JP2018159340A - 真空ポンプの制御装置、およびポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ボールベアリングには、軸受の可動部分の摩擦および摩耗を抑制するために、グリースや潤滑油が供給される(例えば、特許文献1参照)。
(2)上記真空ポンプの制御装置の好ましい態様では、制御部が慣らし運転が必要と判断して慣らし運転要の信号を出力するとき、制御部は、慣らし運転が必要であることを報知部で報知する処理を実行するか、または慣らし運転処理を実行する。
(3)(2)の真空ポンプの制御装置においては、好ましくは、制御部が慣らし運転処理を実行するとき、制御部は、慣らし運転を実行中に慣らし運転の残り時間を演算し、残り時間を報知部から報知する処理を実行する。
(4)(1)〜(3)の真空ポンプの制御装置では好ましくは、真空ポンプの停止期間、モータ電流、軸受の温度および軸受振動の少なくとも1つに基づいて慣らし運転の要否を判断する。
(5)ポンプ装置は、(1)〜(4)の真空ポンプの制御装置と、真空ポンプとを備える
(6)このポンプ装置の好ましい態様では、真空ポンプは、軸受を冷却媒体で冷却する冷却装置を備える。
(7)上記冷却装置の好ましい態様では、慣らし運転が必要と判断されると軸受に冷却媒体を導入し、慣らし運転が必要ではないと判断されると、冷却媒体の軸受への導入を停止する電磁バルブを備える。
−第1の実施形態−
図1は、本発明に係る真空ポンプ1の一例としてのターボ分子ポンプの断面図である。以下では、真空ポンプ1の一実施の形態を、ターボ分子ポンプを例として説明する。なお、ターボ分子ポンプには電力を供給する電源部と、電源部を駆動制御するとともにポンプモータなどを駆動制御する制御部などを備える電源装置40(図2参照)が接続されるが、図1では図示を省略した。
図1に示す真空ポンプ1は、排気機能部として、タービン翼排気部(排気機能部)P1と、ねじ溝排気部P2とを備えている。
ナット68は、センサーターゲットの機能も有している。ナット68の下方には回転センサ32が配置されている。ベース2の底面中央部には、下部カバー19が取付けられている。
すなわち、第1の実施形態の真空ポンプは冷却装置を備えている。冷却装置は、冷媒源51と、冷却対象であるボールベアリング8に冷媒を導くための通路52,24と、通路52に設置された上記電磁バルブ25とを備えている。
なお、通常運転時においても、ボールベアリング8を冷却する必要条件が成立すると冷媒で冷却するようにしてもよい。
電源装置40は、AC/DC変換回路41、DC/DCコンバータ42、制御回路43、モータ駆動回路44、記憶部45、演算部46、タイマー47、電流センサ34、回生ブレーキ抵抗35等を備えている。AC/DC変換回路41は電源装置40に入力される交流電力を直流電力に変換する。AC/DC変換回路41の直流電力は、モータ駆動回路44に供給される。また、AC/DC変換回路41から出力された直流電力は、DC/DCコンバータ42により低電圧の直流電力に変換され、制御回路43に供給される。タイマー47は、不図示のバッテリから電源電圧を供給されて、常時、時刻をカウントアップしている。タイマー47の時刻情報は、制御回路43を介して記憶部45に記憶される。回生ブレーキ抵抗35は、ポンプロータ3の減速時の回生電力を消費するために設けられている。モータ4を停止する際、回生電流は、制御回路43からの指令によってモータ駆動回路44から回生ブレーキ抵抗35に通電される。回生ブレーキ抵抗35は回生電流により発熱して回生電力を消費する。
本発明の課題について、より詳細に説明する。
そこで、本発明では、慣らし運転を行う必要があるか否かを適切に判断することが可能な真空ポンプ1を提供するものである。
以下、上記課題を解決するための一例を説明する。
真空ポンプ1が装着された真空処理装置等の主装置より電源ON信号が入力されと、モータ駆動回路44および制御回路43等に電源電力が供給される。不図示の電源スイッチを操作して、モータ駆動回路44および制御回路43に通電を開始するようにしてもよい。
ステップS12において、記憶部45に記録されている、前回、真空ポンプ1が停止した時刻と現在の時刻との間隔、すなわち、真空ポンプ1の停止期間が、制御回路43の指令により演算部46で算出される。そして、制御回路43の指令により、真空ポンプ1の停止期間が予め記憶部45に記憶されている慣らし運転が必要とされる停止期間より大きいか否かが判断される。
真空ポンプ1の停止期間が慣らし運転が必要とされる停止期間より長いと判断されれば、ステップS13の慣らし運転処理を行い、慣らし運転が完了した後、ステップS14に進み、通常運転処理が行われる。慣らし運転は、真空ポンプ1の停止期間が慣らし運転が必要とされる停止期間より長いと判断されれば、ステップS13において自動的に開始される。慣らし運転のシーケンスについては後述する。慣らし運転中は、表示器33に慣らし運転中であることを表示する。
慣らし運転として、連続慣らし運転と、間欠慣らし運転との2つの運転シーケンスを例に挙げて説明する。まず、連続慣らし運転について説明する。
図4(A)は、連続慣らし運転のシーケンスの一例を示す図であり、図4(B)は、図4(A)に示された点線の枠内の1つのステップにおけるモータ電流−モータ回転数の特性図である。
連続慣らし運転では、モータ4の回転数を、定格回転数まで段階的に上昇させていく。図4(A)では、定格回転数までを10ステップに分割し、各ステップの目標回転数がステップ毎に定格回転数の10%ずつ増加させるシーケンスとして例示されている。
図5は、間欠慣らし運転のシーケンスの一例を示す図である。
第1の実施形態の真空ポンプに採用される間欠慣らし運転では、モータ4の回転数を定格回転数以下の目標回転数まで上昇させ、目標回転数に達したら、回生ブレーキ抵抗35を用いて停止させる動作を繰り返す。間欠慣らし運転における目標回転数は、長期保管によって軸受の潤滑性能が悪化しているとき、いきなり通常運転の定格回転数でモータを駆動すると軸受の耐久性に悪影響が出るので、定格回転数よりも小さい回転数を目標値とするものである。
なお、慣らし運転を終了する際のモータ電流を、定格電流と同一ではなく、例えば、定格電流の90%にする等、許容差を設けて設定するようにしてもよい。
ボールベアリング8の可動部に供給されている潤滑剤の状態等によっては、慣らし運転時におけるモータ4の回転数が目標回転数に達しないこともある。図5における点線は、このような一例を示す。慣らし運転時において、定格回転数の90%を目標回転数としてモータに通電を行っても、モータ4の回転数が目標回転数に達しない場合、図5では60%までしか回転数が上昇しない。
慣らし運転中に、慣らし運転の残り時間を表示させることも可能である。
慣らし運転の残り時間を予測する方法の一例を下記に示す。
(i)連続慣らし運転の場合
連続慣らし運転を採用する場合、既に完了したステップに要した時間に基づいて、残りのステップに要する時間を予測する。例えば、図4に例示するように、各ステップにおける目標回転数を定格回転数の10%ずつ増加させる場合、すなわち、n回のステップ数の連続慣らし運転の場合は次のように残り時間を計算することができる。モータ回転数が各ステップの目標回転数となるまでの時間をΔtとすると、すでにm回ステップが完了した状態であれば、慣らし運転の残り時間はΔt(n−m)である。各ステップにおける目標回転数増加量が異なる場合には、各ステップの慣らし運転に要する時間を目標回転数増加量の割合に比例させて増減して求め、残りのステップの慣らし運転時間の合計を算出する。
間欠慣らし運転を採用する場合、既に完了した間欠慣らし運転駆動時間に基づいて、残りの運転駆動時間を予測する。間欠慣らし運転の場合、図5に実線で示すように、通常運転で設定される目標回転数、あるいはその目標回転数に所定の倍率を乗じた値の目標回転数に達するまでの1回の間欠駆動に要する時間を測定し、測定した時間に基づき慣らし運転完了条件が満足するまでの残りの時間を予測する。
図3に示すフローチャートのステップS12において、真空ポンプ1の停止期間が慣らし運転が必要とされる停止期間より長いと判断された場合、自動的に慣らし運転を行うのではなく、手動により慣らし運転を行うようにしてもよい。
この処理の一例を示すと、真空ポンプ1の停止期間が慣らし運転が必要とされる停止期間より長いと判断された場合、表示器33に慣らし運転が必要であることを表示する。この表示に基づいて、操作者は、図2に点線で示すスイッチ48を操作する。スイッチ48が操作されると、制御回路43の指令により、上述したいずれかの方式に基づく慣らし運転が実行される。
自動モードと手動モードをユーザが設定可能とし、手動モードのときに慣らし運転が必要である旨が報知されたときに手動慣らし運転を行うようにしてもよい。手動モードで慣らし運転が不要であるときは、不要である旨の報知を行なうことなく通常運転処理を開始するようにしてもよい。
(1)第1の実施の形態の真空ポンプ1の電源装置40は、排気機能部を構成するロータに設けられたシャフトの一端を油潤滑式ボールベアリング8により支持する真空ポンプに用いられる。電源装置40は、通常運転を行う前に慣らし運転が必要か否かを判断し、その判断結果に基づき慣らし運転に関する信号を出力する制御回路43を備える。
このため、慣らし運転が必要なときにのみ慣らし運転を行い、慣らし運転が必要でないときに慣らし運転を行うことはない。これにより、ポンプの保管や停止後に運転する際の作業効率を向上することができる。
慣らし運転の判断は、真空ポンプの停止期間が基準値以上であるか否かに基づいて行う。基準値は、真空ポンプ1が装着される主装置から受ける負荷や、真空ポンプ1を設置する環境に応じて変えることができる。このため、慣らし運転が必要か否かの判断を適切なものとすることが可能となる。
このため、慣らし運転が必要な場合に、確実に慣らし運転を実行することができる。ユーザの指示がなくても慣らし運転処理を自動で行うことにより、ボールベアリング8の損傷や劣化が確実に防止され、真空ポンプの信頼性が向上する。自動的に慣らし運転が開始されない場合でも、慣らし運転の要否をユーザに報知するので、ユーザは確実に慣らし運転の開始を指示することができ、真空ポンプの信頼性を向上することができる。また、ユーザは不要な慣らし運転を行う必要がなく、通常運転を開始するまでの時間を短縮することができる。
(4)第1の実施の形態の真空ポンプでは、真空ポンプの停止期間に基づいて慣らし運転の要否を判断するように構成した。そのため、ポンプ停止時刻とポンプ起動時刻を保持し、その差分を計算してポンプ停止期間を計算する、単純な構成とすることができる。コストが大きく増大することがない。
(6)冷却装置は、慣らし運転が必要と判断されるとボールベアリング8に冷却媒体を導入し、慣らし運転が必要ではないと判断されると、冷却媒体のボールベアリング8への導入を停止する開閉装置としての電磁バルブ2を備える。不必要な冷媒供給が防止される。
図6は、本発明の第2の実施形態の処理工程を示すフローチャートである。
第1の実施形態では、慣らし運転が必要か否かを、真空ポンプの停止期間に基づいて判断するものであった。第2の実施形態では、慣らし運転が必要か否かを、真空ポンプの停止期間以外のパラメータに基づいて判断するものである。
ステップS22でこのように判断して慣らし運転の要否を判断するのは、発明者らが、軸受転動面の潤滑剤が不足しているときは、不足していないときに比べて、モータ電流が高い値を示すことを利用して慣らし運転の要否判断を行うことに思い至ったからである。すなわち、第2の実施形態では、潤滑剤不足による負荷増大によりモータ電流が大きくなる現象を利用して慣らし運転の要否判断を行っている。
上記では、慣らし運転が必要か否かをモータ電流値に基づいて判断するものであった。
しかし、慣らし運転が必要か否かをボールベアリング8の温度に基づいて判断することもできる。
慣らし運転が必要か否かをボールベアリング8の温度に基づいて判断するには、予め、記憶部45に、慣らし運転が必要とされるボールベアリング8の基準温度を記録しておく。ボールベアリング8の基準温度は、通常運転時の定格回転数におけるボールベアリング8の温度に基づいて設定される。そして、試し運転を行って、ステップS22で、制御回路43において、温度センサ22から入力される現在の温度が、記憶部45に記録されている基準温度より大きいか否か、すなわち、基準値外であるか否かが判断される。現在のボールベアリング8の温度が基準温度より低ければ、すなわち、ボールベアリング8の温度が基準値内であればステップS24に進み、通常運転が行われる。ボールベアリング8の温度が基準温度より高ければ、すなわち、ボールベアリング8の温度が基準値外であればステップS23に進み、慣らし運転を行い、慣らし運転が完了後、ステップS24に進んで通常運転が行われる。
第2の実施形態の変形例2では、図1および図2を参照すると、ベース2のボールベアリング8付近には、振動センサ23が取付けられている。振動センサ23は、ボールベアリング8の外周に取付けてもよい。制御回路43には、振動センサ23からの情報が入力される。
慣らし運転が必要か否かをボールベアリング8付近の振動状態に基づいて判断するには、予め、記憶部45に、慣らし運転が必要とされるボールベアリング8付近の基準振動量(振動値)を記録しておく。基準振動量としては、例えば、振幅、周波数、位相等に関する要素、あるいは変位、速度、加速度等のパラメータ等、振動状態を示すものであれば制限は無い。例えば、ボールベアリング8の可動部全体に適正な量の潤滑剤が供給されていない場合には、ポンプロータ3に回転数に依存しない周波数の振動を検出することができる。ボールベアリング8付近の基準振動量は、通常運転時の定格回転数におけるボールベアリング8付近の振動量に基づいて設定される。
よって、第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様の効果を奏する。
第3の実施の形態の真空ポンプにあっては、次のような起動処理を行う。
i)真空ポンプ1を起動した後に、通常運転を行う前に、第1または第2の実施形態で示したようにポンプ停止期間に基づき、第1および第2の実施形態で示した手順で慣らし運転の要否を判断ずる。
ii)慣らし運転が不要と判断されたときに直ちに通常運転を開始せず、試し運転を行って再度、慣らし運転の要否を判断する。この要否判断は、ポンプ電流、ベアリング温度、ベアリング振動のいずれか一つ、あるいは組み合わせに基づき行う。
iii)試し運転で慣らし運転が必要であると判断された時は、第1および第2の実施の形態で説明したのと同様な慣らし運転を行う。
図7は、本発明の第3の実施形態を示すフローチャートである。
図7に示す処理を行う場合、予め、記憶部45に、前回、真空ポンプ1を停止した時刻、および慣らし運転要否判定値である基準モータ電流値が記録される。
図7に示す処理のステップS31およびステップS32は、第1の実施形態のステップS11およびステップS12と同じである。
3 ポンプロータ
8 油潤滑式ボールベアリング(軸受)
9 軸受
10 シャフト
22 温度センサ
23 振動センサ
24 ガスパージ用通路 25 電磁バルブ
32 回転センサ
33 表示器
34 電流センサ
43 制御回路(制御部)
44 モータ駆動回路
45 記憶部
47 タイマー
51 冷媒源
P1 タービン翼排気部(排気機能部)
Claims (7)
- 排気機能部を構成するロータに設けられたシャフトの一端を油潤滑式軸受により支持する真空ポンプに用いる制御装置であって、
通常運転を行う前に慣らし運転が必要か否かを判断し、その判断結果に基づき慣らし運転に関する信号を出力する制御部を備える、真空ポンプの制御装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプの制御装置において、
前記制御部が慣らし運転が必要と判断して慣らし運転要の信号を出力するとき、前記制御部は、慣らし運転が必要であることを報知部で報知する処理を実行するか、または慣らし運転処理を実行する、真空ポンプの制御装置。 - 請求項2に記載の真空ポンプの制御装置において、
前記制御部が慣らし運転処理を実行するとき、前記制御部は、慣らし運転を実行中に慣らし運転の残り時間を演算し、前記残り時間を前記報知部から報知する処理を実行する、真空ポンプの制御装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の真空ポンプの制御装置において、
前記制御部は、真空ポンプの停止時間、モータ電流、軸受の温度および前記軸受の振動の少なくとも1つに基づいて慣らし運転の要否を判断する、真空ポンプの制御装置。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の真空ポンプの制御装置と、
前記真空ポンプとを備える、ポンプ装置。 - 請求項5に記載のポンプ装置において、
前記真空ポンプは、軸受を冷却媒体で冷却する冷却装置を備える、ポンプ装置。 - 請求項6に記載のポンプ装置において、
前記冷却装置は、慣らし運転が必要と判断されると前記軸受に冷却媒体を導入し、前記慣らし運転が必要ではないと判断されると、前記冷却媒体の前記軸受への導入を停止する電磁バルブを備える、ポンプ装置。
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