KR20210036416A - Release film for ceramic green sheet manufacturing - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 박리성이 뛰어나고, 성형되는 극박의 세라믹 그린시트에 대해서, 하프 컷 시험에 있어서의 크랙 등의 데미지를 발생시키기 어려운 세라믹 그린시트 성형용 이형 필름을 제공하는 것이다.
본 발명은, 폴리에스테르 필름의 적어도 편면(片面)에 직접 또는 다른 층을 개재하여 이형층이 적층된 이형 필름으로서, 상기 이형층은, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ), 폴리에스테르 수지(Ⅱ), 및 이형 성분(Ⅲ)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지고, 상기 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유하는 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름이다.
The present invention provides a release film for forming a ceramic green sheet which is excellent in peelability and is unlikely to cause damage such as cracks in a half-cut test with respect to an ultrathin ceramic green sheet to be molded.
The present invention is a release film in which a release layer is laminated directly on at least one side of a polyester film or through another layer, wherein the release layer is an energy ray-curable compound (I), a polyester resin (II), And a coating film containing at least a release component (III) is cured, and the polyester resin (II) is a release film for producing a ceramic green sheet containing an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component.

Description

세라믹 그린시트 제조용 이형 필름Release film for ceramic green sheet manufacturing

본 발명은, 초박층의 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름에 관한 것이며, 상세하게는 초박층의 세라믹 그린시트 제조 시에 핀 홀 및 두께 불균일이나 박리 불량에 의한 공정 불량의 발생을 억제한 것을 제조할 수 있는, 초박층의 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a release film for manufacturing an ultra-thin layer ceramic green sheet, and in detail, it is possible to manufacture a product in which the occurrence of process defects due to unevenness of pinholes and thickness or peeling defects in the manufacture of the ultra-thin layer ceramic green sheet is suppressed. It relates to a release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet.

종래 폴리에스테르 필름을 기재(基材)로 하고, 그 위에 이형층을 적층한 이형 필름은, 적층 세라믹 콘덴서(이하 MLCC라고 한다), 세라믹 기판 등의 세라믹 그린시트 성형용으로 사용되고 있다. 근래, 적층 세라믹 콘덴서의 소형화·대용량화에 수반하여, 세라믹 그린시트의 두께도 박막화하는 경향이 있다. 세라믹 그린시트는, 이형 필름에, 티탄산 바륨 등의 세라믹 성분과 바인더 수지를 함유한 슬러리를 도공(塗工)하여 건조함으로써 성형된다. 성형한 세라믹 그린시트에 전극을 인쇄하고 이형 필름으로부터 박리한 후, 세라믹 그린시트를 적층, 프레스하여 재단 후, 소성, 외부 전극을 도포함으로써 적층 세라믹 콘덴서가 제조된다. 지금까지, 폴리에스테르 필름의 이형층 표면에 세라믹 그린시트를 성형하는 경우, 이형층 표면의 미소한 돌기가 성형한 세라믹 그린시트에 영향을 주어, 씨씽(cissing)이나 핀 홀 등의 결점이 발생하기 쉬워진다는 문제점이 있었다. 그 때문에, 뛰어난 평탄성을 갖는 이형층 표면을 실현하기 위한 수법이 여러 가지 개발되어 왔다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).Conventionally, a release film in which a polyester film is used as a substrate and a release layer is laminated thereon is used for forming a ceramic green sheet such as a multilayer ceramic capacitor (hereinafter referred to as MLCC) and a ceramic substrate. In recent years, along with the miniaturization and increase in capacity of multilayer ceramic capacitors, the thickness of the ceramic green sheet also tends to become thinner. The ceramic green sheet is formed by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin to a mold release film and drying it. After the electrode is printed on the molded ceramic green sheet and peeled from the release film, the ceramic green sheet is laminated, pressed, cut, fired, and external electrodes are applied to manufacture a multilayer ceramic capacitor. Until now, in the case of forming a ceramic green sheet on the surface of the release layer of a polyester film, microscopic projections on the surface of the release layer affect the formed ceramic green sheet, causing defects such as cissing and pinholes. There was a problem that it became easier. Therefore, various methods have been developed for realizing the surface of the release layer having excellent flatness (see, for example, Patent Document 1).

그러나 근래, 한층 더 세라믹 그린시트의 박막화가 진행되어, 1.0㎛ 이하, 보다 상세하게는 0.2㎛∼1.0㎛의 두께의 세라믹 그린시트가 요구되게 되어 왔다. 그 때문에, 이형층 표면에 보다 높은 평활성이 요구되게 되어 오고 있다. 또, 세라믹 그린시트의 박막화에 수반하여, 세라믹 그린시트의 강도가 저하되기 때문에, 이형층 표면의 평활화뿐만 아니라, 세라믹 그린시트를 이형 필름으로부터 박리할 때의 박리력을 낮고 또한 균일하게 하는 것이 바람직하고, 이형 필름으로부터 세라믹 그린시트를 박리할 때에 세라믹 그린시트에 가해지는 부하를 극력 적게 하여, 세라믹 그린시트에 데미지를 주지 않도록 하는 것이 바람직하게 되어 오고 있다.However, in recent years, further thinning of the ceramic green sheet has progressed, and a ceramic green sheet having a thickness of 1.0 µm or less, more specifically 0.2 µm to 1.0 µm has been required. For this reason, higher smoothness has been demanded on the surface of the release layer. In addition, since the strength of the ceramic green sheet decreases as the ceramic green sheet becomes thinner, it is desirable not only to smooth the surface of the release layer, but also to lower and uniform the peeling force when the ceramic green sheet is peeled from the release film. In addition, when peeling the ceramic green sheet from the release film, it has become desirable to reduce the load applied to the ceramic green sheet as much as possible so as not to damage the ceramic green sheet.

이형층 표면의 평활화와 박리 시의 세라믹 그린시트에의 부하를 억제하는 이형층측에서의 방법으로는, 이형 필름의 이형층에 활성 에너지선 경화 성분을 이용함으로써 이형층의 가교 밀도를 높이고, 탄성률을 향상시킴으로써, 세라믹 그린시트 박리 시에 있어서의 이형층의 탄성 변형을 억제하여 박리력을 가볍게 하는 방책이 검토되고 있다(예를 들면, 특허문헌 2, 3 참조). 그러나 이 방법에서는, 평활성이 너무 높기 때문에 면 박리가 되고, 박리력이 무거워져, 그린시트에 크랙이 생기는 경우가 있었다. 또한 초박막의 세라믹 그린시트를 가공 시에, 평활면이 도공 설비의 장력 제어를 위한 평활 롤이나 고무 롤에 접하면, 롤과 평활면의 미끄럼성이 불충분하여 장력 제어가 불안정해져, 그린시트 도포면의 평활성이 저하되는 문제가 있었다.As a method on the side of the release layer to smooth the surface of the release layer and suppress the load on the ceramic green sheet during peeling, the crosslinking density of the release layer is increased and the elastic modulus is improved by using an active energy ray curing component in the release layer of the release film. By doing so, measures to lighten the peeling force by suppressing the elastic deformation of the release layer during peeling of the ceramic green sheet have been studied (for example, see Patent Documents 2 and 3). However, in this method, since the smoothness is too high, surface peeling occurs, the peeling force becomes heavy, and cracks may occur in the green sheet. In addition, when processing ultra-thin ceramic green sheets, if the smooth surface comes into contact with the smoothing roll or rubber roll for tension control of the coating equipment, the sliding properties of the roll and the smooth surface are insufficient and the tension control becomes unstable. There was a problem that the smoothness was lowered.

그래서, 박리 개시 시의 계기(박리 개시점)가 되는 적당한 대(大)돌기를 갖는 폴리에스테르 필름으로 함으로써, 평활성과 균일한 박리성의 밸런스가 뛰어난 이형 필름이 보고되고 있다(예를 들면, 특허문헌 4). 그러나, PET에 섞어 넣어진 필러의 경우, 필러 응집에 의한 조대(粗大) 돌기를 완전히 없앨 수 없어, 제품의 결점 요인이 되는 문제가 있었다. 특히, 초박층 세라믹 그린시트에서는, 세라믹 재료로서 이용되는 무기 필러는 60nm∼800nm 정도의 입경이기 때문에(예를 들면, 특허문헌 5, 6 참조), 특허문헌 4에 기재되는 것과 같은 필름을 이용하면, 박리면에서 국소적인 구멍이 발생하는 문제가 있었다.Therefore, a release film excellent in balance of smoothness and uniform peelability has been reported by setting it as a polyester film having an appropriate large protrusion serving as a trigger (peel start point) at the time of initiation of peeling (e.g., Patent Literature 4). However, in the case of a filler mixed with PET, coarse protrusions due to filler aggregation cannot be completely removed, and there is a problem that causes a defect in the product. In particular, in the ultra-thin ceramic green sheet, since the inorganic filler used as a ceramic material has a particle diameter of about 60 nm to 800 nm (for example, see Patent Documents 5 and 6), a film such as that described in Patent Document 4 is used. , There was a problem that a local hole was generated on the peeling surface.

일본국 특개2000-117899호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-117899 국제공개 제2013/145864호 공보International Publication No. 2013/145864 국제공개 제2013/145865호 공보International Publication No. 2013/145865 국제공개 제2014/203702호 공보International Publication No. 2014/203702 일본국 특개2016-127120호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-127120 일본국 특개2017-081805호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-081805

그래서, 본 발명자들은, 예의 검토를 행한 결과, 이형층 표면에 저(低)돌기에 의한 표면 요철을 형성시킴으로써, 상기 중(重)박리화, 가공 적성 저하와 결점 요인의 발생을 동시에 억제할 수 있는 것을 확인하였다. 그리고, 본 발명의 과제는, 박리성이 뛰어나고, 성형되는 극박의 세라믹 그린시트에 대해서, 하프 컷 시험에 있어서의 크랙 등의 데미지를 발생시키기 어려운 세라믹 그린시트 성형용 이형 필름을 제공하는 것이다.Therefore, the inventors of the present invention have conducted a thorough study, and as a result, by forming surface irregularities due to low protrusions on the surface of the release layer, the above-mentioned heavy peeling, reduction in processing aptitude, and occurrence of defect factors can be suppressed at the same time. I confirmed that there is. Further, an object of the present invention is to provide a release film for forming a ceramic green sheet which is excellent in peelability and is unlikely to cause damage such as cracks in a half-cut test with respect to an ultrathin ceramic green sheet to be molded.

즉, 본 발명은 이하의 구성으로 이루어진다.That is, the present invention has the following configuration.

1. 폴리에스테르 필름의 적어도 편면(片面)에 직접 또는 다른 층을 개재하여 이형층이 적층된 이형 필름으로서, 상기 이형층은, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ), 폴리에스테르 수지(Ⅱ), 및 이형 성분(Ⅲ)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지고, 상기 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유하는 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.1. A release film in which a release layer is laminated directly on at least one side of a polyester film or through another layer, wherein the release layer is an energy ray-curable compound (I), a polyester resin (II), and a release film. A release film for producing a ceramic green sheet, wherein a coating film containing at least component (III) is cured, and the polyester resin (II) contains an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component.

2. 이형층이, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)을 바다 성분으로 하고, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 섬 성분으로 하는 상분리 구조를 가져, 표면 요철을 갖는 상기 제 1에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.2. The release layer has a phase-separated structure in which the energy ray-curable compound (I) is used as the sea component and the polyester resin (II) is used as the island component, and has surface irregularities. film.

3. 이형층이 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 상기 제 1 또는 제 2에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.3. The release film for producing a ceramic green sheet according to the first or second above, wherein the release layer does not contain substantially inorganic particles.

4. 상기 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)이, 1 분자 내에 3 이상의 아크릴로일기를 갖는 (메타)아크릴산 에스테르인 상기 제 1 내지 제 3 중 어느 것에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.4. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to third items, wherein the energy ray-curable compound (I) is a (meth)acrylic acid ester having three or more acryloyl groups in one molecule.

5. 이형층의 두께가, 0.2∼3.5㎛인 상기 제 1 내지 제 4 중 어느 것에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.5. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to fourth above, wherein the thickness of the release layer is 0.2 to 3.5 µm.

6. 이형층의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가, 5∼40nm인 상기 제 1 내지 제 5 중 어느 것에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.6. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to fifth items, wherein the region surface average roughness (Sa) of the release layer is 5 to 40 nm.

7. 이형층 표면의 최대 돌기 높이(Rp)가, 60nm 이하인 상기 제 1 내지 제 6 중 어느 것에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.7. The release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the first to sixth above, wherein the maximum protrusion height (Rp) on the surface of the release layer is 60 nm or less.

8. 상기 제 1 내지 제 7 중 어느 것에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름을 이용하여 세라믹 그린시트를 성형하는 세라믹 그린시트의 제조 방법으로서, 성형된 세라믹 그린시트가 0.2㎛∼1.0㎛의 두께인 세라믹 그린시트의 제조 방법.8. A method for manufacturing a ceramic green sheet for forming a ceramic green sheet using the release film for producing a ceramic green sheet according to any one of the above 1 to 7, wherein the formed ceramic green sheet has a thickness of 0.2 µm to 1.0 µm. Method of manufacturing a ceramic green sheet.

본 발명의 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름에 의하면, 종래의 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름과 비교하여, 박리력이 너무 무겁지 않고, 가공성이 뛰어나며, 이형층에 대돌기가 없기 때문에, 성형되는 두께 1㎛ 이하와 같은 초박막 세라믹 그린시트에 대해서, 하프 컷 시험에 있어서의 크랙 등의 데미지를 발생시키기 어려운 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름의 제공이 가능해졌다.According to the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, compared with the release film for producing a conventional ceramic green sheet, the peeling force is not too heavy, the workability is excellent, and the release layer has no protrusions, so the thickness to be formed is 1 μm or less. With respect to such an ultra-thin ceramic green sheet, it has become possible to provide a release film for ceramic green sheet production that is unlikely to cause damage such as cracks in a half-cut test.

도 1은, 본 발명품(실시예 1) 이형층 표면의 전자현미경 사진이다.
도 2는, 본 발명품(실시예 2) 이형층 표면의 전자현미경 사진이다.
1 is an electron micrograph of the surface of a release layer of the present invention (Example 1).
Fig. 2 is an electron micrograph of the surface of a release layer of the present invention (Example 2).

이하, 본 발명에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

(폴리에스테르 필름)(Polyester film)

본 발명의 이형 필름에 있어서 기재로서 이용하는 폴리에스테르 필름을 구성하는 폴리에스테르는, 특별히 한정되지 않고, 이형 필름 기재로서 통상 일반적으로 사용되고 있는 폴리에스테르를 필름 성형한 것을 사용할 수 있지만, 바람직하게는, 방향족 이염기산 성분과 디올 성분으로 이루어지는 결정성의 선상(線狀) 포화 폴리에스테르인 것이 좋고, 예를 들면, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌-2,6-나프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리트리메틸렌 테레프탈레이트 또는 이들 수지의 구성 성분을 주성분으로 하는 공중합체가 더욱 적합하며, 특히 폴리에틸렌 테레프탈레이트로부터 형성된 폴리에스테르 필름이 적합하다. 폴리에틸렌 테레프탈레이트는, 에틸렌 테레프탈레이트의 반복 단위가 바람직하게는 90 몰% 이상, 보다 바람직하게는 95 몰% 이상이며, 다른 디카르복시산 성분, 디올 성분이 소량 공중합되어 있어도 되지만, 코스트의 점에서, 테레프탈산과 에틸렌 글리콜만으로부터 제조된 것이 바람직하다. 또, 본 발명의 필름의 효과를 저해하지 않는 범위 내에서, 공지의 첨가제, 예를 들면, 산화 방지제, 광안정제, 자외선 흡수제, 결정화제 등을 첨가해도 된다. 폴리에스테르 필름은 쌍방향의 탄성률의 높음 등의 이유에서 2축 연신된 폴리에스테르 필름인 것이 바람직하다.The polyester constituting the polyester film used as the base material in the release film of the present invention is not particularly limited, and a film formed of polyester that is generally used as the release film base material can be used, but preferably, aromatic It is preferable that it is a crystalline linear saturated polyester composed of a dibasic acid component and a diol component, such as polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, and polytrimethylene terephthalate. Alternatively, a copolymer containing the constituent components of these resins as a main component is more suitable, and in particular, a polyester film formed from polyethylene terephthalate is suitable. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably 90 mol% or more, more preferably 95 mol% or more, and a small amount of other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized, but from the viewpoint of cost, terephthalic acid And ethylene glycol is preferred. Moreover, well-known additives, such as an antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, a crystallizing agent, etc. may be added within the range which does not impair the effect of the film of this invention. The polyester film is preferably a biaxially stretched polyester film for reasons such as high modulus of elasticity in both directions.

상기 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름의 고유 점도는 0.50∼0.70dl/g이 바람직하고, 0.52∼0.62dl/g이 보다 바람직하다. 고유 점도가 0.50dl/g 이상인 경우, 연신 공정에서 파단이 발생하기 어려워 바람직하다. 반대로, 0.70dl/g 이하인 경우, 소정의 제품 폭으로 재단할 때의 재단성이 좋아, 치수 불량이 발생하지 않으므로 바람직하다. 또, 원료는 충분히 진공 건조하는 것이 바람직하다.The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably 0.50 to 0.70 dl/g, more preferably 0.52 to 0.62 dl/g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl/g or more, fracture is less likely to occur in the stretching step, which is preferable. On the contrary, if it is 0.70 dl/g or less, it is preferable because it has good cutting properties when cutting to a predetermined product width, and dimensional defects do not occur. In addition, it is preferable to sufficiently vacuum-dry the raw material.

본 발명에 있어서의 폴리에스테르 필름의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 종래 일반적으로 이용되고 있는 방법을 이용할 수 있다. 예를 들면, 상기 폴리에스테르를 압출기(押出機)에서 용융하여, 필름상(狀)으로 압출하고, 회전 냉각 드럼에서 냉각함으로써 미연신 필름을 얻어, 해당 미연신 필름을 1축 또는 2축 연신함으로써 얻을 수 있다. 2축 연신 필름은, 세로 방향 또는 가로 방향의 1축 연신 필름을 가로 방향 또는 세로 방향으로 순차 2축 연신하는 방법, 또는 미연신 필름을 세로 방향과 가로 방향으로 동시 2축 연신하는 방법으로 얻을 수 있다.The method for producing the polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used in the past can be used. For example, the polyester is melted in an extruder, extruded into a film, and cooled in a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and the unstretched film is uniaxially or biaxially stretched. You can get it. The biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a uniaxially stretched film in a vertical direction or a horizontal direction in a horizontal direction or a vertical direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in a vertical direction and a horizontal direction. have.

본 발명에 있어서, 폴리에스테르 필름 연신 시의 연신 온도는 폴리에스테르의 2차 전이점(Tg) 이상으로 하는 것이 바람직하다. 세로, 가로 각각의 방향으로 1∼8배, 특히 2∼6배의 연신을 하는 것이 바람직하다.In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably equal to or higher than the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to elongate 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times, in each of the vertical and transverse directions.

상기 폴리에스테르 필름은, 두께가 12∼50㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 12∼38㎛이며, 보다 바람직하게는 15㎛∼31㎛이다. 필름의 두께가 12㎛ 이상이면, 필름 생산 시나 이형층의 가공 공정, 세라믹 그린시트의 성형 시에, 열에 의해 변형될 우려가 없어 바람직하다. 한편, 필름의 두께가 50㎛ 이하이면, 사용 후에 폐기하는 필름의 양이 극도로 많아지지 않아, 환경 부하를 작게 하는 데 있어서 바람직하고, 더 나아가서는, 사용하는 이형 필름의 면적당 재료가 적어지기 때문에 경제적 관점에서도 바람직하다.The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 µm, more preferably 12 to 38 µm, and more preferably 15 to 31 µm. When the thickness of the film is 12 µm or more, it is preferable because there is no fear of being deformed by heat during the production of the film, the processing step of the release layer, or the molding of the ceramic green sheet. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film to be discarded after use is not extremely large, which is preferable in reducing the environmental load, and furthermore, since the material per area of the release film to be used is reduced. It is also desirable from an economic point of view.

상기 폴리에스테르 필름 기재는, 단층이어도 2층 이상의 다층이어도 상관없지만, 적어도 편면에는 실질적으로 무기 입자를 포함하지 않는 표면층 A를 갖는 적층 폴리에스테르 필름인 것이 바람직하다. 2층 이상의 다층 구성으로 이루어지는 적층 폴리에스테르 필름의 경우는, 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 표면층 A의 반대면에는, 입자 등을 함유할 수 있는 표면층 B를 갖는 것이 바람직하다. 적층 구성으로는, 이형층을 도포하는 측의 층을 표면층 A, 그 반대면의 층을 표면층 B, 이들 이외의 심층(芯層)을 심층 C로 하면, 두께 방향의 층 구성은 이형층/표면층 A/표면층 B, 또는 이형층/표면층 A/심층 C/표면층 B 등의 적층 구조를 들 수 있다. 당연히 심층 C는 복수의 층 구성이어도 상관없다. 또, 표면층 B에는 입자를 포함하지 않을 수도 있다. 그 경우, 필름을 롤상으로 권취(卷取)하기 위한 미끄러짐성을 부여하기 위해, 표면층 B 상에는 입자와 바인더를 포함한 코트층(D)을 설치하는 것이 바람직하다.The polyester film base material may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a laminated polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one side. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing particles or the like on the opposite surface of the surface layer A substantially containing no inorganic particles. In the lamination configuration, if the layer on the side to which the release layer is applied is the surface layer A, the layer on the opposite side is the surface layer B, and the other deep layers are the deep layer C, the layer configuration in the thickness direction is the release layer/surface layer. A laminated structure, such as A/surface layer B, or a release layer/surface layer A/deep layer C/surface layer B, is mentioned. Naturally, the depth C may be composed of a plurality of layers. Further, the surface layer B may not contain particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer (D) containing particles and a binder on the surface layer B in order to impart a slip property for winding up the film in a roll shape.

본 발명에 있어서의 폴리에스테르 필름 기재에 있어서, 이형층을 도포하는 면을 형성하는 표면층 A는, 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 것이 바람직하다. 이때, 표면층 A의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는, 7nm 이하가 바람직하다. Sa가 7nm 이하이면, 이형층의 막 두께가 2.0㎛ 이하, 더욱 얇아 0.5㎛ 이하와 같은 박막이어도, 적층하는 초박층 세라믹 그린시트의 성형 시에 핀 홀 등의 발생이 일어나기 어려워 바람직하다. 표면층 A의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는 작을수록 바람직하다고 할 수 있지만, 0.1nm 이상이어도 상관없다. 단 표면층 A 상에 후술의 앵커 코트층 등을 설치하는 경우는, 코트층에 실질적으로 무기 입자를 포함하지 않는 것이 바람직하고, 코트층 적층 후의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가 상기 범위 내인 것이 바람직하다. 본 발명에 있어서, 「무기 입자를 실질적으로 함유하지 않는다」란 형광 X선 분석으로 무기 원소를 정량한 경우에 50ppm 이하인 것에 의해 정의되고, 바람직하게는 10ppm 이하, 가장 바람직하게는 검출 한계 이하가 되는 함유량이다. 이것은 적극적으로 무기 입자를 필름 중에 첨가시키지 않아도, 외래 이물 유래의 오염 성분이나, 원료 수지 또는 필름의 제조 공정에 있어서의 라인이나 장치에 부착한 더러움이 박리되어, 필름 중에 혼입되는 경우가 있기 때문이다.In the polyester film base material in the present invention, it is preferable that the surface layer A forming the surface to which the release layer is applied does not contain substantially inorganic particles. At this time, the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, even if the release layer has a thickness of 2.0 µm or less, or even a thin film such as 0.5 µm or less, it is preferable that pinholes or the like are hardly generated during molding of the super-thin ceramic green sheet to be laminated. It can be said that the smaller the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more. However, in the case of providing an anchor coat layer or the like described later on the surface layer A, it is preferable that the coat layer does not contain substantially inorganic particles, and the area surface average roughness (Sa) after lamination of the coat layer is preferably within the above range. . In the present invention, the term "substantially free of inorganic particles" is defined as being 50 ppm or less, preferably 10 ppm or less, and most preferably less than the detection limit when the inorganic elements are quantified by fluorescence X-ray analysis. Content. This is because even if inorganic particles are not actively added to the film, contaminants derived from foreign substances or dirt adhered to the line or device in the manufacturing process of the raw resin or film may be peeled off and mixed into the film. .

본 발명에 있어서의 폴리에스테르 필름 기재가 적층 필름인 경우에 있어서, 이형층을 도포하는 표면층 A와 반대면을 형성하는 표면층 B는, 필름의 미끄러짐성이나 공기의 제거 용이성의 관점에서, 입자를 함유하는 것이 바람직하고, 특히 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자를 함유하는 것이 바람직하다. 함유되는 입자 함유량은, 표면층 B 중에 입자의 합계로 5000∼15000ppm인 것이 바람직하다. 이때, 표면층 B의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는, 1∼40nm의 범위인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 5∼35nm의 범위이다. 표면층 B의 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자의 합계가 5000ppm 이상, Sa가 1nm 이상인 경우에는, 필름을 롤상으로 감아올릴(卷上) 때에, 공기를 균일하게 빠지게 할 수 있어, 감은 모습이 양호하고 평면성 양호에 의해, 초박층 세라믹 그린시트의 제조에 적합한 것이 된다. 또, 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자의 합계가 15000ppm 이하, Sa가 40nm 이하인 경우에는, 활제(滑劑)의 응집이 발생하기 어려워, 조대 돌기가 생기지 않기 때문에, 초박층의 세라믹 그린시트를 성형 후에 권취한 경우라도 세라믹 그린시트에 핀 홀 등의 결점을 발생시키는 일이 없어 바람직하다.In the case where the polyester film base material in the present invention is a laminated film, the surface layer B forming the opposite surface to the surface layer A to which the release layer is applied contains particles from the viewpoint of the sliding property of the film and the ease of removal of air. It is preferable to do, and in particular, it is preferable to contain silica particles and/or calcium carbonate particles. It is preferable that the content of the particles contained is 5000 to 15000 ppm in total of the particles in the surface layer B. At this time, the area surface average roughness Sa of the surface layer B is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is a range of 5 to 35 nm. When the sum of the silica particles and/or calcium carbonate particles of the surface layer B is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, air can be evenly released when the film is rolled up in a roll shape, and the wound appearance is good. By good planarity, it becomes suitable for manufacture of an ultra-thin ceramic green sheet. In addition, when the total of silica particles and/or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, agglomeration of the lubricant is difficult to occur, and coarse projections do not occur, so that an ultra-thin ceramic green sheet is formed. Even if it is wound afterwards, it is preferable because it does not cause defects such as pinholes in the ceramic green sheet.

상기 표면층 B에 함유하는 입자로는, 투명성이나 코스트의 관점에서 실리카 입자 및/또는 탄산칼슘 입자를 이용하는 것이 보다 바람직하다. 실리카 및/또는 탄산칼슘 이외에 불활성인 무기 입자 및/또는 내열성 유기 입자 등을 이용할 수 있고, 그 밖에 사용할 수 있는 무기 입자로는, 알루미나-실리카 복합 산화물 입자, 히드록시아파타이트 입자 등을 들 수 있다. 또, 내열성 유기 입자로는, 가교 폴리아크릴계 입자, 가교 폴리스티렌 입자, 벤조구아나민계 입자 등을 들 수 있다. 또 실리카 입자를 이용하는 경우, 다공질의 콜로이달 실리카가 바람직하고, 탄산칼슘 입자를 이용하는 경우는, 폴리아크릴산계의 고분자 화합물로 표면 처리를 실시한 경질 탄산칼슘이, 활제의 탈락 방지의 관점에서 바람직하다.As the particles contained in the surface layer B, it is more preferable to use silica particles and/or calcium carbonate particles from the viewpoint of transparency and cost. In addition to silica and/or calcium carbonate, inert inorganic particles and/or heat-resistant organic particles can be used, and other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles, hydroxyapatite particles, and the like. Further, examples of the heat-resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, benzoguanamine particles, and the like. Further, when using silica particles, porous colloidal silica is preferable, and when using calcium carbonate particles, hard calcium carbonate subjected to a surface treatment with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off.

상기 표면층 B에 첨가하는 입자의 평균 입자 지름은, 0.1㎛ 이상 2.0㎛ 이하가 바람직하고, 0.5㎛ 이상 1.0㎛ 이하가 특히 바람직하다. 입자의 평균 입자 지름이 0.1㎛ 이상이면, 이형 필름의 미끄러짐성이 양호하여 바람직하다. 또, 평균 입자 지름이 2.0㎛ 이하이면, 이형층 표면에 조대 입자에 의한 핀 홀이 발생할 우려가 없어 바람직하다. 또한, 입자의 평균 입자 지름의 측정 방법은, 가공 후의 필름의 단면의 입자를 주사형 전자현미경으로 관찰을 행하고, 입자 100개를 관찰하여, 그 평균치로써 평균 입자 지름으로 하는 방법으로 행할 수 있다. 본 발명의 목적을 만족시키는 것이면, 입자의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니며, 구상 입자, 부정형의 구상이 아닌 입자를 사용할 수 있다. 부정형의 입자의 입자 지름은 원 상당 지름으로서 계산할 수 있다. 원 상당 지름은, 관찰된 입자의 면적을 원주율(π)로 나누고, 제곱근을 산출하여 2배한 값이다.The average particle diameter of the particles added to the surface layer B is preferably 0.1 µm or more and 2.0 µm or less, and particularly preferably 0.5 µm or more and 1.0 µm or less. When the average particle diameter of the particles is 0.1 µm or more, the sliding property of the mold release film is good, which is preferable. Moreover, when the average particle diameter is 2.0 micrometers or less, there is no possibility that pinholes by coarse particle|grains generate|occur|produce on the surface of a release layer, and is preferable. In addition, the method of measuring the average particle diameter of the particles can be carried out by observing the particles of the cross section of the film after processing with a scanning electron microscope, observing 100 particles, and setting the average particle diameter as the average value. As long as the object of the present invention is satisfied, the shape of the particles is not particularly limited, and spherical particles and non-amorphous spherical particles may be used. The particle diameter of an irregular particle can be calculated as a circle equivalent diameter. The circle equivalent diameter is a value obtained by dividing the area of the observed particle by the circumferential ratio (π), calculating the square root, and doubling it.

표면층 B에는 소재가 다른 입자를 2종류 이상 함유시켜도 된다. 또, 동종의 입자이며 평균 입자 지름이 다른 것을 함유시켜도 된다.In the surface layer B, two or more types of particles of different materials may be contained. Moreover, you may contain particles of the same type and having different average particle diameters.

표면층 B에 입자를 포함하지 않는 경우는, 표면층 B 상에 입자를 포함한 코트층으로 이활성(易滑性)을 갖게 하는 것도 바람직하다. 본 코트층을 설치하는 수단은, 특별히 한정되지 않지만, 폴리에스테르 필름의 제막 중에 도공하는 소위 인라인 코트법으로 설치하는 것이 바람직하다. 또, 폴리에스테르 필름의 이형층을 적층하지 않는 측의 표면에 이활성을 갖게 하는 코트층을 설치하는 경우에는, 폴리에스테르 필름은 표면층 A 및 B를 갖고 있을 필요는 없고, 무기 입자를 실질적으로 함유하지 않는 단층의 폴리에스테르 필름으로 이루어져 있어도 된다.In the case where the surface layer B does not contain particles, it is also preferable to provide easy activity with a coat layer containing particles on the surface layer B. The means for providing this coating layer is not particularly limited, but it is preferably provided by a so-called in-line coating method applied during the film-forming of the polyester film. In addition, in the case of providing a coating layer that gives easy activity on the surface of the side where the release layer of the polyester film is not laminated, the polyester film does not need to have surface layers A and B, and substantially contains inorganic particles. It may consist of a single-layer polyester film which does not.

표면층 B의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는, 40nm 이하가 바람직하고, 35nm 이하가 보다 바람직하며, 더욱 바람직하게는 30nm 이하이다. 또, 표면층 B 또는 단층 폴리에스테르 필름의 이형층을 적층하지 않는 측의 표면에 코트층(D)으로 이활성을 갖게 하는 경우는, 그 표면의 Sa는, 코트층을 적층한 표면을 측정하는 것으로 하고, 상기의 표면층 B의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)와 동등 범위인 것이 바람직하다.The region surface average roughness (Sa) of the surface layer B is preferably 40 nm or less, more preferably 35 nm or less, and still more preferably 30 nm or less. In addition, in the case where the surface layer B or the surface on the side where the release layer of the single-layer polyester film is not laminated with the coating layer (D) has reactivity, Sa of the surface is measured by measuring the surface on which the coating layer is laminated. And, it is preferable that it is in the range equal to the area|region surface average roughness (Sa) of said surface layer B.

(코트층 D)(Coat layer D)

상기의 폴리에스테르 필름에 대해서 이형층을 적층하지 않는 측의 표면의 코트층 D 중에는, 적어도 바인더 수지 및 입자가 포함되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that at least a binder resin and particles are contained in the coating layer D on the surface of the side where the release layer is not laminated with respect to the polyester film described above.

(코트층 D의 바인더 수지)(Binder resin of coating layer D)

이활 도포층을 구성하는 바인더 수지로는 특별히 한정되지 않지만, 폴리머의 구체예로는, 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지, 폴리비닐계 수지(폴리비닐 알코올 등), 폴리알킬렌 글리콜, 폴리알킬렌이민, 메틸 셀룰로오스, 히드록시 셀룰로오스, 전분류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 입자의 유지, 밀착성의 관점에서, 폴리에스테르 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 또, 폴리에스테르 필름과의 친화성을 고려한 경우, 폴리에스테르 수지가 특히 바람직하다. 용제에의 용해성, 분산성, 더 나아가서는 기재 필름이나 다른 층과의 접착성을 달성시키기 위해, 바인더의 폴리에스테르는 공중합 폴리에스테르인 것이 바람직하다. 또한, 폴리에스테르 수지는 폴리우레탄 변성되어 있어도 된다. 또, 폴리에스테르 기재 필름 상의 이활 도포층을 구성하는 다른 바람직한 바인더 수지로는 우레탄 수지를 들 수 있다. 우레탄 수지로는 폴리카보네이트 폴리우레탄 수지를 들 수 있다. 또한, 폴리에스테르 수지, 폴리우레탄 수지는 병용해도 되고, 상기의 다른 바인더 수지를 병용해도 된다.The binder resin constituting the release coating layer is not particularly limited, but specific examples of the polymer include polyester resin, acrylic resin, urethane resin, polyvinyl resin (polyvinyl alcohol, etc.), polyalkylene glycol, and polyalkyl. Renimine, methyl cellulose, hydroxy cellulose, starch, etc. are mentioned. Among these, it is preferable to use a polyester resin, an acrylic resin, and a urethane resin from the viewpoint of particle retention and adhesion. Moreover, when considering the affinity with a polyester film, a polyester resin is especially preferable. In order to achieve solubility in a solvent, dispersibility, and further adhesion with a base film or other layer, the polyester of the binder is preferably a copolymerized polyester. In addition, the polyester resin may be modified with polyurethane. Moreover, urethane resin is mentioned as another preferable binder resin which comprises the releasable coating layer on a polyester base film. Polycarbonate polyurethane resin is mentioned as a urethane resin. In addition, polyester resin and polyurethane resin may be used in combination, or other binder resins described above may be used in combination.

(코트층 D의 가교제)(Crosslinking agent of coat layer D)

본 발명에 있어서, 이활 도포층 중에 가교 구조를 형성시키기 위해, 이활 도포층은 가교제가 포함되어 형성되어 있어도 된다. 가교제를 함유시킴으로써, 고온 고습하에서의 밀착성을 더욱 향상시키는 것이 가능해진다. 구체적인 가교제로는, 요소계, 에폭시계, 멜라민계, 이소시아네이트계, 옥사졸린계, 카르보디이미드계, 아지리딘 등을 들 수 있다. 또, 가교 반응을 촉진시키기 위해, 촉매 등을 필요에 따라 적절히 사용할 수 있다.In the present invention, in order to form a crosslinked structure in the releasable coating layer, the releasable coating layer may be formed by containing a crosslinking agent. By containing a crosslinking agent, it becomes possible to further improve the adhesiveness under high temperature and high humidity. Specific crosslinking agents include urea, epoxy, melamine, isocyanate, oxazoline, carbodiimide, aziridine, and the like. Moreover, in order to accelerate a crosslinking reaction, a catalyst etc. can be used suitably as needed.

(코트층 D 중의 입자)(Particles in the coating layer D)

이활 도포층은, 표면에 미끄럼성을 부여하기 위해, 활제 입자를 포함하는 것이 바람직하다. 입자는, 무기 입자여도, 유기 입자여도 되고, 특별히 한정되는 것은 아니지만, (1) 실리카, 카올리나이트, 탈크, 경질 탄산칼슘, 중질 탄산칼슘, 제올라이트, 알루미나, 황산바륨, 카본 블랙, 산화아연, 황산아연, 탄산아연, 산화지르코늄, 이산화티탄, 새틴 화이트, 규산알루미늄, 규조토, 규산칼슘, 수산화알루미늄, 가수 할로이사이트, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 인산칼슘, 수산화마그네슘, 황산바륨 등의 무기 입자, (2) 아크릴 또는 메타아크릴계, 염화비닐계, 초산(酢酸)비닐계, 나일론, 스티렌/아크릴계, 스티렌/부타디엔계, 폴리스티렌/아크릴계, 폴리스티렌/이소프렌계, 폴리스티렌/이소프렌계, 메틸 메타아크릴레이트/부틸 메타아크릴레이트계, 멜라민계, 폴리카보네이트계, 요소계, 에폭시계, 우레탄계, 페놀계, 디알릴 프탈레이트계, 폴리에스테르계 등의 유기 입자를 들 수 있지만, 도포층에 적당한 미끄러짐성을 부여하기 위해, 실리카가 특히 바람직하게 사용된다.It is preferable that the lubricating coating layer contains lubricating agent particles in order to impart the sliding property to the surface. The particles may be inorganic particles or organic particles, and are not particularly limited, but (1) silica, kaolinite, talc, light calcium carbonate, heavy calcium carbonate, zeolite, alumina, barium sulfate, carbon black, zinc oxide, zinc sulfate , Zinc carbonate, zirconium oxide, titanium dioxide, satin white, aluminum silicate, diatomaceous earth, calcium silicate, aluminum hydroxide, hydrohaloicite, calcium carbonate, magnesium carbonate, calcium phosphate, magnesium hydroxide, inorganic particles such as barium sulfate, Acrylic or methacrylic, vinyl chloride, vinyl acetate, nylon, styrene/acrylic, styrene/butadiene, polystyrene/acrylic, polystyrene/isoprene, polystyrene/isoprene, methyl methacrylate/butyl methacrylate Organic particles such as melamine-based, polycarbonate-based, urea-based, epoxy-based, urethane-based, phenol-based, diallyl phthalate-based, polyester-based, etc. are mentioned, but in order to impart adequate sliding properties to the coating layer, silica is used. It is particularly preferably used.

입자의 평균 입경은 10nm 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20nm 이상이며, 더욱 바람직하게는 30nm 이상이다. 입자의 평균 입경은 10nm 이상이면, 응집하기 어렵고, 미끄러짐성을 확보할 수 있어 바람직하다.The average particle diameter of the particles is preferably 10 nm or more, more preferably 20 nm or more, and still more preferably 30 nm or more. If the average particle diameter of the particles is 10 nm or more, it is difficult to agglomerate, and the slip property can be secured, which is preferable.

입자의 평균 입경은 1000nm 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 800nm 이하이며, 더욱 바람직하게는 600nm 이하이다. 입자의 평균 입경이 1000nm 이하이면, 투명성이 유지되고, 또, 입자가 탈락하는 일이 없어 바람직하다.The average particle diameter of the particles is preferably 1000 nm or less, more preferably 800 nm or less, and still more preferably 600 nm or less. When the average particle diameter of the particles is 1000 nm or less, transparency is maintained, and the particles do not fall off, which is preferable.

또, 예를 들면, 평균 입경이 10∼270nm 정도의 작은 입자와, 평균 입경이 300∼1000nm 정도의 큰 입자를 혼용하는 것도, 후술의 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp)를 작게 유지하면서, 거칠기 곡선 요소의 평균 길이(RSm)를 작게 하여, 미끄러짐성과 평활성을 양립시키는 데 있어서 바람직하고, 특히 바람직하게는, 30nm 이상 250nm 이하의 작은 입자와, 평균 입경이 350∼600nm의 큰 입자를 병용하는 것이다. 작은 입자와 큰 입자를 혼용하는 경우, 도포층 고형분 전체에 대해, 작은 입자의 질량 함유율을 큰 입자의 질량 함유율보다 크게 해두는 것이 바람직하다.In addition, for example, mixing small particles having an average particle diameter of about 10 to 270 nm and large particles having an average particle diameter of about 300 to 1000 nm can also determine the area surface average roughness (Sa) and maximum protrusion height (Rp) described later. While keeping it small, it is preferable to reduce the average length (RSm) of the roughness curve element to achieve both slippage and smoothness, and particularly preferably, small particles of 30 nm or more and 250 nm or less, and a large average particle diameter of 350 to 600 nm. Particles are used together. In the case of mixing small particles and large particles, it is preferable to make the mass content of the small particles larger than the mass content of the large particles with respect to the entire solid content of the coating layer.

상기 이형층을 설치하는 측의 층인 표면층 A에는, 핀 홀 저감의 관점에서, 활제 등의 입자의 혼입을 막기 위해, 재생 원료 등을 사용하지 않는 것이 바람직하다.In the surface layer A, which is a layer on the side where the release layer is provided, it is preferable not to use a recycled raw material or the like in order to prevent mixing of particles such as a lubricant from the viewpoint of reducing pinholes.

상기 이형층을 설치하는 측의 층인 표면층 A의 두께 비율은, 기재 필름의 전 층(全層) 두께의 20% 이상 50% 이하인 것이 바람직하다. 20% 이상이면, 표면층 B 등에 포함되는 입자의 영향을 필름 내부로부터 받기 어려워, 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가 상기의 범위를 만족하는 것이 용이하여 바람직하다. 기재 필름의 전층의 두께의 50% 이하이면, 표면층 B에 있어서의 재생 원료의 사용 비율을 늘릴 수 있어, 환경 부하가 작아 바람직하다.It is preferable that the thickness ratio of the surface layer A, which is the layer on the side where the release layer is provided, is 20% or more and 50% or less of the total thickness of the base film. If it is 20% or more, it is difficult to receive the influence of particles contained in the surface layer B or the like from the inside of the film, and it is preferable that the area surface average roughness Sa satisfies the above range easily. If it is 50% or less of the thickness of the entire layer of the base film, the use ratio of the recycled raw material in the surface layer B can be increased, and the environmental load is small, which is preferable.

또, 경제성의 관점에서 상기 표면층 A 이외의 층(표면층 B 또는 전술의 심층 C)에는, 50∼90 질량%의 필름 스크랩이나 페트병의 재생 원료를 사용할 수 있다. 이 경우에도, 표면층 B에 포함되는 활제의 종류나 양, 입자 지름 그리고 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는, 상기의 범위를 만족하는 것이 바람직하다.In addition, from the viewpoint of economical efficiency, 50 to 90 mass% of film scrap or recycled raw materials for PET bottles can be used for layers other than the surface layer A (surface layer B or the above-described deep layer C). Also in this case, it is preferable that the type and amount of the lubricant contained in the surface layer B, the particle diameter, and the area surface average roughness Sa satisfy the above range.

또, 나중에 도포하는 이형층 등의 밀착성을 향상시키거나, 대전을 방지하는 등을 위해 표면층 A 및/또는 표면층 B의 표면에 제막 공정 내의 연신 전 또는 1축 연신 후의 필름에 코트층을 설치해도 되고, 코로나 처리 등을 실시할 수도 있다. 코트층도 설치하는 경우에는, 각층의 Sa 는 코트층 표면의 측정치로 대용한다. 또, 표면층 A의 표면에 이들 코트층을 설치하는 경우에는, 입자를 함유하지 않는 것이 바람직하다.In addition, a coat layer may be provided on the surface of the surface layer A and/or the surface layer B before stretching or after uniaxial stretching in the film forming process on the surface of the surface layer A and/or surface layer B in order to improve the adhesion of the release layer to be applied later or to prevent charging. , Corona treatment, etc. can also be performed. In the case where a coat layer is also provided, Sa of each layer is substituted by the measured value of the surface of the coat layer. Moreover, when providing these coat layers on the surface of the surface layer A, it is preferable not to contain a particle.

(이형층)(Release layer)

본 발명에 있어서의 이형층은, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ), 폴리에스테르 수지(Ⅱ), 및 이형 성분(Ⅲ)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지는 것이 바람직하다. 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 상분리되어 해도(海島) 구조를 형성함으로써, 저돌기에 의한 적당한 높이의 요철을 간편하게 형성할 수 있어, 조대 돌기가 발생하지 않는 점에서, 성형되는 그린시트에 핀 홀 등이 발생하지 않는다. 또, 적당한 요철에 의해 평면 부분이 적어지기 때문에, 그린시트의 하프 컷 시험 시에, 컷 시의 응력이 제거되기 쉬워, 컷 단부에서 점(点)박리(단부의 자연스럽게 발생하는 소(小)박리)가 되므로, 단부의 크랙이나 변형 등의 데미지를 억제할 수 있는 동시에, 다음 공정인 박리 공정의 박리 계기가 되어 박리를 원활하게 행할 수 있다.The release layer in the present invention is preferably formed by curing a coating film containing at least an energy ray-curable compound (I), a polyester resin (II), and a release component (III). Since the energy ray-curable compound (I) and the polyester resin (II) are phase-separated to form a sea island structure, it is possible to easily form irregularities of an appropriate height due to low protrusions, and coarse protrusions do not occur. There are no pinholes in the green sheet to be molded. In addition, since the flat portion is reduced by appropriate irregularities, the stress during the cut is easily removed during the half-cut test of the green sheet, and point peeling at the cut end (small peeling naturally occurring at the end portion) ), it is possible to suppress damage such as cracks and deformation at the end, and at the same time serve as a trigger for peeling in the next peeling step, which is the next step, so that peeling can be performed smoothly.

(에너지선 경화형 화합물(Ⅰ))(Energy ray-curable compound (I))

본 발명에서 이용하는 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)로는, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물을 이용할 수 있다. 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 가짐으로써, 고탄성률의 이형층이 되고, 그린시트 박리 시의 이형층의 변형을 억제하여, 중박리화를 억제할 수 있어 바람직하다. 또, 이형층의 내 용제성을 향상시킬 수 있기 때문에 슬러리 도공 시에 용제에 의한 이형층의 침식 등도 막을 수 있으므로 바람직하다. 또, 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물로는, 에너지선에 의해 직접적으로 반응하는지, 또는 간접적으로 발생한 활성종에 의해 반응하는지는 특별히 한정하지 않는다. 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량으로는, 60∼98 질량%가 바람직하고, 75∼97 질량%가 바람직하다. 60 질량% 이상 첨가함으로써 가교도를 유지하고, 고탄성률을 얻을 수 있다.As the energy ray-curable compound (I) used in the present invention, an energy ray-curable compound having three or more reactive groups in one molecule can be used. By having three or more reactive groups in one molecule, a release layer having a high elastic modulus is obtained, and deformation of the release layer during peeling of the green sheet can be suppressed, and heavy peeling can be suppressed, which is preferable. In addition, since the solvent resistance of the release layer can be improved, it is preferable to prevent erosion of the release layer by the solvent during slurry coating. Moreover, as an energy ray-curable compound having 3 or more reactive groups in one molecule, whether it reacts directly with energy rays or indirectly generated active species is not particularly limited. The content in the solid content in the coating liquid for forming a release layer of the energy ray-curable compound (I) is preferably 60 to 98% by mass, and preferably 75 to 97% by mass. By adding 60 mass% or more, the degree of crosslinking can be maintained and a high modulus of elasticity can be obtained.

에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)의 반응성기로는, (메타)아크릴로일기, 알케닐 기, 아크릴아미드기, 말레이미드기, 에폭시기, 시클로헥센 옥시드기 등을 들 수 있다. 그중에서도, 가공성이 뛰어난 (메타)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 화합물이 바람직하다.Examples of the reactive group of the energy ray-curable compound (I) include a (meth)acryloyl group, an alkenyl group, an acrylamide group, a maleimide group, an epoxy group, and a cyclohexene oxide group. Among them, an energy ray-curable compound having a (meth)acryloyl group excellent in processability is preferable.

(메타)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 화합물로는, 모노머, 올리고머, 폴리머로 한정되지 않고 사용할 수 있다. 또, 적어도 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 화합물을 함유하고 있는 것이 바람직하지만, 분자 내에 1∼2의 반응성기를 갖는 화합물 등 2 이상의 화합물을 혼합하여 사용할 수도 있다. 이들 반응 기수가 적은 화합물을 혼합함으로써, 컬 등을 억제할 수 있다.As the energy ray-curable compound having a (meth)acryloyl group, it can be used without being limited to monomers, oligomers, and polymers. Moreover, although it is preferable to contain a compound having 3 or more reactive groups in at least one molecule, two or more compounds such as a compound having 1 to 2 reactive groups in the molecule may be mixed and used. By mixing these compounds with a small number of reaction groups, curling and the like can be suppressed.

분자 내에 3 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 모노머로는, 이소시아누르산 트리아크릴레이트, 글리세린 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트 등의 다관능 (메타)아크릴레이트와 그들의 에틸렌 옥사이드 변성물, 프로필렌 옥사이드 변성물, 카프로락톤 변성물 등을 들 수 있다.As energy ray-curable monomers having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule, isocyanuric acid triacrylate, glycerin tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth) Acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth) ) Polyfunctional (meth)acrylates such as acrylate and dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and their ethylene oxide modified products, propylene oxide modified products, and caprolactone modified products.

분자 내에 1∼2의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 모노머로는, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 프로필 (메타)아크릴레이트, 이소프로필 (메타)아크릴레이트, 부틸 (메타)아크릴레이트, 이소부틸 (메타)아크릴레이트, t-부틸 (메타)아크릴레이트, 펜틸 (메타)아크릴레이트, 시클로펜틸 (메타)아크릴레이트, 헥실 (메타)아크릴레이트, 시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 옥틸 (메타)아크릴레이트, 이소옥틸 (메타)아크릴레이트, 노닐 (메타)아크릴레이트, 라우릴 (메타)아크릴레이트, 스테아릴 (메타)아크릴레이트, 베헤닐 (메타)아크릴레이트, 이소보르닐 (메타)아크릴레이트, 환상 트리메틸올프로판 포르말 (메타)아크릴레이트, 히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 히드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산, 디시클로펜테닐옥시에틸 (메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐 (메타)아크릴레이트, 벤질 (메타)아크릴레이트, 페녹시에틸 (메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴 (메타)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌 글리콜 (메타)아크릴레이트, 펜타메틸피페리디닐 (메타)아크릴레이트, 테트라메틸피페리디닐 (메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 노난디올 디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 시클로헥산디올 디(메타)아크릴레이트 등의 모노머류와 그들의 에틸렌 옥사이드 변성물, 프로필렌 옥사이드 변성물, 카프로락톤 변성물 등을 들 수 있다.As energy ray-curable monomers having 1 to 2 reactive groups in the molecule, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylic Rate, isobutyl (meth)acrylate, t-butyl (meth)acrylate, pentyl (meth)acrylate, cyclopentyl (meth)acrylate, hexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, octyl (Meth)acrylate, isooctyl (meth)acrylate, nonyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, stearyl (meth)acrylate, behenyl (meth)acrylate, isobornyl (meth) )Acrylate, cyclic trimethylolpropane formal (meth)acrylate, hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, (meth)acrylic acid, dicyclo Pentenyloxyethyl (meth)acrylate, dicyclopentanyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, methoxypolyethylene glycol ( Meth)acrylate, pentamethylpiperidinyl (meth)acrylate, tetramethylpiperidinyl (meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, nonanediol Monomers such as di(meth)acrylate, bisphenol A di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, cyclohexanediol di(meth)acrylate, and their ethylene oxide modified products, propylene oxide modified products And caprolactone modified products.

분자 내에 3 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 올리고머류로는, 우레탄 아크릴레이트, 폴리에스테르 아크릴레이트, 폴리에테르 아크릴레이트, 에폭시 아크릴레이트, 실리콘 변성 아크릴레이트 등을 들 수 있고, 일반적으로 시판되고 있는 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 아라카와 가가쿠 고교사 제조 빔 세트(등록상표) 시리즈, 신나카무라 가가쿠사 제조 NK 올리고 시리즈, 다이셀 올넥스사 제조 EBECRYL 시리즈, 오사카 유기 가가쿠 고교사 제조 비스코트 시리즈, 교에샤 가가쿠사 제조 우레탄 아크릴레이트 시리즈, DIC사 제조 유니딕 시리즈 등을 들 수 있다.Examples of the energy ray-curable oligomers having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule include urethane acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, epoxy acrylate, silicone-modified acrylate, and the like. Commercially available ones can be used. For example, the beam set (registered trademark) series manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd., the NK oligo series manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., the EBECRYL series manufactured by Daicel Allnex Co., Ltd., the Biscot series manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., and Kyoesha The urethane acrylate series manufactured by Kagaku Corporation, the Unidic series manufactured by DIC Corporation, etc. are mentioned.

분자 내에 3 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 에너지선 경화형 폴리머류로는, 폴리머에 (메타)아크릴로일기를 그래프트한 그래프트 폴리머나, 다관능 아크릴 모노머를 폴리머 말단에 부가시킨 블록 폴리머 등을 들 수 있다. 상기와 같은 폴리머류로는, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리오르가노실록산 등을 사용할 수 있고, 특별히 한정되는 것은 아니다.Examples of energy ray-curable polymers having three or more (meth)acryloyl groups in the molecule include a graft polymer in which a (meth)acryloyl group is grafted on a polymer, and a block polymer in which a polyfunctional acrylic monomer is added to the polymer terminal. I can. As such polymers, acrylic resins, epoxy resins, polyester resins, polyorganosiloxanes, and the like can be used, and it is not particularly limited.

(폴리에스테르 수지(Ⅱ))(Polyester resin (II))

본 발명에서 이용하는 폴리에스테르 수지(Ⅱ)로는, 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유하는 폴리에스테르 수지를 사용할 수 있다. 이 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위란, 5-나트륨술포이소프탈산과, 에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 프로판디올, 1,4-부탄디올, 네오펜틸 글리콜, 1,4-시클로헥산디메탄올, 1,6-헥산디올 등으로 대표되는 임의의 디올, 글리콜 성분으로 구성되는 에스테르 구성 단위이며, 이 에스테르 구성 단위가 폴리에스테르 수지 중에 함유되어 있는 것을 의미하고 있다. 폴리에스테르 수지 중의 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위의 함유 양태는, 다른 에스테르 구성 단위나 폴리에스테르와의 혼합 상태여도 되고, 다른 에스테르 구성 단위와의 공중합 상태여도 되며, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 포함하는 공중합 폴리에스테르인 것은 특히 바람직한 양태이다. 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유함으로써, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과의 상용성이 저하되어 이형층에 적당한 해도 구조에 의한 표면 요철의 형성이 용이해지므로 바람직하다. 폴리에스테르 수지(Ⅱ) 중에 있어서의 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위의 함유량으로는, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 구성하는 전체 에스테르 구성 단위를 100 몰%로 했을 때, 0.5 몰% 이상 12 몰% 이하인 것이 바람직하다. 0.5 몰% 이상이면, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과의 상용성이 저하되어 이형층에 적당한 해도 구조에 의한 표면 요철의 형성이 용이해지므로 바람직하다. 한편, 12 몰% 이하이면, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 용해 가능한 용매의 SP치가 너무 높아지지 않아, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)의 용매에의 용해가 비교적 용이하여, 도액(塗液)의 조제가 용이하므로 바람직하다. 폴리에스테르 수지(Ⅱ) 중에 있어서의 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위의 함유량은, 보다 바람직하게는, 1 몰% 이상 10 몰% 이하이다.As the polyester resin (II) used in the present invention, a polyester resin containing an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component can be used. The ester structural unit derived from this 5-sodium sulfoisophthalic acid component is 5-sodium sulfoisophthalic acid, ethylene glycol, diethylene glycol, propanediol, 1,4-butanediol, neopentyl glycol, 1,4-cyclo It is an ester structural unit composed of an arbitrary diol, glycol component typified by hexanedimethanol, 1,6-hexanediol, etc., and means that this ester structural unit is contained in a polyester resin. The aspect of containing the ester structural unit derived from the 5-sodium sulfoisophthalic acid component in the polyester resin may be in a mixed state with other ester structural units or polyester, may be in a copolymerized state with other ester structural units, and polyester resin It is a particularly preferable aspect that (II) is a copolymerized polyester containing an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component. When the polyester resin (II) contains an ester constituent unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component, the compatibility with the energy ray-curable compound (I) is lowered, resulting in the formation of surface irregularities due to a sea-island structure suitable for the release layer. This is preferable because it becomes easy. The content of the ester structural unit derived from the 5-sodium sulfoisophthalic acid component in the polyester resin (II) is 0.5 mol when the total ester structural units constituting the polyester resin (II) are 100 mol%. It is preferably not less than% and not more than 12 mol%. If it is 0.5 mol% or more, compatibility with the energy ray-curable compound (I) decreases, and the formation of surface irregularities due to the sea-island structure suitable for the release layer becomes easy, and thus it is preferable. On the other hand, if it is 12 mol% or less, the SP value of the solvent in which the polyester resin (II) can be dissolved is not too high, the dissolution of the energy ray-curable compound (I) in the solvent is relatively easy, and the preparation of a coating solution It is preferable because it is easy. The content of the ester structural unit derived from the 5-sodium sulfoisophthalic acid component in the polyester resin (II) is more preferably 1 mol% or more and 10 mol% or less.

폴리에스테르 수지(Ⅱ)로는, 단일의 폴리에스테르 수지여도 되고, 2종류 이상의 폴리에스테르 수지를 동시에 이용할 수도 있다. 2종류 이상의 폴리에스테르 수지를 사용하는 경우는, 적어도 1종의 폴리에스테르 수지가 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유하면, 그 외의 폴리에스테르 수지는 특별히 한정되지 않는다. 폴리에스테르 수지(Ⅱ)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량으로서, 1∼40 질량%가 바람직하고, 1∼10 질량%가 보다 바람직하다. 1 질량% 이상 함유시킴으로써 충분한 표면 요철을 형성할 수 있고, 40 질량% 이하로 함으로써 이형층의 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)에 의한 가교도가 높아져, 박리 시의 온도 의존성이 낮아 바람직하다.As the polyester resin (II), a single polyester resin may be sufficient, and two or more types of polyester resins may be used at the same time. In the case of using two or more types of polyester resins, other polyester resins are not particularly limited as long as at least one type of polyester resin contains an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component. The content of the polyester resin (II) in the solid content in the coating liquid for forming a release layer is preferably 1 to 40% by mass, and more preferably 1 to 10% by mass. By containing 1% by mass or more, sufficient surface irregularities can be formed, and when the content is 40% by mass or less, the degree of crosslinking by the energy ray-curable compound (I) of the release layer is increased, and the temperature dependence at the time of peeling is low, which is preferable.

폴리에스테르 수지(Ⅱ)로는, 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유하고 있으면, 시판의 것도 사용할 수 있다. 예를 들면, 도요보사 제조 바이론(등록상표) 시리즈, 닛폰 고세 가가쿠 고교사 제조 니치고 폴리에스터(등록상표) 시리즈 등을 들 수 있다.As the polyester resin (II), a commercially available one can be used as long as it contains an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component. For example, the Toyobo company Viron (registered trademark) series, the Nippon Kose Chemical Co., Ltd. Nichigo polyester (registered trademark) series, etc. are mentioned.

(이형 성분(Ⅲ))(Release component (III))

본 발명에서 이용하는 이형 성분(Ⅲ)으로는, 폴리오르가노실록산, 불소 화합물, 장쇄 알킬 화합물, 왁스류 등 그린시트와의 사이에서 이형성을 발휘할 수 있는 재료이면 되고 특별히 한정은 없다. 또 이들 재료에 (메타)아크릴로일기 등을 갖는 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과 반응하여 결합할 수 있는 관능기를 갖는 재료가 바람직하다. 또 2종 이상의 재료를 혼합하여 이용할 수도 있다. 이형 성분(Ⅲ)의 이형층 형성용 도포액 중의 고형분 중의 함유량으로는, 0.05∼10 질량%가 바람직하고, 0.1∼5 질량%가 더욱 바람직하다. 0.05 질량% 이상 첨가되어 있으면 박리력을 가볍게 할 수 있고, 10 질량% 이하이면 이형 성분의 세라믹 그린시트 등으로의 이행이 억제되므로 바람직하다.The mold release component (III) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a material capable of exhibiting releasability between a green sheet, such as a polyorganosiloxane, a fluorine compound, a long-chain alkyl compound, and a wax. Further, a material having a functional group capable of reacting and bonding with the energy ray-curable compound (I) having a (meth)acryloyl group or the like in these materials is preferable. In addition, two or more types of materials may be mixed and used. The content of the mold release component (III) in the solid content in the coating liquid for forming the mold release layer is preferably 0.05 to 10% by mass, and more preferably 0.1 to 5% by mass. If 0.05 mass% or more is added, the peeling force can be lightened, and if it is 10 mass% or less, migration of the mold release component to the ceramic green sheet or the like is suppressed, which is preferable.

폴리오르가노실록산으로는, 폴리디메틸실록산, 폴리디에틸실록산, 폴리페닐실록산 등 외에, 일부를 유기 변성한 실록산계 화합물이나, 폴리오르가노실록산을 갖는 블록 폴리머나, 폴리오르가노실록산을 그래프트한 폴리머 등도 사용할 수 있다. 시판의 것으로는, 예를 들면, 빅케미 재판사 제조 BYK(등록상표) 시리즈, 니치유사 제조 모디퍼(등록상표) 시리즈 등을 사용할 수 있다.Examples of the polyorganosiloxane include polydimethylsiloxane, polydiethylsiloxane, polyphenylsiloxane, etc., as well as siloxane-based compounds partially organically modified, block polymers having polyorganosiloxanes, and polymers grafted with polyorganosiloxanes. Etc. can also be used. As commercially available ones, for example, BYK (registered trademark) series manufactured by Big Chemie Co., Ltd., Modifer (registered trademark) series manufactured by Nichiyu Corporation, and the like can be used.

불소 화합물로는, 특별히 한정되지 않고, 시판의 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, DIC사 제조 메가팍(등록상표) 시리즈 등을 들 수 있다.It does not specifically limit as a fluorine compound, A commercially available thing can be used. For example, the Megapak (registered trademark) series manufactured by DIC Corporation can be cited.

장쇄 알킬 화합물로는, 장쇄 알킬 아크릴레이트를 공중합한 아크릴 폴리머나, 장쇄 알킬을 그래프트한 그래프트 폴리머, 장쇄 알킬을 말단에 부가시킨 블록 폴리머 등을 들 수 있다. 또 특별히 한정되지 않고, 시판의 것을 사용할 수 있다. 예를 들면, 히타치 가세이사 제조 테스파인(등록상표) 시리즈, 라이온 스페셜리티 케미컬즈사 제조 피로일(등록상표) 등을 들 수 있다.Examples of the long-chain alkyl compound include an acrylic polymer copolymerized with a long-chain alkyl acrylate, a graft polymer in which a long-chain alkyl is grafted, and a block polymer in which a long-chain alkyl is added to the terminal. Moreover, it does not specifically limit, A commercially available thing can be used. For example, Hitachi Kasei Co., Ltd. Tespine (registered trademark) series, Lion Speciality Chemicals Co., Ltd. Piroil (registered trademark), and the like can be mentioned.

활성 에너지선으로는, 예를 들면, 적외선, 가시광선, 자외선, X선과 같은 전자파, 전자선, 이온빔, 중성자선 및 α선과 같은 입자선 등을 들 수 있고, 이들 중에서도, 제조 코스트가 뛰어난 자외선을 이용하는 것이 바람직하다.Examples of active energy rays include electromagnetic waves such as infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, and X-rays, electron rays, ion beams, particle rays such as neutron rays and α rays, and among them, ultraviolet rays having excellent manufacturing cost are used. It is desirable.

상기 활성 에너지선을 조사할 때의 분위기는, 일반적인 공기 중에서도 질소 가스분위기하에서도 상관없다. 질소 가스 분위기에서는, 산소 농도를 감소시킴으로써 라디칼 반응이 원활하게 진행되어 이형층의 탄성률을 향상시킬 수 있지만, 공기 중에서 조사해도 실용상 문제가 없다면, 공기 중에서 조사하는 쪽이 경제적 관점에서 바람직하다.The atmosphere at the time of irradiation with the active energy ray may be in the general air or under a nitrogen gas atmosphere. In a nitrogen gas atmosphere, by reducing the oxygen concentration, the radical reaction proceeds smoothly and the elastic modulus of the release layer can be improved. However, if there is no practical problem even when irradiated in air, irradiation in air is preferable from an economical viewpoint.

(광중합 개시제) (Photopolymerization initiator)

본 발명의 이형층에 라디칼 중합계 화합물을 이용하는 경우는, 광중합 개시제를 첨가하는 것이 바람직하다. 광중합 개시제로는, 구체적으로는, 벤조페논, 아세토페논, 벤조인, 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르, 벤조인 안식향산, 벤조인 안식향산 메틸, 벤조인 디메틸케탈, 2,4-디에틸티오크산톤, 1-히드록시시클로헥실 페닐 케톤, 벤질 디페닐 술파이드, 테트라메틸티우람 모노술파이드, 아조비스이소부티로니트릴, 벤질, 디벤질, 디아세틸, β-클로로안트라퀴논, (2,4,6-트리메틸벤질디페닐)포스핀 옥사이드, 2-벤조티아졸-N,N-디에틸 디티오카르바메이트 등을 들 수 있다. 특히, 표면 경화성이 뛰어나다고 여겨지는, 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시-시클로헥실-페닐-케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 바람직하고, 그중에서도 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 특히 바람직하다. 이들은 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 조합하여 이용해도 된다. In the case of using a radical polymerization compound in the release layer of the present invention, it is preferable to add a photopolymerization initiator. As a photoinitiator, specifically, benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, benzoin methyl benzoate, benzoin Phosphorus dimethyl ketal, 2,4-diethylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, benzyl diphenyl sulfide, tetramethylthiuram monosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, di Acetyl, β-chloroanthraquinone, (2,4,6-trimethylbenzyldiphenyl)phosphine oxide, 2-benzothiazole-N,N-diethyl dithiocarbamate, and the like. In particular, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]-phenyl}-2-methylpropane-1-, which is considered to be excellent in surface curing properties One, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2 -Morpholinopropan-1-one is preferred, among them 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2 -Morpholinopropan-1-one is particularly preferred. These may be used individually or may be used in combination of 2 or more types.

광중합 개시제의 첨가량은, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 이형층 형성용 도포액 중의 고형분으로서 0.1에서 20 질량% 정도 함유시키는 것이 바람직하다.The amount of the photoinitiator to be added is not particularly limited, but, for example, it is preferable to contain about 0.1 to 20% by mass as a solid content in the coating liquid for forming a release layer.

본 발명에 있어서의 이형층에는, 입자 지름이 1㎛ 이하인 입자 등을 함유할 수 있지만, 핀 홀 발생의 관점에서 입자 등 돌기를 형성하는 것은 함유하지 않는 쪽이 바람직하다.The release layer in the present invention may contain particles or the like having a particle diameter of 1 µm or less, but from the viewpoint of occurrence of pinholes, it is preferable not to contain particles or other protrusions.

본 발명에 있어서의 이형층에는, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위이면, 밀착 향상제나, 대전 방지제 등의 첨가제 등을 첨가해도 된다. 또, 기재와의 밀착성을 향상시키기 위해, 이형 도포층을 설치하기 전에 폴리에스테르 필름 표면에, 앵커 코트, 코로나 처리, 플라스마 처리, 대기압 플라스마 처리 등의 전처리를 하는 것도 바람직하다.Additives, such as an adhesion improver and an antistatic agent, may be added to the release layer in the present invention as long as the effect of the present invention is not impaired. In addition, in order to improve the adhesion to the substrate, it is also preferable to perform pretreatment such as anchor coat, corona treatment, plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, etc. on the surface of the polyester film before the release coating layer is provided.

본 발명에 있어서, 이형층의 두께는, 그 사용 목적에 따라서 설정하면 되고, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는, 경화 후의 이형층이 0.2∼3.5㎛가 되는 범위가 좋고, 보다 바람직하게는, 0.5∼3.0㎛이다. 이형층의 두께가 0.2㎛ 이상이면 에너지선 경화형 공중합 폴리머의 경화성이 좋고, 이형층의 탄성률이 향상되기 때문에 양호한 박리 성능이 얻어져 바람직하다. 또, 3.5㎛ 이하이면, 이형 필름의 두께가 얇아져도 컬을 일으키기 어려워 세라믹 그린시트를 성형, 건조하는 과정에서 주행성 불량을 일으키지 않아 바람직하다.In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use, and is not particularly limited, but preferably, the range in which the release layer after curing becomes 0.2 to 3.5 µm is good, and more preferably 0.5 It is -3.0 μm. When the thickness of the release layer is 0.2 µm or more, the curability of the energy ray-curable copolymer polymer is good, and the elastic modulus of the release layer is improved, so that good peeling performance is obtained, which is preferable. In addition, when the thickness of the release film is less than 3.5 µm, curling is difficult to occur even when the thickness of the release film is reduced, and thus, it is preferable because it does not cause poor running performance in the process of forming and drying the ceramic green sheet.

본 발명의 이형 필름은, 이형층 표면이 적당한 요철이 있는 것이 바람직하다. 그 때문에, 이형층 표면의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가 5∼40nm인 것이 바람직하다. 또, 상기의 Sa를 만족하고, 또한 이형층 표면의 최대 돌기 높이(Rp)가 60nm 이하인 것이 더욱 바람직하다. 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는 5∼20nm가 바람직하고, 그때 동시에 최대 돌기 높이(Rp)가 50nm 이하인 것이 더욱 바람직하다. 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는 8.1∼18nm인 것이 특히 바람직하고, 8.5∼17nm인 것이 가장 바람직하다. 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가 5nm 이상이면, 세라믹 그린시트 박리 시에, 지핑이 경감되어, 초박층의 그린시트여도 데미지없이 용이하게 박리할 수 있다. 또 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가 40nm 이하이면, 세라믹의 입경보다도 충분히 작아, 그린시트의 표면 형상에 영향을 미치는 일이 없다. 상기의 Sa를 만족하고, 또한 이형층 표면의 최대 돌기 높이(Rp)가 60nm 이하이면, 더욱 핀 홀 결점을 발생시킬 우려가 줄어들어 바람직하다. 최대 돌기 높이(Rp)는 작은 것이 바람직하지만, 영역 표면 평균 거칠기(Sa)를 5nm 이상으로 조절하는 관계로, 최대 돌기 높이(Rp)도 5nm 이상이어도 상관없고, 10nm 이상이어도 상관없다. 상기와 같은 이형층의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)나 최대 돌기 높이(Rp)의 범위로 조절하기 위해서는, 여러 가지 요인이 관련되어 있지만, 주로, 폴리에스테르 필름의 표면층 A 또는 단층의 폴리에스테르 필름이 무기 입자를 실질적으로 함유하지 않기 때문에, 이형층을 적층하는 표면의 거칠기가 작은 것과, 이형층이 1 분자 내에 3 이상의 반응성기를 갖는 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과, 상기 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)을 바다 성분으로 하고, 상기 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과 비상용이며 섬 성분이 되는 수지(Ⅱ)를 함유하여 경화되어 있는 것이 관계되어 있다고 할 수 있다. 이형층의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)나 최대 돌기 높이(Rp)를 상기와 같은 적당한 범위로 조절하는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 주로, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)과 수지(Ⅱ)의 재질의 조합이나 함유 비율을 조절함으로써 바람직하게 달성할 수 있다.It is preferable that the release film of this invention has an appropriate irregularity on the surface of a release layer. Therefore, it is preferable that the region surface average roughness (Sa) of the surface of the release layer is 5 to 40 nm. Further, it is more preferable that Sa is satisfied and the maximum protrusion height (Rp) on the surface of the release layer is 60 nm or less. The region surface average roughness Sa is preferably 5 to 20 nm, and at that time, it is more preferable that the maximum protrusion height Rp is 50 nm or less. The region surface average roughness Sa is particularly preferably 8.1 to 18 nm, and most preferably 8.5 to 17 nm. When the region surface average roughness Sa is 5 nm or more, when the ceramic green sheet is peeled, the zipping is reduced, and even the ultra-thin green sheet can be easily peeled without damage. Further, when the area surface average roughness Sa is 40 nm or less, it is sufficiently smaller than the particle diameter of the ceramic and does not affect the surface shape of the green sheet. If Sa is satisfied and the maximum protrusion height (Rp) on the surface of the release layer is 60 nm or less, the possibility of causing a pinhole defect is further reduced, and thus it is preferable. The maximum protrusion height Rp is preferably small, but since the region surface average roughness Sa is adjusted to 5 nm or more, the maximum protrusion height Rp may also be 5 nm or more, or 10 nm or more. In order to adjust to the range of the region surface average roughness (Sa) or the maximum protrusion height (Rp) of the release layer as described above, various factors are involved, but mainly, the surface layer A of the polyester film or the single-layer polyester film is Since it contains substantially no inorganic particles, the roughness of the surface on which the release layer is laminated is small, the release layer is an energy ray-curable compound (I) having 3 or more reactive groups in one molecule, and the energy ray-curable compound (I). It can be said that it can be said that the above-mentioned energy ray-curable compound (I) and the resin (II) which is incompatible with the island component and are cured are related. The method of adjusting the area surface average roughness (Sa) or the maximum protrusion height (Rp) of the release layer to the appropriate range as described above is not particularly limited, but mainly, the material of the energy ray-curable compound (I) and the resin (II) It can be preferably achieved by adjusting the combination or content ratio.

본 발명에 있어서, 이형층의 형성 방법은, 특별히 한정되지 않고, 이형성의 화합물을 용해 또는 분산시킨 도액을, 기재의 폴리에스테르 필름의 한쪽 면에 도포 등에 의해 전개하고, 용매 등을 건조에 의해 제거 후, 경화시키는 방법이 이용된다.In the present invention, the method of forming the release layer is not particularly limited, and a coating solution obtained by dissolving or dispersing a releasable compound is spread on one side of the polyester film of the base material, and the solvent is removed by drying. After that, a method of curing is used.

본 발명의 이형층을 기재 필름 상에 용액 도포에 의해 도포하는 경우의 용매 건조의 건조 온도는, 50℃ 이상, 120℃ 이하인 것이 바람직하고, 60℃ 이상, 100℃ 이하인 것이 보다 바람직하다. 그 건조 시간은, 30초 이하가 바람직하고, 20초 이하가 보다 바람직하다. 또한 용제 건조 후, 활성 에너지선을 조사하여 경화 반응을 진행시키는 것이 바람직하다. 이때 이용하는 활성 에너지선으로는, 자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있지만, 자외선이 사용하기 쉬워 바람직하다. 조사하는 자외선량으로는 광량으로 30∼300mJ/㎠가 바람직하고, 보다 바람직하게는 30∼200mJ/㎠이다. 30mJ/㎠ 이상으로 함으로써 조성물의 경화가 충분히 진행되고, 300mJ/㎠ 이하로 함으로써 가공 시의 속도를 향상시킬 수 있기 때문에 경제적으로 이형 필름을 작성할 수 있어 바람직하다.When the release layer of the present invention is applied on a base film by solution coating, the drying temperature of the solvent drying is preferably 50°C or more and 120°C or less, and more preferably 60°C or more and 100°C or less. The drying time is preferably 30 seconds or less, and more preferably 20 seconds or less. Further, after drying the solvent, it is preferable to proceed with the curing reaction by irradiating an active energy ray. As the active energy rays used at this time, ultraviolet rays, electron rays, X-rays, and the like can be used, but ultraviolet rays are easy to use and are preferable. The amount of ultraviolet rays to be irradiated is preferably 30 to 300 mJ/cm 2, more preferably 30 to 200 mJ/cm 2 in terms of the amount of light. When it is set to 30 mJ/cm 2 or more, curing of the composition sufficiently proceeds, and when it is set to 300 mJ/cm 2 or less, the speed during processing can be improved, so that a release film can be produced economically, which is preferable.

본 발명에 있어서, 이형층을 도포할 때의 도액의 표면 장력은, 특별히 한정되지 않지만 30mN/m 이하인 것이 바람직하다. 표면 장력을 상기와 같이 함으로써, 도공 후의 젖음성이 향상되고, 건조 후의 도막 표면의 요철을 저감할 수 있다.In the present invention, the surface tension of the coating solution when applying the release layer is not particularly limited, but is preferably 30 mN/m or less. By making the surface tension as described above, the wettability after coating is improved, and irregularities on the surface of the coating film after drying can be reduced.

상기 도액의 도포법으로는, 공지의 임의의 도포법을 적용할 수 있고, 예를 들면 그라비아 코트법이나 리버스 코트법 등의 롤 코트법, 와이어 바 등의 바 코트법, 다이 코트법, 스프레이 코트법, 에어 나이프 코트법 등의 종래부터 알려져 있는 방법을 이용할 수 있다.As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, and a spray coating method. Conventionally known methods, such as a method and an air knife coating method, can be used.

실시예Example

본 발명을 상세하게 설명하기 위해, 이하에 실시예를 들어 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다. 본 발명에서 이용한 특성치는 하기의 방법을 이용하여 평가했다. 또한, 이하, 중량 평균 분자량을 단지 Mw라고 기재하는 경우가 있다.In order to explain the present invention in detail, examples are given below, but the present invention is not limited to these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following method. In addition, hereinafter, the weight average molecular weight may be simply described as Mw.

(1) 기재 필름 두께(1) base film thickness

밀리트론(전자 마이크로인디케이터)을 이용하여, 측정해야 할 필름의 임의의 4개소로부터 5cm 평방(角) 샘플 4장을 잘라내고, 1장당 각 5점(합계 20점) 측정하여 평균치를 두께로 했다.Using a millitron (electronic micro-indicator), 4 5 cm square samples were cut out from 4 arbitrary locations of the film to be measured, and each 5 points per sheet (20 points in total) was measured, and the average value was taken as the thickness. .

(2) 이형층 두께(2) release layer thickness

이형층의 두께는, 광간섭식 막 두께계(F20, 필메트릭스사 제조)를 이용하여 측정했다.(이형층의 굴절률은 1.52로 하여 산출)The thickness of the release layer was measured using an optical interference type film thickness meter (F20, manufactured by Philmetrics). (The refractive index of the release layer was calculated as 1.52).

(3) 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp)(3) Area surface average roughness (Sa), maximum protrusion height (Rp)

비접촉 표면 형상 계측 시스템(VertScan R550H-M100, 료카 시스템사 제조)을 이용하여, 하기의 조건으로 측정한 값이다. 영역 표면 평균 거칠기(Sa)는, 5회 측정의 평균치를 채용하고, 최대 돌기 높이(Rp)는 7회 측정하여 최대치와 최소치를 제외한 5회의 최대치를 사용했다.It is a value measured under the following conditions using a non-contact surface shape measurement system (VertScan R550H-M100, manufactured by Ryoka Systems). As for the area surface average roughness (Sa), the average value of 5 measurements was adopted, and the maximum protrusion height (Rp) was measured 7 times, and the maximum value of 5 times was used excluding the maximum value and the minimum value.

(측정 조건) (Measuring conditions)

·측정 모드: WAVE 모드 Measurement mode: WAVE mode

·대물렌즈: 50배 ·Objective lens: 50 times

·0.5×Tube 렌즈 0.5×Tube lens

(해석 조건) (Interpretation conditions)

·면 보정: 4차 보정 Face correction: 4th correction

·보간(補間) 처리: 완전 보간 Interpolation processing: full interpolation

(4) 상분리 구조(4) Phase separation structure

전자현미경(VE-8800, 키엔스사 제조)을 이용하여, 5000배로 이형층 표면을 관찰하고, 상분리의 형성 유무를 평가했다.Using an electron microscope (VE-8800, manufactured by Keyence Corporation), the surface of the release layer was observed at a factor of 5000, and the presence or absence of phase separation was evaluated.

○: 상분리가 형성되어 있다(상분리에 의한 요철 구조를 확인할 수 있다)○: Phase separation is formed (the uneven structure due to phase separation can be confirmed)

×: 상분리되지 않는다(상분리에 의한 요철 구조가 보이지 않는다)×: No phase separation (uneven structure due to phase separation is not seen)

(5) 세라믹 그린시트의 하프 컷 평가(5) Half-cut evaluation of ceramic green sheet

하기, 재료로 이루어지는 조성물을 교반 혼합하고, 직경 0.5mm의 지르코니아 비즈를 분산매로 하는 비즈밀을 이용해 60분간 분산하여, 세라믹 슬러리를 조제했다.The composition made of the following material was stirred and mixed, and dispersed for 60 minutes using a bead mill using zirconia beads having a diameter of 0.5 mm as a dispersion medium to prepare a ceramic slurry.

톨루엔 76.3 질량부toluene 76.3 parts by mass

에탄올 76.3 질량부ethanol 76.3 parts by mass

티탄산 바륨(후지 티탄사 제조 HPBT-1) 35.0 질량부Barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium) 35.0 parts by mass

폴리비닐 부티랄 3.5 질량부 (세키스이 가가쿠 고교사 제조 에스렉(등록상표) BM-S)Polyvinyl butyral 3.5 parts by mass (S-REC (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Kagaku High School)

DOP(프탈산 디옥틸) 1.8 질량부DOP (dioctyl phthalate) 1.8 parts by mass

이어서, 이형 필름 샘플의 이형면에 어플리케이터를 이용하여 건조 후의 세라믹 그린시트가 1.0㎛가 되도록 도공하고 90℃에서 2분 건조했다.Subsequently, it was applied to the mold release surface of the mold release film sample using an applicator so that the dried ceramic green sheet became 1.0 mu m, and dried at 90 DEG C for 2 minutes.

얻어진 세라믹 그린시트 부착 이형 필름을 로터리 다이 커터(R.D.C(FB)-A4, 츠카타니 하모노 세이사쿠쇼 제조)를 이용하여, 세라믹 그린시트면측에서 양날 50°로 16mm×32mm 사각, 깊이 3㎛가 되도록 하프 컷했다. 그린시트가 박리된 부분에 대해서, 필름의 단부에서부터 박리된 부분까지의 거리를 레이저 현미경으로 측정하고, 하기 기준으로 판정했다. 측정은 5회 측정하여 평균치를 채용했다.Using a rotary die cutter (RDC(FB)-A4, manufactured by Tsukatani Harmono Seisakusho), the obtained release film with ceramic green sheet was double-edged 50° from the side of the ceramic green sheet, 16 mm × 32 mm square, 3 μm in depth. I cut it in half as much as possible. With respect to the portion from which the green sheet was peeled, the distance from the end of the film to the peeled portion was measured with a laser microscope, and it was determined based on the following criteria. The measurement was carried out 5 times and the average value was adopted.

○: 단부에 크랙 등의 결점이 없고, 박리부가 충분히 있음(기준: 박리가 도달하고 있는 거리가 단부에서부터 4mm 이상)○: There is no defect such as a crack at the end, and there is sufficient peeling part (standard: the distance at which the peeling reaches is 4 mm or more from the end)

△: 단부에 크랙 등의 결점이 없고, 박리부가 조금 있음(기준: 박리가 도달하고 있는 거리가 단부에서부터 1mm 이상, 4mm보다 작음)△: There is no defect such as a crack at the end, and there is a little peeling part (Standard: The distance at which the peeling reaches is 1mm or more from the end, less than 4mm)

×: 단부에 크랙 등의 결점이 있거나, 또는 박리부가 없음(기준: 박리가 도달하고 있는 거리가 단부에서부터 1mm보다 작음)×: There is a defect such as a crack at the end, or there is no peeling part (standard: the distance at which the peeling reaches is less than 1 mm from the end)

(폴리에틸렌 테레프탈레이트 펠릿(PET(1))의 조제)(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET (1)))

에스테르화 반응 장치로서, 교반 장치, 분축기, 원료 투입구 및 생성물 취출구를 갖는 3단의 완전 혼합조로 이루어지는 연속 에스테르화 반응 장치를 이용했다. TPA(테레프탈산)를 2톤/시로 하고, EG(에틸렌 글리콜)를 TPA 1 몰에 대해 2 몰로 하며, 삼산화안티몬을 생성 PET에 대해 Sb 원자가 160ppm이 되는 양으로 하고, 이들의 슬러리를 에스테르화 반응 장치의 제 1 에스테르화 반응관에 연속 공급하여, 상압(常壓)에서 평균 체류 시간 4시간, 255℃에서 반응시켰다. 이어서, 제 1 에스테르화 반응관 내의 반응 생성물을 연속적으로 계외(系外)로 취출하여 제 2 에스테르화 반응관에 공급하고, 제 2 에스테르화 반응관 내에 제 1 에스테르화 반응관으로부터 증류 제거(留去)되는 EG를 생성 PET에 대해 8 질량% 공급하며, 추가로, 생성 PET에 대해 Mg 원자가 65ppm이 되는 양의 초산 마그네슘 사수염(四水鹽)을 포함하는 EG 용액과, 생성 PET에 대해 P 원자가 40ppm이 되는 양의 TMPA(인산 트리메틸)를 포함하는 EG 용액을 첨가하여, 상압에서 평균 체류 시간 1시간, 260℃에서 반응시켰다. 이어서, 제 2 에스테르화 반응관의 반응 생성물을 연속적으로 계외로 취출하여 제 3 에스테르화 반응관에 공급하고, 고압 분산기(닛폰 세이키사 제조)를 이용하여 39MPa(400kg/㎠)의 압력에서 평균 처리 횟수 5 패스의 분산 처리를 한 평균 입자 지름이 0.9㎛인 다공질 콜로이달 실리카 0.2 질량%와, 폴리아크릴산의 암모늄염을 탄산칼슘당 1 질량% 부착시킨 평균 입자 지름이 0.6㎛인 합성 탄산칼슘 0.4 질량%를, 각각 10%의 EG 슬러리로 하여 첨가하면서, 상압에서 평균 체류 시간 0.5시간, 260℃에서 반응시켰다. 제 3 에스테르화 반응관 내에서 생성된 에스테르화 반응 생성물을 3단의 연속 중축합 반응 장치에 연속적으로 공급하여 중축합을 행하고, 95% 컷 지름이 20㎛인 스테인리스 스틸 섬유를 소결한 필터로 여과를 행하고 나서, 한외 여과를 행하여 수중으로 압출하고, 냉각 후에 칩상으로 컷하여, 고유 점도 0.60dl/g의 PET 칩을 얻었다(이후, PET(1)이라고 약기한다). PET 칩 중의 활제 함유량은 0.6 질량%였다.As the esterification reaction apparatus, a continuous esterification reaction apparatus consisting of a three-stage complete mixing tank having a stirring apparatus, a condenser, a raw material input port, and a product discharge port was used. TPA (terephthalic acid) is 2 tons/hour, EG (ethylene glycol) is 2 moles per 1 mole of TPA, and antimony trioxide is made into an amount such that Sb atoms are 160 ppm with respect to PET, and the slurry is used as an esterification reaction device. It was continuously supplied to the 1st esterification reaction tube of, and was made to react at 255 degreeC with an average residence time of 4 hours at normal pressure. Subsequently, the reaction product in the first esterification reaction tube is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reaction tube, and distilled off from the first esterification reaction tube in the second esterification reaction tube. 8% by mass of EG to be produced is supplied to the produced PET, and in addition, an EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount of 65 ppm of Mg atoms to the produced PET, and P for the produced PET. An EG solution containing TMPA (trimethyl phosphate) in an amount of 40 ppm of atoms was added, followed by reaction at 260°C with an average residence time of 1 hour at normal pressure. Subsequently, the reaction product from the second esterification reaction tube was continuously taken out of the system and supplied to the third esterification reaction tube, and averaged at a pressure of 39 MPa (400 kg/cm 2) using a high-pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki). 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having an average particle diameter of 0.6 μm obtained by adhering 0.2% by mass of porous colloidal silica having an average particle diameter of 0.9 μm after dispersion treatment of 5 passes and 1% by mass of polyacrylic acid ammonium salt per calcium carbonate Each was reacted at 260°C for an average residence time of 0.5 hours at normal pressure while being added as a 10% EG slurry. The esterification reaction product generated in the third esterification reaction tube is continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reactor to perform polycondensation, and the 95% cut diameter of 20㎛ stainless steel fiber is filtered through a sintered filter. After performing ultrafiltration, it extruded in water, cut into chips after cooling, and obtained PET chips having an intrinsic viscosity of 0.60 dl/g (hereinafter, abbreviated as PET (1)). The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(폴리에틸렌 테레프탈레이트 펠릿(PET(2))의 조제)(Preparation of polyethylene terephthalate pellets (PET(2)))

한편, 상기 PET 칩의 제조에 있어서, 탄산칼슘, 실리카 등의 입자를 전혀 함유하지 않는 고유 점도 0.62dl/g의 PET 칩을 얻었다(이후, PET(2)라고 약기한다.)On the other hand, in the manufacture of the PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl/g containing no particles such as calcium carbonate or silica was obtained (hereinafter, abbreviated as PET (2)).

(적층 필름 X1의 제조)(Production of laminated film X1)

이들 PET 칩을 건조 후, 285℃에서 용융하고, 별개의 용융 압출기에 의해 290℃에서 용융하고, 95% 컷 지름이 15㎛인 스테인리스 스틸 섬유를 소결한 필터와, 95% 컷 지름이 15㎛인 스테인리스 스틸 입자를 소결한 필터의 2단의 여과를 행하고, 피드 블록 내에서 합류하여, PET(1)을 표면층 B(반(反)이형면측 층), PET(2)를 표면층 A(이형면측 층)가 되도록 적층하고, 시트상으로 45m/분의 스피드로 압출(캐스팅)하고, 정전 밀착법에 의해 30℃의 캐스팅 드럼 상에 정전 밀착·냉각시켜, 고유 점도가 0.59dl/g인 미연신 폴리에틸렌 테레프탈레이트 시트를 얻었다. 층 비율은 각 압출기의 토출량 계산으로 PET(1)/(2)=60%/40%가 되도록 조정했다. 이어서, 이 미연신 시트를 적외선 히터로 가열한 후, 롤 온도 80℃에서 롤 사이의 스피드 차에 의해 세로 방향으로 3.5배 연신했다. 그 후, 텐터로 유도하고, 140℃에서 가로 방향으로 4.2배의 연신을 행하였다. 이어서, 열 고정 존에 있어서, 210℃에서 열처리했다. 그 후, 가로 방향으로 170℃에서 2.3%의 완화 처리를 하여, 두께 31㎛의 2축 연신 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름 X1을 얻었다. 얻어진 필름 X1의 표면층 A의 Sa는 2nm, 표면층 B의 Sa는 29nm였다.After drying these PET chips, they were melted at 285°C, melted at 290°C by a separate melt extruder, and a filter in which stainless steel fibers having a 95% cut diameter of 15 μm were sintered, and a 95% cut diameter of 15 μm. Two stages of filtration of a filter obtained by sintering stainless steel particles are performed, and they are joined in the feed block, and PET (1) is used as the surface layer B (anti-release surface side layer), and PET (2) is used as the surface layer A (release surface side layer). ), extruded (casting) into a sheet at a speed of 45 m/min, electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30°C by an electrostatic bonding method, and undrawn polyethylene having an intrinsic viscosity of 0.59 dl/g A terephthalate sheet was obtained. The layer ratio was adjusted to be PET(1)/(2)=60%/40% by calculation of the discharge amount of each extruder. Next, after heating this unstretched sheet with an infrared heater, it stretched 3.5 times in the longitudinal direction by the speed difference between rolls at a roll temperature of 80 degreeC. Thereafter, it was guided by a tenter, and stretching was performed 4.2 times in the transverse direction at 140°C. Subsequently, heat treatment was performed at 210°C in the heat setting zone. Thereafter, a relaxation treatment of 2.3% was performed at 170°C in the transverse direction to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and Sa of the surface layer B was 29 nm.

(실시예 1)(Example 1)

적층 필름 X1의 표면층 A 상에 이하 조성의 도포액 1을 리버스 그라비아를 이용하여 건조 후의 이형층 막 두께가 2.5㎛가 되도록 도공하고, 90℃에서 30초 건조 후, 고압 수은 램프를 이용하여 200mJ/㎠가 되도록 자외선을 조사함으로써 초박층 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.On the surface layer A of the laminated film X1, the coating solution 1 of the following composition was applied using reverse gravure so that the thickness of the release layer after drying became 2.5 μm, dried at 90° C. for 30 seconds, and then 200 mJ/ by using a high-pressure mercury lamp. By irradiating ultraviolet rays so as to become cm 2, a release film for manufacturing an ultra-thin ceramic green sheet was obtained. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 1) (Application liquid 1)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(A) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (A) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사 제조, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Vicchemy Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 431.30 질량부 Diluted solvent (MEK/toluene=1/1) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(A)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.The polyester resin (A) used a polyester resin copolymerized with the following composition.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/이소프탈산/5-나트륨술포이소프탈산//(디올 성분) 에틸렌 글리콜/디에틸렌 글리콜=49/48.5/2.5//50/50(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/isophthalic acid/5-sodium sulfoisophthalic acid// (diol component) ethylene glycol/diethylene glycol=49/48.5/2.5//50/50 (mol%)

(실시예 2)(Example 2)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(B)를 변경하고, 하기 도포액 2를 사용했다. 도포액 2를 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, the polyester resin (B) was changed, and the following coating liquid 2 was used. Except for using the coating liquid 2, it carried out similarly to Example 1, and obtained the release film. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 2)(Application liquid 2)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(B) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (B) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, 빅케미 재팬사 제조 BYK-UV3505, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505 manufactured by Big Chemie Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 431.30 질량부 Diluted solvent (MEK/toluene=1/1) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(B)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.The polyester resin (B) used a polyester resin copolymerized with the following composition.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/5-나트륨술포이소프탈산//(디올 성분) 에틸렌 글리콜/프로판디올/트리메틸올프로판=97.5/2.5//20/79.2/0.8(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/5-sodium sulfoisophthalic acid// (diol component) ethylene glycol/propanediol/trimethylolpropane=97.5/2.5//20/79.2/0.8 (mol%)

(실시예 3)(Example 3)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)와 희석 용제를 변경하고, 하기 도포액 3을 사용했다. 도포액 3을 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, the polyester resin (II) and the diluting solvent were changed, and the following coating liquid 3 was used. A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating solution 3 was used. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 3)(Application solution 3)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(C) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (C) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사 제조, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Vicchemy Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(시클로펜타논) 431.30 질량부 Diluent solvent (cyclopentanone) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(C)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.The polyester resin (C) used a polyester resin copolymerized with the following composition.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/이소프탈산/5-나트륨술포이소프탈산//(디올 성분) 에틸렌 글리콜/디에틸렌 글리콜=48/48/4//80/20(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/isophthalic acid/5-sodium sulfoisophthalic acid// (diol component) ethylene glycol/diethylene glycol=48/48/4//80/20 (mol%)

(실시예 4)(Example 4)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)와 희석 용제를 변경하고, 하기 도포액 4를 사용했다. 도포액 4를 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, the polyester resin (II) and the diluting solvent were changed, and the following coating liquid 4 was used. Except for using the coating liquid 4, it carried out similarly to Example 1, and obtained the release film. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 4)(Application solution 4)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(D) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (D) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사 제조, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Vicchemy Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(시클로펜타논) 431.30 질량부 Diluent solvent (cyclopentanone) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(D)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.The polyester resin (D) used a polyester resin copolymerized with the following composition.

모노머 조성: (산 성분) 이소프탈산/5-나트륨술포이소프탈산//(디올 성분) 디에틸렌 글리콜=93/7//100(mol%)Monomer composition: (acid component) isophthalic acid/5-sodium sulfoisophthalic acid// (diol component) diethylene glycol = 93/7//100 (mol%)

(비교예 1)(Comparative Example 1)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 변경하고, 하기 도포액 5를 사용했다. 도포액 5를 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, polyester resin (II) was changed, and the following coating liquid 5 was used. Except for using the coating liquid 5, it carried out similarly to Example 1, and obtained the release film. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 5)(Application solution 5)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(E) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (E) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사 제조, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Vicchemy Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 431.30 질량부 Diluted solvent (MEK/toluene=1/1) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(E)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.The polyester resin (E) used a polyester resin copolymerized with the following composition.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/이소프탈산//(디올 성분) 에틸렌 글리콜/네오펜틸글리콜=50/50//50/50(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/isophthalic acid// (diol component) ethylene glycol/neopentyl glycol=50/50//50/50 (mol%)

(비교예 2)(Comparative Example 2)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 변경하고, 하기 도포액 5를 사용했다. 도포액 5를 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, polyester resin (II) was changed, and the following coating liquid 5 was used. Except for using the coating liquid 5, it carried out similarly to Example 1, and obtained the release film. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 5)(Application solution 5)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(F) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (F) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사 제조, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Vicchemy Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 431.30 질량부 Diluted solvent (MEK/toluene=1/1) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(F)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.The polyester resin (F) used a polyester resin copolymerized with the following composition.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/이소프탈산/세바신산//(디올 성분) 에틸렌 글리콜/네오펜틸글리콜=52/18/30//54/46(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/isophthalic acid/sebacic acid// (diol component) ethylene glycol/neopentyl glycol=52/18/30//54/46 (mol%)

(비교예 3)(Comparative Example 3)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 변경하고, 하기 도포액 6을 사용했다. 도포액 6을 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, the polyester resin (II) was changed, and the following coating liquid 6 was used. Except for using the coating liquid 6, it carried out similarly to Example 1, and obtained the release film. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 6)(Application liquid 6)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(G) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (G) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 빅케미 재팬사 제조, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by Vicchemy Japan, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 431.30 질량부 Diluted solvent (MEK/toluene=1/1) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(G)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.As the polyester resin (G), a polyester resin copolymerized with the following composition was used.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/이소프탈산/아디핀산/트리멜리트산//(디올 성분) 2-메틸-1,3-프로판디올/부탄디올=40/39/20/1//60/40(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/isophthalic acid/adipic acid/trimelitic acid// (diol component) 2-methyl-1,3-propanediol/butanediol=40/39/20/1//60/40 ( mol%)

(비교예 4)(Comparative Example 4)

실시예 1과 비교하여, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 변경하고, 하기 도포액 7을 사용했다. 도포액 7을 이용한 점을 제외하고는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 이형 필름을 얻었다. 얻어진 이형 필름에 대해서, 이형층 두께, 영역 표면 평균 거칠기(Sa), 최대 돌기 높이(Rp), 상분리 구조, 세라믹 그린시트의 하프 컷 시의 박리 계기의 평가를 행하였다.Compared with Example 1, polyester resin (II) was changed, and the following coating liquid 7 was used. A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the coating solution 7 was used. With respect to the obtained release film, the release layer thickness, the region surface average roughness (Sa), the maximum protrusion height (Rp), the phase separation structure, and the peeling instrument at the time of half-cutting the ceramic green sheet were evaluated.

(도포액 7)(Application liquid 7)

화합물(Ⅰ) 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 100.00 질량부 (NK 에스테르(등록상표) A-DPH, 신나카무라 가가쿠 고교사 제조, 6관능 아크릴레이트, 고형분 농도 100%) Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass (NK Ester (registered trademark) A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., 6-functional acrylate, solid content 100%)

수지(Ⅱ) 폴리에스테르 수지(H) 9.45 질량부 Resin (II) Polyester resin (H) 9.45 parts by mass

이형제(Ⅲ) 1.26 질량부 (아크릴로일기를 갖는 변성 폴리디메틸실록산, BYK-UV3505, 고형분 농도 40 질량%) Release agent (Ⅲ) 1.26 parts by mass (Modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, solid content concentration 40% by mass)

광중합 개시제 5.25 질량부 (OMNIRAD(등록상표) 907, IGM Japan GK사 제조, 고형분 농도 100 질량%) Photopolymerization initiator 5.25 parts by mass (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)

희석 용제(MEK/톨루엔=1/1) 431.30 질량부 Diluted solvent (MEK/toluene=1/1) 431.30 parts by mass

폴리에스테르 수지(F)는 하기 조성으로 공중합한 폴리에스테르 수지를 사용했다.As the polyester resin (F), a polyester resin copolymerized with the following composition was used.

모노머 조성: (산 성분) 테레프탈산/이소프탈산/아젤라인산//(디올 성분) 에틸렌 글리콜/네오펜틸글리콜=30/20/50//65/35(mol%)Monomer composition: (acid component) terephthalic acid/isophthalic acid/azelaic acid// (diol component) ethylene glycol/neopentyl glycol=30/20/50//65/35 (mol%)

상분리 구조에 의한 이형층 표면 요철의 상태 평가에 사용한 실시예 1, 2의 이형층 표면의 전자현미경 사진을 도 1, 2에 나타낸다.1 and 2 show electron micrographs of the surface of the release layer of Examples 1 and 2 used for evaluation of the unevenness of the surface of the release layer by the phase-separated structure.

[표 1][Table 1]

Figure pct00001
Figure pct00001

산업상 이용가능성Industrial applicability

본 발명의 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름에 의하면, 종래의 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름과 비교하여, 박리력이 너무 무거워지는 일이 없고, 가공성이 뛰어나며, 이형층에 대돌기가 없기 때문에, 성형되는 두께 1㎛ 이하와 같은 초박막 세라믹 그린시트에 핀 홀 등의 결점을 줄일 수 있는 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름의 제공이 가능해졌다.According to the release film for producing a ceramic green sheet of the present invention, compared with the release film for producing a conventional ceramic green sheet, the peeling force is not too heavy, the processability is excellent, and the release layer has no protrusions, so the thickness to be formed It has become possible to provide a release film for manufacturing a ceramic green sheet capable of reducing defects such as pinholes in an ultra-thin ceramic green sheet of 1 μm or less.

Claims (8)

폴리에스테르 필름의 적어도 편면(片面)에 직접 또는 다른 층을 개재하여 이형층이 적층된 이형 필름으로서, 상기 이형층은, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ), 폴리에스테르 수지(Ⅱ), 및 이형 성분(Ⅲ)을 적어도 포함하는 도막이 경화되어 이루어지고, 상기 폴리에스테르 수지(Ⅱ)가 5-나트륨술포이소프탈산 성분 유래의 에스테르 구성 단위를 함유하는 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.A release film in which a release layer is laminated directly on at least one side of a polyester film or via another layer, wherein the release layer includes an energy ray-curable compound (I), a polyester resin (II), and a release component ( A release film for producing a ceramic green sheet, obtained by curing a coating film containing at least III), and wherein the polyester resin (II) contains an ester structural unit derived from a 5-sodium sulfoisophthalic acid component. 제 1 항에 있어서,
이형층이, 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)을 바다 성분으로 하고, 폴리에스테르 수지(Ⅱ)를 섬 성분으로 하는 상분리 구조를 가져, 표면 요철을 갖는 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.
The method of claim 1,
The release layer has a phase-separated structure in which an energy ray-curable compound (I) is used as an ocean component and a polyester resin (II) is used as an island component, and a release film for producing a ceramic green sheet having surface irregularities.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
이형층이 실질적으로 무기 입자를 함유하지 않는 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.
The method according to claim 1 or 2,
A release film for producing a ceramic green sheet in which the release layer substantially does not contain inorganic particles.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 에너지선 경화형 화합물(Ⅰ)이, 1 분자 내에 3 이상의 아크릴로일기를 갖는 (메타)아크릴산 에스테르인 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The energy ray-curable compound (I) is a (meth)acrylic acid ester having three or more acryloyl groups in one molecule, a release film for producing a ceramic green sheet.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
이형층의 두께가, 0.2∼3.5㎛인 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.
The method according to any one of claims 1 to 4,
A release film for producing a ceramic green sheet having a release layer having a thickness of 0.2 to 3.5 µm.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
이형층의 영역 표면 평균 거칠기(Sa)가, 5∼40nm인 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.
The method according to any one of claims 1 to 5,
A release film for producing a ceramic green sheet in which the region surface average roughness (Sa) of the release layer is 5 to 40 nm.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
이형층 표면의 최대 돌기 높이(Rp)가, 60nm 이하인 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름.
The method according to any one of claims 1 to 6,
A release film for manufacturing a ceramic green sheet having a maximum protrusion height (Rp) of 60 nm or less on the surface of the release layer.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재한 세라믹 그린시트 제조용 이형 필름을 이용하여 세라믹 그린시트를 성형하는 세라믹 그린시트의 제조 방법으로서, 성형된 세라믹 그린시트가 0.2㎛∼1.0㎛의 두께인 세라믹 그린시트의 제조 방법. A method of manufacturing a ceramic green sheet for forming a ceramic green sheet using the release film for manufacturing a ceramic green sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein the formed ceramic green sheet has a thickness of 0.2 µm to 1.0 µm. Method of manufacturing phosphorus ceramic green sheet.
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