JP2018158361A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
レーザ光源から出射されたレーザ光のパワーを測定するパワー測定部と、
レーザ光が照射された加工対象物の熱輻射の強度を測定する熱輻射測定部と、
前記パワー測定部が測定したレーザ光のパワーと前記熱輻射測定部が測定した熱輻射の強度との組み合わせが、所定の範囲に含まれるか否かを判定する判定部と、
を備える構成とした。
図3は、制御部により実行される基準データ取得処理の手順を示すフローチャートである。
図5は、制御部により実行されるレーザ加工装置の調整処理の流れを示すフローチャートである。
10 制御部
11 判定部
12 データ処理部
13 記憶部
14 表示部
21 レーザ光源
22 走査光学系
23 ダイクロイックミラー
24、25 レンズ
26 熱輻射測定部
31 ステージ
32 イメージセンサ
33 全反射ミラー
34 パワー測定部
38 検査用の加工対象物
41 加工対象物
P0 被加工位置
W1 正常範囲
Claims (5)
- レーザ光源から出射されたレーザ光のパワーを測定するパワー測定部と、
レーザ光が照射された加工対象物の熱輻射の強度を測定する熱輻射測定部と、
前記パワー測定部が測定したレーザ光のパワーと前記熱輻射測定部が測定した熱輻射の強度との組み合わせが、所定の範囲に含まれるか否かを判定する判定部と、
を備えるレーザ加工装置。 - 少なくとも複数回の前記パワー測定部の検査処理において、前記熱輻射測定部は、毎回同一の加工対象物にレーザ光が照射されたときの熱輻射の強度を測定する請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記判定部の判定結果を表示する表示部を更に備える、
請求項1又は請求項2に記載のレーザ加工装置。 - 前記所定の範囲は、レーザ光のパワーと熱輻射の強度との組み合わせの正常範囲を表わす、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。 - 前記パワー測定部が測定したレーザ光のパワーと前記熱輻射測定部が測定した熱輻射の強度との複数の組み合わせのデータから前記所定の範囲を計算するデータ処理部と、
前記データ処理部により計算された前記所定の範囲を示す表わすデータを記憶する記憶部と、
を備える請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
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