JP2014189007A - Release film for green sheet production - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a release film for green sheet production which prevents occurrence of pinholes and partial scattering of thickness on the green sheet surface and can produce a green sheet of high reliability; and to provide a method for producing the same.SOLUTION: A release film for gree sheet production comprises: a substrate; and a release agent layer. The release layer is formed by irradiating a coating layer with active energy rays, the coating layer being formed by coating on a first surface side a release agent layer-forming material containing an active energy ray-curable compound (A) having at least one reactive functional group selected from a (meth)acryloyl group, an alkenyl group, and a maleimide group, a polyorganosiloxane (B), and a carbon nano material (C). An arithmetic average roughness Ra of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less and a maximum protrusion height Ppis 50 nm or less.

Description

本発明は、グリーンシート製造用剥離フィルムに関するものである。   The present invention relates to a release film for producing a green sheet.

セラミックコンデンサの製造において、グリーンシートを形成するためにグリーンシート製造用の剥離フィルムが用いられている。   In the production of ceramic capacitors, a release film for producing a green sheet is used to form a green sheet.

剥離フィルムは、一般に基材と剥離剤層とから構成される。グリーンシートは、このような剥離フィルム上に、セラミックス粒子とバインダー樹脂とを有機溶剤に分散、溶解させたセラミックスラリーを塗工して乾燥することで製造される。また、製造されたグリーンシートは、剥離フィルムから剥離して、セラミックコンデンサの製造に用いられる。   The release film is generally composed of a substrate and a release agent layer. The green sheet is manufactured by applying and drying a ceramic slurry in which ceramic particles and a binder resin are dispersed and dissolved in an organic solvent on such a release film. Moreover, the manufactured green sheet peels from a peeling film, and is used for manufacture of a ceramic capacitor.

従来の剥離フィルムを用いたグリーンシートの製造においては、剥離フィルムの表面の凹凸がグリーンシートに転写されることで、グリーンシートの表面にピンホールが生じる等の問題があった。   In the production of a green sheet using a conventional release film, there is a problem that pinholes are generated on the surface of the green sheet by transferring the unevenness on the surface of the release film to the green sheet.

そこで、剥離フィルム表面の凹凸を可能な限り抑えることで、グリーンシートに対する凹凸の影響を低減させる試みが行われてきた(例えば、特許文献1参照)。   Then, the trial which reduces the influence of the unevenness | corrugation with respect to a green sheet by suppressing the unevenness | corrugation of the peeling film surface as much as possible has been performed (for example, refer patent document 1).

しかしながら、近年のセラミックコンデンサの小型化、高密度化に伴って、グリーンシートのさらなる薄膜化が求められており、従来の剥離フィルムでは、その薄膜化に対応しきれなかった。すなわち、薄いグリーンシートを形成しようとすると、従来の剥離フィルムでは、剥離フィルムの表面の凹凸がグリーンシートに転写されることで生じるピンホール等の発生を防ぐことが困難であった。   However, with the recent miniaturization and higher density of ceramic capacitors, further reduction in the thickness of green sheets has been demanded, and conventional release films have not been able to cope with the reduction in thickness. That is, when trying to form a thin green sheet, it has been difficult for the conventional release film to prevent the occurrence of pinholes and the like caused by the unevenness on the surface of the release film being transferred to the green sheet.

また、剥離フィルムは、一般に、ロール状に巻かれた状態で保管、輸送され、グリーンシートを形成する際には、ロール状の状態から繰り出して使用される。従来、この巻き取った剥離フィルムを繰り出す際には、剥離フィルムの表面に静電気が発生し、発生した静電気によって埃等の異物が付着してしまうという問題があった。このため、剥離フィルムを用いてグリーンシートを製造しようとすると、この付着した異物等によって、グリーンシートにピンホールが発生してしまうという問題があった。特に、剥離フィルム表面の凹凸を小さくするほど、前記のような静電気の発生が顕著であった。   Further, the release film is generally stored and transported in a roll-shaped state, and is used by being unrolled from the roll-shaped state when forming a green sheet. Conventionally, when unwinding the wound release film, static electricity is generated on the surface of the release film, and there is a problem that foreign matters such as dust adhere to the generated static electricity. For this reason, when it tried to manufacture a green sheet using a peeling film, there existed a problem that a pinhole would generate | occur | produce in a green sheet by this adhering foreign material. In particular, the smaller the unevenness on the surface of the release film, the more remarkable the generation of static electricity as described above.

特開2003−203822号公報JP 2003-203822 A

本発明の目的は、グリーンシートの表面にピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するのを防止し、信頼性の高いグリーンシートを製造することが可能なグリーンシート製造用剥離フィルムを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a release film for producing a green sheet that can prevent the occurrence of pinholes and partial thickness variations on the surface of the green sheet and can produce a highly reliable green sheet. There is to do.

このような目的は、下記(1)〜(5)の本発明により達成される。
(1) グリーンシートの製造に用いられるグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
第1の面と第2の面とを有する基材と、
前記基材の前記第1の面に設けられた剥離剤層とを有し、
前記剥離剤層は、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する活性エネルギー線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、カーボンナノ材料(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記第1の面側に塗布して形成された塗布層に、活性エネルギー線を照射することにより形成されており、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaが8nm以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さRpが50nm以下であることを特徴とするグリーンシート製造用剥離フィルム。
Such an object is achieved by the present inventions (1) to (5) below.
(1) A release film for producing a green sheet used for producing a green sheet,
A substrate having a first surface and a second surface;
A release agent layer provided on the first surface of the substrate;
The release agent layer comprises an active energy ray-curable compound (A) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth) acryloyl group, an alkenyl group and a maleimide group, and a polyorganosiloxane (B ) And a carbon nanomaterial (C) is applied to the coating layer formed by applying a release agent layer forming material on the first surface side and irradiated with active energy rays. ,
The arithmetic average roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface of the release agent layer is 50 nm or less. Release film.

(2) 前記剥離剤層の平均膜厚が、0.2〜2μmである(1)に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   (2) The release film for producing a green sheet according to (1), wherein an average film thickness of the release agent layer is 0.2 to 2 μm.

(3) 前記剥離剤層形成用材料における前記ポリオルガノシロキサン(B)の固形分換算の含有量が、0.5〜5質量%である(1)または(2)に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   (3) The green sheet production according to (1) or (2), wherein the content of the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer forming material in terms of solid content is 0.5 to 5% by mass. Release film.

(4) 前記ポリオルガノシロキサン(B)は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、該分子鎖の末端および/または側鎖に、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種を有する反応性官能基が、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖中のケイ素原子と結合したものである(1)ないし(3)のいずれかに記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   (4) The polyorganosiloxane (B) is a polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain, and at the end and / or side chain of the molecular chain, a (meth) acryloyl group, an alkenyl group and (1) to (3) wherein a reactive functional group having at least one selected from the group consisting of maleimide groups is bonded to a silicon atom in the molecular chain directly or via a divalent linking group. The release film for producing a green sheet according to any one of 1).

(5) 前記剥離剤層形成用材料における前記カーボンナノ材料(C)の固形分換算の含有量が、0.05〜10質量%である(1)ないし(4)のいずれかに記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   (5) The green according to any one of (1) to (4), wherein the content of the carbon nanomaterial (C) in the release agent layer forming material in terms of solid content is 0.05 to 10% by mass. Release film for sheet production.

本発明によれば、剥離剤層の外表面の平滑性に優れるとともに、優れた帯電防止性および剥離性を備えるグリーンシート製造用剥離フィルムを提供することができる。これにより、グリーンシート製造用剥離フィルム表面の凹凸がグリーンシートに転写するのを防止することができる。その結果、グリーンシートの表面にピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するのを防止することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while being excellent in the smoothness of the outer surface of a releasing agent layer, the peeling film for green sheet manufacture provided with the outstanding antistatic property and peelability can be provided. Thereby, it can prevent that the unevenness | corrugation of the peeling film surface for green sheet manufacture transfers to a green sheet. As a result, it is possible to prevent the occurrence of pinholes and partial thickness variations on the surface of the green sheet.

また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、適度な導電性を有する。このため、グリーンシート製造用剥離フィルムの表面の抵抗値を下げることができる。これにより、巻き取ったグリーンシート製造用剥離フィルムを繰り出す際に、静電気が発生するのを抑制することができる。その結果、グリーンシート製造用剥離フィルムの表面に、埃等の異物が付着するのを防ぐことができるため、セラミックスラリー塗工時にスラリーがはじいてしまうことや、製造されたグリーンシート表面にピンホールが発生することを防ぐことができる。また、グリーンシートを剥離する際に、帯電による剥離不良等が発生することを防止することができ、グリーンシートに破損やしわ等が生じるのを防ぐことができる。   Moreover, the release film for producing the green sheet of the present invention has appropriate conductivity. For this reason, the resistance value of the surface of the release film for producing a green sheet can be lowered. Thereby, it can suppress that static electricity generate | occur | produces when unwinding the peeling film for green sheet manufacture wound up. As a result, it is possible to prevent foreign matters such as dust from adhering to the surface of the release film for manufacturing the green sheet, so that the slurry repels when the ceramic slurry is applied, and there is a pinhole on the surface of the manufactured green sheet. Can be prevented from occurring. In addition, when the green sheet is peeled off, it is possible to prevent a peeling failure due to charging and the like from occurring, and it is possible to prevent the green sheet from being damaged or wrinkled.

本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムの横断面図である。It is a cross-sectional view of a release film for producing a green sheet of the present invention.

以下、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
≪グリーンシート製造用剥離フィルム≫
本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、グリーンシートの製造に用いられるものである。そして、製造されたグリーンシートは、例えば、セラミックコンデンサ等の製造に用いられる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on preferred embodiments.
≪Peeling film for green sheet manufacturing≫
The release film for producing a green sheet of the present invention is used for producing a green sheet. And the manufactured green sheet is used for manufacture of a ceramic capacitor etc., for example.

図1は、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムの横断面図である。なお、以下の説明では、図1中の上側を「上」、下側を「下」と言う。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a release film for producing a green sheet of the present invention. In the following description, the upper side in FIG. 1 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.

図1に示すように、グリーンシート製造用剥離フィルム1は、第1の面111と第2の面112とを有する基材11と、基材11の第1の面111上に設けられた剥離剤層12とを有している。すなわち、グリーンシート製造用剥離フィルム1は、図1に示すように、基材11と、剥離剤層12とがこの順に互いに接合するように積層された二層構造をなすものである。   As shown in FIG. 1, the release film 1 for producing a green sheet includes a base material 11 having a first surface 111 and a second surface 112, and a release provided on the first surface 111 of the base material 11. And an agent layer 12. That is, as shown in FIG. 1, the release film 1 for producing a green sheet has a two-layer structure in which a base material 11 and a release agent layer 12 are laminated so as to be joined to each other in this order.

なお、本明細書において、グリーンシート製造用剥離フィルムを用いてグリーンシートを製造する場合には、グリーンシートは、例えば、剥離剤層12の外表面121上に溶解したセラミックスラリーを塗工することで形成される。   In addition, in this specification, when manufacturing a green sheet using the release film for manufacturing a green sheet, the green sheet is applied with, for example, a ceramic slurry dissolved on the outer surface 121 of the release agent layer 12. Formed with.

本発明において、グリーンシート製造用剥離フィルムは、基材と剥離剤層を有するものである。そして、グリーンシート製造用剥離フィルムは、剥離剤層が、所定の反応性官能基を有する活性エネルギー線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、カーボンナノ材料(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を、基材の第1の面側に塗布して活性エネルギー線を照射することにより形成されており、剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaが8nm以下であり、かつ、その外表面の最大突起高さRpが50nm以下であることを特徴とする。 In the present invention, the release film for producing a green sheet has a substrate and a release agent layer. The release film for producing a green sheet comprises an active energy ray-curable compound (A) having a predetermined reactive functional group, a polyorganosiloxane (B), and a carbon nanomaterial (C). It is formed by applying the release agent layer forming material contained on the first surface side of the substrate and irradiating active energy rays, and the arithmetic average roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer is 8 nm. And the maximum protrusion height Rp 1 on the outer surface is 50 nm or less.

このような特徴を有することにより、剥離剤層の外表面の平滑性に優れるとともに、帯電防止性および剥離性を備えるグリーンシート製造用剥離フィルムを得ることができる。そして、このグリーンシート製造用剥離フィルムを用いてグリーンシートを製造すれば、グリーンシートの表面にピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するのを防止することができる。   By having such characteristics, it is possible to obtain a release film for producing a green sheet that is excellent in the smoothness of the outer surface of the release agent layer and has antistatic properties and releasability. And if a green sheet is manufactured using this release film for green sheet manufacture, it can prevent that the pinhole, the dispersion | variation in partial thickness, etc. generate | occur | produce on the surface of a green sheet.

特に、剥離剤層は、カーボンナノ材料(C)の作用により、適度な導電性を有している。このため、グリーンシート製造用剥離フィルムの表面の抵抗値を下げることができる。これにより、巻き取ったグリーンシート製造用剥離フィルムを繰り出す際に、静電気が発生するのを抑制することができる。その結果、グリーンシート製造用剥離フィルムの表面に、埃等の異物が付着するのを防ぐことができ、付着した異物によるピンホールの発生を防止することができる。   In particular, the release agent layer has moderate conductivity due to the action of the carbon nanomaterial (C). For this reason, the resistance value of the surface of the release film for producing a green sheet can be lowered. Thereby, it can suppress that static electricity generate | occur | produces when unwinding the peeling film for green sheet manufacture wound up. As a result, it is possible to prevent foreign matters such as dust from adhering to the surface of the release film for producing a green sheet, and it is possible to prevent the occurrence of pinholes due to the attached foreign matter.

また、剥離剤層は、ポリオルガノシロキサン(B)の作用により、優れた剥離性を発揮するものである。このため、剥離剤層は、ポリオルガノシロキサン(B)の作用による剥離性とカーボンナノ材料(C)の作用による帯電防止性との相乗効果により、グリーンシートをグリーンシート製造用剥離フィルムから剥離する際に、グリーンシートに破損やしわ等が生じるのを防ぐことができる。   Further, the release agent layer exhibits excellent peelability due to the action of the polyorganosiloxane (B). For this reason, the release agent layer peels the green sheet from the release film for producing the green sheet by the synergistic effect of the release property by the action of the polyorganosiloxane (B) and the antistatic property by the action of the carbon nanomaterial (C). In this case, it is possible to prevent the green sheet from being damaged or wrinkled.

また、所定の反応性官能基を有する活性エネルギー線硬化性化合物(A)を含む剥離剤層形成用材料は、適度な流動性と形状保持性とを有するものである。このため、かかる剥離剤層形成用材料で構成された剥離剤層を用いれば、基材の凹凸を容易に埋め込むことができる。また、埋め込んだ状態を確実に保持することができる。その結果、剥離剤層の外表面は、平滑性に優れたものとなる。このため、形成されたグリーンシートに、剥離剤層の外表面の凹凸形状が転写させることで生じる、ピンホール等の発生を防止することができる。   Moreover, the release agent layer forming material containing the active energy ray-curable compound (A) having a predetermined reactive functional group has appropriate fluidity and shape retention. For this reason, if the release agent layer comprised with this release agent layer forming material is used, the unevenness | corrugation of a base material can be embedded easily. Moreover, the embedded state can be reliably held. As a result, the outer surface of the release agent layer is excellent in smoothness. For this reason, generation | occurrence | production of the pinhole etc. which arise by transferring the uneven | corrugated shape of the outer surface of a releasing agent layer to the formed green sheet can be prevented.

また、かかる剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaおよび最大突起高さRpが前述したものであるため、例えば1μm未満の薄膜なグリーンシートを製造する場合であっても、剥離剤層の外表面の凹凸がグリーンシートに転写するのを防ぐことができる。これにより、グリーンシートの表面にピンホール等の発生が防止された、信頼性の高いグリーンシートを得ることができる。 Further, since the arithmetic average roughness Ra 1 and the maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface of the release agent layer are as described above, for example, even when a thin green sheet of less than 1 μm is manufactured, the release agent It is possible to prevent the irregularities on the outer surface of the layer from being transferred to the green sheet. Thereby, it is possible to obtain a highly reliable green sheet in which the occurrence of pinholes or the like is prevented on the surface of the green sheet.

以下、本実施形態に係るグリーンシート製造用剥離フィルム1を構成する各層について順次説明する。   Hereinafter, each layer which comprises the peeling film 1 for green sheet manufacture which concerns on this embodiment is demonstrated one by one.

<基材11>
基材11は、グリーンシート製造用剥離フィルム1(以下、単に「剥離フィルム1」ということもある。)に、剛性、柔軟性等の物理的強度を付与する機能を有している。
<Substrate 11>
The base material 11 has a function of imparting physical strength such as rigidity and flexibility to the release film 1 for producing a green sheet (hereinafter sometimes simply referred to as “release film 1”).

基材11は、図1に示すように、第1の面111と第2の面112とを有する。
基材11を構成する材料としては、特に限定されず、例えば、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂などのポリエステル樹脂、ポリプロピレン樹脂やポリメチルペンテン樹脂などのポリオレフィン樹脂、ポリカーボネートなどのプラスチックからなるフィルム等が挙げられ、単層フィルムであってもよいし、同種または異種の2層以上の多層フィルムであってもよい。これらの中でも特に、ポリエステルフィルムであるのが好ましく、更には二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。特に、ポリエステルフィルムは、その加工時や使用時等において、埃等が発生しにくいものである。そのため、例えば、ポリエステルフィルムを用いて製造した剥離フィルム1を使用して、グリーンシートを製造する場合に、埃等によるセラミックスラリー塗工不良等を効果的に防止することができる。その結果、ピンホール等がより少ないグリーンシートを製造することができる。
As shown in FIG. 1, the base material 11 has a first surface 111 and a second surface 112.
The material constituting the substrate 11 is not particularly limited, and examples thereof include polyester resins such as polybutylene terephthalate resin, polyethylene terephthalate resin and polyethylene naphthalate resin, polyolefin resins such as polypropylene resin and polymethylpentene resin, and polycarbonate. Examples thereof include a film made of plastic, and may be a single layer film or a multilayer film of two or more layers of the same type or different types. Among these, a polyester film is particularly preferable, and a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is more preferable. In particular, the polyester film is less prone to dust and the like during its processing and use. Therefore, for example, when a green sheet is manufactured using the release film 1 manufactured using a polyester film, it is possible to effectively prevent a ceramic slurry coating failure due to dust or the like. As a result, a green sheet with fewer pinholes and the like can be manufactured.

また、基材11には、前記のような材料に加え、フィラー等を含有させてもよい。フィラーとしては、シリカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カオリン、酸化アルミニウム等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。このようなフィラーを含むことにより、基材11の機械的強度を付与すると共に、表裏面の滑り性が向上し、ブロッキングを抑制することができる。   In addition to the above materials, the base material 11 may contain a filler or the like. Examples of the filler include silica, titanium oxide, calcium carbonate, kaolin, aluminum oxide, and the like, and one or more of these can be used in combination. By including such a filler, the mechanical strength of the base material 11 can be imparted, the slipperiness of the front and back surfaces can be improved, and blocking can be suppressed.

また、基材11は、第1の面111の算術平均粗さRaが2〜80nmであるのが好ましく、第1の面111の算術平均粗さRaが、5〜50nmであるのがより好ましい。これにより、後述するように、基材11の第1の面111上には、第1の面111の凹凸を埋めて平滑化された剥離剤層12が形成されるため、算術平均粗さRaが前記の範囲内であれば、平滑化作用が特に顕著となる。 Further, the substrate 11 is preferably an arithmetic mean roughness Ra 0 of the first surface 111 is 2 to 80 nm, the arithmetic mean roughness Ra 0 of the first surface 111, that is 5~50nm More preferred. Thereby, as will be described later, since the release agent layer 12 smoothed by filling the unevenness of the first surface 111 is formed on the first surface 111 of the base material 11, the arithmetic average roughness Ra. If 0 is within the above range, the smoothing action is particularly remarkable.

また、第1の面111の算術平均粗さRaが前記上限値を超えると、剥離剤層形成用材料の構成材料等によっては、第1の面111の凹凸を十分に埋めるために、剥離剤層12の膜厚を比較的厚くする必要が生じる場合がある。 Further, when the arithmetic average roughness Ra 0 of the first surface 111 exceeds the upper limit value, depending on the constituent material of the release agent layer forming material and the like, peeling may occur in order to sufficiently fill the unevenness of the first surface 111. It may be necessary to make the film thickness of the agent layer 12 relatively large.

また、第1の面111の最大突起高さRpが10〜700nmであるのが好ましく、第1の面111の最大突起高さRpが20〜500nmであるのがよりに好ましい。これにより、後述するように、基材11の第1の面111上には、第1の面111の凹凸を埋めて平滑化された剥離剤層12が形成されるため、最大突起高さRpが前記の範囲内であれば、平滑化作用が特に顕著となる。 The maximum projection height Rp 0 of the first surface 111 is preferably an 10~700Nm, maximum projection height Rp 0 of the first surface 111 is preferably more and 20 to 500 nm. Thereby, as will be described later, since the release agent layer 12 smoothed by filling the unevenness of the first surface 111 is formed on the first surface 111 of the substrate 11, the maximum protrusion height Rp is formed. If 0 is within the above range, the smoothing action is particularly remarkable.

また、基材11は、第2の面112の算術平均粗さRaが5〜40nmであるのが好ましく、第2の面112の算術平均粗さRaが10〜30nmであるのがより好ましい。また、基材11の第2の面112の最大突起高さRpは、60〜500nmであることが好ましい。これにより、剥離剤層12の外表面121が高平滑である剥離フィルム1を、紙製、プラスチック製または金属製等のコア材にロール状に巻き取る際に、空気抜けが良好になり、巻きずれを効果的に抑制することができるため、巻き取り張力を高める必要が無く、巻き取り張力に起因する巻き芯部の変形も抑制することが可能となる。また、ロール状の剥離フィルム1を繰り出す際に、巻かれた剥離フィルム1の表裏でブロッキングが発生することを防止できる。さらに、グリーンシートが形成された剥離フィルム1を巻き取って保管する際に、グリーンシートに接する基材11の第2の面112の表面形状が、グリーンシートに転写することを防止でき、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生するのを防止できる。その結果、信頼性の高いグリーンシートを形成できる。 Further, the substrate 11 is preferably an arithmetic average roughness Ra 2 of the second surface 112 is 5 to 40 nm, the arithmetic mean roughness Ra 2 of the second surface 112 is more in the range of 10~30nm preferable. The maximum projection height Rp 2 of the second surface 112 of the substrate 11 is preferably 60~500Nm. Thus, when the release film 1 having a highly smooth outer surface 121 of the release agent layer 12 is wound around a core material made of paper, plastic, metal, or the like in a roll shape, air escape is improved, Since the shift can be effectively suppressed, there is no need to increase the winding tension, and deformation of the winding core portion due to the winding tension can be suppressed. Further, when the roll-shaped release film 1 is fed out, blocking can be prevented from occurring on the front and back of the rolled release film 1. Furthermore, when the release film 1 on which the green sheet is formed is wound up and stored, the surface shape of the second surface 112 of the substrate 11 in contact with the green sheet can be prevented from being transferred to the green sheet. It is possible to prevent the occurrence of pinholes and partial thickness variations. As a result, a highly reliable green sheet can be formed.

これに対して、最大突起高さRpが前記下限値未満であると、グリーンシート(薄膜)形成前の剥離フィルム1の保管時において、グリーンシート形成前の剥離フィルム1を巻き取る際に、空気を巻き込みやすく、巻きずれが生じやすいため、取り扱いが困難となる。また、基材11と剥離剤層12とが密着してしまい、ブロッキングを十分に防止するのが困難となる。一方、最大突起高さRpが前記上限値を超えると、グリーンシート形成後の剥離フィルム1を巻き取る際に、グリーンシートに接する基材11の第2の面112の突起形状がグリーンシートに転写されてしまい、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生するおそれがあり、グリーンシートの平滑性を十分に保持することが困難となる。 In contrast, if the maximum projection height Rp 2 is less than the lower limit value, during storage of the green sheet (thin film) formed before the peeling film 1, when winding the release film 1 before the green sheet formation, Since it is easy to entrain air and miswinding easily occurs, handling becomes difficult. Moreover, the base material 11 and the release agent layer 12 are in close contact with each other, and it is difficult to sufficiently prevent blocking. On the other hand, if the maximum projection height Rp 2 exceeds the upper limit, when winding the release film 1 after the green sheet formation, the projection shape of the second surface 112 of the substrate 11 in contact with the green sheet on the green sheet As a result, the green sheet may have pinholes and partial thickness variations, which makes it difficult to sufficiently maintain the smoothness of the green sheet.

このように、基材11の第2の面112の最大突起高さRpは60〜500nmであることが好ましいが、80〜400nmであるのがより好ましく、100〜300nmであるのがさらに好ましい。これにより、上述の効果がより顕著なものとなる。 Thus, the maximum protrusion height Rp 2 of the second surface 112 of the substrate 11 is preferably 60 to 500 nm, more preferably 80 to 400 nm, and even more preferably 100 to 300 nm. . Thereby, the above-mentioned effect becomes more remarkable.

なお、本明細書では、基材11の第1の面111の算術平均粗さRaおよび最大突起高さRp、基材11の第2の面112の算術平均粗さRaおよび最大突起高さRpは、JIS B0601−1994に準拠してミツトヨ社製表面粗さ測定機SV3000S4(触針式)により測定して求められる値である。そして、本明細書では、特に断りのない限り、「算術平均粗さおよび最大突起高さ」とは、前記のようにして測定して得られる値のことを指す。 In this specification, the arithmetic average roughness Ra 0 and the maximum protrusion height Rp 0 of the first surface 111 of the base material 11, the arithmetic average roughness Ra 2 and the maximum protrusion of the second surface 112 of the base material 11. height Rp 2 is a value determined by measuring by Mitutoyo surface roughness tester SV3000S4 in compliance with JIS B0601-1994 (stylus). In the present specification, unless otherwise specified, the “arithmetic average roughness and maximum protrusion height” refer to values obtained by measurement as described above.

また、基材11の平均膜厚は、特に限定されないが、10〜300μmであるのが好ましく、15〜200μmであるのがより好ましい。これにより、剥離フィルム1の、柔軟性を適度なものとしつつ、引裂きや破断等に対する耐性を特に優れたものとすることができる。   Moreover, although the average film thickness of the base material 11 is not specifically limited, It is preferable that it is 10-300 micrometers, and it is more preferable that it is 15-200 micrometers. Thereby, it is possible to make the release film 1 particularly excellent in resistance to tearing, breaking, etc. while making the flexibility of the release film 1 moderate.

<剥離剤層12>
剥離剤層12は、基材11の第1の面111上に設けられている。
<Release layer 12>
The release agent layer 12 is provided on the first surface 111 of the substrate 11.

剥離剤層12は、剥離フィルム1に剥離性および帯電防止性を付与する機能を有する。
剥離剤層12は、剥離剤層形成用材料に活性エネルギー線を照射して硬化することにより形成された層である。
The release agent layer 12 has a function of imparting peelability and antistatic property to the release film 1.
The release agent layer 12 is a layer formed by irradiating the release agent layer forming material with an active energy ray and curing.

また、剥離剤層12は、剥離剤層形成用材料で構成されたものである。剥離剤層形成用材料は、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する活性エネルギー線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、カーボンナノ材料(C)とを含むものである。   The release agent layer 12 is composed of a release agent layer forming material. The release agent layer forming material includes an active energy ray-curable compound (A) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth) acryloyl group, an alkenyl group and a maleimide group, and a polyorganosiloxane (B) and carbon nanomaterial (C) are included.

かかる構成の剥離剤層12は、適度な導電性を有する。このため、剥離剤層12の外表面121の、表面の抵抗値を下げることができる。これにより、巻き取ったグリーンシート製造用剥離フィルムを繰り出す際に、静電気が発生するのを抑制することができる。その結果、剥離剤層12の外表面121に異物が付着するのを防ぐことができるため、グリーンシートにピンホール等が発生するのを防ぐことできる。また、剥離剤層12表面の帯電による、セラミックスラリーの揺らぎやハジキ等の発生を防止することができるため、より均一な膜厚のグリーンシートを形成することができる。また、かかる構成の剥離剤層12は、適度な導電性に加え、剥離性を有するものである。このため、グリーンシートを剥離する際に、帯電による剥離不良等の発生を防止しすることができる。その結果、グリーンシートに破損やしわ等が生じるのを防ぐことができる。   The release agent layer 12 having such a configuration has moderate conductivity. For this reason, the surface resistance value of the outer surface 121 of the release agent layer 12 can be lowered. Thereby, it can suppress that static electricity generate | occur | produces when unwinding the peeling film for green sheet manufacture wound up. As a result, it is possible to prevent foreign matters from adhering to the outer surface 121 of the release agent layer 12, and thus it is possible to prevent pinholes and the like from being generated in the green sheet. In addition, since the ceramic slurry can be prevented from fluctuating or repelling due to charging of the surface of the release agent layer 12, a green sheet with a more uniform film thickness can be formed. Moreover, the release agent layer 12 having such a configuration has releasability in addition to appropriate conductivity. For this reason, when peeling a green sheet, generation | occurrence | production of the peeling defect by charging, etc. can be prevented. As a result, it is possible to prevent the green sheet from being damaged or wrinkled.

以下、剥離剤層形成用材料の各成分について詳細に説明する。
なお、活性エネルギー線を照射する前の剥離剤層形成用材料は、室温で未硬化の状態、または、半硬化の状態で存在している。
Hereinafter, each component of the release agent layer forming material will be described in detail.
In addition, the release agent layer forming material before irradiating the active energy ray exists in an uncured state or a semi-cured state at room temperature.

また、かかる剥離剤層形成用材料は、基材11の第1の面111上に塗布するに際し、適度な流動性を有している。したがって、かかる剥離剤層形成用材料を用いれば、基材11の第1の面111の凹凸を容易に埋め込むことができ、その埋め込んだ状態を確実に保持することができる。その結果、剥離剤層12の基材11と反対の外表面121側に、基材11の凹凸が影響するのを防ぐことができ、剥離剤層12の外表面121を平滑にすることができる。   Further, such a release agent layer forming material has appropriate fluidity when applied onto the first surface 111 of the substrate 11. Therefore, if such a release agent layer forming material is used, the unevenness of the first surface 111 of the substrate 11 can be easily embedded, and the embedded state can be reliably maintained. As a result, it is possible to prevent the unevenness of the base material 11 from affecting the outer surface 121 side of the release agent layer 12 opposite to the base material 11 and to smooth the outer surface 121 of the release agent layer 12. .

[活性エネルギー線硬化性化合物(A)]
活性エネルギー線硬化性化合物(A)は、硬化することにより剥離剤層12の形成に寄与する成分である。これにより、剥離剤層12の機械的強度をより適度なものとすることができる。
[Active energy ray-curable compound (A)]
The active energy ray-curable compound (A) is a component that contributes to the formation of the release agent layer 12 by being cured. Thereby, the mechanical strength of the release agent layer 12 can be made more appropriate.

活性エネルギー線硬化性化合物(A)は、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の反応性官能基を有するものである。なお、上記アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基など炭素数2〜10のものが例示される。特に、かかる反応性官能基を、1分子中に2つ以上有しているのが好ましく、1分子中に3つ以上有しているのがより好ましい。これにより、剥離剤層12は、優れた硬化性や、耐溶剤性、および剥離性を得ることができる。また、かかる活性エネルギー線硬化性化合物(A)は、適度な流動性と形状保持性とを有するものである。このため、基材11の第1の面111上に、かかる活性エネルギー線硬化性化合物(A)を含む剥離剤層形成用材料を塗布すると、剥離剤層形成用材料により基材11の第1の面111の凹凸を的確に埋め込むことができ、その埋め込んだ状態を確実に保持することができる。その結果、剥離剤層12の外表面121を平滑にすることができる。   The active energy ray-curable compound (A) has at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth) acryloyl group, an alkenyl group, and a maleimide group. In addition, as said alkenyl group, a C2-C10 thing, such as a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, a hexenyl group, is illustrated. In particular, it is preferable to have two or more such reactive functional groups in one molecule, and more preferably three or more in one molecule. Thereby, the release agent layer 12 can obtain excellent curability, solvent resistance, and peelability. Moreover, this active energy ray hardening compound (A) has moderate fluidity | liquidity and shape retainability. For this reason, when the release agent layer forming material containing the active energy ray-curable compound (A) is applied on the first surface 111 of the base material 11, the first of the base material 11 is formed by the release agent layer forming material. The unevenness of the surface 111 can be accurately embedded, and the embedded state can be reliably maintained. As a result, the outer surface 121 of the release agent layer 12 can be smoothed.

また、活性エネルギー線硬化性化合物(A)における前記反応性官能基の含有量は、活性エネルギー線硬化性化合物(A)1kg当たり10当量以上であることが好ましい。これにより、薄膜で塗布された場合においても硬化性を特に優れたものとすることができる。   Moreover, it is preferable that content of the said reactive functional group in an active energy ray-curable compound (A) is 10 equivalent or more per kg of active energy ray-curable compound (A). Thereby, even when applied as a thin film, the curability can be made particularly excellent.

活性エネルギー線硬化性化合物(A)としては、具体的には、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートが挙げられる。これらの中でも、ジペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートよりなる群から選択される少なくとも1種の多官能アクリレートを用いることが好ましい。これにより、薄膜で塗布された場合においても硬化性を特に優れたものとすることができる。   Specific examples of the active energy ray-curable compound (A) include dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth). ) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and polyfunctional (meth) acrylate such as pentaerythritol tetra (meth) acrylate. Among these, at least one polyfunctional selected from the group consisting of dipentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol tetraacrylate. It is preferable to use acrylate. Thereby, even when applied as a thin film, the curability can be made particularly excellent.

剥離剤層形成用材料における活性エネルギー線硬化性化合物(A)の固形分換算の含有量(溶剤を除いた全固形分中における含有割合)は、65〜98.5質量%が好ましく、71〜96.3質量%であることがより好ましい。   The content in terms of solid content of the active energy ray-curable compound (A) in the release agent layer forming material (content ratio in the total solid content excluding the solvent) is preferably 65 to 98.5% by mass, and 71 to 71%. It is more preferable that it is 96.3 mass%.

[ポリオルガノシロキサン(B)]
ポリオルガノシロキサン(B)は、剥離剤層12に剥離性を発現させる成分である。
[Polyorganosiloxane (B)]
The polyorganosiloxane (B) is a component that causes the release agent layer 12 to exhibit release properties.

ポリオルガノシロキサン(B)としては、例えば、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、該分子鎖の末端および/または側鎖に、(メタ)アクリロイル基、ビニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種を有する反応性官能基が、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖中のケイ素原子と結合したものであるのが好ましい。上記反応性官能基は、1分子中に少なくとも1個有していればよい。   The polyorganosiloxane (B) is, for example, a polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain, and a (meth) acryloyl group, a vinyl group and a maleimide are present at the terminal and / or side chain of the molecular chain. It is preferable that the reactive functional group having at least one selected from the group consisting of a group is bonded to the silicon atom in the molecular chain directly or via a divalent linking group. What is necessary is just to have at least one said reactive functional group in 1 molecule.

また、前記2価の連結基としては、例えば、アルキレン基、アルキレンオキシ基、オキシ基、イミノ基、カルボニル基およびそれらを組み合わせた2価の連結基等が挙げられる。   Examples of the divalent linking group include an alkylene group, an alkyleneoxy group, an oxy group, an imino group, a carbonyl group, and a divalent linking group obtained by combining them.

2価の連結基の炭素数は、1〜30であることが好ましく、1〜10であることがより好ましい。   The divalent linking group preferably has 1 to 30 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms.

また、ポリオルガノシロキサン(B)は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用することができる。   Moreover, polyorganosiloxane (B) can be used in combination of 2 or more type as needed.

このような反応性官能基で置換された変性ポリオルガノシロキサンは、活性エネルギー線硬化性化合物(A)が活性エネルギー照射により硬化する際に架橋構造に組み込まれて固定されるこれにより、剥離剤層12の外表面121側に形成されるグリーンシートへ、剥離剤層12の成分であるポリオルガノシロキサンの移行転着を抑制することができる。   The modified polyorganosiloxane substituted with such a reactive functional group is incorporated and fixed in the cross-linked structure when the active energy ray-curable compound (A) is cured by irradiation with active energy. The transfer transfer of polyorganosiloxane, which is a component of the release agent layer 12, to the green sheet formed on the outer surface 121 side of 12 can be suppressed.

また、ポリオルガノシロキサン(B)を構成する反応性官能基以外の有機基としては、脂肪族不飽和結合を有しない同一または異種の1価炭化水素基等が挙げられる。   Moreover, as organic groups other than the reactive functional group which comprises polyorganosiloxane (B), the same or different monovalent hydrocarbon group which does not have an aliphatic unsaturated bond, etc. are mentioned.

前記炭化水素基としては、炭素数が1〜12のものが好ましく、炭素数が1〜10のものがより好ましい。   As said hydrocarbon group, a C1-C12 thing is preferable and a C1-C10 thing is more preferable.

前記炭化水素基としては、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基などが挙げられる。   Specific examples of the hydrocarbon group include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, and a propyl group, and aryl groups such as a phenyl group and a tolyl group.

かかる構成の反応性官能基以外の有機基としては、有機基の80モル%以上がメチル基であることが好ましい。これにより、剥離剤層12の剥離性を特に優れたとすることができる。   As an organic group other than the reactive functional group having such a configuration, 80 mol% or more of the organic group is preferably a methyl group. Thereby, the peelability of the release agent layer 12 can be made particularly excellent.

剥離剤層形成用材料におけるポリオルガノシロキサン(B)の固形分換算の含有量は、0.5〜5質量%が好ましく、0.7〜4質量%であることがより好ましい。これにより、セラミックスラリーをはじくことなく塗布することがより可能となり、グリーンシート製造用剥離フィルム1の剥離性を特に優れたものとすることができる。   The content in terms of solid content of the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer forming material is preferably 0.5 to 5% by mass, and more preferably 0.7 to 4% by mass. Thereby, it becomes possible to apply without repelling the ceramic slurry, and the peelability of the release film 1 for producing a green sheet can be made particularly excellent.

これに対して、剥離剤層形成用材料におけるポリオルガノシロキサン(B)の固形分換算の含有量が前記下限値未満であると、基材の種類等によっては、形成される剥離剤層12が十分な剥離性を発揮できないおそれがある。一方、剥離剤層形成用材料におけるポリオルガノシロキサンの固形分換算の含有量が前記上限値を超えると、形成される剥離剤層12の表面にセラミックスラリーを塗布したときに、セラミックスラリーの構成材料等によっては、セラミックスラリーをはじき易くなるおそれがある。   In contrast, if the content of the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer forming material in terms of solid content is less than the lower limit, depending on the type of the substrate, the formed release agent layer 12 may be There is a possibility that sufficient peelability cannot be exhibited. On the other hand, when the content in terms of solid content of the polyorganosiloxane in the release agent layer forming material exceeds the upper limit, when the ceramic slurry is applied to the surface of the release agent layer 12 to be formed, the constituent material of the ceramic slurry For example, the ceramic slurry may be easily repelled.

さらに、活性エネルギー線硬化性化合物(A)の含有量をA質量部とし、ポリオルガノシロキサン(B)の配合量をB質量部としたとき、質量比B/Aが、0.7/99.3〜5/95の範囲であることがより好ましく、1/99〜4.5/95.5の範囲であることが特に好ましい。これにより、前記効果がさらに顕著となる。   Furthermore, when the content of the active energy ray-curable compound (A) is A part by mass and the amount of the polyorganosiloxane (B) is B part by mass, the mass ratio B / A is 0.7 / 99. A range of 3 to 5/95 is more preferable, and a range of 1/99 to 4.5 / 95.5 is particularly preferable. Thereby, the effect becomes more remarkable.

[カーボンナノ材料(C)]
カーボンナノ材料(C)は、剥離剤層12に、帯電防止性を付与する機能を有するものである。
[Carbon nanomaterial (C)]
The carbon nanomaterial (C) has a function of imparting antistatic properties to the release agent layer 12.

カーボンナノ材料(C)としては、例えば、フラーレン、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーン等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特に、カーボンナノチューブであるのが好ましい。これにより、剥離剤層12に、より適度な導電性を付与することができ、剥離剤層12の外表面121の表面抵抗値を下げることができる。このため、剥離剤層12の外表面121に異物が付着するのを防ぐことができる。その結果、剥離剤層12上に形成されたグリーンシートにピンホールが発生するのを防ぐことが可能となる。   Examples of the carbon nanomaterial (C) include fullerene, carbon nanotube, carbon nanofiber, carbon nanohorn, and the like, and one or more of these can be used in combination. Among these, carbon nanotubes are particularly preferable. Thereby, more moderate electroconductivity can be provided to the release agent layer 12, and the surface resistance value of the outer surface 121 of the release agent layer 12 can be lowered. For this reason, it is possible to prevent foreign matters from adhering to the outer surface 121 of the release agent layer 12. As a result, it is possible to prevent pinholes from occurring in the green sheet formed on the release agent layer 12.

特に、前述したようなカーボンナノ材料(C)の中でも、カーボンナノチューブは、高アスペクト比(長短度)を有する繊維状をなすものである。このため、カーボンナノチューブを、その繊維長が、剥離剤層12の面方向に沿うように容易に配向させることができる。そのため、カーボンナノチューブを用いれば、適度な帯電性を有するとともに、より平滑な外表面121を有する剥離剤層12を得ることができる。   In particular, among the carbon nanomaterials (C) as described above, carbon nanotubes are in the form of fibers having a high aspect ratio (long and short). For this reason, the carbon nanotube can be easily oriented so that the fiber length is along the surface direction of the release agent layer 12. Therefore, if carbon nanotubes are used, it is possible to obtain the release agent layer 12 having an appropriate charging property and a smoother outer surface 121.

また、カーボンナノ材料(C)の平均直径(繊維径)は、1〜1000nmであるのが好ましく、3〜500nmであるのがより好ましく、5〜100nmであるのがさらに好ましい。   The average diameter (fiber diameter) of the carbon nanomaterial (C) is preferably 1 to 1000 nm, more preferably 3 to 500 nm, and further preferably 5 to 100 nm.

カーボンナノ材料(C)の平均長さ(繊維長)は10nm〜200μmであり、特に限定されないが、例えば、50nm〜100μmであるのが好ましく、100nm〜50μmであるのがより好ましい。   The average length (fiber length) of the carbon nanomaterial (C) is 10 nm to 200 μm, and is not particularly limited. For example, it is preferably 50 nm to 100 μm, and more preferably 100 nm to 50 μm.

また、カーボンナノ材料(C)のアスペクト比は、例えば、10〜10000であるのが好ましく、200〜5000であるのがより好ましく、400〜2000であるのがさらに好ましい。なお、カーボンナノ材料(C)のアスペクト比は走査型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社製、製品名「S−4700」)を用いて、カーボンナノチューブを観察して測定した値である。   Further, the aspect ratio of the carbon nanomaterial (C) is, for example, preferably 10 to 10,000, more preferably 200 to 5000, and further preferably 400 to 2000. The aspect ratio of the carbon nanomaterial (C) is a value measured by observing the carbon nanotube using a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, product name “S-4700”).

剥離剤層形成用材料におけるカーボンナノ材料(C)の含有量は、例えば、0.05〜10質量%であるのが好ましく、0.1〜5質量%であるのがより好ましく、0.2〜1質量%であるのがさらに好ましい。カーボンナノ材料(C)の含有量が前記下限値未満の場合には、剥離剤層12の表面抵抗率を十分に低下させることができない場合がある。カーボンナノ材料(C)の含有量が前記上限値を超えた場合には、剥離剤層12の強度が低下し、耐溶剤性が悪化するおそれがある。   The content of the carbon nanomaterial (C) in the release agent layer forming material is, for example, preferably 0.05 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass, and 0.2 More preferably, it is ˜1% by mass. When the content of the carbon nanomaterial (C) is less than the lower limit, the surface resistivity of the release agent layer 12 may not be sufficiently reduced. When content of carbon nanomaterial (C) exceeds the said upper limit, the intensity | strength of the releasing agent layer 12 falls and there exists a possibility that solvent resistance may deteriorate.

[光重合開始剤(D)]
剥離剤層形成用材料を硬化させるために、剥離剤層形成用材料には、光重合開始剤(D)を含んでいてもよい。特に、活性エネルギー線として紫外線を用いる場合に、光重合開始剤(D)を用いることで、剥離剤層形成用材料をより容易かつ確実に硬化させることができる。
[Photoinitiator (D)]
In order to cure the release agent layer forming material, the release agent layer forming material may contain a photopolymerization initiator (D). In particular, when ultraviolet rays are used as the active energy rays, the release agent layer forming material can be cured more easily and reliably by using the photopolymerization initiator (D).

光重合開始剤(D)としては、特に限定されないが、例えば、α−アミノアルキルフェノン系のものを用いることがより好ましい。このようなα−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤は、硬化の際に酸素阻害を受けにくくする化合物である。そのため、大気雰囲気下での剥離フィルム1の製造においても、特に優れた硬化性を得ることができる。   Although it does not specifically limit as a photoinitiator (D), For example, it is more preferable to use the (alpha) -aminoalkylphenone type thing. Such an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator is a compound that is less susceptible to oxygen inhibition during curing. Therefore, particularly excellent curability can also be obtained in the production of the release film 1 in an air atmosphere.

α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤としては、例えば、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル] −2−モリフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4-メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4-モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン等が挙げられる。これにより、特に優れた硬化性や、耐溶剤性、および剥離性を得ることができる。   Examples of α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiators include 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino- 1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, etc. Is mentioned. Thereby, especially excellent curability, solvent resistance, and peelability can be obtained.

剥離剤層形成用材料における光重合開始剤(D)の固形分換算の含有量は、1〜20質量%であることが好ましく、3〜15質量%であることがより好ましい。これにより、剥離剤層12の厚さが、酸素阻害により硬化性が得られ難い範囲の厚さであっても、特に優れた硬化性や、耐溶剤性、および剥離性を得ることができる。   The content in terms of solid content of the photopolymerization initiator (D) in the release agent layer forming material is preferably 1 to 20% by mass, and more preferably 3 to 15% by mass. Thereby, even if the thickness of the release agent layer 12 is in a range where it is difficult to obtain curability due to oxygen inhibition, particularly excellent curability, solvent resistance, and peelability can be obtained.

また、このような剥離フィルム1では、剥離剤層12の外表面121付近に、ポリオルガノシロキサン(B)に由来する成分が偏析した状態となっている。このような偏析は、活性エネルギー線硬化性化合物(A)と分子構造、極性、分子量等の異なるポリオルガノシロキサン(B)を用いることにより、剥離剤層形成用材料の塗布層が硬化される間にポリオルガノシロキサン(B)が表面付近に押し上げられて生じるものと考えられる。   Further, in such a release film 1, a component derived from the polyorganosiloxane (B) is segregated near the outer surface 121 of the release agent layer 12. Such segregation occurs while the coating layer of the release agent layer forming material is cured by using a polyorganosiloxane (B) having a different molecular structure, polarity, molecular weight and the like from the active energy ray-curable compound (A). It is considered that the polyorganosiloxane (B) is pushed up to the vicinity of the surface.

また、剥離剤層形成用材料には、前途したような成分に加え、その他の成分を含んでいてもよい。例えば、増感剤、帯電防止剤、硬化剤等のその他の成分を含むものであってもよい。   Further, the release agent layer forming material may contain other components in addition to the components as previously described. For example, it may contain other components such as a sensitizer, an antistatic agent and a curing agent.

増感剤としては、例えば、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等が挙げられる。これにより、反応性をより高めることができる。   Examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone and isopropylthioxanthone. Thereby, reactivity can be improved more.

また、剥離剤層形成用材料における、前記その他の成分の固形分換算の含有量は、0〜10質量%であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that content in solid content conversion of the said other component in the release agent layer forming material is 0-10 mass%.

また、前述したように、剥離剤層12の外表面121は、算術平均粗さRaが8nm以下であり、かつ、その最大突起高さRpが50nm以下である。これにより、グリーンシートを剥離剤層12の外表面121側に成型したときに、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきを発生させることをより確実に防止でき、グリーンシートの表面をより高平滑なものにすることができる。 Further, as described above, the outer surface 121 of the release agent layer 12 is an arithmetic mean roughness Ra 1 is 8nm or less and a maximum projection height Rp 1 is 50nm or less. As a result, when the green sheet is molded on the outer surface 121 side of the release agent layer 12, it is possible to more reliably prevent the green sheet from causing pinholes and partial thickness variations, thereby making the surface of the green sheet more High smoothness can be achieved.

剥離剤層12の平均厚さは、0.2〜2μmであることが好ましく、0.3〜1.5μmであることがより好ましい。剥離剤層12の厚さが前記下限値未満であると、剥離剤層12の外表面121の平滑性が不十分となり、グリーンシートを剥離剤層12の外表面121側に成形したときに、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するおそれがある。一方、剥離剤層12の厚さが前記上限値を超えると、剥離剤層12の硬化収縮により剥離フィルム1にカールが発生し易くなったり、剥離フィルム1を巻き取ることで接した基材11の第2の面112と剥離剤層12の外表面121とでブロッキングが発生しやすくなるため、巻き取り不良が生じたり、巻き出し時の帯電量が増大するおそれがある。   The average thickness of the release agent layer 12 is preferably 0.2 to 2 μm, and more preferably 0.3 to 1.5 μm. When the thickness of the release agent layer 12 is less than the lower limit, the smoothness of the outer surface 121 of the release agent layer 12 becomes insufficient, and when the green sheet is molded on the outer surface 121 side of the release agent layer 12, There is a risk of pinholes and partial thickness variations in the green sheet. On the other hand, when the thickness of the release agent layer 12 exceeds the upper limit, the release film 1 is likely to curl due to cure shrinkage of the release agent layer 12, or the base material 11 in contact with the release film 1 is wound up. Since the second surface 112 and the outer surface 121 of the release agent layer 12 are likely to be blocked, there is a concern that winding failure may occur or the amount of charge during unwinding may increase.

また、剥離剤層12の外表面121の表面抵抗率は、1.0×1012Ω/□以下であるのが好ましく、1.0×1011Ω/□以下であるのがより好ましい。表面抵抗率が前記範囲内のものであると、剥離剤層12の外表面121に、静電気の発生に起因する異物等の付着することを、より確実に低減させることができる。 Further, the surface resistivity of the outer surface 121 of the release agent layer 12 is preferably 1.0 × 10 12 Ω / □ or less, and more preferably 1.0 × 10 11 Ω / □ or less. When the surface resistivity is within the above range, it is possible to more reliably reduce the adhesion of foreign substances or the like due to the generation of static electricity to the outer surface 121 of the release agent layer 12.

なお、表面抵抗率とは、本明細書においては単位表面積あたりの抵抗を示す。また、表面抵抗率の単位は、本明細書においてはΩ/□を使用する。   In this specification, the surface resistivity indicates the resistance per unit surface area. The unit of surface resistivity is Ω / □ in this specification.

また、表面抵抗率の測定は、JIS K6911(1995)に準拠して行うことができる。   The surface resistivity can be measured in accordance with JIS K6911 (1995).

≪グリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法≫
次に、前述したようなグリーンシート製造用剥離フィルム1の製造方法の好適な実施形態について説明する。
≪Method for producing release film for green sheet production≫
Next, a preferred embodiment of the method for producing the release film 1 for producing a green sheet as described above will be described.

本実施形態の剥離フィルム1の製造方法は、基材11を準備する基材準備工程と、所定の成分を含む剥離剤層形成用材料を塗布して乾燥させることで塗布層を形成する塗布層形成工程と、塗布層に、活性化エネルギー線を照射して硬化させることにより剥離剤層12を形成する剥離剤層形成工程とを有している。   The manufacturing method of the peeling film 1 of this embodiment is a coating layer which forms the coating layer by apply | coating and drying the base material preparation process which prepares the base material 11, and the release agent layer forming material containing a predetermined component. A forming step and a release agent layer forming step of forming the release agent layer 12 by irradiating the application layer with an activation energy ray and curing it.

以下、各工程について詳細に説明する。
<基材準備工程>
まず、基材11を準備する。
基材11の第1の面111に、酸化法などによる表面処理を施すことができる。これにより、基材11と、基材11の第1の面111側に設けられる剥離剤層12との密着性を特に優れたものとすることができる。
Hereinafter, each step will be described in detail.
<Base material preparation process>
First, the base material 11 is prepared.
The first surface 111 of the substrate 11 can be subjected to a surface treatment by an oxidation method or the like. Thereby, the adhesiveness of the base material 11 and the release agent layer 12 provided in the 1st surface 111 side of the base material 11 can be made especially excellent.

また、酸化法としては、例えば、コロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸化処理(湿式)、火炎処理、熱風処理、オゾン、紫外線照射処理などが挙げられ、これらの表面処理法は、基材11の種類に応じて適宜選ばれるが、一般にコロナ放電処理法が効果および操作性の面から好ましく用いられる。   Examples of the oxidation method include corona discharge treatment, plasma discharge treatment, chromium oxidation treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, ozone, ultraviolet irradiation treatment, and the like. The corona discharge treatment method is generally preferably used from the viewpoints of effects and operability.

<塗布層形成工程>
本工程では、まず、剥離剤層形成用材料を準備する。
<Coating layer formation process>
In this step, first, a release agent layer forming material is prepared.

前述したような活性エネルギー線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、カーボンナノ材料(C)等の成分を含む剥離剤層形成用材料を用意し、これを溶剤に、溶解または分散させることにより、剥離剤層形成用材料を得る。   Prepare a release agent layer forming material containing components such as the active energy ray-curable compound (A), polyorganosiloxane (B), and carbon nanomaterial (C) as described above, and dissolve it in a solvent. Alternatively, a release agent layer forming material is obtained by dispersing.

なお、溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、トルエン、酢酸エチル、キシレン、メチルエチルケトン、メチルブチルケトン、イソプロピルアルコール等を用いることができる。   In addition, as a solvent, methanol, ethanol, toluene, ethyl acetate, xylene, methyl ethyl ketone, methyl butyl ketone, isopropyl alcohol etc. can be used, for example.

次いで、基材11の第1の面111上に、液状をなす剥離剤層形成用材料を塗布し、乾燥させる。これにより、塗布層を得る。   Next, a liquid release agent layer forming material is applied on the first surface 111 of the substrate 11 and dried. Thereby, a coating layer is obtained.

前述したような成分を含む剥離剤層形成用材料を用いれば、基材11の第1の面111の凹凸を埋めることができる。その結果、剥離剤層12の外表面121を平滑にすることができる。   If the release agent layer forming material containing the components as described above is used, the unevenness of the first surface 111 of the substrate 11 can be filled. As a result, the outer surface 121 of the release agent layer 12 can be smoothed.

剥離剤層形成用材料を塗布する方法としては、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、エアーナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ゲートロールコート法、ダイコート法等が挙げられる。   Examples of methods for applying the release agent layer forming material include gravure coating, bar coating, spray coating, spin coating, air knife coating, roll coating, blade coating, gate roll coating, and die coating. Law.

また、剥離剤層形成用材料を乾燥する方法としては、特に限定されないが、例えば、熱風乾燥炉などで乾燥する方法等が挙げられる。   The method for drying the release agent layer forming material is not particularly limited, and examples thereof include a method of drying in a hot air drying furnace.

また、乾燥条件としては、特に限定されないが、乾燥温度は、50〜100℃であるのが好ましく、乾燥時間は5秒間〜1分間であるのが好ましい。これにより、塗布層の不本意な変質を防ぐことができるとともに、塗布層を特に効率よく形成することができる。その結果、最終的に得られる剥離フィルム1の生産性を向上させることができる。また、乾燥温度が前記範囲内の温度であると、剥離剤層形成用材料が溶剤等を含むものである場合に、乾燥時の溶剤等の蒸発を伴う、塗布層の反りやひび等の発生を特に防ぐことができる。   Moreover, it is although it does not specifically limit as drying conditions, It is preferable that drying temperature is 50-100 degreeC, and it is preferable that drying time is 5 second-1 minute. Thereby, unintentional alteration of the coating layer can be prevented, and the coating layer can be formed particularly efficiently. As a result, productivity of the finally obtained release film 1 can be improved. In addition, when the drying temperature is within the above range, particularly when the release agent layer forming material contains a solvent or the like, the occurrence of warping or cracking of the coating layer accompanied by evaporation of the solvent or the like during drying is particularly caused. Can be prevented.

<剥離剤層形成工程>
次に、塗布層形成工程に得られた塗布層に、活性化エネルギー線を照射して硬化させることにより剥離剤層12を形成する。
<Release agent layer forming step>
Next, the release agent layer 12 is formed by irradiating the application layer obtained in the application layer forming step with an activation energy ray and curing it.

本工程において、前記塗布層形成工程にて、基材11の第1の面111の凹凸を的確に埋め込んだ塗布層を、その外表面121の平滑性を保持したまま硬化する。その結果、外表面121が十分に平滑な剥離剤層12を得ることができる。また、剥離剤層形成用材料が、前述したような構成成分を含むことにより、適度の導電性を有する剥離剤層12を得ることができる。   In this step, the coating layer in which the unevenness of the first surface 111 of the substrate 11 is appropriately embedded in the coating layer forming step is cured while maintaining the smoothness of the outer surface 121. As a result, the release agent layer 12 having a sufficiently smooth outer surface 121 can be obtained. Moreover, when the release agent layer forming material contains the constituent components as described above, the release agent layer 12 having appropriate conductivity can be obtained.

活性エネルギー線としては、例えば、赤外線、可視光線、紫外線、X線のような電磁波、電子線、イオンビーム、中性子線およびα線のような粒子線等が挙げられ、これらの中でも、紫外線または可視光線を用いるのが好ましく、紫外線であるのがより好ましい。これにより、剥離剤層12を、より容易かつ確実に形成することができる。   Examples of the active energy rays include electromagnetic waves such as infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, and X-rays, electron beams, ion beams, neutron rays, and particle rays such as α rays, and among these, ultraviolet rays or visible rays. It is preferable to use a light beam, and it is more preferable to use an ultraviolet ray. Thereby, the release agent layer 12 can be formed more easily and reliably.

活性化エネルギー線(紫外線または可視光線)の波長としては、特に限定されないが、例えば、200〜600nmであるのが好ましく、250〜450nmであるのがより好ましい。活性化エネルギー線の波長が前記範囲内のものであれば、塗布層を硬化する硬化時間を十分に短くしつつ、塗布層を均一に硬化させることができる。また、活性化エネルギー線を照射する手段としては、特に限定されず、種々の一般的手段を利用することができる。例えば光源としては、圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、エキシマランプなどの光源ランプを用いることができる。   Although it does not specifically limit as a wavelength of an activation energy ray (an ultraviolet ray or visible light), For example, it is preferable that it is 200-600 nm, and it is more preferable that it is 250-450 nm. If the wavelength of the activation energy ray is within the above range, the coating layer can be uniformly cured while sufficiently shortening the curing time for curing the coating layer. Moreover, it does not specifically limit as a means to irradiate an activation energy ray, A various general means can be utilized. For example, a light source lamp such as a pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or an excimer lamp can be used as the light source.

また、活性化エネルギー線(紫外線または可視光線)を照射する場合には、活性化エネルギー線の照射量は、積算光量が50〜400mJ/cmであるのが好ましく、100〜300mJ/cmであるのがより好ましい。紫外線の照射量が前記範囲内の値であると、塗布層をより均一にかつ確実に硬化させることができる。 Moreover, when irradiating activation energy rays (ultraviolet rays or visible rays), the irradiation amount of the activation energy rays is preferably 50 to 400 mJ / cm 2 , and preferably 100 to 300 mJ / cm 2 . More preferably. When the irradiation amount of ultraviolet rays is a value within the above range, the coating layer can be cured more uniformly and reliably.

また、活性化エネルギー線を照射する時間としては、特に限定されないが、5秒間〜1分間であるのが好ましい。これにより、剥離剤層12を特に効率よく形成することができる。その結果、最終的に得られる剥離フィルム1の生産性を向上させることができる。   The time for irradiating the activation energy ray is not particularly limited, but is preferably 5 seconds to 1 minute. Thereby, the release agent layer 12 can be formed particularly efficiently. As a result, productivity of the finally obtained release film 1 can be improved.

以上のような工程によれば、平滑性に優れ、帯電防止性に優れた信頼性の高い剥離フィルム1を、容易かつ確実に製造することができる。   According to the above process, the reliable peeling film 1 which was excellent in smoothness and excellent in antistatic property can be manufactured easily and reliably.

また、このような剥離フィルム1を用いてグリーンシートを製造すれば、グリーンシートの表面にピンホール等が生じるのを防止することができる。   Moreover, if a green sheet is manufactured using such a peeling film 1, it can prevent that a pinhole etc. arise on the surface of a green sheet.

なお、剥離フィルム1を用いてセラミックコンデンサを製造する方法としては、例えば、剥離フィルムの剥離剤層の表面に、セラミック粉末分散スラリーを塗布、乾燥してグリーンシートを形成した後、剥離フィルムから剥離したグリーンシートを積層し、焼成して得られたセラミックシートに電極を形成する方法が挙げられる。このように、剥離フィルム1を用いて形成されたグリーンシートによりセラミックコンデンサを形成すれば、短絡による不具合の発生が防止された信頼性の高いセラミックコンデンサを得ることができる。   In addition, as a method of manufacturing a ceramic capacitor using the release film 1, for example, a ceramic powder dispersion slurry is applied to the surface of the release agent layer of the release film and dried to form a green sheet, and then released from the release film. The method of forming the electrode on the ceramic sheet obtained by laminating and firing the obtained green sheets is mentioned. Thus, if a ceramic capacitor is formed with a green sheet formed using the release film 1, a highly reliable ceramic capacitor in which the occurrence of defects due to a short circuit is prevented can be obtained.

以上、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。   As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail based on preferred embodiment, this invention is not limited to this.

例えば、上述した実施形態では、基材11の第1の面111に剥離剤層12を設けたグリーンシート製造用剥離フィルム1について説明したが、これに限定されず、基材11と剥離剤層12との間には、中間層を設けてもよい。このような中間層は、基材11と剥離剤層12との密着性を向上させるものであってもよい。   For example, in the above-described embodiment, the release film 1 for producing a green sheet in which the release agent layer 12 is provided on the first surface 111 of the base material 11 has been described. An intermediate layer may be provided between the two. Such an intermediate layer may improve the adhesion between the substrate 11 and the release agent layer 12.

本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムの構成は、同様の機能を発揮し得る任意のものと置換することができ、あるいは、任意の構成のものを付加することもできる。   The structure of the release film for producing a green sheet of the present invention can be replaced with any film that can exhibit the same function, or can have any structure.

例えば、前述した本実施形態では、基材は単層構造のものとして説明したが、これに限定されず、基材は、同種又は異種の2層以上の多層構造のものであってもよい。また、剥離剤層についても同様に、単層構造のものとして説明したが、これに限定されず、剥離剤層についても、同種又は異種の2層以上の多層構造をなすものであってもよい。   For example, in the above-described embodiment, the base material has been described as having a single layer structure, but the present invention is not limited to this, and the base material may have a multilayer structure of two or more layers of the same type or different types. Similarly, the release agent layer has been described as having a single layer structure. However, the present invention is not limited to this, and the release agent layer may have a multilayer structure of two or more layers of the same type or different types. .

また、例えば、前述した実施形態では、基材の第1の面に剥離剤層を設けたグリーンシート製造用剥離フィルムについて説明したが、これに限定されず、基材の第2の面側に剥離剤層を設けてもよい。   In addition, for example, in the above-described embodiment, the release film for producing a green sheet in which the release agent layer is provided on the first surface of the base material has been described. However, the embodiment is not limited thereto, and the second surface side of the base material is provided. A release agent layer may be provided.

また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法は、前述した方法に限定されるものではなく、必要に応じて任意の工程が追加されてもよい。   Moreover, the manufacturing method of the peeling film for green sheet manufacture of this invention is not limited to the method mentioned above, Arbitrary processes may be added as needed.

次に、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムの具体的実施例について説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。   Next, although the specific Example of the peeling film for green sheet manufacture of this invention is described, this invention is not limited only to these Examples.

[1]グリーンシート製造用剥離フィルムの作製
(実施例1)
まず、基材としての二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み:31μm、第1の面の算術平均粗さRa:29nm、第1の面の最大突起高さRp:257nm、第2の面の算術平均粗さRa:29nm、第2の面の最大突起高さRp:257nm)を用意した。
[1] Preparation of release film for green sheet production (Example 1)
First, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film as a substrate (thickness: 31 μm, arithmetic average roughness Ra 0 of the first surface: 29 nm, maximum protrusion height Rp 0 of 257 nm of the first surface, Arithmetic average roughness Ra 2 : 29 nm, maximum protrusion height Rp 2 : 257 nm of the second surface) was prepared.

次に、活性エネルギー線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(固形分100質量%)94.05質量%と、ポリオルガノシロキサン(B)としてのポリエーテル変性アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン(ビッグケミー社製、製品名「BYK−3500」、固形分100質量%)0.95質量%と、カーボンナノ材料(C)として、多層カーボンナノチューブ(フィルジェン株式会社製、製品名「F−M−ML−1/25」、繊維径約10nm、アスペクト比500〜1500)0.24質量部と、光重合開始剤(D)としてのα-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤(BASF社製、商品名「IRGACURE907」、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン、固形分100質量%)4.76質量%とを、イソプロピルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤(質量比3/1)で希釈して、固形分20質量%の剥離剤層形成用材料を得た。   Next, 94.05% by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (solid content: 100% by mass) as the active energy ray-curable compound (A) and polyether-modified acryloyl group-containing polydimethyl as the polyorganosiloxane (B) 0.95% by mass of siloxane (manufactured by Big Chemie, product name “BYK-3500”, solid content 100% by mass), and carbon nanomaterial (C), multi-walled carbon nanotubes (manufactured by Philgen Co., Ltd., product name “F- M-ML-1 / 25 ", fiber diameter about 10 nm, aspect ratio 500-1500) 0.24 parts by mass, and α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator (manufactured by BASF) as a photopolymerization initiator (D) , Trade name “IRGACURE907”, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinop Pan-1-one, solid content 100% by mass) 4.76% by mass diluted with isopropyl alcohol / methyl ethyl ketone mixed solvent (mass ratio 3/1) to give a release agent layer forming material having a solid content of 20% by mass Got.

得られた剥離剤層形成用材料をバーコーターで基材の第1の面上に塗布して、80℃で1分間乾燥させた後、紫外線を照射(積算光量:250mJ/cm)して剥離剤層(厚み0.97μm)を形成し、グリーンシート製造用剥離フィルムを得た。 The obtained release agent layer-forming material was applied onto the first surface of the substrate with a bar coater, dried at 80 ° C. for 1 minute, and then irradiated with ultraviolet rays (integrated light amount: 250 mJ / cm 2 ). A release agent layer (thickness 0.97 μm) was formed to obtain a release film for producing a green sheet.

(実施例2、3)
剥離剤層の厚さを表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
(Examples 2 and 3)
A release film for producing a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.

(実施例4)
剥離剤層形成用材料における活性エネルギー線硬化性化合物(A)およびポリオルガノシロキサン(B)の質量割合を表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
Example 4
A release film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the active energy ray-curable compound (A) and the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer forming material was changed as shown in Table 1. .

(実施例5、6)
活性エネルギー線硬化性化合物(A)およびカーボンナノ材料(C)の質量割合を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Examples 5 and 6)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the active energy ray-curable compound (A) and the carbon nanomaterial (C) was changed as shown in Table 1.

(実施例7)
基材を、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み:38μm、第1の面の算術平均粗さRa:15nm、第1の面の最大突起高さRp:98nm、第2の面の算術平均粗さRa:15nm、第2の面の最大突起高さRp:98nm)に変更した以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Example 7)
Biaxially stretched polyethylene terephthalate film (thickness: 38 μm, arithmetic average roughness Ra 0 of the first surface: 15 nm, maximum protrusion height Rp 0 of the first surface: 98 nm, arithmetic average of the second surface A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the roughness Ra 2 was 15 nm and the maximum protrusion height Rp 2 of the second surface was 98 nm.

(実施例8)
剥離剤層の厚さを表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Example 8)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.

(実施例9)
基材を、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み:31μm、第1の面の算術平均粗さRa:7nm、第1の面の最大突起高さRp:43nm、第2の面の算術平均粗さRa:34nm、第2の面の最大突起高さRp:250nm)に変更した以外は、前記実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
Example 9
Biaxially stretched polyethylene terephthalate film (thickness: 31 μm, first surface arithmetic average roughness Ra 0 : 7 nm, first surface maximum protrusion height Rp 0 : 43 nm, second surface arithmetic average A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the roughness Ra 2 was 34 nm and the maximum protrusion height Rp 2 of the second surface was 250 nm.

(比較例1)
剥離剤層形成用材料において活性エネルギー線硬化性化合物(A)およびポリオルガノシロキサン(B)の質量割合を表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Comparative Example 1)
A release film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the active energy ray-curable compound (A) and the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer forming material was changed as shown in Table 1. .

(比較例2、3)
剥離剤層の厚さを表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Comparative Examples 2 and 3)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.

(比較例4)
活性エネルギー線硬化性化合物(A)およびカーボンナノ材料(C)の質量割合を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Comparative Example 4)
A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the active energy ray-curable compound (A) and the carbon nanomaterial (C) was changed as shown in Table 1.

(比較例5)
剥離剤として熱硬化性シリコーン(信越化学工業社製、KS−847H、固形分30質量%)を固形分として99.72質量%と、カーボンナノ材料(C)として多層カーボンナノチューブ(フィルジェン社製、製品名「F−M−ML−1/25」、繊維径約10nm、アスペクト比500〜1500)0.24質量%とをトルエンで希釈し、これに白金触媒(信越化学工業社製、CAT−PL−50T、固形分2質量%)を固形分として0.04質量%を混合し、固形分が5.0質量%の剥離剤溶液を調製した。
(Comparative Example 5)
Thermosetting silicone as release agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KS-847H, solid content 30% by mass) as solid content 99.72% by mass, and carbon nanomaterial (C) as multi-walled carbon nanotube (manufactured by Philgen) The product name “F-M-ML-1 / 25”, fiber diameter of about 10 nm, aspect ratio 500-1500) 0.24% by mass was diluted with toluene, and platinum catalyst (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., CAT) -PL-50T, solid content 2% by mass) was mixed with 0.04% by mass as a solid content to prepare a release agent solution having a solid content of 5.0% by mass.

得られた剥離剤溶液を、形成される剥離剤層の乾燥後の厚さが0.3μmとなるように、実施例1と同じ基材の一方の面(第1の面)に均一に塗布し、140℃で1分間乾燥させて剥離剤層を形成し、これを剥離フィルムとした。   Uniformly apply the obtained release agent solution to one surface (first surface) of the same substrate as in Example 1 so that the thickness of the formed release agent layer after drying is 0.3 μm. And it was made to dry at 140 degreeC for 1 minute, the release agent layer was formed, and this was made into the peeling film.

(比較例6、7)
剥離剤層の厚さを表1に示すように変更した以外は、比較例5と同様にして剥離フィルムを作製した。
(Comparative Examples 6 and 7)
A release film was produced in the same manner as in Comparative Example 5 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.

(比較例8)
剥離剤層形成用材料として、以下のものを用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
(Comparative Example 8)
A release film for producing a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the following materials were used as the release agent layer forming material.

活性エネルギー線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(固形分100質量%)94.05質量%と、ポリオルガノシロキサン(B)としてのポリエーテル変性アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン(ビッグケミー社製、製品名「BYK−3500」、固形分100質量%)0.95質量%と、針状アンチモンドープ酸化錫(石原産業株式会社製、製品名「FS-10P」、繊維径10〜20nm、アスペクト比:20〜30)0.24質量部と、光重合開始剤(D)としてのα-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤(BASF社製、商品名「IRGACURE907」、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン、固形分100質量%)4.76質量%とを、イソプロピルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤(質量比3/1)で希釈して、固形分20質量%の剥離剤層形成用材料を得た。   94.05% by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (solid content: 100% by mass) as the active energy ray-curable compound (A), and polydimethylsiloxane having a polyether-modified acryloyl group as the polyorganosiloxane (B) (Big Chemie) Product name “BYK-3500”, solid content 100% by mass) 0.95% by mass, acicular antimony-doped tin oxide (Ishihara Sangyo Co., Ltd., product name “FS-10P”, fiber diameter 10-20 nm) , Aspect ratio: 20 to 30) 0.24 parts by mass, and α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator (trade name “IRGACURE907”, 2-methyl-1 as a photopolymerization initiator (D)) [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, solid content 100% by mass) 4.76% by mass , Diluted with isopropyl alcohol / methyl ethyl ketone mixed solvent (weight ratio 3/1), to give a solid content of 20% by weight of the release agent layer forming material.

(比較例9)
剥離剤層形成用材料として、以下のものを用いた以外は、実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
(Comparative Example 9)
A release film for producing a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the following materials were used as the release agent layer forming material.

活性エネルギー線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(固形分100質量%)94.05質量%と、ポリオルガノシロキサン(B)としてのポリエーテル変性アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン(ビッグケミー社製、製品名「BYK−3500」、固形分100質量%)0.95質量%と、ルチル型針状酸化チタンをアンチモンドープ酸化錫で被覆した針状導電材(石原産業株式会社製、製品名「FT−1000」、繊維径約130nm、アスペクト比:10〜20)0.24質量部と、光重合開始剤(D)としてのα-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤(BASF社製、商品名「IRGACURE907」、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン、固形分100質量%)4.76質量%とを、イソプロピルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤(質量比3/1)で希釈して、固形分20質量%の剥離剤層形成用材料を得た。   94.05% by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (solid content: 100% by mass) as the active energy ray-curable compound (A), and polydimethylsiloxane having a polyether-modified acryloyl group as the polyorganosiloxane (B) (Big Chemie) 0.95% by mass, product name “BYK-3500”, solid content 100% by mass), and acicular conductive material in which rutile acicular titanium oxide is coated with antimony-doped tin oxide (product made by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product) Name “FT-1000”, fiber diameter of about 130 nm, aspect ratio: 10 to 20) 0.24 parts by mass, α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator (manufactured by BASF, as photopolymerization initiator (D), Trade name “IRGACURE907”, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1- Down, and a solid content of 100 mass%) 4.76 mass%, was diluted with isopropyl alcohol / methyl ethyl ketone mixed solvent (weight ratio 3/1), to give a solid content of 20% by weight of the release agent layer forming material.

各実施例および各比較例のグリーンシート製造用剥離フィルムの構成等を表1にまとめて示した。   Table 1 summarizes the configurations and the like of the release films for producing green sheets of each Example and each Comparative Example.

なお、表中、活性エネルギー線硬化性化合物(A)としてのジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(固形分100質量%)を「A」、ポリオルガノシロキサン(B)としてのポリエーテル変性アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン(ビッグケミー社製、製品名「BYK−3500」、固形分100質量%)を「B」、カーボンナノ材料(C)としての多層カーボンナノチューブ(フィルジェン株式会社製、製品名「F−M−ML−1/25」、繊維径約10nm、アスペクト比500〜1.500)を「C」、光重合開始剤(D)としてのα-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤(BASF社製、商品名「IRGACURE907」、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン、固形分100質量%)を「D」、熱硬化性シリコーン(信越化学工業社製、KS−847H、固形分30質量%)を「X1」、白金触媒(信越化学工業社製、CAT−PL−50T、固形分2質量%)を「Y1」、針状アンチモンドープ酸化錫(石原産業株式会社製、製品名「FS-10P」、繊維径10〜20nm、アスペクト比:20〜30)を「Z1」、ルチル型針状酸化チタンをアンチモンドープ酸化錫で被覆した針状導電材(石原産業株式会社製、製品名「FT−1000」、繊維径約130nm、アスペクト比:10〜20)を「Z2」と示した。   In the table, dipentaerythritol hexaacrylate (solid content: 100% by mass) as active energy ray-curable compound (A) is “A”, and polyether-modified acryloyl group-containing polydimethylsiloxane as polyorganosiloxane (B). Multi-walled carbon nanotubes (manufactured by Philgen Corporation, product name “F-M-ML”, product name “BYK-3500”, solid content 100% by mass) (“B”), carbon nanomaterial (C) -1/25 ", fiber diameter of about 10 nm, aspect ratio 500 to 1.500)" C ", α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator (trade name, manufactured by BASF) as photopolymerization initiator (D) “IRGACURE907”, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, solids 00 mass%) “D”, thermosetting silicone (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KS-847H, solid content 30 mass%) is “X1”, platinum catalyst (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., CAT-PL-50T, “Y1” for solid content (2% by mass), acicular antimony-doped tin oxide (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product name “FS-10P”, fiber diameter 10-20 nm, aspect ratio: 20-30) “Z1”, Needle-like conductive material (made by Ishihara Sangyo Co., Ltd., product name “FT-1000”, fiber diameter of about 130 nm, aspect ratio: 10 to 20) coated with antimony-doped tin oxide on rutile needle-like titanium oxide is “Z2”. Indicated.

また、各実施例および各比較例の基材および剥離剤層の膜厚を、それぞれ、反射式膜厚計「F20」[フィルメトリックス株式会社製]を用いて測定した。具体的には、各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを100×100mmに裁断した後、測定する側の面の反対面が吸引ステージ側となるようにグリーンシート製造用剥離フィルムを膜厚計に設置し、剥離剤層表面の10ヵ所について膜厚を測定し、その平均値を剥離剤層の厚さとした。   In addition, the film thicknesses of the base material and the release agent layer in each Example and each Comparative Example were measured using a reflective film thickness meter “F20” [manufactured by Filmetrics Co., Ltd.]. Specifically, after the green film manufacturing release film obtained in each Example and each Comparative Example was cut to 100 × 100 mm, the green sheet was manufactured so that the surface opposite to the surface to be measured was on the suction stage side The film for release was placed on a film thickness meter, the film thickness was measured at 10 locations on the surface of the release agent layer, and the average value was taken as the thickness of the release agent layer.

また、基材の第1の面の算術平均粗さRaおよび最大突起高さRp、基材の第2の面の算術平均粗さRaおよび最大突起高さRp、剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaおよび最大突起高さRpを、それぞれ、ガラス板に両面テープを貼付し、両面テープ上に測定面が上になるようにして固定し、JIS B0601−1994に準拠してミツトヨ社製表面粗さ測定機SV3000S4(触針式)にて測定した。 Further, the arithmetic average roughness Ra 0 and the maximum protrusion height Rp 0 of the first surface of the base material, the arithmetic average roughness Ra 2 and the maximum protrusion height Rp 2 of the second surface of the base material, and the release agent layer Arithmetic mean roughness Ra 1 and maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface are each fixed to JIS B0601-1994 by applying a double-sided tape to a glass plate and fixing the measurement surface on the double-sided tape. The surface roughness was measured with a Mitutoyo surface roughness measuring instrument SV3000S4 (stylus type).

Figure 2014189007
Figure 2014189007

[2]評価
以上のようにして得られたグリーンシート製造用剥離フィルムに関して、以下のような評価を行った。
[2] Evaluation Regarding the release film for producing a green sheet obtained as described above, the following evaluation was performed.

[2.1]表面抵抗率
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを100mm×100mmに裁断し、これをサンプルとした。サンプルを23℃、湿度50%の条件下で24時間調湿した後、アドバンテスト社製「R12704レジスティビティチャンバ」およびアドバンテスト社製「デジタルエレクトロメータR8252」を使用し、JIS K6911(1995)に準拠して、剥離剤層側の表面の抵抗率を測定した。
[2.1] Surface resistivity The release film for producing a green sheet obtained in each Example and each Comparative Example was cut into 100 mm × 100 mm, and this was used as a sample. After conditioning the sample for 24 hours under the conditions of 23 ° C. and 50% humidity, using “R12704 Resistivity Chamber” manufactured by Advantest and “Digital Electrometer R8252” manufactured by Advantest and complying with JIS K6911 (1995) Then, the resistivity of the surface on the release agent layer side was measured.

[2.2]剥離剤層の硬化性評価
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムについて、メチルエチルケトンを3ml含ませたウエス(小津産業社製,BEMCOT AP−2)によって剥離剤層の表面を荷重1kg/cmで往復10回研磨した後、剥離剤層の表面を目視で観察し、以下の判断基準で剥離剤層の硬化性を評価した。
[2.2] Curability evaluation of release agent layer About the release film for green sheet production obtained in each Example and each Comparative Example, a waste containing 3 ml of methyl ethyl ketone (BEMCOT AP-2, manufactured by Ozu Sangyo Co., Ltd.) After polishing the surface of the release agent layer 10 times with a load of 1 kg / cm 2 , the surface of the release agent layer was visually observed, and the curability of the release agent layer was evaluated according to the following criteria.

A…剥離剤層の溶解・脱落なし
B…剥離剤層の一部溶解が見られた
C…剥離剤層が完全に溶解し、基材から脱落した
A: No release / dissolution of the release agent layer B: Partial dissolution of the release agent layer was observed C: The release agent layer was completely dissolved and dropped from the substrate

[2.3]カール評価
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを200×200mmに裁断した後、基材がガラス板側となるように、グリーンシート製造用剥離フィルムを平坦なガラス板の上に載置した。次いで、100×100mmのガラス板をグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層上の中央に載置した後、下側のガラス板の上面から剥離フィルムの各角部頂点までの高さを測定し、以下の判断基準でカールを評価した。
[2.3] Curl Evaluation The release film for green sheet production obtained in each Example and each Comparative Example was cut into 200 × 200 mm, and then the release film for green sheet production was so that the substrate was on the glass plate side. Was placed on a flat glass plate. Next, after placing a 100 × 100 mm glass plate at the center on the release agent layer of the release film for green sheet production, the height from the upper surface of the lower glass plate to the corners of the release film was measured. The curl was evaluated according to the following criteria.

A…各角部の高さの総和が50mm未満
B…各角部の高さの総和が50mm以上、100mm未満
C…各角部の高さの総和が100mm以上
A: The sum of the heights of the corners is less than 50 mm B: The sum of the heights of the corners is less than 50 mm and less than 100 mm C: The sum of the heights of the corners is 100 mm or more

[2.4]ブロッキング性評価
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを、幅400mm、長さ5000mのロール状に巻き上げ、剥離フィルムロールを得た。この剥離フィルムロールを40℃、湿度50%以下の環境下に30日間保管し、剥離フィルムロールそのままの状態での外観を目視にて観察し、以下の判断基準でブロッキング性を評価した。
[2.4] Evaluation of blocking property The release film for producing green sheets obtained in each Example and each Comparative Example was wound up into a roll having a width of 400 mm and a length of 5000 m to obtain a release film roll. This release film roll was stored for 30 days in an environment of 40 ° C. and a humidity of 50% or less. The appearance of the release film roll as it was was visually observed, and the blocking property was evaluated according to the following criteria.

A…ロール状に巻き上げたときから変化がなかった(ブロッキング無し)
B…幅方向における半分以下の領域にて、フィルム同士の密着に起因する色目の変化が見られた(ブロッキング若干有り)
C…幅方向における過半の領域にわたって、フィルム同士の密着に起因する色目の変化が見られた(ブロッキング有り)
A: There was no change from when it was rolled up (no blocking)
B: Change in color due to adhesion between films was observed in an area of less than half in the width direction (some blocking)
C: Over the majority region in the width direction, a change in color due to adhesion between films was observed (with blocking)

[2.5]巻出し帯電量
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを、幅400mm、長さ5000mのロール状に巻き上げ、剥離フィルムロールを得た。この剥離フィルムロールを40℃、湿度50%以下の環境下に30日間保管した後、50m/minで巻き返す際の帯電量を春日電機社製「KSD−0103」を用いて測定した。帯電量は、巻出し直後100mmの箇所について、巻出し長さ500M毎に測定した。
[2.5] Unwinding charge amount The release film for producing a green sheet obtained in each example and each comparative example was wound up into a roll having a width of 400 mm and a length of 5000 m to obtain a release film roll. The release film roll was stored in an environment of 40 ° C. and a humidity of 50% or less for 30 days, and the amount of charge when it was rewound at 50 m / min was measured using “KSD-0103” manufactured by Kasuga Denki. The amount of charge was measured every 100 M of unwinding length at a location of 100 mm immediately after unwinding.

A:±5kV以下
B:±5〜10kV
C:±10kV超
A: ± 5 kV or less B: ± 5 to 10 kV
C: Over ± 10kV

[2.6]スラリー塗工性評価
チタン酸バリウム粉末(BaTiO;堺化学工業社製,BT−03)100質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール(積水化学工業社製,エスレックB・K BM−2)8質量部、および可塑剤としてのフタル酸ジオクチル(関東化学社製,フタル酸ジオクチル 鹿1級)4質量部に、トルエンおよびエタノールの混合液(質量比6:4)135質量部を加え、ボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。
[2.6] Slurry coating property evaluation 100 parts by mass of barium titanate powder (BaTiO 3 ; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., BT-03), polyvinyl butyral as a binder (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., ESREC B · K BM- 2) To 8 parts by mass and 4 parts by mass of dioctyl phthalate (manufactured by Kanto Chemical Co., Inc., dioctyl phthalate deer grade 1) as a plasticizer, 135 parts by mass of a mixed solution of toluene and ethanol (mass ratio 6: 4) was added. The ceramic slurry was prepared by mixing and dispersing in a ball mill.

各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層表面に、上記セラミックスラリーをダイコーターにて乾燥後の膜厚が1μmになるように、幅250mm、長さ10mにわたって塗工し、その後、乾燥機にて80℃で1分間乾燥させた。セラミックグリーンシートが成形されたグリーンシート製造用剥離フィルムについて、グリーンシート製造用剥離フィルム側から蛍光灯を照らして、塗工したすべてのセラミックグリーンシート面を目視で検査し、以下の判断基準でスラリー塗工性を評価した。結果を表1に示す。   250 mm in width and 10 m in length so that the film thickness after drying the ceramic slurry with a die coater is 1 μm on the surface of the release agent layer of the release film for green sheet production obtained in each Example and each Comparative Example. Then, it was dried at 80 ° C. for 1 minute in a dryer. For the green film manufacturing release film on which the ceramic green sheet was molded, illuminate the fluorescent lamp from the green sheet manufacturing release film side, visually inspect all coated ceramic green sheet surfaces, and slurry according to the following criteria The coatability was evaluated. The results are shown in Table 1.

A…セラミックグリーンシートにピンホールがなかった
B…セラミックグリーンシートに1〜5個のピンホールが発生した
C…セラミックグリーンシートに6個以上のピンホールが発生した
A: There were no pinholes in the ceramic green sheet B: 1-5 pinholes occurred in the ceramic green sheet C: Six or more pinholes occurred in the ceramic green sheet

[2.7]剥離性評価
前記[2.6]と同じ手順によりグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層表面に成形したセラミックグリーンシートを、グリーンシート製造用剥離フィルムを打ち抜かないようにして200mm×200mmに打ち抜いた。次いで、グリーンシート積層機のシート剥離機構を利用して、打ち抜かれたセラミックグリーンシートを、真空吸引ステージに吸着させ、グリーンシート製造用剥離フィルムから剥離した。このときのセラミックグリーンシートの剥離性を、以下の判断基準で評価した。
[2.7] Evaluation of releasability Ceramic green sheets formed on the surface of the release agent layer of the release film for green sheet production by the same procedure as in [2.6] above were not cut out of the release film for green sheet production. Punched to × 200 mm. Next, using the sheet peeling mechanism of the green sheet laminator, the punched ceramic green sheet was adsorbed on a vacuum suction stage and peeled from the release film for green sheet production. The peelability of the ceramic green sheet at this time was evaluated according to the following criteria.

A…セラミックグリーンシートが破れることなく、スムーズに剥離でき、剥離剤層上にセラミックグリーンシートが残らなかった
B…セラミックグリーンシートが破れることなく、ややスムーズさに欠けるものの剥離でき、剥離剤層上にセラミックグリーンシートが残らなかった
C…セラミックグリーンシートが破れるか、剥離できなかった
A: The ceramic green sheet can be peeled off smoothly without tearing, and the ceramic green sheet did not remain on the release agent layer. B: The ceramic green sheet could be peeled off slightly without being broken, and on the release agent layer. There was no ceramic green sheet left on the surface. C ... The ceramic green sheet was torn or could not be peeled off.

[2.8]剥離剤層表面の欠陥評価
ポリビニルブチラール樹脂をトルエンおよびエタノールの混合液(質量比6:4)にて溶解した塗工液を、各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層の上に、乾燥後の厚さが1μmとなるように塗布し、80℃で1分間乾燥させてポリビニルブチラール樹脂層を成形した。そして、そのポリビニルブチラール樹脂層の表面にポリエステルテープを貼付した。
[2.8] Evaluation of Defect on Surface of Release Agent Layer A coating solution prepared by dissolving polyvinyl butyral resin in a mixed solution of toluene and ethanol (mass ratio 6: 4) was obtained in each Example and each Comparative Example. On the release agent layer of the release film for sheet production, it was applied so that the thickness after drying was 1 μm, and dried at 80 ° C. for 1 minute to form a polyvinyl butyral resin layer. And the polyester tape was stuck on the surface of the polyvinyl butyral resin layer.

次いで、ポリエステルテープを使用して、グリーンシート製造用剥離フィルムをポリビニルブチラール樹脂層から剥離し、グリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層に接触していたポリビニルブチラール樹脂層の面における凹みを数えた。具体的には、光干渉式表面形状観察装置(Veeco社製,WYKO―1100)を使用して、PSIモードにて50倍率で観察し、得られた91.2×119.8μmの範囲における表面形状画像に基づいて、深さ150nm以上の凹みを数え、以下の判断基準で剥離剤層表面の欠陥評価を行った。なお、前述した剥離性評価の試験において、評価が「C」であったものについては、本試験を行うのに満足な試料を得ることができなかったため、本試験は行わなかった。   Next, using a polyester tape, the release film for green sheet production was peeled from the polyvinyl butyral resin layer, and the depressions on the surface of the polyvinyl butyral resin layer that had been in contact with the release agent layer of the release film for green sheet production were counted. . Specifically, using a light interference type surface shape observation device (Veeco, WYKO-1100), the surface in the range of 91.2 × 119.8 μm obtained by observing at 50 magnifications in the PSI mode. Based on the shape image, dents with a depth of 150 nm or more were counted, and defects on the surface of the release agent layer were evaluated according to the following criteria. In addition, in the above-described peelability evaluation test, for the case where the evaluation was “C”, a satisfactory sample for performing this test could not be obtained, so this test was not performed.

A…凹みの数が0個
B…凹みの数が1〜5個
C…凹みの数が6個以上
A: Number of dents is 0 B: Number of dents is 1-5 C: Number of dents is 6 or more

なお、上記のような凹みが存在するセラミックグリーンシートでコンデンサを製造した場合、得られるコンデンサは、耐電圧低下によるショートが発生し易いものとなる。
これらの結果を表2に示す。
In addition, when a capacitor | condenser is manufactured with the ceramic green sheet in which the above dents exist, the capacitor | condenser obtained becomes what becomes easy to generate | occur | produce a short circuit by a withstand voltage fall.
These results are shown in Table 2.

Figure 2014189007
Figure 2014189007

表2から明らかなように、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、その外表面の平滑性に優れたものであった。また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、帯電量が比較的低いものであり、ブロッキング性にも優れるものであった。また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、グリーンシートに対する剥離性に優れていた。また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムを用いて形成したグリーンシートには、ピンホールが確認されなかった。これに対して、比較例では満足な結果が得られなかった。   As is clear from Table 2, the release film for producing a green sheet of the present invention was excellent in the smoothness of the outer surface. The release film for producing a green sheet of the present invention has a relatively low charge amount and is excellent in blocking properties. In addition, the release film for producing a green sheet of the present invention was excellent in peelability from the green sheet. In addition, no pinholes were observed on the green sheet formed using the release film for producing the green sheet of the present invention. On the other hand, satisfactory results were not obtained in the comparative example.

1・・・グリーンシート製造用剥離フィルム
11・・・基材
111・・・基材の第1の面
112・・・基材の第2の面
12・・・剥離剤層
121・・・剥離剤層の外表面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Release film 11 for green sheet manufacture ... Base material 111 ... First surface 112 of base material ... Second surface of base material 12 ... Release agent layer 121 ... Release External surface of the agent layer

Claims (5)

グリーンシートの製造に用いられるグリーンシート製造用剥離フィルムであって、
第1の面と第2の面とを有する基材と、
前記基材の前記第1の面に設けられた剥離剤層とを有し、
前記剥離剤層は、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する活性エネルギー線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、カーボンナノ材料(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記第1の面側に塗布して形成された塗布層に、活性エネルギー線を照射することにより形成されており、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaが8nm以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さRpが50nm以下であることを特徴とするグリーンシート製造用剥離フィルム。
A release film for producing a green sheet used for producing a green sheet,
A substrate having a first surface and a second surface;
A release agent layer provided on the first surface of the substrate;
The release agent layer comprises an active energy ray-curable compound (A) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a (meth) acryloyl group, an alkenyl group and a maleimide group, and a polyorganosiloxane (B ) And a carbon nanomaterial (C) is applied to the coating layer formed by applying a release agent layer forming material on the first surface side and irradiated with active energy rays. ,
The arithmetic average roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface of the release agent layer is 50 nm or less. Release film.
前記剥離剤層の平均膜厚が、0.2〜2μmである請求項1に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   The release film for producing a green sheet according to claim 1, wherein an average film thickness of the release agent layer is 0.2 to 2 μm. 前記剥離剤層形成用材料における前記ポリオルガノシロキサン(B)の固形分換算の含有量が、0.5〜5質量%である請求項1または2に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   The release film for producing a green sheet according to claim 1 or 2, wherein the content of the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer forming material in terms of solid content is 0.5 to 5% by mass. 前記ポリオルガノシロキサン(B)は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、該分子鎖の末端および/または側鎖に、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種を有する反応性官能基が、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖中のケイ素原子と結合したものである請求項1ないし3のいずれか1項に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   The polyorganosiloxane (B) is a polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain, and has a (meth) acryloyl group, an alkenyl group, and a maleimide group at the terminal and / or side chain of the molecular chain. The reactive functional group having at least one selected from the group consisting of those bonded to a silicon atom in the molecular chain directly or via a divalent linking group. A release film for producing a green sheet according to item. 前記剥離剤層形成用材料における前記カーボンナノ材料(C)の固形分換算の含有量が、0.05〜10質量%である請求項1ないし4のいずれか1項に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。   5. The green sheet manufacturing method according to claim 1, wherein the carbon nanomaterial (C) in the release agent layer forming material has a solid content conversion content of 0.05 to 10% by mass. Release film.
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