KR102093769B1 - Release film for green sheet production - Google Patents
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Abstract
본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 기재와 박리제층을 구비하고, 박리제층은 (메타) 아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과, 폴리오르가노실록산(B), 및 카본 나노 재료(C)를 함유하는 박리제층 형성용 재료를, 제1 면에 도포해 형성된 도포층에, 활성 에너지선을 조사함으로써 형성되어 있으며, 박리제층의 외표면의 산술 평균 거칠기 Ra1가 8nm 이하이고, 아울러 박리제층의 상기 외표면의 최대 돌기 높이 Rp1가 50nm 이하인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 그린 시트의 표면에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차 등이 발생하는 것을 방지하고, 신뢰성이 높은 그린 시트를 제조하는 것이 가능한 그린 시트 제조용 박리 필름을 제공할 수 있다.The release film for producing a green sheet of the present invention includes a base material and a release agent layer, and the release agent layer has at least one reactive functional group selected from the group consisting of (meth) acryloyl group, alkenyl group, and maleimide group, and is active energy ray-curable. It is formed by irradiating an active energy ray to a coating layer formed by applying a material for forming a release agent layer containing the compound (A), polyorganosiloxane (B), and carbon nanomaterial (C) on the first surface. It is characterized in that the arithmetic mean roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface of the release agent layer is 50 nm or less. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the peeling film for green sheet manufacture which can prevent the occurrence of pinholes or partial thickness variation on the surface of a green sheet, and can manufacture a highly reliable green sheet can be provided.
Description
본 발명은 그린 시트 제조용 박리 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a release film for producing a green sheet.
세라믹 콘덴서의 제조에 있어서, 그린 시트를 형성하기 위하여 그린 시트 제조용의 박리 필름이 이용되고 있다.In the manufacture of a ceramic capacitor, a release film for producing a green sheet is used to form a green sheet.
박리 필름은 일반적으로 기재와 박리제층으로 구성된다. 그린 시트는 이와 같은 박리 필름 위에, 세라믹 입자와 바인더 수지를 유기 용제에 분산, 용해시킨 세라믹 슬러리를 도포하고, 이것을 건조함으로써 제조된다. 또한, 제조된 그린 시트는 박리 필름에서 박리되어, 세라믹 콘덴서의 제조에 이용된다.The release film is generally composed of a base material and a release agent layer. The green sheet is produced by applying a ceramic slurry on which a ceramic particle and a binder resin are dispersed and dissolved in an organic solvent on such a release film, and drying it. In addition, the produced green sheet is peeled from the release film, and is used for the production of ceramic capacitors.
종래의 박리 필름을 이용한 그린 시트의 제조에 있어서는, 박리 필름 표면의 요철이 그린 시트에 전사됨으로써, 그린 시트의 표면에 핀홀이 발생하는 등의 문제가 있었다.In the production of a green sheet using a conventional release film, there has been a problem such that pinholes are generated on the surface of the green sheet by transferring irregularities on the surface of the release film to the green sheet.
따라서, 박리 필름 표면의 요철을 가능한 한 억제함으로써, 그린 시트에 대한 요철의 영향을 저감하는 시도가 행해져 왔다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Therefore, attempts have been made to reduce the influence of the unevenness on the green sheet by suppressing the unevenness of the release film surface as much as possible (see, for example, Patent Document 1).
그러나, 최근의 세라믹 콘덴서의 소형화, 고밀도화에 따라서, 그린 시트의 추가적인 박막화가 요구되고 있으며, 종래의 박리 필름에서는 그 박막화에 대응할 수 없었다. 즉, 얇은 그린 시트를 형성하고자 하면, 종래의 박리 필름에서는 박리 필름 표면의 요철이 그린 시트에 전사됨으로써 생기는 핀홀 등의 발생을 막는 것이 곤란했다.However, with the recent miniaturization and high density of ceramic capacitors, further thinning of the green sheet is required, and the conventional release film cannot cope with the thinning. That is, if a thin green sheet is to be formed, it has been difficult to prevent the occurrence of pinholes or the like caused by unevenness of the surface of the release film transferred to the green sheet in the conventional release film.
또한, 박리 필름은 일반적으로, 롤 형상으로 감겨진 상태로 보관, 수송되고, 그린 시트를 형성할 때에는, 롤 형상으로 감겨진 상태로부터 풀어내어 사용된다. 종래에는, 이 감겨진 박리 필름을 풀어낼 때에는, 박리 필름의 표면에 정전기가 발생하고, 발생한 정전기에 의해 먼지 등의 이물이 박리 필름에 부착되게 된다는 문제가 있었다. 이 때문에, 박리 필름을 이용하여 그린 시트를 제조하고자 하면, 이 부착된 이물 등에 의해, 그린 시트에 핀홀이 발생하게 된다는 문제가 있었다. 특히, 박리 필름 표면의 요철을 작게 할수록, 상기와 같은 정전기의 발생이 현저했다.In addition, the release film is generally stored and transported in a rolled state, and when a green sheet is formed, it is used after being unwound from the rolled state. Conventionally, when releasing this wound release film, there was a problem that static electricity is generated on the surface of the release film, and foreign matter such as dust adheres to the release film by the generated static electricity. For this reason, if a green sheet is to be produced using a release film, there is a problem that pinholes are generated in the green sheet due to the attached foreign matter or the like. In particular, the smaller the irregularities on the surface of the release film, the more the generation of static electricity as described above was remarkable.
본 발명의 목적은 그린 시트의 표면에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차 등이 발생하는 것을 방지하고, 신뢰성이 높은 그린 시트를 제조하는 것이 가능한 그린 시트 제조용 박리 필름을 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a peeling film for producing a green sheet, which can prevent pinholes, partial thickness variations, etc. from occurring on the surface of the green sheet, and can produce a highly reliable green sheet.
이와 같은 목적은 하기 (1)~(5)의 본 발명에 의해 달성된다.This object is achieved by the present invention of the following (1) to (5).
(1) 그린 시트의 제조에 이용되는 그린 시트 제조용 박리 필름이며,(1) It is a peeling film for green sheet manufacture used for manufacture of a green sheet,
제1 면과 제2 면을 갖는 기재; 및A substrate having a first surface and a second surface; And
상기 기재의 상기 제1 면에 형성된 박리제층을 구비하고,And a release agent layer formed on the first surface of the substrate,
상기 박리제층은 (메타) 아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과, 폴리오르가노실록산(B), 및 카본 나노 재료(C)를 함유하는 박리제층 형성용 재료를, 상기 제1 면 측에 도포하여 형성된 도포층에, 활성 에너지선을 조사함으로써 형성되어 있으며,The release agent layer is an active energy ray-curable compound (A) having at least one reactive functional group selected from the group consisting of (meth) acryloyl group, alkenyl group, and maleimide group, polyorganosiloxane (B), and carbon It is formed by irradiating active energy rays to the coating layer formed by applying the material for forming the release agent layer containing the nanomaterial (C) to the first surface side,
상기 박리제층의 외표면의 산술 평균 거칠기 Ra1가 8nm 이하이고, 아울러 상기 박리제층의 외표면의 최대 돌기 높이 Rp1가 50nm 이하인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.The release film for green sheet production, characterized in that the arithmetic average roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface of the release agent layer is 50 nm or less.
(2) 상기 박리제층의 평균 두께가 0.2~2㎛인 (1)에 기재된 그린 시트 제조용 박리 필름.(2) The release film for producing a green sheet according to (1), wherein the release agent layer has an average thickness of 0.2 to 2 μm.
(3) 상기 박리제층 형성용 재료에 있어서의 상기 폴리오르가노실록산(B)의 고형분 환산의 함유량이 0.5~5 질량%인 (1) 또는 (2)에 기재된 그린 시트 제조용 박리 필름.(3) The release film for producing the green sheet according to (1) or (2), wherein the content of the polyorganosiloxane (B) in terms of solid content in the material for forming the release agent layer is 0.5 to 5% by mass.
(4) 상기 폴리오르가노실록산(B)은 직쇄상 또는 분기상의 분자쇄를 갖는 폴리오르가노실록산이며, 당해 분자쇄의 말단 및/또는 측쇄에, (메타) 아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 갖는 반응성 관능기가, 직접 또는 2가의 연결기를 통하여, 상기 분자쇄 중의 규소 원자와 결합된 것인 (1) 내지 (3) 중의 어느 하나에 기재된 그린 시트 제조용 박리 필름.(4) The polyorganosiloxane (B) is a polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain, and at the terminal and / or side chains of the molecular chain, (meth) acryloyl group, alkenyl group and maleimide Peeling for the production of the green sheet according to any one of (1) to (3), wherein the reactive functional group having at least one member selected from the group consisting of groups is bonded to a silicon atom in the molecular chain, either directly or through a divalent linking group. film.
(5) 상기 박리제층 형성용 재료에 있어서의 상기 카본 나노 재료(C)의 고형분 환산의 함유량이 0.05~10 질량%인 (1) 내지 (4) 중의 어느 하나에 기재된 그린 시트 제조용 박리 필름.(5) The release film for producing a green sheet according to any one of (1) to (4), wherein the content of the carbon nanomaterial (C) in terms of solid content in the material for forming the release agent layer is 0.05 to 10% by mass.
본 발명에 의하면, 박리제층의 외표면의 평활성이 우수함과 아울러, 우수한 대전 방지성 및 박리성을 구비한 그린 시트 제조용 박리 필름을 제공할 수 있다. 이에 따라, 그린 시트 제조용 박리 필름 표면의 요철이 그린 시트에 전사되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 그린 시트의 표면에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the peeling film for green sheet manufacture which is excellent in the smoothness of the outer surface of a release agent layer, and has excellent antistatic property and peelability can be provided. Thereby, it is possible to prevent the unevenness of the surface of the release film for producing the green sheet from being transferred to the green sheet. As a result, it is possible to prevent the occurrence of pinholes or partial thickness variations on the surface of the green sheet.
또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 적당한 도전성을 갖는다. 이 때문에, 그린 시트 제조용 박리 필름의 표면의 저항값을 낮출 수 있다. 이에 따라, 권취한 그린 시트 제조용 박리 필름을 풀어낼 때에, 정전기가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 그린 시트 제조용 박리 필름의 표면에, 먼지 등의 이물이 부착되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 세라믹 슬러리 도포 시에 슬러리가 튀기는 것이나, 제조된 그린 시트 표면에 핀홀이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 그린 시트를 박리할 때에, 대전에 의한 박리 불량 등이 발생하는 것을 방지할 수 있으며 그린 시트에 파손이나 주름 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Moreover, the release film for green sheet manufacture of this invention has moderate electroconductivity. For this reason, the resistance value of the surface of the release film for green sheet manufacture can be made low. Thereby, when unwinding the peeling film for manufacture of a wound green sheet, generation | occurrence | production of static electricity can be suppressed. As a result, it is possible to prevent foreign matter such as dust from adhering to the surface of the release film for producing a green sheet, so that it is possible to prevent the formation of pinholes on the surface of the manufactured green sheet or the splashing of the slurry when applying the ceramic slurry. have. In addition, when peeling off the green sheet, it is possible to prevent peeling defects due to charging and the like, and to prevent damage or wrinkles from occurring on the green sheet.
도 1은 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 횡단면도이다.1 is a cross-sectional view of a release film for producing a green sheet of the present invention.
이하, 본 발명을 바람직한 실시형태에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail based on preferred embodiments.
≪ 그린 시트 제조용 박리 필름 ≫≪ Peeling film for green sheet production ≫
본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 그린 시트의 제조에 이용되는 것이다. 그리고, 제조된 그린 시트는 예를 들면, 세라믹 콘덴서 등의 제조에 이용된다.The release film for producing a green sheet of the present invention is used for the production of a green sheet. And the produced green sheet is used for manufacture of, for example, a ceramic capacitor.
도 1은 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 횡단면도이다. 또한 이하의 설명에서는, 도 1 중의 상측을 “위”, 하측을 “아래”라고 한다.1 is a cross-sectional view of a release film for producing a green sheet of the present invention. In addition, in the following description, the upper side in FIG. 1 is called "above", and the lower side is called "below".
도 1에 나타낸 바와 같이, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)은 제1 면(111)과 제2 면(112)을 갖는 기재(11); 및 기재(11)의 제1 면(111) 위에 형성된 박리제층(12)을 구비하고 있다. 즉, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)은 도 1에 나타낸 바와 같이, 기재(11)와 박리제층(12)이 이 순서로 서로 접합되도록 적층된 2층 구조를 이루는 것이다.As shown in FIG. 1, the release film 1 for producing a green sheet includes a
또한 본 명세서에 있어서, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 이용하여 그린 시트를 제조하는 경우에는 그린 시트는 예를 들면, 박리제층(12)의 외표면(121) 위에 용해된 세라믹 슬러리를 도포함으로써 형성된다.In addition, in the present specification, when a green sheet is manufactured using the release film 1 for producing a green sheet, the green sheet is, for example, by applying a dissolved ceramic slurry on the
본 발명에 있어서, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)은 기재(11)와 박리제층(12)을 구비한다. 그리고, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에서는 박리제층(12)이, 소정의 반응성 관능기를 갖는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과 폴리오르가노실록산(B), 및 카본 나노 재료(C)를 함유하는 박리제층 형성용 재료를, 기재(11)의 제1 면(111) 측에 도포하고, 거기에 활성 에너지선을 조사함으로써 형성되어 있으며, 박리제층(12)의 외표면(121)의 산술 평균 거칠기 Ra1가 8nm 이하이고, 아울러 그 외표면(121)의 최대 돌기 높이 Rp1가 50nm 이하인 것을 특징으로 한다.In the present invention, the release film 1 for producing a green sheet includes a
이와 같은 특징을 가짐으로써, 박리제층(12)의 외표면(121)의 평활성이 우수함과 아울러, 대전 방지성 및 박리성을 구비한 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 얻을 수 있다. 그리고, 이 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 이용하여 그린 시트를 제조하면, 그린 시트의 표면에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.By having such characteristics, it is possible to obtain a release film 1 for producing a green sheet having excellent anti-static properties and peeling properties as well as excellent smoothness of the
특히, 박리제층(12)은 카본 나노 재료(C)의 작용에 의해, 적당한 도전성을 갖고 있다. 이 때문에, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 표면의 저항값을 낮출 수 있다. 이에 따라, 권취한 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 풀어낼 때에, 정전기가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 표면에, 먼지 등의 이물이 부착되는 것을 방지할 수 있으며 부착된 이물에 의한 핀홀의 발생을 방지할 수 있다.In particular, the
또한, 박리제층(12)은 폴리오르가노실록산(B)의 작용에 의해, 우수한 박리성을 발휘한다. 이 때문에, 박리제층(12)은 폴리오르가노실록산(B)의 작용에 의한 박리성 및 카본 나노 재료(C)의 작용에 의한 대전 방지성의 상승 효과에 의해, 그린 시트를 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에서 박리할 때에, 그린 시트에 파손이나 주름 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Further, the
또한, 소정의 반응성 관능기를 갖는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)을 포함한 박리제층 형성용 재료는 적당한 유동성과 형상 유지성을 갖는다. 이 때문에, 이러한 박리제층 형성용 재료로 구성된 박리제층(12)을 이용하면, 기재(11)의 표면의 요철을 용이하게 매립할(상쇄할) 수 있다. 또한, 매립한 상태를 확실하게 유지할 수 있다. 그 결과, 박리제층(12)의 외표면(121)은 평활성이 우수한 것이 된다. 이 때문에, 형성된 그린 시트에, 박리제층(12)의 외표면(121)의 요철 형상이 전사됨으로써 생기는 핀홀 등의 발생을 방지할 수 있다.Further, the material for forming the release agent layer containing the active energy ray-curable compound (A) having a predetermined reactive functional group has moderate fluidity and shape retention. For this reason, when the
또한, 이러한 박리제층(12)의 외표면(121)의 산술 평균 거칠기 Ra1 및 최대 돌기 높이 Rp1가 전술한 것이기 때문에, 예를 들면 1㎛ 미만의 박막의 그린 시트를 제조하는 경우이더라도, 박리제층(12)의 외표면(121)의 요철이 그린 시트에 전사되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 그린 시트의 표면에 핀홀 등의 발생이 방지된, 신뢰성이 높은 그린 시트를 얻을 수 있다.In addition, since the arithmetic mean roughness Ra 1 and the maximum protrusion height Rp 1 of the
이하, 본 실시형태에 따른 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 구성하는 각 층에 대하여 순차로 설명한다.Hereinafter, each layer constituting the release film 1 for producing a green sheet according to the present embodiment will be sequentially described.
<기재(11)><Substrate (11)>
기재(11)는 그린 시트 제조용 박리 필름(1)(이하, 간단히 “박리 필름(1)”이라 하기도 함)에, 강성, 유연성 등의 물리적 강도를 부여하는 기능을 갖고 있다.The
기재(11)는 도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 면(111) 및 제2 면(112)을 구비한다.The
기재(11)를 구성하는 재료로서는 특히 한정되지 않고, 예를 들면, 폴리부틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지, 폴리에틸렌 나프탈레이트 수지 등의 폴리에스테르 수지, 폴리프로필렌 수지나 폴리메틸펜텐 수지 등의 폴리올레핀 수지, 폴리카보네이트 등의 플라스틱으로 이루어지는 필름 등을 들 수 있다. 기재(11)는 단층 필름이어도 무방하고, 동종 또는 이종의 2층 이상의 다층 필름이어도 무방하다. 이들 중에서도 특히, 폴리에스테르 필름인 것이 바람직하고, 2축 연신 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름이 더욱 바람직하다. 특히, 폴리에스테르 필름은 그 가공 시나 사용 시 등에 있어서, 먼지 등이 발생하기 어렵다. 이 때문에, 예를 들면, 폴리에스테르 필름을 이용하여 제조한 박리 필름(1)을 사용하여, 그린 시트를 제조하는 경우에, 먼지 등에 의한 세라믹 슬러리 도포 불량 등을 효과적으로 방지할 수 있다. 그 결과, 핀홀 등이 보다 적은 그린 시트를 제조할 수 있다.The material constituting the
또한, 기재(11)에는 상기와 같은 재료에 더하여, 필러 등을 함유시켜도 무방하다. 필러로서는 실리카, 산화 티탄, 탄산 칼슘, 카올린, 산화 알류미늄 등을 들 수 있으며 이들 중에서 1종 또는 2종 이상을 조합하여 이용할 수 있다. 이와 같은 필러를 포함함으로써, 기재(11)에 기계적 강도를 부여함과 아울러, 기재(11)의 표리면의 미끄러짐성이 향상되어, 블로킹을 억제할 수 있다.Further, in addition to the above-described materials, the
또한, 기재(11)는 제1 면(111)의 산술 평균 거칠기 Ra0가 2~80nm인 것이 바람직하고, 제1 면(111)의 산술 평균 거칠기 Ra0가 5~50nm인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 후술하는 바와 같이, 기재(11)의 제1 면(111) 위에는 제1 면(111)의 요철을 묻어 평활화된 박리제층(12)이 형성된다. 이 때문에, 산술 평균 거칠기 Ra0가 상기의 범위 내라면, 평활화 작용이 특히 현저하게 된다.In addition, the
또한, 제1 면(111)의 산술 평균 거칠기 Ra0가 상기 상한치를 넘으면, 박리제층 형성용 재료의 구성 재료 등에 따라서는 제1 면(111)의 요철을 충분히 매립하기 위하여, 박리제층(12)의 두께를 비교적 두껍게 할 필요가 생기는 경우가 있다.In addition, when the arithmetic average roughness Ra 0 of the
또한, 제1 면(111)의 최대 돌기 높이 Rp0가 10~700nm인 것이 바람직하고, 제1 면(111)의 최대 돌기 높이 Rp0가 20~500nm인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 후술하는 바와 같이, 기재(11)의 제1 면(111) 위에는 제1 면(111)의 요철을 매립하여 평활화된 박리제층(12)이 형성되기 때문에, 최대 돌기 높이 Rp0가 상기의 범위 내라면, 평활화 작용이 특히 현저하게 된다.In addition, the maximum protrusion height Rp 0 of the
또한, 기재(11)는 제2 면(112)의 산술 평균 거칠기 Ra2가 5~40nm인 것이 바람직하고, 제2 면(112)의 산술 평균 거칠기 Ra2가 10~30nm인 것이 보다 바람직하다. 또한, 기재(11)의 제2 면(112)의 최대 돌기 높이 Rp2는 60~500nm인 것이 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)의 외표면(121)이 높은 평활성을 갖는 박리 필름(1)을, 종이제, 플라스틱제 또는 금속제 등의 코어재에 롤 형상으로 권취할 때에, 공기 배출이 양호하게 되어, 권취 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다. 이 때문에, 권취 장력을 높일 필요가 없고, 권취 장력에 기인하는 권심부의 변형도 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 롤 형상의 박리 필름(1)을 풀어낼 때에, 감겨진 박리 필름(1)의 표리에서 블로킹이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 그린 시트가 형성된 박리 필름(1)을 권취하여 보관할 때에, 그린 시트에 접하는 기재(11)의 제2 면(112)의 표면 형상이, 그린 시트에 전사되는 것을 방지할 수 있으며 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 신뢰성이 높은 그린 시트를 형성할 수 있다.In addition, the
이에 비하여, 최대 돌기 높이 Rp2가 상기 하한치 미만이면, 그린 시트(박막) 형성전의 박리 필름(1)의 보관 시에 있어서, 그린 시트 형성 전의 박리 필름(1)을 권취할 때에, 공기가 말려 들기 쉽고, 권취 어긋남이 생기기 쉽다. 이 때문에, 박리 필름(1)의 취급이 곤란해진다. 또한, 기재(11)와 박리제층(12)이 밀착하게 되어, 블로킹을 충분히 방지하는 것이 곤란해진다. 한편, 최대 돌기 높이 Rp2가 상기 상한치를 넘으면, 그린 시트 형성 후의 박리 필름(1)을 권취할 때에, 그린 시트에 접하는 기재(11)의 제2 면(112)의 돌기 형상이 그린 시트에 전사되게 된다. 이 때문에, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차가 발생할 우려가 있으며, 그린 시트의 평활성을 충분히 유지하는 것이 곤란해진다.On the other hand, if the maximum projection height Rp 2 is less than the above lower limit, when the release film 1 before the green sheet formation is wound up during storage of the release film 1 before the green sheet (thin film) formation, air is drawn in. It is easy, and winding misalignment is easy to occur. For this reason, handling of the peeling film 1 becomes difficult. Moreover, the
이와 같이, 기재(11)의 제2 면(112)의 최대 돌기 높이 Rp2는 60~500nm인 것이 바람직하지만, 80~400nm인 것이 보다 바람직하고, 100~300nm인 것이 더욱 바람직하다. 이에 따라, 상술한 효과가 보다 현저하게 된다.As described above, the maximum protrusion height Rp 2 of the
또한 본 명세서에서는 기재(11)의 제1 면(111)의 산술 평균 거칠기 Ra0 및 최대 돌기 높이 Rp0, 기재(11)의 제2 면(112)의 산술 평균 거칠기 Ra2 및 최대 돌기 높이 Rp2는 JIS B0601-1994에 준거하여 미츠토요사제 표면 거칠기 측정기 SV3000S4(촉침식)에 의해 측정하여 구할 수 있는 값이다. 그리고, 본 명세서에서는 특히 언급이 없는 한, “산술 평균 거칠기 및 최대 돌기 높이”란, 상기와 같이 하여 측정하여 얻어지는 값을 가리킨다.In addition, in this specification, the arithmetic mean roughness Ra 0 and the maximum protrusion height Rp 0 of the
또한, 기재(11)의 평균 두께는 특히 한정되지 않지만, 10~300㎛인 것이 바람직하고, 15~200㎛인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 박리 필름(1)의, 유연성을 적당한 것으로 하면서, 찢어짐이나 파단 등에 대한 내성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.In addition, the average thickness of the
<박리제층(12)><Peeling layer (12)>
박리제층(12)은 기재(11)의 제1 면(111) 위에 형성되어 있다.The
박리제층(12)은 박리 필름(1)에 박리성 및 대전 방지성을 부여하는 기능을 갖는다.The
박리제층(12)은 박리제층 형성용 재료에 활성 에너지선을 조사하여 경화함으로써 형성된 층이다.The
또한, 박리제층(12)은 박리제층 형성용 재료로 구성되어 있다. 박리제층 형성용 재료는 (메타) 아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과 폴리오르가노실록산(B), 및 카본 나노 재료(C)를 포함한다.Further, the
이러한 구성의 박리제층(12)은 적당한 도전성을 갖는다. 이 때문에, 박리제층(12)의 외표면(121)의 저항값을 낮출 수 있다. 이에 따라, 권취한 그린 시트 제조용 박리 필름을 풀어낼 때에, 정전기가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 박리제층(12)의 외표면(121)에 이물이 부착되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 그린 시트에 핀홀 등이 발생하는 것을 박을 수 있다. 또한, 박리제층(12) 표면의 대전에 의한, 세라믹 슬러리의 파동이나 튀김 등의 발생을 방지할 수 있기 때문에, 보다 균일한 두께의 그린 시트를 형성할 수 있다. 또한, 이러한 구성의 박리제층(12)은 적당한 도전성에 더하여 박리성을 갖는다. 이 때문에, 그린 시트를 박리할 때에, 대전에 의한 박리 불량 등의 발생을 방지할 수 있다. 그 결과, 그린 시트에 파손이나 주름 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The
이하, 박리제층 형성용 재료의 각 성분에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, each component of the material for forming a release agent layer will be described in detail.
또한 활성 에너지선을 조사하기 전의 박리제층 형성용 재료는 실온에서 미경화 상태, 또는 반경화 상태로 존재하고 있다.In addition, the material for forming a release agent layer before irradiating active energy rays exists in an uncured state or a semi-cured state at room temperature.
또한, 이러한 박리제층 형성용 재료는 기재(11)의 제1 면(111) 위에 도포할 때에, 적당한 유동성을 갖고 있다. 따라서, 이러한 박리제층 형성용 재료를 이용하면, 기재(11)의 제1 면(111)의 요철을 용이하게 매립할 수 있으며 그 매립한 상태를 확실하게 유지할 수 있다. 그 결과, 박리제층(12)의 기재(11)와 반대의 외표면(121) 측에, 기재(11)의 요철이 영향을 미치는 것을 방지할 수 있으며 박리제층(12)의 외표면(121)을 평활하게 할 수 있다.In addition, the material for forming such a release agent layer has adequate fluidity when applied on the
[활성 에너지선 경화성 화합물(A)][Active energy ray-curable compound (A)]
활성 에너지선 경화성 화합물(A)은 경화됨으로써 박리제층(12)의 형성에 기여하는 성분이다. 이에 따라, 박리제층(12)의 기계적 강도를 보다 적당히 할 수 있다.The active energy ray-curable compound (A) is a component that contributes to the formation of the
활성 에너지선 경화성 화합물(A)은 (메타) 아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 반응성 관능기를 갖는다. 또한 상기 알케닐기로서는 비닐기, 알릴기, 프로페닐기, 헥세닐기 등 탄소수 2~10의 알케닐기가 예시된다. 특히, 이러한 반응성 관능기를, 1 분자 중에 2개 이상 가지고 있는 것이 바람직하고, 1 분자 중에 3개 이상 가지고 있는 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)은 우수한 경화성이나, 내용제성, 및 박리성을 얻을 수 있다. 또한, 이러한 활성 에너지선 경화성 화합물(A)은 적당한 유동성과 형상 유지성을 갖는다. 이 때문에, 기재(11)의 제1 면(111) 위에, 이러한 활성 에너지선 경화성 화합물(A)을 포함한 박리제층 형성용 재료를 도포하면, 박리제층 형성용 재료에 의해 기재(11)의 제1 면(111)의 요철을 정확하게 매립할 수 있으며 그 매립한 상태를 확실하게 유지할 수 있다. 그 결과, 박리제층(12)의 외표면(121)을 평활하게 할 수 있다.The active energy ray-curable compound (A) has at least one reactive functional group selected from the group consisting of (meth) acryloyl group, alkenyl group, and maleimide group. Moreover, as said alkenyl group, a C2-C10 alkenyl group, such as a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, and a hexenyl group, is illustrated. In particular, it is preferable to have two or more of these reactive functional groups in one molecule, and more preferably to have three or more in one molecule. Accordingly, the
또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)에 있어서의 상기 반응성 관능기의 함유량은 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 1 kg 당 10 당량 이상인 것이 바람직하다. 이에 따라, 기재(11)의 제1 면(111) 위에 박막으로 도포된 경우에도, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 경화성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.Moreover, it is preferable that content of the said reactive functional group in active energy ray-curable compound (A) is 10 equivalent or more per kg of active energy ray-curable compound (A). Accordingly, even when applied as a thin film on the
활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서는 구체적으로는 디펜타에리스리톨트리(메타) 아크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라(메타) 아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타) 아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타) 아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타) 아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타) 아크릴레이트 등의 다관능(메타) 아크릴레이트를 들 수 있다. 이들 중에서도, 디펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 다관능 아크릴레이트를 이용하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 기재(11)의 제1 면(111) 위에 박막으로 도포된 경우에도 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 경화성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.As the active energy ray-curable compound (A), specifically, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylic And polyfunctional (meth) acrylates such as rate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and pentaerythritol tetra (meth) acrylate. Among these, at least 1 selected from the group consisting of dipentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol tetraacrylate It is preferred to use polyfunctional acrylates of the species. Accordingly, even when applied as a thin film on the
박리제층 형성용 재료에 있어서의 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 고형분 환산의 함유량(용제를 제외한 전체 고형분 중에 있어서의 함유 비율)은 65~98.5 질량%가 바람직하고, 71~96.3 질량%인 것이 보다 바람직하다.The content of the active energy ray-curable compound (A) in terms of solid content in the release agent layer-forming material (the content ratio in all solid content excluding the solvent) is preferably 65 to 98.5 mass%, and 71 to 94.3 mass% It is more preferable.
[폴리오르가노실록산(B)][Polyorganosiloxane (B)]
폴리오르가노실록산(B)은 박리제층(12)에 박리성을 발현시키는 성분이다.Polyorganosiloxane (B) is a component that exhibits peelability in the
폴리오르가노실록산(B)으로서는 예를 들면, 직쇄상 또는 분기상의 분자쇄를 갖는 폴리오르가노실록산을 들 수 있다. 특히, 당해 분자쇄의 말단 및/또는 측쇄에 규소 원자가 포함되고, (메타) 아크릴로일기, 비닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 갖는 반응성 관능기가, 직접 또는 2가의 연결기를 통하여, 상기 분자쇄 중의 규소 원자와 결합되어 있는 것이 바람직하다. 상기 반응성 관능기는 1 분자 중에 적어도 1개 가지고 있어도 무방하다.As polyorganosiloxane (B), polyorganosiloxane which has a molecular chain of linear or branched is mentioned, for example. In particular, a reactive functional group having at least one member selected from the group consisting of (meth) acryloyl group, vinyl group and maleimide group, wherein a silicon atom is included in the terminal and / or side chain of the molecular chain, is a direct or divalent linking group. Through this, it is preferable that it is bonded to a silicon atom in the molecular chain. The reactive functional group may have at least one in one molecule.
또한, 상기 2가의 연결기로서는 예를 들면, 알킬렌기, 알킬렌 옥시기, 옥시기, 이미노기, 카르보닐기 및 이것들을 조합한 2가의 연결기 등을 들 수 있다.Further, examples of the divalent linking group include an alkylene group, an alkylene oxy group, an oxy group, an imino group, a carbonyl group, and a divalent linking group combining these.
2가의 연결기의 탄소수는 1~30인 것이 바람직하고, 1~10인 것이 보다 바람직하다.The divalent linking group preferably has 1 to 30 carbon atoms, and more preferably 1 to 10 carbon atoms.
또한, 폴리오르가노실록산(B)은 필요에 따라서 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Moreover, polyorganosiloxane (B) can be used in combination of 2 or more type as needed.
이와 같은 반응성 관능기로 치환된 변성 폴리오르가노실록산은 활성 에너지선 경화성 화합물(A)이 활성 에너지선의 조사에 의해 경화될 때에, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 경화물의 가교 구조에 조립되어 고정된다. 이에 따라, 박리제층(12)의 외표면(121) 측에 형성되는 그린 시트에, 박리제층(12)의 성분인 폴리오르가노실록산이 이행하여, 전착되는 것을 억제할 수 있다.The modified polyorganosiloxane substituted with such a reactive functional group is assembled and fixed to the crosslinked structure of the cured product of the active energy ray-curable compound (A) when the active energy ray-curable compound (A) is cured by irradiation with active energy rays. . Thereby, the polyorganosiloxane which is a component of the release agent layer migrates to the green sheet formed on the
또한, 폴리오르가노실록산(B)을 구성하는 반응성 관능기 이외의 유기기로서는 지방족불포화 결합을 갖지 않는 1가 탄화 수소기 등을 들 수 있다. 이 유기기는 복수의 1가 탄화수소기이어도 무방하고, 이것들은 서로 동일 또는 이종이어도 무방하다.In addition, examples of the organic group other than the reactive functional group constituting the polyorganosiloxane (B) include a monovalent hydrocarbon group having no aliphatically unsaturated bond. The organic groups may be a plurality of monovalent hydrocarbon groups, or they may be the same or different from each other.
상기 탄화수소기로서는 탄소수가 1~12가 바람직하고, 탄소수가 1~10이 보다 바람직하다.The hydrocarbon group preferably has 1 to 12 carbon atoms, and more preferably 1 to 10 carbon atoms.
상기 탄화수소기로서는 구체적으로는 메틸기, 에틸기, 프로필기 등의 알킬기, 페닐기, 톨릴기 등의 아릴기 등을 들 수 있다.Specific examples of the hydrocarbon group include alkyl groups such as methyl group, ethyl group and propyl group, and aryl groups such as phenyl group and tolyl group.
이러한 구성의 반응성 관능기 이외의 유기기로서는 유기기의 80 몰% 이상이 메틸기인 것이 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)의 박리성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.As an organic group other than the reactive functional group having such a structure, it is preferable that 80 mol% or more of the organic group is a methyl group. Thereby, the peelability of the
박리제층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산(B)의 고형분 환산의 함유량은 0.5~5 질량%가 바람직하고, 0.7~4 질량%인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 세라믹 슬러리를 튀기지 않고, 기재(11) 위에 도포하는 것이 보다 가능해져, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 박리성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.The content of the polyorganosiloxane (B) in terms of solid content in the release agent layer forming material is preferably 0.5 to 5% by mass, more preferably 0.7 to 4% by mass. This makes it possible to apply the ceramic slurry on the
이에 비하여, 박리제층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산(B)의 고형분 환산의 함유량이 상기 하한치 미만이면, 기재의 종류 등에 따라서는 형성되는 박리제층(12)이 충분한 박리성을 발휘할 수 없을 우려가 있다. 한편, 박리제층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산의 고형분 환산의 함유량이 상기 상한치를 넘으면, 형성되는 박리제층(12)의 표면에 세라믹 슬러리를 도포했을 때에, 세라믹 슬러리의 구성 재료 등에 따라서는 세라믹 슬러리를 튀기기 쉬워질 우려가 있다.On the other hand, if the content of the polyorganosiloxane (B) in terms of solid content in the release agent layer forming material is less than the above lower limit, the
게다가 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 함유량을 A 질량부로 하고, 폴리오르가노실록산(B)의 배합량을 B 질량부로 했을 때, 질량비 B/A가 0.7/99.3~5/95의 범위인 것이 보다 바람직하고, 1/99~4.5/95.5의 범위인 것이 특히 바람직하다. 이에 따라, 상기 효과가 한층 더 현저하게 된다.Moreover, when the content of the active energy ray-curable compound (A) is A part by mass and the blending amount of polyorganosiloxane (B) is B part by mass, it is more preferable that the mass ratio B / A is in the range of 0.7 / 99.3 to 5/95. It is preferable, and it is especially preferable that it is 1 / 99-4.5 / 95.5. Thereby, the said effect becomes more remarkable.
[카본 나노 재료(C)][Carbon nanomaterial (C)]
카본 나노 재료(C)는 박리제층(12)에, 대전 방지성을 부여하는 기능을 구비한다.The carbon nanomaterial (C) has a function of imparting antistatic property to the
카본 나노 재료(C)로서는 예를 들면, 풀러렌, 카본 나노 튜브, 카본 나노 섬유, 카본 나노혼 등을 들 수 있으며 이들 중에서 1종 또는 2종 이상을 조합하여 이용할 수 있다. 이들 중에서도 특히, 카본 나노 튜브인 것이 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)에, 보다 적당한 도전성을 부여할 수 있으며 박리제층(12)의 외표면(121)의 표면 저항값을 낮출 수 있다. 이 때문에, 박리제층(12)의 외표면(121)에 이물이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 박리제층(12) 위에 형성된 그린 시트에 핀홀이 발생하는 것을 막는 것이 가능해진다.Examples of the carbon nanomaterial (C) include fullerene, carbon nanotubes, carbon nanofibers, and carbon nanohorns, and one or two or more of them can be used in combination. Among these, carbon nanotubes are particularly preferable. Thereby, more suitable conductivity can be provided to the
특히, 상술한 바와 같은 카본 나노 재료(C) 중에서도, 카본 나노 튜브는 높은 애스펙트비(장단도;長短度)를 갖는 섬유 형상을 이룬다. 이 때문에, 카본 나노 튜브를, 그 섬유 길이가, 박리제층(12)의 면 방향을 따르도록 용이하게 배향시킬 수 있다. 이 때문에, 카본 나노 튜브를 이용하면, 적당한 도전성을 가짐과 아울러, 보다 평활한 외표면(121)을 갖는 박리제층(12)을 얻을 수 있다.In particular, among the carbon nanomaterials (C) as described above, the carbon nanotubes form a fiber shape having a high aspect ratio (longitudinal degree). For this reason, the carbon nanotube can be easily oriented so that the fiber length thereof follows the plane direction of the
또한, 카본 나노 재료(C)의 평균 직경(섬유 직경)은 1~1000nm인 것이 바람직하고, 3~500nm인 것이 보다 바람직하고, 5~100nm인 것이 더욱 바람직하다.Moreover, the average diameter (fiber diameter) of the carbon nanomaterial (C) is preferably 1 to 1000 nm, more preferably 3 to 500 nm, and even more preferably 5 to 100 nm.
카본 나노 재료(C)의 평균 길이(섬유 직경)는 10nm~200㎛이며, 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, 50nm~100㎛인 것이 바람직하고, 100nm~50㎛인 것이 보다 바람직하다.The average length (fiber diameter) of the carbon nanomaterial (C) is 10 nm to 200 μm, and is not particularly limited, but is preferably 50 nm to 100 μm, and more preferably 100 nm to 50 μm, for example.
또한, 카본 나노 재료(C)의 애스펙트비는 예를 들면, 10~10000인 것이 바람직하고, 200~5000인 것이 보다 바람직하고, 400~2000인 것이 더욱 바람직하다. 또한 카본 나노 재료(C)의 애스펙트비는 주사형 전자현미경(히타치 하이테크놀로지즈 사제, 제품명 “S-4700”)을 이용하여, 카본 나노 튜브를 관찰해 측정한 값이다.In addition, the aspect ratio of the carbon nanomaterial (C) is, for example, preferably 10 to 10000, more preferably 200 to 5000, and even more preferably 400 to 2000. In addition, the aspect ratio of the carbon nanomaterial (C) is a value measured by observing the carbon nanotubes using a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High Technologies, product name “S-4700”).
박리제층 형성용 재료에 있어서의 카본 나노 재료(C)의 함유량은 예를 들면, 0.05~10 질량%인 것이 바람직하고, 0.1~5 질량%인 것이 보다 바람직하고, 0.2~1 질량%인 것이 더욱 바람직하다. 카본 나노 재료(C)의 함유량이 상기 하한치 미만의 경우에는 박리제층(12)의 표면 저항율을 충분히 저하시킬 수 없는 경우가 있다. 카본 나노 재료(C)의 함유량이 상기 상한치를 넘은 경우에는 박리제층(12)의 강도가 저하하여, 내용제성이 악화될 우려가 있다.The content of the carbon nanomaterial (C) in the release agent layer-forming material is, for example, preferably 0.05 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass, and even more preferably 0.2 to 1% by mass. desirable. When the content of the carbon nanomaterial (C) is less than the above lower limit, the surface resistivity of the
[광중합 개시제(D)][Photopolymerization initiator (D)]
박리제층 형성용 재료를 경화시키기 위하여, 박리제층 형성용 재료는 광중합 개시제(D)를 포함하고 있어도 무방하다. 특히, 활성 에너지선으로서 자외선을 이용하는 경우에, 광중합 개시제(D)를 이용함으로써, 박리제층 형성용 재료를 보다 용이하고 확실하게 경화시킬 수 있다.In order to cure the material for forming a release agent layer, the material for forming a release agent layer may contain a photopolymerization initiator (D). In particular, in the case of using ultraviolet light as the active energy ray, the material for forming the release agent layer can be more easily and surely cured by using the photopolymerization initiator (D).
광중합 개시제(D)로서는 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, α-아미노알킬페논계의 광중합 개시제를 이용하는 것이 보다 바람직하다. 이와 같은α-아미노알킬페논계의 광중합 개시제는 박리제층 형성용 재료의 경화 시에 산소 저해를 받기 어렵게 하는 화합물이다. 이 때문에, 대기 분위기 하에서의 박리 필름(1)의 제조에 있어서도, 특히 우수한 경화성을 얻을 수 있다.Although it does not specifically limit as a photoinitiator (D), For example, it is more preferable to use the alpha-amino alkyl phenone type photoinitiator. Such an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator is a compound that is less susceptible to oxygen inhibition when curing the release agent layer-forming material. For this reason, even in the manufacture of the release film 1 under atmospheric atmosphere, particularly excellent curability can be obtained.
α-아미노알킬페논계의 광중합 개시제로서는 예를 들면, 2-메틸-1 [4-(메틸 티오) 페닐]-2-몰포리노프로판-1-온,2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰포리노페닐)-부타논 1,2-(디메틸아미노) - 2-[(4-메틸페닐) 메틸] - 1-[4-(4-몰포리닐) 페닐] - 1-부타논 등을 들 수 있다. 이에 따라, 특히 우수한 경화성이나, 내용제성, 및 박리성을 얻을 수 있다.Examples of the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator include 2-methyl-1 [4- (methyl thio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone 1,2- (dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl) methyl]-1- [4- (4-morpholinyl) phenyl]-1-butanone, etc. Can be mentioned. Thereby, especially excellent hardenability, solvent resistance, and peelability can be obtained.
박리제층 형성용 재료에 있어서의 광중합 개시제(D)의 고형분 환산의 함유량은 1~20 질량%인 것이 바람직하고, 3~15 질량%인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)의 두께가, 산소 저해에 의해 경화성이 얻어지기 어려운 범위의 두께이더라도, 특히 우수한 경화성이나, 내용제성, 및 박리성을 얻을 수 있다.The content of the photopolymerization initiator (D) in terms of solid content in the release agent layer forming material is preferably 1 to 20% by mass, and more preferably 3 to 15% by mass. Thereby, even if the thickness of the
또한, 이와 같은 박리 필름(1)에서는 박리제층(12)의 외표면(121) 부근에, 폴리오르가노실록산(B)에 유래하는 성분이 편석된 상태로 되어 있다. 이와 같은 편석이 발생하는 이유는 이하와 같다. 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과 분자 구조, 극성, 분자량 등이 다른 폴리오르가노실록산(B)을 이용함으로써, 박리제층 형성용 재료의 도포층이 경화되는 동안에 폴리오르가노실록산(B)이 도포층의 표면 부근으로 밀어 올려지기 때문이다.In addition, in such release film 1, the component derived from polyorganosiloxane (B) is segregated in the vicinity of the
또한, 박리제층 형성용 재료에는 상술한 바와 같은 성분에 더하여 그 외의 성분을 포함하고 있어도 무방하다. 예를 들면, 증감제, 대전 방지제, 경화제 등의 그 외의 성분을 포함하고 있어도 무방하다.In addition, the material for forming a release agent layer may contain other components in addition to the components described above. For example, other components such as a sensitizer, an antistatic agent, and a curing agent may be included.
증감제로서는 예를 들면, 2,4-디에틸티오크산톤, 이소프로필티오크산톤 등을 들 수 있다. 이에 따라, 반응성을 보다 높일 수 있다.As a sensitizer, 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, etc. are mentioned, for example. Thereby, reactivity can be improved more.
또한, 박리제층 형성용 재료에 있어서의, 상기 그 외의 성분의 고형분 환산의 함유량은 0~10 질량%인 것이 바람직하다.In addition, in the material for forming a release agent layer, the content of the other components in terms of solid content is preferably 0 to 10% by mass.
또한, 상술한 바와 같이, 박리제층(12)의 외표면(121)은 산술 평균 거칠기 Ra1가 8nm 이하이고, 아울러 그 최대 돌기 높이 Rp1가 50nm 이하이다. 이에 따라, 그린 시트를 박리제층(12)의 외표면(121) 측에 성형했을 때에, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차를 발생시키는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있으며 그린 시트의 표면을 보다 평활한 물건으로 할 수 있다.In addition, as described above, the arithmetic mean roughness Ra 1 of the
박리제층(12)의 평균 두께는 0.2~2㎛인 것이 바람직하고, 0.3~1.5㎛인 것이 보다 바람직하다. 박리제층(12)의 두께가 상기 하한치 미만이면, 박리제층(12)의 외표면(121)의 평활성이 불충분하게 된다. 그 결과, 그린 시트를 박리제층(12)의 외표면(121) 측에 성형했을 때에, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 편차 등이 발생할 우려가 있다. 한편, 박리제층(12)의 두께가 상기 상한치를 넘으면, 박리제층(12)의 경화 수축에 의해 박리 필름(1)에 컬이 발생하기 쉬워진다. 또한, 박리 필름(1)을 권취함으로써 접한 기재(11)의 제2 면(112)과 박리제층(12)의 외표면(121)에서 블로킹이 발생하기 쉬워진다. 이 때문에, 박리 필름(1)의 권취 불량이 생기거나 박리 필름(1)의 권출 시의 대전량이 증대할 우려가 있다.The average thickness of the
또한, 박리제층(12)의 외표면(121)의 표면 저항율은 1.0×1012Ω/□ 이하인 것이 바람직하고, 1.0×1011Ω/□ 이하인 것이 보다 바람직하다. 표면 저항율이 상기 범위 내의 것이라면, 박리제층(12)의 외표면(121)에, 정전기의 발생에 기인하는 이물 등의 부착되는 것을, 보다 확실하게 저감시킬 수 있다.In addition, the surface resistivity of the
또한 표면 저항율이란, 본 명세서에 있어서는 단위 표면적 당의 저항을 나타낸다. 또한, 표면 저항율의 단위는 본 명세서에 있어서는 Ω/□ 를 사용한다.In addition, surface resistivity means the resistance per unit surface area in this specification. Incidentally, the unit of surface resistivity is Ω / □ in this specification.
또한, 표면 저항율의 측정은 JIS K6911(1995)에 준거하여 실시할 수 있다.Note that the surface resistivity can be measured in accordance with JIS K6911 (1995).
≪ 그린 시트 제조용 박리 필름의 제조 방법 ≫≪ Manufacturing method of release film for green sheet production ≫
다음으로, 상술한 바와 같은 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 제조 방법의 바람직한 실시형태에 대하여 설명한다.Next, a preferred embodiment of the production method of the release film 1 for producing a green sheet as described above will be described.
본 실시형태의 박리 필름(1)의 제조 방법은 기재(11)를 준비하는 기재 준비 공정; 소정의 성분을 포함한 박리제층 형성용 재료를 기재(11)의 제1 면(111)에 도포하고, 그것을 건조시킴으로써 도포층을 형성하는 도포층 형성 공정; 및 도포층에 활성화 에너지선을 조사하여 경화시킴으로써 박리제층(12)을 형성하는 박리제층 형성 공정을 구비하고 있다.The manufacturing method of the peeling film 1 of this embodiment is a base material preparation process which prepares the
이하, 각 공정에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, each process is explained in full detail.
<기재 준비 공정 ><Material preparation process>
먼저, 기재(11)를 준비한다.First, the
기재(11)의 제1 면(111)에, 산화법 등에 의한 표면 처리를 실시할 수 있다. 이에 따라, 기재(11)와 기재(11)의 제1 면(111) 측에 설치되는 박리제층(12)간의 밀착성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.The
또한, 산화법으로서는 예를 들면, 코로나 방전 처리, 플라즈마 방전 처리, 크롬 산화 처리(습식), 화염 처리, 열풍 처리, 오존, 자외선 조사 처리 등을 들 수 있다. 이와 같은 표면 처리법은 기재(11)의 종류에 따라 적절히 선택된다. 일반적으로 코로나 방전 처리법이 효과 및 조작성의 면에서 바람직하게 이용된다.Further, examples of the oxidation method include corona discharge treatment, plasma discharge treatment, chromium oxidation treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, ozone, and ultraviolet irradiation treatment. Such a surface treatment method is appropriately selected according to the type of the
<도포층 형성 공정 ><Coating layer formation process>
본 공정에서는 먼저, 박리제층 형성용 재료를 준비한다.In this step, first, a material for forming a release agent layer is prepared.
상술한 바와 같은 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과, 폴리오르가노실록산(B) 및 카본 나노 재료(C) 등의 성분을 포함한 박리제층 형성용 재료를 준비한다. 이것을 용제에 용해 또는 분산시킴으로써, 박리제층 형성용 재료를 얻는다.A material for forming a release agent layer containing components such as the active energy ray-curable compound (A), polyorganosiloxane (B), and carbon nanomaterial (C) as described above is prepared. The material for forming a release agent layer is obtained by dissolving or dispersing this in a solvent.
또한 용제로서는 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 톨루엔, 초산 에틸, 크실렌, 메틸 에틸 케톤, 메틸 부틸 케톤, 이소프로필 알콜 등을 이용할 수 있다.Moreover, as a solvent, methanol, ethanol, toluene, ethyl acetate, xylene, methyl ethyl ketone, methyl butyl ketone, isopropyl alcohol, etc. can be used, for example.
이어서, 기재(11)의 제1 면(111) 위에, 액상을 이루는 박리제층 형성용 재료를 도포하고, 건조시킨다. 이에 따라, 도포층을 얻는다.Subsequently, on the
상술한 바와 같은 성분을 포함한 박리제층 형성용 재료를 이용하면, 기재(11)의 제1 면(111)의 요철을 매립할 수 있다. 그 결과, 박리제층(12)의 외표면(121)을 평활하게 할 수 있다.When the material for forming the release agent layer containing the components as described above is used, the unevenness of the
박리제층 형성용 재료를 도포하는 방법으로서는 예를 들면, 그라비아 코트법, 바 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 에어 나이프 코트법, 롤 코트법, 블레이드 코트법, 게이트 롤 코트법, 다이 코트법 등을 들 수 있다.As a method of applying the material for forming the release agent layer, for example, gravure coating method, bar coating method, spray coating method, spin coating method, air knife coating method, roll coating method, blade coating method, gate roll coating method, die coating And law.
또한, 박리제층 형성용 재료를 건조하는 방법으로서는 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, 열풍 건조로 등에서 건조하는 방법 등을 들 수 있다.Moreover, although it does not specifically limit as a method of drying the material for forming a release agent layer, For example, the method of drying in a hot air drying furnace etc. are mentioned.
또한, 건조 조건으로서는 특히 한정되지 않는다. 건조 온도는 50~100℃인 것이 바람직하고, 건조 시간은 5초간~1분간인 것이 바람직하다. 이에 따라, 도포층의 소망하지 않는 변질을 방지할 수 있음과 아울러, 도포층을 특히 효율성 좋게 형성할 수 있다. 그 결과, 최종적으로 얻어지는 박리 필름(1)의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 건조 온도가 상기 범위 내의 온도이라면, 박리제층 형성용 재료가 용제 등을 포함하는 것인 경우에, 건조 시의 용제 등의 증발을 수반하는, 도포층의 휨이나 크랙 등의 발생을 특히 방지할 수 있다.Moreover, it does not specifically limit as drying conditions. The drying temperature is preferably 50 to 100 ° C, and the drying time is preferably 5 seconds to 1 minute. Accordingly, it is possible to prevent undesired deterioration of the coating layer, and also to form the coating layer particularly efficiently. As a result, productivity of the release film 1 finally obtained can be improved. In addition, if the drying temperature is within the above range, when the material for forming the release agent layer contains a solvent or the like, the occurrence of warpage or cracking of the coating layer accompanying evaporation of the solvent or the like during drying is particularly prevented. can do.
<박리제층 형성 공정 ><Peeling layer forming process>
다음으로, 도포층 형성 공정에 얻어진 도포층에, 활성화 에너지선을 조사하여 경화시킴으로써 박리제층(12)을 형성한다.Next, the
본 공정에 있어서, 상기 도포층 형성 공정에서, 기재(11)의 제1 면(111)의 요철을 정확하게 매립한 도포층을, 그 외표면(121)의 평활성을 유지한 채로 경화한다. 그 결과, 외표면(121)이 충분히 평활한 박리제층(12)을 얻을 수 있다. 또한, 박리제층 형성용 재료가, 상술한 바와 같은 구성 성분을 포함함으로써, 적당한 도전성을 갖는 박리제층(12)을 얻을 수 있다.In this step, in the step of forming the coating layer, the coating layer in which the unevenness of the
활성 에너지선으로서는 예를 들면, 적외선, 가시광선, 자외선, X선과 같은 전자파, 전자선, 이온 빔, 중성자선 및 α선과 같은 입자선 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 자외선 또는 가시광선을 이용하는 것이 바람직하고, 자외선인 것이 보다 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)을, 보다 용이하고 확실하게 형성할 수 있다.Examples of the active energy ray include infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, electromagnetic waves such as X rays, electron beams, ion beams, particle beams such as neutron rays and α rays. Among these, it is preferable to use ultraviolet rays or visible rays, and it is more preferable to be ultraviolet rays. Thereby, the
활성화 에너지선(자외선 또는 가시광선)의 파장으로서는 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, 200~600nm인 것이 바람직하고, 250~450nm인 것이 보다 바람직하다. 활성화 에너지선의 파장이 상기 범위 내의 것이라면, 도포층을 경화하는 경화 시간을 충분히 짧게 하면서, 도포층을 균일하게 경화시킬 수 있다. 또한, 활성화 에너지선을 조사하는 수단으로서는 특히 한정되지 않고, 여러 가지의 일반적 수단을 이용할 수 있다. 예를 들면 광원으로서는 고압 수은 램프, 메탈할라이드 램프, 엑시머 램프등의 광원 램프를 이용할 수 있다.The wavelength of the activated energy ray (ultraviolet ray or visible ray) is not particularly limited, but is preferably 200 to 600 nm, for example, and more preferably 250 to 450 nm. If the wavelength of the activation energy ray is within the above range, the coating layer can be uniformly cured while sufficiently shortening the curing time for curing the coating layer. Further, the means for irradiating the activating energy ray is not particularly limited, and various general means can be used. For example, a light source lamp such as a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, or an excimer lamp can be used as the light source.
또한, 활성화 에너지선(자외선 또는 가시광선)을 조사하는 경우에는 활성화 에너지선의 조사량은 적산 광량이 50~400 mJ/cm2인 것이 바람직하고, 100~300 mJ/cm2인 것이 보다 바람직하다. 자외선의 조사량이 상기 범위 내의 값이라면, 도포층을 보다 균일하게 그리고 확실하게 경화시킬 수 있다.In addition, when irradiating an activating energy ray (ultraviolet ray or visible light), the irradiation amount of the activating energy ray is preferably 50 to 400 mJ / cm 2 and more preferably 100 to 300 mJ / cm 2 . If the irradiation amount of ultraviolet light is within the above range, the coating layer can be cured more uniformly and reliably.
또한, 활성화 에너지선을 조사하는 시간으로서는 특히 한정되지 않지만, 5초간~1분간인 것이 바람직하다. 이에 따라, 박리제층(12)을 특히 효율성 좋게 형성할 수 있다. 그 결과, 최종적으로 얻어지는 박리 필름(1)의 생산성을 향상시킬 수 있다.Moreover, although it does not specifically limit as time which irradiates an activating energy ray, It is preferable that it is for 5 second-1 minute. Accordingly, the
이상과 같은 공정에 의하면, 평활성이 우수하고, 대전 방지성이 우수한 신뢰성이 높은 박리 필름(1)을, 용이하고 확실하게 제조할 수 있다.According to the above process, the highly reliable release film 1 excellent in smoothness and excellent in antistatic properties can be easily and reliably produced.
또한, 이와 같은 박리 필름(1)을 이용하여 그린 시트를 제조하면, 그린 시트의 표면에 핀홀 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, when the green sheet is manufactured using the release film 1, pinholes or the like can be prevented from occurring on the surface of the green sheet.
또한 박리 필름(1)을 이용하여 세라믹 콘덴서를 제조하는 방법으로서는 예를 들면, 박리 필름의 박리제층의 표면에, 세라믹 분말 분산 슬러리를 도포, 건조하여 그린 시트를 형성한 후, 박리 필름에서 박리된 그린 시트를 적층하여 적층체를 얻고, 당해 적층체를 소성하여 얻어진 세라믹 시트에 전극을 형성하는 방법을 들 수 있다. 이와 같이, 박리 필름(1)을 이용하여 형성된 그린 시트에 의해 세라믹 콘덴서를 형성하면, 단락에 의한 문제점의 발생이 방지된 신뢰성이 높은 세라믹 콘덴서를 얻을 수 있다.In addition, as a method of manufacturing a ceramic capacitor using the release film 1, for example, a ceramic powder dispersion slurry is applied to the surface of the release agent layer of the release film, dried to form a green sheet, and then peeled from the release film. A method of forming an electrode on a ceramic sheet obtained by laminating a green sheet to obtain a laminate and firing the laminate is exemplified. As described above, when the ceramic capacitor is formed of the green sheet formed by using the release film 1, a highly reliable ceramic capacitor that prevents the occurrence of problems due to short circuit can be obtained.
이상, 본 발명을 바람직한 실시형태에 의거하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다.In the above, although this invention was demonstrated in detail based on preferable embodiment, this invention is not limited to this.
예를 들면, 상술한 실시형태에서는 기재(11)의 제1 면(111)에 박리제층(12)을 형성한 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에 대하여 설명했다. 그러나, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)은 이것에 한정되지 않고, 기재(11)와 박리제층(12) 사이에는 중간층을 형성해도 무방하다. 이와 같은 중간층은 기재(11)와 박리제층(12)의 밀착성을 향상시켜도 무방하다.For example, in the above-described embodiment, the release film 1 for producing a green sheet in which the
본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 구성은 유사한 기능을 발휘할 수 있는 임의의 구성과 치환할 수 있으며 또는 임의의 구성을 부가해도 무방하다.The composition of the release film for producing a green sheet of the present invention can be replaced with any configuration capable of exerting similar functions, or an arbitrary configuration may be added.
예를 들면, 상술한 본 실시형태에서는 기재는 단층 구조를 갖는다고 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 기재는 동종 또는 이종의 2층 이상의 다층 구조를 가져도 무방하다. 또한, 박리제층에 대해서도 마찬가지로 단층 구조를 갖는다고 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 박리제층에 대해서도, 동종 또는 이종의 2층 이상의 다층 구조를 가져도 무방하다.For example, in the above-described embodiment, although the substrate is described as having a single-layer structure, the present invention is not limited to this, and the substrate may have a multilayer structure of two or more layers of the same or different types. In addition, although the release agent layer was similarly described as having a single-layer structure, the present invention is not limited to this, and the release agent layer may have a multilayer structure of two or more layers of the same or different types.
또한, 예를 들면, 상술한 실시형태에서는 기재의 제1 면에 박리제층을 형성한 그린 시트 제조용 박리 필름에 대하여 설명했다. 그러나, 그린 시트 제조용 박리 필름은 이것에 한정되지 않고, 기재의 제2 면 측에 박리제층을 형성해도 무방하다.In addition, for example, in the above-described embodiment, the release film for producing a green sheet having a release agent layer formed on the first surface of the substrate was described. However, the release film for producing a green sheet is not limited to this, and a release agent layer may be formed on the second side of the substrate.
또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 제조 방법은 상술한 방법에 한정되지 않고, 필요에 따라서 임의의 공정이 추가되어도 무방하다.In addition, the manufacturing method of the release film for green sheet manufacture of this invention is not limited to the method mentioned above, and arbitrary processes may be added as needed.
실시예Example
다음으로, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 구체적 실시예에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에만 한정되지 않는다.Next, specific examples of the release film for producing a green sheet of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples.
[1] 그린 시트 제조용 박리 필름의 제작[1] Preparation of release film for green sheet production
(실시예 1)(Example 1)
먼저, 기재로서의 2축 연신 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름(두께: 31㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0: 29nm, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0: 257nm, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2 : 29nm, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2: 257nm)을 준비했다.First, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film as a substrate (thickness: 31 µm, arithmetic mean roughness Ra 0 : 29 nm on the first side, maximum projection height Rp 0 : 257 nm on the first side, arithmetic mean roughness Ra 2 on the second side : 29 nm, maximum projection height Rp 2 : 257 nm of the second side) was prepared.
다음으로, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서의, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(고형분 100 질량%) 94.05 질량%과, 폴리오르가노실록산(B)으로서의 폴리에테르 변성 아크릴로일기 함유 폴리디메틸실록산(BYK 빅케미사제, 제품명 “BYK-3500”, 고형분 100 질량%) 0.95 질량%과, 카본 나노 재료(C)로서의, 다층 카본 나노 튜브(필젠 가부시키가이샤제, 제품명 “F-M-ML-1/25”, 섬유 직경 약 10nm, 애스펙트비 500~1500) 0.24 질량%와, 광중합 개시제(D)로서의α-아미노알킬페논계 광중합 개시제(BASF 사제, 상품명 “IRGACURE907”, 2-메틸-1[4-(메틸티오) 페닐]-2-몰포리노프로판-1-온, 고형분 100 질량%) 4.76 질량%를, 이소프로필 알콜/메틸 에틸 케톤 혼합 용제(질량비 3/1)로 희석하여, 고형분 20 질량%의 박리제층 형성용 재료를 얻었다.Next, 94.05 mass% of dipentaerythritol hexaacrylate (100 mass% of solid content) as the active energy ray-curable compound (A), and polydimethylsiloxane containing polyether-modified acryloyl group as polyorganosiloxane (B) (BYK BICCHEMI CORPORATION, product name “BYK-3500”, solid content 100 mass%) 0.95 mass%, and carbon nanomaterial (C), multi-layer carbon nanotubes (Pilsen Corporation, product name “FM-ML-1 / 25”) , Fiber diameter of about 10nm, aspect ratio 500 to 1500) 0.24% by mass, and α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator as photopolymerization initiator (D) (manufactured by BASF, trade name “IRGACURE907”, 2-methyl-1 [4- (methyl) Thio) Phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, solid content 100 mass%) Diluted 4.76 mass% with isopropyl alcohol / methyl ethyl ketone mixed solvent (mass ratio 3/1) to remove solid content of 20 mass% A layer forming material was obtained.
얻어진 박리제층 형성용 재료를 바 코터로 기재의 제1 면에 도포했다. 박리제층 형성용 재료를 80℃에서 1분간 건조시킨 후, 자외선을 조사(적산 광량:250 mJ/cm2)하여 박리제층(두께 0.97㎛)을 형성하고, 그린 시트 제조용 박리 필름을 얻었다.The obtained release agent layer forming material was applied to the first surface of the substrate with a bar coater. The material for forming the release agent layer was dried at 80 ° C. for 1 minute, and then irradiated with ultraviolet rays (integrated light amount: 250 mJ / cm 2 ) to form a release agent layer (thickness: 0.97 μm) to obtain a release film for green sheet production.
(실시예 2, 3)(Examples 2 and 3)
박리제층의 두께를 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작했다.A release film for producing a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.
(실시예 4)(Example 4)
박리제층 형성용 재료에 있어서의 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 폴리오르가노실록산(B)의 질량 비율을 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the mass ratios of the active energy ray-curable compound (A) and the polyorganosiloxane (B) in the release agent layer-forming material were changed as shown in Table 1.
(실시예 5, 6)(Examples 5 and 6)
활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 카본 나노 재료(C)의 질량 비율을 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the mass ratios of the active energy ray-curable compound (A) and the carbon nanomaterial (C) were changed as shown in Table 1.
(실시예 7)(Example 7)
기재를, 2축 연신 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름(두께: 38㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0: 15nm, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0: 98nm, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2: 15nm, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2: 98nm)으로 변경한 이외는 상기 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.The substrate was biaxially stretched polyethylene terephthalate film (thickness: 38 µm, arithmetic mean roughness Ra 0 : 15 nm on the first side, maximum projection height Rp 0 : 98 nm on the first side, arithmetic mean roughness Ra 2 on the second side): A peeling film was produced in the same manner as in Example 1 except that 15 nm, the maximum protrusion height of the second surface Rp 2 : 98 nm) was changed.
(실시예 8)(Example 8)
박리제층의 두께를 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.
(실시예 9)(Example 9)
기재를, 2축 연신 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름(두께:31㎛, 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0:7nm, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp0:43nm, 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2:34nm, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp2:250nm)으로 변경한 이외는 상기 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.The substrate was biaxially stretched polyethylene terephthalate film (thickness: 31 µm, arithmetic mean roughness Ra 0 : 7 nm on the first side, maximum projection height Rp 0 : 43 nm on the first side, arithmetic mean roughness Ra 2 on the second side): A peeling film was produced in the same manner as in Example 1, except that it was changed to 34 nm and the maximum projection height Rp 2 : 250 nm of the second surface.
(비교예 1)(Comparative Example 1)
박리제층 형성용 재료에 대해 활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 폴리오르가노실록산(B)의 질량 비율을 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the mass ratios of the active energy ray-curable compound (A) and the polyorganosiloxane (B) with respect to the release agent layer-forming material were changed as shown in Table 1.
(비교예 2, 3)(Comparative Examples 2 and 3)
박리제층의 두께를 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.
(비교예 4)(Comparative Example 4)
활성 에너지선 경화성 화합물(A) 및 카본 나노 재료(C)의 질량 비율을 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Example 1 except that the mass ratios of the active energy ray-curable compound (A) and the carbon nanomaterial (C) were changed as shown in Table 1.
(비교예 5)(Comparative Example 5)
박리제로서 열경화성 실리콘(신에츠 화학 공업 사제, KS-847 H, 고형분 30 질량%)을 고형분으로서 99.72 질량%과, 카본 나노 재료(C)로서 다층 카본 나노 튜브(필젠 사제, 제품명 “F-M-ML-1/25”, 섬유 직경 약 10nm, 애스펙트비 500~1500) 0.24 질량%를 톨루엔으로 희석하여 희석액을 얻었다. 이 희석액에 백금 촉매(신에츠 화학공업 사제, CAT-PL-50 T, 고형분 2 질량%)를 고형분으로서 0.04 질량%를 혼합하고, 고형분이 5.0 질량%의 박리제 용액을 조제했다.As a release agent, thermosetting silicone (Shin-Etsu Chemical Co., KS-847 H, 30% by mass solid content) was 99.72% by mass as a solid content, and as a carbon nanomaterial (C), a multi-layered carbon nanotube (Pilsen, product name “FM-ML-1 / 25 ”, fiber diameter of about 10 nm, aspect ratio 500 to 1500) 0.24 mass% was diluted with toluene to obtain a diluent. A platinum catalyst (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., CAT-PL-50T, 2% by mass solid content) was mixed as 0.04% by mass as a solid content, and a release agent solution having a solid content of 5.0% by mass was prepared.
얻어진 박리제 용액을, 형성되는 박리제층의 건조 후의 두께가 0.3㎛가 되도록, 실시예 1과 동일한 기재의 한쪽의 면( 제1 면)에 균일하게 도포했다. 140℃에서 1분간, 박리제 용액을 건조시켜 박리제층을 형성하고, 이것을 박리 필름으로 했다.The obtained release agent solution was uniformly applied to one surface (first surface) of the same substrate as in Example 1 so that the thickness of the release agent layer formed after drying was 0.3 µm. The release agent solution was dried at 140 ° C for 1 minute to form a release agent layer, which was used as a release film.
(비교예 6, 7)(Comparative Examples 6 and 7)
박리제층의 두께를 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 이외는 비교예 5와 마찬가지로하여 박리 필름을 제작했다.A release film was produced in the same manner as in Comparative Example 5, except that the thickness of the release agent layer was changed as shown in Table 1.
(비교예 8)(Comparative Example 8)
박리제층 형성용 재료로서 이하의 재료를 이용한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작했다.A release film for producing a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the following materials were used as the release agent layer forming material.
활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서의, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(고형분 100 질량%) 94.05 질량%과, 폴리오르가노실록산(B)으로서의 폴리에테르 변성 아크릴로일기 함유 폴리디메틸실록산(BYK 빅케미사제, 제품명 “BYK-3500”, 고형분 100 질량%) 0.95 질량%과, 침상(針狀) 안티몬 도프 산화 주석(이시하라 산업 가부시키가이샤제, 제품명 “FS-10P”, 섬유 직경 10~20nm, 애스펙트비:20~30) 0.24 질량%와, 광중합 개시제(D)로서의 α-아미노알킬페논계 광중합 개시제(BASF 사제, 상품명 “IRGACURE907”, 2-메틸-1 [4-(메틸티오) 페닐]-2-몰포리노프로판-1-온, 고형분 100 질량%) 4.76 질량%를, 이소프로필 알콜/메틸 에틸 케톤 혼합 용제(질량비3/1)로 희석하여, 고형분 20 질량%의 박리제층 형성용 재료를 얻었다.94.05% by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (100% by mass of solid content) as the active energy ray-curable compound (A), and polydimethylsiloxane containing polyether-modified acryloyl group as polyorganosiloxane (B) (manufactured by BYK BICCHEMI , Product name “BYK-3500”, solid content 100 mass%) 0.95 mass%, needle antimony dope tin oxide (manufactured by Ishihara Industries, product name “FS-10P”, fiber diameter 10 to 20 nm, aspect ratio : 20 to 30) 0.24 mass% and α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator as photopolymerization initiator (D) (manufactured by BASF, trade name “IRGACURE907”, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2- Morpholinopropane-1-one, solid content 100 mass%) 4.76 mass% was diluted with a mixed solvent of isopropyl alcohol / methyl ethyl ketone (mass ratio 3/1) to obtain a material for forming a release agent layer having a solid content of 20 mass%.
(비교예 9)(Comparative Example 9)
박리제층 형성용 재료로서 이하의 재료를 이용한 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작했다.A release film for producing a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the following materials were used as the release agent layer forming material.
활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서의, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(고형분 100 질량%) 94.05 질량%과, 폴리오르가노실록산(B)으로서의 폴리에테르 변성 아크릴로일기 함유 폴리디메틸실록산(BYK 빅케미사제, 제품명 “BYK-3500”, 고형분 100 질량%) 0.95 질량%과, 루틸형 침상 산화 티탄을 안티몬 도프 산화 주석으로 피복한 침상 도전재(이시하라 산업 가부시키가이샤제, 제품명 “FT-1000”, 섬유 직경 약 130nm, 애스펙트비:10~20) 0.24 질량%와, 광중합 개시제(D)로서의 α-아미노알킬페논계 광중합 개시제(BASF 사제, 상품명 “IRGACURE907”, 2-메틸-1[4-(메틸 티오) 페닐]-2-몰포리노프로판-1-온, 고형분 100 질량%) 4.76 질량%를, 이소프로필 알콜/메틸 에틸 케톤 혼합 용제(질량비 3/1)로 희석하여, 고형분 20 질량%의 박리제층 형성용 재료를 얻었다.94.05% by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (100% by mass of solid content) as the active energy ray-curable compound (A), and polydimethylsiloxane containing polyether-modified acryloyl group as polyorganosiloxane (B) (manufactured by BYK BICCHEMI , Product name “BYK-3500”, solid content 100% by mass) 0.95% by mass, and a needle-like conductive material coated with rutile type titanium oxide with antimony dope tin oxide (manufactured by Ishihara Industries, product name “FT-1000”, fiber About 130 nm in diameter, aspect ratio: 10 to 20) 0.24% by mass, and α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator as photopolymerization initiator (D) (manufactured by BASF, trade name “IRGACURE907”, 2-methyl-1 [4- (methyl thio) ) Phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, solid content 100 mass%) Diluted 4.76 mass% with a mixed solvent of isopropyl alcohol / methyl ethyl ketone (mass ratio 3/1), and a release agent layer having a solid content of 20 mass% The forming material was obtained.
각 실시예 및 각 비교예의 그린 시트 제조용 박리 필름의 구성 등을 표 1에 정리하여 나타내었다.Table 1 summarizes the configuration of the release film for producing the green sheet of each example and each comparative example.
또한 표에서, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)로서의 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(고형분 100 질량%)를 “A”, 폴리오르가노실록산(B)으로서의 폴리에테르 변성 아크릴로일기 함유 폴리 디메틸 실록산(BYK 빅케미사제, 제품명 “BYK-3500”, 고형분 100 질량%)을 “B”, 카본 나노 재료(C)로서의 다층 카본 나노 튜브(필젠 가부시키가이샤제, 제품명 “F-M-ML-1/25”, 섬유 직경 약 10nm, 애스펙트비 500~1500)를 “C”, 광중합 개시제(D)로서의 α-아미노알킬페논계 광중합 개시제(BASF 사제, 상품명 “IRGACURE907”, 2-메틸-1[4-(메틸티오) 페닐]-2-몰포리노프로판-1-온, 고형분 100 질량%)을 “D”, 열경화성 실리콘(신에츠 화학공업 사제, KS-847H, 고형분 30 질량%)을 “X1”, 백금 촉매(신에츠 화학공업 사제, CAT-PL-50 T, 고형분 2 질량%)를 “Y1”, 침상 안티몬 도프 산화 주석(이시하라 산업 가부시키가이샤제, 제품명 “FS-10 P”, 섬유 직경 10~20nm, 애스펙트비:20~30)을 “Z1”, 루틸형 침상 산화 티탄을 안티몬 도프 산화 주석으로 피복한 침상 도전재(이시하라 산업 가부시키가이샤제, 제품명 “FT-1000”, 섬유 직경 약 130nm, 애스펙트비:10~20)를 “Z2”로 나타내었다.Also in the table, dipentaerythritol hexaacrylate (100% by mass of solid content) as the active energy ray-curable compound (A) is "A", polydimethyl-modified acryloyl group-containing polydimethyl siloxane as polyorganosiloxane (B) (BYK BIC Chemical, product name “BYK-3500”, solid content 100 mass%) is “B”, multilayer carbon nano tube as carbon nano material (C) (product name “FM-ML-1 / 25” manufactured by Pilsen Industries, Ltd.), Fiber diameter of about 10 nm, aspect ratio 500 to 1500) is “C”, α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator as photopolymerization initiator (D) (trade name, “IRGACURE907” manufactured by BASF, 2-methyl-1 [4- (methylthio) ) Phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, solid content 100% by mass) “D”, thermosetting silicone (Shin-Etsu Chemical Co., KS-847H, solid content 30% by mass) “X1”, platinum catalyst (Shin-Etsu) Chemical Industry Co., Ltd., CAT-PL-50 T, solid content 2% by mass) “Y1”, needle antimony dope tin oxide (Ishi) D Industrial Co., Ltd., product name “FS-10 P”, fiber diameter 10 ~ 20nm, aspect ratio: 20 ~ 30) “Z1”, acicular conductive material coated with rutile type needle titanium oxide with antimony dope tin oxide ( Ishihara Industries Co., Ltd., product name "FT-1000", fiber diameter of about 130nm, aspect ratio: 10-20) is indicated as "Z2".
또한, 각 실시예 및 각 비교예의 기재 및 박리제층의 두께를, 각각, 반사식 두께 측정계 “F20”[필메트릭스 가부시키가이샤제]를 이용하여 측정했다. 구체적으로는 각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 100×100 mm의 크기로 재단했다. 그 후, 두께를 측정하는 측의 면의 반대면이 흡인 스테이지 측이 되도록 그린 시트 제조용 박리 필름을 두께 측정계에 설치했다. 박리제층 표면의 10개 부위에 대하여 두께를 측정하고, 그 평균치를 산출했다. 평균치를 박리제층의 두께로 했다.In addition, the thickness of the base material and release agent layer of each Example and each comparative example was measured using the reflective thickness measuring system "F20" (made by Philmetrics Co., Ltd.), respectively. Specifically, the release film for producing the green sheet obtained in each of Examples and Comparative Examples was cut to a size of 100 × 100 mm. Then, the release film for green sheet manufacture was installed in the thickness measuring system so that the surface opposite to the surface on the side where the thickness is measured is the suction stage side. The thickness was measured for 10 sites on the surface of the release agent layer, and the average value was calculated. The average value was taken as the thickness of the release agent layer.
또한, 기재의 제1 면의 산술 평균 거칠기 Ra0 및 최대 돌기 높이 Rp0, 기재의 제2 면의 산술 평균 거칠기 Ra2 및 최대 돌기 높이 Rp2, 박리제층의 외표면의 산술 평균 거칠기 Ra1 및 최대 돌기 높이 Rp1를, 각각, 다음과 같이 측정했다. 먼저, 유리판에 양면 테이프를 붙였다. 다음으로, 양면 테이프 위에, 산술 평균 거칠기 및 최대 돌기를 측정하는 면이 위가 되도록 하고, 각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 고정했다. 이렇게 하여, 상기 산술 평균 거칠기 Ra0, Ra2, Ra1, 상기 최대 돌기 높이 Rp0, Rp2, Rp1를, JIS B0601-1994에 준거하여 미츠토요사제 표면 거칠기 측정기 SV3000S4(촉침식)으로 측정했다.In addition, the arithmetic mean roughness Ra 0 of the first side of the substrate and the maximum projection height Rp 0 , the arithmetic mean roughness Ra 2 of the second side of the substrate And maximum protrusion height Rp 2 , arithmetic mean roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer And the maximum projection height Rp 1 was measured as follows, respectively. First, a double-sided tape was attached to the glass plate. Next, on the double-sided tape, the surface for measuring the arithmetic mean roughness and maximum protrusion was placed on the top, and the release film for producing the green sheet obtained in each of the Examples and Comparative Examples was fixed. In this way, the arithmetic mean roughness Ra 0 , Ra 2 , Ra 1 , and the maximum protrusion heights Rp 0 , Rp 2 , and Rp 1 are measured by Mitsutoyo surface roughness measuring instrument SV3000S4 (tactile type) according to JIS B0601-1994. did.
[2] 평가[2] Evaluation
이상과 같이 하여 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름에 관하여, 이하와 같은 평가를 실시했다.The following evaluation was performed about the release film for green sheet manufacture obtained as mentioned above.
[2.1] 표면 저항율[2.1] Surface resistivity
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 100 mm×100 mm로 재단하고, 이것을 샘플로 했다. 샘플을 23℃, 습도 50%의 조건 하에서 24시간 습기를 조절했다. 그 후, 어드반테스트 사제 “R12704 레지스티비티 쳄버” 및 어드반테스트 사제 “디지털 엘렉트로미터 R8252”를 사용하고, JIS K6911(1995)에 준거하여, 박리제층측의 표면 저항율을 측정했다.The release film for producing the green sheet obtained in each of the Examples and Comparative Examples was cut to 100 mm × 100 mm, and this was used as a sample. The sample was controlled for 24 hours under conditions of 23 ° C and 50% humidity. Thereafter, “R12704 resistance chamber” manufactured by Advantest and “Digital Electrometer R8252” manufactured by Advantest were used, and the surface resistivity of the release agent layer side was measured according to JIS K6911 (1995).
[2.2] 박리제층의 경화성 평가[2.2] Evaluation of curability of the release agent layer
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름에 대하여, 메틸 에틸 케톤을 3 ml 포함하게 한 웨스(오즈 산업 사제, BEMCOT AP-2)에 의해 박리제층의 표면을 하중 1 kg/cm2로 왕복 10회 연마했다. 그 후, 박리제층의 표면을 육안으로 관찰하고, 이하의 판단 기준으로 박리제층의 경화성을 평가했다.With respect to the release film for producing the green sheet obtained in each of the Examples and Comparative Examples, the surface of the release agent layer was loaded with a weight of 1 kg / cm 2 by a Wes (BEMCOT AP-2, manufactured by Oz Industry Co., Ltd.) containing 3 ml of methyl ethyl ketone. It was polished 10 times in a round trip. Then, the surface of the release agent layer was visually observed, and the curability of the release agent layer was evaluated based on the following judgment criteria.
A : 박리제층의 용해, 탈락이 없다.A: There is no dissolution or dropping of the release agent layer.
B : 박리제층의 일부에 용해가 보여졌다.B: Dissolution was observed in a part of the release agent layer.
C : 박리제층이 완전히 용해되어, 기재에서 탈락했다.C: The release agent layer was completely dissolved and detached from the substrate.
[2.3] 컬 평가[2.3] Curl evaluation
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 200×200 mm로 재단했다. 그 후, 기재가 유리판측이 되도록, 그린 시트 제조용 박리 필름을 평탄한 유리판 위에 얹어두었다. 이어서, 100×100 mm의 유리판을 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층 상의 중앙에 얹어두었다. 그 후, 하측의 유리판의 상면으로부터 박리 필름의 각 모서리부 정점까지의 높이를 측정하고, 이하의 판단 기준으로 컬을 평가했다.The release film for producing the green sheet obtained in each example and each comparative example was cut to 200 × 200 mm. Thereafter, a release film for producing a green sheet was placed on a flat glass plate so that the substrate was on the glass plate side. Subsequently, a 100 × 100 mm glass plate was placed in the center on the release agent layer of the release film for green sheet production. Then, the height from the upper surface of the lower glass plate to the apex of each corner of the release film was measured, and curl was evaluated according to the following criteria.
A : 각 모서리부의 높이의 총 합이 50 mm미만이다.A: The total sum of the heights of each corner is less than 50 mm.
B : 각 모서리부의 높이의 총 합이 50 mm이상, 100 mm미만이다.B: The total sum of the heights of each corner is 50 mm or more and less than 100 mm.
C : 각 모서리부의 높이의 총 합이 100 mm이상이다.C: The total sum of the heights of each corner is 100 mm or more.
[2.4] 블로킹성 평가[2.4] Blocking property evaluation
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름의 폭 400 mm, 길이 5000m를 롤 형상으로 감아올려 박리 필름 롤을 얻었다. 이 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50% 이하의 환경 하에 30일간 보관했다. 그 후, 박리 필름 롤 그 상태에서의 외관을 육안으로 관찰하고, 이하의 판단 기준으로 블로킹성을 평가했다.The peeling film for green sheet manufacture obtained in each Example and each comparative example was wound up to 400 mm in width and 5000 m in length to obtain a peeling film roll. This release film roll was stored for 30 days in an environment of 40 ° C and a humidity of 50% or less. Thereafter, the appearance in the state of the release film roll was visually observed, and the blocking property was evaluated according to the following judgment criteria.
A : 그린 시트 제조용 박리 필름을 롤 형상으로 감아올려서 얻어진 보관 전의 박리 필름 롤의 외관과 비교하여, 보관 후의 박리 필름 롤의 외관에 변화가 없었다(블로킹 없음).A: Compared to the appearance of the release film roll before storage obtained by rolling up the release film for producing a green sheet in a roll shape, the release film roll after storage There was no change in appearance (no blocking).
B : 그린 시트 제조용 박리 필름 롤의 폭 방향에 있어서의 절반 이하의 영역에서, 필름끼리의 밀착에 기인하는 색조의 변화가 보여졌다(블로킹 약간 있음).B: In the area of less than half in the width direction of the release film roll for producing a green sheet, a change in color tone due to adhesion between the films was observed (with some blocking).
C : 그린 시트 제조용 박리 필름 롤의 폭 방향에 있어서의 과반의 영역에 걸쳐서, 필름끼리의 밀착에 기인하는 색조의 변화가 보여졌다(블로킹 있음).C: A change in the color tone due to adhesion between the films was observed over a majority area in the width direction of the release film roll for green sheet production (with blocking).
[2.5] 권출 대전량[2.5] Unloading charge amount
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을, 폭 400 mm, 길이 5000m의 롤 형상으로 감아올려 박리 필름 롤을 얻었다. 이 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50% 이하의 환경 하에 30일간 보관했다. 그 후, 50 m/min로 박리 필름을 되감을 때의 대전량을 카스가 전기 사제 “KSD-0103”을 이용하여 측정했다. 대전량은 박리 필름의 권출 직후 100 mm의 부위에 대하여, 권출 길이 500M 마다 측정했다.The release film for green sheet production obtained in each example and each comparative example was wound up in a roll shape of 400 mm in width and 5000 m in length to obtain a release film roll. This release film roll was stored for 30 days in an environment of 40 ° C and a humidity of 50% or less. Thereafter, the charge amount when rewinding the release film at 50 m / min was measured using “KSD-0103” manufactured by Kasuga Electric Corporation. The charge amount was measured every 500 M of unwinding length for a 100 mm portion immediately after unwinding of the release film.
A: 대전량이 ± 5kV이하이다.A: The charge amount is ± 5 kV or less.
B: 대전량이 ±5~10 kV이다.B: The charge amount is ± 5 to 10 kV.
C: 대전량이 ±10 kV 초과이다.C: The charge amount is more than ± 10 kV.
[2.6] 슬러리 도포성 평가[2.6] Slurry coatability evaluation
티탄산바륨 분말(BaTiO3;사카이 화학 공업 사제, BT-03) 100 질량부, 바인더로서의 폴리비닐 부티랄(세키스이 화학 공업 사제, 에스렉 B·K BM-2) 8 질량부, 및 가소제로서의 프탈산 디옥틸(칸토 화학 사제, 프탈산 디옥틸 순도 1급) 4 질량부에, 톨루엔 및 에탄올의 혼합액(질량비 6:4) 135 질량부를 부가했다. 이와 같은 물질을 볼 밀에서 혼합 분산시켜서, 세라믹 슬러리를 조제했다.Barium titanate powder (BaTiO 3 ; manufactured by Sakai Chemical Industry Co., BT-03) 100 parts by mass, 8 parts by mass of polyvinyl butyral (Sekisui Chemical Industry Co., Ltd., Srek BK KM-2), and phthalic acid as a plasticizer To 4 parts by mass of dioctyl (manufactured by Kanto Chemical, dioctyl phthalate purity grade 1), 135 parts by mass of a mixed solution of toluene and ethanol (mass ratio 6: 4) was added. A ceramic slurry was prepared by mixing and dispersing such a substance in a ball mill.
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층 표면에, 상기 세라믹 슬러리를 다이 코터로, 건조 후의 두께가 1㎛, 폭 250 mm, 길이 10 m가 되도록, 도포하여 도포층을 얻었다. 그 후, 건조기에서 도포층을 80℃에서 1분간 건조시켜서, 세라믹 그린 시트가 성형된 그린 시트 제조용 박리 필름을 얻었다. 세라믹 그린 시트가 성형된 그린 시트 제조용 박리 필름에 대하여, 그린 시트 제조용 박리 필름측에서 형광등을 비추었다. 이렇게 하여, 도포한 모든 세라믹 그린 시트면을 육안으로 관찰했다. 이하의 판단 기준으로 슬러리 도포성을 평가했다. 결과를 표 2에 나타낸다.On the surface of the release agent layer of the release film for green sheet production obtained in each of the Examples and Comparative Examples, the ceramic slurry was coated with a die coater so that the thickness after drying was 1 µm, width of 250 mm, and length of 10 m, and the coating layer was applied. Got. Thereafter, the coating layer was dried at 80 ° C for 1 minute in a dryer to obtain a release film for producing a green sheet in which a ceramic green sheet was molded. The fluorescent lamp was irradiated from the release film side for green sheet manufacture with respect to the release film for green sheet manufacture in which the ceramic green sheet was molded. In this way, all the coated ceramic green sheet surfaces were visually observed. The slurry coating property was evaluated on the following judgment criteria. Table 2 shows the results.
A : 세라믹 그린 시트에 핀홀이 없었다.A: There was no pinhole in the ceramic green sheet.
B : 세라믹 그린 시트에 1~5개의 핀홀이 발생했다.B: 1 to 5 pinholes were generated in the ceramic green sheet.
C :세라믹 그린 시트에 6개 이상의 핀홀이 발생했다.C: Six or more pinholes were generated in the ceramic green sheet.
[2.7] 박리성 평가[2.7] Peelability evaluation
상기 [2.6]과 동일한 순서에 의해 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층 표면에 성형한 세라믹 그린 시트를, 그린 시트 제조용 박리 필름을 펀칭하지 않도록 하여, 200 mm × 200 mm의 크기로 펀칭하였다. 이어서, 그린 시트 적층기의 시트 박리 기구를 이용하여, 펀칭한 세라믹 그린 시트를, 진공 흡인 스테이지에 흡착시키고, 그린 시트 제조용 박리 필름에서 박리했다. 이 때의 세라믹 그린 시트의 박리성을, 이하의 판단 기준으로 평가했다.The ceramic green sheet molded on the surface of the release agent layer of the release film for green sheet production in the same manner as in [2.6] above was punched to a size of 200 mm × 200 mm so as not to punch the release film for green sheet production. Subsequently, the punched ceramic green sheet was adsorbed to a vacuum suction stage using the sheet peeling mechanism of the green sheet laminator, and peeled from the release film for green sheet production. The peelability of the ceramic green sheet at this time was evaluated based on the following judgment criteria.
A : 세라믹 그린 시트가 찢어지지 않고, 박리제층에서 부드럽게 박리할 수 있으며 박리제층 위에 세라믹 그린 시트가 남지 않았다.A: The ceramic green sheet is not torn, and it can be gently peeled from the release agent layer, and no ceramic green sheet remains on the release agent layer.
B : 세라믹 그린 시트가 찢어지지 않고, 약간 원활함이 부족하지만 박리제층에서 박리할 수 있으며 박리제층 위에 세라믹 그린 시트가 남지 않았다.B: The ceramic green sheet is not torn, and it lacks a little smoothness, but can be peeled off the release agent layer, and no ceramic green sheet remains on the release agent layer.
C : 세라믹 그린 시트가 찢어지거나, 박리제층에서 박리할 수 없었다.C: The ceramic green sheet was torn or could not be peeled off the release agent layer.
[2.8] 박리제층 표면의 결함 평가(철부수평가)[2.8] Defect evaluation on the surface of the release agent layer (evaluation of iron parts)
폴리비닐부티랄 수지를 톨루엔 및 에탄올의 혼합액(질량비 6:4)에서 용해한 도포액을, 각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층 위에, 건조 후의 두께가 1㎛가 되도록, 도포하여 도포층을 얻었다. 도포층을 80℃에서 1분간 건조시키고, 폴리비닐부티랄 수지층을 성형했다. 그리고, 그 폴리비닐부티랄 수지층의 표면에 폴리에스테르 테이프를 붙였다.The coating solution obtained by dissolving the polyvinyl butyral resin in a mixed solution of toluene and ethanol (mass ratio 6: 4) was placed on the release agent layer of the release film for green sheet production obtained in each example and each comparative example so that the thickness after drying was 1 µm. , And applied to obtain a coating layer. The coating layer was dried at 80 ° C for 1 minute, and a polyvinyl butyral resin layer was molded. Then, a polyester tape was applied to the surface of the polyvinyl butyral resin layer.
이어서, 폴리에스테르 테이프를 사용하여, 그린 시트 제조용 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층에서 박리하여, 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층에 접촉해 있던 폴리비닐부티랄 수지층의 면에 있어서의 오목부의 수를 세었다. 구체적으로는 폴리비닐부티랄 수지층의 면이, 광 간섭식 표면 형상 관찰 장치(Veeco 사제, WYKO-1100)를 사용하여, PSI 모드에서 50배율로 관찰되었다. 폴리비닐부티랄 수지층의 면의 91.2×119.8㎛의 범위에 있어서의 표면 형상 화상에 의거하여, 오목부의 수를 카운트했다. 그 오목부는 150nm 이상의 깊이를 가지고 있었다. 오목부의 수를 이하의 판단 기준으로 평가하고, 박리제층 표면의 결함 평가를 실시했다. 또한 상술한 박리성 평가에 있어서, 기준이 “C”인 그린 시트 제조용 박리 필름은 본 평가를 실시하는데 만족스러운 그린 시트 제조용 박리 필름이 아니었기 때문에, 본 평가를 실시하지 않았다.Next, using a polyester tape, the release film for green sheet production was peeled off from the polyvinyl butyral resin layer, and the recessed portion on the surface of the polyvinyl butyral resin layer in contact with the release agent layer of the green sheet production release film was removed. Counted. Specifically, the surface of the polyvinyl butyral resin layer was observed at 50 magnification in PSI mode using an optical interference type surface shape observation device (WYKO-1100 manufactured by Veeco). Based on the surface shape image in the range of 91.2 x 119.8 µm of the surface of the polyvinyl butyral resin layer, the number of recesses was counted. The concave portion had a depth of 150 nm or more. The number of concave portions was evaluated according to the following judgment criteria, and defect evaluation on the surface of the release agent layer was performed. In addition, in the above-mentioned peelability evaluation, this evaluation was not performed because the release film for producing a green sheet having a criterion of “C” was not a release film for producing a green sheet satisfactory in performing this evaluation.
A : 오목부의 수가 0개이다.A: The number of recesses is 0.
B : 오목부의 수가 1~5개이다.B: The number of recesses is 1-5.
C : 오목부의 수가 6개 이상이다.C: The number of recesses is 6 or more.
또한 상기와 같은 오목부가 존재하는 폴리비닐부티랄 수지층(세라믹 그린 시트)을 이용하여 콘덴서를 제조한 경우, 얻어지는 콘덴서는 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉽다.In addition, when the capacitor is manufactured using the polyvinyl butyral resin layer (ceramic green sheet) in which the above-described concave portion is present, the resulting capacitor is prone to short circuit due to a withstand voltage drop.
이들 결과를 표 2에 나타낸다.Table 2 shows the results.
표 2에서 확실한 바와 같이, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 그 외표면의 평활성이 뛰어났다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름에서는 대전량이 비교적 낮고, 블로킹성도 우수했다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 그린 시트에 대한 박리성이 뛰어났다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름을 이용하여 형성한 그린 시트에는 핀홀이 확인되지 않았다. 이에 비하여, 비교예에서는 만족스러운 결과를 얻을 수 없었다.As is evident from Table 2, the release film for producing the green sheet of the present invention had excellent smoothness on the other surface. In addition, in the release film for producing a green sheet of the present invention, the charge amount was relatively low and the blocking property was excellent. Moreover, the release film for green sheet manufacture of this invention was excellent in the peelability with respect to a green sheet. In addition, no pinholes were observed in the green sheet formed using the release film for producing a green sheet of the present invention. On the other hand, satisfactory results were not obtained in the comparative example.
1: 그린 시트 제조용 박리 필름
11: 기재
111: 기재의 제1 면
112: 기재의 제2 면
12: 박리제층
121: 박리제층의 외표면1: release film for green sheet production
11: description
111: first side of the substrate
112: second side of the substrate
12: release agent layer
121: outer surface of the release agent layer
Claims (5)
제1 면과 제2 면을 갖는 기재; 및
상기 기재의 상기 제1 면에 형성된 박리제층을 구비하고,
상기 박리제층은 (메타) 아크릴로일기를 1 분자 중에 3개 이상 갖는 활성 에너지선 경화성 화합물(A)과, 폴리오르가노실록산(B), 및 카본 나노 재료(C)를 함유하는 박리제층 형성용 재료를, 상기 제1 면에 도포하여 형성된 도포층에, 활성 에너지선을 조사함으로써 형성되어 있으며,
상기 박리제층의 외표면의 산술 평균 거칠기 Ra1가 8nm 이하이고, 아울러 상기 박리제층의 상기 외표면의 최대 돌기 높이 Rp1가 50nm 이하인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.It is a release film for green sheet production,
A substrate having a first surface and a second surface; And
And a release agent layer formed on the first surface of the substrate,
The release agent layer is for forming a release agent layer containing an active energy ray-curable compound (A) having three or more (meth) acryloyl groups in one molecule, a polyorganosiloxane (B), and a carbon nanomaterial (C). The coating layer formed by applying the material to the first surface is formed by irradiating active energy rays,
The release film for green sheet production, characterized in that the arithmetic average roughness Ra 1 of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp 1 of the outer surface of the release agent layer is 50 nm or less.
상기 박리제층의 평균 두께가 0.2~2㎛인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.According to claim 1,
The release film for green sheet production, characterized in that the average thickness of the release agent layer is 0.2 to 2㎛.
상기 박리제층 형성용 재료에 있어서의 상기 폴리오르가노실록산(B)의 고형분 환산의 함유량이 0.5~5 질량%인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.According to claim 1,
A release film for producing a green sheet, wherein the content of the polyorganosiloxane (B) in terms of solid content in the material for forming the release agent layer is 0.5 to 5% by mass.
상기 폴리오르가노실록산(B)은 직쇄상 또는 분기상의 분자쇄을 갖는 폴리오르가노실록산이며, 당해 분자쇄의 말단 및/또는 측쇄는 규소 원자를 포함하고, (메타) 아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 갖는 반응성 관능기가, 직접 또는 2가의 연결기를 통하여, 상기 분자쇄 중의 상기 규소 원자와 결합된 것인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.According to claim 1,
The polyorganosiloxane (B) is a polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain, and the terminal and / or side chains of the molecular chain contain silicon atoms, and (meth) acryloyl groups, alkenyl groups, and Malay A release film for producing a green sheet, wherein the reactive functional group having at least one member selected from the group consisting of a mid group is bonded to the silicon atom in the molecular chain through a direct or divalent linking group.
상기 박리제층 형성용 재료에 있어서의 상기 카본 나노 재료(C)의 고형분 환산의 함유량이 0.05~10 질량%인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.The method according to any one of claims 1 to 4,
The release film for green sheet production, characterized in that the content of the carbon nanomaterial (C) in terms of solid content in the release agent layer forming material is 0.05 to 10% by mass.
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