JP2018137231A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- 荷電粒子線を照射することによって試料を観察する試料観察方法において、
試料台の少なくとも一部をなし前記試料の内部を透過または散乱してきた荷電粒子によって発光する発光部材の上に直接または所定の部材を介して配置された前記試料に対して、前記荷電粒子線を照射するステップと、
前記発光部材の発光を検出して荷電粒子線顕微鏡画像を取得するステップと、を有し、
前記試料は生体試料であって、
固体または液体または気体の栄養材を含む培地を前記試料と共に前記発光部材に配置するステップと、
前記試料を前記発光部材の上で培養または増殖させるステップと、を少なくとも有することにより、
前記発光部材の上に直接または所定の部材を介して前記試料を配置するステップをさらに有する、試料観察方法。 - 前記試料を液体の中に配置するステップと、
前記液体を前記発光部材の上に付着させるステップと、を少なくとも有することにより、
前記発光部材の上に直接または所定の部材を介して前記試料を配置するステップをさらに有する、請求項１記載の試料観察方法。 - 前記試料を切片化するステップと、
前記切片化された試料を前記発光部材上に搭載するステップと、を少なくとも有することにより、
前記発光部材の上に直接または所定の部材を介して前記試料を配置するステップをさらに有する、請求項１記載の試料観察方法。 - 荷電粒子線を照射することにより観察される試料が搭載される試料台において、
該試料台の少なくとも一部をなし、前記試料の内部を透過または散乱してきた荷電粒子によって発光する発光部材を有し、
該試料台は少なくとも凹形状である部分を有し、前記凹形状の凹部に前記試料が配置される、試料台。 - 荷電粒子線を照射することにより観察される試料が搭載される試料台において、
該試料台の少なくとも一部をなし、前記試料の内部を透過または散乱してきた荷電粒子によって発光する発光部材を有し、
前記試料が載置される面に、該試料台と前記試料との密着性を高める材料がコーティングされている、試料台。 - 該試料台と前記試料との密着性を高める材料は正の荷電状態の分子である、請求項５記載の試料台。
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