KR102518776B1 - Release Film for Ceramic Green Sheet Manufacturing - Google Patents

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Abstract

[과제] 박리성이 우수하고, 성형되는 극박의 세라믹 그린 시트에 핀 홀 결점이나, 박리 시의 크랙 등의 대미지를 발생하기 어려운 세라믹 그린 시트 성형용 이형 필름을 제공하는 것.
[해결 수단] 폴리에스테르 필름의 적어도 편면에 직접 또는 다른 층을 통해 0.2 내지 3.5㎛의 이형층이 적층된 이형 필름이며, 상기 이형층 표면의 영역 표면 조도(Sa)가 5 내지 40nm, 최대 산 높이(Rp)가 60nm 이하인 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.
[Problem] To provide a release film for forming a ceramic green sheet that has excellent peelability and hardly causes damage such as pinhole defects or cracks during peeling to an ultrathin ceramic green sheet to be molded.
[Solution Means] A release film in which a release layer of 0.2 to 3.5 μm is laminated on at least one side of a polyester film directly or through another layer, the area surface roughness (Sa) of the surface of the release layer is 5 to 40 nm, and the maximum peak height (Rp) a release film for producing a ceramic green sheet of 60 nm or less.

Description

세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름Release Film for Ceramic Green Sheet Manufacturing

본 발명은 초박층의 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름에 관한 것이고, 상세하게는 초박층의 세라믹 그린 시트 제조 시에 핀 홀 및 두께 불균일이나 박리 불량에 의한 공정 불량의 발생을 억제한 것을 제조할 수 있는, 초박층의 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet, and more particularly, to a release film capable of suppressing the occurrence of process defects due to pinholes, non-uniformity in thickness, or defective peeling during the manufacture of an ultra-thin ceramic green sheet. , It relates to a release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet.

종래 폴리에스테르 필름을 기재로 하고, 그 위에 이형층을 적층한 이형 필름은, 적층 세라믹 콘덴서(이하 MLCC라 함), 세라믹 기판 등의 세라믹 그린 시트 성형용에 사용되고 있다. 근년, 적층 세라믹 콘덴서의 소형화·대용량화에 수반하여, 세라믹 그린 시트의 두께도 박막화되는 경향이 있다. 세라믹 그린 시트는, 이형 필름에, 티타늄산바륨 등의 세라믹 성분과 바인더 수지를 함유한 슬러리를 도공하여 건조시킴으로써 성형된다. 성형한 세라믹 그린 시트에 전극을 인쇄하고 이형 필름으로부터 박리한 후, 세라믹 그린 시트를 적층, 프레스하여 재단 후, 소성, 외부 전극을 도포함으로써 적층 세라믹 콘덴서가 제조된다. 지금까지, 폴리에스테르 필름의 이형층 표면에 세라믹 그린 시트를 성형하는 경우, 이형층 표면의 미소한 돌기가 성형된 세라믹 그린 시트에 영향을 주어, 크레이터링이나 핀 홀 등의 결점이 발생하기 쉬워진다는 문제점이 있었다. 그 때문에, 우수한 평탄성을 갖는 이형층 표면을 실현하기 위한 방법이 각종 개발되어 왔다(예를 들어, 특허문헌 1).Conventionally, a release film in which a release layer is laminated on a polyester film as a base material is used for molding ceramic green sheets such as multilayer ceramic capacitors (hereinafter referred to as MLCC) and ceramic substrates. In recent years, along with miniaturization and increase in capacity of multilayer ceramic capacitors, the thickness of ceramic green sheets also tends to be reduced. The ceramic green sheet is molded by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin to a release film and drying it. A multilayer ceramic capacitor is manufactured by printing electrodes on the molded ceramic green sheets, peeling them off from the release film, laminating the ceramic green sheets, pressing and cutting them, firing them, and coating them with external electrodes. Until now, when a ceramic green sheet is molded on the surface of a release layer of a polyester film, fine protrusions on the surface of the release layer affect the molded ceramic green sheet, and defects such as cratering and pinholes tend to occur. had a problem. Therefore, various methods have been developed for realizing a release layer surface having excellent flatness (for example, Patent Document 1).

그러나 근년, 더 한층의 세라믹 그린 시트의 박막화가 진행되어, 1.0㎛ 이하, 보다 상세하게는 0.2㎛ 내지 1.0㎛의 두께의 세라믹 그린 시트가 요구되어 왔다. 그 때문에, 이형층 표면에 보다 높은 평활성이 요구되게 되었다. 또한, 세라믹 그린 시트의 박막화에 수반하여, 세라믹 그린 시트의 강도가 저하되기 때문에, 이형층 표면의 평활화뿐만 아니라, 세라믹 그린 시트를 이형 필름으로부터 박리할 때의 박리력을 낮으면서 균일하게 하는 것이 바람직하고, 이형 필름으로부터 세라믹 그린 시트를 박리할 때에 세라믹 그린 시트에 가해지는 부하를 최대한 적게 하여, 세라믹 그린 시트에 대미지를 끼치지 않도록 하는 것이 바람직하게 되어 왔다.However, in recent years, further thinning of the ceramic green sheet has progressed, and a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically, 0.2 μm to 1.0 μm has been required. Therefore, higher smoothness has come to be requested|required of the surface of a release layer. In addition, since the strength of the ceramic green sheet decreases as the ceramic green sheet thins, it is preferable not only to smooth the surface of the release layer, but also to make the peeling force at the time of peeling the ceramic green sheet from the release film low and uniform. It has been desirable to minimize the load applied to the ceramic green sheet when peeling the ceramic green sheet from the release film so as not to damage the ceramic green sheet.

이형층 표면의 평활화와 박리 시의 세라믹 그린 시트에의 부하를 억제하는 이형층측에서의 방법으로서는, 이형 필름의 이형층에 활성 에너지선 경화 성분을 사용함으로써 이형층의 가교 밀도를 높이고, 탄성률을 향상시킴으로써, 세라믹 그린 시트 박리 시에 있어서의 이형층의 탄성 변형을 억제하여 박리력을 가볍게 하는 방책이 검토되고 있다(예를 들어, 특허문헌 2, 3). 그러나 이 방법에서는, 평활성이 너무 높기 때문에 면 박리가 되고, 박리력이 무거워져, 그린 시트에 크랙이 발생하는 경우가 있었다. 또한 초박막의 세라믹 그린 시트를 가공 시에, 평활면이 도공 설비의 장력 제어하기 위한 평활 롤이나 고무 롤에 접하면, 롤과 평활면의 미끄럼성이 불충분하여 장력 제어가 불안정해지고, 그린 시트 도포면의 평활성이 저하되는 문제가 있었다.As a method on the side of the release layer for smoothing the surface of the release layer and suppressing the load on the ceramic green sheet during peeling, an active energy ray curing component is used in the release layer of the release film to increase the crosslinking density of the release layer and improve the elastic modulus. , Measures to reduce the peeling force by suppressing the elastic deformation of the release layer during peeling of the ceramic green sheet have been studied (for example, Patent Literatures 2 and 3). However, in this method, since the smoothness was too high, surface peeling occurred, the peeling force became heavy, and cracks occurred in the green sheet in some cases. In addition, when the ultra-thin ceramic green sheet is processed, when the smooth surface comes in contact with a smooth roll or rubber roll for controlling the tension of the coating equipment, the slipperiness between the roll and the smooth surface is insufficient and the tension control becomes unstable, and the green sheet coated surface becomes unstable. There was a problem of deterioration in smoothness.

그래서, 박리 개시 시의 계기(박리 개시점)가 되는 적당한 대돌기를 갖는 폴리에스테르 필름으로 함으로써, 평활성과 균일한 박리성의 밸런스가 우수한 이형 필름이 보고되어 있다(예를 들어, 특허문헌 4). 그러나, PET에 이겨넣어진 필러의 경우, 필러 응집에 의한 조대 돌기를 완전히 없앨 수 없어, 제품의 결점 요인이 되는 문제가 있었다. 특히, 초박층 세라믹 그린 시트에서는, 세라믹 재료로서 사용되는 무기 필러는 60nm 내지 800nm 정도의 입경이기 때문에(특허문헌 5, 6), 특허문헌 4에 기재되는 필름을 사용하면, 박리면에서 국소적인 구멍이 발생하는 문제가 있었다.Then, a release film excellent in the balance of smoothness and uniform peelability has been reported by setting it as a polyester film having appropriate large projections serving as a trigger (peeling start point) at the time of peeling start (for example, Patent Literature 4). However, in the case of a filler incorporated into PET, coarse protrusions due to filler aggregation could not be completely eliminated, resulting in a defect in the product. In particular, in the ultra-thin ceramic green sheet, since the inorganic filler used as the ceramic material has a particle size of about 60 nm to 800 nm (Patent Documents 5 and 6), when the film described in Patent Document 4 is used, local holes are formed on the peeling surface. There was a problem with this occurring.

일본 특허 공개 제2000-117899호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-117899 국제 공개 제2013/145864호International Publication No. 2013/145864 국제 공개 제2013/145865호International Publication No. 2013/145865 국제 공개 제2014/203702호International Publication No. 2014/203702 일본 특허 공개 제2016-127120호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-127120 일본 특허 공개 제2017-081805호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-081805

그래서, 본 발명자들은 예의 검토를 행한 결과, 이형층 표면에 연속적으로 일정한 형상을 갖는 저돌기를 형성시킴으로써, 상기 중박리화, 가공 적성 저하와 결점 요인의 발생을 동시에 억제할 수 있음을 확인하였다. 그리고, 본 발명의 과제는, 박리성이 우수하고, 성형되는 극박의 세라믹 그린 시트에 핀 홀 결점이나, 박리 시의 크랙 등의 대미지를 발생하기 어려운 세라믹 그린 시트 성형용 이형 필름을 제공하는 것이다.Then, as a result of earnest examination, the inventors of the present invention confirmed that the above-mentioned heavy peeling, reduction in processability and generation of fault factors could be suppressed at the same time by forming low protrusions having a constant shape continuously on the surface of the release layer. Another object of the present invention is to provide a release film for forming a ceramic green sheet that has excellent peelability and hardly causes damage such as pinhole defects or cracks during peeling to an ultrathin ceramic green sheet to be formed.

즉, 본 발명은 이하의 구성을 포함한다.That is, the present invention includes the following configurations.

1. 폴리에스테르 필름의 적어도 편면에 직접 또는 다른 층을 통해 0.2 내지 3.5㎛의 이형층이 적층된 이형 필름이며, 상기 이형층 표면의 영역 표면 조도(Sa)가 5 내지 40nm, 최대 산 높이(Rp)가 60nm 이하인 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.1. A release film in which a release layer of 0.2 to 3.5 μm is laminated on at least one side of a polyester film directly or through another layer, and the area surface roughness (Sa) of the surface of the release layer is 5 to 40 nm, the maximum peak height (Rp ) is a release film for producing ceramic green sheets with a thickness of 60 nm or less.

2. 이형층이, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I)과, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)을 바다 성분으로 하고, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)과 비상용이며 섬 성분이 되는 수지 (II)와, 이형 성분 (III)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지는 상기 제1에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.2. The release layer contains an energy ray-curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule, and the energy ray-curable compound (I) as a sea component, an island component that is incompatible with the energy ray-curable compound (I) The release film for producing a ceramic green sheet according to the first item, obtained by curing a coating film containing at least the resin (II) and the release component (III).

3. 이형층이 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 상기 제1 또는 제2에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.3. The release film for producing a ceramic green sheet according to the above 1st or 2nd, wherein the release layer does not substantially contain inorganic particles.

4. 폴리에스테르 필름이, 적어도 표면층 A와, 상기 표면층 A와는 반대측의 표면층 B를 포함하는 2층 이상을 포함하는 적층 폴리에스테르 필름이며, 상기 표면층 A 상에 이형층이 적층되어 있고, 표면층 A에는 실질적으로 무기 입자가 함유되어 있지 않는 상기 제1 내지 제3 중 어느 한 항에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.4. The polyester film is a laminated polyester film comprising two or more layers including at least a surface layer A and a surface layer B on the opposite side to the surface layer A, a release layer is laminated on the surface layer A, and the surface layer A has The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of 1st to 3rd above, which is substantially free of inorganic particles.

5. 표면층 B가 입자를 함유하고, 상기 입자가 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자이며, 합계의 입자의 함유량이 표면층 B의 총 질량에 대하여 5000 내지 15000ppm인 상기 제4에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.5. The release mold for producing a ceramic green sheet according to 4 above, wherein the surface layer B contains particles, the particles are silica particles and/or calcium carbonate particles, and the total content of the particles is 5000 to 15000 ppm with respect to the total mass of the surface layer B. film.

6. 폴리에스테르 필름이 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않고, 폴리에스테르 필름의 이형층이 적층되어 있지 않는 측에 입자를 포함하는 코팅층이 적층되어 있는 상기 제1 내지 제3 중 어느 한 항에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.6. The ceramic according to any one of 1 to 3 above, wherein the polyester film does not substantially contain inorganic particles and a coating layer containing particles is laminated on the side of the polyester film on which the release layer is not laminated. Release film for manufacturing green sheets.

7. 상기 제1 내지 제6 중 어느 한 항에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름을 사용하여 세라믹 그린 시트를 성형하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법이며, 성형된 세라믹 그린 시트가 0.2㎛ 내지 1.0㎛의 두께인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.7. A method for manufacturing a ceramic green sheet in which a ceramic green sheet is molded using the release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of 1 to 6 above, wherein the molded ceramic green sheet has a thickness of 0.2 µm to 1.0 µm Method for producing a ceramic green sheet, characterized in that.

본 발명의 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름에 의하면, 종래의 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름과 비교하여, 박리력이 과도하게 무겁지 않고, 가공성이 우수하며, 이형층에 대돌기가 없기 때문에, 성형되는 두께 1㎛ 이하와 같은 초박막 세라믹 그린 시트에 핀 홀 등의 결점을 적게 할 수 있는 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름의 제공이 가능하게 되었다.According to the release film for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention, compared to the conventional release film for manufacturing a ceramic green sheet, the peeling force is not excessively heavy, the processability is excellent, and the release layer has no large protrusions, so the molded thickness is 1 It has become possible to provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet capable of reducing defects such as pinholes in an ultra-thin ceramic green sheet having a thickness of less than ㎛.

이하, 본 발명에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명의 초박층 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름은, 폴리에스테르 필름의 적어도 편면에 직접 또는 다른 층을 통해 이형층을 갖고 있으며, 이형층 표면의 영역 표면 조도(Sa)가 5 내지 40nm, 최대 산 높이(Rp)가 60nm 이하인 것이 바람직하다. 그리고, 상기 이형층이, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I)과, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)과 비상용이며 상분리에 의한 해도 구조를 형성하는 수지 (II)와, 이형 성분 (III)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지는 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름을 바람직한 양태로 하는 것이다.The release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet of the present invention has a release layer on at least one side of a polyester film directly or through another layer, and the area surface roughness (Sa) of the surface of the release layer is 5 to 40 nm, and the maximum peak height is (Rp) is preferably 60 nm or less. Then, the release layer comprises an energy ray-curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule, and a resin (II) that is incompatible with the energy ray-curable compound (I) and forms a sea-island structure by phase separation; A release film for producing a ceramic green sheet obtained by curing a coating film containing at least component (III) is a preferred embodiment.

(폴리에스테르 필름)(polyester film)

본 발명의 이형 필름에 있어서 기재로서 사용하는 폴리에스테르 필름을 구성하는 폴리에스테르는, 특별히 한정되지 않고, 이형 필름 기재로서 통상 일반적으로 사용되고 있는 폴리에스테르를 필름 성형한 것을 사용할 수 있지만, 바람직하게는 방향족 이염기산 성분과 디올 성분을 포함하는 결정성의 선상 포화 폴리에스테르인 것이 좋고, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌-2,6-나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리트리메틸렌테레프탈레이트 또는 이들 수지의 구성 성분을 주성분으로 하는 공중합체가 더욱 적합하고, 특히 폴리에틸렌테레프탈레이트로부터 형성된 폴리에스테르 필름이 적합하다. 폴리에틸렌테레프탈레이트는, 에틸렌테레프탈레이트의 반복 단위가 바람직하게는 90몰% 이상, 보다 바람직하게는 95몰% 이상이며, 다른 디카르복실산 성분, 디올 성분이 소량 공중합되어 있어도 되지만, 비용의 점에서, 테레프탈산과 에틸렌글리콜만으로 제조된 것이 바람직하다. 또한, 본 발명의 필름 효과를 저해하지 않는 범위 내에서, 공지된 첨가제, 예를 들어 산화 방지제, 광안정제, 자외선 흡수제, 결정화제 등을 첨가해도 된다. 폴리에스테르 필름은 쌍방향의 탄성률이 높다는 등의 이유로부터 폴리에스테르 필름인 것이 바람직하다.The polyester constituting the polyester film used as a base material in the release film of the present invention is not particularly limited, and a film formed of a polyester commonly used as a release film base material can be used, but is preferably aromatic. It is preferably a crystalline linear saturated polyester containing a dibasic acid component and a diol component, such as polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate or these resins. Copolymers containing constituents as main components are more suitable, and in particular, polyester films formed from polyethylene terephthalate are suitable. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in small amounts, but from the point of cost , preferably made only of terephthalic acid and ethylene glycol. In addition, known additives such as antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, and crystallizers may be added within a range that does not impair the effect of the film of the present invention. It is preferable that a polyester film is a polyester film for reasons, such as a high elastic modulus in both directions, as for a polyester film.

상기 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 고유 점도는 0.50 내지 0.70dl/g이 바람직하고, 0.52 내지 0.62dl/g이 보다 바람직하다. 고유 점도가 0.50dl/g 이상인 경우, 연신 공정에서 파단이 발생하기 어려워서 바람직하다. 반대로, 0.70dl/g 이하인 경우, 소정의 제품폭으로 재단할 때의 재단성이 좋고, 치수 불량이 발생하지 않으므로 바람직하다. 또한, 원료는 충분히 진공 건조시키는 것이 바람직하다.The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl/g, more preferably 0.52 to 0.62 dl/g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl/g or more, breakage is less likely to occur in the stretching step, which is preferable. Conversely, when it is 0.70 dl/g or less, the cutting property at the time of cutting to a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur, so it is preferable. In addition, it is preferable to vacuum-dry the raw material sufficiently.

본 발명에 있어서의 폴리에스테르 필름의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 종래 일반적으로 사용되고 있는 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기 폴리에스테르를 압출기에서 용융하여, 필름상으로 압출하고, 회전 냉각 드럼에서 냉각시킴으로써 미연신 필름을 얻어, 해당 미연신 필름을 1축 또는 2축 연신함으로써 얻을 수 있다. 2축 연신 필름은, 세로 방향 혹은 가로 방향의 1축 연신 필름을 가로 방향 또는 세로 방향으로 축차 2축 연신하는 방법, 혹은 미연신 필름을 세로 방향과 가로 방향으로 동시 2축 연신하는 방법으로 얻을 수 있다.The manufacturing method of the polyester film in this invention is not specifically limited, Conventionally, the method generally used can be used. For example, it can be obtained by melting the polyester in an extruder, extruding it into a film form, cooling it in a rotating cooling drum to obtain an unstretched film, and uniaxially or biaxially stretching the unstretched film. The biaxially stretched film can be obtained by sequentially biaxially stretching a longitudinally or transversely uniaxially oriented film in the transverse or longitudinal direction, or by simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal and transverse directions. there is.

본 발명에 있어서, 폴리에스테르 필름 연신 시의 연신 온도는 폴리에스테르의 이차 전이점(Tg) 이상으로 하는 것이 바람직하다. 세로, 가로 각각의 방향으로 1 내지 8배, 특히 2 내지 6배의 연신을 하는 것이 바람직하다.In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably equal to or higher than the secondary transition point (Tg) of polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in each of the vertical and horizontal directions.

상기 폴리에스테르 필름은, 두께가 12 내지 50㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 12 내지 38㎛이며, 보다 바람직하게는 15㎛ 내지 31㎛이다. 필름의 두께가 12㎛ 이상이면, 필름 생산 시나 이형층의 가공 공정, 세라믹 그린 시트의 성형 시에, 열에 의해 변형될 우려가 없어 바람직하다. 한편, 필름의 두께가 50㎛ 이하이면, 사용 후에 폐기하는 필름의 양이 극도로 많아지지 않아, 환경 부하를 작게 하기 위해서 바람직하고, 나아가, 사용하는 이형 필름의 면적당 재료가 적어지기 때문에 경제적 관점에서도 바람직하다.The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 μm, more preferably 12 to 38 μm, more preferably 15 μm to 31 μm. When the thickness of the film is 12 μm or more, there is no risk of deformation due to heat during production of the film, processing of the release layer, or molding of the ceramic green sheet, which is preferable. On the other hand, when the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film discarded after use does not increase extremely, which is preferable in order to reduce the environmental load, and furthermore, since the material per area of the release film to be used is reduced, it is also from an economic point of view. desirable.

상기 폴리에스테르 필름 기재는, 단층이어도 2층 이상의 다층이어도 상관없지만, 적어도 편면에는 실질적으로 무기 입자를 포함하지 않는 표면층 A를 갖는 적층 폴리에스테르 필름인 것이 바람직하다. 2층 이상의 다층 구성을 포함하는 적층 폴리에스테르 필름의 경우에는, 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 표면층 A의 반대면에는, 입자 등을 함유할 수 있는 표면층 B를 갖는 것이 바람직하다. 적층 구성으로서는, 이형층을 도포하는 측의 층을 표면층 A, 그 반대면의 층을 표면층 B, 이들 이외의 코어층을 코어층 C라 하면, 두께 방향의 층 구성은 이형층/표면층 A/표면층 B, 혹은 이형층/표면층 A/코어층 C/표면층 B 등의 적층 구조를 들 수 있다. 당연히 코어층 C는 복수의 층 구성이어도 상관없다. 또한, 표면층 B에는 입자를 포함하지 않을 수도 있다. 그 경우, 필름을 롤상으로 권취하기 위한 미끄럼성을 부여하기 위해서, 표면층 B 상에는 입자와 바인더를 포함한 코팅층 (D)를 마련하는 것이 바람직하다.The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a laminated polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side thereof. In the case of a laminated polyester film comprising a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing particles or the like on the opposite side of the surface layer A that does not substantially contain inorganic particles. As for the laminate configuration, if the layer on the side where the release layer is applied is called surface layer A, the layer on the opposite side is called surface layer B, and the core layer other than these is called core layer C, the layer configuration in the thickness direction is release layer/surface layer A/surface layer. B, or a laminated structure such as release layer/surface layer A/core layer C/surface layer B is exemplified. Naturally, the core layer C may have a plurality of layer configurations. Also, the surface layer B may not contain particles. In that case, it is preferable to provide a coating layer (D) containing particles and a binder on the surface layer B in order to impart sliding properties for winding the film into a roll shape.

본 발명에 있어서의 폴리에스테르 필름 기재에 있어서, 이형층을 도포하는 면을 형성하는 표면층 A는, 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 것이 바람직하다. 이 때, 표면층 A의 영역 표면 평균 조도(Sa)는 7nm 이하가 바람직하다. Sa가 7nm 이하이면, 이형층의 막 두께가 2.0㎛ 이하, 더 얇게 0.5㎛ 이하와 같은 박막이라도, 적층하는 초박층 세라믹 그린 시트의 성형 시에 핀 홀 등의 발생이 일어나기 어려워서 바람직하다. 표면층 A의 영역 표면 평균 조도(Sa)는 작을수록 바람직하다고 할 수 있지만, 0.1nm 이상이면 상관없다. 단, 표면층 A 상에 후술하는 앵커 코팅층 등을 마련하는 경우에는, 코팅층에 실질적으로 무기 입자를 포함하지 않는 것이 바람직하고, 코팅층 적층 후의 영역 표면 평균 조도(Sa)가 상기 범위 내인 것이 바람직하다. 본 발명에 있어서 「무기 입자를 실질적으로 함유하지 않는」이란, 형광 X선 분석으로 무기 원소를 정량한 경우에 50ppm 이하인 것에 의해 정의되고, 바람직하게는 10ppm 이하, 가장 바람직하게는 검출 한계 이하가 되는 함유량이다. 이것은 적극적으로 무기 입자를 필름 중에 첨가시키지 않아도, 외래 이물 유래의 오염 성분이나, 원료 수지 혹은 필름의 제조 공정에 있어서의 라인이나 장치에 부착된 오염이 박리되어, 필름 중에 혼입되는 경우가 있기 때문이다.In the polyester film base material in the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface on which the release layer is applied does not substantially contain inorganic particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, even if the release layer has a thickness of 2.0 μm or less, or even a thin film such as 0.5 μm or less, occurrence of pinholes or the like is difficult to occur during formation of the laminated ultra-thin layer ceramic green sheet, which is preferable. It can be said that the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably as small as possible, but it does not matter as long as it is 0.1 nm or more. However, when an anchor coating layer or the like described below is provided on the surface layer A, it is preferable that the coating layer does not substantially contain inorganic particles, and the average surface roughness (Sa) of the region after lamination of the coating layer is preferably within the above range. In the present invention, "substantially not containing inorganic particles" is defined as being 50 ppm or less when inorganic elements are quantified by fluorescence X-ray analysis, preferably 10 ppm or less, and most preferably below the detection limit. is the content This is because even if inorganic particles are not actively added to the film, foreign matter-derived contaminants and raw material resins or contaminants adhering to lines and equipment in the production process of the film may be peeled off and mixed in the film. .

본 발명에 있어서의 폴리에스테르 필름 기재가 적층 필름인 경우에 있어서, 이형층을 도포하는 표면층 A와 반대면을 형성하는 표면층 B는, 필름의 미끄럼성이나 공기 제거 용이성의 관점에서, 입자를 함유하는 것이 바람직하고, 특히 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자를 함유하는 것이 바람직하다. 함유되는 입자 함유량은, 표면층 B 중에 입자의 합계로 5000 내지 15000ppm인 것이 바람직하다. 이 때, 표면층 B의 필름의 영역 표면 평균 조도(Sa)는 1 내지 40nm의 범위인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 5 내지 35nm의 범위이다. 표면층 B의 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자의 합계가 5000ppm 이상, Sa가 1nm 이상인 경우에는, 필름을 롤상으로 감아올릴 때, 공기를 균일하게 빠지게 할 수 있어, 감은 모습이 양호하며 평면성이 양호함으로써, 초박층 세라믹 그린 시트의 제조에 적합한 것이 된다. 또한, 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자의 합계가 15000ppm 이하, Sa가 40nm 이하인 경우에는, 활제의 응집이 발생하기 어려워, 조대 돌기가 되지 않기 때문에, 초박층의 세라믹 그린 시트를 성형 후에 권취한 경우에도 세라믹 그린 시트에 핀 홀 등의 결점을 발생시키는 일이 없어 바람직하다.In the case where the polyester film substrate in the present invention is a laminated film, the surface layer A to which the release layer is applied and the surface layer B forming the opposite surface contain particles from the viewpoint of the slipperiness of the film and the ease of removing air. It is preferable, and it is especially preferable to contain silica particles and/or calcium carbonate particles. The particle content to be contained is preferably 5000 to 15000 ppm in total of the particles in the surface layer B. At this time, it is preferable that the region surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is the range of 5-35 nm. When the total amount of silica particles and/or calcium carbonate particles in the surface layer B is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is rolled up into a roll, air can be uniformly released, the winding appearance is good, and the flatness is good. , which is suitable for the production of ultra-thin ceramic green sheets. Further, when the total amount of silica particles and/or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, aggregation of the lubricant is unlikely to occur and coarse protrusions are not formed. It is preferable because defects such as pinholes do not occur in the Edo ceramic green sheet.

상기 표면층 B에 함유하는 입자로서는, 투명성이나 비용의 관점에서 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자를 사용하는 것이 보다 바람직하다. 실리카 및/또는 탄산칼슘 이외에 불활성 무기 입자 및/또는 내열성 유기 입자 등을 사용할 수 있고, 그 밖에도 사용할 수 있는 무기 입자로서는, 알루미나-실리카 복합 산화물 입자, 히드록시아파타이트 입자 등을 들 수 있다. 또한, 내열성 유기 입자로서는, 가교 폴리아크릴계 입자, 가교 폴리스티렌 입자, 벤조구아나민계 입자 등을 들 수 있다. 또한 실리카 입자를 사용하는 경우, 다공질의 콜로이달 실리카가 바람직하고, 탄산칼슘 입자를 사용하는 경우에는, 폴리아크릴산계의 고분자 화합물로 표면 처리를 실시한 경질 탄산칼슘이, 활제의 탈락 방지의 관점에서 바람직하다.As the particles contained in the surface layer B, it is more preferable to use silica particles and/or calcium carbonate particles from the viewpoint of transparency and cost. In addition to silica and/or calcium carbonate, inert inorganic particles and/or heat-resistant organic particles can be used. Examples of other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles, hydroxyapatite particles, and the like. Moreover, as heat-resistant organic particle|grains, crosslinked polyacrylic particle|grains, crosslinked polystyrene particle|grains, benzoguanamine type particle|grains, etc. are mentioned. In the case of using silica particles, porous colloidal silica is preferable, and in the case of using calcium carbonate particles, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. do.

상기 표면층 B에 첨가하는 입자의 평균 입자 직경은, 0.1㎛ 이상 2.0㎛ 이하가 바람직하고, 0.5㎛ 이상 1.0㎛ 이하가 특히 바람직하다. 입자의 평균 입자 직경이 0.1㎛ 이상이면, 이형 필름의 미끄럼성이 양호하여 바람직하다. 또한, 평균 입자 직경이 2.0㎛ 이하이면, 이형층 표면에 조대 입자에 의한 핀 홀이 발생할 우려가 없어 바람직하다. 또한, 입자의 평균 입자 직경의 측정 방법은, 가공 후의 필름 단면 입자를 주사형 전자 현미경으로 관찰을 행하고, 입자 100개를 관찰하여, 그의 평균값을 가지고 평균 입자 직경으로 하는 방법으로 행할 수 있다. 본 발명의 목적을 만족시키는 것이면, 입자의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니고, 구상 입자, 부정형의 구상이 아닌 입자를 사용할 수 있다. 부정형의 입자 입자 직경은 원 상당 직경으로서 계산할 수 있다. 원 상당 직경은 관찰된 입자의 면적을 원주율(π)로 제산하고, 평방근을 산출하여 2배한 값이다.The average particle diameter of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 μm or more and 2.0 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less. When the average particle diameter of the particles is 0.1 μm or more, the release film has good slipperiness and is preferable. Moreover, when the average particle size is 2.0 μm or less, there is no possibility of occurrence of pinholes due to coarse particles on the surface of the release layer, which is preferable. In addition, the method of measuring the average particle diameter of the particles can be performed by observing the particles of the cross-section of the film after processing with a scanning electron microscope, observing 100 particles, and using the average value as the average particle diameter. The shape of the particles is not particularly limited as long as the object of the present invention is satisfied, and spherical particles and irregularly shaped non-spherical particles can be used. Irregular particle The particle diameter can be calculated as an equivalent circle diameter. The equivalent circle diameter is a value obtained by dividing the area of the observed particle by the circumference ratio (π), calculating the square root, and doubling the result.

표면층 B에는 소재가 다른 입자를 2종류 이상 함유시켜도 된다. 또한, 동종의 입자이며 평균 입자 직경이 상이한 것을 함유시켜도 된다.The surface layer B may contain two or more types of particles of different materials. Moreover, you may contain what is the same kind of particle|grain and has a different average particle diameter.

표면층 B에 입자를 포함하지 않는 경우에는, 표면층 B 상에 입자를 포함한 코팅층으로 이활성을 갖게 하는 것도 바람직하다. 본 코팅층을 마련하는 수단은 특별히 한정되지 않지만, 폴리에스테르 필름의 제막 내에 도공하는 소위 인라인 코팅법으로 마련하는 것이 바람직하다. 또한, 폴리에스테르 필름의 이형층을 적층하지 않은 측의 표면에 이활성을 갖게 하는 코팅층을 마련하는 경우에는, 폴리에스테르 필름은 표면층 A 및 B를 갖고 있을 필요는 없고, 무기 입자를 실질적으로 함유하지 않는 단층의 폴리에스테르 필름을 포함하고 있어도 된다.In the case where the surface layer B does not contain particles, it is also preferable to impart lubricity to a coating layer containing particles on the surface layer B. The means for providing this coating layer is not particularly limited, but it is preferable to provide by a so-called in-line coating method in which coating is applied within the film formation of a polyester film. In the case where a coating layer having release properties is provided on the surface of the polyester film on which the release layer is not laminated, the polyester film does not need to have the surface layers A and B and does not substantially contain inorganic particles. A single-layer polyester film may be included.

표면층 B의 영역 표면 평균 조도(Sa)는 40nm 이하가 바람직하고, 35nm 이하가 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 30nm 이하이다. 또한, 표면층 B 혹은 단층 폴리에스테르 필름의 이형층을 적층하지 않은 측의 표면에 코팅층 (D)로 이활성을 갖게 하는 경우에는, 그 표면의 Sa는, 코팅층을 적층한 표면을 측정하는 것으로 하고, 상기 표면층 B의 영역 표면 평균 조도(Sa)와 동등 범위인 것이 바람직하다.The area surface average roughness (Sa) of the surface layer B is preferably 40 nm or less, more preferably 35 nm or less, still more preferably 30 nm or less. In addition, in the case where the surface layer B or the surface of the single layer polyester film on which the release layer is not laminated has the coating layer (D) to give the release activity, the surface Sa of the surface is measured as the surface on which the coating layer is laminated, It is preferably within the same range as the area surface average roughness (Sa) of the surface layer B.

(코팅층 D)(coating layer D)

상기 폴리에스테르 필름에 대하여 이형층을 적층하지 않은 측의 표면 코팅층 D 중에는, 적어도 바인더 수지 및 입자가 포함되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that at least a binder resin and particles are contained in the surface coating layer D on the side of the polyester film on which no release layer is laminated.

(코팅층 D의 바인더 수지)(Binder Resin of Coating Layer D)

이활 도포층을 구성하는 바인더 수지로서는 특별히 한정되지 않지만, 폴리머의 구체예로서는, 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지, 폴리비닐계 수지(폴리비닐알코올 등), 폴리알킬렌글리콜, 폴리알킬렌이민, 메틸셀룰로오스, 히드록시셀룰로오스, 전분류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 입자의 유지, 밀착성의 관점에서, 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 폴리에스테르 필름과의 친밀성을 고려한 경우, 폴리에스테르 수지가 특히 바람직하다. 용제에의 용해성, 분산성, 나아가 기재 필름이나 다른 층과의 접착성을 달성시키기 위해서, 바인더의 폴리에스테르는 공중합 폴리에스테르인 것이 바람직하다. 또한, 폴리에스테르 수지는 폴리우레탄 변성되어 있어도 된다. 또한, 폴리에스테르 기재 필름 상의 이활 도포층을 구성하는 다른 바람직한 바인더 수지로서는 우레탄 수지를 들 수 있다. 우레탄 수지로서는 폴리카르보네이트 폴리우레탄 수지를 들 수 있다. 또한, 폴리에스테르 수지, 폴리우레탄 수지는 병용해도 되고, 상기 다른 바인더 수지를 병용해도 된다.The binder resin constituting the lubricating coating layer is not particularly limited, but specific examples of the polymer include polyester resins, acrylic resins, urethane resins, polyvinyl resins (such as polyvinyl alcohol), polyalkylene glycols, polyalkylene imines, Methyl cellulose, hydroxy cellulose, starch, etc. are mentioned. Among these, it is preferable to use a polyester resin, an acrylic resin, or a urethane resin from the viewpoint of retention of particles and adhesion. In addition, when considering affinity with a polyester film, a polyester resin is especially preferable. In order to achieve solubility in solvents, dispersibility, and also adhesiveness with base films and other layers, it is preferable that the polyester of the binder is co-polyester. In addition, the polyester resin may be polyurethane-modified. In addition, as another preferable binder resin constituting the lubricity coating layer on the polyester base film, a urethane resin is exemplified. Polycarbonate polyurethane resin is mentioned as a urethane resin. In addition, a polyester resin and a polyurethane resin may be used together, and the said other binder resin may be used together.

(코팅층 D의 가교제)(Crosslinking agent of coating layer D)

본 발명에 있어서, 이활 도포층 중에 가교 구조를 형성시키기 위해서, 이활 도포층은 가교제가 포함되어 형성되어 있어도 된다. 가교제를 함유시킴으로써, 고온 고습 하에서의 밀착성을 더욱 향상시키는 것이 가능해진다. 구체적인 가교제로서는, 요소계, 에폭시계, 멜라민계, 이소시아네이트계, 옥사졸린계, 카르보디이미드계, 아지리딘 등을 들 수 있다. 또한, 가교 반응을 촉진시키기 위해서, 촉매 등을 필요에 따라서 적절히 사용할 수 있다.In the present invention, in order to form a cross-linked structure in the easy-slide coating layer, the easy-slide coating layer may be formed by containing a cross-linking agent. By containing a crosslinking agent, it becomes possible to further improve the adhesiveness under high temperature, high humidity. Specific crosslinking agents include urea, epoxy, melamine, isocyanate, oxazoline, carbodiimide, aziridine and the like. In addition, in order to accelerate the crosslinking reaction, a catalyst or the like can be appropriately used as needed.

(코팅층 D중의 입자)(Particles in coating layer D)

이활 도포층은, 표면에 미끄럼성을 부여하기 위해서, 활제 입자를 포함하는 것이 바람직하다. 입자는 무기 입자여도 유기 입자여도 되고, 특별히 한정되는 것은 아니지만, (1) 실리카, 카올리나이트, 탈크, 경질 탄산칼슘, 중질탄산칼슘, 제올라이트, 알루미나, 황산바륨, 카본 블랙, 산화아연, 황산아연, 탄산아연, 산화지르코늄, 이산화티타늄, 새틴 화이트, 규산알루미늄, 규조토, 규산칼슘, 수산화알루미늄, 가수 할로이사이트, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 인산칼슘, 수산화마그네슘, 황산바륨 등의 무기 입자, (2) 아크릴 혹은 메타아크릴계, 염화비닐계, 아세트산비닐계, 나일론, 스티렌/아크릴계, 스티렌/부타디엔계, 폴리스티렌/아크릴계, 폴리스티렌/이소프렌계, 폴리스티렌/이소프렌계, 메틸메타크릴레이트/부틸메타크릴레이트계, 멜라민계, 폴리카르보네이트계, 요소계, 에폭시계, 우레탄계, 페놀계, 디알릴프탈레이트계, 폴리에스테르계 등의 유기 입자를 들 수 있지만, 도포층에 적당한 미끄럼성을 부여하기 위해서, 실리카가 특히 바람직하게 사용된다.The lubrication coating layer preferably contains lubricant particles in order to impart slipperiness to the surface. The particles may be inorganic particles or organic particles, and are not particularly limited. (1) Silica, kaolinite, talc, light calcium carbonate, heavy calcium carbonate, zeolite, alumina, barium sulfate, carbon black, zinc oxide, zinc sulfate, carbonic acid Inorganic particles such as zinc, zirconium oxide, titanium dioxide, satin white, aluminum silicate, diatomaceous earth, calcium silicate, aluminum hydroxide, hydrous halloysite, calcium carbonate, magnesium carbonate, calcium phosphate, magnesium hydroxide, barium sulfate, (2) acrylic or Methacrylic, vinyl chloride, vinyl acetate, nylon, styrene/acrylic, styrene/butadiene, polystyrene/acrylic, polystyrene/isoprene, polystyrene/isoprene, methyl methacrylate/butyl methacrylate, melamine, Polycarbonate-based, urea-based, epoxy-based, urethane-based, phenol-based, diallylphthalate-based, and polyester-based organic particles are exemplified, but in order to impart appropriate slipperiness to the coating layer, silica is particularly preferred. used

입자의 평균 입경은 10nm 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20nm 이상이며, 더욱 바람직하게는 30nm 이상이다. 입자의 평균 입경은 10nm 이상이면, 응집하기 어렵고, 미끄럼성을 확보할 수 있어 바람직하다.The average particle diameter of the particles is preferably 10 nm or more, more preferably 20 nm or more, still more preferably 30 nm or more. When the average particle diameter of the particles is 10 nm or more, it is difficult to aggregate and slipperiness can be ensured, which is preferable.

입자의 평균 입경은 1000nm 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 800nm 이하이고, 더욱 바람직하게는 600nm 이하이다. 입자의 평균 입경이 1000nm 이하이면, 투명성이 유지되고, 또한 입자가 탈락하는 경우가 없어 바람직하다.The average particle diameter of the particles is preferably 1000 nm or less, more preferably 800 nm or less, still more preferably 600 nm or less. When the average particle diameter of the particles is 1000 nm or less, transparency is maintained and the particles do not fall off, which is preferable.

또한, 예를 들어 평균 입경이 10 내지 270nm 정도인 작은 입자와, 평균 입경이 300 내지 1000nm 정도인 큰 입자를 혼용하는 것도, 후술하는 영역 표면 평균 조도(Sa), 최대 돌기 높이(RP)를 작게 유지하면서, 조도 곡선 요소의 평균 길이(RSm)를 작게 하고, 미끄럼성과 평활성을 양립시키기 위해 바람직하고, 특히 바람직하게는, 30nm 이상 250nm 이하인 작은 입자와, 평균 입경이 350 내지 600nm인 큰 입자를 병용하는 것이다. 작은 입자와 큰 입자를 혼용하는 경우, 도포층 고형분 전체에 대하여, 작은 입자의 질량 함유율을 큰 입자의 질량 함유율보다 크게 해두는 것이 바람직하다.In addition, for example, mixing small particles with an average particle diameter of about 10 to 270 nm and large particles with an average particle diameter of about 300 to 1000 nm also reduces the area surface average roughness (Sa) and maximum protrusion height (RP) described later. It is preferable to reduce the average length (RSm) of the roughness curve element while maintaining it, and to achieve both slipperiness and smoothness, and particularly preferably, small particles of 30 nm or more and 250 nm or less and large particles with an average particle diameter of 350 to 600 nm are used together. is to do When small particles and large particles are mixed, it is preferable to set the mass content of small particles larger than that of large particles with respect to the total solid content of the coating layer.

상기 이형층을 마련하는 측의 층인 표면층 A에는, 핀 홀 저감의 관점에서, 활제 등의 입자의 혼입을 방지하기 위해서, 재생 원료 등을 사용하지 않는 것이 바람직하다.From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use recycled raw materials or the like in the surface layer A, which is the layer on which the release layer is provided, in order to prevent mixing of particles such as a lubricant.

상기 이형층을 마련하는 측의 층인 표면층 A의 두께 비율은, 기재 필름의 전체층 두께의 20% 이상 50% 이하인 것이 바람직하다. 20% 이상이면, 표면층 B 등에 포함되는 입자의 영향을 필름 내부로부터 받기 어렵고, 영역 표면 평균 조도 Sa가 상기 범위를 만족시키는 것이 용이하여 바람직하다. 기재 필름의 전체층의 두께의 50% 이하이면, 표면층 B에 있어서의 재생 원료의 사용 비율을 증가시킬 수 있어, 환경 부하가 작아서 바람직하다.It is preferable that the thickness ratio of the surface layer A which is the layer on the side which provides the said release layer is 20 % or more and 50 % or less of the thickness of the whole layer of a base film. When it is 20% or more, it is difficult to receive the influence of particles included in the surface layer B or the like from inside the film, and it is easy for the area surface average roughness Sa to satisfy the above range, which is preferable. When it is 50% or less of the thickness of the entire layer of the base film, the use ratio of the recycled raw material in the surface layer B can be increased, and the environmental load is small, which is preferable.

또한, 경제성의 관점에서 상기 표면층 A 이외의 층(표면층 B 혹은 전술한 코어층 C)에는, 50 내지 90질량%의 필름 부스러기나 패트병의 재생 원료를 사용할 수 있다. 이 경우에도, 표면층 B에 포함되는 활제의 종류나 양, 입자 직경 그리고 영역 표면 평균 조도(Sa)는 상기 범위를 만족시키는 것이 바람직하다.Further, from the viewpoint of economy, 50 to 90% by mass of film scraps or plastic bottle recycled raw materials can be used for layers other than the surface layer A (surface layer B or core layer C described above). Even in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant included in the surface layer B, the particle diameter, and the area average surface roughness (Sa) satisfy the above ranges.

또한, 나중에 도포하는 이형층 등의 밀착성을 향상시키거나, 대전을 방지하는 등을 위해 표면층 A 및/또는 표면층 B의 표면에 제막 공정 내의 연신 전 또는 1축 연신 후의 필름에 코팅층을 마련해도 되고, 코로나 처리 등을 실시할 수도 있다. 코팅층도 마련하는 경우에는, 각 층의 Sa는 코팅층 표면의 측정값으로 대용한다. 또한, 표면층 A의 표면에 이들 코팅층을 마련하는 경우에는, 입자를 함유하지 않는 것이 바람직하다.In addition, a coating layer may be provided on the film before stretching or after uniaxial stretching in the film forming step on the surface of the surface layer A and / or the surface layer B to improve the adhesion of a release layer or the like applied later or to prevent charging, etc. Corona treatment etc. can also be performed. When a coating layer is also provided, Sa of each layer is substituted for the measured value of the surface of the coating layer. Moreover, when providing these coating layers on the surface of surface layer A, it is preferable not to contain particle|grains.

(이형층)(release layer)

본 발명의 이형층은, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I)과 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)과 비상용이며 상분리되어 해도 구조를 형성하는 수지 (II)와, 이형 성분 (III)을 적어도 포함하는 도막을 경화하여 이루어지는 것이 바람직하다. 에너지선 경화형 화합물 (I)과 수지 (II)가 상분리되어 해도 구조를 형성함으로써, 적당한 높이의 요철을 간편하게 형성할 수 있고, 조대 돌기가 발생하지 않는 점에서, 그린 시트에 핀 홀 등이 발생하지 않는다. 또한, 평면 부분이 거의 없어지게 되어, 점에서의 박리가 되므로 무른 재질의 초박층 세라믹 그린 시트라도, 지핑없이 박리할 수 있기 때문에, 크랙이나 변형 등의 대미지를 억제할 수 있다.The release layer of the present invention comprises an energy ray-curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule, a resin (II) that is incompatible with the energy ray-curable compound (I) and forms a sea-island structure by phase separation, and a release component ( It is preferably formed by curing a coating film containing at least III). By phase-separating the energy ray-curable compound (I) and the resin (II) to form a sea-island structure, it is possible to easily form irregularities of an appropriate height, and no pinholes or the like occur in the green sheet because coarse protrusions do not occur. don't In addition, since flat portions are almost eliminated and peeling occurs at points, even an ultra-thin ceramic green sheet made of a soft material can be peeled off without zipping, so damage such as cracks and deformation can be suppressed.

(1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I))(Energy ray curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule)

본 발명에서 사용하는 에너지선 경화형 화합물 (I)로서는, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물을 사용할 수 있다. 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 가짐으로써, 고탄성율의 이형층이 되고, 그린 시트 박리 시의 이형층의 변형을 억제하여, 중박리화를 억제할 수 있다. 또한, 이형층의 내용제성을 향상시킬 수 있으므로 슬러리 도공 시에 용제에 의한 이형층의 침식 등도 막을 수 있기 때문에 바람직하다. 또한, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물로서는, 에너지선에 의해 직접적으로 반응하는가 또는 간접적으로 발생한 활성종에 의해 반응하는가는 특별히 한정하지 않는다. 에너지선 경화형 화합물 (I)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량으로서는, 60 내지 98질량%가 바람직하고, 75 내지 97질량%가 바람직하다. 60질량% 이상 첨가함으로써 가교도를 유지하고, 고탄성율을 얻을 수 있다.As the energy ray-curable compound (I) used in the present invention, an energy ray-curable compound having three or more reactive groups in one molecule can be used. By having three or more reactive groups in one molecule, it becomes a mold release layer with a high modulus of elasticity, suppresses deformation of the mold release layer at the time of peeling the green sheet, and suppresses heavy peeling. In addition, since the solvent resistance of the release layer can be improved, erosion of the release layer by the solvent at the time of slurry coating can be prevented, so it is preferable. In addition, as an energy ray-curable compound having three or more reactive groups in one molecule, whether it reacts directly with an energy ray or indirectly generated active species is not particularly limited. The content of the energy ray-curable compound (I) in the solid content in the coating liquid for forming a release layer is preferably 60 to 98% by mass, and preferably 75 to 97% by mass. By adding 60% by mass or more, the degree of crosslinking can be maintained and a high modulus of elasticity can be obtained.

에너지선 경화형 화합물 (I)의 반응성기로서는, (메트)아크릴로일기, 알케닐기, 아크릴아미드기, 말레이미드기, 에폭시기, 시클로헥센옥시드기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 가공성이 우수한 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 화합물이 바람직하다.Examples of the reactive group of the energy ray curable compound (I) include a (meth)acryloyl group, an alkenyl group, an acrylamide group, a maleimide group, an epoxy group, and a cyclohexene oxide group. Among them, an energy ray curable compound having a (meth)acryloyl group having excellent processability is preferable.

(메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 화합물로서는, 모노머, 올리고머, 폴리머에 한정되지 않고 사용할 수 있다. 또한, 적어도 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 화합물을 함유하고 있는 것이 바람직하지만, 분자 내에 1 내지 2의 반응성기를 갖는 화합물 등 2 이상의 화합물을 혼합하여 사용할 수도 있다. 이들 반응기수가 적은 화합물을 혼합함으로써, 컬 등을 억제할 수 있다.As an energy ray-curable compound having a (meth)acryloyl group, it can be used without limitation to monomers, oligomers, and polymers. In addition, it is preferable to contain a compound having three or more reactive groups in at least one molecule, but a mixture of two or more compounds, such as a compound having 1 to 2 reactive groups in a molecule, may be used. By mixing a compound with a small number of these reactive groups, curl or the like can be suppressed.

분자 내에 3 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 모노머로서는, 이소시아누르산트리아크릴레이트, 글리세린트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트 등의 다관능 (메트)아크릴레이트와 그들의 에틸렌옥시드 변성물, 프로필렌옥시드 변성물, 카프로락톤 변성물 등을 들 수 있다.Examples of the energy beam curable monomer having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule include isocyanuric acid triacrylate, glycerin tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, and pentaerythritol tetra(meth)acrylate. ) Acrylates, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaeryth polyfunctional (meth)acrylates such as ritolpenta(meth)acrylate and dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and ethylene oxide-modified products, propylene oxide-modified products, and caprolactone-modified products thereof; and the like. .

분자 내에 1 내지 2의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 모노머로서는, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 프로필(메트)아크릴레이트, 이소프로필(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 펜틸(메트)아크릴레이트, 시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 헥실(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 옥틸(메트)아크릴레이트, 이소옥틸(메트)아크릴레이트, 노닐(메트)아크릴레이트, 라우릴(메트)아크릴레이트, 스테아릴(메트)아크릴레이트, 베헤닐(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 환상 트리메틸올프로판포르말(메트)아크릴레이트, 히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 히드록시프로필(메트)아크릴레이트, (메트)아크릴산, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 펜타메틸피페리디닐(메트)아크릴레이트, 테트라메틸피페리디닐(메트)아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 노난디올디(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A 디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 시클로헥산디올디(메트)아크릴레이트 등의 모노머류와 그들의 에틸렌옥시드 변성물, 프로필렌옥시드 변성물, 카프로락톤 변성물 등을 들 수 있다.Examples of the energy ray curable monomer having 1 to 2 reactive groups in the molecule include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, and butyl (meth)acrylate. , isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, octyl ( Meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, behenyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) Acrylate, cyclic trimethylolpropane formal (meth)acrylate, hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, (meth)acrylic acid, dicyclophen Tenyloxyethyl (meth)acrylate, dicyclopentanyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, methoxy polyethylene glycol (meth)acrylate ) Acrylate, pentamethylpiperidinyl (meth)acrylate, tetramethylpiperidinyl (meth)acrylate, 1,4-butanedioldi(meth)acrylate, polyethylene glycoldi(meth)acrylate, nonanedioldi Monomers such as (meth)acrylate, bisphenol A di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, and cyclohexanediol di(meth)acrylate, and their ethylene oxide-modified products and propylene oxide-modified products Water, caprolactone modified product, etc. are mentioned.

분자 내에 3 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 올리고머류로서는, 우레탄아크릴레이트, 폴리에스테르아크릴레이트, 폴리에테르아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트, 실리콘 변성 아크릴레이트 등을 들 수 있고, 일반적으로 시판되고 있는 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 아라까와 가가꾸 고교사제 빔 세트(등록 상표) 시리즈, 신나카무라 가가쿠사제 NK 올리고 시리즈, 다이셀·올넥스사제 EBECRYL 시리즈, 오사까 유끼 가가꾸 고교사제 비스코트 시리즈, 교에샤 가가꾸사제 우레탄아크릴레이트 시리즈, DIC사제 유니딕 시리즈 등을 들 수 있다.Examples of the energy ray-curable oligomers having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule include urethane acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, epoxy acrylate, silicone-modified acrylate, and the like, which are generally commercially available. You can use what is being done. For example, Beam Set (registered trademark) series manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd., NK Oligo series manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., EBECRYL series manufactured by Daicel Allnex Corporation, Biscott series manufactured by Osaka Yuki Chemical Industry Co., Ltd., Kyoeisha The urethane acrylate series by Kagaku, the Unidic series by DIC, etc. are mentioned.

분자 내에 3 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 폴리머류로서는, 폴리머에 (메트)아크릴로일기를 그래프트한 그래프트 폴리머나, 다관능 아크릴 모노머를 폴리머 말단에 부가시킨 블록 폴리머 등을 들 수 있다. 상기와 같은 폴리머류로서는, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리오르가노실록산 등 사용할 수 있고, 특별히 한정되는 것은 아니다.Examples of energy ray-curable polymers having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule include graft polymers in which (meth)acryloyl groups are grafted onto polymers, block polymers in which polyfunctional acrylic monomers are added to polymer terminals, and the like. there is. As the above polymers, acrylic resins, epoxy resins, polyester resins, polyorganosiloxanes and the like can be used, and are not particularly limited.

(수지 (II))(Resin (II))

본 발명에서 사용하는 수지 (II)로서는, 에너지선 경화형 화합물 (I)과 동일한 용매에 용해 또는 분산시켜 도포제의 상태에서는 양자가 용해 또는 분산된 상태이지만, 도포 후, 용매의 건조, 경화를 거쳐서 형성된 이형층 중에서는 서로 비상용이며, 에너지선 경화형 화합물 (I)을 바다 성분으로 하고, 수지 (II)를 섬 성분으로 하여 해도 구조를 형성하는 것이 바람직하고, 수지 (II)로서는 상기 요건을 만족시키면 특별히 한정하지 않고 사용할 수 있다. 2 이상의 수지를 동시에 사용할 수도 있다. 수지 (II)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량으로서, 1 내지 40질량%가 바람직하고, 1 내지 10질량%가 바람직하다. 1질량% 이상 함유시킴으로써 충분한 요철을 형성할 수 있고, 40질량% 이하로 함으로써 이형층의 가교도가 높고, 박리 시의 온도 의존성이 낮아서 바람직하다.As the resin (II) used in the present invention, it is dissolved or dispersed in the same solvent as the energy ray-curable compound (I), and both are dissolved or dispersed in the state of the coating agent, but after application, the solvent is dried and cured to form a resin. Among the release layers, it is incompatible with each other, and it is preferable to form a sea-island structure using energy ray curable compound (I) as a sea component and resin (II) as an island component, and as resin (II), if the above requirements are satisfied, It can be used without limitation. Two or more resins may be used simultaneously. As content in the solid content of resin (II) in the coating liquid for mold release layer formation, 1-40 mass % is preferable, and 1-10 mass % is preferable. Sufficient unevenness can be formed by containing 1 mass % or more, and when it is 40 mass % or less, the crosslinking degree of a release layer is high and temperature dependence at the time of peeling is low, and it is preferable.

수지 (II)로서는, 예를 들어 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지, 폴리에스테르우레탄 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드이미드계 수지, 셀룰로오스계 수지 등, 용제 가용형이면 특별히 한정없이 사용할 수 있지만, 에너지선 경화형 화합물 (I)과 비상용의 수지인 것이 조건이 된다.As the resin (II), for example, a polyester resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester urethane resin, a polyimide resin, a polyamideimide resin, a cellulose resin, etc., can be used without particular limitation as long as they are solvent-soluble. , it becomes a condition that it is resin incompatible with energy ray-curable compound (I).

폴리에스테르 수지로서는 특별히 한정되지 않고, 시판되는 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 도요보사제 바이런(등록 상표) 시리즈, 닛본 고세 가가꾸 고교사제 니치고 폴리에스터(등록 상표) 시리즈 등을 들 수 있다.It does not specifically limit as a polyester resin, A commercially available thing can be used. For example, the Byron (registered trademark) series by Toyobo Co., Ltd., the Nichigo Polyester (registered trademark) series by Nippon Kose Chemical Industry Co., Ltd., etc. are mentioned.

아크릴 수지로서는, 아크릴산에스테르를 중합한 올리고머, 폴리머를 말하고, 호모폴리머여도 코폴리머여도 상관없다. 또한, 시판되는 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, DIC 가부시키가이샤제 아크리딕(등록 상표) 시리즈, 도아 고세사제 ARFON(등록 상표) 시리즈 등을 들 수 있다.As an acrylic resin, an oligomer and a polymer obtained by polymerizing acrylic acid ester are referred to, and a homopolymer or a copolymer may be used. In addition, commercially available ones can be used. For example, the Acridic (registered trademark) series by DIC Corporation, the ARFON (registered trademark) series by Toagosei Co., Ltd., etc. are mentioned.

폴리에스테르우레탄 수지로서는, 도요보사제 바이런(등록 상표) UR 시리즈 등을 들 수 있다.Examples of the polyester urethane resin include Byron (registered trademark) UR series manufactured by Toyobo Co., Ltd.

(이형 성분 (III))(heterogeneous component (III))

본 발명에서 사용하는 이형 성분 (III)으로서는, 폴리오르가노실록산, 불소 화합물, 장쇄 알킬 화합물, 왁스류 등 그린 시트와의 사이에서 이형성을 발휘할 수 있는 재료이면 되고, 특별히 한정은 없는다. 또한 이들 재료에 (메트)아크릴로일기 등을 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I)과 반응하여 결합할 수 있는 관능기를 갖는 재료가 바람직하다. 또한 2종 이상의 재료를 혼합하여 사용할 수도 있다. 이형 성분 (III)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량으로서는, 0.05 내지 10질량%가 바람직하고, 0.1 내지 5질량%가 더욱 바람직하다. 0.05질량% 이상 첨가되어 있으면 박리력을 가볍게 할 수 있고, 10질량% 이하이면 이형 성분의 세라믹 그린 시트 등으로의 이행이 억제되기 때문에 바람직하다.As the release component (III) used in the present invention, any material capable of exhibiting release properties between the green sheet, such as polyorganosiloxane, fluorine compounds, long-chain alkyl compounds, and waxes, is not particularly limited. Furthermore, materials having a functional group capable of reacting and bonding with the energy ray curable compound (I) having a (meth)acryloyl group or the like are preferable. In addition, two or more types of materials may be mixed and used. The content of the release component (III) in the solid content of the coating liquid for forming a release layer is preferably 0.05 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass. When 0.05% by mass or more is added, the peeling force can be lightened, and when it is 10% by mass or less, migration of the release component to the ceramic green sheet or the like is suppressed, so it is preferable.

폴리오르가노실록산으로서는, 폴리디메틸실록산, 폴리디에틸실록산, 폴리페닐실록산 등 외에, 일부를 유기 변성한 실록산계 화합물이나, 폴리오르가노실록산을 갖는 블록 폴리머나, 폴리오르가노실록산을 그래프트한 폴리머 등도 사용할 수 있다. 시판되는 것으로서는, 예를 들어 빅케미 재팬사제 BYK(등록 상표) 시리즈, 니치유사제 모디퍼(등록 상표) 시리즈 등 사용할 수 있다.Examples of the polyorganosiloxane include polydimethylsiloxane, polydiethylsiloxane, polyphenylsiloxane, and the like, as well as siloxane-based compounds partially organically modified, block polymers having polyorganosiloxanes, and polymers grafted with polyorganosiloxanes. can be used As a commercially available product, for example, the BYK (registered trademark) series manufactured by Big Chemie Japan and the Modifer (registered trademark) series manufactured by Nichiyu Co., Ltd. can be used.

불소 화합물로서는 특별히 한정되지 않고, 시판되는 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, DIC사제 메가팍(등록 상표) 시리즈 등을 들 수 있다.It does not specifically limit as a fluorine compound, A commercially available thing can be used. For example, Megafac (registered trademark) series by DIC Corporation etc. are mentioned.

장쇄 알킬 화합물로서는, 장쇄 알킬아크릴레이트를 공중합한 아크릴 폴리머나, 장쇄 알킬을 그래프트한 그래프트 폴리머, 장쇄 알킬을 말단에 부가시킨 블록 폴리머 등을 들 수 있다. 또한 특별히 한정되지 않고, 시판되는 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 히따찌 가세이사제 테스파인(등록 상표) 시리즈, 라이온·스페셜티·케미컬사제 피로일(등록 상표) 등을 들 수 있다.As a long-chain alkyl compound, the acrylic polymer which copolymerized the long-chain alkyl acrylate, the graft polymer which grafted the long-chain alkyl, the block polymer which added the long-chain alkyl to the terminal, etc. are mentioned. Moreover, it is not specifically limited, A commercially available thing can be used. For example, the Tespine (registered trademark) series by Hitachi Chemical Co., Ltd., the Pyroil (registered trademark) by Lion Specialty Chemicals, etc. are mentioned.

활성 에너지선으로서는, 예를 들어 적외선, 가시광선, 자외선, X선과 같은 전자파, 전자선, 이온빔, 중성자선 및 α선과 같은 입자선 등을 들 수 있고, 이들 중에서도, 제조 비용이 우수한 자외선을 사용하는 것이 바람직하다.Examples of active energy rays include infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, electromagnetic waves such as X-rays, electron beams, ion beams, neutron rays, and particle rays such as α rays. desirable.

상기 활성 에너지선을 조사할 때의 분위기는, 일반적인 공기 중에서도 질소 가스 분위기 하에서도 상관없다. 질소 가스 분위기에서는, 산소 농도를 감소시킴으로써 라디칼 반응이 원활하게 진행되어 이형층의 탄성률을 향상시킬 수 있지만, 공기 중에서 조사해도 실용상 문제가 없다면, 공기 중에서 조사하는 쪽이 경제적 관점에서 바람직하다.The atmosphere at the time of irradiation with the said active energy ray may be under nitrogen gas atmosphere in general air. In a nitrogen gas atmosphere, the radical reaction proceeds smoothly by reducing the oxygen concentration and the modulus of elasticity of the release layer can be improved.

(광중합 개시제)(photopolymerization initiator)

본 발명의 이형층에 라디칼 중합계 화합물을 사용하는 경우에는, 광중합 개시제를 첨가하는 것이 바람직하다. 광중합 개시제로서는, 구체적으로는 벤조페논, 아세토페논, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인벤조산, 벤조인벤조산메틸, 벤조인디메틸케탈, 2,4-디에틸티오크산톤, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 벤질디페닐술파이드, 테트라메틸티우람모노술피드, 아조비스이소부티로니트릴, 벤질, 디벤질, 디아세틸, β-클로로안트라퀴논, (2,4,6-트리메틸벤질디페닐)포스핀옥시드, 2-벤조티아졸-N,N-디에틸디티오카르바메이트 등을 들 수 있다. 특히 표면 경화성이 우수하다고 여겨지는, 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시-시클로헥실-페닐-케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 바람직하고, 그 중에서도 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 특히 바람직하다. 이들은 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다.When using a radical polymerization type compound for the release layer of the present invention, it is preferable to add a photopolymerization initiator. As the photopolymerization initiator, specifically, benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, benzoin methyl benzoate, benzoin dimethyl Ketal, 2,4-diethylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, benzyldiphenylsulfide, tetramethylthiurammonosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, diacetyl, β-chloroanthraquinone, (2,4,6-trimethylbenzyldiphenyl)phosphine oxide, 2-benzothiazole-N,N-diethyldithiocarbamate, and the like. 2-Hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}-2-methylpropan-1-one, which is considered to be particularly excellent in surface curability , 1-Hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2- Morpholinopropan-1-one is preferred, especially 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2 -Morpholinopropan-1-one is particularly preferred. These may be used independently and may be used in combination of 2 or more type.

광중합 개시제의 첨가량은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 이형층 형성용 도포액 중의 고형분으로서 0.1 내지 20질량% 정도 함유시키는 것이 바람직하다.The addition amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but it is preferably contained, for example, about 0.1 to 20% by mass as a solid content in the coating liquid for forming a release layer.

본 발명에 있어서의 이형층에는, 입자 직경이 1㎛ 이하인 입자 등을 함유할 수 있지만, 핀 홀 발생의 관점에서 입자 등 돌기를 형성하는 것은 함유하지 않는 쪽이 바람직하다.The release layer in the present invention may contain particles having a particle diameter of 1 μm or less, but from the viewpoint of pinhole generation, it is preferable not to contain particles or the like that form protrusions.

본 발명에 있어서의 이형층에는, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위라면, 밀착 향상제나, 대전 방지제 등의 첨가제 등을 첨가해도 된다. 또한, 기재와의 밀착성을 향상시키기 위해서, 이형 도포층을 마련하기 전에 폴리에스테르 필름 표면에, 앵커 코팅, 코로나 처리, 플라스마 처리, 대기압 플라스마 처리 등의 전처리를 하는 것도 바람직하다.To the release layer in the present invention, additives such as an adhesion improver and an antistatic agent may be added as long as the effect of the present invention is not impaired. In addition, in order to improve adhesion with a substrate, it is also preferable to pre-treat anchor coating, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, etc. to the polyester film surface before providing a release coating layer.

본 발명에 있어서, 이형층의 두께는 그의 사용 목적에 따라서 설정하면 되고, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 경화 후의 이형층이 0.2 내지 3.5㎛가 되는 범위이면 되고, 보다 바람직하게는 0.5 내지 3.0㎛이다. 이형층의 두께가 0.2㎛ 이상이면, 에너지선 경화형 공중합 폴리머의 경화성이 양호하고, 이형층의 탄성률이 향상되기 때문에 양호한 박리 성능이 얻어져서 바람직하다. 또한, 3.5㎛ 이하이면, 이형 필름의 두께가 얇아져도 컬을 일으키기 어려워 세라믹 그린 시트를 성형, 건조하는 과정에서 주행성 불량을 일으키지 않아서 바람직하다.In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to its purpose of use, and is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.2 to 3.5 μm for the release layer after curing, more preferably 0.5 to 3.0 μm. am. When the thickness of the release layer is 0.2 µm or more, the curability of the energy ray curable copolymer polymer is good and the modulus of elasticity of the release layer is improved, so that good peeling performance is obtained, which is preferable. In addition, if the thickness is 3.5 μm or less, even if the thickness of the release film is thin, it is difficult to cause curling, and thus, it is preferable because it does not cause poor running performance during molding and drying of the ceramic green sheet.

본 발명의 이형 필름은, 이형층 표면에 적당한 요철이 있는 것이 바람직하다. 그 때문에, 이형층 표면의 영역 표면 평균 조도(Sa)가 5 내지 40nm인 것이 바람직하다. 또한, 상기 Sa를 만족하고, 또한 이형층 표면의 최대 돌기 높이(Rp)가 60nm 이하인 것이 더욱 바람직하다. 나아가 영역 표면 평균 조도(Sa)는 5 내지 20nm가 바람직하고, 8.5 내지 20nm인 것이 더욱 바람직하다. 그 때 동시에 최대 돌기 높이(Rp)가 50nm 이하인 것이 특히 바람직하다. 영역 표면 조도(Sa)가 5nm 이상이면, 세라믹 그린 시트 박리 시에, 지핑이 경감되어, 초박층의 그린 시트여도 대미지없이 용이하게 박리할 수 있다. 또한 영역 표면 조도(Sa)가 40nm 이하이면, 세라믹의 입경보다도 충분히 작고, 그린 시트의 표면 형상에 영향을 미치는 일이 없다. 상기 Sa를 만족하고, 또한 이형층 표면의 최대 돌기 높이(Rp)가 60nm 이하이면, 또한 핀 홀 결점을 발생할 우려가 적어져 바람직하다. 최대 돌기 높이(Rp)는 작은 것이 바람직하지만, 영역 표면 평균 조도(Sa)를 5nm 이상으로 조절하는 관계로, 최대 돌기 높이(Rp)도 5nm 이상이어도 상관없고, 10nm 이상이어도 상관없다. 상기와 같은 이형층의 표면 조도(Sa)나 최대 돌기 높이(Rp)의 범위로 조절하기 위해서는, 각종 요인이 관련되어 있지만, 주로 폴리에스테르 필름의 표면층 A 또는 단층의 폴리에스테르 필름이 무기 입자를 실질적으로 함유하지 않기 때문에, 이형층을 적층하는 표면의 조도가 작은 것과, 이형층이 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I)과, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)을 바다 성분으로 하고, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)과 비상용이며 섬 성분이 되는 수지 (II)를 함유하여 경화되어 있는 것이 관계되어 있다고 할 수 있다. 이형층의 표면 조도(Sa)나 최대 돌기 높이(Rp)를 상기와 같은 적당한 범위로 조절하는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 주로 에너지선 경화형 화합물 (I)과 수지 (II)의 재질의 조합이나 함유 비율을 조절함으로써 바람직하게 달성할 수 있다.It is preferable that the release film of this invention has moderate unevenness on the surface of a release layer. Therefore, it is preferable that the area surface average roughness (Sa) of the surface of a release layer is 5-40 nm. Further, it is more preferable that the above Sa is satisfied and the maximum protrusion height (Rp) on the surface of the release layer is 60 nm or less. Further, the area surface average roughness (Sa) is preferably 5 to 20 nm, more preferably 8.5 to 20 nm. At the same time, it is particularly preferable that the maximum projection height Rp is 50 nm or less. When the area surface roughness Sa is 5 nm or more, zipping is reduced during peeling of the ceramic green sheet, and even an ultra-thin green sheet can be easily peeled without damage. In addition, when the area surface roughness Sa is 40 nm or less, it is sufficiently smaller than the grain size of the ceramic and does not affect the surface shape of the green sheet. When the above Sa is satisfied and the maximum protrusion height Rp on the surface of the mold release layer is 60 nm or less, the possibility of generating pinhole defects is reduced, which is preferable. The maximum projection height Rp is preferably small, but since the area surface average roughness Sa is adjusted to 5 nm or more, the maximum projection height Rp may also be 5 nm or more, or 10 nm or more. In order to adjust the surface roughness (Sa) of the release layer or the maximum protrusion height (Rp) within the range, various factors are involved, but mainly the surface layer A of the polyester film or the single-layer polyester film substantially removes the inorganic particles. Since it is not contained, the roughness of the surface on which the release layer is laminated is small, the release layer has an energy ray curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule, and the energy ray curable compound (I) as sea components. It can be said that it is related to containing and curing resin (II) which is incompatible with the energy ray curable compound (I) and serves as an island component. The method of adjusting the surface roughness (Sa) or the maximum protrusion height (Rp) of the release layer within the appropriate range as described above is not particularly limited, but is mainly a combination of energy ray-curable compound (I) and resin (II) materials or containing It can be preferably achieved by adjusting the ratio.

본 발명의 이형층 필름의 이형층 표면의 정지 마찰 계수는, 0.05 이상 2.00 이하인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.1 이상 1.00 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.1 이상 0.50 이하이다. 정지 마찰 계수가 상기한 범위라면, 도공 설비의 롤과 이형층 표면의 미끄럼이 양호하여 과도한 힘이 걸리지 않기 때문에, 이형층 표면으로의 흠집이 감소되고, 그린 시트에 대한 대미지를 경감시킬 수 있어, 양호한 그린 시트 표면이 얻어진다.It is preferable that the static friction coefficient of the surface of the release layer of the release layer film of the present invention is 0.05 or more and 2.00 or less. More preferably, they are 0.1 or more and 1.00 or less, and still more preferably 0.1 or more and 0.50 or less. If the static friction coefficient is in the above range, the roll of the coating equipment and the surface of the release layer slide well and excessive force is not applied, so that scratches on the surface of the release layer are reduced and damage to the green sheet can be reduced, A good green sheet surface is obtained.

또한, 본 발명의 이형 필름의 이형층 표면의 운동 마찰 계수는, 1.00 이하인 것이 바람직하다. 상기한 범위라면, 공정 중에서 텐션 이상이 일어나지 않아, 양호한 그린 시트 표면이 얻어진다.Moreover, it is preferable that the kinetic friction coefficient of the surface of the release layer of the release film of this invention is 1.00 or less. If it is the above range, tension abnormality does not occur in a process, and a favorable green sheet surface is obtained.

상기 이형층 표면의 정지 마찰 계수와 운동 마찰 계수의 범위로 조절하는 것은, 상기 이형층의 표면 조도(Sa)나 최대 돌기 높이(Rp)의 범위와 관계가 있고, 그의 조절 방법에 특별히 한정은 없지만, 주로 에너지선 경화형 화합물 (I)과 수지 (II)의 재질의 조합이나 함유 비율을 조절함으로써 바람직하게 달성할 수 있다.Adjusting the range of the coefficient of static friction and the coefficient of kinetic friction of the surface of the release layer is related to the range of surface roughness (Sa) or maximum protrusion height (Rp) of the release layer, and the adjustment method is not particularly limited. , It can be preferably achieved mainly by adjusting the combination of the materials of the energy ray-curable compound (I) and the resin (II) or the content ratio.

본 발명에 있어서, 이형층의 형성 방법은 특별히 한정되지 않고, 이형성의 화합물을 용해 혹은 분산시킨 도액을, 기재의 폴리에스테르 필름의 한쪽 면에 도포 등에 의해 전개하고, 용매 등을 건조에 의해 제거 후, 경화시키는 방법이 사용된다.In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating solution in which a release compound is dissolved or dispersed is spread on one side of a polyester film as a base material by application or the like, and the solvent or the like is removed by drying. , a method of curing is used.

본 발명의 이형층을 기재 필름 상에 용액 도포에 의해 도포하는 경우의 용매 건조의 건조 온도는, 50℃ 이상 120℃ 이하인 것이 바람직하고, 60℃ 이상 100℃ 이하인 것이 보다 바람직하다. 그의 건조 시간은 30초 이하가 바람직하고, 20초 이하가 보다 바람직하다. 또한 용제 건조 후, 활성 에너지선을 조사하여 경화 반응을 진행시키는 것이 바람직하다. 이 때 사용하는 활성 에너지선으로서는, 자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있지만, 자외선이 사용하기 쉬워서 바람직하다. 조사하는 자외선량으로서는 광량으로 30 내지 300mJ/cm2가 바람직하고, 보다 바람직하게는, 30 내지 200mJ/cm2이다. 30mJ/cm2 이상으로 함으로써 조성물의 경화가 충분히 진행되고, 300mJ/cm2 이하로 함으로써 가공 시의 속도를 향상시킬 수 있기 때문에 경제적으로 이형 필름을 제작할 수 있어 바람직하다.The drying temperature of solvent drying in the case of applying the release layer of the present invention on a base film by solution application is preferably 50°C or more and 120°C or less, and more preferably 60°C or more and 100°C or less. The drying time is preferably 30 seconds or less, and more preferably 20 seconds or less. Moreover, it is preferable to advance a hardening reaction by irradiating an active energy ray after solvent drying. As the active energy ray used at this time, ultraviolet rays, electron beams, X rays, etc. can be used, but ultraviolet rays are preferred because they are easy to use. The amount of ultraviolet rays to be irradiated is preferably 30 to 300 mJ/cm 2 in terms of light amount, more preferably 30 to 200 mJ/cm 2 . By setting it as 30 mJ/cm <2> or more, hardening of a composition fully advances, and since the speed|rate at the time of processing can be improved by setting it as 300 mJ/cm <2> or less, economically, a release film can be produced, and it is preferable.

본 발명에 있어서, 이형층을 도포할 때의 도액 표면 장력은, 특별히 한정되지 않지만 30mN/m 이하인 것이 바람직하다. 표면 장력을 상기와 같이 함으로써, 도공 후의 습윤성이 향상되고, 건조 후의 도막 표면의 요철을 저감시킬 수 있다.In the present invention, the surface tension of the coating solution at the time of applying the release layer is not particularly limited, but is preferably 30 mN/m or less. By adjusting the surface tension as described above, the wettability after coating can be improved, and unevenness on the surface of the coated film after drying can be reduced.

상기 도액의 도포법으로서는, 공지된 임의의 도포법을 적용할 수 있고, 예를 들어 그라비아 코팅법이나 리버스 코팅법 등의 롤 코팅법, 와이어 바 등의 바 코팅법, 다이 코팅법, 스프레이 코팅법, 에어 나이프 코팅법, 등의 종래부터 알려져 있는 방법을 이용할 수 있다.As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, or a spray coating method Conventionally known methods such as , air knife coating method, etc. can be used.

실시예Example

본 발명을 상세하게 설명하기 위해서, 이하에 실시예를 들어 설명하지만, 본 발명이 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명에서 사용한 특성값은 하기 방법을 사용하여 평가하였다. 또한 이하, 중량 평균 분자량을 간단히 Mw라 기재하는 경우가 있다.Examples are given below to explain the present invention in detail, but the present invention is not limited to these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following method. In addition, hereafter, a weight average molecular weight may simply be described as Mw.

(1) 기재 필름 두께(1) base film thickness

밀리트론(전자 마이크로인디케이터)을 사용하여, 측정해야 할 필름의 임의의 4군데에서 한 변이 5cm인 정사각형 샘플 4매를 잘라내고, 1매당 각 5점(계 20점) 측정하여 평균값을 두께로 하였다.Using a millitron (electronic microindicator), 4 square samples with a side of 5 cm were cut out from 4 random locations of the film to be measured, and 5 points per sheet (total of 20 points) were measured, and the average value was taken as the thickness. .

(2) 이형층 두께(2) Release layer thickness

이형층의 두께는, 광간섭식 막 두께 측정기(F20, 필메트릭스사제)를 사용하여 측정하였다. (이형층의 굴절률은 1.52로 하여 산출)The thickness of the release layer was measured using an optical interference type film thickness meter (F20, manufactured by Filmetrix). (The refractive index of the release layer is calculated as 1.52)

(3) 영역 표면 조도(Sa), 최대 돌기 높이(Rp)(3) area surface roughness (Sa), maximum projection height (Rp)

비접촉 표면 형상 계측 시스템(VertScan R550H-M100, 료까 시스템사제)을 사용하여, 하기 조건에서 측정한 값이다. 영역 표면 평균 조도(Sa)는 5회 측정의 평균값을 채용하고, 최대 돌기 높이(Rp)는 7회 측정하여 최댓값과 최솟값을 제외한 5회의 최댓값을 사용하였다.It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measurement system (VertScan R550H-M100, manufactured by Ryokka System Co., Ltd.). The area surface average roughness (Sa) adopted the average value of 5 measurements, and the maximum projection height (Rp) was measured 7 times and used the maximum value of 5 times excluding the maximum and minimum values.

(측정 조건)(Measuring conditions)

·측정 모드: WAVE 모드・Measurement mode: WAVE mode

·대물 렌즈: 50배・Objective lens: 50x

·0.5×Tube 렌즈・0.5×Tube lens

(해석 조건)(analysis condition)

·면 보정: 4차 보정Face correction: 4th correction

·보간 처리: 완전 보간Interpolation processing: full interpolation

(4) 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가(4) Evaluation of pinholes in ceramic green sheets

하기 재료를 포함하는 조성물을 교반 혼합하고, 직경 0.5mm의 지르코니아 비즈를 분산매로 하는 비즈 밀을 사용하여 60분간 분산하고, 세라믹 슬러리를 조제하였다.A composition containing the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 60 minutes using a bead mill using 0.5 mm diameter zirconia beads as a dispersion medium to prepare a ceramic slurry.

톨루엔 76.3질량부76.3 parts by mass of toluene

에탄올 76.3질량부76.3 parts by mass of ethanol

티타늄산바륨(후지 티타늄사제 HPBT-1) 35.0질량부Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass

폴리비닐부티랄 3.5질량부3.5 parts by mass of polyvinyl butyral

(세끼스이 가가꾸 고교사제 에스렉(등록 상표) BM-S)(Srec (registered trademark) BM-S made by Sekisui Kagaku High School)

DOP(프탈산디옥틸) 1.8질량부DOP (dioctyl phthalate) 1.8 parts by mass

이어서 이형 필름 샘플의 이형면에 애플리케이터를 사용하여 건조 후의 세라믹 그린 시트가 0.8㎛가 되도록 도공하여 90℃에서 2분 건조 후, 이형 필름을 박리하고, 세라믹 그린 시트를 얻었다.Next, the release surface of the release film sample was applied using an applicator so that a dried ceramic green sheet had a thickness of 0.8 μm, and after drying at 90° C. for 2 minutes, the release film was peeled off to obtain a ceramic green sheet.

얻어진 세라믹 그린 시트의 필름 폭 방향의 중앙 영역에 있어서 25cm2의 범위에서 세라믹 슬러리의 도포면의 반대면으로부터 광을 쏘이고, 광이 투과하여 보이는 핀 홀의 발생 상황을 관찰하여, 하기 기준으로 눈으로 보아 판정하였다. 측정은 5회 측정하여 평균값을 채용하였다.In the central region of the obtained ceramic green sheet in the film width direction, light was projected from the surface opposite to the coated surface of the ceramic slurry in a range of 25 cm 2 , and the occurrence of pinholes through which light passed was observed, and visually determined based on the following criteria did The measurement was performed 5 times and the average value was adopted.

○: 핀 홀의 발생이 거의 없음(기준: 핀 홀이 측정 면적당 2개 이하)○: Almost no pinholes (standard: 2 or less pinholes per measurement area)

△: 핀 홀의 발생이 있음(기준: 핀 홀이 측정 면적당 3개 이상, 5개 이하)△: occurrence of pinholes (standard: 3 or more pinholes per measurement area, 5 or less)

×: 핀 홀의 발생이 다수 있음(기준: 핀 홀이 측정 면적당 6개 이상)×: There are many occurrences of pinholes (standard: 6 or more pinholes per measurement area)

(5) 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가(5) Evaluation of damage to ceramic green sheet

상기 방법으로 제작한 세라믹 그린 시트 구비 이형 필름을 30mm 폭, 80mm 길이로 커트하여, 박리력 측정용 샘플로 하였다. 제전기(키엔스사제, SJ-F020)를 사용하여 제전한 후에, 박리 시험기(교와 가이멘 가가꾸사제, VPA-3)를 사용하여, 박리 각도 30도, 박리 온도 25℃, 박리 속도 10m/min으로 박리하였다. 박리하는 방향으로서는, 박리 시험기 부속의 SUS판 상에 양면 접착 테이프(닛토 덴코사제, No.535A)를 부착하고, 그 위에 세라믹 그린 시트측을 양면 테이프와 접착하는 형태로 이형 필름을 고정하고, 이형 필름측을 인장하는 형태로 박리하였다. 박리 후의 세라믹 그린 시트의 이형 필름과 접해 있던 표면에 대해서, 필름 폭 방향의 중앙 영역에 있어서 1250㎛×900㎛의 범위를 주사형 전자 현미경에서 100배 관찰하고, 10회 측정한 평균값을 채용하였다. 하기 기준으로 눈으로 보아 판정하였다.The release film with the ceramic green sheet produced by the above method was cut into a width of 30 mm and a length of 80 mm, and was used as a sample for measuring peel force. After static neutralization using a static eliminator (SJ-F020, manufactured by Keyence Corporation), using a peel tester (VPA-3, manufactured by Kyowa Science and Technology Co., Ltd.), a peeling angle of 30 degrees, a peeling temperature of 25 ° C., and a peeling speed of 10 m/ Peeled at min. As the peeling direction, a double-sided adhesive tape (Nitto Denko Co., Ltd., No. 535A) is attached on the SUS plate attached to the peel tester, and the release film is fixed in such a way that the ceramic green sheet side is adhered to the double-sided tape thereon, and the release film is released. It was peeled off in the form of tensioning the film side. The surface of the ceramic green sheet after peeling, which was in contact with the release film, was observed 100 times with a scanning electron microscope in the area of 1250 μm × 900 μm in the central region in the film width direction, and the average value of 10 measurements was adopted. It was visually determined according to the following criteria.

○: 박리 시의 대미지 없음(기준: 크랙 및 변형의 발생이 없음)○: No damage at the time of peeling (standard: no occurrence of cracks or deformation)

△: 박리 시에 경도의 대미지 있음(기준: 크랙 및 변형이 측정 면적당 1개 이상, 3개 이하)△: Hardness damage at the time of peeling (standard: 1 or more cracks and deformations per measurement area, 3 or less)

×: 박리 시에 중도의 대미지 있음(기준: 크랙 및 변형이 4개 이상)×: There is moderate damage at the time of peeling (standard: 4 or more cracks and deformations)

또한, 본 평가 방법에 있어서의 박리 각도란, 박리 시험기에 고정한 평가 샘플축에 대하여, 이형 필름을 인장하는 방향의 각도를 가리킨다. 박리 온도란, 장치 부속의 히터식 스테이지 시스템을 사용하여 고정한 이형 필름을 가열하였을 때의 온도이다. 핸디 타입 온도계(안리쯔 게키사제, HD-1400E)를 사용하여, 측정 샘플이 해당 온도가 된 것을 확인 후, 박리를 행하였다.In addition, the peeling angle in this evaluation method refers to the angle of the direction in which a release film is pulled with respect to the axis|shaft of the evaluation sample fixed to the peel tester. Peeling temperature is the temperature when the release film fixed using the heater type stage system attached to an apparatus is heated. Using a handy-type thermometer (HD-1400E, manufactured by Anritsu Engineering & Construction Co., Ltd.), after confirming that the measurement sample had reached the appropriate temperature, peeling was performed.

(6) 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수(6) static friction coefficient, kinetic friction coefficient

텐실론 만능 시험기(에이앤디(주)제, RTG-1210)를 사용하여, 필름의 이형층 표면과, SUS판을 접하게 겹쳤을 때의, 접촉면의 정지 마찰 계수(μs)와 운동 마찰 계수(μd)를 JIS K-7125에 따라서 하기 조건에서 측정하였다.Static friction coefficient (μs) and kinetic friction coefficient (μd) of the contact surface when the release layer surface of the film and the SUS plate are overlapped in contact using a Tensilon universal tester (manufactured by A&D Co., Ltd., RTG-1210) ) was measured under the following conditions according to JIS K-7125.

시험편: 폭 50mm×길이 60mmTest piece: width 50 mm × length 60 mm

하중: 4.4kgLoad: 4.4kg

시험 속도: 200mm/minTest speed: 200mm/min

피마찰재: SUS판Friction material: SUS plate

(폴리에틸렌테레프탈레이트 펠릿(PET(1))의 조제)(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (1)))

에스테르화 반응 장치로서, 교반 장치, 분축기, 원료 투입구 및 생성물 취출구를 갖는 3단의 완전 혼합조를 포함하는 연속 에스테르화 반응 장치를 사용하였다. TPA(테레프탈산)를 2톤/시로 하고, EG(에틸렌글리콜)를 TPA1몰에 대하여 2몰로 하고, 삼산화안티몬을 생성 PET에 대하여 Sb 원자가 160ppm이 되는 양으로 하고, 이들 슬러리를 에스테르화 반응 장치의 제1 에스테르화 반응캔에 연속 공급하고, 상압에서 평균 체류 시간 4시간, 255℃에서 반응시켰다. 이어서, 제1 에스테르화 반응캔 내의 반응 생성물을 연속적으로 계 외로 취출하여 제2 에스테르화 반응캔에 공급하고, 제2 에스테르화 반응캔 내에 제1 에스테르화 반응캔으로부터 증류 제거되는 EG를 생성 PET에 대하여 8질량% 공급하고, 또한 생성 PET에 대하여 Mg 원자가 65ppm이 되는 양의 아세트산마그네슘4수염을 포함하는 EG 용액과, 생성 PET에 대하여 P 원자가 40ppm이 되는 양의 TMPA(인산트리메틸)를 포함하는 EG 용액을 첨가하고, 상압에서 평균 체류 시간 1시간, 260℃에서 반응시켰다. 이어서, 제2 에스테르화 반응캔의 반응 생성물을 연속적으로 계 외로 취출하여 제3 에스테르화 반응캔에 공급하고, 고압 분산기(닛본 세키사제)를 사용하여 39MPa(400kg/cm2)의 압력에서 평균 처리 횟수 5 패스의 분산 처리를 한 평균 입자 직경이 0.9㎛인 다공질 콜로이달 실리카 0.2질량%와, 폴리아크릴산의 암모늄염을 탄산칼슘당 1질량% 부착시킨 평균 입자 직경이 0.6㎛인 합성 탄산칼슘 0.4질량%를, 각각 10%의 EG 슬러리로서 첨가하면서, 상압에서 평균 체류 시간 0.5시간, 260℃에서 반응시켰다. 제3 에스테르화 반응캔 내에서 생성된 에스테르화 반응 생성물을 3단의 연속 중축합 반응 장치에 연속적으로 공급하여 중축합을 행하고, 95% 커트 직경이 20㎛인 스테인레스 스틸 섬유를 소결한 필터로 여과를 행하고 나서, 한외 여과를 행하여 수 중에 압출하고, 냉각 후에 칩상으로 커트하여, 고유 점도 0.60dl/g의 PET칩을 얻었다(이후, PET (1)이라 약칭함). PET칩 중의 활제 함유량은 0.6질량%였다.As the esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus including a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a partial condenser, a raw material inlet, and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons/hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles per 1 mole of TPA, and antimony trioxide is used in an amount such that the Sb atom is 160 ppm with respect to the produced PET. 1 It was continuously supplied to an esterification reaction can and reacted at 255°C with an average residence time of 4 hours at normal pressure. Subsequently, the reaction product in the first esterification reaction can is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction can, and the EG distilled off from the first esterification reaction can into the second esterification reaction can is produced EG containing magnesium acetate tetrahydrate supplied at 8% by mass and containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount such that the Mg atom is 65 ppm with respect to product PET, and TMPA (trimethyl phosphate) in an amount such that P atom is 40 ppm with respect to product PET. EG containing The solution was added and reacted at 260° C. with an average residence time of 1 hour at normal pressure. Then, the reaction product in the second esterification reaction can was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction can, and averaged at a pressure of 39 MPa (400 kg/cm 2 ) using a high-pressure disperser (manufactured by Nippon Seki Co., Ltd.). 0.2% by mass of porous colloidal silica having an average particle size of 0.9 μm subjected to dispersion treatment for 5 passes, and 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having an average particle size of 0.6 μm in which 1 mass% of ammonium salt of polyacrylic acid is adhered per calcium carbonate were added as 10% EG slurries, respectively, and reacted at 260°C with an average residence time of 0.5 hours at normal pressure. The esterification reaction product generated in the third esterification reaction can is continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reactor for polycondensation, and 95% of the esterification product is filtered through a filter made of sintered stainless steel fibers having a cut diameter of 20 μm. After performing, ultrafiltration was performed, extruded in water, cooled, and then cut into chips to obtain a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.60 dl/g (hereinafter abbreviated as PET (1)). The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(폴리에틸렌테레프탈레이트 펠릿(PET (2))의 조제)(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (2)))

한편, 상기 PET칩의 제조에 있어서, 탄산칼슘, 실리카 등의 입자를 전혀 함유하지 않는 고유 점도 0.62dl/g의 PET칩을 얻었다(이후, PET (2)라 약칭함).On the other hand, in the manufacture of the above PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl/g containing no particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (2)).

(폴리에틸렌테레프탈레이트 펠릿(PET (3))의 조제)(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (3)))

PET (I)의 입자의 종류, 함유량을 폴리아크릴산의 암모늄염을 탄산칼슘당 1질량% 부착시킨 평균 입자 직경이 0.9㎛인 합성 탄산칼슘 0.75질량%로 변경한 것 이외에는, PET (1)과 마찬가지로 하여 PET칩을 얻었다(이후, PET (3)이라 약칭함). PET칩 중의 활제 함유량은 0.75질량%였다.The same procedure as in PET (1) was performed except that the type and content of the particles of PET (I) were changed to 0.75 mass% of synthetic calcium carbonate having an average particle diameter of 0.9 µm in which 1 mass% of the ammonium salt of polyacrylic acid was deposited per calcium carbonate. A PET chip was obtained (hereinafter abbreviated as PET (3)). The lubricant content in the PET chip was 0.75% by mass.

(적층 필름 X1의 제조)(Preparation of laminated film X1)

이들 PET칩을 건조 후, 285℃에서 용융시키고, 별개의 용융 압출기 압출기에 의해 290℃에서 용융시키고, 95% 커트 직경이 15㎛인 스테인레스 스틸 섬유를 소결한 필터와, 95% 커트 직경이 15㎛인 스테인레스 스틸 입자를 소결한 필터의 2단의 여과를 행하여, 피드 블록 내에서 합류하고, PET (1)을 표면층 B(반이형면측층), PET (2)를 표면층 A(이형면측층)가 되게 적층하여, 시트상으로 45m/분의 스피드로 압출(캐스팅)하고, 정전 밀착법에 의해 30℃의 캐스팅 드럼 상에 정전 밀착·냉각시켜, 고유 점도가 0.59dl/g인 미연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 시트를 얻었다. 층 비율은 각 압출기의 토출량 계산으로 PET (1)/(2)=60%/40%가 되도록 조정하였다. 이어서, 이 미연신 시트를 적외선 히터로 가열한 후, 롤 온도 80℃에서 롤간의 스피드차에 의해 세로 방향으로 3.5배 연신하였다. 그 후, 텐터로 유도하고, 140℃에서 가로 방향으로 4.2배의 연신을 행하였다. 이어서, 열 고정존에 있어서, 210℃에서 열처리하였다. 그 후, 가로 방향으로 170℃에서 2.3%의 완화 처리를 하여, 두께 31㎛의 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 X1을 얻었다. 얻어진 필름 X1의 표면층 A의 Sa는 2nm, 표면층 B의 Sa는 29nm였다.After drying, these PET chips were melted at 285°C, melted at 290°C by a separate melt extruder extruder, and a filter obtained by sintering stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm, and a filter having a 95% cut diameter of 15 μm A filter made of sintered phosphorus stainless steel particles is filtered in two stages, joined in the feed block, and PET (1) is the surface layer B (semi-release side layer) and PET (2) is the surface layer A (release side layer). It is laminated to be stacked, extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m/min, electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30° C. by an electrostatic adhesion method, and unstretched polyethylene terephthalate having an intrinsic viscosity of 0.59 dl/g. got a sheet The layer ratio was adjusted so that PET (1)/(2) = 60%/40% by calculating the discharge amount of each extruder. Next, after heating this unstretched sheet with an infrared heater, it was stretched 3.5 times in the machine direction at a roll temperature of 80°C by a difference in speed between the rolls. After that, it was guided by a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140°C. Subsequently, heat treatment was performed at 210°C in a heat setting zone. Thereafter, a 2.3% relaxation treatment was performed at 170°C in the transverse direction to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 µm. Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and Sa of the surface layer B was 29 nm.

(적층 필름 X2의 제조)(Preparation of laminated film X2)

적층 필름 X1과 동일한 층 구성, 연신 조건은 변경하지 않고, 캐스팅 시의 속도를 변경함으로써 두께를 조정하여, 25㎛의 두께의 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 X2를 얻었다. 얻어진 필름 X2의 표면층 A의 Sa는 3nm, 표면층 B의 Sa는 29nm였다.The thickness was adjusted by changing the speed at the time of casting, without changing the layer structure and stretching conditions same as laminated|multilayer film X1, and the biaxially stretched polyethylene terephthalate film X2 of 25 micrometers thickness was obtained. Sa of the surface layer A of the obtained film X2 was 3 nm, and Sa of the surface layer B was 29 nm.

(적층 필름 X3)(laminated film X3)

적층 필름 X3으로서는, 두께 25㎛의 A4100(코스모샤인(등록 상표), 도요보사제)을 사용하였다. A4100은 필름 중에 입자를 실질적으로 함유하지 않고, 표면층 B측에 인라인 코팅으로 입자를 포함한 코팅층을 마련한 구성을 이루고 있다. 적층 필름 X3의 표면층 A의 Sa는 1nm, 표면층 B의 Sa는 2nm였다.As the laminated film X3, A4100 (Cosmo Shine (registered trademark), manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm was used. A4100 does not substantially contain particles in the film, and has a configuration in which a coating layer containing particles is provided by in-line coating on the surface layer B side. Sa of surface layer A of laminated film X3 was 1 nm, and Sa of surface layer B was 2 nm.

(실시예 1)(Example 1)

적층 필름 X1의 표면층 A 상에 이하 조성의 도포액 1을 리버스 그라비아를 사용하여 건조 후의 이형층 막 두께가 2.5㎛가 되도록 도공하고, 90℃에서 30초 건조 후, 고압 수은 램프를 사용하여 200mJ/cm2가 되게 자외선을 조사함으로써 초박층 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 조도 Sa, 최대 돌기 높이 Rp, 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가, 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가, 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수의 평가를 행하였다.On the surface layer A of the laminated film X1, coating liquid 1 of the following composition was coated using reverse gravure so that the film thickness of the release layer after drying was 2.5 μm, dried at 90 ° C. for 30 seconds, and then applied with a high-pressure mercury lamp to 200 mJ / A release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet was obtained by irradiating UV light to a size of cm 2 . The obtained release film was evaluated for release layer thickness, area surface roughness Sa, maximum protrusion height Rp, ceramic green sheet pinhole evaluation, ceramic green sheet damage evaluation, static friction coefficient, and kinetic friction coefficient.

(도포액 1)(Coating liquid 1)

화합물 (I) 100.00질량부Compound (I) 100.00 parts by mass

(디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 신나까무라 가가꾸 고교사제 A-DPH, 고형분 농도 100%)(Dipentaerythritol hexaacrylate, A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content concentration 100%)

수지 (II) 폴리에스테르 수지 9.47질량부Resin (II) polyester resin 9.47 parts by mass

(도요보사제 바이런(등록 상표) RV280, 고형분 농도 100질량%)(Toyobo Co., Ltd. Byron (registered trademark) RV280, solid content concentration 100% by mass)

이형제 (III) 1.26질량부Release agent (III) 1.26 parts by mass

(아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사제, 고형분 농도 40질량%)(Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Big Chemie Japan, solid content concentration: 40% by mass)

광중합 개시제 5.25질량부Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass

(OMNIRAD(등록 상표) 907, IGM Japan GK사제, 고형분 농도 100질량%)(OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration: 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 459.79질량부Diluting solvent (MEK/toluene = 1/1) 459.79 parts by mass

(실시예 2)(Example 2)

수지 (II)를 폴리에스테르우레탄 수지(도요보사제 바이런(등록 상표) UR1400, 고형분 농도 30질량%)로 변경하고, 하기 도포액 2를 사용하였다. 도포액 2의 고형분 농도는 실시예 1의 도포액 1에 비해 감소시켰다. 건조 후의 이형층 막 두께가 1.5㎛가 되도록 도공하였다. 도포액 2를 사용한 점과, 건조 후의 이형층 막 두께가 1.5㎛가 되도록 도공한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 조도 Sa, 최대 돌기 높이 Rp, 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가, 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가, 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수의 평가를 행하였다.Resin (II) was changed to a polyester urethane resin (Vyron (registered trademark) UR1400 manufactured by Toyobo Co., Ltd., solid content concentration: 30% by mass), and the following coating liquid 2 was used. The solid content concentration of coating liquid 2 was reduced compared to coating liquid 1 of Example 1. It coated so that the release layer film thickness after drying might be set to 1.5 micrometers. A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 2 was used and the coating was applied so that the thickness of the release layer after drying was 1.5 µm. The obtained release film was evaluated for release layer thickness, area surface roughness Sa, maximum protrusion height Rp, ceramic green sheet pinhole evaluation, ceramic green sheet damage evaluation, static friction coefficient, and kinetic friction coefficient.

(도포액 2)(Coating liquid 2)

화합물 (I) 100.00질량부Compound (I) 100.00 parts by mass

(디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 신나까무라 가가꾸 고교사제 A-DPH, 고형분 농도 100%)(Dipentaerythritol hexaacrylate, A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content concentration 100%)

수지 (II) 폴리에스테르우레탄 수지 31.50질량부Resin (II) polyester urethane resin 31.50 parts by mass

(도요보사제 바이런(등록 상표) UR1400, 고형분 농도 30질량%)(Toyobo Co., Ltd. Byron (registered trademark) UR1400, solid content concentration 30% by mass)

이형제 (III) 0.42질량부Release agent (III) 0.42 parts by mass

(아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사제, 고형분 농도 40질량%)(Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Big Chemie Japan, solid content concentration: 40% by mass)

광중합 개시제 5.25질량부Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass

(OMNIRAD(등록 상표) 907, IGM Japan GK사제, 고형분 농도 100질량%)(OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration: 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 975.42질량부Diluting solvent (MEK/toluene = 1/1) 975.42 parts by mass

(실시예 3)(Example 3)

이형제 (III)의 비율을 실시예 2에 비해 증가시킨, 하기 도포액 3을 사용하였다. 건조 후의 이형층 막 두께가 1.8㎛가 되도록 도공하였다. 도포액 3을 사용한 점과, 건조 후의 이형층 막 두께가 1.8㎛가 되도록 도공한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 조도 Sa, 최대 돌기 높이 Rp, 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가, 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가, 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수의 평가를 행하였다.The following coating liquid 3, in which the proportion of the release agent (III) was increased compared to Example 2, was used. It coated so that the release layer film thickness after drying might be set to 1.8 micrometers. A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 3 was used and the coating was applied so that the thickness of the release layer after drying was 1.8 µm. The obtained release film was evaluated for release layer thickness, area surface roughness Sa, maximum protrusion height Rp, ceramic green sheet pinhole evaluation, ceramic green sheet damage evaluation, static friction coefficient, and kinetic friction coefficient.

(도포액 3)(Coating liquid 3)

화합물 (I) 100.00질량부Compound (I) 100.00 parts by mass

(디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 신나까무라 가가꾸 고교사제 A-DPH, 고형분 농도 100%)(Dipentaerythritol hexaacrylate, A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content concentration 100%)

수지 (II) 폴리에스테르우레탄 수지 31.50질량부Resin (II) polyester urethane resin 31.50 parts by mass

(도요보사제 바이런(등록 상표) UR1400, 고형분 농도 30질량%)(Toyobo Co., Ltd. Byron (registered trademark) UR1400, solid content concentration 30% by mass)

이형제 (III) 1.26질량부Release agent (III) 1.26 parts by mass

(아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사제, 고형분 농도 40질량%)(Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Big Chemie Japan, solid content concentration: 40% by mass)

광중합 개시제 5.25질량부Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass

(OMNIRAD(등록 상표) 907, IGM Japan GK사제, 고형분 100질량%)(OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 982.98질량부Diluting solvent (MEK/toluene = 1/1) 982.98 parts by mass

(실시예 4)(Example 4)

실시예 3에서 사용한 도포액 3을, 적층 필름 X2의 표면층 A 상에 도공하였다. 적층 필름 X2를 사용한 점을 제외하고는, 실시예 3과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 조도 Sa, 최대 돌기 높이 Rp, 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가, 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가, 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수의 평가를 행하였다.Coating liquid 3 used in Example 3 was coated on the surface layer A of laminated film X2. A release film was obtained in the same manner as in Example 3 except that the laminated film X2 was used. The obtained release film was evaluated for release layer thickness, area surface roughness Sa, maximum protrusion height Rp, ceramic green sheet pinhole evaluation, ceramic green sheet damage evaluation, static friction coefficient, and kinetic friction coefficient.

(실시예 5)(Example 5)

실시예 3에서 사용한 도포액 3을, 적층 필름 X3의 표면층 A 상에 도공하였다. 적층 필름 X3을 사용한 점을 제외하고는, 실시예 3과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 조도 Sa, 최대 돌기 높이 Rp, 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가, 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가, 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수의 평가를 행하였다.Coating liquid 3 used in Example 3 was coated on the surface layer A of laminated film X3. A release film was obtained in the same manner as in Example 3 except that the laminated film X3 was used. The obtained release film was evaluated for release layer thickness, area surface roughness Sa, maximum protrusion height Rp, ceramic green sheet pinhole evaluation, ceramic green sheet damage evaluation, static friction coefficient, and kinetic friction coefficient.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

실시예 1에 비해, 수지 (II)를 포함하지 않고, 이형제 (III)을 아크릴로일기를 갖는 함유 폴리에테르 변성 폴리디메틸실록산(BYK UV-3500, 빅케미·재팬사제 고형분 농도 100%)으로 변경하여 첨가량을 증가시키고, 희석 용제를 변경한 하기 도포액 4를 사용하였다. 도포액 4를 사용한 점과, 건조 후의 이형층 막 두께가 1.0㎛가 되도록 도공한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 조도 Sa, 최대 돌기 높이 Rp, 세라믹 그린 시트의 핀 홀 평가, 세라믹 그린 시트에 대한 대미지 평가, 정지 마찰 계수, 운동 마찰 계수의 평가를 행하였다.Compared to Example 1, resin (II) is not included, and release agent (III) is changed to polyether-modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group (BYK UV-3500, manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd., solid content concentration: 100%) Thus, the addition amount was increased, and the following coating solution 4 was used in which the dilution solvent was changed. A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating liquid 4 was used and the coating was applied so that the thickness of the release layer after drying was 1.0 µm. The obtained release film was evaluated for release layer thickness, area surface roughness Sa, maximum protrusion height Rp, ceramic green sheet pinhole evaluation, ceramic green sheet damage evaluation, static friction coefficient, and kinetic friction coefficient.

(도포액 4)(Coating liquid 4)

화합물 (I) 100.00질량부Compound (I) 100.00 parts by mass

(디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 신나까무라 가가꾸 고교사제 A-DPH, 고형분 농도 100%)(Dipentaerythritol hexaacrylate, A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content concentration 100%)

이형제 (III) 1.00질량부Release agent (III) 1.00 parts by mass

(아크릴로일기 함유 폴리에테르 변성 폴리디메틸실록산 BYK UV-3500, 빅케미·재팬사제 고형분 농도 100%))(Acryloyl group-containing polyether-modified polydimethylsiloxane BYK UV-3500, manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd., solid content concentration 100%))

광중합 개시제 5.00질량부Photopolymerization initiator 5.00 parts by mass

(OMNIRAD(등록 상표) 907, IGM Japan GK사제 고형분 농도 100질량%)(OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(IPA/MEK=3/1) 424.25질량부Diluting solvent (IPA/MEK=3/1) 424.25 parts by mass

Figure 112020076418282-pct00001
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Figure 112020076418282-pct00002
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본 발명의 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름에 의하면, 종래의 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름과 비교하여, 박리력이 너무 무거워지지 않고, 가공성이 우수하며, 이형층에 대돌기가 없기 때문에, 성형되는 두께 1㎛ 이하라는 초박막 세라믹 그린 시트에 핀 홀 등의 결점을 적게 할 수 있는 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름의 제공이 가능하게 되었다.According to the release film for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention, compared to the conventional release film for manufacturing a ceramic green sheet, the peeling force is not too heavy, the processability is excellent, and the release layer has no large protrusions, so the molded thickness is 1 It has become possible to provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet capable of reducing defects such as pinholes in an ultra-thin ceramic green sheet of ㎛ or less.

Claims (9)

폴리에스테르 필름의 적어도 편면에 직접 또는 다른 층을 통해 0.2 내지 3.5㎛의 이형층이 적층된 이형 필름이며, 상기 이형층 표면의 영역 표면 조도(Sa)가 5 내지 40nm, 최대 산 높이(Rp)가 60nm 이하이며,
상기 이형층이, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물 (I)과, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)을 바다 성분으로 하고, 상기 에너지선 경화형 화합물 (I)과 비상용이며 섬 성분이 되는 수지 (II)와, 이형 성분 (III)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지는, 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.
A release film in which a release layer of 0.2 to 3.5 μm is laminated on at least one side of a polyester film directly or through another layer, wherein the area surface roughness (Sa) of the surface of the release layer is 5 to 40 nm and the maximum peak height (Rp) is less than 60 nm,
The release layer contains an energy ray-curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule, and the energy ray-curable compound (I) as a sea component, incompatible with the energy ray-curable compound (I), and an island component A release film for producing a ceramic green sheet obtained by curing a coating film containing at least a resin (II) and a release component (III).
제1항에 있어서, 화합물 (I)이 분자 내에 3 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 모노머이고, 수지 (II)가, 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지, 폴리에스테르우레탄 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드이미드계 수지 및 셀룰로오스계 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종인, 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.The compound (I) according to claim 1, wherein the compound (I) is an energy ray-curable monomer having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule, and the resin (II) is a polyester resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester urethane resin, A release film for producing a ceramic green sheet, which is at least one selected from the group consisting of polyimide-based resins, polyamide-imide-based resins, and cellulose-based resins. 제1항에 있어서, 이형층이 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.The release film for manufacturing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the release layer does not substantially contain inorganic particles. 제1항에 있어서, 폴리에스테르 필름이, 적어도 표면층 A와, 상기 표면층 A와는 반대측의 표면층 B를 포함하는 2층 이상을 포함하는 적층 폴리에스테르 필름이며, 상기 표면층 A 상에 이형층이 적층되어 있고, 표면층 A에는 실질적으로 무기 입자가 함유되어 있지 않는 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.The polyester film according to claim 1, wherein the polyester film is a laminated polyester film comprising two or more layers including at least a surface layer A and a surface layer B on the opposite side to the surface layer A, and a release layer is laminated on the surface layer A, , A release film for producing a ceramic green sheet in which inorganic particles are not substantially contained in the surface layer A. 제4항에 있어서, 표면층 B가 입자를 함유하고, 상기 입자가 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자이며, 합계의 입자의 함유량이 표면층 B의 총 질량에 대하여 5000 내지 15000ppm인 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 4, wherein the surface layer B contains particles, the particles are silica particles and/or calcium carbonate particles, and the total content of the particles is 5000 to 15000 ppm with respect to the total mass of the surface layer B. . 제1항에 있어서, 폴리에스테르 필름이 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않고, 폴리에스테르 필름의 이형층이 적층되어 있지 않는 측에 입자를 포함하는 코팅층이 적층되어 있는 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.The release film for manufacturing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the polyester film does not substantially contain inorganic particles, and a coating layer containing particles is laminated on a side of the polyester film on which the release layer is not laminated. 제1항에 있어서, 상기 이형층을 형성하는 이형층 형성용 도포액은 광중합 개시제를 더 포함하고,
에너지선 경화형 화합물 (I)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량은 60 내지 98질량%이고,
수지 (II)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량은 1 내지 40질량%이고,
이형 성분 (III)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량은 0.05 내지 10질량%이고, 성분 (I), (II), (III) 및 광중합 개시제의 합계가 100질량%가 되는, 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.
The method of claim 1, wherein the release layer forming coating liquid for forming the release layer further comprises a photopolymerization initiator,
The content of the energy ray-curable compound (I) in the solid content of the coating liquid for forming a release layer is 60 to 98% by mass,
The content of the resin (II) in the solid content in the coating liquid for forming a release layer is 1 to 40% by mass,
The content of the release component (III) in the solid content of the coating liquid for forming a release layer is 0.05 to 10% by mass, and the ceramic green wherein the total of components (I), (II), and (III) and photopolymerization initiator is 100% by mass. Release film for sheet manufacturing.
제1항에 있어서, 에너지선 경화형 화합물 (I)은 분자 내에 3 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 모노머이고,
분자 내에 3 이상의 (메트)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 모노머는, 이소시아누르산트리아크릴레이트, 글리세린트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트에서 선택되는 적어도 1종을 포함하는, 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름.
The energy ray curable compound (I) according to claim 1, is an energy ray curable monomer having three or more (meth)acryloyl groups in a molecule,
Energy radiation curable monomers having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule include isocyanuric acid triacrylate, glycerin tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, and pentaerythritol tetra(meth)acrylate. ) Acrylates, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaeryth A release film for producing a ceramic green sheet comprising at least one selected from ritolpenta(meth)acrylate and dipentaerythritol hexa(meth)acrylate.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름을 사용하여 세라믹 그린 시트를 성형하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법이며, 성형된 세라믹 그린 시트가 0.2㎛ 내지 1.0㎛의 두께인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.A method for manufacturing a ceramic green sheet in which a ceramic green sheet is molded using the release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 8, wherein the molded ceramic green sheet has a thickness of 0.2 µm to 1.0 µm. Method for producing a ceramic green sheet, characterized in that.
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