JP2022016465A - Release film for producing ceramic green sheet - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a release film for producing a ceramic green sheet capable of molding a ceramic green sheet having less defects even in the case of an ultra-thin layer product having a thickness of 1 μm or less by providing a release layer which has excellent solvent resistance, small curing shrinkage and low peeling strength and is uniform while maintaining high smoothness of a release layer surface of a release film.
SOLUTION: There is provided a release film for producing a ceramic green sheet which is obtained by providing a release layer on at least one surface of a polyester film, wherein the release layer is obtained by curing a composition comprising a radically curable substance (a) having one or more radical curable functional groups selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group, a thiol group-containing compound (b), a releasing agent (c) and a radical initiator (d).
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Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホールや厚みムラなどの工程不良の発生を抑制し得るセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものである。 The present invention relates to a mold release film for manufacturing a ceramic green sheet, and more specifically, a mold release film for manufacturing a ceramic green sheet that can suppress the occurrence of process defects such as pinholes and uneven thickness when manufacturing an ultrathin ceramic green sheet. It's about film.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とポリビニルアセタール樹脂などのバインダー樹脂を含有したスラリーを、離型フィルム上に塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシート上に電極を印刷し離型フィルムから剥離した後、セラミックグリーンシートを積層、プレスし、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。これまで、ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が、成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点を生じやすくなるといった問題点があった。そのため、平坦性に優れた離型層表面を実現するための手法が開発されてきた(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, a release film having a polyester film as a base material and a release layer laminated on the polyester film has been used for molding ceramic green sheets such as laminated ceramic capacitors and ceramic substrates. In recent years, as the size and capacity of multilayer ceramic capacitors have increased, the thickness of ceramic green sheets has also tended to decrease. The ceramic green sheet is molded by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin such as polyvinyl acetal resin onto a release film and drying it. A laminated ceramic capacitor is manufactured by printing an electrode on a molded ceramic green sheet, peeling it from a release film, laminating and pressing the ceramic green sheet, firing, and applying an external electrode. Until now, when a ceramic green sheet is molded on the surface of the release layer of a polyester film, minute protrusions on the surface of the release layer affect the molded ceramic green sheet, and defects such as cissing and pinholes are likely to occur. There was a problem such as. Therefore, a method for realizing a release layer surface having excellent flatness has been developed (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm~1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、より平滑な離型層表面を持つ離型フィルムが望まれている。加えて、薄膜化に伴いセラミックグリーンシートの強度が低下するため、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一に行うことも望まれている。すなわち、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる力を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることがより重要になってきている。 However, in recent years, further thinning of the ceramic green sheet has progressed, and a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically 0.2 μm to 1.0 μm, has been required. Therefore, a release film having a smoother release layer surface is desired. In addition, since the strength of the ceramic green sheet decreases as the film becomes thinner, it is also desired that the peeling force when the ceramic green sheet is peeled from the release film is low and uniform. That is, it is becoming more important to minimize the force applied to the ceramic green sheet when peeling the ceramic green sheet from the release film so as not to damage the ceramic green sheet.

近年になって、離型層として、活性エネルギー線照射下で反応するラジカル硬化性物質とシリコーン系成分を含む組成物の硬化物を用いることで、離型層の表面が平滑になることが見出された。また、離型層の弾性率を高めることで、セラミックグリーンシートを剥離する際に、離型層が変形しづらくなり、セラミックグリーンシートに追随しづらくなるために、剥離性にも優れることが見出された(例えば、特許文献2、3参照)。 In recent years, it has been observed that the surface of the release layer becomes smooth by using a cured product of a composition containing a radical curable substance and a silicone-based component that reacts under irradiation with active energy rays as the release layer. It was issued. In addition, by increasing the elastic modulus of the release layer, when the ceramic green sheet is peeled off, the release layer becomes difficult to deform and it becomes difficult to follow the ceramic green sheet, so that it is also excellent in peelability. Issued (see, for example, Patent Documents 2 and 3).

しかしながら、特許文献2、3に記載された方法によると、ラジカル重合反応ゆえに酸素阻害の影響を受けてしまい、硬化不良が生じてしまうおそれがあった。特に離型層表面に偏析しているシリコーン成分が酸素阻害の影響を受けやすく、ラジカル重合性官能基を有するシリコーン成分を用いる場合には、離型層表面の硬化性が悪化するおそれがあった。その結果、セラミックシート加工や電極印刷時に用いる有機溶剤によって離型層が浸食され、重剥離化や剥離均一性の低下を引き起こし、剥離時にセラミックグリーンシートに欠陥を与えてしまうおそれがあった。 However, according to the methods described in Patent Documents 2 and 3, there is a possibility that curing failure may occur due to the influence of oxygen inhibition due to the radical polymerization reaction. In particular, the silicone component segregated on the surface of the release layer is easily affected by oxygen inhibition, and when a silicone component having a radically polymerizable functional group is used, the curability of the surface of the release layer may deteriorate. .. As a result, the release layer is eroded by the organic solvent used during ceramic sheet processing and electrode printing, which causes heavy peeling and deterioration of peeling uniformity, which may cause defects in the ceramic green sheet during peeling.

一般的に、不活性ガス雰囲気下でラジカル重合を行うことで、酸素阻害による硬化不良を防ぐことができるが、この場合、特殊な設備の導入が必要であり、また加工速度に制限がかかってしまうため、生産性が悪くコスト面で問題があった。大気中下において製造する際には、酸素阻害による硬化不良を防ぐために、十分な離型層の膜厚を確保する必要があるが、ラジカル硬化性物質は硬化収縮が大きいために、離型層の膜厚が厚いと離型フィルムにカールが発生しやすくなる問題があった。その結果、セラミックグリーンシート成型後の電極印刷の精度が低下するおそれがあり、カールの少ない離型フィルムが求められていた。一方で、カールを抑制するために離型層の膜厚を薄くすると、酸素阻害による硬化不良を起こしやすくなり、離型層の耐溶剤性が悪化して、重剥離化を引き起こすおそれがあった。 Generally, radical polymerization in an inert gas atmosphere can prevent curing defects due to oxygen inhibition, but in this case, it is necessary to introduce special equipment and the processing speed is limited. Therefore, the productivity was poor and there was a problem in terms of cost. When manufacturing in the air, it is necessary to secure a sufficient film thickness of the release layer in order to prevent curing defects due to oxygen inhibition. However, since the radical curable substance has a large curing shrinkage, the release layer is formed. There is a problem that curling is likely to occur in the release film when the film thickness is thick. As a result, the accuracy of electrode printing after molding the ceramic green sheet may decrease, and a release film with less curl has been required. On the other hand, if the film thickness of the release layer is reduced in order to suppress curl, curing failure due to oxygen inhibition is likely to occur, the solvent resistance of the release layer deteriorates, and there is a risk of causing heavy peeling. ..

すなわち、大気中下で活性エネルギー線照射によって反応する光ラジカル硬化性物質を用いて、離型層を膜厚を薄く、具体的には0.5μm以下、さらには0.3μm以下で硬化させた場合には、酸素阻害の影響でラジカル硬化反応が効率的に進行しないために、硬化不良を引き起こし、剥離時にセラミックグリーンシートにダメージを与えるおそれがあった。 That is, using a photoradical curable substance that reacts by irradiation with active energy rays in the atmosphere, the release layer was cured to a thin thickness, specifically 0.5 μm or less, and further to 0.3 μm or less. In some cases, the radical curing reaction does not proceed efficiently due to the influence of oxygen inhibition, which may cause curing failure and damage the ceramic green sheet at the time of peeling.

特開2000-117899号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-117899 国際公開第2013/145864号International Publication No. 2013/145864 国際公開第2013/145865号International Publication No. 2013/145865

本発明は、かかる従来技術の課題を背景になされたものである。すなわち、本発明の目的は、離型フィルムの離型層表面の高い平滑性を維持しつつ、耐溶剤性に優れ、硬化収縮が小さく、剥離力が低く均一である離型層を提供することで、厚みが1μm以下の超薄層品でも欠陥が少ないセラミックグリーンシートを成型できるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供しようとするものである。 The present invention has been made in the background of the problems of the prior art. That is, an object of the present invention is to provide a uniform release layer having excellent solvent resistance, low curing shrinkage, low peeling force, while maintaining high smoothness on the surface of the release layer of the release film. Therefore, an object of the present invention is to provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet capable of molding a ceramic green sheet having few defects even in an ultrathin layer product having a thickness of 1 μm or less.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を設けた離型フィルムであって、前記離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であり、前記離型層が(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物が硬化されてなるセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
2. チオール基含有化合物(b)が、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有していない上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. チオール基含有化合物(b)が、1分子内に2つ以上のチオール基を持つ化合物である上記第1または第2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
4. 離型層表面のジヨードメタン接触角θと前記離型フィルムをトルエン浸漬した後の離型層表面のジヨードメタン接触角θの差(θ1-θ)が絶対値として3.0°以下である上記第1~第3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
5. 離型剤(c)が、シリコーン成分を含有する化合物である上記第1~第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
6. 離型剤(c)が、分子内にフッ素原子を含む化合物である上記第1~第4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
7. チオール基含有化合物(b)の含有量が、離型層を形成する組成物の質量総和に対して1~30質量%である上記第1~第6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
8. ポリエステルフィルムが、無機粒子を実質的に含有していない表面層A及び無機粒子を含有する反対側の表面層Bを有し、表面層A上に離型層が設けられており、前記表面層Bが含有する無機粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、無機粒子の合計が表面層B中に5000~15000ppm含有されている上記第1~第7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
9. 離型層の膜厚が0.01μm以上、0.5μm以下の範囲である上記第1~第8のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
10. (メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を大気中で硬化させて離型層を形成する上記第1~第9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの製造方法。
11. 0.2μm~1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、上記第1~第9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法
12. 上記第11に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。
That is, the present invention has the following configuration.
1. 1. A release film having a release layer provided on at least one side of a polyester film, wherein the region surface average roughness (Sa) of the surface of the release layer is 7 nm or less, and the release layer is a (meth) acryloyl radical and A composition containing a radical curable substance (a) having one or more radical curable functional groups selected from alkenyl groups, a thiol group-containing compound (b), a mold release agent (c), and a radical initiator (d). A mold release film for manufacturing ceramic green sheets, which is made by curing radicals.
2. 2. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first aspect above, wherein the thiol group-containing compound (b) does not have a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group.
3. 3. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first or second above, wherein the thiol group-containing compound (b) is a compound having two or more thiol groups in one molecule.
4. The difference (θ 1 − θ 2 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 on the surface of the release layer and the diiodomethane contact angle θ 2 on the surface of the release layer after the release film is immersed in toluene is 3.0 ° or less as an absolute value. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above 1st to 3rd.
5. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above 1 to 4, wherein the release agent (c) is a compound containing a silicone component.
6. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above 1 to 4, wherein the release agent (c) is a compound containing a fluorine atom in the molecule.
7. The ceramic green sheet for producing the ceramic green sheet according to any one of 1 to 6 above, wherein the content of the thiol group-containing compound (b) is 1 to 30% by mass with respect to the total mass of the composition forming the release layer. Release film.
8. The polyester film has a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles and a surface layer B on the opposite side that contains inorganic particles, and a release layer is provided on the surface layer A. The ceramic green sheet according to any one of 1 to 7 above, wherein the inorganic particles contained in B are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total amount of the inorganic particles is contained in the surface layer B at 5000 to 15000 ppm. Release film for manufacturing.
9. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of 1 to 8 above, wherein the release layer has a film thickness in the range of 0.01 μm or more and 0.5 μm or less.
10. (Meta) Radical curable substance (a) having one or more radical curable functional groups selected from acryloyl group and alkenyl group, thiol group-containing compound (b), mold release agent (c), radical initiator ( The method for producing a release film for producing a ceramic green sheet according to any one of 1 to 9 above, wherein the composition containing d) is cured in the air to form a release layer.
11. A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm, wherein the ceramic green sheet is produced by using the release film for producing the ceramic green sheet according to any one of the above 1 to 9. .. A method for manufacturing a ceramic capacitor, which employs the method for manufacturing a ceramic green sheet according to the eleventh item.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、ラジカル硬化性物質特有の問題である酸素阻害を抑制し、離型層表面の硬化性を高めることができるため、耐溶剤性と剥離性に優れた離型フィルムを提供することができる。また、硬化収縮を小さくすることができるため、カールの発生が抑制され、セラミックグリーンシートの厚みムラの発生や電極印刷精度が低下するおそれのないセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供することができる。 The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention is excellent in solvent resistance and peelability because it can suppress oxygen inhibition, which is a problem peculiar to radical curable substances, and enhance the curability of the release layer surface. A release film can be provided. Further, since the curing shrinkage can be reduced, it is possible to provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet, which suppresses the generation of curl and does not cause the occurrence of uneven thickness of the ceramic green sheet and the deterioration of electrode printing accuracy. can.

本発明者らは、2軸配向ポリエステルフィルムの少なくとも片面に直接又は他の層を介して離型層を設け、離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)を7nm以下とし、離型層の構成をラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を硬化させたものとすることで、大気中下でも離型層の膜厚を薄くすることができ、カールの発生がない離型フィルムを提供できることを見出した。以下、本発明について詳細に説明する。 The present inventors provided a release layer directly on at least one surface of the biaxially oriented polyester film or via another layer, set the region surface average roughness (Sa) of the surface of the release layer to 7 nm or less, and set the release layer. The composition of the above is a cured composition containing a radical curable substance (a), a thiol group-containing compound (b), a release agent (c), and a radical initiator (d). However, we have found that it is possible to reduce the thickness of the release layer and provide a release film that does not generate curls. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

(ポリエステルフィルム)
本発明の基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム用基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成型したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン-2,6-ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが特に好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由から二軸配向ポリエステルフィルムであることが好ましい。
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film used as the base material of the present invention is not particularly limited, and a film-molded polyester usually generally used as a base material for a release film can be used, but it is preferable. It is preferably a crystalline linear saturated polyester composed of an aromatic dibasic acid component and a diol component, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate or resins thereof. A copolymer containing a constituent component as a main component is more preferable, and a polyester film formed from polyethylene terephthalate is particularly preferable. The repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in a small amount, but from the viewpoint of cost. , Preferably made only from terephthalic acid and ethylene glycol. Further, known additives such as antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, crystallization agents and the like may be added as long as the effects of the film of the present invention are not impaired. The polyester film is preferably a biaxially oriented polyester film because of its high bidirectional elastic modulus and the like.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50~0.70dl/gが好ましく、0.52~0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が多く発生することがなく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料は十分に真空乾燥することが好ましい。 The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl / g, more preferably 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, it is preferable because many breaks do not occur in the stretching step. On the contrary, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because the cutability when cutting to a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. Further, it is preferable that the raw material is sufficiently vacuum dried.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。 The method for producing a polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used in the past can be used. For example, the polyester can be obtained by melting the polyester with an extruder, extruding it into a film, cooling it with a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and biaxially stretching the unstretched film. The biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a uniaxially stretched film in a vertical or horizontal direction in a horizontal or vertical direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the vertical and horizontal directions. I can.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横おのおのの方向に1~8倍、特に2~6倍の延伸をすることが好ましい。 In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably set to be equal to or higher than the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in each of the vertical and horizontal directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12~50μmであることが好ましく、さらに好ましくは15~38μmであり、より好ましくは、19~33μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や加工工程、成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましい。 The thickness of the polyester film is preferably 12 to 50 μm, more preferably 15 to 38 μm, and even more preferably 19 to 33 μm. When the thickness of the film is 12 μm or more, it is preferable because there is no possibility of deformation due to heat during film production, processing process, and molding. On the other hand, when the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use does not become extremely large, which is preferable in reducing the environmental load.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であったも構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有する積層フィルムであることが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、無機粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層をA層、その反対面の層をB層、これら以外の芯層をC層とすると、厚み方向の層構成は離型層/A/B、あるいは離型層/A/C/B等の積層構造が挙げられる。当然ながらC層は複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには無機粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性付与するため、表面層B上には少なくとも無機粒子とバインダーを含んだコート層を設けることが好ましい。 The polyester film base material may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a laminated film having a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one surface. .. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing inorganic particles or the like on the opposite surface of the surface layer A which does not substantially contain inorganic particles. As for the laminated structure, if the layer on the side to which the release layer is applied is the A layer, the layer on the opposite surface thereof is the B layer, and the core layer other than these is the C layer, the layer structure in the thickness direction is the release layer / A /. B, or a laminated structure such as a release layer / A / C / B can be mentioned. As a matter of course, the C layer may have a plurality of layer configurations. Further, the surface layer B may not contain inorganic particles. In that case, in order to impart slipperiness for winding the film into a roll, it is preferable to provide a coat layer containing at least inorganic particles and a binder on the surface layer B.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。ここで、表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲に入ることが好ましい。本発明において、「無機粒子を実質的に含有しない」とは、無機粒子が、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。 In the polyester film base material of the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface to which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, pinholes and the like are less likely to occur during molding of the ultrathin layer ceramic green sheet to be laminated, which is preferable. It can be said that the smaller the region surface average roughness (Sa) of the surface layer A is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more. Here, when an anchor coat layer or the like described later is provided on the surface layer A, it is preferable that the coat layer does not substantially contain inorganic particles, and the region surface average roughness (Sa) after laminating the coat layer is in the above range. It is preferable to enter. In the present invention, "substantially free of inorganic particles" means that the inorganic particles are 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, and most preferably the detection limit or less when the inorganic elements are quantified by the optical X-ray analysis. It means the content. This means that even if inorganic particles are not actively added to the film, contamination components derived from foreign substances and stains attached to the raw material resin or the line or device in the film manufacturing process are peeled off and mixed into the film. This is because there are cases.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面の反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、無機粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることが好ましい。含有される無機粒子含有量は、表面層B中に無機粒子の合計で5000~15000ppm含有することが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1~40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5~35nmの範囲である。シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシート製造時に品質が安定し好ましい。 In the polyester film base material of the present invention, the surface layer B forming the opposite surface to the surface to which the release layer is applied preferably contains inorganic particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease with which air can escape. In particular, it is preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles. The content of the inorganic particles contained is preferably 5000 to 15000 ppm in total of the inorganic particles in the surface layer B. At this time, the region surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total amount of silica particles and / or calcium carbonate particles is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, air can be uniformly released when the film is rolled into a roll shape, and the rolled shape is good and the flatness is good. , Suitable for the production of ultra-thin layer ceramic green sheet. Further, when the total amount of silica particles and / or calcium carbonate particles is 15,000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, the lubricant is less likely to aggregate and coarse protrusions cannot be formed, so that the quality is stable during the production of an ultrathin ceramic green sheet. It is preferable.

上記B層に含有する粒子としては、シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子なども用いることができるが、透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましい。また、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ-シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。 As the particles contained in the B layer, inactive inorganic particles and / or heat-resistant organic particles other than silica and / or calcium carbonate can also be used, but from the viewpoint of transparency and cost, silica particles and / or It is more preferable to use calcium carbonate particles. Further, examples of the inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Examples of the heat-resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. When silica particles are used, porous colloidal silica is preferable, and when calcium carbonate particles are used, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. ..

上記表面層Bに添加する無機粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。無機粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面の粗大粒子によるセラミックグリーンシートにピンホールが発生するおそれがなく好ましい。 The average particle size of the inorganic particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. When the average particle size of the inorganic particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Further, when the average particle diameter is 2.0 μm or less, there is no possibility that pinholes are generated in the ceramic green sheet due to the coarse particles on the surface of the release layer, which is preferable.

上記表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒径の異なるものを含有させてもよい。 The surface layer B may contain two or more types of particles having different materials. Further, particles of the same type having different average particle sizes may be contained.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることが好ましい。本コート層は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工するインラインコートで設けることが好ましい。表面層Bに粒子を含まず、表面層B上に粒子を含むコート層を有する場合、コート層の表面は、上述の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同様の理由により、領域表面平均粗さ(Sa)が1~40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5~35nmの範囲である。 When the surface layer B does not contain particles, it is preferable to provide slipperiness with a coat layer containing particles on the surface layer B. The coating layer is not particularly limited, but is preferably provided by an in-line coating applied during the formation of the polyester film. When the surface layer B does not contain particles and has a coat layer containing particles on the surface layer B, the surface of the coat layer is a region for the same reason as the above-mentioned region surface average roughness (Sa) of the surface layer B. The surface average roughness (Sa) is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの無機粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。 From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use a recycled raw material or the like in the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, in order to prevent the mixing of inorganic particles such as lubricant.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さく好ましい。 The thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, is preferably 20% or more and 50% or less of the total thickness of the base film. When it is 20% or more, it is not easily affected by the particles contained in the surface layer B or the like from the inside of the film, and it is easy for the region surface average roughness Sa to satisfy the above range, which is preferable. When it is 50% or less of the thickness of all the layers of the base film, the ratio of the recycled raw material used in the surface layer B can be increased, and the environmental load is small, which is preferable.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の中間層C)には、50~90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、B層に含まれる滑剤の種類や量、粒径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。 Further, from the viewpoint of economic efficiency, 50 to 90% by mass of film scraps or recycled raw materials for PET bottles can be used for the layers other than the surface layer A (surface layer B or the above-mentioned intermediate layer C). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the B layer, the particle size, and the region surface average roughness (Sa) satisfy the above ranges.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。 Further, a film before or after uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve the adhesion of the release layer to be applied later and prevent charging. A coat layer may be provided on the surface, or a corona treatment or the like may be applied.

(離型層)
本発明における離型層は、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を硬化させてなることが好ましい。本発明の機能を損なわない範囲で、前記樹脂や添加剤以外にも添加することができる。ここで、本発明においてラジカル硬化性物質(a)やチオール基含有化合物(b)は、塗布層中で硬化された後の状態では、化合物の構造が変化していると考えられるが、変化した構造そのものを正確に表現し記載することは極めて困難であるため、前記のように「離型層が(メタ)アクリロイルおよびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物が硬化されてなる」と表現している。
(Release layer)
The release layer in the present invention is a radical curable substance (a) having a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group, a thiol group-containing compound (b), a release agent (c), and the like. It is preferable that the composition containing the radical initiator (d) is cured. It can be added in addition to the resin and the additive as long as the function of the present invention is not impaired. Here, in the present invention, the radical curable substance (a) and the thiol group-containing compound (b) are considered to have changed in the structure of the compound in the state after being cured in the coating layer. Since it is extremely difficult to accurately represent and describe the structure itself, as described above, "a radical curable substance having a radical curable functional group whose release layer is selected from (meth) acryloyl and an alkenyl group (a). ), The thiol group-containing compound (b), the mold release agent (c), and the radical initiator (d) are cured. "

(ラジカル硬化性物質(a))
ラジカル硬化性物質(a)は、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有していることが好ましく、1種類でも2種類以上のラジカル硬化性官能基を有する物質を用いても構わない。ラジカル硬化は、反応速度が非常に早いため、ラジカル開始剤の開裂と同時に瞬時に重合反応が進行し、架橋密度の高い塗膜を形成することできる。離型層の架橋密度を高めることで離型層を高弾性率化でき、セラミックグリーンシート剥離時に離型層が変形しづらくなり、低い剥離力で均一にセラミックグリーンシートを剥離できるため好ましい。なお、本発明におけるアルケニル基とは、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基などの炭素数が2~10のものをさす。
(Radical curable substance (a))
The radical curable substance (a) preferably has a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group, and is a substance having at least two or more radical curable functional groups. May be used. Since the reaction rate of radical curing is very fast, the polymerization reaction proceeds instantly at the same time as the radical initiator is cleaved, and a coating film having a high crosslink density can be formed. By increasing the crosslink density of the release layer, the release layer can have a high elastic modulus, the release layer is less likely to be deformed when the ceramic green sheet is peeled off, and the ceramic green sheet can be peeled off uniformly with a low peeling force, which is preferable. The alkenyl group in the present invention refers to a group having 2 to 10 carbon atoms such as a vinyl group, an allyl group, a propenyl group and a hexenyl group.

ラジカル硬化性官能基数としては、3つ以上であることが架橋密度を高めるという観点から好ましく、6つ以上であることがより好ましく、9つ以上であることがさらに好ましい。官能基数に特に上限はないが、20以下であることが好ましい。20以下とすることで、分子間の架橋反応よりも分子内反応が進行しやすくなり、効率的に離型層の弾性率向上の効果が得られて好ましい。 The number of radical curable functional groups is preferably 3 or more, more preferably 6 or more, and even more preferably 9 or more, from the viewpoint of increasing the crosslink density. The number of functional groups is not particularly limited, but is preferably 20 or less. When the value is 20 or less, the intramolecular reaction is more likely to proceed than the cross-linking reaction between molecules, and the effect of efficiently improving the elastic modulus of the release layer is obtained, which is preferable.

ラジカル硬化性物質としては、アクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレート、アクリルアミド、アリル化合物、メタリル化合物、マレイミド化合物などが挙げられるが、反応性の観点からアクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレート、アリル化合物、メタリル化合物が好ましく、アクリレート、メタクリレート、ウレタンアクリレートが最も好ましい。アクリレートやメタクリレートは硬化収縮が比較的大きいが、本発明おいては、膜厚を薄くすることができるためにカール等の外観不良が発生するおそれがなく、好適に用いることができる。カールという観点では、ウレタンアクリレートが硬化収縮が小さく最も好適である。 Examples of the radical curable substance include acrylate, methacrylate, urethane acrylate, acrylamide, allyl compound, methallyl compound, maleimide compound and the like, but acrylate, methacrylate, urethane acrylate, allyl compound and methallyl compound are preferable from the viewpoint of reactivity. Most preferred are acrylates, methacrylates and urethane acrylates. Acrylate and methacrylate have a relatively large curing shrinkage, but in the present invention, since the film thickness can be reduced, there is no risk of appearance defects such as curling, and they can be suitably used. From the viewpoint of curl, urethane acrylate is most suitable because it has a small curing shrinkage.

用いるラジカル硬化性物質は、モノマーでもオリゴマーでもポリマーでも良いが、有機溶媒への溶解性や、取扱い性の観点からモノマーまたはオリゴマーを用いることが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The radical curable substance to be used may be a monomer, an oligomer or a polymer, but it is preferable to use a monomer or an oligomer from the viewpoint of solubility in an organic solvent and handleability. These may be used alone or in combination of two or more.

(メタ)アクリレートとしてモノマーを用いる際は、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 When a monomer is used as the (meth) acrylate, for example, trimethylolpropantri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol. Examples thereof include tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ethoxylated isocyanuric acid tri (meth) acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.

(メタ)アクリレートとしてオリゴマーを用いる際は、例えば、多官能(メタ)アクリレートオリゴマー、ポリエステルアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート系オリゴマー、ポリエーテルアクリレート系オリゴマー、ポリブタジエンアクリレート系オリゴマー、シリコーンアクリレート系オリゴマー等が挙げられる。 When an oligomer is used as the (meth) acrylate, examples thereof include a polyfunctional (meth) acrylate oligomer, a polyester acrylate-based oligomer, an epoxy acrylate-based oligomer, a polyether acrylate-based oligomer, a polybutadiene acrylate-based oligomer, and a silicone acrylate-based oligomer. ..

本発明で用いるウレタンアクリレートとは、分子鎖中にウレタン結合と、アクリロイル基及びメタクリロイル基より選択される1種以上のラジカル硬化性官能基を有するものをいう。合成方法は特に限定されないが、例えば、多価アルコール及び有機ポリイソシアネートとヒドロキシアクリレートとの反応によって得ることができる。 The urethane acrylate used in the present invention means a urethane acrylate having a urethane bond and one or more radical curable functional groups selected from an acryloyl group and a methacryloyl group in the molecular chain. The synthesis method is not particularly limited, but it can be obtained, for example, by reacting a polyhydric alcohol or an organic polyisocyanate with a hydroxy acrylate.

上記多価アルコールとしては、例えば、ネオペンチルグリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、トリシクロデカンジメチロール、ビス-[ヒドロキシメチル]-シクロヘキサン等;上記多価アルコールと多塩基酸(例えば、コハク酸、フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テレフタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、テトラヒドロ無水フタル酸等)との反応によって得られるポリエステルポリオール;上記多価アルコールとε-カプロラクトンとの反応によって得られるポリカプロラクトンポリオール;ポリカーボネートポリオール(例えば、1,6-ヘキサンジオールとジフェニルカーボネートとの反応によって得られるポリカーボネートジオール等);及び、ポリエーテルポリオールを挙げられる。上記ポリエーテルポリオールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、エチレンオキサイド変性ビスフェノールA等を挙げられる。 Examples of the polyhydric alcohol include neopentyl glycol, 3-methyl-1,5-pentanediol, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, trimethylolpropane, and pentaerythritol. , Tricyclodecanedimethylol, bis- [hydroxymethyl] -cyclohexane, etc .; Polyolpolyol obtained by reaction with (phthalic acid, etc.); Polycaprolactone polyol obtained by reaction of the above polyhydric alcohol with ε-caprolactone; Obtained by reaction of polycarbonate polyol (for example, 1,6-hexanediol and diphenylcarbonate). Polyether polyols and the like); and polyether polyols. Examples of the polyether polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, ethylene oxide-modified bisphenol A and the like.

上記有機ポリイソシアネートとしては、例えばイソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタン-4,4’-ジイソシアネート、ジシクロペンタニルイソシアネート等のイソシアネート化合物、これらイソシアネート化合物の付加体、或いはこれらイソシアネートの多量体等が挙げられる。 Examples of the organic polyisocyanate include isocyanate compounds such as isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, xylene diisocyanate, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, and dicyclopentanyl isocyanate, adducts of these isocyanate compounds, or these. Examples thereof include a multimer of isocyanate.

上記ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ジメチロールシクロヘキシルモノ(メタ)アクリレート、ヒドロキシカプロラクトン(メタ)アクリレート等が挙げられる。中でも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートであることが硬度の面から好ましい。 Examples of the hydroxy (meth) acrylate compound include pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and hydroxyethyl (meth). ) Acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, dimethylolcyclohexylmono (meth) acrylate, hydroxycaprolactone (meth) acrylate and the like can be mentioned. Of these, pentaerythritol tri (meth) acrylate and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferable from the viewpoint of hardness.

本発明に使用するウレタンアクリレートは市販されているものを用いることもできる。市販品の例としては、日本合成化学工業社製:UV1700B(10官能)、UV7620EA(9官能)、UV7610B(9官能)、UV7600B(6官能)、UV7650B(5官能)、日本化薬社製:DPHA40H(10官能)、UX5003(6官能)、荒川化学工業社製:ビームセット577(6官能)、大成ファインケミカル社製:8UX-015A(15官能)及び、新中村化学工業社製:U15HA(15官能)等を挙げることができる。 As the urethane acrylate used in the present invention, commercially available ones can also be used. Examples of commercially available products are: UV1700B (10 functional), UV7620EA (9 functional), UV7610B (9 functional), UV7600B (6 functional), UV7650B (5 functional), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .: DPHA40H (10 functionals), UX5003 (6 functionals), Arakawa Chemical Industry Co., Ltd .: Beam set 577 (6 functionals), Taisei Fine Chemicals Co., Ltd .: 8UX-015A (15 functionals), and Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd .: U15HA (15) Sensory) and the like.

本発明の離型層に用いるアルケニル基を有する化合物は、特に限定されず一般的なものを好適に用いることができる。市販されているものの例としては、日本化成社製:TAIC(登録商標)トリアリルイソシアヌレート(3官能)、四国化成社製:LDAIC(2官能)、TA-G(4官能)、DD-1(4官能)などが挙げられる。 The compound having an alkenyl group used for the release layer of the present invention is not particularly limited, and a general compound can be preferably used. Examples of commercially available products are: TAIC (registered trademark) triallyl isocyanurate (trifunctional) manufactured by Nihon Kasei Corporation, LDAIC (bifunctional), TA-G (4 functional), DD-1 manufactured by Shikoku Kasei Corporation. (4 sensuality) and the like.

(チオール基含有化合物(b))
本発明における離型層は、チオール基含有化合物を含むことが好ましい。チオール基含有化合物はラジカル重合反応の硬化促進剤として働くため、酸素阻害の影響を受けづらく、大気中下においても優れた反応性を示す。そのため、離型層表面の硬化性を高め、耐溶剤性を向上させることができるため好ましい。また、酸素阻害が抑制されるため、離型層を薄膜にしても、耐溶剤性の悪化や、剥離不良を起こすことがないため好ましい。さらに、チオール基含有化合物は、ラジカル硬化性官能基と付加重合反応が進行するため、ラジカル硬化性物質の架橋構造に組み込まれ、チオール基含有化合物由来の柔軟構造が硬化物に導入される。このため、離型層の膜厚が厚くても、ラジカル硬化性物質特有の問題である硬化収縮が抑えられ、セラミックグリーンシート成型時に、セラミックグリーンシートの厚みムラの発生や、電極印刷精度の低下を引き起こすおそれがなく好ましい。
(Thiolu group-containing compound (b))
The release layer in the present invention preferably contains a thiol group-containing compound. Since the thiol group-containing compound acts as a curing accelerator for the radical polymerization reaction, it is not easily affected by oxygen inhibition and exhibits excellent reactivity even in the air. Therefore, it is preferable because the curability of the release layer surface can be enhanced and the solvent resistance can be improved. Further, since oxygen inhibition is suppressed, even if the release layer is made into a thin film, the solvent resistance does not deteriorate and peeling failure does not occur, which is preferable. Further, since the thiol group-containing compound proceeds with the radical curable functional group and the addition polymerization reaction, it is incorporated into the crosslinked structure of the radical curable substance, and the flexible structure derived from the thiol group-containing compound is introduced into the cured product. Therefore, even if the release layer is thick, curing shrinkage, which is a problem peculiar to radical curable substances, is suppressed, uneven thickness of the ceramic green sheet occurs during molding of the ceramic green sheet, and electrode printing accuracy is lowered. It is preferable because there is no risk of causing.

ラジカル硬化性物質を含む塗膜を大気中下で硬化させる際には、酸素阻害によって表面に水酸基やカルボキシル基といった極性基が形成されるため、セラミックスラリーの濡れ性が向上する。不活性ガス雰囲気下でラジカル硬化性物質を含む塗膜を硬化させた場合には、酸素阻害抑制効果が大きく、表面の硬化性を高めることができるが、一方で、セラミックスラリーの濡れ性が悪くなり、成型したセラミックグリーンシートにハジキやピンホールが発生しやすくなるという問題があった。チオール基含有化合物は、表面硬度の向上と酸素阻害による濡れ性向上の相反する2つの効果を共に発現させることができるため好ましい。 When a coating film containing a radical curable substance is cured in the air, polar groups such as hydroxyl groups and carboxyl groups are formed on the surface due to oxygen inhibition, so that the wettability of the ceramic slurry is improved. When a coating film containing a radical curable substance is cured under an inert gas atmosphere, the effect of suppressing oxygen inhibition is large and the surface curability can be improved, but on the other hand, the wettability of the ceramic slurry is poor. Therefore, there is a problem that repellents and pinholes are likely to occur on the molded ceramic green sheet. The thiol group-containing compound is preferable because it can exhibit both the two contradictory effects of improving the surface hardness and improving the wettability by oxygen inhibition.

さらにチオール基含有化合物を含む硬化物からなる離型層とすることで、S原子が離型層に導入されるため、成型したセラミックグリーンシートとの親和性が向上する。このため、搬送中にセラミックグリーンシートが浮きづらくなり、不良の発生を抑制することができるため好ましい。 Further, by forming a release layer made of a cured product containing a thiol group-containing compound, S atoms are introduced into the release layer, so that the affinity with the molded ceramic green sheet is improved. For this reason, the ceramic green sheet is difficult to float during transportation, and the occurrence of defects can be suppressed, which is preferable.

チオール基含有化合物は、特に限定されず一般的なものが用いられるが、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を含んでいないことが好ましい。前記ラジカル硬化性官能基を有していないチオール基含有化合物を用いることで、硬化促進剤として働くチオール基よりも同分子内にあるラジカル硬化性官能基同士が優先的に反応してしまい、酸素阻害抑制の効果を得られなくなるおそれがなく好ましい。なお、本発明におけるチオール基含有化合物とは、水素化された硫黄原子を末端に持つ有機化合物のことを指し、チオアルコールと呼ばれる化合物と同義である。また、チオール基とはメルカプト基、スルフヒドリル基と呼ばれることもある。 The thiol group-containing compound is not particularly limited and a general compound is used, but it is preferable that the thiol group-containing compound does not contain a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group. By using the thiol group-containing compound having no radical curable functional group, the radical curable functional groups in the same molecule react preferentially with each other over the thiol group acting as a curing accelerator, and oxygen It is preferable because there is no risk that the effect of suppressing inhibition cannot be obtained. The thiol group-containing compound in the present invention refers to an organic compound having a hydrogenated sulfur atom at the end, and is synonymous with a compound called thioalcohol. The thiol group may also be called a mercapto group or a sulfhydryl group.

チオール基含有化合物の官能基数としては、2つ以上であることが好ましく、3つ以上であることがより好ましく、4つ以上であることが最も好ましい。官能基数が2つ以上であることで、ラジカル硬化性物質と架橋構造を取りやすくなり、酸素阻害抑制の効果が得やすくなるため好ましい。 The number of functional groups of the thiol group-containing compound is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and most preferably 4 or more. When the number of functional groups is two or more, it becomes easy to form a crosslinked structure with a radical curable substance, and it becomes easy to obtain the effect of suppressing oxygen inhibition, which is preferable.

チオール基含有化合物としては、例えば、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトール テトラキス(3-メルカプトブチレート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)等が挙げられる。 Examples of the thiol group-containing compound include 1,4-bis (3-mercaptobutylyloxy) butane and tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate) 1,3,5-tris (3-mercaptobutyryloxy). Ethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H)-Trione, Trimethylol Propanthris (3-Mercaptopropionate), Tris-[(3-Mercaptopropionyloxy)- Ethyl] -isocyanurate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) and the like.

チオール基含有化合物は、市販のものをそれぞれ好適に用いることができる。例としては、昭和電工社製:カレンズMT(登録商標)BD1(2官能)、NR1(3官能)、PE1(4官能)、SC有機化学社製:TMMP(3官能)、TEMPIC(3官能)、PEMP(4官能)、EGMP-4(4官能)DPMP(6官能)等を挙げることができる。 As the thiol group-containing compound, commercially available compounds can be preferably used. For example, Showa Denko: Karenz MT (registered trademark) BD1 (bifunctional), NR1 (3 functional), PE1 (4 functional), SC Organic Chemistry: TMMP (3 functional), TEMPIC (3 functional) , PEMP (4 functional), EGMP-4 (4 functional) DPMP (6 functional) and the like.

チオール基含有化合物としては、ポリマーでもオリゴマーでもモノマーであってもそれぞれ好適に用いることができるが、モノマーであることが最も好ましい。分子量としては、10000以下であることが好ましく、1000以下であることが最も好ましい。分子量を10000以下とすることで一定質量あたりのチオール基の数が、ラジカル硬化の促進効果を得るために十分な数となるため好ましい。 As the thiol group-containing compound, a polymer, an oligomer, or a monomer can be preferably used, but a monomer is most preferable. The molecular weight is preferably 10,000 or less, and most preferably 1000 or less. By setting the molecular weight to 10,000 or less, the number of thiol groups per constant mass becomes a sufficient number to obtain the effect of promoting radical curing, which is preferable.

前記離型層に含まれるチオール基含有化合物の含有量は、離型層全体の固形分に対して、1~30質量%以下であることが好ましく、2~25質量%以下であることがより好ましく、5~20質量%以下であることが最も好ましい。チオール基含有化合物の含有量を1質量%以上とすることで、ラジカル硬化反応を促進し、酸素阻害を受けづらくする効果が十分に得られるため好ましい。含有量を30質量%以下とすることで、チオール基含有化合物によって硬化物が柔軟になりすぎず、ラジカル硬化性物質間の架橋による弾性率向上の効果が得られるため好ましい。 The content of the thiol group-containing compound contained in the release layer is preferably 1 to 30% by mass or less, and more preferably 2 to 25% by mass or less, based on the solid content of the entire release layer. It is preferably 5 to 20% by mass or less, and most preferably 5 to 20% by mass or less. It is preferable that the content of the thiol group-containing compound is 1% by mass or more because the effect of promoting the radical curing reaction and making it less susceptible to oxygen inhibition can be sufficiently obtained. When the content is 30% by mass or less, the cured product does not become too flexible due to the thiol group-containing compound, and the effect of improving the elastic modulus by cross-linking between the radical curable substances can be obtained, which is preferable.

(離型剤(c))
本発明における離型層に用いる離型剤(離型性を付与するための添加剤)としては、シリコーン系添加剤や、フッ素系、長鎖アルキル系、オレフィン系などの非シリコーン系添加剤などをそれぞれ好適に用いることができる。
(Release agent (c))
Examples of the release agent (additive for imparting releasability) used for the release layer in the present invention include silicone-based additives and non-silicone-based additives such as fluorine-based, long-chain alkyl-based, and olefin-based additives. Can be suitably used respectively.

シリコーン系添加剤とは、シロキサン結合に有機基がついたポリオルガノシロキサンを有する材料のことであり、本発明の効果を得られる範囲であれば特に限定されず、一般的なものを使用することができる。ポリオルガノシロキサンの中でもジアルキルシロキサンを好適に使用することができ、中でもジメチルシロキサンを用いることがより好ましく、ジメチルシロキサンの一部に官能基を有するものがさらに好ましい。官能基を有することでラジカル硬化性物質と水素結合などの分子間相互作用が発現しやすくなりセラミックグリーンシートへの移行が生じづらくなるため好ましい。 The silicone-based additive is a material having a polyorganosiloxane having an organic group attached to the siloxane bond, and is not particularly limited as long as the effect of the present invention can be obtained, and a general one should be used. Can be done. Among the polyorganosiloxanes, dialkylsiloxane can be preferably used, and among them, dimethylsiloxane is more preferable, and those having a functional group as a part of dimethylsiloxane are further preferable. Having a functional group is preferable because it facilitates the development of intermolecular interactions such as hydrogen bonds with radical curable substances and makes it difficult for migration to a ceramic green sheet to occur.

ポリジメチルシロキサンに導入する官能基としては特に限定されず、反応性官能基でも非反応性官能基でも構わない。また、官能基はポリジメチルシロキサンの片末端に導入されていてもよいし、両末端でも側鎖でも構わない。また、導入される位置は1つでもよいし、複数でも構わない。 The functional group to be introduced into the polydimethylsiloxane is not particularly limited, and may be a reactive functional group or a non-reactive functional group. Further, the functional group may be introduced into one end of the polydimethylsiloxane, or may be both ends or a side chain. Further, the number of positions to be introduced may be one or a plurality.

ポリジメチルシロキサンに導入する反応性官能基としては、ヒドロキシ基、カルボキシル基、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基、チオール基などを使用することができる。中でも、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基、チオール基といったラジカル硬化性官能基を有していることが好ましい。ラジカル硬化性官能基を有するポリジメチルシロキサンを用いることで、ラジカル硬化性物質(a)やチオール基含有化合物(b)と架橋構造を取ることができ、セラミックグリーンシートへの移行が生じづらくなるため好ましい。耐溶剤性という観点では、反応性官能基の数が多いほど架橋構造を取りやすくなるため好ましい。なお、ここで示すラジカル硬化性官能基とは、(メタ)アクリロイル基やアルケニル基といった、ラジカル硬化反応において架橋点となりうる官能基を指す。 As the reactive functional group to be introduced into the polydimethylsiloxane, a hydroxy group, a carboxyl group, a (meth) acryloyl group, an alkenyl group, a thiol group and the like can be used. Above all, it is preferable to have a radically curable functional group such as a (meth) acryloyl group, an alkenyl group and a thiol group. By using polydimethylsiloxane having a radical curable functional group, it is possible to form a crosslinked structure with the radical curable substance (a) and the thiol group-containing compound (b), and the transfer to the ceramic green sheet is difficult to occur. preferable. From the viewpoint of solvent resistance, the larger the number of reactive functional groups, the easier it is to form a crosslinked structure, which is preferable. The radical curable functional group shown here refers to a functional group that can be a cross-linking point in a radical curing reaction, such as a (meth) acryloyl group or an alkenyl group.

ポリジメチルシロキサンに導入する非反応性官能基としては、ポリエーテル基、アルキル基、フルオロアルキル基、長鎖アルキル基、エステル基、アミド基、フェニル基などを使用することができる。 As the non-reactive functional group to be introduced into the polydimethylsiloxane, a polyether group, an alkyl group, a fluoroalkyl group, a long chain alkyl group, an ester group, an amide group, a phenyl group and the like can be used.

シリコーン成分としては、ポリジメチルシロキサンを側鎖に有するアクリル樹脂やポリエステル樹脂、ウレタン樹脂などのポリジメチルシロキサン変性樹脂を使用することが特に好ましい。ポリジメチルシロキサン変性樹脂は他の一般的な離型剤に比べラジカル硬化性物質との相溶性がよく均一な離型層を形成することができるため、剥離性が向上し好ましい。また、ラジカル硬化性物質と分子間相互作用が発現しやすく、耐溶剤性が向上するため好ましい。さらには、剥離時にセラミックグリーンシートへの離型剤の移行が生じづらくなるため好ましい。ポリジメチルシロキサン変性樹脂の中でも、ラジカル硬化性官能基を持つポリジメチルシロキサン変性樹脂を用いることが好ましい。ラジカル硬化性官能基を有するポリジメチルシロキサン変性樹脂は、ラジカル硬化性物質(a)やチオール基含有化合物(b)と架橋構造を取ることができるため、耐溶剤性がより向上するため好ましい。 As the silicone component, it is particularly preferable to use a polydimethylsiloxane-modified resin such as an acrylic resin, a polyester resin, or a urethane resin having polydimethylsiloxane in the side chain. The polydimethylsiloxane modified resin is preferable because it has better compatibility with radical curable substances and can form a uniform release layer as compared with other general release agents, and thus has improved releasability. Further, it is preferable because the interaction between the radical curable substance and the molecule is likely to occur and the solvent resistance is improved. Further, it is preferable because the transfer of the release agent to the ceramic green sheet is less likely to occur at the time of peeling. Among the polydimethylsiloxane modified resins, it is preferable to use a polydimethylsiloxane modified resin having a radical curable functional group. A polydimethylsiloxane modified resin having a radical curable functional group is preferable because it can have a crosslinked structure with the radical curable substance (a) and the thiol group-containing compound (b), and thus the solvent resistance is further improved.

ポリジメチルシロキサン骨格を側鎖に有するアクリル樹脂の市販品の例としては、サイマック(登録商標)US350、サイマック(登録商標)US352、(東亜合成社製)、8BS-9000(大成ファインケミカル社製)、GL-01、GL-03R(共栄社化学社製)などが挙げられる。ポリジメチルシロキサン骨格とラジカル硬化性官能基を側鎖に有するアクリル樹脂の市販品の例としては、8SS-723、(大成ファインケミカル社製)、GL-02、GL-04R(共栄社化学社製)などが挙げられる。 Examples of commercially available acrylic resins having a polydimethylsiloxane skeleton in the side chain include Cymac (registered trademark) US350, Cymac (registered trademark) US352, (Toagosei), 8BS-9000 (Taisei Fine Chemical), and others. Examples thereof include GL-01 and GL-03R (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.). Examples of commercially available acrylic resins having a polydimethylsiloxane skeleton and radical curable functional groups in the side chains include 8SS-723, (manufactured by Taisei Fine Chemical Co., Ltd.), GL-02, GL-04R (manufactured by Kyoei Co., Ltd.), etc. Can be mentioned.

フッ素系添加剤としては、特に限定されず既存のものを使用できる。例えば、パーフルオロ基を有するものやパーフルオルエーテル基を有するものが好適に使用できる。シリコーン系添加剤同様の理由で、官能基を有している方が好ましく、ラジカル硬化性官能基を有していることがさらに好ましい。市販品としては、8FX-038EX(大成ファインケミカル社製)、オプツール(登録商標)(ダイキン工業社製)、メガファック(登録商標)RS-72-K、RS-75、RS-78(以上、DIC社製)、エフエスコート(登録商標)UT-UCH23(AGCセイミケミカル社製)、EBECRYL(登録商標)8110(ダイセル・オルネクス社製)、エフクリア(登録商標)(関東電化工業社製)などが挙げられる。 The fluorine-based additive is not particularly limited, and existing ones can be used. For example, those having a perfluoro group and those having a perfluoroether group can be preferably used. For the same reason as the silicone-based additive, it is preferable to have a functional group, and it is further preferable to have a radical curable functional group. Commercially available products include 8FX-038EX (manufactured by Taisei Fine Chemicals), Optool (registered trademark) (manufactured by Daikin Industries, Ltd.), Megafuck (registered trademark) RS-72-K, RS-75, RS-78 (above, DIC). , F Escort (registered trademark) UT-UCH23 (made by AGC Seimi Chemical Co., Ltd.), EBECRYL (registered trademark) 8110 (manufactured by Daisel Ornex), F-Clear (registered trademark) (manufactured by Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.), etc. Will be.

長鎖アルキル系添加剤としては、長鎖アルキル変性された樹脂を使用することができ、ポリビニルアルコールやアクリル樹脂などの側鎖に炭素数が8~20程度のアルキル基を有するものが好ましい。また、(メタ)アクリル酸エステルを主な繰り返し単位とする重合体であり、エステル交換された部分に炭素数8~20の長鎖アルキル基を含む共重合体も好適に使用することができる。また、長鎖アルキルにアクリレート基がついたオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、ステアリルアクリレートなども好適に使用することができる。 As the long-chain alkyl-based additive, a resin modified with a long-chain alkyl can be used, and those having an alkyl group having about 8 to 20 carbon atoms in the side chain such as polyvinyl alcohol or acrylic resin are preferable. Further, a polymer having a (meth) acrylic acid ester as a main repeating unit and having a transesterified portion containing a long-chain alkyl group having 8 to 20 carbon atoms can also be preferably used. Further, octyl acrylate, lauryl acrylate, stearyl acrylate and the like having an acrylate group attached to a long-chain alkyl can also be preferably used.

長鎖アルキル系添加剤の市販されているものの例としては、ピーロイル(登録商標)1010、1050、1070(以上、ライオン・スペシャリティケミカルズ社製)、テスファイン(登録商標)305、314(以上、日立化成社製)などが挙げられる。 Examples of commercially available long-chain alkyl additives include Pyroyl (registered trademark) 1010, 1050, 1070 (above, manufactured by Lion Specialty Chemicals), Tessfine (registered trademark) 305, 314 (above, Hitachi). (Made by Kaseisha), etc.

オレフィン系添加剤としては、特に限定されず一般的なものを使用できる。例えば、ポリブタジエンやシクロオレフィン系樹脂などが好適に使用できる。市販品としては、NISSO-PB(登録商標) Bシリーズ、Gシリーズ、JPシリーズ(以下、日本曹達社製)、ARTON(登録商標)(JSR社製)などが挙げられる。 The olefin-based additive is not particularly limited, and general ones can be used. For example, polybutadiene, cycloolefin-based resin, and the like can be preferably used. Examples of commercially available products include NISSO-PB (registered trademark) B series, G series, JP series (hereinafter, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), ARTON (registered trademark) (manufactured by JSR Corporation), and the like.

また、上記離型剤を2種類以上混合して用いてもよい。このとき、特に理論で制限されるわけではないが、異なる官能基を持つ2種類を用いた方が、剥離性の面で優れ、反応性官能基を含有している方がより好適である。 Further, two or more kinds of the above mold release agents may be mixed and used. At this time, although not particularly limited by theory, it is more preferable to use two types having different functional groups in terms of peelability, and it is more preferable to use a reactive functional group.

本発明における離型層には、離型剤(c)が離型層全体の固形分に対して0.05質量%以上、20質量%以下含まれることが好ましい。より好ましくは、0.1質量%以上、10質量%以下、さらに好ましくは、0.1質量%以上、5質量%以下である。0.1質量%よりも多くすることで離型性が付与され、セラミックグリーンシートの剥離性が悪化するおそれがなく好ましい。20質量%よりも少なくすることで、セラミックスラリーを塗工したときに、ハジキが発生しづらくなり、セラミックグリーンシートに厚みムラが生じるおそれがなくなるため。 The release layer in the present invention preferably contains the release agent (c) in an amount of 0.05% by mass or more and 20% by mass or less based on the solid content of the entire release layer. More preferably, it is 0.1% by mass or more and 10% by mass or less, and further preferably 0.1% by mass or more and 5% by mass or less. When the amount is more than 0.1% by mass, releasability is imparted, and there is no possibility that the peelability of the ceramic green sheet is deteriorated, which is preferable. By making it less than 20% by mass, it becomes difficult for repelling to occur when the ceramic slurry is applied, and there is no possibility that the thickness of the ceramic green sheet becomes uneven.

(ラジカル開始剤(d))
本発明における離型層にはラジカル硬化反応を進行させるために、ラジカル開始剤を用いることが好ましい。ラジカル開始剤としては、熱ラジカル開始剤および光ラジカル開始剤のどちらも好適に用いることができるが、光ラジカル開始剤を用いるほうが、加工時の熱量を抑えることができるため好ましい。用いる開始剤は、1種類でも2種類以上でもよく、光ラジカル開始剤と熱ラジカル開始剤を同時に用いてもよい。
(Radical initiator (d))
It is preferable to use a radical initiator for the release layer in the present invention in order to promote the radical curing reaction. As the radical initiator, both a thermal radical initiator and a photoradical initiator can be preferably used, but it is preferable to use a photoradical initiator because the amount of heat during processing can be suppressed. The initiator to be used may be one type or two or more types, and a photoradical initiator and a thermal radical initiator may be used at the same time.

ラジカル開始剤としては、特に限定されず一般的なものが使用できる。具体的な例としては、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、2,4-ジエチルチオキサンソン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β-クロールアンスラキノン、(2,4,6-トリメチルベンジルジフェニル)フォスフィンオキサイド、2-ベンゾチアゾール-N,N-ジエチルジチオカルバメート等が挙げられる。 The radical initiator is not particularly limited and a general one can be used. Specific examples include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, methyl benzoin benzoate, benzoin dimethyl ketal, 2,4-diethylthioxanthone. , 1-Hydroxycyclohexylphenyl ketone, benzyldiphenylsulfide, tetramethylthium monosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, diacetyl, β-chloranthraquinone, (2,4,6-trimethylbenzyldiphenyl) phosphine Examples thereof include oxide, 2-benzothiazole-N, N-diethyldithiocarbamate and the like.

ラジカル開始剤としては、特に表面硬化性に優れるとされる、α-ヒドロキシアルキルフェノンやα-アミノアルキルフェノンが、酸素阻害を抑制するために好適に用いることができる。α-ヒドロキシアルキルフェノンの例としては、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]-フェニル}-2-メチルプロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン等が挙げられる。α-アミノアルキルフェノンの例としては、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリル)フェニル]-1-ブタノン等が挙げられる。 As the radical initiator, α-hydroxyalkylphenone and α-aminoalkylphenone, which are said to be particularly excellent in surface curability, can be suitably used for suppressing oxygen inhibition. Examples of α-hydroxyalkylphenone are 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl}-. 2-Methylpropane-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl- 1-Propane-1-one and the like can be mentioned. Examples of α-aminoalkylphenone are 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopro. Examples thereof include pan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholyl) phenyl] -1-butanone and the like.

光ラジカル開始剤を用いる際には、増感剤を添加することで、活性エネルギー線の吸収を促進し、より硬化性を向上させることができる。増感剤としては特に限定されず一般的なものが使われるが、アントラセン誘導体、ナフタレン誘導体が好適である。増感剤は1種類でも2種類以上を用いてもよい。 When a photoradical initiator is used, the addition of a sensitizer can promote the absorption of active energy rays and further improve the curability. The sensitizer is not particularly limited and a general one is used, but an anthracene derivative and a naphthalene derivative are preferable. One kind or two or more kinds of sensitizers may be used.

ラジカル開始剤の添加量は、離型層中の全固形分に対して、0.1質量%以上、20質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上、10質量%以下であることがより好ましく、1質量%以上、8質量%以下であることが最も好適である。0.1質量%以上とすることで、発生するラジカルの量が不十分となり硬化不足となるおそれがなく好ましい。20質量部以下とすることで、離型層中に含まれるラジカル開始剤の残渣の量が少なくなり、剥離性の低下や成型するセラミックグリーンシートへの移行を抑えることができるために好ましい。 The amount of the radical initiator added is preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less, preferably 0.5% by mass or more and 10% by mass or less, based on the total solid content in the release layer. It is more preferable, and it is most preferable that it is 1% by mass or more and 8% by mass or less. When it is 0.1% by mass or more, the amount of radicals generated is insufficient and there is no possibility of insufficient curing, which is preferable. When the content is 20 parts by mass or less, the amount of the radical initiator residue contained in the release layer is reduced, and it is possible to suppress deterioration of peelability and transfer to the ceramic green sheet to be molded, which is preferable.

増感剤の添加量は、光ラジカル開始剤に対して質量として0.1~5倍であることが好ましい。より好ましくは、0.1~2倍であることが好ましい。0.1倍よりも大きいと、十分な増感効果が得られるために好ましい。5倍よりも小さいと、光ラジカル開始剤の活性エネルギー線の吸収を阻害し、発生するラジカルの量が不足するおそれがなく好ましい。 The amount of the sensitizer added is preferably 0.1 to 5 times the mass of the photoradical initiator. More preferably, it is 0.1 to 2 times. When it is larger than 0.1 times, a sufficient sensitizing effect can be obtained, which is preferable. When it is smaller than 5 times, it is preferable because there is no possibility that the absorption of active energy rays of the photoradical initiator is hindered and the amount of generated radicals is insufficient.

本発明における離型層には、粒径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。 The release layer in the present invention may contain particles having a particle size of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles or the like that form protrusions from the viewpoint of pinhole generation.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。 An adhesion improver, an additive such as an antistatic agent, or the like may be added to the release layer in the present invention as long as the effect of the present invention is not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to perform pretreatment such as anchor coating, corona treatment, plasma treatment, and atmospheric pressure plasma treatment on the surface of the polyester film before providing the release coating layer.

本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型塗布層が0.01~0.5μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.05~0.4μmであり、0.1~0.4μmであればより好ましい。特に、無機粒子を実質的に含有していない表面層Aを有するポリエステルフィルムの前記表面層A上に離型層を設ける場合には、離型層の厚みはさらに薄い方が塗材コストが下がり、経済的であり、カールの発生も抑制することができるために好ましい。具体的には0.4μm以下であれば好ましく、0.3μm以下であることがより好適である。離型層の厚みが0.01μmより厚いと十分な剥離性能が得られるため好ましい。また、0.5μmよりも薄いと、硬化収縮による離型フィルムのカールが生じづらいため、セラミックグリーンシートの厚みムラの発生や、電極印刷精度の低下を引き起こすおそれがなく好ましい。 In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use and is not particularly limited, but preferably, the release coating layer after curing is preferably in the range of 0.01 to 0.5 μm. , More preferably 0.05 to 0.4 μm, and more preferably 0.1 to 0.4 μm. In particular, when a release layer is provided on the surface layer A of a polyester film having a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles, the thinner the release layer, the lower the coating material cost. This is preferable because it is economical and curl generation can be suppressed. Specifically, it is preferably 0.4 μm or less, and more preferably 0.3 μm or less. It is preferable that the thickness of the release layer is thicker than 0.01 μm because sufficient peeling performance can be obtained. Further, if it is thinner than 0.5 μm, curling of the release film due to curing shrinkage is unlikely to occur, so that there is no possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet and deterioration of electrode printing accuracy, which is preferable.

本発明の離型フィルムの離型層表面は、その上で塗布・成型するセラミックグリーンシートに欠陥を発生させないために、平坦であることが望ましく、領域表面平均粗さ(Sa)が7nm以下であることが好ましい。また、前記Saを満足し、かつ離型層表面の最大突起高さ(P)が100nm以下であることが更に好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)が5nm以下かつ最大突起高さ80nm以下であれば特に好ましい。領域表面粗さが7nm以下であれば、セラミックグリーンシート形成時に、ピンホールなどの欠点の発生がなく、歩留まりが良好で好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であっても構わず、0.3nm以上であっても構わない。最大突起高さ(P)も小さいほど好ましいと言えるが、1nm以上でも構わず、3nm以上であっても構わない。 The surface of the release layer of the release film of the present invention is preferably flat so as not to cause defects in the ceramic green sheet coated and molded on the release layer, and the region surface average roughness (Sa) is 7 nm or less. It is preferable to have. Further, it is more preferable that the Sa is satisfied and the maximum protrusion height (P) on the surface of the release layer is 100 nm or less. It is particularly preferable that the region surface average roughness (Sa) is 5 nm or less and the maximum protrusion height is 80 nm or less. When the region surface roughness is 7 nm or less, defects such as pinholes do not occur when the ceramic green sheet is formed, and the yield is good, which is preferable. It can be said that the smaller the region surface average roughness (Sa) is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more, or 0.3 nm or more. It can be said that the smaller the maximum protrusion height (P) is, the more preferable it is, but it may be 1 nm or more, or 3 nm or more.

本発明の離型フィルムは、セラミックグリーンシートを剥離するときの剥離力が0.5mN/mm以上、4.0mN/mm以下であることが好ましい。より好ましくは、0.8mN/mm以上、3.0mN/mm以下である。剥離力が0.5mN/mm以上であると、剥離力が軽すぎて搬送時にセラミックグリーンシートが浮いてしまうおそれがなく好ましい。剥離力が4.0mN/mm以下であると剥離時にセラミックグリーンシートがダメージを受け、欠陥を生じるおそれがないため好ましい。 The release film of the present invention preferably has a peeling force of 0.5 mN / mm or more and 4.0 mN / mm or less when peeling the ceramic green sheet. More preferably, it is 0.8 mN / mm or more and 3.0 mN / mm or less. When the peeling force is 0.5 mN / mm or more, the peeling force is too light and there is no possibility that the ceramic green sheet will float during transportation, which is preferable. When the peeling force is 4.0 mN / mm or less, the ceramic green sheet is not damaged at the time of peeling and there is no possibility of causing defects, which is preferable.

本発明の離型フィルムは、耐溶剤性が高いほどセラミックシート加工や電極印刷時の有機溶剤、例えばトルエンなどによる離型層の浸食が抑えられるため好ましい。耐溶剤性は、離型フィルムを有機溶媒に浸漬させた前後の離型層の表面状態の差を評価することで確かめることができる。有機溶剤としては、セラミックグリーンシート加工や電極印刷を想定し、一般的なセラミックスラリーや導電性ペーストに用いられるトルエンを用いることが好ましい。離型層の表面状態を評価する方法の一例としては、接触角による評価が挙げられ、トルエン浸漬前後の離型層表面の接触角変化が小さいほど好ましい。 The release film of the present invention is preferable because the higher the solvent resistance, the more the erosion of the release layer by an organic solvent such as toluene during ceramic sheet processing and electrode printing can be suppressed. The solvent resistance can be confirmed by evaluating the difference in the surface state of the release layer before and after the release film is immersed in the organic solvent. As the organic solvent, it is preferable to use toluene, which is used for a general ceramic slurry or a conductive paste, assuming ceramic green sheet processing or electrode printing. An example of a method for evaluating the surface state of the release layer is evaluation based on the contact angle, and it is preferable that the change in the contact angle on the surface of the release layer before and after immersion in toluene is small.

接触角を測定する際に用いる液摘の種類は特に制限されないが、水、ブロモナフタレン、エチレングリコールなどをそれぞれ好適に用いることができるが、離型層の表面状態の差をより顕著に見ることのできるジヨードメタンを用いることが最も好ましい。 The type of liquid plucking used to measure the contact angle is not particularly limited, but water, bromonaphthalene, ethylene glycol and the like can be preferably used, but the difference in the surface state of the release layer can be seen more prominently. It is most preferable to use diiodomethane which can be used.

接触角の測定に用いる液摘としてジヨードメタンを用いた際には、離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ-θ)の値が小さいほど、離型層表面の耐溶剤性が良く好ましい。具体的には、絶対値として3.0°以下であることが好ましく、2.0°以下であることが更に好ましく、1.0°以下であることが最も好ましい。3.0°以下であると、セラミックグリーンシート加工や電極印刷時の有機溶剤による離型層の浸食が抑えられ、剥離力の増大や剥離の均一性が損なわれるおそれがないため好ましい。離型層表面のジヨードメタン接触角θと離型フィルムをトルエンに室温、5分間浸漬した後の離型層表面の接触角θの差(θ-θ)は0°が最も好ましいが、絶対値として0.05°以上であっても構わず、0.1°以上であっても構わない。 When diiodomethane was used as the liquid picker used to measure the contact angle, the diiodomethane contact angle θ 1 on the surface of the release layer and the contact angle θ on the surface of the release layer after immersing the release film in toluene at room temperature for 5 minutes. The smaller the value of the difference between 21 − θ 2 ), the better the solvent resistance of the release layer surface, which is preferable. Specifically, the absolute value is preferably 3.0 ° or less, more preferably 2.0 ° or less, and most preferably 1.0 ° or less. When the temperature is 3.0 ° or less, erosion of the release layer by the organic solvent during ceramic green sheet processing or electrode printing is suppressed, and there is no possibility that the peeling force is increased or the peeling uniformity is impaired, which is preferable. The difference (θ 1 − θ 2 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 on the surface of the release layer and the contact angle θ 2 on the surface of the release layer after immersing the release film in toluene at room temperature for 5 minutes is most preferable. The absolute value may be 0.05 ° or more, or 0.1 ° or more.

本発明の離型フィルムは、カールが少ないほど好ましい。カールが少ないと、セラミックグリーンシート塗布成型時の均一性が悪化し、セラミックグリーンシートの膜厚が不均一になるおそれがなく好ましい。また、電極印刷工程で印刷精度が低下するおそれがなく好ましい。さらに、ロール搬送時に、離型フィルムの張力にフィルム中央部と端部で差が生じづらくなり、搬送中の蛇行や巻ズレなどの外観品位が悪化するおそれがなく好ましい。 The release film of the present invention is preferably less curled. When the curl is small, the uniformity at the time of coating and molding the ceramic green sheet deteriorates, and there is no possibility that the film thickness of the ceramic green sheet becomes non-uniform, which is preferable. Further, it is preferable because there is no possibility that the printing accuracy is lowered in the electrode printing process. Further, it is preferable that the tension of the release film is less likely to be different between the central portion and the end portion of the release film during roll transfer, and the appearance quality such as meandering and winding misalignment during transfer is not deteriorated.

(離型層の形成方法) (Method of forming the release layer)

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず離型性の樹脂等を含む組成物を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去、加熱乾燥した後、活性エネルギー線の照射や熱によって硬化させる方法が用いられる。 In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating liquid in which a composition containing a releaseable resin or the like is dissolved or dispersed is applied to one surface of a polyester film of a base material to develop it. Then, a method is used in which the solvent and the like are removed by drying, heat-dried, and then cured by irradiation with active energy rays or heat.

光ラジカル開始剤を用いて硬化させる際には、溶媒乾燥の乾燥温度は、50℃以上、100℃以下であることが好ましく、60℃以上、95℃以下であることがより好ましい。その加熱時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。100℃以下の場合、フィルムへの熱的な負荷が抑えられ、フィルムの熱収縮等に起因する外観不良が起きづらく、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが小さく好ましい。95℃以下であるとフィルムへの熱的な負荷が更に低下し、フィルムの平面性を損なうことなく加工することができ、セラミックグリーンシートの厚みムラを引き起こすおそれが更に低下するので特に好ましい。50℃よりも高いと塗布する際に用いた希釈溶媒の乾燥が不十分となり、工程汚染等が生じるおそれがなくなるため好ましい。 When curing using a photoradical initiator, the drying temperature for solvent drying is preferably 50 ° C. or higher and 100 ° C. or lower, and more preferably 60 ° C. or higher and 95 ° C. or lower. The heating time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. When the temperature is 100 ° C. or lower, the thermal load on the film is suppressed, appearance defects due to heat shrinkage of the film are less likely to occur, and there is less risk of causing uneven thickness of the ceramic green sheet, which is preferable. When the temperature is 95 ° C. or lower, the thermal load on the film is further reduced, processing can be performed without impairing the flatness of the film, and the possibility of causing uneven thickness of the ceramic green sheet is further reduced, which is particularly preferable. If the temperature is higher than 50 ° C., the diluting solvent used for coating will not be sufficiently dried, and there is no possibility of process contamination and the like, which is preferable.

光ラジカル開始剤を用いてラジカル硬化性物質を反応させるために用いる活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、X線などが使用することができるが、紫外線が使用しやすく好ましい。照射する紫外線量としては積算光量で30~300mJ/cmが好ましく、より好ましくは、30~200mJ/cmである。30mJ/cm以上とすることで樹脂の硬化が十分に進行するため好ましい。300mJ/cm以下とすることで加工時の速度を向上させることができるため経済的に離型フィルムを作成することができるため好ましい。 As the active energy ray used for reacting the radical curable substance with the photoradical initiator, ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like can be used, but ultraviolet rays are preferable because they are easy to use. The amount of ultraviolet rays to be irradiated is preferably 30 to 300 mJ / cm 2 in terms of integrated light amount, and more preferably 30 to 200 mJ / cm 2 . A setting of 30 mJ / cm 2 or more is preferable because the curing of the resin proceeds sufficiently. It is preferable that the speed is 300 mJ / cm 2 or less because the speed at the time of processing can be improved and the release film can be economically produced.

前記活性エネルギー線を照射するときの雰囲気は、窒素やアルゴンといった不活性ガス雰囲気下でも構わないが、一般的な空気中であることが好ましい。本発明においては、チオール基含有化合物を用いることで、空気中で照射しても離型層表面の硬化性に優れ、セラミックスラリーの濡れ性にも優れる離型層とすることができる。また、不活性ガス雰囲気下で行うよりも加工コスト面で優位であり、経済的観点からも好ましい。 The atmosphere when irradiating the active energy rays may be an atmosphere of an inert gas such as nitrogen or argon, but it is preferably in general air. In the present invention, by using the thiol group-containing compound, it is possible to obtain a release layer having excellent curability on the surface of the release layer even when irradiated in air and excellent wettability of the ceramic slurry. In addition, it is superior in terms of processing cost to that performed in an inert gas atmosphere, and is preferable from an economical point of view.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。 In the present invention, the surface tension of the coating liquid when the release layer is applied is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By setting the surface tension as described above, the coatability after coating can be improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.

本発明において、離型塗布層を塗布するときの塗液には、特に限定されないが、沸点が90℃以上の溶剤を添加することが好ましい。沸点が90℃以上の溶剤を添加することで、乾燥時の突沸を防ぎ、塗膜をレベリングさせることができ、乾燥後の塗膜表面の平滑性を向上させることができる。その添加量としては、塗液全体に対し、10~80質量%程度添加することが好ましい。 In the present invention, the coating liquid for applying the release coating layer is not particularly limited, but it is preferable to add a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher. By adding a solvent having a boiling point of 90 ° C. or higher, bumping during drying can be prevented, the coating film can be leveled, and the smoothness of the coating film surface after drying can be improved. The amount to be added is preferably about 10 to 80% by mass with respect to the entire coating liquid.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。 Any known coating method can be applied as the coating method, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, or an air knife. Conventionally known methods such as the coat method can be used.

(セラミックグリーンシートとセラミックコンデンサ)
一般に、積層セラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体を有する。セラミック素体の内部には、第1の内部電極と第2の内部電極とが厚み方向に沿って交互に設けられている。第1の内部電極は、セラミック素体の第1の端面に露出している。第1の端面の上には第1の外部電極が設けられている。第1の内部電極は、第1の端面において第1の外部電極と電気的に接続されている。第2の内部電極は、セラミック素体の第2の端面に露出している。第2の端面の上には第2の外部電極が設けられている。第2の内部電極は、第2の端面において第2の外部電極と電気的に接続されている。
(Ceramic green sheet and ceramic capacitor)
Generally, a monolithic ceramic capacitor has a rectangular parallelepiped ceramic prime field. Inside the ceramic prime field, first internal electrodes and second internal electrodes are alternately provided along the thickness direction. The first internal electrode is exposed on the first end face of the ceramic prime field. A first external electrode is provided on the first end face. The first internal electrode is electrically connected to the first external electrode at the first end face. The second internal electrode is exposed on the second end face of the ceramic prime field. A second external electrode is provided on the second end face. The second internal electrode is electrically connected to the second external electrode at the second end face.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、このような積層セラミックコンデンサを製造するために用いられる。例えば、以下のようにして製造される。まず、本発明の離型フィルムをキャリアフィルムとして用い、セラミック素体を構成するためのセラミックスラリーを塗布、乾燥させる。セラミックグリーンシートの厚みは、0.2~1.0μmの極薄品が求められてきている。塗布、乾燥したセラミックグリーンシートの上に、第1又は第2の内部電極を構成するための導電層を印刷する。セラミックグリーンシート、第1の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシート及び第2の内部電極を構成するための導電層が印刷されたセラミックグリーンシートを適宜積層し、プレスすることにより、マザー積層体を得る。マザー積層体を複数に分断し、生のセラミック素体を作製する。生のセラミック素体を焼成することによりセラミック素体を得る。その後、第1及び第2の外部電極を形成することにより積層セラミックコンデンサを完成させることができる。 The release film for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention is used for manufacturing such a multilayer ceramic capacitor. For example, it is manufactured as follows. First, the release film of the present invention is used as a carrier film, and a ceramic slurry for forming a ceramic prime field is applied and dried. An ultra-thin product having a thickness of 0.2 to 1.0 μm is required for the ceramic green sheet. A conductive layer for forming the first or second internal electrode is printed on the coated and dried ceramic green sheet. A ceramic green sheet, a ceramic green sheet on which a conductive layer for forming a first internal electrode is printed, and a ceramic green sheet on which a conductive layer for forming a second internal electrode is printed are appropriately laminated and pressed. Thereby, a mother laminated body is obtained. The mother laminate is divided into a plurality of pieces to prepare a raw ceramic prime field. A ceramic prime is obtained by firing a raw ceramic prime. After that, the multilayer ceramic capacitor can be completed by forming the first and second external electrodes.

以下に、実施例を用いて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following method.

(ポリエステル樹脂の固有粘度(dl/g))
JIS K 7367-5に準拠し、溶媒としてフェノール(60質量%)と1,1,2,2-テトラクロロエタン(40質量%)の混合溶媒を用い、30℃で測定した。
(Intrinsic viscosity of polyester resin (dl / g))
According to JIS K 7637-5, a mixed solvent of phenol (60% by mass) and 1,1,2,2-tetrachloroethane (40% by mass) was used as a solvent, and the measurement was carried out at 30 ° C.

(基材フィルム厚み)
ミリトロン(電子マイクロインジケーター)を用い、測定すべきフィルムの任意の4箇所より5cm角サンプル4枚を切り取り、一枚あたり各5点(計20点)測定して平均値を厚みとした。
(Base film thickness)
Using a millitron (electronic micro-indicator), four 5 cm square samples were cut from any four points of the film to be measured, and each five points (20 points in total) were measured and the average value was taken as the thickness.

(離型層厚み)
切り出した離型フィルムを樹脂包埋し、ウルトラミクロトームを用いて超薄切片化した。その後、日本電子製JEM2100透過電子顕微鏡を用いて、直接倍率20,000倍で観察を行い、観察したTEM画像から離型層の膜厚を測定した。
(Release layer thickness)
The cut release film was embedded in a resin and ultrathin sectioned using an ultramicrotome. Then, using a JEM2100 transmission electron microscope manufactured by JEOL Ltd., observation was performed directly at a magnification of 20,000 times, and the film thickness of the release layer was measured from the observed TEM image.

(領域表面粗さSa、最大突起高さP)
非接触表面形状計測システム(菱化システム社製、VertScan R550H-M100)を用いて、下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用し、最大突起高さ(P)は7回測定し最大値と最小値を除いた5回の最大値を使用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:10倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 936μm×702μm
(解析条件)
・面補正: 4次補正
・補間処理: 完全補間
(Region surface roughness Sa, maximum protrusion height P)
It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measurement system (VertScan R550H-M100 manufactured by Ryoka System Co., Ltd.). For the region surface average roughness (Sa), the average value of 5 measurements was adopted, and for the maximum protrusion height (P), the maximum value of 5 times excluding the maximum value and the minimum value was used after measuring 7 times.
(Measurement condition)
・ Measurement mode: WAVE mode ・ Objective lens: 10x ・ 0.5 × Tube lens ・ Measurement area 936μm × 702μm
(Analysis conditions)
・ Surface correction: 4th correction ・ Interpolation processing: Complete interpolation

(セラミックグリーンシートのピンホール評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT-1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール
(積水化学社製 エスレック(登録商標)BM-S) 3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。 得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cmの範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。測定は5回実施し、その平均値を採用した。
◎:ピンホールの発生なし
○:ピンホールの発生がほぼなし(目安:ピンホールが測定面積当たり2個以下)
△:ピンホールの発生があり(目安:ピンホールが測定面積当たり3個以上、5個以下)
×:ピンホールの発生が多数あり
(Pinhole evaluation of ceramic green sheet)
The composition composed of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 30 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Industry Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral (Eslek (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) 3.5 parts by mass DOP (dioctyl phthalate) 1.8 parts by mass Next, apply the dried slurry to a thickness of 0.8 μm on the release surface of the obtained release film sample using an applicator, and dry at 90 ° C for 2 minutes. After that, the release film was peeled off to obtain a ceramic green sheet. In the central region of the obtained ceramic green sheet in the film width direction, shine light from the opposite surface of the coated surface of the ceramic slurry within a range of 25 cm 2 , observe the occurrence of pinholes through which light can be seen, and use the following criteria. It was judged visually. The measurement was carried out 5 times, and the average value was adopted.
⊚: No pinholes ○: Almost no pinholes (approximate: 2 or less pinholes per measured area)
Δ: Pinholes may occur (approximate: 3 or more and 5 or less pinholes per measurement area)
×: There are many pinholes

(セラミックスラリーの塗工性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで30分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT-1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール(積水化学社製 エスレックBM-S) 3.5質量部
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで得られた離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のスラリーが0.8μmになるように塗工し90℃で2分乾燥後、以下の基準で塗工性を評価した。
○:ハジキなどがなく全面に塗工できている。
△:塗工端部でややハジキがあるが、ほぼ全面に塗工できている。
×:塗工端部以外でもハジキが発生しており、全面に塗工できていない。
(Evaluation of coatability of ceramic rally)
The composition composed of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 30 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 76.3 parts by mass Ethanol 76.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Industry Co., Ltd.) 35.0 parts by mass Polyvinyl butyral (Sekisui Chemical Co., Ltd. Eslek BM-S) 3.5 parts by mass DOP (phthalic acid) Dioctyl) 1.8 parts by mass Next, apply an applicator to the release surface of the obtained release film sample so that the dried slurry becomes 0.8 μm, dry at 90 ° C for 2 minutes, and then use the following criteria. The coatability was evaluated in.
○: There is no repellent and the entire surface can be coated.
Δ: There is some cissing at the end of the coating, but the coating can be done on almost the entire surface.
×: Repellent is generated at areas other than the coated end, and the entire surface cannot be coated.

(セラミックグリーンシートの剥離性評価)
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、ビーズミルを用いて直径0.5mmのジルコニアビーズで60分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン 38.3質量部
エタノール 38.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT-1) 64.8質量部
ポリビニルブチラール 6.5質量部
(積水化学工業社製 エスレック(登録商標)BM-S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 3.3質量部
次いで離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のセラミックグリーンシートが10μmの厚みになるように塗布し90℃で2分乾燥しセラミックグリーンシートを離型フィルム上に成型した。得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを30mm幅、80mm長さにカットし、剥離力測定用サンプルとした。除電機(キーエンス社製、SJ-F020)を用いて除電した後に、剥離試験機(協和界面科学社製、VPA-3)を用いて、剥離角度90度、剥離温度25℃、剥離速度10m/minで剥離した。剥離する向きとしては、剥離試験機付属のSUS板上に両面接着テープ(日東電工社製、No.535A)を貼りつけ、その上にセラミックグリーンシート側を両面テープと接着する形で離型フィルムを固定し、離型フィルム側を引っ張る形で剥離した。得られた測定値のうち、剥離距離20mm~70mmの剥離力の平均値を算出し、その値を剥離力とした。測定は計5回実施し、その剥離力の平均値の値を採用し、評価を行った。得られた剥離力の数値から下記の基準で判定した。
◎:剥離力が2.0mN/mm以下の非常に軽い力で剥離できた。
○:剥離力が2.0mN/mmよりも大きく、3.0mN/mm以下の比較的軽い力で剥離できた。
△:剥離力が3.0mN/mmよりも大きく、4.0mN/mm以下の軽い力で剥離できた。
×:剥離力が4.0mN/mmよりも大きい力を必要であった。
(Evaluation of peelability of ceramic green sheet)
The composition composed of the following materials was stirred and mixed, and dispersed with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm for 60 minutes using a bead mill to obtain a ceramic slurry.
Toluene 38.3 parts by mass Ethanol 38.3 parts by mass Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Industry Co., Ltd.) 64.8 parts by mass Polyvinyl butyral 6.5 parts by mass (Sekisui Chemical Co., Ltd. Eslek (registered trademark) BM-S )
DOP (Dioctyl phthalate) 3.3 parts by mass Next, apply the dried ceramic green sheet to the release surface of the release film sample to a thickness of 10 μm using an applicator, and dry at 90 ° C for 2 minutes to make the ceramic green. The sheet was molded on a release film. The obtained release film with a ceramic green sheet was cut into a width of 30 mm and a length of 80 mm to prepare a sample for measuring the peeling force. After static elimination using an electric eliminator (Keyence, SJ-F020), a peeling tester (VPA-3, Kyowa Interface Science) is used to peel off at an angle of 90 degrees, a peeling temperature of 25 ° C, and a peeling speed of 10 m /. It peeled off at min. As for the direction of peeling, a double-sided adhesive tape (Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) is attached on the SUS plate attached to the peeling tester, and the ceramic green sheet side is bonded to the double-sided tape on the release film. Was fixed and peeled off by pulling on the release film side. Among the obtained measured values, the average value of the peeling force having a peeling distance of 20 mm to 70 mm was calculated, and the value was used as the peeling force. The measurement was carried out a total of 5 times, and the value of the average value of the peeling force was adopted and evaluated. Judgment was made according to the following criteria from the obtained numerical values of the peeling force.
⊚: The peeling force was 2.0 mN / mm or less, and the peeling force was very light.
◯: The peeling force was larger than 2.0 mN / mm, and peeling was possible with a relatively light force of 3.0 mN / mm or less.
Δ: The peeling force was larger than 3.0 mN / mm, and peeling was possible with a light force of 4.0 mN / mm or less.
X: A force having a peeling force greater than 4.0 mN / mm was required.

(離型フィルムのカール評価)
離型フィルムサンプルを10cm×10cmサイズにカットし、離型フィルムに張力がかからないようにして熱風オーブンで90℃で1分間熱処理を行った。その後、オーブンから取り出し室温まで冷却したのち、離型面が上になるようにガラス板の上に離型フィルムサンプルを置いて、ガラス板から浮いている部分の高さを測定した。このときガラス板から一番大きく浮いている部分の高さを測定値とした。以下の基準でカール性の評価を行った。
◎:カールが1mm以下であり、ほとんどカールしていない
○:カールが1mmよりも大きく、2mm以下であり、少しカールが見られた。
△:カールが2mmよりも大きく、4mm以下であり、カールが見られた。
×:カールが4mmよりも大きくカールしていた。
(Curl evaluation of release film)
The release film sample was cut into a size of 10 cm × 10 cm, and heat-treated at 90 ° C. for 1 minute in a hot air oven so that tension was not applied to the release film. Then, after taking out from the oven and cooling to room temperature, the mold release film sample was placed on the glass plate so that the mold release surface was facing up, and the height of the portion floating from the glass plate was measured. At this time, the height of the portion most floating from the glass plate was taken as the measured value. The curl property was evaluated according to the following criteria.
⊚: The curl was 1 mm or less and hardly curled. ◯: The curl was larger than 1 mm and 2 mm or less, and a little curl was observed.
Δ: The curl was larger than 2 mm and 4 mm or less, and curl was observed.
X: The curl was larger than 4 mm.

(接触角)
25℃、50%RHの条件下で接触角計(協和界面科学社製、全自動接触角計 DM-701)を用いて、静置した離型フィルムの離型面上にジヨードメタン(液滴量0.9μL)の液滴を作成しその接触角を測定した。接触角は離型フィルム上に滴下後30秒後の接触角を採用し、5回測定した値の平均値を採用した。
(Contact angle)
Diiodomethane (droplet amount) was used on the release surface of the release film that had been allowed to stand using a contact angle meter (fully automatic contact angle meter DM-701 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) under the conditions of 25 ° C and 50% RH. A droplet of 0.9 μL) was prepared and the contact angle thereof was measured. As the contact angle, the contact angle 30 seconds after dropping on the release film was adopted, and the average value of the values measured 5 times was adopted.

(トルエン浸漬後の接触角)
測定に用いる離型フィルムを5cm×5cmの大きさに切り取り、液温25℃のトルエン30mLが入ったガラス製のトレーの中に、離型面を下にして5分間浸漬させた。浸漬した離型フィルムを取り出し離型面を上にして15分間風乾した後、25℃で1晩真空乾燥させた。こうして得たトルエン浸漬後の離型フィルムを前記接触角の測定方法と同様の方法にて測定した。
(Contact angle after immersion in toluene)
The release film used for the measurement was cut into a size of 5 cm × 5 cm and immersed in a glass tray containing 30 mL of toluene at a liquid temperature of 25 ° C. for 5 minutes with the release side facing down. The soaked release film was taken out, air-dried for 15 minutes with the release side facing up, and then vacuum-dried at 25 ° C. overnight. The release film after immersion in toluene thus obtained was measured by the same method as the method for measuring the contact angle.

(接触角変化の評価)
前記方法にて測定したトルエン浸漬前の初期の離型層表面のジヨードメタン接触角をθ、トルエン浸漬後の離型層表面のジヨードメタン接触角をθとした時の、θ1-θの絶対値の値をトルエン浸漬前後の接触角変化の値とした。以下の基準で接触角変化の評価を行った。
◎:|θ1―θ2| < 1.0°
○:1.0°≦ |θ1―θ2| < 2.0°
△:2.0°≦ |θ1―θ2| ≦ 3.0°
×:|θ1―θ2| > 3.0°
(Evaluation of contact angle change)
When the diiodomethane contact angle of the initial release layer surface before toluene immersion measured by the above method is θ 1 and the diiodomethane contact angle of the release layer surface after toluene immersion is θ 2 , θ 1 − θ 2 The absolute value was taken as the value of the contact angle change before and after immersion in toluene. The change in contact angle was evaluated based on the following criteria.
◎: | θ 1 ― θ 2 | <1.0 °
◯: 1.0 ° ≦ | θ 1 ―θ 2 | <2.0 °
Δ: 2.0 ° ≦ | θ 1 ―θ 2 | ≦ 3.0 °
×: | θ 1 ― θ 2 | > 3.0 °

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(I))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(I)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (I)))
As the esterification reaction device, a continuous esterification reaction device consisting of a stirrer, a splitter, a raw material charging port, and a three-stage complete mixing tank having a raw material charging port and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) is 2 mol per 1 mol of TPA, antimony trioxide is made up to 160 ppm of Sb atoms with respect to the PET produced, and these slurrys are esterified. It was continuously supplied to the first esterification reaction can of the chemical reaction apparatus, and reacted at normal pressure with an average residence time of 4 hours and 255 ° C. Next, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and distilled off from the first esterification reaction can in the second esterification reaction can. EG is supplied in an amount of 8% by mass with respect to the produced PET, and further, an EG solution containing an amount of magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm with respect to the produced PET and 40 ppm of P atom with respect to the produced PET. An EG solution containing an amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added, and the reaction was carried out at normal pressure for an average residence time of 1 hour and 260 ° C. Next, the reaction product of the second esterification reaction can was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and 39 MPa (400 kg / cm 2 ) was used using a high-pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). 0.2 mass% of porous colloidal silica having an average particle size of 0.9 μm and 1 mass% of ammonium salt of polyacrylic acid attached per calcium carbonate after dispersion treatment with an average number of treatments of 5 passes under the pressure of 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a diameter of 0.6 μm was added as an EG slurry of 10% each, and the reaction was carried out at normal pressure for an average residence time of 0.5 hours and at 260 ° C. The esterification reaction product produced in the third esterification reaction can was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to perform polycondensation, and a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 20 μm was sintered. After filtering with a filter, it was subjected to ultracondensation, extruded into water, cooled, and then cut into chips to obtain PET chips with an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter abbreviated as PET (I)). .. The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(II))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の無機粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(II)と略す。)。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (II)))
On the other hand, in the production of the PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no inorganic particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (II)).

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(I)を表面層B(反離型面側層)、PET(II)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(I)/PET(II)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ25μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Manufacturing of laminated film X1)
These PET chips are dried, melted at 285 ° C, melted at 290 ° C by a separate melt extruder extruder, and have a filter obtained by sintering stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm, and a 95% cut diameter. Two-stage filtration of a filter obtained by sintering 15 μm stainless steel particles is performed and merged in the feed block, and PET (I) is surfaced with surface layer B (anti-separable surface side layer) and PET (II) is surfaced. It is laminated so as to be layer A (separation surface side layer), extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m / min, and electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by the electrostatic adhesion method. An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET (I) / PET (II) = 60% / 40% in the discharge amount calculation of each extruder. Next, the unstretched sheet was heated with an infrared heater and then stretched 3.5 times in the vertical direction at a roll temperature of 80 ° C. due to the speed difference between the rolls. Then, it was guided to a tenter and stretched 4.2 times in the lateral direction at 140 ° C. Then, in the heat fixing zone, heat treatment was performed at 210 ° C. Then, a 2.3% relaxation treatment was carried out laterally at 170 ° C. to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 25 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and the Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX2の製造)
積層フィルムX1と同様の層構成、延伸条件は変更せずに、キャスティング時の速度を変更することで厚みを調整し、22μmの厚みの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX2を得た。得られたフィルムX2の表面層AのSaは3nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Manufacturing of laminated film X2)
The thickness was adjusted by changing the speed at the time of casting without changing the layer structure and stretching conditions similar to those of the laminated film X1 to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 having a thickness of 22 μm. The Sa of the surface layer A of the obtained film X2 was 3 nm, and the Sa of the surface layer B was 29 nm.

(積層フィルムX3の製造方法)
積層フィルムX3としては、厚み25μmのE5101(東洋紡エステル(登録商標)フィルム、東洋紡社製)を使用した。E5101は、フィルム中に無機粒子を含有した構成になっている。積層フィルムX3の表面層AのSaは24nm、表面層BのSaは24nmであった。
(Manufacturing method of laminated film X3)
As the laminated film X3, E5101 (Toyobo Ester (registered trademark) film, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. E5101 has a structure in which inorganic particles are contained in the film. The Sa of the surface layer A of the laminated film X3 was 24 nm, and the Sa of the surface layer B was 24 nm.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に下記に示した組成の塗布液1をワイヤーバーを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.4μmになるように塗工し、90℃で15秒乾燥した後、積算光量が70mJ/cmの紫外線(ヘレウス社製、LC6B、Hバルブ)を大気中で照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムにセラミックスラリーを塗工し、離型層表面粗さ、剥離性、ピンホール、塗工性、カール、耐溶剤性を評価したところ、良好な評価結果が得られた。
メチルエチルケトン 22.40質量部
イソプロピルアルコール 67.20質量部
ラジカル硬化性物質(a):10官能ウレタンアクリレート 8.50質量部
(製品名:紫光(登録商標)UV-1700B、日本合成化学社製、固形分100質量%)
チオール基含有化合物(b):4官能チオール基含有化合物 1.00質量部
(製品名:カレンズMT(登録商標)PE1、昭和電工社製、固形分100質量%)
離型剤(c):アクリロイル基含有アクリルシリコーン 0.50質量部
(製品名:GL-04R、共栄社化学社製、固形分20質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Example 1)
A coating liquid 1 having the composition shown below is applied onto the surface layer A of the laminated film X1 using a wire bar so that the release layer thickness after drying is 0.4 μm, and dried at 90 ° C. for 15 seconds. Then, a release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained by irradiating ultraviolet rays (manufactured by Heraeus, LC6B, H bulb) having an integrated light amount of 70 mJ / cm 2 in the atmosphere. A ceramic slurry was applied to the obtained release film, and the surface roughness, peelability, pinhole, coatability, curl, and solvent resistance of the release layer were evaluated. As a result, good evaluation results were obtained.
Methyl ethyl ketone 22.40 parts by mass Isopropyl alcohol 67.20 parts by mass Radical curable substance (a): 10-functional urethane acrylate 8.50 parts by mass (Product name: Shikou (registered trademark) UV-1700B, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd., solid Minute 100% by mass)
Thiol group-containing compound (b): 1.00 part by mass of tetrafunctional thiol group-containing compound
(Product name: Calends MT (registered trademark) PE1, manufactured by Showa Denko KK, solid content 100% by mass)
Release agent (c): Acryloyl group-containing acrylic silicone 0.50 parts by mass (Product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20% by mass)
Radical Initiator (d): 2-Hirodoxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(実施例2)
ラジカル硬化性物質(a)を9官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV-7620EA、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 2)
Release for manufacturing ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to 9-functional urethane acrylate (Shikou (registered trademark) UV-7620EA, manufactured by Nippon Synthetic Chemistry Co., Ltd.). Obtained a mold film.

(実施例3)
ラジカル硬化性物質(a)を6官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV-7600B、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 3)
Release for manufacturing ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a hexafunctional urethane acrylate (Shikou (registered trademark) UV-7600B, manufactured by Nippon Synthetic Chemistry Co., Ltd.). Obtained a mold film.

(実施例4)
ラジカル硬化性物質(a)を5官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV-7650B、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 4)
Release for manufacturing ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a pentafunctional urethane acrylate (Shikou (registered trademark) UV-7650B, manufactured by Nippon Synthetic Chemistry Co., Ltd.). Obtained a mold film.

(実施例5)
ラジカル硬化性物質(a)を3官能ウレタンアクリレート(紫光(登録商標)UV-7550B、日本合成化学社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 5)
Release for manufacturing ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a trifunctional urethane acrylate (Shikou (registered trademark) UV-7550B, manufactured by Nippon Synthetic Chemistry Co., Ltd.). Obtained a mold film.

(実施例6)
ラジカル硬化性物質(a)を6官能アクリレート(A-DPH、新中村化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 6)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a hexafunctional acrylate (A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.). ..

(実施例7)
ラジカル硬化性物質(a)を4官能アクリレート(A-TMMT、新中村化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 7)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a tetrafunctional acrylate (A-TMMT, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.). ..

(実施例8)
ラジカル硬化性物質(a)をデンドリマー型多官能アクリレート(SIRIUS-501、大阪有機化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a dendrimer type polyfunctional acrylate (SIRIUS-501, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.). Obtained.

(実施例9)
ラジカル硬化性物質(a)を3官能アリル化合物(タイク(登録商標)トリイソシアヌレート、日本化成社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 9)
Mold release for manufacturing ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the radical curable substance (a) was changed to a trifunctional allyl compound (Tyke (registered trademark) triisocyanurate, manufactured by Nihon Kasei Co., Ltd.). I got a film.

(実施例10、11)
チオール基含有化合物(b)の含有量を表1に記載の量に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Examples 10 and 11)
A release film for producing an ultrathin layer ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the content of the thiol group-containing compound (b) was changed to the amount shown in Table 1.

(実施例12)
チオール基含有化合物(b)を3官能チオール(カレンズMT(登録商標)NR1、昭和電工社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 12)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thiol group-containing compound (b) was changed to a trifunctional thiol (Calends MT (registered trademark) NR1, manufactured by Showa Denko KK). Obtained.

(実施例13)
チオール基含有化合物(b)を2官能チオール(カレンズMT(登録商標)BD1、昭和電工社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 13)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thiol group-containing compound (b) was changed to a bifunctional thiol (Calends MT (registered trademark) BD1, manufactured by Showa Denko KK). Obtained.

(実施例14)
以下に示す組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.50質量部
イソプロピルアルコール 67.50質量部
ラジカル硬化性物質(a):6官能アクリレート 8.50質量部
(製品名:A-DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
チオール基含有化合物(b):4官能チオール基含有化合物 1.00質量部
(製品名:カレンズMT(登録商標)PE1、昭和電工社製、固形分100質量%)
離型剤(c):
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン 0.10質量部
(製品名:BYK UV-3500、ビッグケミー・ジャパン社製、固形分100質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Example 14)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.50 parts by mass isopropyl alcohol 67.50 parts by mass Radical curable substance (a): Hexofunctional acrylate 8.50 parts by mass (Product name: A-DPH, manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content 100% by mass)
Thiol group-containing compound (b): 1.00 part by mass of tetrafunctional thiol group-containing compound
(Product name: Calends MT (registered trademark) PE1, manufactured by Showa Denko KK, solid content 100% by mass)
Release agent (c):
0.10 parts by mass of acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane (product name: BYK UV-3500, manufactured by Big Chemie Japan, solid content 100% by mass)
Radical Initiator (d): 2-Hirodoxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(実施例15)
離型剤(c)をフッ素系離型剤(製品名:メガファック(登録商標)RS-75、DIC社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 15)
Manufacture of ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the mold release agent (c) was changed to a fluorine-based mold release agent (product name: Megafuck (registered trademark) RS-75, manufactured by DIC Corporation). A release film was obtained.

(実施例16)
離型剤(c)をステアリルアクリレート(大阪有機化学工業社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 16)
A mold release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mold release agent (c) was changed to stearyl acrylate (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).

(実施例17)
離型剤(c)をアクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン(製品名:BYK-UV3500、ビッグケミー・ジャパン社製)に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 17)
Production of ultra-thin ceramic green sheet in the same manner as in Example 1 except that the release agent (c) was changed to acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane (product name: BYK-UV3500, manufactured by Big Chemie Japan). A release film was obtained.

(実施例18)
離型層の膜厚が1.0μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 18)
A mold release film for manufacturing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the release layer was coated so that the film thickness was 1.0 μm.

(実施例19)
離型層の膜厚が0.2μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 19)
A mold release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the release layer was coated so that the film thickness was 0.2 μm.

(実施例20)
離型層の膜厚が0.05μmになるように塗工した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 20)
A mold release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the release layer was coated so that the film thickness was 0.05 μm.

(実施例21)
基材フィルムをX2に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 21)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was changed to X2.

(実施例22)
基材フィルムをX3に変更した以外は実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Example 22)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was changed to X3.

(比較例1)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は、実施例1と同様にして超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.40質量部
イソプロピルアルコール 67.20質量部
ラジカル硬化性物質(a):10官能ウレタンアクリレート 9.50質量部
(製品名:紫光(登録商標)UV-1700B、日本合成化学社製、固形分100%)
離型剤(c):アクリロイル基含有アクリルシリコーン 0.50質量部
(製品名:GL-04R、共栄社化学社製、固形分20質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative Example 1)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.40 parts by mass isopropyl alcohol 67.20 parts by mass Radical curable substance (a): 10-functional urethane acrylate 9.50 parts by mass (Product name: Shikou (registered trademark) UV-1700B, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd., solid Minutes 100%)
Release agent (c): Acryloyl group-containing acrylic silicone 0.50 parts by mass (Product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20% by mass)
Radical Initiator (d): 2-Hirodoxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例2)
下記に示した組成である塗布液に変更した以外は実施例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.50質量部
イソプロピルアルコール 67.50質量部
ラジカル硬化性物質(a)10官能ウレタンアクリレート 8.60質量部
(製品名:紫光(登録商標)UV1700B、日本合成化学社製、固形分100%)
チオール基含有化合物(b):4官能チオール基含有化合物 1.00質量部
(製品名:カレンズMT(登録商標)PE1、昭和電工社製、固形分100質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative Example 2)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.50 parts by mass Isopropyl alcohol 67.50 parts by mass Radical curable substance (a) 10-functional urethane acrylate 8.60 parts by mass (Product name: Shikou (registered trademark) UV1700B, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Co., Ltd., solid content 100% )
Thiol group-containing compound (b): 1.00 part by mass of tetrafunctional thiol group-containing compound
(Product name: Calends MT (registered trademark) PE1, manufactured by Showa Denko KK, solid content 100% by mass)
Radical Initiator (d): 2-Hirodoxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例3)
離型層の膜厚を1.0μmになるように塗工した以外は、比較例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative Example 3)
A mold release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the release layer was coated so that the film thickness was 1.0 μm.

(比較例4)
離型層の膜厚を0.05μmになるように塗工した以外は、比較例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative Example 4)
A mold release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained by the same method as in Comparative Example 1 except that the release layer was coated so that the film thickness was 0.05 μm.

(比較例5)
以下に示す組成の塗布液に変更した以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.50質量部
イソプロピルアルコール 67.50質量部
ラジカル硬化性物質(a)6官能アクリレート 9.50質量部
(製品名:A-DPH、新中村化学工業社製、固形分100質量%)
離型剤(c):
アクリロイル基含有ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン 0.10質量部
(製品名:BYK UV-3500、ビッグケミー・ジャパン社製、固形分100質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative Example 5)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that the coating liquid had the composition shown below.
Methyl ethyl ketone 22.50 parts by mass Isopropyl alcohol 67.50 parts by mass Radical curable substance (a) Hexofunctional acrylate 9.50 parts by mass (Product name: A-DPH, manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content 100% by mass)
Release agent (c):
0.10 parts by mass of acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane (product name: BYK UV-3500, manufactured by Big Chemie Japan, solid content 100% by mass)
Radical Initiator (d): 2-Hirodoxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例6)
離型層の膜厚が1.0μmになるように塗工した以外は、比較例5と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative Example 6)
A mold release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 5 except that the release layer was coated so that the film thickness was 1.0 μm.

(比較例7)
以下の組成の塗布液を用いる以外は、実施例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
メチルエチルケトン 22.40質量部
イソプロピルアルコール 67.20質量部
ラジカル硬化性物質(a):トリアリルイソシアヌレート 9.50質量部
(製品名:タイク(登録商標)、日本化成社製、固形分100%)
離型剤(c):アクリロイル基含有アクリルシリコーン 0.50質量部
(製品名:GL-04R、共栄社化学社製、固形分20質量%)
ラジカル開始剤(d):2-ヒロドキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン 0.40質量部
(製品名:Omnirad127、IGM Resins社製、固形分100質量%)
(Comparative Example 7)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained by the same method as in Example 1 except that a coating liquid having the following composition was used.
Methyl ethyl ketone 22.40 parts by mass Isopropyl alcohol 67.20 parts by mass Radical curable substance (a): Triallyl isocyanurate 9.50 parts by mass (Product name: Tyke (registered trademark), manufactured by Nihon Kasei Co., Ltd., 100% solid content)
Release agent (c): Acryloyl group-containing acrylic silicone 0.50 parts by mass (Product name: GL-04R, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., solid content 20% by mass)
Radical Initiator (d): 2-Hirodoxy-1- {4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one 0.40 parts by mass (Product name: Omnirad127, manufactured by IGM Resins, solid content 100% by mass)

(比較例8)
窒素雰囲気下で紫外線を照射し硬化させた以外は、比較例1と同様の方法で超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。
(Comparative Example 8)
A release film for producing an ultrathin ceramic green sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that it was cured by irradiating it with ultraviolet rays in a nitrogen atmosphere.

Figure 2022016465000001
Figure 2022016465000001

Figure 2022016465000002
Figure 2022016465000002

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層表面が高平滑であり、かつ離型層の架橋密度が高く耐溶剤性に優れている。そのため、セラミックグリーンシート加工や電極印刷時に離型層が浸食されず、厚みが1μm以下の超薄層のセラミックグリーンシートを剥離する時でも剥離力が低く均一であるために、ピンホールなどの欠点が少ないセラミックグリーンシートを成型することが可能である。また、離型フィルムのカールが少ないため、セラミックグリーンシートの厚みムラや電極印刷精度の低下を引き起こすおそれがなく用いることができる。 The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention has a highly smooth release layer surface, a high crosslink density of the release layer, and excellent solvent resistance. Therefore, the release layer is not eroded during ceramic green sheet processing or electrode printing, and even when peeling an ultrathin ceramic green sheet with a thickness of 1 μm or less, the peeling force is low and uniform, resulting in defects such as pinholes. It is possible to mold a ceramic green sheet with less. Further, since the release film has less curl, it can be used without causing the thickness unevenness of the ceramic green sheet and the deterioration of the electrode printing accuracy.

Claims (12)

ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を設けた離型フィルムであって
記離型層が(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物が硬化されてなる、
セラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
A mold release film having a mold release layer on at least one side of the polyester film.
The release layer is a radical curable substance (a) having one or more radical curable functional groups selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group, a thiol group-containing compound (b), and a release agent (c). ), The composition containing the radical initiator (d) is cured.
Release film for manufacturing ceramic green sheets.
チオール基含有化合物(b)が、(メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択されるラジカル硬化性官能基を有していない請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the thiol group-containing compound (b) does not have a radical curable functional group selected from a (meth) acryloyl group and an alkenyl group. チオール基含有化合物(b)が、1分子内に2つ以上のチオール基を持つ化合物である請求項1または2に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, wherein the thiol group-containing compound (b) is a compound having two or more thiol groups in one molecule. 離型層表面のジヨードメタン接触角θと前記離型フィルムをトルエン浸漬した後の離型層表面のジヨードメタン接触角θの差(θ1-θ)が絶対値として3.0°以下である請求項1~3のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The difference (θ 1 − θ 2 ) between the diiodomethane contact angle θ 1 on the surface of the release layer and the diiodomethane contact angle θ 2 on the surface of the release layer after the release film is immersed in toluene is 3.0 ° or less as an absolute value. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 3. 前記離型剤(c)が、ポリジメチルシロキサン骨格を側鎖に有するアクリル樹脂を含む、
請求項1~4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
The release agent (c) contains an acrylic resin having a polydimethylsiloxane skeleton in the side chain.
The release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 4.
離型剤(c)が、分子内にフッ素原子を含む化合物である請求項1~4のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the release agent (c) is a compound containing a fluorine atom in the molecule. チオール基含有化合物(b)の含有量が、離型層を形成する組成物の質量総和に対して1~30質量%である請求項1~6のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release for ceramic green sheet production according to any one of claims 1 to 6, wherein the content of the thiol group-containing compound (b) is 1 to 30% by mass with respect to the total mass of the composition forming the release layer. Mold film. ポリエステルフィルムが、無機粒子を実質的に含有していない表面層A及び無機粒子を含有する反対側の表面層Bを有し、表面層A上に離型層が設けられており、前記表面層Bが含有する無機粒子がシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子であり、無機粒子の合計が表面層B中に5000~15000ppm含有されている請求項1~7のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The polyester film has a surface layer A that does not substantially contain inorganic particles and a surface layer B on the opposite side that contains inorganic particles, and a release layer is provided on the surface layer A. The ceramic green sheet production according to any one of claims 1 to 7, wherein the inorganic particles contained in B are silica particles and / or calcium carbonate particles, and the total amount of the inorganic particles is contained in the surface layer B at 5000 to 15000 ppm. Release film. 離型層の膜厚が0.01μm以上、0.5μm以下の範囲である請求項1~8のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。 The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 8, wherein the release layer has a film thickness in the range of 0.01 μm or more and 0.5 μm or less. (メタ)アクリロイル基およびアルケニル基から選択される1種類以上のラジカル硬化性官能基を有するラジカル硬化性物質(a)、チオール基含有化合物(b)、離型剤(c)、ラジカル開始剤(d)を含有する組成物を大気中で硬化させて離型層を形成する請求項1~9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの製造方法。 (Meta) Radical curable substance (a) having one or more radical curable functional groups selected from acryloyl group and alkenyl group, thiol group-containing compound (b), mold release agent (c), radical initiator ( The method for producing a release film for producing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 9, wherein the composition containing d) is cured in the air to form a release layer. 0.2μm~1.0μmの厚みを有するセラミックグリーンシートの製造方法であって、請求項1~9のいずれかに記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを用いるセラミックグリーンシートの製造方法 A method for producing a ceramic green sheet having a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm, wherein the ceramic green sheet is produced by using the release film for producing the ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 9. 請求項11に記載のセラミックグリーンシートの製造方法を採用するセラミックコンデンサの製造方法。 A method for manufacturing a ceramic capacitor, which employs the method for manufacturing a ceramic green sheet according to claim 11.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08506852A (en) * 1993-02-16 1996-07-23 ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー System including release agent and high release adhesive re-release adhesive
WO2013145864A1 (en) * 2012-03-28 2013-10-03 リンテック株式会社 Peeling film for step for producing ceramic green sheet
JP2014189007A (en) * 2013-03-28 2014-10-06 Lintec Corp Release film for green sheet production
WO2017110472A1 (en) * 2015-12-22 2017-06-29 日油株式会社 Curable resin composition for release sheet, release sheet, processing base material using same, and method for protecting base material

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08506852A (en) * 1993-02-16 1996-07-23 ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー System including release agent and high release adhesive re-release adhesive
WO2013145864A1 (en) * 2012-03-28 2013-10-03 リンテック株式会社 Peeling film for step for producing ceramic green sheet
KR20140139581A (en) * 2012-03-28 2014-12-05 린텍 가부시키가이샤 Peeling film for step for producing ceramic green sheet
US20150037536A1 (en) * 2012-03-28 2015-02-05 Lintec Corporation Release film for ceramic green sheet production process
JP2014189007A (en) * 2013-03-28 2014-10-06 Lintec Corp Release film for green sheet production
WO2017110472A1 (en) * 2015-12-22 2017-06-29 日油株式会社 Curable resin composition for release sheet, release sheet, processing base material using same, and method for protecting base material

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