JP2018143961A - 振動モータの駆動回路、そのキャリブレーション方法、振動装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】振動モータの振動特性のばらつきを抑制する。
【解決手段】制御部２１０は、駆動対象の振動モータ１０２に印加すべき駆動信号Ｓ_２の指令値Ｓ_３を発生する。信号発生器２２０は、周波数可変の周期信号Ｓ_４を発生する。駆動部２３０は、指令値Ｓ_３と周期信号Ｓ_４を乗算して得られる制御信号Ｓ_５に応じた駆動信号Ｓ_２を振動モータ１０２に印加する。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動モータの駆動技術に関する。

携帯電話やスマートフォンなどの通信デバイスは、着信をユーザに通知するために筐体を振動させる振動機能を備える。また、タッチパネルを備える電子機器には、タッチパネルに対するユーザのタッチを検出すると、振動を発生させて、ユーザにフィードバックするものが存在する。

これらの電子機器には、振動モータが内蔵される。振動モータは、ロータリ型と、リニア型に分けられる。ロータリ型の振動モータは、回転軸に取り付けられたアンバランスウェイトを備え、アンバランスウェイトの回転により生ずる加振力により振動を発生させる。リニア型の振動モータは、１軸、あるいは２軸方向に水平移動する可動子を備え、この可動子を往復させることにより、振動を発生させる。

特開２００３−２３４７５号公報

本発明者は、リニア型の振動モータの駆動回路について検討した結果、以下の課題を認識するに至った。従来のリニア型の振動モータは、モータの個体バラツキが大きいため、同じ駆動信号で駆動したとしても、振動の大きさ（振幅）などの振動特性がばらつくという問題があった。

本発明のある態様は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その例示的な目的のひとつは、振動モータの振動特性のばらつきを抑制可能な駆動回路の提供にある。

本発明のある態様は、振動モータの駆動回路に関する。駆動回路は、駆動対象の振動モータに印加すべき駆動信号の指令値を発生する制御部と、周波数可変の周期信号を発生する信号発生器と、指令値と周期信号を乗算して得られる制御信号に応じた駆動信号を振動モータに印加する駆動部と、を備える。

この態様によると、周期信号の周波数を最適化することにより、振動モータの振幅を調節でき、振動モータの振動特性のばらつきを抑制できる。

駆動回路は、キャリブレーションモードにおいてアクティブとなり、周期信号の周波数を変化させながら、振動モータが発生する振動を監視し、最大の、または基準を満たす振動を与える周期信号の周波数を検出し、通常動作時の周期信号の周波数に設定する周波数キャリブレータをさらに備えてもよい。
この態様によると、駆動回路をキャリブレーションモードにセットすることで、周期信号の周波数を自動的に最適化できる。

振動モータが発生する振動は、慣性センサによって検出されてもよい。

制御部は、振動モータの可動子の位置に応じた検出値と、その目標値が一致するように、指令値をフィードバック制御してもよい。
従来の駆動回路は振動モータをオープンループ制御していたところ、フィードバック制御を導入することで、振動特性のばらつきをさらに抑制できる。

検出値は可動子の位置の包絡線に応じていてもよい。包絡線をフィードバック制御することにより、系の安定性を高めつつ、制御特性のばらつきを抑制できる。

検出値は、位置検出素子の出力にもとづいてもよい。

制御部は、目標値と検出値の誤差を生成する減算器と、誤差にもとづいて指令値を生成するフィードバックコントローラと、を含んでもよい。

フィードバックコントローラはＰＩ（比例・積分）制御器を含んでもよい。可動子の周期運動の包絡線の応答は一次であるため、ＰＩ制御によって好適に制御できる。

制御部は、そのゲインが可変に構成されたゲインキャリブレータをさらに含んでもよい。周期信号の周波数の最適化によって、ループゲインが変化する。そこでこのループゲインの変化を相殺するように、ゲインキャリブレータのゲインを設定することで、系の安定性を高めることができる。

周期信号は、単一周波数の正弦波であってもよいし、周波数の異なる複数の正弦波を合成した信号であってもよい。信号発生器は、矩形波または三角波の発振信号を発生するオシレータと、発振信号を受け、正弦波の周期信号を生成するフィルタと、を含んでもよい。

出力段は、指令値に応じたデューティ比を有するＰＷＭ（Pulse Width Modulation）信号を生成するパルス幅変調器と、ＰＷＭ信号に応じて振動モータを駆動するブリッジ回路と、を含んでもよい。

本発明の別の態様もまた、振動モータの駆動回路である。この駆動回路は、駆動対象の振動モータの可動子の位置に応じた検出値とその目標値が一致するように、フィードバックにより指令値を生成する制御部と、周期信号を発生する信号発生器と、指令値と周期信号を乗算して得られる制御信号に応じた駆動信号を振動モータに印加する駆動部と、を備える。

この態様によると、フィードバック制御を導入することで、振動特性のばらつきを抑制できる。

駆動回路はひとつの基板に一体集積化されてもよい。
「一体集積化」とは、回路の構成要素のすべてが基板上に形成される場合や、回路の主要構成要素が集積化される場合が含まれ、回路定数の調節用に一部の抵抗やキャパシタなどが基板の外部に設けられていてもよい。回路を１つのチップ上に集積化することにより、回路面積を削減することができるとともに、回路素子の特性を均一に保つことができる。

本発明の別の態様は振動装置に関する。振動装置は、振動モータと、振動モータを駆動する上述のいずれかの駆動回路と、を備える。

本発明の別の態様は電子機器に関する。電子機器は、上述の振動装置を備えてもよい。

なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明のある態様によれば、振動モータの振動特性のバラツキを抑制できる。

第１の実施の形態に係る駆動回路を備える振動装置のブロック図である。 図２（ａ）、（ｂ）は、図１の振動装置の動作波形図である。 第２の実施の形態に係る駆動回路を備える振動装置のブロック図である。 図３の振動装置の動作波形図である。 第３の実施の形態に係る駆動回路を備える振動装置のブロック図である。 信号発生器の構成例を示す回路図である。 出力段の構成例を示す回路図である。 出力段の別の構成例を示す回路図である。 振動装置を備える電子機器を示す図である。

以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

本明細書において、「部材Ａが、部材Ｂと接続された状態」とは、部材Ａと部材Ｂが物理的に直接的に接続される場合のほか、部材Ａと部材Ｂが、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。
同様に、「部材Ｃが、部材Ａと部材Ｂの間に設けられた状態」とは、部材Ａと部材Ｃ、あるいは部材Ｂと部材Ｃが直接的に接続される場合のほか、それらの電気的な接続状態に実質的な影響を及ぼさない、あるいはそれらの結合により奏される機能や効果を損なわせない、その他の部材を介して間接的に接続される場合も含む。

（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る駆動回路２００を備える振動装置１００のブロック図である。振動装置１００は、振動モータ１０２および駆動回路２００を備える。振動モータ１０２はたとえばリニア型である。

駆動回路２００は、外部のＣＰＵ（Central Processing Unit）１０６からの入力信号Ｓ_１にもとづいて振動モータ１０２を駆動し、振動を発生させる。駆動回路２００はひとつの半導体基板に一体集積化された機能ＩＣである。入力信号Ｓ_１はたとえばシリアルデータの形式で送信される。インタフェース回路２０２は入力信号Ｓ_１を受信する。

制御部２１０は、入力信号Ｓ_１にもとづいて、振動モータ１０２に印加すべき駆動信号Ｓ_２を規定する指令値Ｓ_３を発生する。指令値Ｓ_３は、駆動信号Ｓ_２の波形を規定する信号である。入力信号Ｓ_１は、指令値Ｓ_３を記述する波形データであってもよい。

信号発生器２２０は、周波数が可変の周期信号Ｓ_４を発生する。周期信号Ｓ_４の周波数は、連続的に可変であってもよいし、離散的に可変であってもよい。周期信号Ｓ_４は、正弦波であることが好ましいがその限りではなく、疑似正弦波、台形波、矩形波、などを用いてもよい。周期信号Ｓ_４をキャリア信号と称してもよい。

駆動部２３０は、指令値Ｓ_３と周期信号Ｓ_４を乗算して得られる制御信号Ｓ_５に応じた駆動信号Ｓ_２を振動モータ１０２に印加する。制御信号Ｓ_５は、指令値Ｓ_３と周期信号Ｓ_４の積であり、周期信号（キャリア信号）Ｓ_４を指令値Ｓ_３で振幅変調した信号と把握することができ、あるいは周期信号Ｓ_４と指令値Ｓ_３を周波数混合した信号と把握することもできる。

駆動部２３０は振動モータ１０２をリニア駆動してもよいし、ＰＷＭ駆動してもよい。リニア駆動の場合、制御信号Ｓ_５は、駆動信号Ｓ_２の振幅を規定する信号であり、ＰＷＭ駆動の場合、制御信号Ｓ_５は、パルス状の駆動信号Ｓ_２のデューティ比を規定する信号となる。

たとえば駆動部２３０は、乗算器２３２および出力段２３４を含む。乗算器２３２は、指令値Ｓ_３と周期信号Ｓ_４を乗算（あるいは周波数混合）するミキサー回路と把握できる。出力段２３４は、制御信号Ｓ_５に応じた駆動信号Ｓ_２を生成する。

振動装置１００は、アナログ回路、デジタル回路、アナログデジタル混載回路のいずれかで構成することができる。制御部２１０や乗算器２３２を含むいくつかの回路ブロックは、プロセッサコアとソフトウェアプログラムの組み合わせで実装してもよい。

以上が振動装置１００の基本構成である。続いてその動作を説明する。図２（ａ）、（ｂ）は、図１の振動装置１００の動作波形図である。制御信号Ｓ_５は、指令値Ｓ_３を変調信号として、キャリアである周期信号Ｓ_４を振幅変調した信号となる。図２（ａ）、（ｂ）では、周期信号Ｓ_４の周波数（キャリア周波数）ｆが異なっている。

振動装置１００およびそれを備える電子機器は、機械的な共振系を形成しており、固有振動数（共振周波数）を有している。周期信号Ｓ_４の周波数を変化させると、振動モータ１０２の可動子の振動周波数が変化し、共振周波数との距離が変化する。したがって図２（ａ）のように、第１周波数ｆ_１で振動モータ１０２を駆動した場合と、図２（ｂ）の第２周波数ｆ_２で振動モータ１０２を駆動した場合とでは、振動モータ１０２によって誘起される振動の大きさが変化する。この振動は、振動モータ１０２の可動子の振幅ではなく、振動装置１００がそれを搭載する電子機器に誘起する振動であることに留意されたい。

図１の振動装置１００によれば、電子機器の振動が最大化される（あるいは基準を満たす）ように、信号発生器２２０が生成する周期信号Ｓ_４の周波数ｆを最適化することにより、振動モータ１０２の振動特性のばらつきを抑制できる。

図１に戻る。駆動回路２００はさらに周波数キャリブレータ２４０を備える。周波数キャリブレータ２４０は、キャリブレーションモードにおいてアクティブとなる。キャリブレーションモードは、振動装置１００を備える電子機器の出荷前の検査工程で使用してもよい。

駆動回路２００には、振動センサ１０４が接続される。振動センサ１０４によって、振動装置１００が発生する振動が検出可能であり、たとえば振動センサ１０４は加速度センサやジャイロセンサなどの慣性センサ、あるいはホールセンサなどが利用できる。振動センサ１０４は、検査時にキャリブレーションを目的として電子機器に取り付けてもよい。あるいは電子機器が振動センサ１０４を内蔵する場合、それを流用すればよい。

キャリブレーションモードにおいて、制御部２１０は、外部からの入力信号Ｓ_１にもとづいて指令値Ｓ_３を生成してもよいし、波形テーブル２４２から読み出したキャリブレーション用の波形データＳ_６にもとづいて指令値Ｓ_３を生成してもよい。

キャリブレーションモードにおいて、周波数キャリブレータ２４０は、周期信号Ｓ_４の周波数ｆを変化させながら、振動モータ１０２が発生する振動を監視する。振動の監視は、振動センサ１０４の出力Ｓ_７にもとづいて行われる。そして周波数キャリブレータ２４０は、最大の振動（あるいは基準を満たす振動）を与える周期信号Ｓ_４の周波数を検出し、通常動作時（電子機器の出荷後）の周期信号Ｓ_４の周波数ｆに設定する。

周波数キャリブレータ２４０を駆動回路２００に内蔵することにより、振動装置１００（あるいはそれを備える電子機器）の製造者に対して、振動装置１００の振動量を簡易に調節する機能を提供できる。

（第２の実施の形態）
図３は、第２の実施の形態に係る駆動回路２００Ａを備える振動装置１００Ａのブロック図である。振動装置１００Ａは、図１の振動装置１００に加えて、位置検出素子１０８をさらに備える。位置検出素子１０８は、振動モータ１０２の可動子の位置を検出する。位置検出素子１０８はその限りではないがホールセンサを用いることができる。

位置検出素子１０８の出力Ｓ_８は、駆動回路２００ＡのＡ／Ｄコンバータ２４４によってデジタル値（位置検出値）Ｓ_９に変換される。位置検出素子１０８がデジタル出力を有する場合、Ａ／Ｄコンバータ２４４は省略可能である。

制御部２１０Ａは、振動モータ１０２の可動子の位置に応じた検出値Ｓ_１０と、その目標値Ｓ_１１が一致するように、指令値Ｓ_３をフィードバック制御する。振動モータ１０２の可動子は周期信号Ｓ_４の周波数で高速に振動するところ、そのような高速な振動をフィードバック制御するためには、高速なフィードバックループが必要となり、系が複雑化する。そこで本実施の形態では、可動子の周期運動の包絡線をフィードバック制御することとしている。つまり検出値Ｓ_１０は可動子の位置の包絡線に応じており、したがってその目標値Ｓ_１１も、可動子の位置の包絡線を指示するものとなる。以下、検出値Ｓ_１０を包絡線検波信号とも称する。

本実施の形態においてＣＰＵ１０６からの入力信号Ｓ_１は、振動モータ１０２の可動子の振動の包絡線、言い換えれば振動量（振幅の時間波形）を指示する包絡線指令値Ｓ_１２である。セレクタ２１８は、包絡線指令値Ｓ_１２と波形データＳ_６の一方を選択し、可動子の位置の包絡線の目標値Ｓ_１１を出力する。

減算器２１２は、目標値Ｓ_１１と包絡線検波信号Ｓ_１０の誤差Ｓ_１３を生成する誤差検出器である。フィードバックコントローラ２１４は、誤差Ｓ_１３にもとづいて指令値Ｓ_３を生成する。可動子の周期運動の包絡線の応答は一次であるため、フィードバックコントローラはＰＩ（比例・積分）制御器を含んでもよい。これにより、安定な制御が可能となる。

フィードバックコントローラ２１４の前段には、ゲインｇが可変のゲインキャリブレータ２１７が設けられる周波数キャリブレータ２４０による周波数の最適化によって、ループゲインが変化する。そこでこのループゲインの変化を相殺するように、ゲインキャリブレータ２１７のゲインｇを設定することで、系の安定性を高めることができる。図３に示すように、周波数キャリブレーションの完了後に、周波数キャリブレータ２４０がゲインキャリブレータ２１７のゲインｇを設定してもよい。あるいは周波数キャリブレーションの完了後に、外部からのレジスタアクセスによって、ゲインキャリブレータ２１７のゲインｇの設定値を与えてもよい。

以上が駆動回路２００Ａを備える振動装置１００Ａの構成である。続いてその動作を説明する。図４は、図３の振動装置１００Ａの動作波形図である。

包絡線指令値Ｓ_１２は、入力信号Ｓ_１にもとづいて生成される。周期信号Ｓ_４の周波数は、予め実行した周波数キャリブレーションによって最適化されている。振動モータ１０２の可動子は、周期信号Ｓ_４の周波数に応じた周波数で振動しており、したがって可動子の位置を表す位置検出値Ｓ_９も振動する。包絡線検波器２１６によって、可動子の振動の包絡線検波信号Ｓ_１０が生成される。この包絡線検波信号Ｓ_１０が包絡線指令値Ｓ_１２と一致するように指令値Ｓ_３がフィードバック制御される。

この駆動回路２００Ａによれば、周波数キャリブレーションに加えてフィードバック制御を導入することで、振動モータ１０２の振動特性のばらつきをさらに抑制できる。

特に可動子の周期運動の包絡線をフィードバック制御することにより、系の安定性を高めつつ、振動モータ１０２を高い精度で制御することが可能となる。

（第３の実施の形態）
図５は、第３の実施の形態に係る駆動回路２００Ｂを備える振動装置１００Ｂのブロック図である。駆動回路２００Ｂは、第２の実施の形態の駆動回路２００Ａから、周波数キャリブレータ２４０を省略したものであり、周期信号Ｓ_４の周波数の調節機能は省略されている。

振動モータ１０２の振動特性の個体ばらつきが小さい場合には、フィードバック制御のみで、振動特性を揃えることができる。

続いて、第１から第３の実施の形態に共通するいくつかの回路ブロックの構成例を説明する。

図６は、信号発生器２２０の構成例を示す回路図である。信号発生器２２０は、オシレータ２２２およびフィルタ２２４を備える。オシレータ２２２は、矩形波または三角波の発振信号Ｓ_１４を発生する。オシレータ２２２の構成は特に限定されないが、たとえばキャパシタの充放電を繰り返すタイプのオシレータを用いてもよい。この場合、キャパシタを充電する電流量に応じて、周波数を制御できる。あるいは、オシレータ２２２は、電圧制御発振器（ＶＣＯ）であってもよい。フィルタ２２４は、発振信号Ｓ_１４を受け、正弦波の周期信号Ｓ_４を生成する。

図７は、出力段２３４の構成例を示す回路図である。出力段２３４は、パルス幅変調器２３６およびブリッジ回路２３８を備える。パルス幅変調器２３６は、制御信号Ｓ_５に応じたデューティ比を有するＰＷＭ（Pulse Width Modulation）信号Ｓ_１５を生成する。ブリッジ回路２３８は、Ｈブリッジ回路２３８Ａと、プリドライバ２３８Ｂを含む。プリドライバ２３８Ｂは、ＰＷＭ信号Ｓ_１５に応じてＨブリッジ回路２３８Ａを駆動する。Ｈブリッジ回路に代えてハーフブリッジ回路を備えてもよい。

図８は、出力段２３４の別の構成例を示す回路図である。Ｄ／Ａコンバータ２５０は、デジタルの制御信号Ｓ_５をアナログの制御信号Ｓ_１６に変換する。差動駆動回路２５２は、非反転アンプ２５４および反転アンプ２５６を含み、制御信号Ｓ_１６に応じて振動モータ１０２に差動の駆動信号Ｓ_２を印加する。

（用途）
図９は、振動装置１００を備える電子機器を示す図である。電子機器３００は振動機能を有するデバイスであり、たとえば携帯電話端末、スマートフォン、タブレットＰＣ、携帯ゲーム機器、ゲームコンソールのコントローラなどが例示される。

電子機器３００は、振動装置１００を内蔵する。上述のように振動装置１００は、ＣＰＵ１０６、振動モータ１０２、駆動回路２００を備える。ＣＰＵ１０６は、ホストプロセッサ３０４は、ベースバンドプロセッサあるいはアプリケーションプロセッサであり得る。駆動回路２００は、ＣＰＵ１０６からの入力信号Ｓ_１にもとづいて振動モータ１０２を駆動し、振動を発生させる。

以上、本発明について、実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、こうした変形例について説明する。

（第１変形例）
図１、図３、図５において、波形テーブル２４２には複数の波形データが格納されてもよい。この場合、入力信号Ｓ_１が波形データを含む必要は無く、複数の波形データのひとつを指定する情報を含んでもよい。

（第２変形例）
制御部２１０を含むいくつかの回路ブロックを、アナログ回路で実装してもよい。この場合、ＰＩコントローラに代えて、エラーアンプを含むフィードバック系を構築すればよい。

（第３変形例）
図３、図５において、振動モータ１０２の可動子の振動の包絡線をフィードバック制御することとしたが、周期信号Ｓ_４の周波数が低い場合には、包絡線ではなく、振動波形そのものをフィードバック制御してもよい。

（第４変形例）
図１の駆動回路２００において、周波数キャリブレータ２４０を省略してもよい。キャリブレーション工程において、周波数キャリブレータ２４０の機能を、振動装置１００を検査する試験装置（テスター）に委ね、決定した周期信号Ｓ_４の周波数情報を、振動装置１００のＲＯＭやＦｅＲＡＭなどの不揮発性メモリに格納しておけばよい。

（第５変形例）
図３や図５の位置検出素子１０８は、駆動回路２００に集積化してもよい。反対に、駆動部２３０の出力段２３４の一部（たとえばブリッジ回路）は、駆動回路２００に外付けしてもよい。

（第６変形例）
図３や図５の位置検出素子１０８に代えて、振動センサを用いてもよい。

（第７変形例）
信号発生器２２０が生成する周期信号Ｓ_４は、単一周波数に限定されず、複数の周波数を含んでよい。すなわち周期信号Ｓ_４は、周波数の異なる複数の正弦波を重ね合わせたマルチトーン信号であってもよい。

（第８変形例）
実施の形態ではリニア型の振動モータを駆動対象としたが、本発明はロータリ型の振動モータの駆動にも適用可能である。

実施の形態にもとづき、具体的な用語を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が認められる。

１００…振動装置、１０２…振動モータ、１０４…振動センサ、１０６…ＣＰＵ、１０８…位置検出素子、２００…駆動回路、２０２…インタフェース回路、２１０…制御部、２１２…減算器、２１４…フィードバックコントローラ、２１６…包絡線検波器、２１７…ゲインキャリブレータ、２１８…セレクタ、２２０…信号発生器、２２２…オシレータ、２２４…フィルタ、２３０…駆動部、２３２…乗算器、２３４…出力段、２３６…パルス幅変調器、２３８…ブリッジ回路、２４０…周波数キャリブレータ、２４２…波形テーブル、２５０…Ｄ／Ａコンバータ、２５２…差動駆動回路、２５４…非反転アンプ、２５６…反転アンプ、３００…電子機器。

Claims (21)

1. 駆動対象の振動モータに印加すべき駆動信号の指令値を発生する制御部と、
   周波数可変の周期信号を発生する信号発生器と、
   前記指令値と前記周期信号を乗算して得られる制御信号に応じた駆動信号を前記振動モータに印加する駆動部と、
   を備えることを特徴とする駆動回路。
2. キャリブレーションモードにおいてアクティブとなり、前記周期信号の周波数を変化させながら、前記振動モータが発生する振動を監視し、最大のまたは基準を満たす振動を与える前記周期信号の周波数を検出し、通常動作時の前記周期信号の周波数に設定する周波数キャリブレータをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動回路。
3. 前記振動モータが発生する振動は、慣性センサによって検出されることを特徴とする請求項２に記載の駆動回路。
4. 前記制御部は、前記振動モータの可動子の位置に応じた検出値と、その目標値が一致するように、前記指令値をフィードバック制御することを特徴とする請求項１に記載の駆動回路。
5. 前記検出値は前記可動子の位置の包絡線に応じていることを特徴とする請求項４に記載の駆動回路。
6. 前記検出値は、位置検出素子の出力にもとづくことを特徴とする請求項４または５に記載の駆動回路。
7. 前記制御部は、
   前記目標値と前記検出値の誤差を生成する減算器と、
   前記誤差にもとづいて前記指令値を生成するフィードバックコントローラと、
   を含むことを特徴とする請求項４から６のいずれかに記載の駆動回路。
8. 前記フィードバックコントローラはＰＩ（比例・積分）制御器を含むことを特徴とする請求項７に記載の駆動回路。
9. 前記制御部は、そのゲインが可変に構成されたゲインキャリブレータをさらに含むことを特徴とする請求項７または８に記載の駆動回路。
10. 前記周期信号は、単一周波数の正弦波、または、周波数の異なる複数の正弦波を合成した信号であることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の駆動回路。
11. 前記信号発生器は、
    矩形波または三角波の発振信号を発生するオシレータと、
    前記発振信号を受け、正弦波の前記周期信号を生成するフィルタと、
    を含むことを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の駆動回路。
12. 前記駆動部は、
    前記指令値に応じたデューティ比を有するＰＷＭ（Pulse Width Modulation）信号を生成するパルス幅変調器と、
    前記ＰＷＭ信号に応じて前記振動モータを駆動するブリッジ回路と、
    を含むことを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の駆動回路。
13. 駆動対象の振動モータの可動子の位置に応じた検出値と、その目標値が一致するように、フィードバックにより指令値を生成する制御部と、
    周期信号を発生する信号発生器と、
    前記指令値と前記周期信号を乗算して得られる制御信号に応じた駆動信号を前記振動モータに印加する駆動部と、
    を備えることを特徴とする駆動回路。
14. 前記検出値は前記可動子の位置の包絡線に応じていることを特徴とする請求項１３に記載の駆動回路。
15. 前記検出値は、位置検出素子の出力に応じていることを特徴とする請求項１３または１４に記載の駆動回路。
16. 前記制御部は、
    前記目標値と前記検出値の誤差を生成する減算器と、
    前記誤差にもとづいて前記指令値を生成するフィードバックコントローラと、
    を含むことを特徴とする請求項１３から１５のいずれかに記載の駆動回路。
17. 前記フィードバックコントローラはＰＩ（比例・積分）制御器を含むことを特徴とする請求項１６に記載の駆動回路。
18. ひとつの基板に一体集積化されることを特徴とする請求項１から１７のいずれかに記載の駆動回路。
19. 振動モータと、
    前記振動モータを駆動する請求項１から１８のいずれかに記載の駆動回路と、
    を備えることを特徴とする振動装置。
20. 請求項１９に記載の振動装置を備えることを特徴とする電子機器。
21. 振動モータの駆動回路のキャリブレーション方法であって、
    前記駆動回路は、
    駆動対象の振動モータに印加すべき駆動信号の指令値を発生する制御部と、
    周波数可変の周期信号を発生する信号発生器と、
    前記指令値と前記周期信号を乗算して得られる制御信号を前記振動モータに印加する駆動部と、
    を備え、
    前記キャリブレーション方法は、
    前記周期信号の周波数を変化させながら、前記振動モータが発生する振動を監視するステップと、
    最大のまたは基準を満たす振動を与える前記周期信号の周波数を決定するステップと、
    決定した周波数を、通常動作時の前記周期信号の周波数に設定するステップと、
    を備えることを特徴とするキャリブレーション方法。

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