JP2019116013A - Release film for manufacturing ceramic green sheet - Google Patents

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Abstract

To provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet capable of molding the ceramic green sheet less in defect even with ultra thin layer article with thickness of 1 μm or less by providing a release layer excellent in solvent resistance, small in hardening shrinkage, low in peel force and uniform, while maintaining high smoothness of a release layer surface of the release film.SOLUTION: There is provided a release film for manufacturing a ceramic green sheet having a release layer on at least a single surface of a polyester film, in which area surface average roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm or less, and the release layer is manufactured by curing a composition containing a radical curable material (a) having one or more kind of radial curable functional group selected from a (meth)acryloyl group and an alkenyl group, a thiol group-containing compound (b), a mold releasing agent (c), and a radical initiator (d).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホールや厚みムラなどの工程不良の発生を抑制し得るセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。   The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet, and more particularly, a release for producing a ceramic green sheet capable of suppressing the occurrence of process defects such as pinholes and thickness unevenness at the time of producing an ultrathin ceramic green sheet. It relates to film.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とポリビニルアセタール樹脂などのバインダー樹脂を含有したスラリーを、離型フィルム上に塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシート上に電極を印刷し離型フィルムから剥離した後、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。これまで、ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が、成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点を生じやすくなるといった問題点があった。そのため、平坦性に優れた離型層表面を実現するための手法が開発されてきた(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a release film having a polyester film as a base material and a release layer laminated thereon is used for forming a ceramic green sheet such as a multilayer ceramic capacitor, a ceramic substrate or the like. In recent years, the thickness of ceramic green sheets tends to be thinner along with the miniaturization and the increase in capacity of multilayer ceramic capacitors. The ceramic green sheet is molded by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin such as a polyvinyl acetal resin on a release film and drying. After printing the electrode on the molded ceramic green sheet and peeling it from the release film, the ceramic green sheet is laminated, pressed, fired, and an external electrode is applied to manufacture a laminated ceramic capacitor. So far, when molding a ceramic green sheet on the surface of the release layer of polyester film, the minute projections on the surface of the release layer affect the formed ceramic green sheet, and defects such as repelling and pinholes tend to occur. There was a problem such as Therefore, a method for realizing a release layer surface excellent in flatness has been developed (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm〜1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、より平滑な離型層表面を持つ離型フィルムが望まれている。加えて、薄膜化に伴いセラミックグリーンシートの強度が低下するため、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一に行うことも望まれている。すなわち、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることがより重要になってきている。   However, in recent years, the thickness of ceramic green sheets has been further reduced, and ceramic green sheets having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically 0.2 μm to 1.0 μm, have been required. Therefore, a release film having a smoother release layer surface is desired. In addition, since the strength of the ceramic green sheet is reduced as the film thickness is reduced, it is also desired to perform peeling force uniformly and low when peeling the ceramic green sheet from the release film. That is, it has become more important to minimize the force applied to the ceramic green sheet when peeling the ceramic green sheet from the release film and to prevent the ceramic green sheet from being damaged.

近年になって、離型層として、活性エネルギー線照射下で反応するラジカル硬化性物質とシリコーン系成分を含む組成物の硬化物を用いることで、離型層の表面が平滑になることが見出された。また、離型層の弾性率を高めることで、セラミックグリーンシートを剥離する際に、離型層が変形しづらくなり、セラミックグリーンシートに追随しづらくなるために、剥離性にも優れることが見出された(例えば、特許文献2、3参照)。   In recent years, it has been found that the surface of the release layer becomes smooth by using a cured product of a composition containing a radical curable substance that reacts under active energy ray irradiation and a silicone component as the release layer. It was issued. In addition, when the ceramic green sheet is peeled off by increasing the elastic modulus of the mold release layer, the mold release layer is less likely to be deformed and it becomes difficult to follow the ceramic green sheet, so that it is also excellent in peelability. (See, for example, Patent Documents 2 and 3).

しかしながら、特許文献2、3に記載された方法によると、ラジカル重合反応ゆえに酸素阻害の影響を受けてしまい、硬化不良が生じてしまうおそれがあった。特に離型層表面に偏析しているシリコーン成分が酸素阻害の影響を受けやすく、ラジカル重合性官能基を有するシリコーン成分を用いる場合には、離型層表面の硬化性が悪化するおそれがあった。その結果、セラミックシート加工や電極印刷時に用いる有機溶剤によって離型層が浸食され、重剥離化や剥離均一性の低下を引き起こし、剥離時にセラミックグリーンシートに欠陥を与えてしまうおそれがあった。   However, according to the methods described in Patent Documents 2 and 3, there is a possibility that curing failure may occur due to the influence of oxygen inhibition due to the radical polymerization reaction. The silicone component segregated on the surface of the release layer is particularly susceptible to oxygen inhibition, and when using a silicone component having a radically polymerizable functional group, the curability of the surface of the release layer may be deteriorated. . As a result, the organic solvent used at the time of ceramic sheet processing or electrode printing corrodes the mold release layer, causing heavy peeling and deterioration of peeling uniformity, and there was a possibility of giving a defect to the ceramic green sheet at the time of peeling.

一般的に、不活性ガス雰囲気下でラジカル重合を行うことで、酸素阻害による硬化不良を防ぐことができるが、この場合、特殊な設備の導入が必要であり、また加工速度に制限がかかってしまうため、生産性が悪くコスト面で問題があった。大気中下において製造する際には、酸素阻害による硬化不良を防ぐために、十分な離型層の膜厚を確保する必要があるが、ラジカル硬化性物質は硬化収縮が大きいために、離型層の膜厚が厚いと離型フィルムにカールが発生しやすくなる問題があった。その結果、セラミックグリーンシート成型後の電極印刷の精度が低下するおそれがあり、カールの少ない離型フィルムが求められていた。一方で、カールを抑制するために離型層の膜厚を薄くすると、酸素阻害による硬化不良を起こしやすくなり、離型層の耐溶剤性が悪化して、重剥離化を引き起こすおそれがあった。 Generally, by performing radical polymerization under an inert gas atmosphere, curing failure due to oxygen inhibition can be prevented, but in this case, it is necessary to introduce special equipment and the processing speed is limited. As a result, productivity is poor and there is a problem in cost. When manufacturing under the atmosphere, it is necessary to secure a sufficient film thickness of the release layer in order to prevent curing failure due to oxygen inhibition, but since the radical curing substance has a large cure shrinkage, the release layer When the film thickness of the above was thick, there was a problem that the release film was likely to be curled. As a result, there is a possibility that the precision of electrode printing after ceramic green sheet molding may fall, and a release film with few curls was called for. On the other hand, if the film thickness of the release layer is reduced to suppress curling, curing failure due to oxygen inhibition is likely to occur, and the solvent resistance of the release layer may be deteriorated to cause heavy peeling. .

すなわち、大気中下で活性エネルギー線照射によって反応する光ラジカル硬化性物質を用いて、離型層を膜厚を薄く、具体的には0.5μm以下、さらには0.3μm以下で硬化させた場合には、酸素阻害の影響でラジカル硬化反応が効率的に進行しないために、硬化不良を引き起こし、剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがあった。   That is, using a photo-radical curable substance that reacts by active energy ray irradiation in the air, the thickness of the release layer is made thin, specifically 0.5 μm or less, or 0.3 μm or less. In this case, the radical curing reaction does not proceed efficiently due to the influence of oxygen inhibition, which may cause curing failure and damage the ceramic green sheet at the time of peeling.

特開2000−117899号公報JP 2000-117899 A 国際公開第2013/145864号International Publication No. 2013/145864 国際公開第2013/145865号International Publication No. 2013/145865

本発明は、かかる従来技術の課題を背景になされたものである。すなわち、本発明の目的は、離型フィルムの離型層表面の高い平滑性を維持しつつ、耐溶剤性に優れ、硬化収縮が小さく、剥離力が低く均一である離型層を提供することで、厚みが1μm以下の超薄層品でも欠陥が少ないセラミックグリーンシートを成型できるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。   The present invention has been made on the background of the problems of the prior art. That is, an object of the present invention is to provide a release layer which is excellent in solvent resistance, small in cure shrinkage, low in peeling force and uniform while maintaining high smoothness of the release layer surface of the release film. It is an object of the present invention to provide a release film for producing a ceramic green sheet capable of forming a ceramic green sheet having few defects even with an ultrathin layer product having a thickness of 1 μm or less.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、前記離型層が(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. チオール基含有化合物(b)が、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有していない上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. チオール基含有化合物(b)が、1分子内に2つ以上のチオール基を持つ化合物である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 離型層表面のジヨードメタン接触角θと前記離型フィルムをトルエン浸漬した後の離型層表面のジヨードメタン接触角θの差(θ1−θ)が絶対値として3.0°以下である上記第1〜第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
5. 離型剤(c)が、シリコーン成分を含有する化合物である上記第1〜第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
6. 離型剤(c)が、分子内にフッ素原子を含む化合物である上記第1〜第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
7. チオール基含有化合物(b)の含有量が、離型層を形成する組成物の質量総和に対して1〜30質量%である上記第1〜第6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
8. ポリエステルフィルムが、無機粒子を実質的に含有していない表面層A及び無機粒子を含有する反対側の表面層Bを有し、表面層A上に離型層が設けられており、前記表面層Bが含有する無機粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、無機粒子の合計が表面層B中に5000〜15000ppm含有されている上記第1〜第7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
9. 離型層の膜厚が0.01μm以上、0.5μm以下の範囲である上記第1〜第8のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
10. (メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を大気中で硬化させて離型層を形成する上記第1〜第9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの製造方法。
11. 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、上記第1〜第9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法
12. 上記第11に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention has the following constitution.
1. A release film provided with a release layer on at least one side of a polyester film, wherein the area average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm or less, and the release layer has a (meth) acryloyl group and Composition containing a radical curable substance (a) having at least one radical curable functional group selected from alkenyl groups, a thiol group-containing compound (b), a mold release agent (c) and a radical initiator (d) A release film for producing a ceramic green sheet in which a product is cured.
2. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first above, wherein the thiol group-containing compound (b) does not have a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group.
3. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first or the second, wherein the thiol group-containing compound (b) is a compound having two or more thiol groups in one molecule.
4. The difference (θ 12 ) between diiodomethane contact angle θ 1 on the release layer surface and diiodomethane contact angle θ 2 on the release layer surface after immersion of the release film in toluene is 3.0 ° or less as an absolute value The mold release film for ceramic green sheet manufacture in any one of said 1st-3rd.
5. The mold release film for ceramic green sheet manufacture in any one of said 1st-4th whose mold release agent (c) is a compound containing a silicone component.
6. The mold release film for ceramic green sheet manufacture in any one of said 1st-4th whose mold release agent (c) is a compound which contains a fluorine atom in a molecule | numerator.
7. For the production of the ceramic green sheet according to any one of the above first to sixth, wherein the content of the thiol group-containing compound (b) is 1 to 30% by mass with respect to the total mass of the composition forming the release layer. Release film.
8. The polyester film has a surface layer A substantially free of inorganic particles and an opposite surface layer B containing inorganic particles, and a release layer is provided on the surface layer A, the surface layer The ceramic green sheet according to any one of the above 1 to 7, wherein the inorganic particles contained in B are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total of the inorganic particles is contained in an amount of 5000 to 15000 ppm in the surface layer B. Release film for manufacturing.
9. The release film for ceramic green sheet manufacture in any one of said 1st-8th whose film thickness of a release layer is the range of 0.01 micrometer or more and 0.5 micrometer or less.
10. Radical curable substance (a) having at least one radical curable functional group selected from (meth) acryloyl group and alkenyl group, thiol group-containing compound (b), mold release agent (c), radical initiator ( The method for producing a release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above 1 to 9, wherein the composition containing d) is cured in the atmosphere to form a release layer.
11. A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm, which is a method for producing a ceramic green sheet using the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to ninth aspects. . The manufacturing method of the ceramic capacitor which employ | adopts the manufacturing method of the ceramic green sheet as described in said 11th.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、ラジカル硬化性物質特有の問題である酸素阻害を抑制し、離型層表面の硬化性を高めることができるため、耐溶剤性と剥離性に優れた離型フィルムを提供することができる。また、硬化収縮を小さくすることができるため、カールの発生が抑制され、セラミックグリーンシートの厚みムラの発生や電極印刷精度が低下するおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供することができる。   The release film for producing a ceramic green sheet according to the present invention can suppress oxygen inhibition, which is a problem unique to radical curable substances, and can enhance the curability of the surface of the release layer, so it is excellent in solvent resistance and releasability. It is possible to provide a mold release film. In addition, since the cure shrinkage can be reduced, the occurrence of curling is suppressed, and there is provided a release film for producing a ceramic green sheet without the risk of occurrence of unevenness in thickness of the ceramic green sheet and reduction in electrode printing accuracy. it can.

本発明者らは、2軸配向ポリエステルフィルムの少なくとも片面に直接又は他の層を介して離型層を設け、離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)を7nm以下とし、離型層の構成をラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を硬化させたものとすることで、大気中下でも離型層の膜厚を薄くすることができ、カールの発生がない離型フィルムを提供できることを見出した。以下、本発明について詳細に説明する。   The present inventors provide a release layer on at least one surface of a biaxially oriented polyester film directly or through another layer, and the area average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm or less, and the release layer Under the atmosphere by curing the composition containing the radical curable substance (a), the thiol group-containing compound (b), the mold release agent (c) and the radical initiator (d). However, it has been found that the film thickness of the release layer can be reduced and a release film free from curling can be provided. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

(ポリエステルフィルム)
本発明の基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成型したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン?2,6?ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film to be used as the substrate of the present invention is not particularly limited, and those obtained by film-forming polyester generally used as a substrate for release film can be used, but It may be a crystalline linear saturated polyester comprising an aromatic dibasic acid component and a diol component, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene 2,6 naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate or resins thereof. Copolymers having a component as a main component are more preferred, and polyester films formed from polyethylene terephthalate are particularly preferred. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and small amounts of other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized, but from the viewpoint of cost And those produced solely from terephthalic acid and ethylene glycol. In addition, known additives, for example, an antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet light absorber, a crystallizing agent and the like may be added within a range not to inhibit the effect of the film of the present invention. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film for reasons such as the height of the elastic modulus in both directions.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料は十分に真空乾燥することが好ましい。   The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, and more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, a large number of fractures do not occur in the stretching step, which is preferable. On the contrary, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because the cutting property when cutting into a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. In addition, it is preferable that the raw material be sufficiently vacuum dried.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。   The method for producing the polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be melted by an extruder, extruded into a film, cooled by a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and obtained by biaxially stretching the unstretched film. A biaxially stretched film can be obtained by sequentially biaxially stretching a longitudinally or transversely uniaxially stretched film in the transverse direction or longitudinal direction, or by simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal direction and transverse direction. It can.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。   In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably at least the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in the longitudinal and transverse directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15〜38μmであり、より好ましくは、19〜33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や加工工程、成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。   The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 μm, more preferably 15 to 38 μm, and still more preferably 19 to 33 μm. If the thickness of the film is 12 μm or more, there is no risk of deformation due to heat at the time of film production, processing steps, and molding, which is preferable. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use is not extremely large, which is preferable in reducing the environmental load.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であったも構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有する積層フィルムであることが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、無機粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層をA層、その反対面の層をB層、これら以外の芯層をC層とすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながらC層は複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには無機粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には少なくとも無機粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。   The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a laminated film having a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side. . In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing inorganic particles and the like on the opposite surface of the surface layer A substantially not containing inorganic particles. Assuming that the layer to which the release layer is applied is layer A, the layer on the opposite side is layer B, and the core layer other than these layers is layer C, the layer configuration in the thickness direction is release layer / A /. B, or a laminated structure of release layer / A / C / B or the like. Naturally, the C layer may have a plurality of layer configurations. The surface layer B can also contain no inorganic particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer containing at least inorganic particles and a binder on the surface layer B in order to impart slipperiness for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、無機粒子が、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。   In the polyester film substrate in the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface to which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area average surface roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. It is preferable that occurrence of pinholes and the like does not easily occur at the time of molding of the laminated ultrathin ceramic green sheet that Sa is 7 nm or less. The area average surface roughness (Sa) of the surface layer A is preferably as small as possible, but may be 0.1 nm or more. Here, when providing the below-mentioned anchor coat layer etc. on surface layer A, it is preferable that an inorganic particle is not included in a coat layer substantially, and the field surface average roughness (Sa) after coat layer lamination is the above-mentioned range Is preferred. In the present invention, "substantially free of inorganic particles" means that the inorganic particles are 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, most preferably the detection limit or less when the inorganic element is quantified by fluorescent X-ray analysis. It means the content. This is because, even if the inorganic particles are not positively added to the film, contamination components derived from extraneous foreign matter, stains attached to the lines and devices in the manufacturing process of the raw material resin or the film are peeled off and mixed in the film. It is because there is a case.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、無機粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される無機粒子含有量は、表面層B中に無機粒子の合計で5000〜15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。   In the polyester film substrate according to the present invention, the surface layer B forming the opposite surface of the surface to which the release layer is applied preferably contains inorganic particles from the viewpoint of film slipperiness and ease of removal of air, In particular, silica particles and / or calcium carbonate particles are preferably used. It is preferable that the inorganic particle content to be contained is 5000 to 15000 ppm in total of the inorganic particles in the surface layer B. At this time, it is preferable that the area | region surface average roughness (Sa) of the film of surface layer B is the range of 1-40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total amount of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, air can be uniformly released when the film is rolled up, and the winding appearance is good and flatness is good. And ultra-thin ceramic green sheets. In addition, when the total of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, aggregation of the lubricant is difficult to occur and coarse projections can not be made, so the quality is stable at the time of manufacturing ceramic green sheet of ultrathin layer. Preferred.

上記B層に含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子なども用いることができるが、透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましい。また、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ?シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。   In addition to silica and / or calcium carbonate, inactive inorganic particles and / or heat-resistant organic particles can be used as the particles contained in the above-mentioned B layer, but from the viewpoint of transparency and cost, silica particles and / or More preferably, calcium carbonate particles are used. Moreover, as inorganic particles which can be used, alumina-silica composite oxide particles, hydroxyapatite particles and the like can be mentioned. Further, as the heat resistant organic particles, crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, benzoguanamine particles and the like can be mentioned. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate which has been surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the slippage of the lubricant. .

上記表面層Bに添加する無機粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。無機粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。   The average particle diameter of the inorganic particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm to 2.0 μm and particularly preferably 0.5 μm to 1.0 μm. If the average particle diameter of the inorganic particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. In addition, if the average particle diameter is 2.0 μm or less, there is no possibility that pinholes occur in the ceramic green sheet due to the coarse particles on the surface of the release layer, which is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。   The surface layer B may contain two or more kinds of particles different in material. Further, particles of the same type but different in average particle diameter may be contained.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。   In the case where the surface layer B does not contain particles, it is preferable that the coat layer containing the particles on the surface layer B have lubricity. The present coating layer is not particularly limited, but is preferably provided by in-line coating which is applied during film formation of a polyester film. When the surface layer B does not contain particles but has a coat layer containing particles on the surface layer B, the surface of the coat layer is an area for the same reason as the area average roughness (Sa) of the above-mentioned surface layer B. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの無機粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。   In order to prevent the mixing of inorganic particles such as a lubricant, it is preferable not to use a regeneration raw material or the like from the viewpoint of reducing pinholes in the surface layer A which is the layer on the side where the release layer is provided.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さく好ましい。   It is preferable that the thickness ratio of surface layer A which is a layer at the side which provides the said mold release layer is 20% or more and 50% or less of the total layer thickness of a base film. If it is 20% or more, the influence of particles contained in the surface layer B or the like is not easily received from the inside of the film, and the area surface average roughness Sa easily meets the above range, which is preferable. The use ratio of the reproduction | regeneration raw material in surface layer B can be increased as it is 50% or less of the thickness of the whole layer of a base film, an environmental impact is small and preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、B層に含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。   Further, from the viewpoint of economy, 50 to 90% by mass of film scraps and recycled materials for plastic bottles can be used for the layers other than the surface layer A (surface layer B or the above-mentioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the layer B, the particle size, and the area surface average roughness (Sa) satisfy the above range.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。   In addition, a film after stretching or uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve adhesion of a release layer applied later or to prevent charging etc. May be provided with a coating layer, or may be subjected to corona treatment or the like.

(離型層)
本発明における離型層は、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を硬化させてなることが好ましい。本発明の機能を損なわない範囲で、前記樹脂や添加剤以外にも添加することができる。ここで、本発明においてラジカル硬化性物質(a)やチオール基含有化合物(b)は、塗布層中で硬化された後の状態では、化合物の構造が変化していると考えられるが、変化した構造そのものを正確に表現し記載することは極めて困難であるため、前記のように「離型層が(メタ)アクリロイルおよびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物が硬化されてなる」と表現している。
(Release layer)
The release layer in the present invention is a radical curable substance (a) having a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group, a thiol group-containing compound (b), a release agent (c), It is preferable to cure the composition containing the radical initiator (d). It can be added in addition to the resin and the additives as long as the function of the present invention is not impaired. Here, in the present invention, the radical curable substance (a) and the thiol group-containing compound (b) are considered to have changed in the structure of the compound after being cured in the coating layer, but changed As it is extremely difficult to accurately express and describe the structure itself, as described above, a “radically curable substance having a radically curable functional group selected from a (meth) acryloyl and an alkenyl group (a releasing layer (a ), The composition containing the thiol group-containing compound (b), the releasing agent (c) and the radical initiator (d) is cured.

(ラジカル硬化性物質(a))
ラジカル硬化性物質(a)は、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有していることが好ましく、1種類でも2種類以上のラジカル硬化性官能基を有する物質を用いても構わない。ラジカル硬化は、反応速度が非常に早いため、ラジカル開始剤の開裂と同時に瞬時に重合反応が進行し、架橋密度の高い塗膜を形成することできる。離型層の架橋密度を高めることで離型層を高弾性率化でき、セラミックグリーンシート剥離時に離型層が変形しづらくなり、低い剥離力で均一にセラミックグリーンシートを剥離できるため好ましい。なお、本発明におけるアルケニル基とは、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基などの炭素数が2〜10のものをさす。
(Radical curable substance (a))
The radical curable substance (a) preferably has a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group, and at least one type has two or more radical curable functional groups. You may use. In radical curing, since the reaction rate is very fast, the polymerization reaction proceeds instantaneously simultaneously with the cleavage of the radical initiator, and a coating film with a high crosslink density can be formed. By increasing the crosslink density of the release layer, the release layer can be made to have a high elastic modulus, deformation of the release layer is difficult at the time of peeling of the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet can be peeled uniformly with low peeling force. The term "alkenyl group" as used in the present invention refers to an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, such as a vinyl group, an allyl group, a propenyl group and a hexenyl group.

ラジカル硬化性官能基数としては、3つ以上であることが架橋密度を高めるという観点から好ましく、6つ以上であることがより好ましく、9つ以上であることがさらに好ましい。官能基数に特に上限はないが、20以下であることが好ましい。20以下とすることで、分子間の架橋反応よりも分子内反応が進行しやすくなり、効率的に離型層の弾性率向上の効果が得られて好ましい。   The number of radically curable functional groups is preferably 3 or more from the viewpoint of increasing the crosslinking density, more preferably 6 or more, and still more preferably 9 or more. There is no particular upper limit to the number of functional groups, but it is preferably 20 or less. By setting the ratio to 20 or less, the intramolecular reaction is more likely to progress than the crosslinking reaction between molecules, and the effect of improving the elastic modulus of the releasing layer can be obtained efficiently, which is preferable.

ラジカル硬化性物質としては、アクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレート、アクリルアミド、アリル化合物、メタリル化合物、マレイミド化合物などが挙げられるが、
反応性の観点からアクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレート、アリル化合物、メタリル化合物が好ましく、アクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレートが最も好ましい。アクリレートやメタクリレートは硬化収縮が比較的大きいが、本発明おいては、膜厚を薄くすることができるためにカール等の外観不良が発生するおそれがなく、好適に用いることができる。カールという観点では、ウレタンアクリレートが硬化収縮が小さく最も好適である。
Examples of radical curable substances include acrylates, methacrylates, urethane acrylates, acrylamides, allyl compounds, methallyl compounds and maleimide compounds.
From the viewpoint of reactivity, acrylates, methacrylates, urethane acrylates, allyl compounds and methallyl compounds are preferable, and acrylates, methacrylates and urethane acrylates are most preferable. Although acrylates and methacrylates have a relatively large cure shrinkage, in the present invention, since the film thickness can be reduced, appearance defects such as curling may not occur, and they can be suitably used. From the viewpoint of curling, urethane acrylate is most suitable because of its small cure shrinkage.

用いるラジカル硬化性物質は、モノマーでもオリゴマーでもポリマーでも良いが、有機溶媒への溶解性や、取扱い性の観点からモノマーまたはオリゴマーを用いることが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The radical curable substance to be used may be a monomer, an oligomer or a polymer, but it is preferable to use a monomer or an oligomer from the viewpoint of solubility in organic solvents and handleability. These may be used alone or in combination of two or more.

(メタ)アクリレートとしてモノマーを用いる際は、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   When a monomer is used as (meth) acrylate, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol Examples include tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ethoxylated isocyanurate tri (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and the like.

(メタ)アクリレートとしてオリゴマーを用いる際は、例えば、多官能(メタ)アクリレートオリゴマー、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、シリコーンアクリレート系オリゴマー等が挙げられる。   When an oligomer is used as the (meth) acrylate, for example, polyfunctional (meth) acrylate oligomers, polyester acrylate oligomers, epoxy acrylate oligomers, polyether acrylate oligomers, polybutadiene acrylate oligomers, silicone acrylate oligomers, etc. may be mentioned. .

本発明で用いるウレタンアクリレートとは、分子鎖中にウレタン結合と、アクリロイル基及びメタクリロイル基より選択される1種以上のラジカル硬化性官能基を有するものをいう。合成方法は特に限定されないが、例えば、多価アルコール及び有機ポリイソシアネートとヒドロキシアクリレートとの反応によって得ることができる。   The urethane acrylate used in the present invention refers to one having a urethane bond and at least one radically curable functional group selected from an acryloyl group and a methacryloyl group in a molecular chain. The synthesis method is not particularly limited, but can be obtained, for example, by the reaction of a polyhydric alcohol and an organic polyisocyanate with a hydroxy acrylate.

上記多価アルコールとしては、例えば、ネオペンチルグリコール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、トリシクロデカンジメチロール、ビス−[ヒドロキシメチル]−シクロヘキサン等;上記多価アルコールと多塩基酸(例えば、コハク酸、フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テレフタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、テトラヒドロ無水フタル酸等)との反応によって得られるポリエステルポリオール;上記多価アルコールとε−カプロラクトンとの反応によって得られるポリカプロラクトンポリオール;ポリカーボネートポリオール(例えば、1,6−ヘキサンジオールとジフェニルカーボネートとの反応によって得られるポリカーボネートジオール等);及び、ポリエーテルポリオールを挙げられる。上記ポリエーテルポリオールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、エチレンオキサイド変性ビスフェノールA等を挙げられる。   Examples of the polyhydric alcohol include neopentyl glycol, 3-methyl-1,5-pentanediol, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, trimethylolpropane and pentaerythritol. Tricyclodecanedimethylol, bis- [hydroxymethyl] -cyclohexane, etc .; the above polyhydric alcohols and polybasic acids (eg, succinic acid, phthalic acid, hexahydrophthalic anhydride, terephthalic acid, adipic acid, azelaic acid, tetrahydroanhydride) Polyester polyols obtained by the reaction with phthalic acid, etc .; polycaprolactone polyols obtained by the reaction of the above polyhydric alcohol with ε-caprolactone; polycarbonate polyols (eg, 1,6-hexanediol) Polycarbonate diols obtained by the reaction of phenyl carbonate); and, like the polyether polyol. Examples of the polyether polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, ethylene oxide modified bisphenol A and the like.

上記有機ポリイソシアネートとしては、例えばイソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、ジシクロペンタニルイソシアネート等のイソシアネート化合物、これらイソシアネート化合物の付加体、或いはこれらイソシアネートの多量体等が挙げられる。   Examples of the organic polyisocyanate include isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, xylene diisocyanate, isocyanate compounds such as diphenylmethane-4,4'-diisocyanate and dicyclopentanyl isocyanate, adducts of these isocyanate compounds, or these The polymer of isocyanate etc. are mentioned.

上記ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ジメチロールシクロヘキシルモノ(メタ)アクリレート、ヒドロキシカプロラクトン(メタ)アクリレート等が挙げられる。中でも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートであることが硬度の面から好ましい。   Examples of the above-mentioned hydroxy (meth) acrylate compound include pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) And the like) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, dimethylol cyclohexyl mono (meth) acrylate, hydroxycaprolactone (meth) acrylate and the like. Among them, pentaerythritol tri (meth) acrylate and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferable from the viewpoint of hardness.

本発明に使用するウレタンアクリレートは市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、日本合成化学工業社製:UV1700B(10官能)、UV7620EA(9官能)、UV7610B(9官能)、UV7600B(6官能)、UV7650B(5官能)、日本化薬社製:DPHA40H(10官能)、UX5003(6官能)、荒川化学工業社製:ビームセット577(6官能)、大成ファインケミカル社製:8UX−015A(15官能)及び、新中村化学工業社製:U15HA(15官能)等を挙げることができる。   As the urethane acrylate used in the present invention, commercially available ones can also be used. Examples of commercially available products include: Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd .: UV 1700 B (10 functions), UV 7620 EA (9 functions), UV 7610 B (9 functions), UV 7600 B (6 functions), UV 7650 B (5 functions), Nippon Kayaku Co., Ltd .: DPHA 40 H (10 functions), UX 5003 (6 functions), manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd .: Beam set 577 (6 functions), manufactured by Taisei Fine Chemicals: 8UX-015A (15 functions), and Shin Nakamura Chemical Industries, Ltd .: U15 HA (15 Sensuality) etc. can be mentioned.

本発明の離型層に用いるアルケニル基を有する化合物は、特に限定されず一般的なものを好適に用いることができる。市販されているものの例としては、日本化成社製:TAIC(登録商標)トリアリルイソシアヌレート(3官能)、四国化成社製:LDAIC(2官能)、TA−G(4官能)、DD−1(4官能)などが挙げられる。   The compound having an alkenyl group to be used for the release layer of the present invention is not particularly limited, and general compounds can be suitably used. As an example of what is marketed, the Nippon Chemical Industries Co., Ltd. product: TAIC (registered trademark) triallyl isocyanurate (trifunctional), the Shikoku Kasei Co., Ltd. product: LDAIC (bifunctional), TA-G (tetrafunctional), DD-1 (4 functions) etc. are mentioned.

(チオール基含有化合物(b))
本発明における離型層は、チオール基含有化合物を含むことが好ましい。チオール基含有化合物はラジカル重合反応の硬化促進剤として働くため、酸素阻害の影響を受けづらく、大気中下においても優れた反応性を示す。そのため、離型層表面の硬化性を高め、耐溶剤性を向上させることができるため好ましい。また、酸素阻害が抑制されるため、離型層を薄膜にしても、耐溶剤性の悪化や、剥離不良を起こすことがないため好ましい。さらに、チオール基含有化合物は、ラジカル硬化性官能基と付加重合反応が進行するため、ラジカル硬化性物質の架橋構造に組み込まれ、チオール基含有化合物由来の柔軟構造が硬化物に導入される。このため、離型層の膜厚が厚くても、ラジカル硬化性物質特有の問題である硬化収縮が抑えられ、セラミックグリーンシート成型時に、セラミックグリーンシートの厚みムラの発生や、電極印刷精度の低下を引き起こすおそれがなく好ましい。
(Thiol group-containing compound (b))
The release layer in the present invention preferably contains a thiol group-containing compound. Since the thiol group-containing compound acts as a curing accelerator for radical polymerization reaction, it is less susceptible to oxygen inhibition and exhibits excellent reactivity even in the atmosphere. Therefore, it is preferable because the curability of the surface of the release layer can be increased and the solvent resistance can be improved. Moreover, since oxygen inhibition is suppressed, even if the release layer is made thin, it is preferable because solvent resistance does not deteriorate and peeling does not occur. Furthermore, the addition of a thiol group-containing compound proceeds with a radical curable functional group, so that the compound is incorporated into the cross-linked structure of the radical curable substance, and a flexible structure derived from the thiol group-containing compound is introduced into the cured product. For this reason, even if the film thickness of the release layer is large, the curing shrinkage which is a problem unique to radical curable substances is suppressed, and the thickness unevenness of the ceramic green sheet occurs during the formation of the ceramic green sheet, and the electrode printing accuracy is lowered. There is no risk of causing

ラジカル硬化性物質を含む塗膜を大気中下で硬化させる際には、酸素阻害によって表面に水酸基やカルボキシル基といった極性基が形成されるため、セラミックスラリーの濡れ性が向上する。不活性ガス雰囲気下でラジカル硬化性物質を含む塗膜を硬化させた場合には、酸素阻害抑制効果が大きく、表面の硬化性を高めることができるが、一方で、セラミックスラリーの濡れ性が悪くなり、成型したセラミックグリーンシートにハジキやピンホールが発生しやすくなるという問題があった。チオール基含有化合物は、表面硬度の向上と酸素阻害による濡れ性向上の相反する2つの効果を共に発現させることができるため好ましい。   When a coating film containing a radically curable substance is cured in the air, since the polar groups such as hydroxyl groups and carboxyl groups are formed on the surface by oxygen inhibition, the wettability of the ceramic slurry is improved. When a coating film containing a radically curable substance is cured in an inert gas atmosphere, the effect of inhibiting oxygen inhibition is large and the surface curability can be enhanced, but on the other hand, the wettability of the ceramic slurry is poor. As a result, there is a problem that repelling and pinholes are easily generated in the molded ceramic green sheet. The thiol group-containing compound is preferable because it can simultaneously exhibit two contradictory effects of improvement of surface hardness and improvement of wettability by oxygen inhibition.

さらにチオール基含有化合物を含む硬化物からなる離型層とすることで、S原子が離型層に導入されるため、成型したセラミックグリーンシートとの親和性が向上する。このため、搬送中にセラミックグリーンシートが浮きづらくなり、不良の発生を抑制することができるため好ましい。   Further, by forming a release layer composed of a cured product containing a thiol group-containing compound, S atoms are introduced into the release layer, so that the affinity with the molded ceramic green sheet is improved. Therefore, the ceramic green sheet is less likely to float during conveyance, and generation of defects can be suppressed, which is preferable.

チオール基含有化合物は、特に限定されず一般的なものが用いられるが、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を含んでいないことが好ましい。前記ラジカル硬化性官能基を有していないチオール基含有化合物を用いることで、硬化促進剤として働くチオール基よりも同分子内にあるラジカル硬化性官能基同士が優先的に反応してしまい、酸素阻害抑制の効果を得られなくなるおそれがなく好ましい。なお、本発明におけるチオール基含有化合物とは、水素化された硫黄原子を末端に持つ有機化合物のことを指し、チオアルコールと呼ばれる化合物と同義である。また、チオール基とはメルカプト基、スルフヒドリル基と呼ばれることもある。   The thiol group-containing compound is not particularly limited and general ones are used, but it is preferable that the compound does not contain a radically curable functional group selected from (meth) acryloyl group and alkenyl group. By using the thiol group-containing compound not having a radical curable functional group, radical curable functional groups in the same molecule preferentially react with each other than a thiol group acting as a curing accelerator, and oxygen There is no fear that the inhibitory effect can not be obtained, which is preferable. The term "thiol group-containing compound" as used in the present invention refers to an organic compound having a hydrogenated sulfur atom at its terminal, and is synonymous with a compound called thioalcohol. Moreover, a thiol group may be called a mercapto group and a sulfhydryl group.

チオール基含有化合物の官能基数としては、2つ以上であることが好ましく、3つ以上であることがより好ましく、4つ以上であることが最も好ましい。官能基数が2つ以上であることで、ラジカル硬化性物質と架橋構造を取りやすくなり、酸素阻害抑制の効果が得やすくなるため好ましい。   The number of functional groups of the thiol group-containing compound is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and most preferably 4 or more. When the number of functional groups is two or more, a radical curable substance and a crosslinked structure can be easily obtained, and the effect of inhibiting oxygen inhibition can be easily obtained, which is preferable.

チオール基含有化合物としては、例えば、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトール テトラキス(3-メルカプトブチレート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)等が挙げられる。   Examples of the thiol group-containing compound include 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate) 1,3,5-tris (3-mercaptobutyryloxy). Ethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), tris-[(3-mercaptopropionyloxy)- Ethyl] -isocyanurate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) and the like.

チオール基含有化合物は、市販のものをそれぞれ好適に用いることができる。例としては、昭和電工社製:カレンズMT(登録商標)BD1(2官能)、NR1(3官能)、PE1(4官能)、SC有機化学社製:TMMP(3官能)、TEMPIC(3官能)、PEMP(4官能)、EGMP−4(4官能)DPMP(6官能)等を挙げることができる。   A commercially available thing can be suitably used for a thiol group containing compound, respectively. For example, Kalores MT (registered trademark) BD1 (bifunctional), NR1 (trifunctional), PE1 (tetrafunctional), SC Organic Chemical Co .: TMMP (trifunctional), TEMPIC (trifunctional) manufactured by Showa Denko KK PEMP (4 functional), EGMP-4 (4 functional) DPMP (6 functional), etc. can be mentioned.

チオール基含有化合物としては、ポリマーでもオリゴマーでもモノマーであってもそれぞれ好適に用いることができるが、モノマーであることが最も好ましい。分子量としては、10000以下であることが好ましく、1000以下であることが最も好ましい。分子量を10000以下とすることで一定質量あたりのチオール基の数が、ラジカル硬化の促進効果を得るために十分な数となるため好ましい。   As the thiol group-containing compound, whether it is a polymer, an oligomer or a monomer can be suitably used, but the monomer is most preferable. The molecular weight is preferably 10000 or less, and most preferably 1000 or less. By setting the molecular weight to 10000 or less, the number of thiol groups per constant mass is preferable because the number is sufficient to obtain the effect of promoting radical curing.

前記離型層に含まれるチオール基含有化合物の含有量は、離型層全体の固形分に対して、1〜30質量%以下であることが好ましく、2〜25質量%以下であることがより好ましく、5〜20質量%以下であることが最も好ましい。チオール基含有化合物の含有量を1質量%以上とすることで、ラジカル硬化反応を促進し、酸素阻害を受けづらくする効果が十分に得られるため好ましい。含有量を30質量%以下とすることで、チオール基含有化合物によって硬化物が柔軟になりすぎず、ラジカル硬化性物質間の架橋による弾性率向上の効果が得られるため好ましい。   The content of the thiol group-containing compound contained in the release layer is preferably 1 to 30% by mass or less, and more preferably 2 to 25% by mass or less based on the solid content of the entire release layer. Preferably, it is 5 to 20% by mass or less. By setting the content of the thiol group-containing compound to 1% by mass or more, it is preferable because the radical curing reaction is promoted and the effect of being hard to receive oxygen inhibition is sufficiently obtained. By setting the content to 30% by mass or less, the cured product is not too soft due to the thiol group-containing compound, and the effect of improving the elastic modulus by crosslinking between radical curable substances is obtained, which is preferable.

(離型剤(c))
本発明における離型層に用いる離型剤(離型性を付与するための添加剤)としては、シリコーン系添加剤や、フッ素系、長鎖アルキル系、オレフィン系などの非シリコーン系添加剤などをそれぞれ好適に用いることができる。
(Release agent (c))
As a mold release agent (additive for imparting mold releasability) used in the mold release layer in the present invention, silicone type additives, non-silicone type additives such as fluorine type, long chain alkyl type, olefin type, etc. Can be suitably used.

シリコーン系添加剤とは、シロキサン結合に有機基がついたポリオルガノシロキサンを有する材料のことであり、本発明の効果を得られる範囲であれば特に限定されず、一般的なものを使用することができる。ポリオルガノシロキサンの中でもジアルキルシロキサンを好適に使用することができ、中でもジメチルシロキサンを用いることがより好ましく、ジメチルシロキサンの一部に官能基を有するものがさらに好ましい。官能基を有することでラジカル硬化性物質と水素結合などの分子間相互作用が発現しやすくなりセラミックグリーンシートへの移行が生じづらくなるため好ましい。   The silicone-based additive is a material having a polyorganosiloxane in which an organic group is attached to a siloxane bond, and is not particularly limited as long as the effects of the present invention can be obtained, and a general one may be used. Can. Among polyorganosiloxanes, dialkylsiloxanes can be suitably used. Among them, dimethylsiloxane is more preferably used, and one having a functional group in part of dimethylsiloxane is more preferable. By having a functional group, intermolecular interaction such as a hydrogen bond and the like with a radical curable substance is likely to be developed, and migration to a ceramic green sheet is less likely to occur, which is preferable.

ポリジメチルシロキサンに導入する官能基としては特に限定されず、反応性官能基でも非反応性官能基でも構わない。また、官能基はポリジメチルシロキサンの片末端に導入されていてもよいし、両末端でも側鎖でも構わない。また、導入される位置は1つでもよいし、複数でも構わない。   The functional group to be introduced into polydimethylsiloxane is not particularly limited, and may be either a reactive functional group or a non-reactive functional group. The functional group may be introduced to one end of polydimethylsiloxane, or may be both ends or side chains. In addition, one or more positions may be introduced.

ポリジメチルシロキサンに導入する反応性官能基としては、ヒドロキシ基、カルボキシル基、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基、チオール基などを使用することができる。中でも、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基、チオール基といったラジカル硬化性官能基を有していることが好ましい。ラジカル硬化性官能基を有するポリジメチルシロキサンを用いることで、ラジカル硬化性物質(a)やチオール基含有化合物(b)と架橋構造を取ることができ、セラミックグリーンシートへの移行が生じづらくなるため好ましい。耐溶剤性という観点では、反応性官能基の数が多いほど架橋構造を取りやすくなるため好ましい。なお、ここで示すラジカル硬化性官能基とは、(メタ)アクリロイル基やアルケニル基といった、ラジカル硬化反応において架橋点となりうる官能基を指す。   As a reactive functional group introduced into polydimethylsiloxane, a hydroxy group, a carboxyl group, a (meth) acryloyl group, an alkenyl group, a thiol group or the like can be used. Among them, it is preferable to have a radically curable functional group such as a (meth) acryloyl group, an alkenyl group or a thiol group. By using polydimethylsiloxane having a radically curable functional group, a crosslinked structure can be obtained with the radically curable substance (a) or the thiol group-containing compound (b), and it is difficult to cause a transition to a ceramic green sheet. preferable. From the viewpoint of solvent resistance, the larger the number of reactive functional groups, the easier it is to obtain a crosslinked structure, which is preferable. In addition, the radically curable functional group shown here points out the functional group which can become a crosslinking point in radical curing reaction, such as a (meth) acryloyl group and an alkenyl group.

ポリジメチルシロキサンに導入する非反応性官能基としては、ポリエーテル基、アルキル基、フルオロアルキル基、長鎖アルキル基、エステル基、アミド基、フェニル基などを使用することができる。   As a non-reactive functional group to be introduced into polydimethylsiloxane, a polyether group, an alkyl group, a fluoroalkyl group, a long chain alkyl group, an ester group, an amide group, a phenyl group or the like can be used.

シリコーン成分としては、ポリジメチルシロキサンを側鎖に有するアクリル樹脂やポリエステル樹脂、ウレタン樹脂などのポリジメチルシロキサン変性樹脂を使用することが特に好ましい。ポリジメチルシロキサン変性樹脂は他の一般的な離型剤に比べラジカル硬化性物質との相溶性がよく均一な離型層を形成することができるため、剥離性が向上し好ましい。また、ラジカル硬化性物質と分子間相互作用が発現しやすく、耐溶剤性が向上するため好ましい。さらには、剥離時にセラミックグリーンシートへの離型剤の移行が生じづらくなるため好ましい。ポリジメチルシロキサン変性樹脂の中でも、ラジカル硬化性官能基を持つポリジメチルシロキサン変性樹脂を用いることが好ましい。ラジカル硬化性官能基を有するポリジメチルシロキサン変性樹脂は、ラジカル硬化性物質(a)やチオール基含有化合物(b)と架橋構造を取ることができるため、耐溶剤性がより向上するため好ましい。   As the silicone component, it is particularly preferable to use a polydimethylsiloxane-modified resin such as an acrylic resin, a polyester resin, or a urethane resin having polydimethylsiloxane in the side chain. The polydimethylsiloxane-modified resin is preferable because it has good compatibility with the radical curable substance and can form a uniform release layer as compared with other general release agents, and the releasability is improved. In addition, it is preferable because an interaction between the radical curable substance and the molecule is easily developed and the solvent resistance is improved. Furthermore, it is preferable because migration of the release agent to the ceramic green sheet is less likely to occur at the time of peeling. Among polydimethylsiloxane modified resins, it is preferable to use polydimethylsiloxane modified resin having a radical curable functional group. The polydimethylsiloxane modified resin having a radically curable functional group is preferable because it can have a cross-linked structure with the radically curable substance (a) and the thiol group-containing compound (b), and thus the solvent resistance is further improved.

ポリジメチルシロキサン骨格を側鎖に有するアクリル樹脂の市販品の例としては、サイマック(登録商標)US350、サイマック(登録商標)US352、(東亜合成社製)、8BS−9000(大成ファインケミカル社製)、GL−01、GL−03R(共栄社化学社製)などが挙げられる。ポリジメチルシロキサン骨格とラジカル硬化性官能基を側鎖に有するアクリル樹脂の市販品の例としては、8SS−723、(大成ファインケミカル社製)、GL−02、GL−04R(共栄社化学社製)などが挙げられる。   As an example of a commercial item of acrylic resin which has a polydimethylsiloxane skeleton in a side chain, Cymac (registered trademark) US 350, Cymac (registered trademark) US 352, (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 8BS-9000 (manufactured by Taisei Fine Chemical Co., Ltd.) GL-01, GL-03R (made by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) etc. are mentioned. Examples of commercially available acrylic resins having a polydimethylsiloxane skeleton and a radical curable functional group in the side chain include 8SS-723 (manufactured by Taisei Fine Chemical Co., Ltd.), GL-02, GL-04R (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), etc. Can be mentioned.

フッ素系添加剤としては、特に限定されず既存のものを使用できる。例えば、パーフルオロ基を有するものやパーフルオルエーテル基を有するものが好適に使用できる。シリコーン系添加剤同様の理由で、官能基を有している方が好ましく、ラジカル硬化性官能基を有していることがさらに好ましい。市販品としては、8FX−038EX(大成ファインケミカル社製)、オプツール(登録商標)(ダイキン工業社製)、メガファック(登録商標)RS−72−K、RS−75、RS−78(以上、DIC社製)、エフエスコート(登録商標)UT−UCH23(AGCセイミケミカル社製)、EBECRYL(登録商標)8110(ダイセル・オルネクス社製)、エフクリア(登録商標)(関東電化工業社製)などが挙げられる。   The fluorine-based additive is not particularly limited, and an existing one can be used. For example, those having a perfluoro group or those having a perfluoroether group can be suitably used. It is preferable to have a functional group for the same reason as the silicone-based additive, and more preferable to have a radical curable functional group. As a commercial item, 8FX-038EX (made by Taisei Fine Chemical Co., Ltd.), Optool (registered trademark) (made by Daikin Industries, Ltd.), Megafuck (registered trademark) RS-72-K, RS-75, RS-78 (all, above, DIC) Products), FS Coat (registered trademark) UT-UCH23 (manufactured by AGC Seimi Chemical Co., Ltd.), EBECRYL (registered trademark) 8110 (manufactured by Daicel Ornex Co., Ltd.), F Clear (registered trademark) (manufactured by Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.) Be

長鎖アルキル系添加剤としては、長鎖アルキル変性された樹脂を使用することができ、ポリビニルアルコールやアクリル樹脂などの側鎖に炭素数が8〜20程度のアルキル基を有するものが好ましい。また、(メタ)アクリル酸エステルを主な繰り返し単位とする重合体であり、エステル交換された部分に炭素数8〜20の長鎖アルキル基を含む共重合体も好適に使用することができる。また、長鎖アルキルにアクリレート基がついたオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、ステアリルアクリレートなども好適に使用することができる。   As long-chain alkyl additives, long-chain alkyl-modified resins can be used, and those having an alkyl group having about 8 to 20 carbon atoms in its side chain, such as polyvinyl alcohol or acrylic resin, are preferable. Moreover, it is a polymer which has (meth) acrylic acid ester as a main repeating unit, and the copolymer which contains a C8-C20 long-chain alkyl group in the transesterified part can also be used conveniently. Further, octyl acrylate, lauryl acrylate, stearyl acrylate and the like in which an acrylate group is attached to long chain alkyl can also be suitably used.

長鎖アルキル系添加剤の市販されているものの例としては、ピーロイル(登録商標)1010、1050、1070(以上、ライオン・スペシャリティケミカルズ社製)、テスファイン(登録商標)305、314(以上、日立化成社製)などが挙げられる。   Examples of commercially available long-chain alkyl-based additives include Peyrol (registered trademark) 1010, 1050, 1070 (all manufactured by Lion Specialty Chemicals), Tesfine (registered trademark) 305, 314 (all manufactured by Hitachi, Ltd.). And the like.

オレフィン系添加剤としては、特に限定されず一般的なものを使用できる。例えば、ポリブタジエンやシクロオレフィン系樹脂などが好適に使用できる。市販品としては、NISSO−PB(登録商標) Bシリーズ、Gシリーズ、JPシリーズ(以下、日本曹達社製)、ARTON(登録商標)(JSR社製)などが挙げられる。   The olefin additive is not particularly limited and a general one can be used. For example, polybutadiene and cycloolefin resins can be suitably used. Commercially available products include NISSO-PB (registered trademark) B series, G series, JP series (hereinafter, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), ARTON (registered trademark) (manufactured by JSR Corporation), and the like.

また、上記離型剤を2種類以上混合して用いてもよい。このとき、特に理論で制限されるわけではないが、異なる官能基を持つ2種類を用いた方が、剥離性の面で優れ、反応性官能基を含有している方がより好適である。   Moreover, you may mix and use 2 or more types of the said mold release agent. At this time, although not particularly limited by theory, it is better to use two types having different functional groups in terms of releasability, and it is more preferable to contain a reactive functional group.

本発明における離型層には、離型剤(c)が離型層全体の固形分に対して0.05質量%以上、20質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.1質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.1質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%よりも多くすることで離型性が付与され、セラミックグリーンシートの剥離性が悪化するおそれがなく好ましい。20質量%よりも少なくすることで、セラミックスラリーを塗工したときに、ハジキが発生しづらくなり、セラミックグリーンシートに厚みムラが生じるおそれがなくなるため。   It is preferable that the release agent (c) is contained in the release layer in the present invention at 0.05% by mass or more and 20% by mass or less based on the solid content of the entire release layer. More preferably, it is 0.1 mass% or more and 10 mass% or less, and still more preferably 0.1 mass% or more and 5 mass% or less. By making the amount more than 0.1% by mass, releasability is imparted, and there is no possibility that the removability of the ceramic green sheet may be deteriorated, which is preferable. When the amount is less than 20% by mass, repelling is less likely to occur when the ceramic slurry is coated, and there is no possibility of uneven thickness in the ceramic green sheet.

(ラジカル開始剤(d))
本発明における離型層にはラジカル硬化反応を進行させるために、ラジカル開始剤を用いることが好ましい。ラジカル開始剤としては、熱ラジカル開始剤および光ラジカル開始剤のどちらも好適に用いることができるが、光ラジカル開始剤を用いるほうが、加工時の熱量を抑えることができるため好ましい。用いる開始剤は、1種類でも2種類以上でもよく、光ラジカル開始剤と熱ラジカル開始剤を同時に用いてもよい。
(Radical initiator (d))
It is preferable to use a radical initiator in the release layer in the present invention in order to advance a radical curing reaction. As a radical initiator, either a thermal radical initiator or a photo radical initiator can be suitably used, but using a photo radical initiator is preferable because the amount of heat during processing can be suppressed. The initiator used may be of one type or two or more types, and the photo radical initiator and the thermal radical initiator may be used simultaneously.

ラジカル開始剤としては、特に限定されず一般的なものが使用できる。具体的な例としては、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、2,4−ジエチルチオキサンソン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノン、(2,4,6−トリメチルベンジルジフェニル)フォスフィンオキサイド、2−ベンゾチアゾール−N,N−ジエチルジチオカルバメート等が挙げられる。   The radical initiator is not particularly limited, and a general one can be used. Specific examples include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, methyl benzoin benzoate, benzoin dimethyl ketal, 2,4-diethylthioxanthone 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, benzyl diphenyl sulfide, tetramethylthiuram monosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, diacetyl, β-chloroanthraquinone, (2,4,6-trimethylbenzyldiphenyl) phosphine Oxides, 2-benzothiazole-N, N-diethyldithiocarbamate and the like.

ラジカル開始剤としては、特に表面硬化性に優れるとされる、α−ヒドロキシアルキルフェノンやα−アミノアルキルフェノンが、酸素阻害を抑制するために好適に用いることができる。α−ヒドロキシアルキルフェノンの例としては、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン等が挙げられる。α−アミノアルキルフェノンの例としては、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリル)フェニル]−1−ブタノン等が挙げられる。   As the radical initiator, α-hydroxyalkylphenone and α-aminoalkylphenone, which are considered to be particularly excellent in surface curability, can be suitably used to suppress oxygen inhibition. Examples of α-hydroxyalkylphenone include 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl}- 2-Methylpropan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl- 1-propan-1-one etc. are mentioned. Examples of α-aminoalkylphenones include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopro. Pan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone and the like can be mentioned.

光ラジカル開始剤を用いる際には、増感剤を添加することで、活性エネルギー線の吸収を促進し、より硬化性を向上させることができる。増感剤としては特に限定されず一般的なものが使われるが、アントラセン誘導体、ナフタレン誘導体が好適である。増感剤は1種類でも2種類以上を用いてもよい。   When a photo radical initiator is used, the addition of a sensitizer accelerates the absorption of active energy rays and can further improve the curability. The sensitizer is not particularly limited and general ones are used, but anthracene derivative and naphthalene derivative are preferable. The sensitizer may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル開始剤の添加量は、離型層中の全固形分に対して、0.1質量%以上、20質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上、10質量%以下であることがより好ましく、1質量%以上、8質量%以下であることが最も好適である。0.1質量%以上とすることで、発生するラジカルの量が不十分となり硬化不足となるおそれがなく好ましい。20質量部以下とすることで、離型層中に含まれるラジカル開始剤の残渣の量が少なくなり、剥離性の低下や成型するセラミックグリーンシートへの移行を抑えることができるために好ましい。   The addition amount of the radical initiator is preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less with respect to the total solid content in the release layer, and is 0.5% by mass or more and 10% by mass or less Is more preferable, and 1% by mass or more and 8% by mass or less is the most preferable. By setting the content to 0.1% by mass or more, the amount of generated radicals is insufficient, which is preferable because there is no possibility of insufficient curing. By setting the content to 20 parts by mass or less, the amount of the residue of the radical initiator contained in the release layer can be reduced, and it is possible to suppress a decrease in releasability and a transition to a ceramic green sheet to be molded.

増感剤の添加量は、光ラジカル開始剤に対して質量として0.1〜5倍であることが好ましい。より好ましくは、0.1〜2倍であることが好ましい。0.1倍よりも大きいと、十分な増感効果が得られるために好ましい。5倍よりも小さいと、光ラジカル開始剤の活性エネルギー線の吸収を阻害し、発生するラジカルの量が不足するおそれがなく好ましい。   The addition amount of the sensitizer is preferably 0.1 to 5 times by mass with respect to the photo radical initiator. More preferably, it is preferably 0.1 to 2 times. If it is larger than 0.1 times, it is preferable because a sufficient sensitization effect can be obtained. When it is smaller than 5 times, absorption of the active energy ray of the photo radical initiator is inhibited, and the amount of the generated radicals is preferable without causing a shortage.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。   The release layer in the present invention can contain particles having a particle diameter of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles that form projections, from the viewpoint of pinhole generation.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。   An adhesion improver, an additive such as an antistatic agent, or the like may be added to the release layer in the present invention as long as the effects of the present invention are not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to subject the polyester film surface to pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment or the like before the release coating layer is provided.

本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層が0.01〜0.5μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.05〜0.4μmであり、0.1〜0.4μmであればより好ましい。特に、無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設ける場合には、離型層の厚みはさらに薄い方が塗材コストが下がり、経済的であり、カールの発生も抑制することができるために好ましい。具体的には0.4μm以下であれば好ましく、0.3μm以下であることがより好適である。離型層の厚みが0.01μmより厚いと十分な剥離性能が得られるため好ましい。また、0.5μmよりも薄いと、硬化収縮による離型フィルムのカールが生じづらいため、セラミックグリーンシートの厚みムラの発生や、電極印刷精度の低下を引き起こすおそれがなく好ましい。   In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use and is not particularly limited, but preferably, the range in which the release coated layer after curing is 0.01 to 0.5 μm is good More preferably, it is 0.05-0.4 micrometer, and it is more preferable if it is 0.1-0.4 micrometer. In particular, when a release layer is provided on the surface layer A of a polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles, the cost of the coating material decreases if the thickness of the release layer is thinner. , Economical, and preferable because curling can be suppressed. Specifically, it is preferably 0.4 μm or less, and more preferably 0.3 μm or less. When the thickness of the release layer is thicker than 0.01 μm, sufficient release performance is obtained, which is preferable. When the thickness is smaller than 0.5 μm, curling of the release film due to curing and shrinkage is unlikely to occur, and therefore, there is no possibility of causing unevenness in thickness of the ceramic green sheet or lowering of electrode printing accuracy.

本発明の離型フィルムの離型層表面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であることが好ましい。また、前記Saを満足し、かつ離型層表面の最大突起高さ(P)が100nm以下であることが更に好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)が5nm以下かつ最大突起高さ80nm以下であれば特に好ましい。領域表面粗さが7nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。   The surface of the release layer of the release film of the present invention is preferably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet applied and molded thereon, and the area surface average roughness (Sa) is 7 nm or less Is preferred. Further, it is more preferable that the above-mentioned Sa is satisfied, and the maximum projection height (P) on the surface of the releasing layer is 100 nm or less. It is particularly preferable that the area surface average roughness (Sa) is 5 nm or less and the maximum projection height is 80 nm or less. If the area surface roughness is 7 nm or less, defects such as pinholes do not occur at the time of forming the ceramic green sheet, which is preferable because the yield is good. The smaller the area surface average roughness (Sa) is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more, and may be 0.3 nm or more. The smaller the maximum projection height (P), the better, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、4.0mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、3.0mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎて搬送時にセラミックグリーンシートが浮いてしまうおそれがなく好ましい。剥離力が4.0mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受け、欠陥を生じるおそれがないため好ましい。   The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN / mm or more and 4.0 mN / mm or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, they are 0.8 mN / mm or more and 3.0 mN / mm or less. When the peeling force is 0.5 mN / mm or more, there is no possibility that the peeling force is too light and the ceramic green sheet may float during transportation, which is preferable. It is preferable that the peeling force is 4.0 mN / mm or less because the ceramic green sheet is not damaged at the time of peeling and no defect occurs.

本発明の離型フィルムは、耐溶剤性が高いほどセラミックシート加工や電極印刷時の有機溶剤、例えばトルエンなどによる離型層の浸食が抑えられるため好ましい。耐溶剤性は、離型フィルムを有機溶媒に浸漬させた前後の離型層の表面状態の差を評価することで確かめることができる。有機溶剤としては、セラミックグリーンシート加工や電極印刷を想定し、一般的なセラミックスラリーや導電性ペーストに用いられるトルエンを用いることが好ましい。離型層の表面状態を評価する方法の一例としては、接触角による評価が挙げられ、トルエン浸漬前後の離型層表面の接触角変化が小さいほど好ましい。   The release film of the present invention is preferable because the corrosion resistance of the release layer by the organic solvent at the time of ceramic sheet processing or electrode printing, such as toluene, can be suppressed as the solvent resistance is higher. The solvent resistance can be confirmed by evaluating the difference in the surface state of the release layer before and after the release film is immersed in the organic solvent. As the organic solvent, it is preferable to use toluene that is used for general ceramic slurry and conductive paste, assuming processing of ceramic green sheets and electrode printing. As an example of the method of evaluating the surface state of the release layer, evaluation by a contact angle is mentioned, and the smaller the change in contact angle on the surface of the release layer before and after immersion in toluene, the better.

接触角を測定する際に用いる液摘の種類は特に制限されないが、水、ブロモナフタレン、エチレングリコールなどをそれぞれ好適に用いることができるが、離型層の表面状態の差をより顕著に見ることのできるジヨードメタンを用いることが最も好ましい。   The type of liquid drop used to measure the contact angle is not particularly limited, but water, bromonaphthalene, ethylene glycol, etc. can be suitably used, but the difference in the surface state of the release layer should be more clearly seen. Most preferably, diiodomethane is used.

接触角の測定に用いる液摘としてジヨードメタンを用いた際には、離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ−θ)の値が小さいほど、離型層表面の耐溶剤性が良く好ましい。具体的には、絶対値として3.0°以下であることが好ましく、2.0°以下であることが更に好ましく、1.0°以下であることが最も好ましい。3.0°以下であると、セラミックグリーンシート加工や電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食が抑えられ、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれがないため好ましい。離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ−θ)は0°が最も好ましいが、絶対値として0.05°以上であっても構わず、0.1°以上であっても構わない。 When using diiodomethane as Eki摘used to measure contact angle at room temperature diiodomethane contact angle theta 1 and the release film of the release layer surface in toluene, the contact angle of the release layer surface after immersion 5 minutes theta The smaller the value of the difference of 212 ), the better the solvent resistance of the surface of the release layer, which is preferable. Specifically, the absolute value is preferably 3.0 ° or less, more preferably 2.0 ° or less, and most preferably 1.0 ° or less. The erosion of the release layer by the organic solvent at the time of ceramic green sheet processing or electrode printing is suppressed as it is 3.0 degrees or less, and there is no possibility that the increase in exfoliation power or the uniformity of exfoliation will be impaired. The difference (θ 12 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 on the release layer surface and the contact angle θ 2 of the release layer surface after immersion of the release film in toluene for 5 minutes at room temperature is most preferably 0 ° The absolute value may be 0.05 ° or more, or 0.1 ° or more.

本発明の離型フィルムは、カールが少ないほど好ましい。カールが少ないと、セラミックグリーンシート塗布成型時の均一性が悪化し、セラミックグリーンシートの膜厚が不均一になるおそれがなく好ましい。また、電極印刷工程で印刷精度が低下するおそれがなく好ましい。さらに、ロール搬送時に、離型フィルムの張力にフィルム中央部と端部で差が生じづらくなり、搬送中の蛇行や巻ズレなどの外観品位が悪化するおそれがなく好ましい。   It is preferable that the release film of the present invention has less curl. When the curl is small, the uniformity at the time of coating and molding of the ceramic green sheet is deteriorated, and there is no possibility that the film thickness of the ceramic green sheet becomes nonuniform, which is preferable. Moreover, there is no possibility that printing accuracy may fall in an electrode printing process, and it is preferable. Furthermore, at the time of roll conveyance, the tension of the release film is less likely to be different at the film central portion and the end portion, and there is no possibility that the appearance quality such as meandering or winding deviation during conveyance is deteriorated.

(離型層の形成方法) (Method of forming release layer)

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず離型性の樹脂等を含む組成物を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去、加熱乾燥した後、活性エネルギー線の照射や熱によって硬化させる方法が用いられる。   In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating liquid in which a composition containing a releasable resin or the like is dissolved or dispersed is applied to one surface of the polyester film of the substrate by coating etc. After removing the solvent and the like by drying, heating and drying, a method of curing by irradiation of active energy rays or heat is used.

光ラジカル開始剤を用いて硬化させる際には、溶媒乾燥の乾燥温度は、50℃以上、100℃以下であることが好ましく、60℃以上、95℃以下であることがより好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。100℃以下の場合、フィルムへの熱的な負荷が抑えられ、フィルムの熱収縮等に起因する外観不良が起きづらく、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが小さく好ましい。95℃以下であるとフィルムへの熱的な負荷が更に低下し、フィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが更に低下するので特に好ましい。50℃よりも高いと塗布する際に用いた希釈溶媒の乾燥が不十分となり、工程汚染等が生じるおそれがなくなるため好ましい。   When curing is carried out using a photo radical initiator, the drying temperature of solvent drying is preferably 50 ° C. or more and 100 ° C. or less, and more preferably 60 ° C. or more and 95 ° C. or less. The heating time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 100 ° C. or less, the thermal load on the film is suppressed, appearance defects due to thermal contraction of the film are unlikely to occur, and the possibility of causing thickness unevenness of the ceramic green sheet is small, which is preferable. When the temperature is 95 ° C. or less, the thermal load on the film is further reduced, the film can be processed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing thickness unevenness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable. When the temperature is higher than 50 ° C., drying of the dilution solvent used at the time of application becomes insufficient, and there is no possibility of process contamination and the like, which is preferable.

光ラジカル開始剤を用いてラジカル硬化性物質を反応させるために用いる活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、X線などが使用することができるが、紫外線が使用しやすく好ましい。照射する紫外線量としては積算光量で30〜300mJ/cmが好ましく、より好ましくは、30〜200mJ/cmである。30mJ/cm以上とすることで樹脂の硬化が十分に進行するため好ましい。300mJ/cm以下とすることで加工時の速度を向上させることができるため経済的に離型フィルムを作成することができるため好ましい。 As an active energy ray used to react a radical curable substance with a photo radical initiator, ultraviolet rays, electron rays, X-rays and the like can be used, but ultraviolet rays are preferred because they are easy to use. As an ultraviolet-ray amount to irradiate, 30-300 mJ / cm < 2 > is preferable in integral light quantity, More preferably, it is 30-200 mJ / cm < 2 >. By setting it as 30 mJ / cm 2 or more, curing of the resin proceeds sufficiently, which is preferable. Since the speed at the time of processing can be improved by setting it as 300 mJ / cm < 2 > or less, since a release film can be created economically, it is preferable.

前記活性エネルギー線を照射するときの雰囲気は、窒素やアルゴンといった不活性ガス雰囲気下でも構わないが、一般的な空気中であることが好ましい。本発明においては、チオール基含有化合物を用いることで、空気中で照射しても離型層表面の硬化性に優れ、セラミックスラリーの濡れ性にも優れる離型層とすることができる。また、不活性ガス雰囲気下で行うよりも加工コスト面で優位であり、経済的観点からも好ましい。 The atmosphere for irradiating the active energy ray may be an inert gas atmosphere such as nitrogen or argon, but is preferably in general air. In the present invention, by using a thiol group-containing compound, it is possible to obtain a release layer which is excellent in the curability of the surface of the release layer even when irradiated in air and is also excellent in the wettability of the ceramic slurry. In addition, it is superior in terms of processing cost to that performed under an inert gas atmosphere, and is preferable from the economical point of view.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。   In the present invention, the surface tension of the coating liquid when the release layer is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By setting the surface tension as described above, the coating property after coating can be improved, and unevenness on the surface of the coated film after drying can be reduced.

本発明において、離型塗布層を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜をレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10〜80質量%程度添加することが好ましい。   In the present invention, the coating liquid for applying the release coating layer is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90 ° C. or more. By adding a solvent having a boiling point of 90 ° C. or more, bumping during drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the surface of the coating film after drying can be improved. It is preferable to add about 10-80 mass% with respect to the whole coating liquid as the addition amount.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。   Any known coating method can be applied as the coating method of the above coating solution, for example, roll coating such as gravure coating or reverse coating, bar coating such as wire bar, die coating, spray coating, air knife A conventionally known method such as a coating method can be used.

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
In general, a laminated ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic body. Inside the ceramic body, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first inner electrode is exposed at the first end face of the ceramic body. A first external electrode is provided on the first end face. The first inner electrode is electrically connected to the first outer electrode at the first end face. The second inner electrode is exposed at the second end face of the ceramic body. A second external electrode is provided on the second end face. The second inner electrode is electrically connected to the second outer electrode at the second end face.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。セラミックグリーンシートの厚みは、0.2〜1.0μmの極薄品が求められてきている。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。   The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention is used to produce such a multilayer ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, using the release film of the present invention as a carrier film, a ceramic slurry for forming a ceramic body is applied and dried. As for the thickness of the ceramic green sheet, a very thin product of 0.2 to 1.0 μm has been required. A conductive layer for forming a first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. The ceramic green sheet, the ceramic green sheet on which the conductive layer for forming the first internal electrode is printed, and the ceramic green sheet on which the conductive layer for forming the second internal electrode is printed are appropriately laminated and pressed. Thus, a mother laminate is obtained. The mother laminate is divided into a plurality of pieces to prepare a green ceramic body. A ceramic body is obtained by firing a green ceramic body. Thereafter, the laminated ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.

以下に、実施例を用いて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited by these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following method.

(ポリエステル樹脂の固有粘度(dl/g))
JIS K 7367−5に準拠し、溶媒としてフェノール(60質量%)と1,1,2,2-テトラクロロエタン(40質量%)の混合溶媒を用い、30℃で測定した。
(Inherent viscosity of polyester resin (dl / g))
It measured at 30 degreeC using the mixed solvent of a phenol (60 mass%) and 1,1,2,2- tetrachloroethane (40 mass%) as a solvent according to JISK7367-5.

(基材フィルム厚み)
ミリトロン(電子マイクロインジケーター)を用い、測定すべきフィルムの任意の4箇所より5cm角サンプル4枚を切り取り、一枚あたり各5点(計20点)測定して平均値を厚みとした。
(Base film thickness)
Using a Millitron (electronic micro indicator), 4 pieces of 5 cm square samples were cut out from any 4 parts of the film to be measured, and 5 pieces of each sample (20 pieces in total) were measured to obtain an average value as a thickness.

(離型層厚み)
切り出した離型フィルムを樹脂包埋し、ウルトラミクロトームを用いて超薄切片化した。その後、日本電子製JEM2100透過電子顕微鏡を用いて、直接倍率20,000倍で観察を行い、観察したTEM画像から離型層の膜厚を測定した。
(Release layer thickness)
The cut release film was resin-embedded and ultrathin-sectioned using an ultramicrotome. Thereafter, using a JEM 2100 transmission electron microscope manufactured by Nippon Denshi K.K., observation was directly performed at a magnification of 20,000 times, and the film thickness of the releasing layer was measured from the observed TEM image.

(領域表面粗さSa、最大突起高さP)
非接触表面形状計測システム(菱化システム社製、VertScan R550H−M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Area surface roughness Sa, maximum projection height P)
It is the value measured on condition of the following using the non-contact surface shape measurement system (the Ryoka system company make, VertScan R550H-M100). The area surface average roughness (Sa) was an average value of 5 measurements, and the maximum projection height (P) was 7 measurements, and the maximum value of 5 values excluding the maximum value and the minimum value was used.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 10 times ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area 936μm × 702μm
(Analysis conditions)
-Face correction: 4th order correction-Interpolation: Complete interpolation

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM−S) 3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。 得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。測定は5回実施し、その平均値を採用した。
◎:ピンホールの発生なし
○:ピンホールの発生がほぼなし(目安:ピンホールが測定面積当たり2個以下)
△:ピンホールの発生があり(目安:ピンホールが測定面積当たり3個以上、5個以下)
×:ピンホールの発生が多数あり
(Pinhole evaluation of ceramic green sheet)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads of 0.5 mm in diameter for 30 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. SLEK (registered trademark) BM-S) 3.5 parts by mass Next, 1.8 parts by mass of DOP (dioctyl phthalate) is applied to the release surface of the obtained release film sample using an applicator so that the dried slurry has a thickness of 0.8 μm and dried at 90 ° C. for 2 minutes Thereafter, the release film was peeled off to obtain a ceramic green sheet. In the central region of the film width direction of the obtained ceramic green sheet, light is applied from the opposite surface of the ceramic slurry application surface in the range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes where light is seen to be transmitted is observed. It judged visually. The measurement was performed 5 times, and the average value was adopted.
:: No occurrence of pinholes ○: Almost no occurrence of pinholes (estimate: no more than 2 pinholes per measurement area)
:: Occurrence of pinholes (estimated: 3 or more, 5 or less pinholes per measurement area)
X: There are many pinholes

(セラミックスラリーの塗工性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM−S) 3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmになるように塗工し90℃で2分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。
○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:塗工端部以外でもハジキが発生しており、全面に塗工できていない。
(Evaluation of coatability of ceramic slurry)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads of 0.5 mm in diameter for 30 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral (Selec BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 3.5 parts by mass DOP (phthalic acid Dioctyl) 1.8 parts by mass Next, the following standard is applied to the release surface of the release film sample obtained using an applicator so that the dried slurry becomes 0.8 μm and dried at 90 ° C. for 2 minutes. The coatability was evaluated.
○: No coating was done and coating was possible on the entire surface.
Fair: There is some repelling at the coating end, but coating is possible on almost the entire surface.
X: Repelling has occurred even at the coating end, and coating has not been performed on the entire surface.

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール 6.5質量部
(積水化学工業社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のセラミックグリーンシートが10μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを30mm幅、80mm長さにカットし、剥離力測定用サンプルとした。除電機(キーエンス社製、SJ−F020)を用いて除電した後に、剥離試験機(協和界面科学社製、VPA−3)を用いて、剥離角度90度、剥離温度25℃、剥離速度10m/minで剥離した。剥離する向きとしては、剥離試験機付属のSUS板上に両面接着テープ(日東電工社製、No.535A)を貼りつけ、その上にセラミックグリーンシート側を両面テープと接着する形で離型フィルムを固定し、離型フィルム側を引っ張る形で剥離した。得られた測定値のうち、剥離距離20mm〜70mmの剥離力の平均値を算出し、その値を剥離力とした。測定は計5回実施し、その剥離力の平均値の値を採用し、評価を行った。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
◎:剥離力が2.0mN/mm以下の非常に軽い力で剥離できた。
○:剥離力が2.0mN/mmよりも大きく、3.0mN/mm以下の比較的軽い力で剥離できた。
△:剥離力が3.0mN/mmよりも大きく、4.0mN/mm以下の軽い力で剥離できた。
×:剥離力が4.0mN/mmよりも大きい力を必要であった。
(Evaluation of peelability of ceramic green sheet)
The composition consisting of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads of 0.5 mm in diameter for 60 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral 6.5 parts by mass (S-Rec (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. )
DOP (dioctyl phthalate) 3.3 parts by mass Then, an applicator was used to apply a thickness of 10 μm to the release surface of the release film sample, and dried for 2 minutes at 90 ° C. The sheet was molded on a release film. The obtained release film with a ceramic green sheet was cut into a width of 30 mm and a length of 80 mm, and used as a sample for measurement of peel force. After removing electricity using an electric discharge machine (manufactured by KEYENCE CORPORATION, SJ-F020), using a peeling tester (VPA-3 manufactured by Kyowa Interface Science), peeling angle 90 °, peeling temperature 25 ° C., peeling speed 10 m / It peeled in min. As a peeling direction, a double-sided adhesive tape (Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) is stuck on a SUS plate attached to a peeling tester, and a release film is formed by bonding the ceramic green sheet side to the double-sided tape on it. Were fixed and peeled off in the form of pulling the release film side. The average value of the peeling force of 20 mm-70 mm of peeling distances was computed among the obtained measured values, and the value was made into peeling force. The measurement was performed a total of five times, and the value of the average value of the peeling force was adopted and evaluated. From the numerical value of the peeling force obtained, it was judged according to the following criteria.
◎: Peeling was possible with a very light force of 2.0 mN / mm or less.
:: Peeling force was greater than 2.0 mN / mm, and peeling was possible with a relatively light force of 3.0 mN / mm or less.
Fair: Peeling force was greater than 3.0 mN / mm, and peeling was possible with a light force of 4.0 mN / mm or less.
X: Peeling force required a force greater than 4.0 mN / mm.

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで90℃で1分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いて、ガラス板から浮いている部分の高さを測定した。このときガラス板から一番大きく浮いている部分の高さを測定値とした。以下の基準でカール性の評価を行った。
◎:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない
○:カールが1mmよりも大きく、2mm以下であり、少しカールが見られた。
△:カールが2mmよりも大きく、4mm以下であり、カールが見られた。
×:カールが4mmよりも大きくカールしていた。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and heat treatment was performed at 90 ° C. for 1 minute in a hot air oven without tension applied to the release film. Then, after taking out from oven and cooling to room temperature, the release film sample was placed on the glass plate so that the release surface was on the top, and the height of the part floating from the glass plate was measured. At this time, the height of the part which floated the largest from the glass plate was taken as the measurement value. The curling was evaluated based on the following criteria.
◎: The curl was 1 mm or less and hardly curled ○: The curl was larger than 1 mm and 2 mm or less, and a slight curl was observed.
Δ: The curl was larger than 2 mm and smaller than 4 mm, and curl was observed.
X: The curl was larger than 4 mm.

(接触角)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学社製、全自動接触角計 DM−701)を用いて、静置した離型フィルムの離型面上にジヨードメタン(液滴量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は離型フィルム上に滴下後30秒後の接触角を採用し、5回測定した値の平均値を採用した。
(Contact angle)
The amount of diiodomethane (droplet amount) on the release surface of the release film which was allowed to stand using a contact angle meter (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., fully automatic contact angle meter DM-701) under conditions of 25 ° C. and 50% RH. Drops of 0.9 μL) were prepared and their contact angles were measured. As the contact angle, the contact angle after 30 seconds after dropping on the release film was adopted, and the average value of the values measured five times was adopted.

(トルエン浸漬後の接触角)
測定に用いる離型フィルムを5cm×5cmの大きさに切り取り、液温25℃のトルエン30mLが入ったガラス製のトレーの中に、離型面を下にして5分間浸漬させた。浸漬した離型フィルムを取り出し離型面を上にして15分間風乾した後、25℃で1晩真空乾燥させた。こうして得たトルエン浸漬後の離型フィルムを前記接触角の測定方法と同様の方法にて測定した。
(Contact angle after immersion in toluene)
The release film used for the measurement was cut into a size of 5 cm × 5 cm, and immersed in a glass tray containing 30 mL of toluene having a liquid temperature of 25 ° C. for 5 minutes with the release surface down. The dipped release film was taken out, air-dried with the release surface facing upward for 15 minutes, and then vacuum-dried at 25 ° C. overnight. The release film after immersion in toluene thus obtained was measured by the same method as the measurement method of the contact angle.

(接触角変化の評価)
前記方法にて測定したトルエン浸漬前の初期の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ、トルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角をθとした時の、θ1−θの絶対値の値をトルエン浸漬前後の接触角変化の値とした。以下の基準で接触角変化の評価を行った。
◎:|θ1―θ2| < 1.0°
○:1.0°≦ |θ1―θ2| < 2.0°
△:2.0°≦ |θ1―θ2| ≦ 3.0°
×:|θ1―θ2| > 3.0°
(Evaluation of contact angle change)
When the diiodomethane contact angle of the initial release layer surface before toluene immersion is measured by the above method is θ 1 , and the diiodomethane contact angle of the release layer surface after toluene immersion is θ 2 , θ 12 The absolute value was taken as the value of the contact angle change before and after immersion in toluene. The change of the contact angle was evaluated on the basis of the following criteria.
:: | θ 1 −θ 2 | <1.0 °
○: 1.0 ° ≦ | θ 1 −θ 2 | <2.0 °
Δ: 2.0 ° ≦ | θ 1 −θ 2 | ≦ 3.0 °
×: | θ 1 −θ 2 |> 3.0 °

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As an esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus was used which was composed of a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material feed port and a product outlet. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles with respect to 1 mole of TPA, antimony trioxide is produced in an amount such that 160 ppm of Sb atoms are formed with respect to PET, and these slurries are ester The reaction mixture was continuously fed to the first esterification reactor of the esterification reactor, and reacted at 255 ° C. for 4 hours at an average residence time under normal pressure. Then, the reaction product in the first esterification reaction vessel is continuously taken out of the system, supplied to the second esterification reaction vessel, and distilled from the first esterification reaction vessel in the second esterification reaction vessel. The EG solution is supplied at 8% by mass with respect to the produced PET, and an EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms with respect to the produced PET, and 40 ppm of P atoms with respect to the produced PET An EG solution containing an amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added, and the reaction was carried out at 260 ° C. under an atmospheric pressure for an average residence time of 1 hour. Then, the reaction product of the second esterification reaction vessel is continuously taken out of the system, supplied to the third esterification reaction vessel, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) using a high pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.) 0.2% by mass of porous colloidal silica with an average particle size of 0.9 μm dispersed by an average pressure of 5 passes and an average particle with 1% by mass of ammonium salt of polyacrylic acid attached per calcium carbonate While adding 0.4 mass% of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm as an EG slurry of 10% each, the reaction was carried out at 260 ° C. at an average residence time of 0.5 hours under normal pressure. The esterification reaction product generated in the third esterification reaction vessel was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to conduct polycondensation, and a 95% cut diameter sintered a 20 μm stainless steel fiber After filtration with a filter, it was ultrafiltered and extruded in water, and after cooling it was cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter abbreviated as PET (I)) . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の無機粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the manufacture of the PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g which does not contain any inorganic particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter referred to as PET (II)).

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/PET(II)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ25μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Manufacture of laminated film X1)
After drying, these PET chips are melted at 285 ° C., melted at 290 ° C. by a separate melt extruder extruder, and a 95% cut diameter sintered filter of 15 μm stainless steel fibers, 95% cut diameter Two-stage filtration of a filter made of sintered 15 μm stainless steel particles is carried out and merged in a feed block to make PET (I) a surface layer B (reciprocal side layer), PET (II) a surface Layer A (release surface side layer) is laminated, extruded in a sheet shape at a speed of 45 m / min (casting), and electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by an electrostatic adhesion method. An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio was adjusted to be PET (I) / PET (II) = 60% / 40% in calculation of the discharge amount of each extruder. Next, this unstretched sheet was heated by an infrared heater and then stretched 3.5 times in the longitudinal direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Thereafter, it was introduced into a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140 ° C. It was then heat treated at 210 ° C. in the heat setting zone. Thereafter, the film was subjected to a relaxation treatment at 2.3 ° C. in the transverse direction at 170 ° C. to obtain a 25 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1. The Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、22μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Production of laminated film X2)
The thickness was adjusted by changing the casting speed without changing the layer configuration and the stretching conditions similar to the laminated film X1, to obtain a 22 μm thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2. In the surface layer A of the obtained film X2, Sa was 3 nm, and Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3の製造方法)
積層フィルムX3としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルム中に無機粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX3の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
(Method of manufacturing laminated film X3)
As laminated film X3, E5101 (Toyobo ester (registered trademark) film, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. E5101 is the structure which contained the inorganic particle in the film. Sa of the surface layer A of the laminated film X3 was 24 nm, and Sa of the surface layer B was 24 nm.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に下記に示した組成の塗布液1をワイヤーバーを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.4μmになるように塗工し、90℃で15秒乾燥した後、積算光量が70mJ/cmの紫外線(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を大気中で照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し、離型層表面粗さ、剥離性、ピンホール、塗工性、カール、耐溶剤性を評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 22.40質量部
イソプロピルアルコール 67.20質量部
ラジカル硬化性物質(a):10官能ウレタンアクリレート 8.50質量部
(製品名:紫光(登録商標)UV−1700B、日本合成化学社製、固形分100質量%)
チオール基含有化合物(b):4官能チオール基含有化合物 1.00質量部
(製品名:カレンズMT(登録商標)PE1、昭和電工社製、固形分100質量%)
離型剤(c):アクリロイル基含有アクリルシリコーン 0.50質量部
(製品名:GL−04R、共栄社化学社製、固形分20質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
Example 1
Apply coating solution 1 of the composition shown below on the surface layer A of the laminated film X1 using a wire bar so that the thickness of the release layer after drying is 0.4 μm, and dry at 90 ° C. for 15 seconds After that, ultraviolet rays having a cumulative light quantity of 70 mJ / cm 2 (H hereus, LC6B, H bulb) were irradiated in the air to obtain a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet. A ceramic slurry was applied to the obtained mold release film, and the surface roughness, mold release property, pinholes, coatability, curling and solvent resistance of the mold release layer were evaluated. As a result, good evaluation results were obtained.
Methyl ethyl ketone 22.40 parts by mass Isopropyl alcohol 67.20 parts by mass Radical curable substance (a): 10-functional urethane acrylate 8.50 parts by mass (Product name: Purple light (registered trademark) UV-1700B, manufactured by Japan Synthetic Chemical Co., Ltd., solid Min 100 mass%)
Thiol group-containing compound (b): 1.00 parts by mass of a tetrafunctional thiol group-containing compound
(Product name: Kalens MT (registered trademark) PE1, manufactured by Showa Denko, solid content 100% by mass)
Release agent (c): Acryloyl group-containing acrylic silicone 0.50 parts by mass (Product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20% by mass)
Radical initiator (d): 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad 127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(実施例2)
ラジカル硬化性物質(a)を9官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV−7620EA、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 2)
Release in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to 9 functional urethane acrylate (purple light (registered trademark) UV-7620EA, manufactured by Nippon Gohsei Chemical Co., Ltd.). The mold film was obtained.

(実施例3)
ラジカル硬化性物質(a)を6官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV−7600B、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 3)
Release in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to hexafunctional urethane acrylate (purple light (registered trademark) UV-7600B, manufactured by Nippon Gohsei Chemical Co., Ltd.). The mold film was obtained.

(実施例4)
ラジカル硬化性物質(a)を5官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV−7650B、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 4)
Release in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to pentafunctional urethane acrylate (purple light (registered trademark) UV-7650B, manufactured by Nippon Gohsei Chemical Co., Ltd.). The mold film was obtained.

(実施例5)
ラジカル硬化性物質(a)を3官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV−7550B、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 5)
Release in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to trifunctional urethane acrylate (purple light (registered trademark) UV-7550B, manufactured by Nippon Gohsei Chemical Co., Ltd.). The mold film was obtained.

(実施例6)
ラジカル硬化性物質(a)を6官能アクリレート(A−DPH、新中村化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 6)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a hexafunctional acrylate (A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) .

(実施例7)
ラジカル硬化性物質(a)を4官能アクリレート(A−TMMT、新中村化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 7)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to tetrafunctional acrylate (A-TMMT, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) .

(実施例8)
ラジカル硬化性物質(a)をデンドリマー型多官能アクリレート(SIRIUS−501、大阪有機化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a dendrimer-type polyfunctional acrylate (SIRIUS-501, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.). Obtained.

(実施例9)
ラジカル硬化性物質(a)を3官能アリル化合物(タイク(登録商標)トリイソシアヌレート、日本化成社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 9)
Releasing for producing ultrathin ceramic green sheets in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a trifunctional allyl compound (Tike (registered trademark) triisocyanurate, manufactured by Nippon Kasei Co., Ltd.) I got a film.

(実施例10、11)
チオール基含有化合物(b)の含有量を表1に記載の量に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Examples 10 and 11)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the content of the thiol group-containing compound (b) was changed to the amount described in Table 1.

(実施例12)
チオール基含有化合物(b)を3官能チオール(カレンズMT(登録商標)NR1、昭和電工社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 12)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thiol group-containing compound (b) was changed to a trifunctional thiol (Kalens MT (registered trademark) NR1, manufactured by Showa Denko KK). Obtained.

(実施例13)
チオール基含有化合物(b)を2官能チオール(カレンズMT(登録商標)BD1、昭和電工社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 13)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thiol group-containing compound (b) was changed to a bifunctional thiol (Kalens MT (registered trademark) BD1, manufactured by Showa Denko KK). Obtained.

(実施例14)
以下に示す組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.50質量部
イソプロピルアルコール 67.50質量部
ラジカル硬化性物質(a):6官能アクリレート 8.50質量部
(製品名:A−DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
チオール基含有化合物(b):4官能チオール基含有化合物 1.00質量部
(製品名:カレンズMT(登録商標)PE1、昭和電工社製、固形分100質量%)
離型剤(c):
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン 0.10質量部
(製品名:BYK UV−3500、ビッグケミー・ジャパン社製、固形分100質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Example 14)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.50 parts by mass Isopropyl alcohol 67.50 parts by mass Radical curable substance (a): 6-functional acrylate 8.50 parts by mass (product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100% by mass)
Thiol group-containing compound (b): 1.00 parts by mass of a tetrafunctional thiol group-containing compound
(Product name: Kalens MT (registered trademark) PE1, manufactured by Showa Denko, solid content 100% by mass)
Release agent (c):
Acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane 0.10 parts by mass (product name: BYK UV-3500, manufactured by Big Chemie Japan, solid content 100% by mass)
Radical initiator (d): 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad 127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(実施例15)
離型剤(c)をフッ素系離型剤(製品名:メガファック(登録商標)RS−75、DIC社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 15)
An ultrathin ceramic green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the mold release agent (c) was changed to a fluorine type mold release agent (product name: Megafac (registered trademark) RS-75, manufactured by DIC). A mold release film was obtained.

(実施例16)
離型剤(c)をステアリルアクリレート(大阪有機化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 16)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the release agent (c) was changed to stearyl acrylate (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).

(実施例17)
離型剤(c)をアクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン(製品名:BYK−UV3500、ビッグケミー・ジャパン社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 17)
An ultrathin ceramic green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the releasing agent (c) was changed to an acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane (product name: BYK-UV 3500, manufactured by Big Chemie Japan). A mold release film was obtained.

(実施例18)
離型層の膜厚が1.0μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 18)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of the release layer was 1.0 μm.

(実施例19)
離型層の膜厚が0.2μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 19)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of the release layer was 0.2 μm.

(実施例20)
離型層の膜厚が0.05μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
Example 20
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the film thickness of the release layer was 0.05 μm.

(実施例21)
基材フィルムをX2に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 21)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was changed to X2.

(実施例22)
基材フィルムをX3に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 22)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the substrate film was changed to X3.

(比較例1)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.40質量部
イソプロピルアルコール 67.20質量部
ラジカル硬化性物質(a):10官能ウレタンアクリレート 9.50質量部
(製品名:紫光(登録商標)UV−1700B、日本合成化学社製、固形分100%)
離型剤(c):アクリロイル基含有アクリルシリコーン 0.50質量部
(製品名:GL−04R、共栄社化学社製、固形分20質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative example 1)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating solution had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.40 parts by mass Isopropyl alcohol 67.20 parts by mass Radical curable substance (a): 10-functional urethane acrylate 9.50 parts by mass (Product name: Purple light (registered trademark) UV-1700B, manufactured by Japan Synthetic Chemical Co., Ltd., solid Minutes 100%)
Release agent (c): Acryloyl group-containing acrylic silicone 0.50 parts by mass (Product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20% by mass)
Radical initiator (d): 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad 127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例2)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は実施例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.50質量部
イソプロピルアルコール 67.50質量部
ラジカル硬化性物質(a)10官能ウレタンアクリレート 8.60質量部
(製品名:紫光(登録商標)UV1700B、日本合成化学社製、固形分100%)
チオール基含有化合物(b):4官能チオール基含有化合物 1.00質量部
(製品名:カレンズMT(登録商標)PE1、昭和電工社製、固形分100質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative example 2)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that the coating solution had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.50 parts by mass Isopropyl alcohol 67.50 parts by mass Radical curable substance (a) 10-functional urethane acrylate 8.60 parts by mass (Product name: Purple light (registered trademark) UV 1700 B, manufactured by Japan Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. 100% solid content )
Thiol group-containing compound (b): 1.00 parts by mass of a tetrafunctional thiol group-containing compound
(Product name: Kalens MT (registered trademark) PE1, manufactured by Showa Denko, solid content 100% by mass)
Radical initiator (d): 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad 127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例3)
離型層の膜厚を1.0μmになるように塗工した以外は、比較例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative example 3)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the film thickness of the release layer was 1.0 μm.

(比較例4)
離型層の膜厚を0.05μmになるように塗工した以外は、比較例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative example 4)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the film thickness of the release layer was 0.05 μm.

(比較例5)
以下に示す組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.50質量部
イソプロピルアルコール 67.50質量部
ラジカル硬化性物質(a)6官能アクリレート 9.50質量部
(製品名:A−DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
離型剤(c):
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン 0.10質量部
(製品名:BYK UV−3500、ビッグケミー・ジャパン社製、固形分100質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative example 5)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.50 parts by mass Isopropyl alcohol 67.50 parts by mass Radical curable substance (a) 6-functional acrylate 9.50 parts by mass (product name: A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., solid content 100% by mass)
Release agent (c):
Acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane 0.10 parts by mass (product name: BYK UV-3500, manufactured by Big Chemie Japan, solid content 100% by mass)
Radical initiator (d): 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad 127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例6)
離型層の膜厚が1.0μmになるように塗工した以外は、比較例5と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative example 6)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 5 except that the release layer was coated to have a thickness of 1.0 μm.

(比較例7)
以下の組成の塗布液を用いる以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.40質量部
イソプロピルアルコール 67.20質量部
ラジカル硬化性物質(a):トリアリルイソシアヌレート 9.50質量部
(製品名:タイク(登録商標)、日本化成社製、固形分100%)
離型剤(c):アクリロイル基含有アクリルシリコーン 0.50質量部
(製品名:GL−04R、共栄社化学社製、固形分20質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative example 7)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that a coating solution having the following composition was used.
Methyl ethyl ketone 22.40 parts by mass Isopropyl alcohol 67.20 parts by mass Radical curable substance (a): triallyl isocyanurate 9.50 parts by mass (product name: Tike (registered trademark), Nippon Kasei Chemical Co., Ltd., solid content 100%)
Release agent (c): Acryloyl group-containing acrylic silicone 0.50 parts by mass (Product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20% by mass)
Radical initiator (d): 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad 127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例8)
窒素雰囲気下で紫外線を照射し硬化させた以外は、比較例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative example 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that ultraviolet rays were irradiated and cured in a nitrogen atmosphere.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層表面が高平滑であり、かつ離型層の架橋密度が高く耐溶剤性に優れている。そのため、セラミックグリーンシート加工や電極印刷時に離型層が浸食されず、厚みが1μm以下の超薄層のセラミックグリーンシートを剥離する時でも剥離力が低く均一であるために、ピンホールなどの欠点が少ないセラミックグリーンシートを成型することが可能である。また、離型フィルムのカールが少ないため、セラミックグリーンシートの厚みムラや電極印刷精度の低下を引き起こすおそれがなく用いることができる。   The release film for producing a ceramic green sheet according to the present invention has a surface of the release layer having high smoothness, and the crosslink density of the release layer is high and the solvent resistance is excellent. Therefore, the release layer is not corroded at the time of ceramic green sheet processing or electrode printing, and the peeling force is low and uniform even when peeling the ceramic green sheet of 1 μm or less in thickness, and defects such as pinholes It is possible to form a ceramic green sheet with little Moreover, since there is little curl of a release film, it can be used without the possibility of causing the thickness nonuniformity of a ceramic green sheet and the fall of electrode printing precision.

Claims (12)

ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、前記離型層が(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   A release film provided with a release layer on at least one side of a polyester film, wherein the area average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 7 nm or less, and the release layer has a (meth) acryloyl group and Composition containing a radical curable substance (a) having at least one radical curable functional group selected from alkenyl groups, a thiol group-containing compound (b), a mold release agent (c) and a radical initiator (d) A release film for producing a ceramic green sheet in which a product is cured. チオール基含有化合物(b)が、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有していない請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the thiol group-containing compound (b) has no radically curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group. チオール基含有化合物(b)が、1分子内に2つ以上のチオール基を持つ化合物である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, wherein the thiol group-containing compound (b) is a compound having two or more thiol groups in one molecule. 離型層表面のジヨードメタン接触角θと前記離型フィルムをトルエン浸漬した後の離型層表面のジヨードメタン接触角θの差(θ1−θ)が絶対値として3.0°以下である請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The difference (θ 12 ) between diiodomethane contact angle θ 1 on the release layer surface and diiodomethane contact angle θ 2 on the release layer surface after immersion of the release film in toluene is 3.0 ° or less as an absolute value The release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-3. 離型剤(c)が、シリコーン成分を含有する化合物である請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The mold release film according to any one of claims 1 to 4, wherein the mold release agent (c) is a compound containing a silicone component. 離型剤(c)が、分子内にフッ素原子を含む化合物である請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The mold release film according to any one of claims 1 to 4, wherein the mold release agent (c) is a compound containing a fluorine atom in the molecule. チオール基含有化合物(b)の含有量が、離型層を形成する組成物の質量総和に対して1〜30質量%である請求項1〜6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The content of the thiol group-containing compound (b) is 1 to 30% by mass with respect to the total mass of the composition forming the release layer, The release according to any one of claims 1 to 6, Mold film. ポリエステルフィルムが、無機粒子を実質的に含有していない表面層A及び無機粒子を含有する反対側の表面層Bを有し、表面層A上に離型層が設けられており、前記表面層Bが含有する無機粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、無機粒子の合計が表面層B中に5000〜15000ppm含有されている請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The polyester film has a surface layer A substantially free of inorganic particles and an opposite surface layer B containing inorganic particles, and a release layer is provided on the surface layer A, the surface layer The ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein the inorganic particles contained in B are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total of the inorganic particles is contained in an amount of 5000 to 15000 ppm in the surface layer B. Release film. 離型層の膜厚が0.01μm以上、0.5μm以下の範囲である請求項1〜8のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   The film thickness of a release layer is 0.01 micrometer or more and 0.5 micrometers or less, The release film for ceramic green sheet manufacture in any one of Claims 1-8. (メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を大気中で硬化させて離型層を形成する請求項1〜9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの製造方法。   Radical curable substance (a) having at least one radical curable functional group selected from (meth) acryloyl group and alkenyl group, thiol group-containing compound (b), mold release agent (c), radical initiator ( The method for producing a release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 9, wherein the composition containing d) is cured in the air to form a release layer. 0.2μm〜1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、請求項1〜9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法   A method of producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm, wherein the method of producing a ceramic green sheet using a release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 9 請求項11に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。   A method of manufacturing a ceramic capacitor employing the method of manufacturing a ceramic green sheet according to claim 11.
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