JP2018155502A - 放射線格子検出器およびx線検査装置 - Google Patents
放射線格子検出器およびx線検査装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】このX線検査装置100(200、300、400)は、入射するX線を多点光源して干渉性を得るための格子G0、入射するX線の格子像を生成する格子G1および格子像が生成される位置においてX線を吸収して遮蔽する格子G2が、格子G0、格子G1および格子G2の各々を構成するとともに、X線が透過する開口部a0、a1およびa2以外の非開口部に設けられ、格子部(非開口部)b0、b1およびb2を透過して入射するX線を検出する格子検出部20、21、22とを含むように構成する。
【選択図】図1
Description
まず、図1および図2を参照して、本発明の第1実施形態によるX線検査装置100の構成について説明する。
図1に示すように、第1実施形態によるX線検査装置100は、X線照射部1aと、格子G0と、格子G1と、格子G2と、透過X線検出部1bと、移動機構6と、制御部7と、記憶部8と、画像処理部9と、載置台Tとが含まれている。また、図2に示すように、格子G0、格子G1および格子G2には、それぞれ読み出し回路30、31および32が設けられている。なお、格子G0、格子G1および格子G2は、それぞれ特許請求の範囲の「第1格子」、「第2格子」および「第3格子」の一例であるとともに、「放射線格子検出器」の一例である。
以下、X線検査装置100によるX線画像の取得およびX線画像の処理について説明する。
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図3を参照して、第2実施形態によるX線検査装置200の構成について説明する。第2実施形態によるX線検査装置200は、第1実施形態とは異なり、エネルギーの異なるX線により撮像されたX線画像を用いて被検体Sの組成を反映したX線画像を取得するように構成されている。
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図4を参照して、第3実施形態によるX線検査装置300の構成について説明する。第3実施形態によるX線検査装置300は、第1実施形態とは異なり、透過X線検出部(1b)が設けられていない。
第3実施形態では、上記のように、格子像が生成される位置においてX線を吸収して遮蔽する格子G2に設けられた格子検出部22は、(第1実施形態における)透過X線検出部(1b)を兼ねるように構成する。これにより、透過X線検出部(1b)を格子検出部22とは別途設ける場合と異なり、X線検査装置100の構成を簡略化することができる。
次に、図5および図6を参照して、第4実施形態によるX線検査装置400の構成について説明する。第4実施形態によるX線検査装置400は、第1実施形態とは異なり、格子G0aの格子検出部23、格子G1aの各々の格子検出部24および格子G2aの格子検出部25には、それぞれ半導体検出素子231、241および251が設けられている。なお、格子G0a、格子G1aおよび格子G2aは、それぞれ特許請求の範囲の「第1格子」、「第2格子」および「第3格子」の一例である。
第4実施形態では、上記のように、検出素子である半導体検出素子231、241および251の各々を、入射するX線を電流に変換する半導体変換膜231a、241aおよび251aと、半導体変換膜231a、241aおよび251aにより変換された電流信号を出力する電極231b、241bおよび251bとを含むように構成する。これにより、透過力が強く直接検出することが困難なX線を、半導体変換膜により電子(正孔)に変換し、変換された電子(正孔)に基づいて、電極231b、241bおよび251bと電極232、242および252との各々の間に印加された電圧により生じる電流信号を
電極231b、241bおよび251bと電極232、242および252と(半導体検出素子231、241および251)により検出することができるので、格子部b3、b4およびb5の位置に入射したX線を容易に検出することが可能になる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
1b、10b 透過X線検出部
20、21、22、23、24、25 格子検出部(検出部)
30、31、32、33、34、35 読み出し回路
41、42 判別部
51、52 カウンタ(光子数計測部)
201、211、221、21a、21b、21c、21d シンチレータ
202、212、222、22a、22b、22c、22d 光電変換素子
213、223 透明基板
204、214、224、234、244、254 素子基板
205、215、225、235、245、255 吸収部材
231、241、251 半導体検出器
231a、241a、251a 半導体変換膜
231b、241b、251b 電極
100、200、300、400、500 X線検査装置
a0、a1、a2、a3、a4、a5 開口部
a0、a1、a2、a3、a4、a5 格子部(非開口部)
G0、G0a、G0b 格子(第1格子、放射線格子検出器)
G1、G1a、G1b 格子(第2格子、放射線格子検出器)
G2、G2a、G2b 格子(第3格子、放射線格子検出器)
Ga、Gb、Gc、Gd 放射線格子検出器(第1格子、第2格子、第3格子)
PX0、PX1、PX2、PX3、PX4、PX5 ピッチ
W0、W1、W2、W3、W4、W5 幅
Claims (14)
- 入射する放射線を多点光源して干渉性を得るための第1格子、入射する前記放射線の格子像を生成する第2格子および前記格子像が生成される位置において前記放射線を吸収して遮蔽する第3格子のうちの少なくとも前記第2格子を含むX線検査装置に用いられる放射線格子検出器であって、
前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子のうちの少なくとも前記第2格子を構成するとともに、前記放射線が透過する開口部以外の非開口部を形成する格子部と、前記非開口部に設けられ、前記格子部を透過して入射する前記放射線を検出する検出部とを備える、放射線格子検出器。 - 前記検出部は、前記非開口部に入射する前記放射線を直接または間接的に検出して電気信号を出力する、各画素に対応する複数の検出素子を含む、請求項1に記載の放射線格子検出器。
- 前記検出部は、入射する前記放射線を前記放射線の周波数よりも低い周波数の前記光に変換するシンチレータをさらに含み、
前記検出素子は、前記シンチレータにより変換された低い周波数の前記光を検出して電気信号を出力する光電変換素子により構成されている、請求項2に記載の放射線格子検出器。 - 前記格子部は、前記シンチレータの前記放射線の入射方向に対する厚みを大きくすることにより、入射した前記放射線が透過しないように吸収する吸収格子として機能して、前記第1格子、前記第2格子または前記第3格子を構成し、前記シンチレータの前記放射線の入射方向に対する厚みを小さくすることにより、入射した前記放射線の位相を変化させる位相格子として機能して、前記第2格子を構成する、請求項3に記載の放射線格子検出器。
- 前記シンチレータが設けられ、前記放射線を透過する透明基板をさらに備え、
前記透明基板は、前記シンチレータとともに、前記光電変換素子が設けられる素子基板のうちの1つに対して着脱可能に構成されている、請求項3または4に記載の放射線格子検出器。 - 前記検出素子は、入射する前記放射線を電流に変換する半導体変換膜と、前記半導体変換膜により変換された電流信号を出力する電極とを含む半導体検出素子により構成されている、請求項2に記載の放射線格子検出器。
- 前記半導体変換膜の材質を重い元素とするかまたは前記電極を厚く形成することにより、入射した前記放射線が透過しないように吸収する吸収格子として機能して、前記第1格子、前記第2格子または前記第3格子を構成し、前記半導体変換膜の材質を軽い元素とするかまたは前記電極を薄く形成することにより、入射した前記放射線の位相を変化させる位相格子として機能して、前記第2格子を構成する、請求項6に記載の放射線格子検出器。
- 被検体にX線を照射するX線照射部と、
入射するX線の位相を揃える第1格子、入射する前記X線の格子像を生成する第2格子および前記格子像が生成される位置において前記X線を吸収して遮蔽する第3格子のうちの少なくとも前記第2格子と、
前記第1格子、前記被検体、前記第2格子および前記第3格子を透過した前記X線を検出する透過X線検出部とを備え、
前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子は、前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子のうちの少なくとも前記第2格子を構成するとともに、前記X線が透過する開口部以外の非開口部を形成する格子部と、前記非開口部に設けられ、前記格子部を透過して入射する前記X線を検出する格子検出部とを含む、X線検査装置。 - 前記格子検出部は、入射する前記X線の前記格子像を生成する前記第2格子に設けられているとともに、前記第2格子の前方に配置された前記被検体を透過した前記X線を検出するように構成されている、請求項8に記載のX線検査装置。
- 前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子のうち少なくとも1つに設けられた前記格子検出部により検出される、前記X線照射部により照射される前記X線の強度の時間変動を取得し、取得した前記強度の時間変動に基づいて、異なる時間に取得したX線画像の輝度が一定となるように補正するように構成されている、請求項8または9に記載のX線検査装置。
- 前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子は、互いに相対移動可能に構成されており、
入射する前記X線の格子像を生成する前記第2格子および前記格子像が生成される位置において前記X線を吸収して遮蔽する前記第3格子のうち少なくとも1つに設けられた前記格子検出部により検出される前記被検体を透過した前記X線の強度の変化に基づいて、前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子のうち少なくとも1つの位置の変動を取得するとともに、前記位置の変動を補正するように前記第1格子、前記第2格子および前記第3格子を相対移動させるように構成されている、請求項8〜10のいずれか1項に記載のX線検査装置。 - 入射する前記X線の前記格子像を生成する前記第2格子に設けられた前記格子検出部により撮像される第1X線画像と、前記格子像が生成される位置において前記X線を吸収して遮蔽する前記第3格子に設けられた前記格子検出部により撮像される第2X線画像と、前記透過X線検出部により撮像される第3X線画像のうち、各々分解能の異なる少なくとも2つ以上の組み合わせに基づいて、分解能の補完されたX線画像を取得するように構成されている、請求項8〜11のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 入射する前記X線の前記格子像を生成する前記第2格子に設けられた前記格子検出部により撮像される第1X線画像と、前記格子像が生成される位置において前記X線を吸収して遮蔽する前記第3格子に設けられた前記格子検出部により撮像される第2X線画像と、前記透過X線検出部により撮像される第3X線画像のうち、各々エネルギーの異なる前記X線により撮像された少なくとも2つ以上の組み合わせに基づいて、前記被検体の組成を反映したX線画像を取得するように構成されている、請求項8〜11のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 前記格子検出部は、入射する前記X線の前記格子像を生成する前記第2格子および前記格子像が生成される位置において前記X線を吸収して遮蔽する前記第3格子のうち少なくとも1つに設けられるとともに、入射する前記X線を前記X線の周波数よりも低い周波数の光に変換するシンチレータと、前記シンチレータにより変換された前記光が含む複数の光子を検出して第1信号を出力する、各画素に対応する複数の光電変換素子と、前記光電変換素子ごとに、前記第1信号の示す前記光子のエネルギーの値が所定のエネルギーの値の幅に収まるかを判別する少なくとも1つの閾値により前記第1信号を判別し、前記第1信号の示す前記光子のエネルギーの値が前記所定のエネルギーの値の幅に収まる場合に前記第1信号に対応する第2信号を出力する判別部と、前記判別部において前記閾値により判別される前記第1信号に基づいて出力される前記第2信号に基づいて、前記所定のエネルギー値の幅に対応する前記光子の数を計測する光子数計測部とを有する、請求項13に記載のX線検査装置。
Priority Applications (3)
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