JP2018144500A - Release film for producing ceramic green sheet, and method for producing the same - Google Patents

Release film for producing ceramic green sheet, and method for producing the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a release film for producing a ceramic green sheet, in which a release film at least includes a binder resin and a silicone based resin, in which deterioration in the surface roughness caused by the flocculation upon the drying of the components is suppressed, having high smoothness and excellent detachability, and a method for producing the release film.SOLUTION: There is provided a release film for producing a ceramic green sheet using a polyester film as a base material, in which the base material contains a surface layer A not substantially including particles at least on either side, and a release layer is laminated on the surface of the surface layer A at least of either side directly or via the other layer, in which a curl after heating at 100°C for 15 minutes without applying tension is 2 mm or lower, the release layer includes a binder component and a silicone based release agent, and the maximum projection height (P) of the surface of the release layer is 50 nm or lower.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制したものを製造し得る、超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。   The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet, and more specifically, an ultra-thin layer capable of producing a ceramic green sheet having an ultra-thin layer in which occurrence of process defects due to pinholes and thickness unevenness can be suppressed. The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet.

近年、多層積層セラミックコンデンサ(略称MLCC)の小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの薄膜化が要求されている。多層積層セラミックコンデンサは離型フィルム上に、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することでセラミックグリーンシートを成型し、得られたセラミックグリーンシートに電極を印刷した後、離型フィルムから剥離し、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、脱脂・焼成後、外部電極を塗布することで製造される。   In recent years, with the reduction in size and capacity of multilayer multilayer ceramic capacitors (abbreviated as MLCC), there has been a demand for thinner ceramic green sheets. Multilayer multilayer ceramic capacitors are coated with a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin on a release film and dried to form a ceramic green sheet, and electrodes are printed on the resulting ceramic green sheet Then, it is peeled from the release film, laminated and pressed with a ceramic green sheet, degreased and fired, and then coated with an external electrode.

MLCCを小型で大容量化するためには、セラミックグリーンシートを薄膜化することが必要であり、その膜厚は1.0μm以下、さらには0.6μm以下の薄膜になってきており、さらなる薄膜化も進んでいる。しかし、セラミックグリーンシートを薄膜化していくと離型フィルム上の極めて微小な突起や離型フィルムから剥離するときの力によって、ピンホールや割れなどの欠点が生じやすくなるといった課題があった。   In order to increase the size and capacity of MLCC, it is necessary to reduce the thickness of the ceramic green sheet. The film thickness is 1.0 μm or less, and further 0.6 μm or less. Progress is also being made. However, when the ceramic green sheet is thinned, there is a problem that defects such as pinholes and cracks are likely to occur due to extremely fine protrusions on the release film and the force when peeling from the release film.

これら課題を解決するために、セラミックグリーンシートの成型に使用する離型フィルムとして、ポリエステルフィルムに離型層を設け、離型層表面を高平滑化したフィルムが提案されている。特許文献1では、ポリエステルフィルムの表面に平滑化層設け、その後平滑化層の上に離型層を設けることが開示されている。また、特許文献2には、(メタ)アクリル酸エステルおよびシリコーン系成分からなる離型層を0.3μm以上の膜厚で形成することが開示されている。特許文献1および特許文献2では、離型層表面の算術平均粗さRaが8nm以下かつ最大突起高さRpが50nm以下にすることができることが開示され
ている。
In order to solve these problems, as a release film used for molding a ceramic green sheet, a film in which a release layer is provided on a polyester film and the release layer surface is highly smoothed has been proposed. Patent Document 1 discloses that a smoothing layer is provided on the surface of a polyester film, and then a release layer is provided on the smoothing layer. Patent Document 2 discloses that a release layer composed of a (meth) acrylic acid ester and a silicone component is formed with a film thickness of 0.3 μm or more. Patent Document 1 and Patent Document 2 disclose that the arithmetic average roughness Ra of the release layer surface can be 8 nm or less and the maximum protrusion height Rp can be 50 nm or less.

しかし、特許文献1および2では、ポリエステルフィルム上に積層する樹脂層(離型層および平滑化層)の厚みが厚いため、硬化に時間がかかり、使用する有機溶剤量も増えるため環境負荷が大きいなどの課題があった。また離型層の膜厚が厚いため得られた離型フィルムのカールなども課題となることがあった。   However, in Patent Documents 1 and 2, since the thickness of the resin layer (release layer and smoothing layer) laminated on the polyester film is thick, it takes time to cure and the amount of organic solvent to be used increases, so the environmental load is large. There were issues such as. In addition, since the release layer is thick, curling of the obtained release film may be a problem.

また、セラミックグリーンシート成型用離型フィルムの離型層としては、以下のような提案もされている。特許文献3では、離型層にシリコーンを含まないノンシリコーン系の離型層が提案されている。特許文献4では、シリコーン樹脂を離型層としたフィルムが提案されている。しかし、特許文献3のようにノンシリコーン系の離型層だとセラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が大きくなり薄膜化したセラミックグリーンシートではダメージを受ける課題がある。また、特許文献4のようなシリコーン系樹脂の離型層では、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力は小さくなるが、一般的にシリコーン樹脂のガラス転移温度が室温以下のため、弾性率が低く、剥離時に離型層が変形するため剥離力が不安定になる課題があった。   In addition, the following proposals have been made as a release layer of a release film for forming a ceramic green sheet. Patent Document 3 proposes a non-silicone release layer that does not contain silicone in the release layer. Patent Document 4 proposes a film using a silicone resin as a release layer. However, if it is a non-silicone release layer as in Patent Document 3, the peeling force when peeling the ceramic green sheet is increased, and the thinned ceramic green sheet has a problem of being damaged. In addition, in the release layer of the silicone resin as in Patent Document 4, the peeling force when peeling the ceramic green sheet is small, but since the glass transition temperature of the silicone resin is generally below room temperature, the elastic modulus is low. There is a problem that the peeling force becomes unstable because the release layer is deformed at the time of peeling.

一方、特許文献5では、メラミン樹脂とポリオルガノシロキサンを含有した離型層が提案されている。離型層のバインダーとしてメラミン樹脂を主に含有し、離型成分としてシリコーン系樹脂を添加したことで、離型層の弾性率を上げて変形性と剥離性を両立させることが提案されている。   On the other hand, Patent Document 5 proposes a release layer containing melamine resin and polyorganosiloxane. It has been proposed to mainly contain a melamine resin as a binder for the release layer and to add a silicone resin as a release component to increase the elastic modulus of the release layer to achieve both deformability and peelability. .

しかし、バインダー樹脂とシリコーン系樹脂を含有する離型層だと、バインダー樹脂とシリコーン系樹脂の有機溶剤への溶解性や溶解液の表面張力が大きく異なるため、乾燥時に相溶性が悪くなり各樹脂が凝集し突起となり、離型層表面の表面粗さを悪化させる課題があった。厚み1.0μm以下、さらには0.6μm以下のセラミックグリーンシートを成型する場合、これら微小な表面粗さの悪化でもピンホールなどが発生し得られる積層セラミックコンデンサの不良率が悪化してしまうため、さらなる平滑性が求められていた。   However, if the release layer contains a binder resin and a silicone resin, the solubility of the binder resin and the silicone resin in the organic solvent and the surface tension of the solution are greatly different. Agglomerates to form protrusions, and there is a problem of deteriorating the surface roughness of the release layer surface. When a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm or less, further 0.6 μm or less is molded, the defect rate of a multilayer ceramic capacitor that can generate pinholes and the like is deteriorated even when the surface roughness is so small. Further smoothness has been demanded.

特開2014−177093号公報JP 2014-177093 A 国際公開第2013/145864号International Publication No. 2013/145864 特開2010−144046号公報JP 2010-144046 A 特開2012−207126号公報JP 2012-207126 A 特開2017−7226号公報JP 2017-7226 A

本発明は、上記実情に鑑み、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムの離型層として少なくともバインダー樹脂とシリコーン系樹脂を含むものとし、上記成分の乾燥時の凝集による表面粗さの悪化を抑制し高い平滑性を有し、かつ剥離性に優れた離型フィルムおよび該離型フィルムの製造方法を提供しようとするものである。   In view of the above circumstances, the present invention includes at least a binder resin and a silicone resin as a release layer of a release film for producing a ceramic green sheet, and suppresses deterioration of surface roughness due to aggregation of the above components during drying. An object of the present invention is to provide a release film having smoothness and excellent peelability and a method for producing the release film.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されている離型フィルムであって、張力をかけずに100℃で15分加熱したあとのカールが2mm以下であり、離型層にバインダー成分とシリコーン系離型剤を含有し、離型層表面の最大突起高さ(P)が50nm以下であることを特徴とするセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. 離型層に含まれるバインダー成分が長鎖アルキル基および/またはシリコーン骨格を有する樹脂を含むことを特徴とする上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 前記シリコーン系離型剤がポリエーテル部位を有しており、離型層に0.1〜20質量%含有していることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
5. 上記第4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用することを特徴とするセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention has the following configuration.
1. A polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A substantially free of particles on at least one side, and is released directly on the surface of the surface layer A on at least one side or via another layer. A release film in which layers are laminated, and the curl after heating at 100 ° C. for 15 minutes without applying tension is 2 mm or less, and the release layer contains a binder component and a silicone release agent, A release film for producing a ceramic green sheet, wherein the maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer is 50 nm or less.
2. 2. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first aspect, wherein the binder component contained in the release layer contains a resin having a long-chain alkyl group and / or a silicone skeleton.
3. The release agent for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, wherein the silicone-based release agent has a polyether moiety and is contained in a release layer in an amount of 0.1 to 20% by mass. Mold film.
4). A method for producing a ceramic green sheet using the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to third aspects, wherein the molded ceramic green sheet has a thickness of 0.2 μm to A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm.
5. A method for producing a ceramic capacitor, wherein the method for producing a ceramic green sheet according to the fourth aspect is adopted.

膜厚0.2〜1.0μmの超薄膜化したセラミックグリーンシートの製造においても、剥離性がよく、ピンホールなどの欠点を少なくすることができるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムとその効率的な製造方法の提供が可能となった。   Also in the production of ultra-thin ceramic green sheets having a film thickness of 0.2 to 1.0 μm, a release film for producing ceramic green sheets that has good peelability and can reduce defects such as pinholes and its efficiency New manufacturing methods can be provided.

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討した結果、少なくとも片面に粒子を実質的に含有しない表面層Aを有するポリエステルフィルムの少なくとも片面の表面層A上に直接もしくは他の層を介して膜厚が0.2μm以下の離型層を積層してなる離型フィルムであって、離型層にバインダー樹脂とシリコーン系樹脂を含有し、離型層表面の最大突起高さ(P)が50nm以下かつ算術平均粗さ(Sa)が1.5nm以下であることを特徴とするセラミックグリーンシート製造用離型フィルムおよび該離型フィルムを効率的に製造する製造方法について見出した。
以下、本発明について詳細に説明する。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that a polyester film having a surface layer A that does not substantially contain particles on at least one side is directly or via another layer on the surface layer A on at least one side. A release film formed by laminating a release layer having a film thickness of 0.2 μm or less, containing a binder resin and a silicone resin in the release layer, and having a maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer The present invention has found a release film for producing a ceramic green sheet characterized by having a thickness of 50 nm or less and an arithmetic average roughness (Sa) of 1.5 nm or less, and a production method for efficiently producing the release film.
Hereinafter, the present invention will be described in detail.

(ポリエステルフィルム)
本発明において、基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成形したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
In the present invention, the polyester constituting the polyester film used as the substrate is not particularly limited, and it is possible to use a film-molded polyester that is generally used as a release film substrate. A linear linear saturated polyester composed of an aromatic dibasic acid component and a diol component, such as polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate or a resin thereof. A copolymer having the above component as a main component is more preferable, and a polyester film formed from polyethylene terephthalate is particularly preferable. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in a small amount, but from the viewpoint of cost. Those produced only from terephthalic acid and ethylene glycol are preferred. Moreover, you may add a well-known additive, for example, antioxidant, a light stabilizer, a ultraviolet absorber, a crystallizing agent, etc. within the range which does not inhibit the effect of the film of this invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film for reasons such as high bidirectional elasticity.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料ペレットは十分に真空乾燥することが好ましい。   The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, and more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, it is preferable because many breakage does not occur in the stretching process. On the other hand, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because cutting property when cutting to a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. The raw material pellets are preferably sufficiently vacuum-dried.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。   The manufacturing method of the polyester film in this invention is not specifically limited, The method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be melted with an extruder, extruded into a film, cooled with a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and the unstretched film can be obtained by biaxial stretching. A biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a uniaxially stretched film in the longitudinal direction or the transverse direction in the transverse direction or the longitudinal direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal direction and the transverse direction. I can do it.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。   In this invention, it is preferable that the extending | stretching temperature at the time of extending | stretching a polyester film shall be more than the secondary transition point (Tg) of polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in the longitudinal and lateral directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15〜38μmであり、より好ましくは、19μm〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や離型層の加工工程、セラミックグリーンシートなどの成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。   It is preferable that the said polyester film is 12-50 micrometers in thickness, More preferably, it is 15-38 micrometers, More preferably, it is 19 micrometers-33 micrometers. If the thickness of the film is 12 μm or more, it is preferable that there is no risk of deformation due to heat during film production, a release layer processing step, or molding of a ceramic green sheet. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use is not extremely increased, which is preferable in reducing the environmental load.

上記二軸配向ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に粒子を含まない表面層Aを有することが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に粒子を含有しない表面層Aの反対面には、粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層を表面層A、その反対面の層を表面層B、これら以外の芯層を層Cとすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながら層Cは複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。   The biaxially oriented polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but preferably has a surface layer A substantially free of particles on at least one side. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B that can contain particles on the opposite surface of the surface layer A that does not substantially contain particles. As a laminated structure, when the layer on the side where the release layer is applied is the surface layer A, the opposite layer is the surface layer B, and the other core layer is the layer C, the layer structure in the thickness direction is the release layer / Examples thereof include a laminated structure such as A / B or release layer / A / C / B. Of course, the layer C may have a plurality of layer configurations. Further, the surface layer B can contain no particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer containing particles and a binder on the surface layer B in order to impart slipperiness for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「粒子を実質的に含有しない」とは、例えば無機粒子の場合、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。   In the polyester film substrate of the present invention, it is preferable that the surface layer A that forms the surface on which the release layer is applied does not substantially contain particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during molding of the laminated ultra-thin ceramic green sheet. Although it can be said that the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably as small as possible, it may be 0.1 nm or more. Here, when an anchor coat layer, which will be described later, is provided on the surface layer A, it is preferable that the coat layer does not substantially contain particles, and the area surface average roughness (Sa) after coating layer lamination is in the above range. It is preferable to enter. In the present invention, “substantially free of particles” means, for example, in the case of inorganic particles, when inorganic elements are quantified by fluorescent X-ray analysis, 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, most preferably the detection limit or less. Content. This means that even if particles are not actively added to the film, contaminants derived from foreign substances, raw resin, or dirt adhering to the lines and equipment in the film manufacturing process may be peeled off and mixed into the film. Because there is.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される粒子含有量は、表面層B中に粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。   In the polyester film substrate of the present invention, the surface layer B that forms the surface opposite to the surface on which the release layer is applied preferably contains particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease of air removal. It is preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles. The contained particle content is preferably 5000 to 15000 ppm in total in the surface layer B. At this time, it is preferable that the area | region surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is the range of 1-40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm. When the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is rolled up, air can be released uniformly, and the winding shape is good and the flatness is good. This is suitable for the production of an ultrathin layer ceramic green sheet. In addition, when the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, the lubricant is less likely to agglomerate and coarse protrusions cannot be formed, so the quality is stable when manufacturing ultra-thin ceramic green sheets. It is preferable.

上記表面層Bに含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子などを用いることができる。透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましいが、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ−シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。   As particles contained in the surface layer B, inactive inorganic particles and / or heat-resistant organic particles other than silica and / or calcium carbonate can be used. Silica particles and / or calcium carbonate particles are more preferably used from the viewpoint of transparency and cost, but other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles, hydroxyapatite particles, and the like. Examples of the heat resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. .

上記表面層Bに添加する粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。   The average particle size of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. If the average particle diameter of the particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Moreover, if an average particle diameter is 2.0 micrometers or less, there is no possibility that a pinhole may generate | occur | produce in the ceramic green sheet by the coarse particle of a mold release layer surface, and it is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。なお、本発明において、粒子の平均粒径の測定方法は、フィルムの断面の粒子を走査型電子顕微鏡で観察を行い、粒子100個を観察し、その平均値をもって平均粒径とする方法を採用できる。本発明の目的を満たすものであれば、粒子の形状は特に限定されるものでなく、球状粒子、不定形の球状でない粒子を使用できる。不定形の粒子の粒子径は円相当径として計算することができる。円相当径は、観察された粒子の面積を円周率(π)で除し、平方根を算出し2倍した値である。   The surface layer B may contain two or more kinds of particles having different materials. Moreover, you may contain the same kind of particle | grains from which an average particle diameter differs. In the present invention, the method for measuring the average particle size of the particles employs a method of observing 100 cross-sectional particles with a scanning electron microscope and observing 100 particles and setting the average value to the average particle size. it can. The shape of the particle is not particularly limited as long as it satisfies the object of the present invention, and spherical particles and non-spherical particles can be used. The particle diameter of the irregular shaped particles can be calculated as the equivalent circle diameter. The equivalent circle diameter is a value obtained by dividing the observed particle area by the circumference ratio (π) and calculating the square root and doubling it.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。 When the surface layer B does not contain particles, it is preferable that the surface layer B has a slipperiness with a coat layer containing particles. Although this coating layer is not specifically limited, It is preferable to provide with the in-line coating applied during film forming of a polyester film. When the surface layer B does not contain particles, and the surface layer B has a coat layer containing particles, the surface of the coat layer is a region for the same reason as the surface average roughness (Sa) of the surface layer B described above. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。   From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use a regenerated raw material or the like for the surface layer A, which is a layer on the side where the release layer is provided, from the viewpoint of reducing pinholes.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さくなり好ましい。   The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, is preferably 20% to 50% of the total thickness of the base film. If it is 20% or more, the influence of particles contained in the surface layer B or the like is not easily received from the inside of the film, and the area surface average roughness Sa is easy to satisfy the above range, which is preferable. When the thickness is 50% or less of the total thickness of the base film, the use ratio of the recycled raw material in the surface layer B can be increased, and the environmental load is reduced, which is preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、表面層Bに含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。   Further, from the viewpoint of economy, 50 to 90% by mass of film scraps and recycled materials for PET bottles can be used for layers other than the surface layer A (surface layer B or the aforementioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the surface layer B, the particle diameter, and the area surface average roughness (Sa) satisfy the above range.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。表面層A上にコート層を設ける場合には、当該コート層には粒子を実質的に含有しないことが好ましい。   In addition, the film after stretching or uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve adhesion of a release layer or the like to be applied later or to prevent charging. A coating layer may be provided, and corona treatment or the like may be performed. When a coating layer is provided on the surface layer A, it is preferable that the coating layer does not substantially contain particles.

(離型層)
本発明における離型層には、少なくともバインダー成分とシリコーン系離型剤を含むことが好ましい。本発明の効果を損なわない範囲で、前記樹脂や化合物以外にも他の成分を添加することができる。
(Release layer)
The release layer in the present invention preferably contains at least a binder component and a silicone release agent. In addition to the resin and compound, other components can be added as long as the effects of the present invention are not impaired.

(バインダー成分)
本発明の離型層に含まれるバインダー成分としては、特に限定されないが、離型層の架橋密度を高め、離型層の耐久性や耐溶剤性などを向上させるために架橋できる成分が架橋されてなることが好ましい。そのため、バインダー成分には、反応性官能基を有する樹脂と架橋剤が反応してなることが好ましい。また、反応性官能基もしくは架橋剤のどちらか単独で自己架橋してなることも好ましい。しかしながら、本発明において、バインダー成分が、反応性官能基を有する樹脂または架橋剤だけからなる態様を排除するものではない。
(Binder component)
The binder component contained in the release layer of the present invention is not particularly limited, but a component that can be cross-linked to increase the cross-linking density of the release layer and improve the durability and solvent resistance of the release layer is cross-linked. It is preferable that Therefore, it is preferable that the binder component is obtained by reacting a resin having a reactive functional group and a crosslinking agent. Further, it is also preferable that either a reactive functional group or a crosslinking agent is self-crosslinked alone. However, in the present invention, an embodiment in which the binder component is composed only of a resin having a reactive functional group or a crosslinking agent is not excluded.

反応性官能基を有する樹脂としては特に限定されないが、ポリエステル系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂などを好適に使用することができる。これら樹脂には、反応性官能基として、カルボキシル基、ヒドロキシル基、エポキシ、アミノ基などから選ばれる少なくとも1種類以上を有していることが好ましい。   Although it does not specifically limit as resin which has a reactive functional group, A polyester-type resin, a polyacrylic-type resin, a polyurethane-type resin, a polyolefin-type resin etc. can be used conveniently. These resins preferably have at least one kind selected from a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy, an amino group and the like as a reactive functional group.

反応性官能基を有する樹脂は、長鎖アルキル基および/またはシリコーン骨格を樹脂骨格の一部に有していることが好ましい。長鎖アルキル基および/またはシリコーン骨格のような低表面自由エネルギーの部位を樹脂骨格の一部に有することで、後述するシリコーン系離型剤とバインダー成分との相溶性が高くなり乾燥時の凝集が起こりにくくなり平滑性が向上するため好ましい。   The resin having a reactive functional group preferably has a long-chain alkyl group and / or a silicone skeleton as part of the resin skeleton. By having a low surface free energy site such as a long-chain alkyl group and / or a silicone skeleton in a part of the resin skeleton, the compatibility between the silicone-based mold release agent described below and the binder component is increased, and aggregation occurs during drying. Is preferred because it is less likely to occur and the smoothness is improved.

樹脂骨格に長鎖アルキル基を有する反応性官能基含有樹脂の具体例としては、側鎖に長鎖アルキル基を有するアルキッド樹脂またはアクリル樹脂などが挙げられる。用いる長鎖アルキル基としては、炭素数が6〜20の直鎖状のアルキル基が好適である。前述の炭素数を有することで、得られる樹脂の表面自由エネルギーを低下させることができ、シリコーン系離型剤との相溶性が向上するため好ましい。   Specific examples of the reactive functional group-containing resin having a long-chain alkyl group in the resin skeleton include alkyd resins or acrylic resins having a long-chain alkyl group in the side chain. As the long-chain alkyl group to be used, a linear alkyl group having 6 to 20 carbon atoms is preferable. By having the above-mentioned carbon number, the surface free energy of the obtained resin can be reduced, and the compatibility with the silicone-based release agent is improved, which is preferable.

側鎖に長鎖アルキル基を有するアルキッド樹脂の場合は、前述の長鎖アルキル基を有する酸(例えば、オクチル酸やステアリル酸など)をフタル酸などの多塩基酸に混ぜ、多価アルコール成分(ペンタエリスリトールやジエチレングリコ―ルなど)と混合し、脱水縮合反応により得ることができる。   In the case of an alkyd resin having a long-chain alkyl group in the side chain, an acid having a long-chain alkyl group (for example, octylic acid or stearyl acid) is mixed with a polybasic acid such as phthalic acid, and a polyhydric alcohol component ( Pentaerythritol, diethylene glycol, etc.) and can be obtained by a dehydration condensation reaction.

側鎖に長鎖アルキル基を有するアクリル樹脂は、2種類以上のアクリルモノマーを共重合して得ることが好ましい。共重合するモノマーとして、長鎖アルキル基を有するモノマー(例えば、ラウリルアクリレート、ステアリルアクリレート、イソデシルアクリレートなど)を含むことが好ましく、反応性官能基部位として、ヒドロキシ基を有するモノマー(例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシブチルアクリレートなど)を含むことが好ましい。前述のほかに得られるポリマーのTg調整や架橋性、反応性などを付与するためにメチルメタクリレートやエチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ブタンジオールジアクリレートなど他の既知モノマーも含むことができる。   The acrylic resin having a long-chain alkyl group in the side chain is preferably obtained by copolymerizing two or more kinds of acrylic monomers. The monomer to be copolymerized preferably includes a monomer having a long-chain alkyl group (for example, lauryl acrylate, stearyl acrylate, isodecyl acrylate, etc.), and a monomer having a hydroxy group as a reactive functional group (for example, hydroxyethyl) Acrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxybutyl acrylate, etc.). In addition to the above, other known monomers such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, hexanediol dimethacrylate, and butanediol diacrylate can also be included in order to impart Tg adjustment, crosslinkability, reactivity, and the like of the polymer obtained. .

得られたアクリル樹脂の長鎖アルキル基を有するモノマーの含有量は、全モノマーに対し1モル%以上50モル%以下であることが好ましい。1モル%以上であると表面自由エネルギーを下げる効果があるため好ましい。50モル%以下であると反応性官能基を有するモノマーが相対的に高くなるため樹脂の架橋密度が高くなるため好ましい。   The content of the monomer having a long-chain alkyl group in the obtained acrylic resin is preferably 1 mol% or more and 50 mol% or less with respect to all monomers. 1 mol% or more is preferred because of the effect of reducing the surface free energy. When the amount is 50 mol% or less, the monomer having a reactive functional group is relatively high, so that the crosslinking density of the resin is high, which is preferable.

樹脂骨格中にシリコーン骨格を有する反応性官能基含有樹脂の具体例としては、側鎖にポリジメチルシロキサン骨格を有するアルキッド樹脂もしくはアクリル樹脂などが挙げられる。市販品の具体例としては、サイマック(登録商標)US350、US352(東亜合成社製、反応性官能基:カルボキシル基)、サイマック(登録商標)US270(東亜合成社製、反応性官能基:ヒドロキシル基)などがある。   Specific examples of the reactive functional group-containing resin having a silicone skeleton in the resin skeleton include alkyd resins or acrylic resins having a polydimethylsiloxane skeleton in the side chain. Specific examples of commercially available products include Cymac (registered trademark) US350, US352 (manufactured by Toa Gosei Co., Ltd., reactive functional group: carboxyl group), Cymac (registered trademark) US270 (manufactured by Toagosei Co., Ltd., reactive functional group: hydroxyl group) )and so on.

(架橋剤)
バインダー成分には、架橋剤を含有することも好ましい。架橋剤としては、特に限定されないが、メラミン系、イソシアネート系、カルボジイミド系、オキサゾリン系、エポキシ系などを使用することができ、1種類でも2種類以上を併用して用いても構わない。特に好ましくは、バインダー成分に導入された反応性官能基と反応する架橋剤が好ましい。
(Crosslinking agent)
It is also preferable that the binder component contains a crosslinking agent. Although it does not specifically limit as a crosslinking agent, A melamine type | system | group, an isocyanate type, a carbodiimide type | system | group, an oxazoline type | system | group, an epoxy type, etc. can be used, You may use it in combination of 1 type or 2 types or more. Particularly preferred is a crosslinking agent that reacts with a reactive functional group introduced into the binder component.

本発明に使用する架橋剤としては、反応性の観点からメラミン系化合物が好ましい。メラミン系化合物を使用することで、離型層の膜厚が0.2μm以下のような薄膜でも素早く硬化させることができ架橋密度が高くなるため好ましい。   The crosslinking agent used in the present invention is preferably a melamine compound from the viewpoint of reactivity. The use of a melamine compound is preferable because even a thin film having a release layer thickness of 0.2 μm or less can be cured quickly and the crosslinking density becomes high.

本発明に用いるメラミン系化合物としては、一般的なものを使用でき特に限定されないが、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られ、1分子中にトリアジン環、及びメチロール基及び/又はアルコキシメチル基をそれぞれ1つ以上有していることが好ましい。具体的には、メラミンとホルムアルデヒドを縮合して得られるメチロールメラミン誘導体に、低級アルコールとしてメチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール等を脱水縮合反応させてエーテル化した化合物などが好ましい。メチロール化メラミン誘導体としては、例えばモノメチロールメラミン、ジメチロールメラミン、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ペンタメチロールメラミン、ヘキサメチロールメラミンを挙げることができる。1種類を用いても2種類以上も用いても構わない。   As the melamine compound used in the present invention, a general compound can be used and is not particularly limited. The melamine compound is obtained by condensing melamine and formaldehyde, and each has a triazine ring, a methylol group and / or an alkoxymethyl group in one molecule. It is preferable to have one or more. Specifically, a compound obtained by subjecting a methylolmelamine derivative obtained by condensing melamine and formaldehyde to etherification by dehydration condensation reaction of methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol or the like as a lower alcohol is preferable. Examples of methylolated melamine derivatives include monomethylol melamine, dimethylol melamine, trimethylol melamine, tetramethylol melamine, pentamethylol melamine, and hexamethylol melamine. One type or two or more types may be used.

メラミン系化合物としては、バインダー成分の架橋密度を高くすることができるため1分子中に多くの架橋点をもつヘキサメチロールメラミンや、ヘキサメトキシメチロールメラミンなどを用いることが好ましい。メチロールメラミン誘導体にアルコールを用いて脱水縮合反応したエーテル化合物を用いる場合は、反応性の観点から、メチルアルコールで脱水縮合して得られたヘキサメトキシメチルメチロールメラミンが特に好ましい。   As the melamine compound, it is preferable to use hexamethylol melamine having many crosslinking points in one molecule, hexamethoxymethylol melamine, or the like because the crosslinking density of the binder component can be increased. From the viewpoint of reactivity, hexamethoxymethyl methylol melamine obtained by dehydration condensation with methyl alcohol is particularly preferred when an ether compound obtained by dehydration condensation reaction using an alcohol as a methylol melamine derivative is used.

本発明におけるバインダー成分に含まれる架橋剤の量は、反応性官能基を有する樹脂に対して15質量%以上であることが好ましく、より好ましくは30質量%以上であり、さらに好ましくは50質量%である。また、架橋剤が自己縮合して樹脂膜を形成できる場合は、架橋剤のみでバインダー成分が構成されても構わない。架橋剤を15質量%以上含むことで離型層の架橋密度を高めることができ、耐溶剤性、弾性率を向上させることができるため好ましい。   The amount of the crosslinking agent contained in the binder component in the present invention is preferably 15% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, and further preferably 50% by mass with respect to the resin having a reactive functional group. It is. Moreover, when a crosslinking agent can self-condense and can form a resin film, a binder component may be comprised only with a crosslinking agent. It is preferable to contain 15% by mass or more of a crosslinking agent because the crosslinking density of the release layer can be increased and the solvent resistance and elastic modulus can be improved.

(触媒)
本発明における離型層には架橋剤を硬化させるために触媒を使用することもできる。メラミン系化合物を使用する場合は酸触媒を使用することが好ましく、特に限定されないがカルボン酸系、金属塩系、リン酸エステル系、スルホン酸系のものを好適に使用することができる。また、酸部位がブロックされたブロックタイプの触媒も使用することができる。特に反応性の観点からパラトルエンスルホン酸が好適に使用することができる。イソシアネート系化合物を使用する場合は、一般的なものを使用することができ、有機錫やアミン化合物、トリアルキルホスフィン化合物などが好適に使用することができる。
(catalyst)
In the release layer in the present invention, a catalyst may be used for curing the crosslinking agent. When a melamine compound is used, it is preferable to use an acid catalyst, and although not particularly limited, carboxylic acid, metal salt, phosphate ester, and sulfonic acid compounds can be preferably used. Further, a block type catalyst in which an acid site is blocked can also be used. In particular, paratoluenesulfonic acid can be suitably used from the viewpoint of reactivity. When using an isocyanate compound, a general thing can be used and organic tin, an amine compound, a trialkylphosphine compound, etc. can be used conveniently.

触媒の添加量は、離型層に含まれる架橋剤に対して0.1〜40質量%であることが好ましい。より好ましくは、0.5〜30質量%である。さらに好ましくは0.5〜20質量%である。0.1質量%以上であると、硬化反応が進みやすくなり好ましい。一方40質量%以下であると成型するセラミックグリーンシートへ酸触媒が移行するおそれがなく、悪影響を及ぼすおそれがないことから好ましい。   It is preferable that the addition amount of a catalyst is 0.1-40 mass% with respect to the crosslinking agent contained in a mold release layer. More preferably, it is 0.5-30 mass%. More preferably, it is 0.5-20 mass%. When the content is 0.1% by mass or more, the curing reaction easily proceeds, which is preferable. On the other hand, if it is 40% by mass or less, the acid catalyst is not likely to migrate to the ceramic green sheet to be molded, which is preferable because there is no risk of adverse effects.

(シリコーン系離型剤)
本発明において離型層に用いるシリコーン系離型剤としては、分子内にシリコーン構造を有する化合物であり、本発明の効果を得られる範囲であれば特に限定されないが、ポリオルガノシロキサンなどを好適に使用することができる。ポリオルガノシロキサンの中でもポリジメチルシロキサン(略称、PDMS)が好適に使用することができ、ポリジメチルシロキサンの一部に官能基を有するものも好ましい。官能基を有することでバインダー樹脂と水素結合などの分子間相互作用が発現しやすくなりセラミックグリーンシートへの移行がしにくくなるため好ましい。
(Silicone mold release agent)
The silicone release agent used in the release layer in the present invention is a compound having a silicone structure in the molecule and is not particularly limited as long as the effects of the present invention can be obtained, but polyorganosiloxane and the like are preferably used. Can be used. Among polyorganosiloxanes, polydimethylsiloxane (abbreviation, PDMS) can be preferably used, and those having a functional group in part of the polydimethylsiloxane are also preferred. Having a functional group is preferable because intermolecular interaction such as hydrogen bonding with the binder resin is likely to occur and migration to the ceramic green sheet is difficult.

ポリジメチルシロキサンに導入する官能基としては特に限定されないが、反応性官能基でも非反応性官能基でも構わない。また、官能基はポリジメチルシロキサンの片末端に導入されていてもよいし、両末端でも側鎖でも構わない。また、導入される位置は1つでもよいし、複数でも構わない。   Although it does not specifically limit as a functional group introduce | transduced into polydimethylsiloxane, A reactive functional group or a non-reactive functional group may be sufficient. In addition, the functional group may be introduced at one end of polydimethylsiloxane, or both ends or side chains may be used. Moreover, the position to be introduced may be one or plural.

ポリジメチルシロキサンに導入する反応性官能基としては、アミノ基、エポキシ基、ヒドロキシル基、メルカプト基、カルボキシル基、メタクリル基、アクリル基などを使用することができる。非反応性官能基としては、ポリエーテル基、アラルキル基、フロロアルキル基、長鎖アルキル基、エステル基、アミド基、フェニル基などを使用することができる。特に理論で拘束されるわけではないが、上記のうちエポキシ基、カルボキシル基、ポリエーテル基、メタクリル基、アクリル基、エステル基を有するものが好ましい。   As a reactive functional group introduced into polydimethylsiloxane, an amino group, an epoxy group, a hydroxyl group, a mercapto group, a carboxyl group, a methacryl group, an acrylic group, or the like can be used. As the non-reactive functional group, a polyether group, an aralkyl group, a fluoroalkyl group, a long chain alkyl group, an ester group, an amide group, a phenyl group, or the like can be used. Although not particularly restricted by theory, among the above, those having an epoxy group, a carboxyl group, a polyether group, a methacryl group, an acrylic group, and an ester group are preferable.

ポリジメチルシロキサンに導入する官能基は、バインダー成分とは反応しないものの方がより好ましい。例えばメラミン樹脂と反応するヒドロキシル基などで変性されたポリジメチルシロキサンは、乾燥工程でメラミンと反応するため、離型層表面に配向しにくく離型性が発現しにくい場合がある。そのため十分な離型性を持たせるために添加量を増やす必要があるが、その場合離型層の弾性率が低下し離型層の変形が起こりやすくなるおそれがある。   The functional group introduced into polydimethylsiloxane is more preferably one that does not react with the binder component. For example, polydimethylsiloxane modified with a hydroxyl group that reacts with a melamine resin reacts with melamine in the drying step, and therefore, it may be difficult to orient on the surface of the release layer and release properties may be difficult. For this reason, it is necessary to increase the amount of addition in order to provide sufficient release properties. In this case, however, the elastic modulus of the release layer may be reduced, and the release layer may be easily deformed.

ポリジメチルシロキサンに導入する官能基としては、上述した理由からバインダー樹脂と反応せず、離型層表面に配向しやすく、セラミックグリーンシートへの移行性も少ない官能基としては、特にポリエーテル基、エステル基が好ましく、特にポリエーテル基が好ましい。   As the functional group to be introduced into the polydimethylsiloxane, as a functional group that does not react with the binder resin for the reasons described above, is easy to be oriented on the surface of the release layer, and has little transferability to the ceramic green sheet, a polyether group, An ester group is preferred, and a polyether group is particularly preferred.

本発明において用いるシリコーン系離型剤は、分子量が40000以下であることが好ましい。より好ましくは、30000以下である。分子量が40000以下であるとシリコーン系離型剤が離型層表面に偏析しやすく剥離性が良く好ましい。   The silicone mold release agent used in the present invention preferably has a molecular weight of 40000 or less. More preferably, it is 30000 or less. When the molecular weight is 40,000 or less, the silicone release agent is easily segregated on the surface of the release layer, and the releasability is good.

本発明における離型層には、シリコーン系化合物が離型層全体の固形分に対して0.1質量%以上、20質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.1質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.1質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%以上であると、離型性が向上し、セラミックグリーンシートの剥離性が向上するため好ましい。一方、20質量%以下であると、剥離時にセラミックグリーンシートへのシリコーン系化合物の移行が少なく好ましい。このとき、離型層全体の固形分とは、溶媒や触媒は乾燥過程で相当部分蒸発するか、もともと微量であるため、実質的にバインダー成分と離型剤の固形分の合計した値とみなして差し支えない。   The release layer in the present invention preferably contains a silicone compound in an amount of 0.1% by mass or more and 20% by mass or less based on the solid content of the entire release layer. More preferably, they are 0.1 mass% or more and 10 mass% or less, More preferably, they are 0.1 mass% or more and 5 mass% or less. When the content is 0.1% by mass or more, the releasability is improved and the peelability of the ceramic green sheet is improved, which is preferable. On the other hand, when it is 20% by mass or less, there is little transfer of the silicone compound to the ceramic green sheet at the time of peeling. At this time, the solid content of the entire release layer is considered to be a substantially total value of the solid contents of the binder component and the release agent because the solvent and the catalyst are partially evaporated in the drying process or are originally very small. It does not matter.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、セラミックグリーンシートのピンホール抑制の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。   The release layer in the present invention can contain particles having a particle size of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles that form protrusions from the viewpoint of suppressing pinholes in the ceramic green sheet.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。   In the release layer of the present invention, an additive such as an adhesion improver or an antistatic agent may be added as long as the effect of the present invention is not impaired. In order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable that the polyester film surface is subjected to pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, etc. before providing the release coating layer.

本発明において離型層の厚みは、0.2μm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.01〜0.2μmであり、さらに好ましくは0.02〜0.15μmであり、0.02〜0.09μmであればより好ましい。離型層の厚みが0.01μm以上であると剥離性能が得られ易く好ましい。0.2μm以下であると、離型層の硬化時間を短くできるため離型フィルムの平面性が保たれてセラミックグリーンシートの厚みムラを抑制できるため好ましい。また0.2μm以下であると得られたフィルムのカールも少なくなるためセラミックグリーンシート成型時に成型精度が向上するため好ましい。   In the present invention, the thickness of the release layer is preferably 0.2 μm or less. More preferably, it is 0.01-0.2 micrometer, More preferably, it is 0.02-0.15 micrometer, It is more preferable if it is 0.02-0.09 micrometer. When the thickness of the release layer is 0.01 μm or more, it is preferable that peeling performance is easily obtained. When the thickness is 0.2 μm or less, the curing time of the release layer can be shortened, so that the planarity of the release film can be maintained and uneven thickness of the ceramic green sheet can be suppressed. Moreover, since the curl of the obtained film also lessens that it is 0.2 micrometer or less, since a shaping | molding precision improves at the time of ceramic green sheet shaping | molding, it is preferable.

本発明の離型フィルムの離型層表面の表面自由エネルギーは、18mJ/m以上35mJ/m以下であることが好ましい。より好ましくは、20mJ/m以上30mJ/m以下であり、さらに好ましくは21mJ/m以上28mJ/m以下である。18mJ/m以上であるとセラミックスラリーを塗工したときにハジキが発生しづらく均一に塗工することができ好ましい。また35mJ/m以下であるとセラミックグリーンシートの離型性が低下するおそれがなく好ましい。上記範囲とすることで塗工時にハジキがなく、離型性に優れた離型フィルムを提供できる。 Surface free energy of the release layer surface of the release film of the present invention is preferably 18 mJ / m 2 or more 35 mJ / m 2 or less. More preferably, 20 mJ / m 2 or more 30 mJ / m 2 or less, further preferably 21 mJ / m 2 or more 28 mJ / m 2 or less. When it is 18 mJ / m 2 or more, repelling is difficult to occur when the ceramic slurry is applied, which is preferable. Moreover, it is preferable that it is 35 mJ / m 2 or less because there is no fear that the releasability of the ceramic green sheet is lowered. By setting it as the said range, there is no repellency at the time of coating, and the release film excellent in the release property can be provided.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、3mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、2.5mN/mm以下である。さらに好ましくは、1.0mN/mm以上、1.8mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎず搬送時にセラミックグリーンシートが浮き上がるおそれがなく好ましい。剥離力が3mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを
受けるおそれがなく好ましい。
The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN / mm 2 or more and 3 mN / mm 2 or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, it is 0.8 mN / mm 2 or more and 2.5 mN / mm 2 or less. More preferably, it is 1.0 mN / mm 2 or more and 1.8 mN / mm 2 or less. When the peeling force is 0.5 mN / mm 2 or more, the peeling force is not too light, and the ceramic green sheet is preferably not lifted during transportation. When the peeling force is 3 mN / mm 2 or less, the ceramic green sheet is preferably not damaged during peeling.

本発明の離型フィルムは、カールが少ないことが好ましい。具体的にはフィルムに張力をかけずに100℃で15分加熱したあとのカールが2mm以下であることが好ましく、より好ましくは1mm以下である。もちろん、全くカールしないことも好ましい。2mm以下にすることでセラミックグリーンシートを成型し電極を印刷するときにカールが少なく印刷精度を高めることができるため好ましい。   The release film of the present invention preferably has less curl. Specifically, the curl after heating at 100 ° C. for 15 minutes without applying tension to the film is preferably 2 mm or less, more preferably 1 mm or less. Of course, it is also preferable not to curl at all. It is preferable that the thickness is 2 mm or less because when the ceramic green sheet is molded and an electrode is printed, curling is less and printing accuracy can be improved.

本発明の離型フィルムの離型層面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が1.5nm以下であることが好ましく、さらに好ましくは1.2nm以下であり、1.0nm以下がなお好ましい。また、離型層表面の最大突起高さ(P)が50nm以下であることが好ましく、40nm以下がさらに好ましく、30nm以下がなお好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)が1.5nm以下、最大突起高さ(P)が50nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。   The release layer surface of the release film of the present invention is desirably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet applied and molded thereon, and the area surface average roughness (Sa) is 1.5 nm or less. Preferably, it is 1.2 nm or less, and more preferably 1.0 nm or less. Further, the maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer is preferably 50 nm or less, more preferably 40 nm or less, and still more preferably 30 nm or less. If the area surface average roughness (Sa) is 1.5 nm or less and the maximum protrusion height (P) is 50 nm or less, there is no occurrence of defects such as pinholes during the formation of the ceramic green sheet, and the yield is favorable. The smaller the surface average surface roughness (Sa), the better. However, it may be 0.1 nm or more, or 0.3 nm or more. It can be said that the smaller the maximum protrusion height (P) is, the better, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型フィルムは、高度に平坦化された基材フィルムを用いているため、離型層の厚みが0.2μm、さらには0.09μmより薄くしても離型層表面を平滑にすることができるため、使用する溶剤量や樹脂量を少なくすることができ環境にやさしく、安価に超薄層セラミックグリーンシート成型用の離型フィルムを作成することができる。   Since the release film of the present invention uses a highly flattened base film, the release layer surface is smooth even if the thickness of the release layer is 0.2 μm or even less than 0.09 μm. Therefore, the amount of solvent and resin used can be reduced, and a release film for molding an ultra-thin ceramic green sheet can be produced at low cost, which is environmentally friendly.

本発明の離型フィルムの離型層表面の最大突起高さ(P)が50nm以下かつ算術平均粗さ(Sa)が1.5nm以下にするためには、離型層の塗液を塗工し乾燥するまでにシリコーン系離型剤やバインダー成分の凝集を抑えることが好ましい。そのため、後述の製造方法にて述べるように塗工後から乾燥までの時間を一定の条件下で実施することで目標とする超高平滑な離型層表面を得ることができる。   In order to set the maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer of the release film of the present invention to 50 nm or less and the arithmetic average roughness (Sa) to 1.5 nm or less, a coating solution for the release layer is applied. It is preferable to suppress aggregation of the silicone-based release agent and binder component before drying. Therefore, the target ultra-smooth release layer surface can be obtained by performing the time from coating to drying under certain conditions as described in the production method described later.

(離型フィルムの製造方法)
本発明の離型フィルム製造方法は、少なくともバインダー成分とシリコーン系離型剤を溶媒に溶解もしくは分散させた塗液を基材のポリエステルフィルムの少なくとも一方の面に塗布等により積層する塗布工程と、塗布後、主に溶媒等を除去する初期乾燥工程と主にバインダー樹脂等を硬化させる加熱硬化工程を経て離型層が積層される方法を用いることが好ましい。ポリエステルフィルムの離型層を設ける側の表面は、実質的に粒子を含有していない表面層Aであることが好ましく、表面層Aと離型層の間には他のコート層が存在しても構わない。
(Manufacturing method of release film)
The release film manufacturing method of the present invention includes a coating step in which a coating solution in which at least a binder component and a silicone-based release agent are dissolved or dispersed in a solvent is laminated on at least one surface of a polyester film of a substrate by coating or the like; After the application, it is preferable to use a method in which the release layer is laminated through an initial drying step for mainly removing the solvent and a heat curing step for mainly curing the binder resin. The surface of the polyester film on the side where the release layer is provided is preferably a surface layer A that does not substantially contain particles, and there is another coat layer between the surface layer A and the release layer. It doesn't matter.

(塗布工程)
バインダー樹脂とシリコーン系離型剤を溶解もしくは分散させる溶媒としては特に限定されないが、有機溶剤を用いることが好ましい。有機溶剤を用いることで塗液の表面張力を低くすることができるため塗布後にハジキなどが発生しにくく、離型層表面の平滑性を高く保つことができるため好ましい。
(Coating process)
The solvent for dissolving or dispersing the binder resin and the silicone-based release agent is not particularly limited, but an organic solvent is preferably used. The use of an organic solvent is preferable because the surface tension of the coating liquid can be lowered, so that repelling and the like hardly occur after coating, and the smoothness of the release layer surface can be kept high.

本発明の離型フィルムの製造方法に用いる有機溶剤としては特に限定されず、既知のものを使用することができる。溶媒としては、通常、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、シクロヘキサン、n−ヘキサン、n−ヘプタン等の脂肪酸炭化水素、パークロロエチレン等のハロゲン化炭化水素、酢酸エチル、およびメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどが挙げられる。基材フィルム表面に塗布する場合の塗布性を考慮すると、限定するものではないが実用上好ましくはトルエンおよびメチルエチルケトンの混合溶媒である。   It does not specifically limit as an organic solvent used for the manufacturing method of the release film of this invention, A well-known thing can be used. As the solvent, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, fatty acid hydrocarbons such as cyclohexane, n-hexane and n-heptane, halogenated hydrocarbons such as perchloroethylene, ethyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl Examples include isobutyl ketone. In consideration of applicability when applied to the surface of the substrate film, a mixed solvent of toluene and methyl ethyl ketone is preferable although not limited.

本発明において、離型層形成のための塗布に用いる塗液には、特に限定されないが、2種類以上の沸点が異なる有機溶剤を含むことが好ましい。少なくとも1種類の有機溶剤は沸点が100℃以上であることが好ましい。沸点が100℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜がレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10〜50質量%程度添加することが好ましい。沸点100℃以上の溶剤の例としては、トルエン、キシレン、ヘオクタン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、酢酸n―プロピルなどが挙
げられる。
In the present invention, the coating liquid used for coating for forming the release layer is not particularly limited, but it is preferable to include two or more kinds of organic solvents having different boiling points. The at least one organic solvent preferably has a boiling point of 100 ° C. or higher. By adding a solvent having a boiling point of 100 ° C. or more, bumping at the time of drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. As the addition amount, it is preferable to add about 10-50 mass% with respect to the whole coating liquid. Examples of the solvent having a boiling point of 100 ° C. or higher include toluene, xylene, heoctane, cyclohexanone, methyl isobutyl ketone, and n-propyl acetate.

本発明において、離型層形成用の塗液を塗布するときの塗液の表面張力(20℃)は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。塗液の表面張力を下げるためには、塗液を形成する有機溶剤は表面張力が低いものを用いることが好ましい。少なくとも1種類の有機溶剤の表面張力(20℃)が26mN/m以下であることが好ましく、さらに好ましくは、23mN/m以下である。表面張力(20℃)が26mN/m以下の有機溶剤を含むことで塗布時にハジキなどの外観欠点を少なくすることができるため好ましい。その添加量としては、塗液全体に対し、20質量%以上添加することが好ましい。   In the present invention, the surface tension (20 ° C.) of the coating liquid when the coating liquid for forming the release layer is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By making the surface tension as described above, the paintability after coating can be improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced. In order to lower the surface tension of the coating liquid, it is preferable to use an organic solvent having a low surface tension as the organic solvent for forming the coating liquid. The surface tension (20 ° C.) of at least one organic solvent is preferably 26 mN / m or less, more preferably 23 mN / m or less. It is preferable to include an organic solvent having a surface tension (20 ° C.) of 26 mN / m or less because appearance defects such as repelling can be reduced during coating. As the addition amount, it is preferable to add 20 mass% or more with respect to the whole coating liquid.

塗液中に含まれる離型剤の固形分濃度は、0.1質量%以上10質量%以下が好ましく、より好ましくは、0.2質量%以上8質量%以下である。固形分濃度が0.1質量%以上とすることで塗布後の乾燥が速いため、離型剤の中の成分の凝集などが起こりにくく好ましい。一方、固形分濃度が10質量%以下であると、塗工液の粘度が低くレベリング性が良好であるため、塗工後の平面性を向上させることができ好ましい。塗工液の粘度は、1mPa・s以上100mPa・s以下が塗工外観の面で好ましく、2mPa・s以上10mPa・s以下がより好ましい。この範囲になるように固形分濃度、有機溶剤等を調整することが好ましい。   The solid content concentration of the release agent contained in the coating liquid is preferably 0.1% by mass or more and 10% by mass or less, and more preferably 0.2% by mass or more and 8% by mass or less. It is preferable that the solid content concentration is 0.1% by mass or more because drying after coating is quick, so that aggregation of components in the release agent hardly occurs. On the other hand, when the solid content concentration is 10% by mass or less, since the viscosity of the coating liquid is low and the leveling property is good, the planarity after coating can be improved, which is preferable. The viscosity of the coating solution is preferably 1 mPa · s or more and 100 mPa · s or less, more preferably 2 mPa · s or more and 10 mPa · s or less. It is preferable to adjust the solid content concentration, the organic solvent, etc. so as to be in this range.

本発明において、離型層形成用の塗液は塗布前に濾過することが好ましい。濾過方法については、特に限定されず既知の方法を使用することができるが、サーフェスタイプやデプスタイプ、吸着タイプのカートリッジフィルターを用いることが好ましい。カートリッジタイプのフィルターを使用することで塗液をタンクから塗工部に連続的に送液するときに使用することができるため、生産性がよく効率的に濾過できるため好ましい。フィルターの濾過精度としては、1μmの大きさのものを99%以上除去するものを用いることが好ましく、さらに好ましくは0.5μmの大きさのものを99%以上濾過できるものが好ましい。上記濾過精度のものを用いることで、離型剤に混入する異物を除去することができ、本発明のセラミックグリーンシート成型用離型フィルムの離型フィルムに付着する異物を大幅に減少することができる。そのため、本発明の離型フィルムを用いた成型したセラミックグリーンシートの欠点も少なくなりセラミックコンデンサの不良率も低減することができる。   In this invention, it is preferable to filter the coating liquid for mold release layer formation before application | coating. The filtration method is not particularly limited and a known method can be used, but it is preferable to use a surface type, depth type, or adsorption type cartridge filter. The use of a cartridge type filter is preferable because it can be used when the coating liquid is continuously fed from the tank to the coating section, so that the productivity can be efficiently filtered. As the filtration accuracy of the filter, it is preferable to use a filter that removes 99% or more of a 1 μm size, and more preferably a filter that can filter 99% or more of a 0.5 μm size. By using the above-mentioned filtration accuracy, foreign matter mixed in the release agent can be removed, and the foreign matter adhering to the release film of the ceramic green sheet molding release film of the present invention can be greatly reduced. it can. Therefore, the defects of the molded ceramic green sheet using the release film of the present invention are reduced, and the defect rate of the ceramic capacitor can be reduced.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。   As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, an air knife. Conventionally known methods such as a coating method can be used.

塗布時の塗液膜厚(Wet膜厚)は、1μm以上10μm以下であることが好ましい。1μmよりも厚いと塗工が安定するためハジキやスジといった欠点が出にくく好ましい。また10μm以下であれば、乾燥が速く離型層に含まれる成分が凝集しにくく好ましい。   The coating liquid film thickness (Wet film thickness) at the time of application is preferably 1 μm or more and 10 μm or less. If it is thicker than 1 μm, the coating is stable, and defects such as cissing and streaks are less likely to occur. Moreover, if it is 10 micrometers or less, drying is quick and it is preferable that the component contained in a mold release layer does not aggregate easily.

(乾燥工程)
塗布液を基材フィルム上に塗布し、乾燥する方法としては、公知の熱風乾燥、赤外線ヒーター等による加熱乾燥が挙げられるが、乾燥速度が早い熱風乾燥が好ましい。乾燥炉は、乾燥初期の恒率乾燥工程(以下、初期乾燥工程とよぶ)と減率乾燥および樹脂の硬化が進行する工程(以下、加熱硬化工程とよぶ)に分けることができる。初期乾燥工程と加熱硬化工程は、連続していても不連続でも構わないが、連続している方が生産性がよく好ましい。それぞれの工程は、乾燥炉のゾーンを分けることで区別することが好ましい。各工程のゾーン数は1つ以上あればいくつであっても構わない。
(Drying process)
Examples of the method of applying the coating liquid on the substrate film and drying it include known hot air drying and heat drying with an infrared heater, but hot air drying with a high drying speed is preferred. The drying furnace can be divided into a constant rate drying step in the initial stage of drying (hereinafter referred to as an initial drying step) and a step in which reduction rate drying and resin curing proceed (hereinafter referred to as a heat curing step). The initial drying step and the heat curing step may be continuous or discontinuous, but being continuous is preferable because of good productivity. It is preferable to distinguish each process by dividing | segmenting the zone of a drying furnace. The number of zones in each process is not limited as long as it is one or more.

本発明の離型フィルムの製造方法においては、塗布後1.5秒以内に乾燥炉に入れることが好ましく、より好ましくは1.0秒以内であり、0.8秒以内がさらに好ましい。塗布後1.5秒以内に乾燥炉に入れ乾燥を始めることで離型層に含まれる成分の凝集が起こる前に乾燥させることができるため、凝集による離型層表面の平滑性悪化を防ぐことができるため好ましい。塗布後、乾燥炉に入れるまでの時間は短いことが好ましく、下限は特に設けないが、0.05秒以上でも構わず、0.1秒以上でも構わない。   In the manufacturing method of the release film of this invention, it is preferable to put into a drying furnace within 1.5 second after application | coating, More preferably, it is within 1.0 second, and within 0.8 second is further more preferable. Prevents deterioration of the smoothness of the release layer surface due to aggregation because it can be dried before aggregation of the components contained in the release layer occurs by putting it in a drying oven within 1.5 seconds after coating. Is preferable. It is preferable that the time from application to the drying furnace is short, and there is no particular lower limit, but it may be 0.05 seconds or longer, or 0.1 seconds or longer.

初期乾燥工程は、特に限定されず既知の乾燥炉を用いることができる。乾燥炉の方式については、ロールサポート方式でもフローティング方式でもどちらでも構わないが、ロールサポート方式の方が乾燥時の風量を調整できる範囲が広いため、離型層の種類に合わせて風量などを調整できるため好ましい。   The initial drying step is not particularly limited, and a known drying furnace can be used. The drying furnace method can be either the roll support method or the floating method, but the roll support method has a wider range of adjustment of the airflow during drying, so the airflow etc. can be adjusted according to the type of release layer. This is preferable because it is possible.

初期乾燥工程の温度は、60℃以上、140℃以下であることが好ましく、70℃以上、130℃以下がさらに好ましく、80℃以上、120℃以下がさらに好ましい。60℃以上、140℃以下とすることで、熱による平面性不良なく、塗布後の離型層に含まれる有機溶剤量を効果的に乾燥することができるため好ましい。   The temperature in the initial drying step is preferably 60 ° C. or higher and 140 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 130 ° C. or lower, and further preferably 80 ° C. or higher and 120 ° C. or lower. It is preferable to set the temperature to 60 ° C. or higher and 140 ° C. or lower because the amount of organic solvent contained in the release layer after coating can be effectively dried without poor planarity due to heat.

初期乾燥工程を通過する時間としては、1.0秒以上、3.0秒以下であることが好ましく、1.0秒以上、2.5秒以下より好ましく、1.2秒以上、2.5秒以下がさらに好ましい。1.0秒以上であると塗布後の離型層中に含まれる有機溶剤を十分乾燥させることができるため好ましい。また3.0秒以下であると離型層中の成分の凝集が起こりにくく好ましい。上記時間で乾燥できるように塗液の固形分濃度や有機溶剤種等を調整することで、凝集しやすい塗液を用いても凝集による平滑性の悪化を抑制することができる。   The time for passing through the initial drying step is preferably 1.0 seconds or more and 3.0 seconds or less, more preferably 1.0 seconds or more and 2.5 seconds or less, 1.2 seconds or more, 2.5 seconds or less. More preferred is less than a second. It is preferable that the time is 1.0 second or longer because the organic solvent contained in the release layer after coating can be sufficiently dried. Moreover, it is preferable that it is 3.0 seconds or less that aggregation of components in the release layer hardly occurs. By adjusting the solid content concentration of the coating liquid, the organic solvent type, and the like so that it can be dried in the above-described time, even if a coating liquid that easily aggregates is used, deterioration of smoothness due to aggregation can be suppressed.

初期乾燥工程を通過後の離型層に含まれる有機溶剤量は5質量%以下であることが好ましく、より好ましくは2質量%以下である。有機溶剤量を5質量%以下にすることで、加熱工程で加熱されても突沸などによる外観悪化を防ぐことができるため好ましい。離型層中の有機溶剤量は、初期乾燥工程後のフィルムをサンプリングしガスクロマトグラフィーや熱重量分析などで測定することができるが、乾燥のシュミレーションを用いて推測する方法もとることができる。シュミレーションから求めた方が工程を止めることなく測定することができるため好ましい。シュミレーションについては特に限定されないが既知のシュミレーションソフトを使用することができる。   The amount of the organic solvent contained in the release layer after passing through the initial drying step is preferably 5% by mass or less, more preferably 2% by mass or less. It is preferable that the amount of the organic solvent is 5% by mass or less because deterioration in appearance due to bumping or the like can be prevented even when heated in the heating step. The amount of the organic solvent in the release layer can be measured by sampling the film after the initial drying step and measuring it by gas chromatography, thermogravimetric analysis, or the like, but can be estimated by using drying simulation. The direction obtained from the simulation is preferable because the measurement can be performed without stopping the process. The simulation is not particularly limited, but known simulation software can be used.

(加熱硬化工程)
本発明の離型フィルムは初期乾燥工程後、加熱硬化工程を経ることが好ましい。加熱硬化工程は、特に限定されず既知の乾燥炉を用いることができる。乾燥炉の方式については、ロールサポート方式でもフローティング方式でもどちらでも構わない。加熱硬化工程は、初期乾燥工程と連続した工程であっても、不連続な工程であっても構わないが、生産性の観点から連続した工程であることが好ましい。
(Heat curing process)
The release film of the present invention preferably undergoes a heat curing step after the initial drying step. The heat curing step is not particularly limited, and a known drying furnace can be used. The drying furnace method may be either a roll support method or a floating method. The heat curing step may be a step continuous with the initial drying step or a discontinuous step, but is preferably a continuous step from the viewpoint of productivity.

加熱硬化工程の温度は、80℃以上、180℃以下であることが好ましく、90℃以上、160℃以下であることがより好ましく、90℃以上、140℃以下であることがもっとも好ましい。180℃以下の場合、フィルムの平面性が保たれ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが小さく好ましい。140℃以下であるとフィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こす恐れが更に低下するので特に好ましい。80℃以上であると熱硬化系の樹脂の場合は硬化が十分進行するため好ましい。   The temperature in the heat curing step is preferably 80 ° C. or higher and 180 ° C. or lower, more preferably 90 ° C. or higher and 160 ° C. or lower, and most preferably 90 ° C. or higher and 140 ° C. or lower. When the temperature is 180 ° C. or lower, the flatness of the film is maintained, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is small. When the temperature is 140 ° C. or lower, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable. When the temperature is 80 ° C. or higher, a thermosetting resin is preferable because curing proceeds sufficiently.

加熱硬化工程を通過する時間は、2秒以上30秒以下が好ましく、2秒以上20秒以下がさらに好ましい。通過時間が2秒以上であると熱硬化系の樹脂の硬化が進行し好ましい。また30秒以下であると熱によるフィルムの平面性が低下せず好ましい。   The time for passing through the heat curing step is preferably 2 seconds to 30 seconds, more preferably 2 seconds to 20 seconds. When the passage time is 2 seconds or more, the curing of the thermosetting resin proceeds, which is preferable. Moreover, it is preferable that it is 30 seconds or less because the flatness of the film by heat does not deteriorate.

加熱硬化工程の最終では、熱風温度を基材フィルムのガラス転移温度以下にし、フラットの状態で基材フィルムの実温をガラス転移温度以下にすることが好ましい。基材フィルムの実温がガラス転移温度以上のまま乾燥炉を出た場合には、ロール表面に接触した際に滑りが不良となり、キズ等が発生するだけでなく、カール等が発生する場合がある。   At the end of the heat curing step, it is preferable to set the hot air temperature to be equal to or lower than the glass transition temperature of the base film and to set the actual temperature of the base film to be equal to or lower than the glass transition temperature in a flat state. If the actual temperature of the base film exits the drying furnace with the glass transition temperature or higher, slippage will be poor when it comes into contact with the roll surface, causing not only scratches but also curls and the like. is there.

本発明の離型フィルムは、加熱硬化工程通過後、ロール状に巻き取ることが好ましい。加熱硬化工程通過後、ロール状に巻き取るまでの時間は2秒以上とることが好ましく、3秒以上がさらに好ましい。2秒以上であると加熱硬化工程で温度が上昇した離型フィルムが冷却されてロールに巻き取られるため平面性が損なわれるおそれがなく好ましい。   The release film of the present invention is preferably wound into a roll after passing through the heat curing step. After passing through the heat curing step, the time until winding up into a roll is preferably 2 seconds or longer, more preferably 3 seconds or longer. If it is 2 seconds or more, the release film whose temperature has been raised in the heat curing step is cooled and wound on a roll, which is preferable because the flatness is not impaired.

本発明の離型フィルムおよびその製造方法においては、加熱硬化工程後ロール状に巻き取るまでの間に、各種処理をしてもよく、除電処理、コロナ処理、プラズマ処理、紫外線照射処理、電子線照射処理などを行うことができる。   In the release film of the present invention and the method for producing the release film, various treatments may be performed after the heat-curing step and before winding up into a roll shape, such as static elimination treatment, corona treatment, plasma treatment, ultraviolet irradiation treatment, electron beam. Irradiation treatment or the like can be performed.

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
In general, a multilayer ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic body. In the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first internal electrode is exposed at the first end face of the ceramic body. A first external electrode is provided on the first end face. The first internal electrode is electrically connected to the first external electrode at the first end face. The second internal electrode is exposed at the second end face of the ceramic body. A second external electrode is provided on the second end face. The second internal electrode is electrically connected to the second external electrode at the second end face.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。   The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention is used for producing such a multilayer ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, the release film of the present invention is used as a carrier film, and a ceramic slurry for constituting a ceramic body is applied and dried. A conductive layer for forming the first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. A ceramic green sheet, a ceramic green sheet printed with a conductive layer for constituting the first internal electrode, and a ceramic green sheet printed with a conductive layer for constituting the second internal electrode are appropriately laminated and pressed. Thus, a mother laminate is obtained. The mother laminated body is divided into a plurality of parts to produce a raw ceramic body. A ceramic body is obtained by firing a raw ceramic body. Thereafter, the multilayer ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.

以下に、実施例を用いて本発明のさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following methods.

(表面粗さ)
非接触表面形状計測システム(菱化システム社製、VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Surface roughness)
It is the value measured on condition of the following using a non-contact surface shape measurement system (Ryoka System make, VertScan R550H-M100). The average value of the area surface roughness (Sa) was an average value of 5 measurements, and the maximum protrusion height (P) was measured 7 times and the maximum value of 5 times excluding the maximum value and the minimum value was used.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 10 times ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area: 936 μm × 702 μm
(Analysis conditions)
・ Surface correction: 4th order correction ・ Interpolation processing: Complete interpolation

(離型層厚み)
切り出した離型フィルムを樹脂包埋し、ウルトラミクロトームを用いて超薄切片化した。その後、日本電子製JEM2100透過電子顕微鏡を用いて、直接倍率20,000倍で観察を行い
、観察したTEM画像から離型層の膜厚を測定した。
(Release layer thickness)
The cut release film was embedded in a resin and was cut into ultrathin sections using an ultramicrotome. Thereafter, observation was performed directly at a magnification of 20,000 times using a JEM2100 transmission electron microscope manufactured by JEOL, and the film thickness of the release layer was measured from the observed TEM image.

(表面自由エネルギー)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学株式会社製: 全自動接触角計 DM−701)を用いて離型フィルムの離型面に水(液滴量1.8μL)、ジヨードメタン(液適量0.9μL)、エチレングリコール(液適量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は、各液を離型フィルムに滴下後10秒後の接触角を採用した。前記方法で得られた、水、ジヨードメタン、エチレングリコールの接触角データを「北崎−畑」理論より計算し離型フィルムの表面自由エネルギーの分散成分γsd、極性成分γsp、水素結合成分γshを求め、各成分を合計したものを表面自由エネルギーγsとした。本計算には、本接触角計ソフトウェア(FAMAS)内の計算ソフトを用いて行った。
(Surface free energy)
Using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd .: fully automatic contact angle meter DM-701) under conditions of 25 ° C. and 50% RH, water (droplet amount 1.8 μL) is used on the release surface of the release film. Then, droplets of diiodomethane (appropriate amount of liquid 0.9 μL) and ethylene glycol (appropriate amount of liquid 0.9 μL) were prepared and their contact angles were measured. As the contact angle, the contact angle 10 seconds after each solution was dropped onto the release film was employed. The contact angle data of water, diiodomethane, and ethylene glycol obtained by the above method was calculated from the “Kitazaki-Hataba” theory to determine the surface free energy dispersion component γsd, polar component γsp, and hydrogen bond component γsh of the release film, The total of each component was defined as the surface free energy γs. This calculation was performed using calculation software in the contact angle meter software (FAMAS).

(塗液の表面張力)
塗液の表面張力は、表面張力計(協和界面科学株式会社製:高機能表面張力計 DY−500)を用いて、20℃条件下、白金プレートを用いてWilhelmy法で測定を行った。3回測定し平均値を採用した。
(Surface tension of coating liquid)
The surface tension of the coating liquid was measured by the Wilhelmy method using a platinum plate under a condition of 20 ° C. using a surface tension meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd .: high-functional surface tension meter DY-500). Three measurements were taken and the average value was adopted.

(塗液の粘度)
塗液の粘度は、回転式粘度計(東機産業株式会社製:TVB−15M)を使用し20℃条件下で測定を行った。10mPa・s以下の低粘度液を測定する場合はオプションの低粘度アダプターを使用して測定を行った。3回測定を行い平均値を採用した。
(Viscosity of coating liquid)
The viscosity of the coating solution was measured under a 20 ° C. condition using a rotary viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd .: TVB-15M). When measuring a low viscosity liquid of 10 mPa · s or less, the measurement was performed using an optional low viscosity adapter. Three measurements were taken and the average value was adopted.

(セラミックスラリーの塗工性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのガラスビーズを分散媒とするビーズミルを用いて30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール 3.5質量部
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが1μmになるように塗工し90℃で1分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:ハジキが多く、塗工できていない。
(Coating property evaluation of ceramic slurry)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 30 minutes using a bead mill using glass beads having a diameter of 0.5 mm as a dispersion medium to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral 3.5 parts by mass (Esreck (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.)
DOP (dioctyl phthalate) 1.8 parts by mass Next, the obtained release film sample was coated on the release surface using an applicator so that the dried slurry would be 1 μm, dried at 90 ° C. for 1 minute, and then The coating property was evaluated according to the criteria. ○: There is no repelling and the entire surface can be applied.
Δ: Slight repellency at the coating end, but almost all surfaces are coated.
X: There are many repellents and it cannot coat.

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
前記セラミックスラリーの塗工性評価と同様にして離型フィルムの離型面に厚さ1μmのセラミックグリーンシートを成型した。
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが1μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。
○:ピンホールの発生なし
△:ピンホールの発生がほぼなし
×:ピンホールの発生が多数あり
(Ceramic green sheet pinhole evaluation)
A ceramic green sheet having a thickness of 1 μm was molded on the release surface of the release film in the same manner as in the evaluation of the coating property of the ceramic slurry.
Next, using an applicator, the slurry after drying was applied to the release surface of the obtained release film sample to a thickness of 1 μm, dried at 90 ° C. for 1 minute, the release film was peeled off, and the ceramic green sheet was removed. Obtained.
In the central region in the film width direction of the obtained ceramic green sheet, light was applied from the opposite side of the ceramic slurry coating surface within a range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes through which light was transmitted was observed. Visual judgment was made.
○: No occurrence of pinholes △: Almost no occurrence of pinholes ×: Many occurrences of pinholes

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのガラスビーズを分散媒とするビーズミルを用いて60分間分散し、セラミックスラリーを得た。トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール 6.5質量部
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが10μmの厚みになるように塗布し90℃で1分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に30mmの幅で剥離角度90度、剥離速度10m/minで剥離した。剥離時にかかる応力を測定し剥離力とした。
(Evaluation of peelability of ceramic green sheets)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 60 minutes using a bead mill using glass beads having a diameter of 0.5 mm as a dispersion medium to obtain a ceramic slurry. Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral 6.5 parts by mass (Sekisui Chemical Co., Ltd. ESREC (registered trademark) BM-S)
DOP (dioctyl phthalate) 3.3 parts by mass Next, the obtained release film sample was applied to the release surface using an applicator so that the dried slurry had a thickness of 10 μm, and dried at 90 ° C. for 1 minute to produce ceramic. A green sheet was molded on the release film. The obtained release film with ceramic green sheet was neutralized using a static eliminator (SJ-F020, manufactured by Keyence Corporation), and then peeled at a width of 30 mm at a peeling angle of 90 degrees and a peeling speed of 10 m / min. The stress applied at the time of peeling was measured and taken as the peeling force.

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで100℃15分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いて、ガラス板から浮いている部分の高さを測定した。このときガラス板から一番大きく浮いている部分の高さを測定値とした。以下の基準でカール性の評価を行った。
○:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない。
△:カールが1mmよりも大きく、2mm以下であり、少しカールが見られた。
×:カールが2mmよりも大きくカールしていた。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and heat-treated at 100 ° C. for 15 minutes in a hot air oven so that no tension was applied to the release film. Then, after taking out from the oven and cooling to room temperature, the release film sample was placed on the glass plate so that the release surface was up, and the height of the part floating from the glass plate was measured. At this time, the height of the most floating part from the glass plate was taken as the measured value. Curl properties were evaluated according to the following criteria.
○: Curling is 1 mm or less, and it is hardly curled.
(Triangle | delta): The curl is larger than 1 mm and is 2 mm or less, and a little curl was seen.
X: The curl was curled larger than 2 mm.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus comprising a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material charging port and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles per mole of TPA, antimony trioxide is made into an amount that makes Sb atoms 160 ppm with respect to the produced PET, and these slurries are esterified. Was continuously supplied to the first esterification reactor of the chemical reaction apparatus, and allowed to react at 255 ° C. at an average residence time of 4 hours at normal pressure. Next, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and is distilled off from the first esterification reaction can in the second esterification reaction can. EG solution containing 8 mass% of EG with respect to the generated PET, and further containing EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms relative to the generated PET, and 40 ppm of P atoms relative to the generated PET An EG solution containing a quantity of TMPA (trimethyl phosphate) was added and reacted at 260 ° C. at normal pressure for an average residence time of 1 hour. Next, the reaction product of the second esterification reaction can was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) using a high pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). An average particle of 0.2 mass% of porous colloidal silica having an average particle diameter of 0.9 μm and an ammonium salt of polyacrylic acid adhered to 1 mass% of calcium carbonate, which was dispersed at an average number of treatments of 5 passes under the pressure of While adding 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm as an EG slurry of 10%, the reaction was carried out at 260 ° C. at an average residence time of 0.5 hours at normal pressure. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction can was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to perform polycondensation, and sintered with a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 20 μm. After filtering with a filter, ultrafiltration was performed and extruded into water, and after cooling, it was cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter referred to as PET (I)). . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the production of the above PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (II)).

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(III))の調製)
PET(I)の粒子の種類、含有量をポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.9μmの合成炭酸カルシウム0.75質量%に変更した以外は、PET(I)と同様にしてPETチップを得た(以後、PET(III
)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.75質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (III)))
Except for changing the type and content of PET (I) particles to 0.75% by mass of synthetic calcium carbonate having an average particle size of 0.9 μm with 1% by mass of ammonium salt of polyacrylic acid per calcium carbonate, A PET chip was obtained in the same manner as PET (I) (hereinafter referred to as PET (III
)). The lubricant content in the PET chip was 0.75% by mass.

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型
面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/PET(II
)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは28nmであった。
(Manufacture of laminated film X1)
These PET chips were dried, melted at 285 ° C., melted at 290 ° C. with a separate melt extruder extruder, sintered with stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm, and a 95% cut diameter Two-stage filtration of a 15 μm stainless steel particle-sintered filter is performed and merged in the feed block, PET (I) is surface layer B (reverse mold release side layer), and PET (II) is surface Laminated so as to be layer A (release surface side layer), extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m / min, electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by electrostatic adhesion method, An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio is calculated by calculating the discharge amount of each extruder PET (I) / PET (II
) = 60% / 40%. Next, this unstretched sheet was heated with an infrared heater, and then stretched 3.5 times in the longitudinal direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Thereafter, the film was guided to a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140 ° C. Subsequently, it heat-processed at 210 degreeC in the heat setting zone. Thereafter, a relaxation treatment of 2.3% was performed at 170 ° C. in the transverse direction to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. Sa of surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and Sa of surface layer B was 28 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、25μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Manufacture of laminated film X2)
The layer configuration and stretching conditions similar to those of the laminated film X1 were not changed, but the thickness was adjusted by changing the speed during casting to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 having a thickness of 25 μm. Sa of surface layer A of the obtained film X2 was 3 nm, and Sa of surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3)
積層フィルムX3としては、厚み25μmのA4100(コスモシャイン(登録商標)、東洋紡社製)を使用した。A4100は、フィルム中に粒子を実質的に含有せず、表面層B側にインラインコートで粒子を含んだコート層を設けた構成をしている。積層フィルムX3の表面層AのSaは1nm、表面層BのSaは2nmであった。
(Laminated film X3)
As the laminated film X3, A4100 (Cosmo Shine (registered trademark), manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. A4100 has a structure in which particles are not substantially contained in the film and a coating layer containing particles is provided on the surface layer B side by in-line coating. Sa of surface layer A of laminated film X3 was 1 nm, and Sa of surface layer B was 2 nm.

(積層フィルムX4)
積層フィルムX4としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルムの表面層A及びB中に粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX4の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
(Laminated film X4)
As the laminated film X4, E5101 (Toyobo Ester (registered trademark) film, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. E5101 has a structure in which particles are contained in the surface layers A and B of the film. Sa of the surface layer A of the laminated film X4 was 24 nm, and Sa of the surface layer B was 24 nm.

(積層フィルムX5の製造)
PET(III)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)
となるように積層し、層比率を各押出機の吐出量計算でPET(III)/(II)=80%
/20%にした以外は積層フィルムX1と同様の方法で厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX5を得た。得られたフィルムX5の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは30nmであった。
(Manufacture of laminated film X5)
PET (III) is surface layer B (reverse release surface side layer), PET (II) is surface layer A (release surface side layer)
The layer ratio is calculated by calculating the discharge amount of each extruder. PET (III) / (II) = 80%
A biaxially stretched polyethylene terephthalate film X5 having a thickness of 31 μm was obtained in the same manner as the laminated film X1 except that the thickness was changed to / 20%. Sa of surface layer A of the obtained film X5 was 2 nm, and Sa of surface layer B was 30 nm.

(樹脂溶液A)長鎖アルキル基含有アクリルポリオール
ステアリル(メタ)アクリレート20モル%とヒドロキシエチル(メタ)アクリレート40モル%、メチル(メタ)アクリレート40モル%の比になるように混合し、固形分濃度が40質量%になるようにトルエンで希釈し、窒素気流下でアゾビスイソブチロニトリルを0.5モル%添加し共重合させ、樹脂溶液Aを得た。このとき得られたポリマーの重量平均分子量は30000であった。
(Resin Solution A) Long-chain alkyl group-containing acrylic polyol 20% by mole of stearyl (meth) acrylate, 40% by mole of hydroxyethyl (meth) acrylate, 40% by mole of methyl (meth) acrylate and mixed to obtain a solid content It diluted with toluene so that a density | concentration might be 40 mass%, 0.5 mol% of azobisisobutyronitrile was added and copolymerized under nitrogen stream, and the resin solution A was obtained. The weight average molecular weight of the polymer obtained at this time was 30000.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗液1を、0.5μm以上の異物を99%以上除去できるフィルターを通した後に、リバースグラビアを用いて塗布膜厚(wet膜厚)が5μmになるように塗工後、0.5秒で初期乾燥炉に入るように調整した。初期乾燥炉にて100℃で2秒乾燥後、連続して加熱硬化工程に入れ130℃で7秒加熱した。加熱硬化工程後、8秒後にロール状に巻き取り超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの膜厚、表面粗さ、表面自由エネルギー、カールを測定した結果を表3に記載した。また得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し塗工性、剥離性、ピンホールを評価したところ、良好な評価結果が得られた。
(塗液1) 固形分1.0質量%、表面張力:27mN/m、粘度5mPa・s
メチルエチルケトン 57.93質量部
トルエン 40.00質量部
樹脂溶液A 1.75質量部
(長鎖アルキル基含有アクリルポリオール、固形分40%)
架橋剤 0.25質量部
(ヘキサメトキシメチロールメラミン、固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、TSF4446、固形分100%、モメンティブ製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
Example 1
After coating the coating liquid 1 having the following composition on the surface layer A of the laminated film X1 through a filter capable of removing 99% or more of foreign matters of 0.5 μm or more, the coating film thickness (wet film thickness) is 5 μm using a reverse gravure. After coating, it was adjusted to enter the initial drying furnace in 0.5 seconds. After drying at 100 ° C. for 2 seconds in an initial drying furnace, it was continuously put into a heat curing step and heated at 130 ° C. for 7 seconds. After the heat curing step, a release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in 8 seconds after winding. Table 3 shows the results of measuring the film thickness, surface roughness, surface free energy, and curl of the obtained release film. Moreover, when a ceramic slurry was applied to the obtained release film and coating properties, peelability and pinholes were evaluated, good evaluation results were obtained.
(Coating liquid 1) Solid content: 1.0% by mass, surface tension: 27 mN / m, viscosity: 5 mPa · s
Methyl ethyl ketone 57.93 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Resin solution A 1.75 parts by mass (long-chain alkyl group-containing acrylic polyol, solid content 40%)
0.25 parts by mass of cross-linking agent (hexamethoxymethylol melamine, solid content 100%)
0.05 part by mass of silicone release agent (polyether-modified polydimethylsiloxane, TSF4446, solid content 100%, manufactured by Momentive)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例2〜4、比較例1)
塗液1の組成を表1に記載の比率になるように変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。得られた離型フィルムを評価したところ、シリコーン系離型剤が入っている実施例については剥離力もよく良好な結果が得られたが、シリコーン系離型剤を含まない比較例1では剥離力が高くなり離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにピンホールなどの欠点が生じやすくなる結果となった。
(Examples 2 to 4, Comparative Example 1)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the composition of the coating liquid 1 was changed to the ratio shown in Table 1. When the obtained release film was evaluated, the release force was good and good results were obtained for the examples containing the silicone release agent, but in Comparative Example 1 containing no silicone release agent, the release force was obtained. When the ceramic green sheet was peeled from the release film, defects such as pinholes were likely to occur.

(実施例5〜7、比較例2)
塗液1の樹脂比率はそのままに固形分を表1記載に変更し離型層の膜厚を変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
得られた離型フィルムを評価したところ、離型層の厚みが0.2μm以下の実施例についてはカールもなく良好な結果であったが、離型層の厚みが0.5μmの比較例2についてはカールが大きく悪化する結果であった。
(Examples 5-7, Comparative Example 2)
A release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the resin ratio of the coating liquid 1 was maintained and the solid content was changed to that shown in Table 1 to change the thickness of the release layer. .
When the obtained release film was evaluated, the examples in which the thickness of the release layer was 0.2 μm or less were good results without curling, but Comparative Example 2 in which the thickness of the release layer was 0.5 μm. The result was that the curl deteriorated greatly.

(実施例8)
塗液1を塗液8に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液8)
メチルエチルケトン 57.35質量部
トルエン 40.00質量部
サイマック(登録商標)US270 2.33質量部
(シリコーン基含有アクリルポリオール、東亞合成社製、固形分30%)
架橋剤 0.25質量部
(ヘキサメトキシメチロールメラミン、固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、TSF4446、固形分100%、モメンティブ製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
(Example 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 8.
(Coating fluid 8)
Methyl ethyl ketone 57.35 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Cymac (registered trademark) US270 2.33 parts by mass (silicone group-containing acrylic polyol, manufactured by Toagosei Co., Ltd., solid content 30%)
0.25 parts by mass of cross-linking agent (hexamethoxymethylol melamine, solid content 100%)
0.05 part by mass of silicone release agent (polyether-modified polydimethylsiloxane, TSF4446, solid content 100%, manufactured by Momentive)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例9)
塗液1を塗液9に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液9)
メチルエチルケトン 58.03質量部
トルエン 40.00質量部
テスファイン305 1.90質量部
(長鎖アルキル基含有アミノアルキッド樹脂、日立化成社製、固形分50%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、TSF4446、固形分100%、モメンティブ製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
Example 9
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 9.
(Coating fluid 9)
Methyl ethyl ketone 58.03 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Tesfine 305 1.90 parts by mass (Long-chain alkyl group-containing aminoalkyd resin, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., solid content 50%)
0.05 part by mass of silicone release agent (polyether-modified polydimethylsiloxane, TSF4446, solid content 100%, manufactured by Momentive)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例10)
塗液1を塗液10に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液10)
メチルエチルケトン 57.55質量部
トルエン 40.00質量部
テスファイン322 2.38質量部
(長鎖アルキル基含有アミノアクリル樹脂、日立化成社製、固形分40%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、TSF4446、固形分100%、モメンティブ製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
(Example 10)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 10.
(Coating solution 10)
Methyl ethyl ketone 57.55 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Tesfine 322 2.38 parts by mass (Long-chain alkyl group-containing aminoacrylic resin, Hitachi Chemical Co., Ltd., solid content 40%)
0.05 part by mass of silicone release agent (polyether-modified polydimethylsiloxane, TSF4446, solid content 100%, manufactured by Momentive)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例11)
塗液1の樹脂溶液Aを塗液10の6AN−5000(長鎖アルキル基を含有しないアクリル樹脂)に変更した塗液11を用いる以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液11)
メチルエチルケトン 57.93質量部
トルエン 40.00質量部
6AN−5000 1.75質量部
(アクリルポリオール、大成ファインケミカル社製、固形分40%)
架橋剤 0.25質量部
(ヘキサメトキシメチロールメラミン、固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、TSF4446、固形分100%、モメンティブ製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
(Example 11)
An ultrathin layer ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the coating solution 11 in which the resin solution A of the coating solution 1 is changed to 6AN-5000 (an acrylic resin not containing a long chain alkyl group) of the coating solution 10 is used. A release film for production was prepared.
(Coating solution 11)
Methyl ethyl ketone 57.93 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass 6AN-5000 1.75 parts by mass (acrylic polyol, manufactured by Taisei Fine Chemical Co., Ltd., solid content 40%)
0.25 parts by mass of cross-linking agent (hexamethoxymethylol melamine, solid content 100%)
0.05 part by mass of silicone release agent (polyether-modified polydimethylsiloxane, TSF4446, solid content 100%, manufactured by Momentive)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例12)
塗液1を塗液12に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液12)
メチルエチルケトン 58.95質量部
トルエン 40.00質量部
ヘキサメトキシメチロールメラミン 0.95質量部
(固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、TSF4446、固形分100%、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.05質量部
(Example 12)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 12.
(Coating fluid 12)
Methyl ethyl ketone 58.95 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Hexamethoxymethylolmelamine 0.95 parts by mass (100% solids)
0.05 part by mass of silicone release agent (polyether-modified polydimethylsiloxane, TSF4446, solid content 100%, manufactured by Momentive Performance Materials)
0.05 parts by mass of acid catalyst (paratoluenesulfonic acid)

実施例8〜12のようにバインダー成分を変更しても良好な結果が得られた。バインダー成分に長鎖アルキル基もしくはシリコーン骨格を含む樹脂の方が同条件で加工しても表面突起がより低くなる傾向が見られた。   Even if the binder component was changed as in Examples 8 to 12, good results were obtained. Even when a resin containing a long-chain alkyl group or a silicone skeleton in the binder component was processed under the same conditions, the surface protrusions tended to be lower.

(実施例13)
塗液1を塗液13に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液13)
メチルエチルケトン 57.78質量部
トルエン 40.00質量部
樹脂溶液A 1.75質量部
(長鎖アルキル基含有アクリルポリオール、固形分40%)
架橋剤 0.25質量部
(ヘキサメトキシメチロールメラミン、固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.20質量部
(ポリエステル変性ポリジメチルシロキサン、BYK‐310、固形分25%、ビックケミー・ジャパン社製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
(Example 13)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 13.
(Coating fluid 13)
Methyl ethyl ketone 57.78 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Resin solution A 1.75 parts by mass (long-chain alkyl group-containing acrylic polyol, solid content 40%)
0.25 parts by mass of cross-linking agent (hexamethoxymethylol melamine, solid content 100%)
0.20 parts by mass of silicone release agent (polyester-modified polydimethylsiloxane, BYK-310, solid content 25%, manufactured by Big Chemie Japan)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例14)
塗液1を塗液14に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液14)
メチルエチルケトン 57.93質量部
トルエン 40.00質量部
樹脂溶液A 1.75質量部
(長鎖アルキル基含有アクリルポリオール、固形分40%)
架橋剤 0.25質量部
(ヘキサメトキシメチロールメラミン、固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.05質量部
(カルボキシル変性ポリジメチルシロキサン、X22−3710、固形分100%、信越化学社製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
(Example 14)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 14.
(Coating solution 14)
Methyl ethyl ketone 57.93 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Resin solution A 1.75 parts by mass (long-chain alkyl group-containing acrylic polyol, solid content 40%)
0.25 parts by mass of cross-linking agent (hexamethoxymethylol melamine, solid content 100%)
0.05 part by mass of silicone release agent (carboxyl-modified polydimethylsiloxane, X22-3710, solid content 100%, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

(実施例15)
塗液1を塗液15に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(塗液15)
メチルエチルケトン 57.78質量部
トルエン 40.00質量部
樹脂溶液A 1.75質量部
(長鎖アルキル基含有アクリルポリオール、固形分40%)
架橋剤 0.25質量部
(ヘキサメトキシメチロールメラミン、固形分100%)
シリコーン系離型剤 0.20質量部
(ポリエステル変性水酸基含有ポリジメチルシロキサン、BYK‐370、固形分25%、ビックケミー・ジャパン社製)
酸触媒(パラトルエンスルホン酸) 0.02質量部
(Example 15)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 1 was changed to the coating liquid 15.
(Coating fluid 15)
Methyl ethyl ketone 57.78 parts by mass Toluene 40.00 parts by mass Resin solution A 1.75 parts by mass (long-chain alkyl group-containing acrylic polyol, solid content 40%)
0.25 parts by mass of cross-linking agent (hexamethoxymethylol melamine, solid content 100%)
0.20 parts by mass of a silicone release agent (polyester-modified hydroxyl group-containing polydimethylsiloxane, BYK-370, solid content 25%, manufactured by Big Chemie Japan)
Acid catalyst (para-toluenesulfonic acid) 0.02 parts by mass

シリコーン系離型剤の種類を変更した実施例13〜15では、どれもよい評価結果を得られたが、架橋剤(本実施例ではメラミン)と反応する水酸基を含有していないものの方が同条件では剥離性がよくなる傾向が見られた。   In Examples 13 to 15 in which the type of the silicone release agent was changed, good evaluation results were obtained, but the ones that did not contain a hydroxyl group that reacts with the crosslinking agent (melamine in this example) were the same. There was a tendency for the peelability to improve under the conditions.

(実施例16〜18、比較例3)
実施例1の基材フィルムを表1記載の基材フィルムに変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
得られた離型フィルムを評価したところ、基材フィルムの表面層Aに粒子を含有しないX1、X2、X3、X5を使用した実施例1〜15及び16〜18では、離型層表面のSa,Pが低くピンホール評価が良好であったのに対し、基材フィルムの表面層Aに粒子を含有するX4を用いた比較例3では、離型層表面のSa,Pともに高く、ピンホール評価が悪化する結果であった。
(Examples 16 to 18, Comparative Example 3)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the base film in Example 1 was changed to the base film shown in Table 1.
When the obtained release film was evaluated, in Examples 1 to 15 and 16 to 18 using X1, X2, X3, and X5 not containing particles in the surface layer A of the base film, Sa on the release layer surface was used. , P was low and the pinhole evaluation was good, whereas in Comparative Example 3 using X4 containing particles in the surface layer A of the base film, both Sa and P on the surface of the release layer were high, and the pinhole The result was that the evaluation deteriorated.

(実施例19〜22、比較例4、5)
実施例1の製造条件について、塗布後〜初期乾燥炉に入るまでの時間、または初期乾燥炉の温度、通過時間を表2に記載の条件に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(Examples 19 to 22, Comparative Examples 4 and 5)
Regarding the production conditions of Example 1, ultrathinness was performed in the same manner as in Example 1 except that the time after application to the time of entering the initial drying furnace, or the temperature and passage time of the initial drying furnace were changed to the conditions shown in Table 2. A release film for producing a multilayer ceramic green sheet was prepared.

(比較例6)
実施例11の製造条件を表2に記載の条件に変更した以外は、実施例11と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを作成した。
(Comparative Example 6)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was produced in the same manner as in Example 11 except that the production conditions of Example 11 were changed to the conditions shown in Table 2.

得られたフィルムを評価したところ、塗布後、初期乾燥炉に入るまでの時間を1.5秒以下にし初期乾燥炉の通過時間を1.0秒以上3.0秒以下した実施例では離型層表面の表面粗さSaや最大突起高さPは低くピンホール評価が良好であったのに対し、前記条件外にした比較例では、離型層の凝集が見られ離型層の表面粗さSaや最大突起高さPが高くなる結果であった。   When the obtained film was evaluated, the time taken to enter the initial drying furnace after coating was 1.5 seconds or less, and in the examples where the passage time of the initial drying furnace was 1.0 second or more and 3.0 seconds or less, the mold release was performed. The surface roughness Sa of the layer surface and the maximum protrusion height P were low, and the pinhole evaluation was good, whereas in the comparative example excluded from the above conditions, the release layer was agglomerated and the surface roughness of the release layer was This is a result of increasing Sa and maximum protrusion height P.

本発明によれば、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムの離型層として、少なくともバインダー成分とシリコーン系離型剤を含むものとすることにより、上記成分の乾燥時の凝集による表面粗さの悪化を抑制し高い平滑性を有し、かつ剥離性に優れた離型フィルムおよび当該離型フィルムの効率的な製造方法を提供することが可能となった。   According to the present invention, the release layer of the release film for producing ceramic green sheets includes at least a binder component and a silicone release agent, thereby suppressing deterioration of surface roughness due to aggregation of the above components during drying. However, it has become possible to provide a release film having high smoothness and excellent releasability, and an efficient method for producing the release film.

Claims (5)

ポリエステルフィルムを基材とし、前記基材が少なくとも片面に粒子を実質的に含有していない表面層Aを有し、少なくとも片面の表面層Aの表面上に直接又は他の層を介して離型層が積層されている離型フィルムであって、張力をかけずに100℃で15分加熱したあとのカールが2mm以下であり、離型層にバインダー成分とシリコーン系離型剤を含有し、離型層表面の最大突起高さ(P)が50nm以下であることを特徴とするセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   A polyester film is used as a base material, and the base material has a surface layer A substantially free of particles on at least one side, and is released directly on the surface of the surface layer A on at least one side or via another layer. A release film in which layers are laminated, and the curl after heating at 100 ° C. for 15 minutes without applying tension is 2 mm or less, and the release layer contains a binder component and a silicone release agent, A release film for producing a ceramic green sheet, wherein the maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer is 50 nm or less. 離型層に含まれるバインダー成分が長鎖アルキル基および/またはシリコーン骨格を有する樹脂を含むことを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the binder component contained in the release layer contains a resin having a long-chain alkyl group and / or a silicone skeleton. 前記シリコーン系離型剤がポリエーテル部位を有しており、離型層に0.1〜20質量%含有していることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release agent for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, wherein the silicone-based release agent has a polyether moiety and is contained in a release layer in an amount of 0.1 to 20% by mass. Mold film. 請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いてセラミックグリーンシートを成型するセラミックグリーンシートの製造方法であって、成型されたセラミックグリーンシートが0.2μm〜1.0μmの厚みを有することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。   It is a manufacturing method of the ceramic green sheet which shape | molds a ceramic green sheet using the release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-3, Comprising: The shape | molded ceramic green sheet is 0.2 micrometer ~ 1. A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.0 μm. 請求項4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用することを特徴とするセラミックコンデンサの製造方法。   5. A method for producing a ceramic capacitor, wherein the method for producing a ceramic green sheet according to claim 4 is adopted.
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