動磁石型リニアモータが記載されている。

特開平１０−０５２０２４号公報

本発明者は、リニアモータについて以下のような認識を得た。
近年、リニアモータによって駆動される測定装置などの性能が向上し、リニアモータに対する漏れ磁束の仕様がより高度化している。例えば、可動磁石型のリニアモータでは、可動子に界磁磁石を含む磁気回路を備える。このような可動子では、その端部に開口部が形成されていることにより、この端部から界磁磁石の磁束の一部が外部に漏れており、この端部の近傍に漏れ磁束の分布のピークが形成されることが判明した。

また、漏れ磁束のピークが大きいと、リニアモータによって駆動される装置の特性に影響を及ぼす可能性がある。例えば、リニアモータで駆動される電子線装置では、漏れ磁束が微弱な場合でも計測精度に影響が及ぶことが考えられる。
これらから、本発明者は、界磁磁石を含む可動子の端部における漏れ磁束を抑制する観点から、リニアモータには改善すべき余地があることを認識した。

本発明は、こうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、界磁磁石を含む可動子の端部における漏れ磁束を低減することが可能なリニアモータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のある態様のリニアモータは、ヨークと、ヨークに固定され磁気的空隙に界磁磁界を形成する界磁磁石列と、を含み、第１方向に移動可能に設けられる可動子と、ヨークの磁気的空隙とは反対側において第１方向に延在する板状部を含むシールド部材と、を備える。板状部は、第１方向においてヨークの可動範囲を越えて両側に延びる延出部を有する。

この態様によると、シールド部材の板状部は第１方向において可動子の可動範囲を越えて両側に延びる延出部を備えることができる。

本発明の別の態様のステージ装置は、上述のリニアモータを備える。

なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によれば、界磁磁石を含む可動子の端部における漏れ磁束を低減することが可能なリニアモータを提供することができる。

本発明の実施形態に係るリニアモータの斜視図である。 図１のリニアモータの平面図である。 図１のリニアモータの正面図である。 図１のリニアモータの側面図である。 図１のリニアモータにおける磁束の流れを模式的に示す説明図である。 比較例における磁束の流れを模式的に示す説明図である。 実施形態に係るリニアモータを用いたステージ装置の平面図である。 第１変形例に係るリニアモータの斜視図である。 第２変形例に係るリニアモータの斜視図である。

以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

［実施形態］
図１は、実施形態に係るリニアモータ２の斜視図である。図２は、リニアモータ２の平面図である。図２は、ヨーク２２ｂを外した状態を示している。図３は、リニアモータ２の正面図である。図３は、連結部材２８ｃを外した状態にて、コイルユニット１８を一部断面で示している。図４は、リニアモータ２の側面図である。リニアモータ２は、固定子１０と、可動子２０と、シールド部材３０と、を備える。以下、ＸＹＺ直交座標系をもとに説明する。Ｘ軸方向は水平な左右方向に対応し、Ｙ軸方向は水平な前後方向に対応し、Ｚ軸方向は鉛直な上下方向に対応する。Ｙ軸方向およびＺ軸方向はそれぞれＸ軸方向に直交する。Ｘ軸方向は左方向あるいは右方向と、Ｙ軸方向は前方向あるいは後方向と、Ｚ軸方向は上方向あるいは下方向と表記することがある。このような方向の表記はリニアモータ２の使用姿勢を制限するものではなく、リニアモータ２は任意の姿勢で使用されうる。

固定子１０とシールド部材３０とは図示しない静止体に固定的に支持される。固定子１０は、長手方向がＸ軸方向である第１方向に沿うように配置される。可動子２０は、固定子１０の少なくとも一部を収容する磁気的空隙３４を形成し、第１方向に移動可能に設けられている。第１方向は可動方向と称されることがある。可動子２０は、固定子１０のコイルユニット１８を隙間を介して環囲している。図１〜図４では、磁気的空隙３４の主な磁束は、第１方向に直交するＺ軸方向を向いている。

（固定子）
固定子１０は、Ｘ軸方向に延在するコイルユニット１８を含む。コイルユニット１８は、例えば、平面視にて矩形を呈し、Ｚ軸方向に薄い略板状の部材である。一例として、コイルユニット１８は、平面視にて、長辺がＸ軸方向に沿い、短辺がＹ軸方向に沿うように配置されている。コイルユニット１８は、Ｘ軸方向に配列された複数のコイル１２を含む。複数のコイル１２は、例えば樹脂に包まれることによって一体化されている。コイルユニット１８は、主に界磁磁石列２４と対向する中間部１８ｍと、中間部１８ｍのＹ軸方向の両方の端辺に設けられる縁部１８ｄと、を含む。縁部１８ｄは、中間部１８ｍよりＺ軸方向に厚く形成されている。コイルユニット１８は、側面視にて横向きのＩ文字形状の輪郭を有する。

（可動子）
可動子２０は、一対のヨーク２２ｂ、２２ｃと、一対の界磁磁石列２４ｂ、２４ｃと、一対の連結部材２８ｂ、２８ｃと、を含む。ヨーク２２ｂ、２２ｃを総括するときはヨーク２２と表記する。界磁磁石列２４ｂ、２４ｃを総括するときは界磁磁石列２４と表記する。連結部材２８ｂ、２８ｃを総括するときは連結部材２８と表記する。ヨーク２２と、界磁磁石列２４と、連結部材２８と、は磁気回路２３を構成する。

（可動範囲）
可動子２０は、静止体に対して可動範囲Ｌｍにおいて第１方向に移動可能に設けられる。図２を参照して、可動範囲Ｌｍについて説明する。図２の例では、可動子２０が最も左方に移動した場合に、可動子２０のヨーク２２の左端２２ｈは、可動範囲Ｌｍの左端Ｌｍ１に達する。図２の例では、可動子２０が最も右方に移動した場合に、可動子２０のヨーク２２の右端２２ｍは、可動範囲Ｌｍの右端Ｌｍ２に達する。つまり、可動範囲ＬｍはＬｍ１からＬｍ２までのスパンである。

（ヨーク）
一対のヨーク２２ｂ、２２ｃは、第１方向に直交するＺ軸方向に離れて配置される。ヨーク２２は、界磁磁石列２４の磁気的空隙３４とは反対側に配置される。ヨーク２２は、界磁磁石列２４のバックヨークとして機能する。ヨーク２２は、例えば、平面視にて矩形を呈し、Ｚ軸方向に薄い略板状の部材である。一例として、ヨーク２２は、平面視にて、長辺がＸ軸方向に沿い、短辺がＹ軸方向に沿うように配置されている。ヨーク２２には、界磁磁石列２４が固定される。ヨーク２２の界磁磁石列２４が固定される面２２ｅは、第１方向および第１方向に直交する第２方向（Ｙ軸方向）に延在する。ヨーク２２は、種々の磁性材料から形成することができる。一例として、実施形態では、ヨーク２２は、軟磁性を有する金属材料で形成されている。

（接続部材）
一対の連結部材２８ｂ、２８ｃは、一対のヨーク２２ｂ、２２ｃのＹ軸方向の端部を連結する部材である。連結部材２８ｃは、ヨーク２２の一方の端部間に架け渡される。連結部材２８ｂは、ヨーク２２の他方の端部間に架け渡される。連結部材２８は、正面視にて矩形を呈し、Ｙ軸方向に薄い略板状の部材である。一例として、連結部材２８は、正面視にて、長辺がＸ軸方向に沿い、短辺がＺ軸方向に沿うように配置されている。連結部材２８は、種々の磁性材料または非磁性材料から形成することができる。一例として、実施形態では、連結部材２８は、鉄鋼材料で形成されている。一対のヨーク２２ｂ、２２ｃと一対の連結部材２８ｂ、２８ｃとは、側面視にて固定子１０を取り囲む矩形状に結合される。ヨーク２２と連結部材２８とは、例えばボルトによって結合されてもよい。

（界磁磁石）
一対の界磁磁石列２４ｂ、２４ｃは、一対のヨーク２２ｂ、２２ｃに固定され、磁気的空隙３４を挟んで互いにＺ軸方向に対向して配置される。一対の界磁磁石列２４ｂ、２４ｃは、磁気的空隙３４に界磁磁界を形成する。一対の界磁磁石列２４ｂ、２４ｃそれぞれは、一定のピッチＰで第１方向に配列される複数（例えば８個）の磁石２５を含む。複数の磁石２５は、磁気的空隙３４に対面する対向面を有する。

一例として、実施形態では、一対の界磁磁石列２４ｂ、２４ｃは、磁気的空隙３４を挟んで対称に配置されている。一対の界磁磁石列２４ｂ、２４ｃは、磁気的空隙３４を挟んで非対称に配置されてもよい。

磁石２５は、例えば、平面視にて矩形を呈し、Ｚ軸方向に薄い略板状の永久磁石である。一例として、磁石２５は、平面視にて、長辺がＹ軸方向に沿い、短辺がＸ軸方向に沿うように配置されている。つまり、磁石２５は、Ｘ軸方向である第１方向およびＹ軸方向である第２方向に延在している。磁石２５は、長辺がＸ軸方向に沿い、短辺がＹ軸方向に沿うように配置されてもよい。磁石２５は、例えば、Ｚ軸方向に磁化され、Ｚ軸方向の磁束を発生させる。磁石２５は、例えば、Ｎ極とＳ極とが第１方向に交互に現れるように配置される。磁石２５は、種々の磁石材料から形成することができる。一例として、実施形態では、磁石２５は、ＮｄＦｅＢ系のボンド磁石材料で形成されている。

（シールド部材）
シールド部材３０は、可動子２０から流出する漏れ磁束を面内方向に誘導して、シールド部材３０を越えて外側への流出を低減するための部材である。シールド部材３０は、ヨーク２２の磁気的空隙３４とは反対側において第１方向に延在する一対の板状部３０ｂ、３０ｃを含む。一対の板状部３０ｂ、３０ｃは、可動子２０を挟んで平行に設けられる。一対の板状部３０ｂ、３０ｃは、Ｚ軸方向に離れて配置される。板状部３０ｂ、３０ｃは、Ｘ軸方向である第１方向と、Ｙ軸方向である第２方向に延在する。板状部３０ｂ、３０ｃは、例えば、平面視にて矩形を呈し、Ｚ軸方向に薄い略板状の部材である。

一例として、板状部３０ｂ、３０ｃは、平面視にて、長辺が第１方向に沿い、短辺が第２方向に沿うように配置されている。板状部３０ｂ、３０ｃの第１方向寸法については後述する。図２の例では、板状部３０ｂ、３０ｃの第２方向の寸法Ｌｈは、ヨーク２２の第２方向の寸法Ｌｙより大きい。板状部３０ｂ、３０ｃの寸法Ｌｈは、ヨーク２２の寸法Ｌｙと等しいか又は寸法Ｌｙより小さくてもよい。板状部３０ｂ、３０ｃは、隙間を挟んでヨーク２２と略平行に配置される。板状部３０ｂ、３０ｃは、例えば、パーマロイ、ケイ素鋼板、圧延鋼板、炭素鋼板などの種々の磁性材料から形成することができる。特に、板状部３０ｂ、３０ｃは空気より透磁率が大きな材料から形成される。一例として、実施形態では、板状部３０ｂ、３０ｃは、ケイ素鋼板で形成されている。

（延出部）
板状部３０ｂ、３０ｃは、第１方向において可動子２０の可動範囲Ｌｍを越えて両側に延びる延出部３０ｎと、可動範囲Ｌｍに対応する中間部３０ｍと、を有する。延出部３０ｎは、中間部３０ｍの第１方向の両側に連続して設けられている。したがって、板状部３０ｂ、３０ｃの第１方向寸法は可動範囲Ｌｍより大きい。延出部３０ｎは、可動範囲Ｌｍを越えて張出寸法Ｌｎだけ第１方向の両側に突き出ている。

図５は、実施形態のリニアモータ２の可動子２０の端部２３ｅの近傍における磁束の流れを模式的に示す説明図である。図６は、リニアモータ２からシールド部材３０の板状部３０ｂ、３０ｃを取り除いた状態での端部２３ｅの近傍における磁束の流れを模式的に示す説明図である。図５、図６の例では、可動子２０の磁石２５が発生させた磁束Ｆａは、ヨーク２２において、第１方向の両側に半分ずつに分流して、それぞれ両側に隣合う磁石２５に流れる。図６の例では、端部２３ｅに最も近い磁石２５が発生させた磁束の一部は、ヨーク２２の端部から飛出す経路を辿って磁束Ｆｂ、Ｆｃとして流れる。このため、図６の例では端部２３ｅ近傍に大きな漏れ磁束が生じる。

図５に示すように、シールド部材３０の板状部３０ｂ、３０ｃを設けた状態では、ヨーク２２の端部から飛出した磁束は、磁気抵抗が小さい板状部３０ｂ、３０ｃの主に延出部３０ｎを面内方向に流れる。このため、端部２３ｅから飛出した磁束のうち、板状部３０ｂ、３０ｃを越えて外側（図５においてＺ軸方向の外側）へ漏れる磁束を減らすことができる。

シールド部材３０の構成は、所望の漏れ磁束特性に応じて任意に設定することができる。特に、板状部３０ｂ、３０ｃの第１方向および第２方向の寸法は、所望の漏れ磁束特性に応じて設定することができる。発明者のシミュレーションによれば、以下の特性が確認されている。

（１）延出部３０ｎの第１方向の張出寸法Ｌｎを大きくすることにより、延出部３０ｎを超えて漏れる磁束を減らすことができる。例えば、延出部３０ｎの第１方向の張出寸法Ｌｎは、磁石２５の第１方向の寸法である幅Ｗの５０％以上、好ましくは１００％以上に設定してもよい。この場合では、板状部３０ｂ、３０ｃを越えて漏れ出る磁束を小さくすることができることが確認されている。リニアモータの大型化を抑制する観点から、張出寸法Ｌｎは、磁石２５の幅Ｗの１０倍以下に設定されていることが望ましい。

（２）延出部３０ｎの第２方向（Ｙ軸方向）の寸法Ｌｈが小さいと、延出部３０ｎを超えて漏れる磁束が増えるおそれがある。このため、延出部３０ｎの第２方向の寸法Ｌｈは、磁石２５の第２方向の寸法Ｌｇ以上に設定してもよい。より好ましくは、寸法Ｌｈは、寸法Ｌｇ以上で、且つ、ヨーク２２の第２方向の寸法Ｌｙの１００％以上に設定されていることが望ましい。リニアモータの大型化を抑制する観点から、延出部３０ｎの第２方向の寸法Ｌｈは、ヨーク２２の第２方向の寸法Ｌｙの２００％以下に設定されていることが望ましい。

次に、このように構成されたリニアモータ２の動作を説明する。図示しない駆動回路から、複数のコイル１２に駆動電流が供給されると、この駆動電流と磁石２５が形成する磁束Ｆａとの相互作用により可動子２０に第１方向の推力が発生する。リニアモータ２は、この推力によって駆動対象物を第１方向に駆動する。

次に、このように構成された実施形態のリニアモータ２の作用・効果を説明する。

実施形態のリニアモータ２は、ヨーク２２と、ヨーク２２に固定され磁気的空隙３４に界磁磁界を形成する界磁磁石列２４と、を含み、第１方向に移動可能に設けられる可動子２０と、ヨーク２２の磁気的空隙３４とは反対側において第１方向に延在する板状部３０ｂを含むシールド部材３０と、を備え、板状部３０ｂは、第１方向においてヨーク２２の可動範囲を越えて両側に延びる延出部３０ｎを有する。この構成によれば、可動子２０の端部２３ｅから飛び出した磁束を、板状部３０ｂの延出部３０ｎの面内方向に誘導することで、板状部３０ｂを越えて外部に漏れる磁束を低減することができる。

実施形態のリニアモータ２では、界磁磁石列２４は複数の磁石２５を含み、延出部３０ｎの第１方向の張出寸法Ｌｎは、磁石２５の第１方向の寸法Ｗの５０％以上に設定される。この構成によれば、可動子２０の端部２３ｅから飛び出した磁束を、効果的に延出部３０ｎに誘導することで、板状部３０ｂを越えて外部に漏れる磁束を一層低減することができる。

実施形態のリニアモータ２では、シールド部材３０は、板状部３０ｂと可動子２０を挟んで平行に設けられる別の板状部３０ｃを含む。この構成によれば、可動子２０の端部２３ｅから飛び出した磁束を、別の板状部３０ｃの延出部３０ｎに誘導することで、板状部３０ｃを越えて外部に漏れる磁束を低減することができる。

次に、リニアモータ２の用途を説明する。図７は、実施形態に係るリニアモータ２を用いたステージ装置１００の平面図である。このステージ装置１００はＸＹステージと称され、対象物をＸ方向、Ｙ方向に位置決めする。

ステージ装置１００は、主としてＹステージ１２０と、Ｘステージ１３０と、定盤１４０と、を備える。Ｙステージ１２０は、一対のスライダ１２４を備える。一対のスライダ１２４の間には、Ｘステージ１３０をＸ方向に移動させるＸリニアモータ２Ｘが設けられている。Ｘリニアモータ２Ｘは、一対のスライダ１２４に横架されＸ方向に延在する固定子１０と、固定子１０に移動可能に支持され、Ｘステージ１３０の下面に結合された可動子２０と、を備える。可動子２０とＸステージ１３０の間にはシールド部材３０が設けられている。かくしてＸリニアモータ２Ｘの固定子１０を制御することにより、Ｘステージ１３０がＸ方向に位置決めされる。

定盤１４０の両端には、一対のＹリニアモータ２Ｙが設けられる。Ｙリニアモータ２Ｙはそれぞれ、固定子１０および可動子２０を備える。Ｙリニアモータ２Ｙの可動子２０には、上述のスライダ１２４が固定される。Ｙリニアモータ２Ｙの固定子１０を制御することによりＹステージ１２０がＹ方向に位置決めされる。

以上がステージ装置１００の構成である。実施形態に係るリニアモータ２は、ステージ装置１００のＸリニアモータ２ＸあるいはＹリニアモータ２Ｙに好適に用いることができる。一例として、ステージ装置１００ではＸリニアモータ２Ｘにのみ実施形態に係るリニアモータ２を用いている。Ｘリニアモータ２Ｘは、可動子２０が定盤１４０の中央部を含む広い範囲を移動するから、漏れ磁束が駆動対象物に影響を与えやすいからである。Ｙリニアモータ２Ｙにはリニアモータ２からシールド部材３０を取り外したものを用いている。ステージ装置１００は、露光装置におけるウェハやガラス基板の位置決めに用いることができ、あるいは走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）に使用されるアクチュエータなどにも利用可能である。

以上、本発明の実施形態をもとに説明した。これらの実施形態は例示であり、いろいろな変形および変更が本発明の特許請求の範囲内で可能なこと、またそうした変形例および変更も本発明の特許請求の範囲にあることは当業者に理解されるところである。従って、本明細書での記述および図面は限定的ではなく例証的に扱われるべきものである。

以下、変形例について説明する。変形例の図面および説明では、各実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。各実施形態と重複する説明を適宜省略し、各実施形態と相違する構成について重点的に説明し、重複する説明を省略する。

［第１変形例］
実施形態では、シールド部材３０が板状部３０ｂ、３０ｃから構成される例について説明したが、これに限られない。シールド部材は種々の形状の部材を含んでもよい。
図８は、第１変形例に係るリニアモータ４のシールド部材３０を示す斜視図である。
第１変形例に係るリニアモータ４は、実施形態に係るリニアモータ２に対して、シールド部材３０の代わりにシールド部材３２を備える点で異なり、他の構成は共通である。したがって、共通の構成については、リニアモータ２の説明を参照することができる。

図８に示すように、シールド部材３２は、可動子２０のヨーク２２の可動範囲を包囲して第１方向に延在する角筒状の筒状部３２ｂを含んでいる。筒状部３２ｂは板状部３２ｃ、３２ｄ、３２ｅ、３２ｆを含んでいる。板状部３２ｃ、３２ｄ、３２ｅ、３２ｆは、直方体形状の空間を画定するように配置されている。板状部３２ｃ、３２ｄ、３２ｅ、３２ｆは、それぞれ結合されていてもよく、結合されていなくてもよい。板状部３２ｆには第１方向に細長い長孔３２ｇが設けられている。駆動対象物は、長孔３２ｇを通じて可動子２０と連結される。板状部３２ｃ、３２ｄは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に延在し、長辺がＸ軸方向に沿う、平面視で矩形状の板部材である。板状部３２ｅ、３２ｆは、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に延在し、長辺がＸ軸方向に沿う正面視で矩形状の板部材である。板状部３２ｃ、３２ｄ、３２ｅ、３２ｆは、実施形態で説明した板状部３０ｂ、３０ｃと同じ特徴を備えることができる。

シールド部材３２は、筒状部３２ｂの第１方向の両方の端部を覆う端板部３２ｈ、３２ｊを含んでいる。端板部３２ｈ、３２ｊは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に延在する側面視で矩形状の板部材である。端板部３２ｈ、３２ｊは、実施形態で説明した板状部３０ｂ、３０ｃと同じ特徴を備えることができる。シールド部材３２は、板状部３２ｃ、３２ｄ、３２ｅ、３２ｆおよび端板部３２ｈ、３２ｊによって、可動子２０のヨーク２２の可動範囲を包囲する箱状に構成される。端板部３２ｈ、３２ｊには固定子１０が突き出るための開口３２ｋが設けられている。固定子１０の開口３２ｋから突き出た部分は、図示しない静止体に支持される。なお、開口３２ｋを設けることは必須ではなく、固定子１０は別の方法によって支持されてもよい。また、板状部３２ｃ、３２ｄ、３２ｅ、３２ｆおよび端板部３２ｈ、３２ｊをすべて備えることは必須ではなく、いずれかを備えない構成であってもよい。

第１変形例に係るリニアモータ４は、実施形態に係るリニアモータ２と同様の作用・効果を奏する。

第１変形例のリニアモータ４では、シールド部材３２は、ヨーク２２の可動範囲を包囲して第１方向に延在する角筒状の部分である筒状部３２ｂを含む。この構成によれば、シールド部材３２が、可動子２０のヨーク２２の可動範囲を包囲するから、シールド部材３２を越えて外部に漏れる磁束を一層減らすことができる。

第１変形例のリニアモータ４では、シールド部材３２は、角筒状の部分である筒状部３２ｂの第１方向の端部を覆う端板部３２ｈ、３２ｊを含む。この構成によれば、可動子２０の端部２３ｅから飛び出した磁束を、端板部３２ｈ、３２ｊの面内方向に誘導することで、端板部３２ｈ、３２ｊを越えて外部に漏れる磁束を低減することができる。

［第２変形例］
実施形態では、一対のヨーク２２ｂ、２２ｃの一方の端部間を接続する連結部材２８ｂｃと、他方の端部間を接続する連結部材２８ｃと、を含む例について説明したが、これに限定されない。例えば、連結部材２８ｃを設けずに他方の端部間を非接続に構成してもよい。図８は、第２変形例に係るリニアモータ６の斜視図である。

第２変形例に係るリニアモータ６は、実施形態に係るリニアモータ２に対して、連結部材２８ｂを設けていない点で異なり、他の構成は共通である。したがって、共通の構成については、リニアモータ２の説明を参照することができる。図９に示すように、リニアモータ６は、一対のヨーク２２ｂ、２２ｃの一方の端部間を接続する連結部材２８ｂを備え、他方の端部間を接続する連結部材２８ｃを備えていない。

第２変形例に係るリニアモータ６は、実施形態に係るリニアモータ２と同様の作用・効果を奏する。

［その他の変形例］
実施形態では、シールド部材３０が平坦な板で構成される例について説明したがこれに限定されない。シールド部材は波板など平板以外の素材から形成されてもよい。シールド部材には、界磁磁石列２４からの吸引力などに耐えうる強度を得るために、リブ、エンボス、スリットなどの凹凸が設けられてもよい。
実施形態では、２枚の板状部３０ｂ、３０ｃが配置される例について説明したがこれに限定されない。板状部３０ｂ、３０ｃの一方のみを設けるようにしてもよい。
これらの変形例は、実施形態に係るリニアモータ２と同様の作用・効果を奏する。

説明に使用した図面では、部材の関係を明瞭にするために一部の部材の断面にハッチングを施しているが、当該ハッチングはこれらの部材の素材や材質を制限するものではない。

２・・リニアモータ、 １０・・固定子、 １２・・コイル、 １８・・コイルユニット、 ２０・・可動子、 ２２・・ヨーク、 ２４・・界磁磁石列、 ２５・・磁石、 ２８・・連結部材、 ３０・・シールド部材、 ３０ｂ、３０ｃ・・板状部、 ３４・・磁気的空隙、 １００・・ステージ装置。

Claims (6)

1. ヨークと、前記ヨークに固定され磁気的空隙に界磁磁界を形成する界磁磁石列と、を含み、第１方向に移動可能に設けられる可動子と、
   前記ヨークの前記磁気的空隙とは反対側において第１方向に延在する板状部を含むシールド部材と、
   を備え、
   前記板状部は、第１方向において前記ヨークの可動範囲を越えて両側に延びる延出部を有することを特徴とするリニアモータ。
2. 前記界磁磁石列は複数の磁石を含み、
   前記延出部の第１方向の寸法は、前記磁石の第１方向の寸法の５０％以上に設定されることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
3. 前記シールド部材は、前記板状部と前記可動子を挟んで平行に設けられる別の板状部を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ。
4. 前記シールド部材は、前記ヨークの可動範囲を包囲して第１方向に延在する角筒状の部分を含むことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のリニアモータ。
5. 前記シールド部材は、前記角筒状の部分の第１方向の端部を覆う部分を含むことを特徴とする請求項４に記載のリニアモータ。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のリニアモータを備えることを特徴とするステージ装置。

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