JP2017106895A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 荷電粒子顕微鏡における評価のためサンプルを調製する方法であって、
   当該方法により、前記サンプルは、凍結剤を用いて急冷され、
   当該方法は、
   −極低温流体を輸送する2つの導管を提供するステップであって、前記導管の各々は、マウスピースまで開通しており、該マウスピースは、介在ギャップを介して相互に対面するように配置される、ステップと、
   −前記サンプルを前記ギャップに設置するステップと、
   −前記導管を介して極低温流体をくみ上げ、前記マウスピースから一斉に流出させ、これにより、2つの対向する側から前記サンプルを極低温流体に急速浸漬させるステップと、
   を有する方法。
2. 前記導管は、プランジャ内に配置され、各導管は、前記プランジャの下側に入口開口を有し、前記ギャップは、前記プランジャの上側にスロットとして提供され、
   前記プランジャの下には極低温流体の浴が提供され、
   前記サンプルは、前記プランジャに下向きの圧力を印加するツールを用いて、前記スロットに挿入され、これにより、プランジャの少なくとも一部が沈み、前記浴中の極低温流体は、前記入口開口に流れ、前記マウスピースを介して放出される、請求項1に記載の方法。
3. 前記サンプルは、実質的に平坦であり、相互に対向配置された主表面を有し、
   前記サンプルは、前記主表面が前記マウスピースと対面するように、前記ギャップに配置される、請求項2に記載の方法。
4. 前記極低温流体は、−160℃から−183℃の温度範囲の液体エタンを有する、請求項2に記載の方法。
5. さらに、
   荷電粒子顕微鏡内のサンプルホルダにサンプルを提供するステップと、
   少なくとも前記サンプルが前記サンプルホルダにある間、冷却装置を用いて、前記サンプルを極低温に維持するステップと、
   ソース源から荷電粒子のビームを提供するステップと、
   照明器を用いて、前記サンプルに照射されるように前記ビームを誘導するステップと、
   検出器を用いて放射線の流束を検出するステップであって、前記放射線は、前記照射に応じて前記サンプルから放射されるステップと、
   を有する、請求項2に記載の方法。
6. 前記サンプルは、実質的に平坦であり、相互に対向するように配置された主表面を有し、
   前記サンプルは、前記主表面が前記マウスピースと対面するように、前記ギャップに配置される、請求項1に記載の方法。
7. 前記サンプルは、平坦なグリッドを有する、請求項6に記載の方法。
8. 前記極低温流体は、−160℃から−183℃の温度範囲の液体エタンを有する、請求項7に記載の方法。
9. さらに、
   荷電粒子顕微鏡内のサンプルホルダにサンプルを提供するステップと、
   少なくとも前記サンプルが前記サンプルホルダにある間、冷却装置を用いて、前記サンプルを極低温に維持するステップと、
   ソース源から荷電粒子のビームを提供するステップと、
   照明器を用いて、前記サンプルに照射されるように前記ビームを誘導するステップと、
   検出器を用いて放射線の流束を検出するステップであって、前記放射線は、前記照射に応じて前記サンプルから放射されるステップと、
   を有する、請求項7に記載の方法。
10. 前記極低温流体は、−160℃から−183℃の温度範囲の液体エタンを有する、請求項6に記載の方法。
11. さらに、
    荷電粒子顕微鏡内のサンプルホルダにサンプルを提供するステップと、
    少なくとも前記サンプルが前記サンプルホルダにある間、冷却装置を用いて、前記サンプルを極低温に維持するステップと、
    ソース源から荷電粒子のビームを提供するステップと、
    照明器を用いて、前記サンプルに照射されるように前記ビームを誘導するステップと、
    検出器を用いて放射線の流束を検出するステップであって、前記放射線は、前記照射に応じて前記サンプルから放射されるステップと、
    を有する、請求項6に記載の方法。
12. 前記極低温流体は、−160℃から−183℃の温度範囲の液体エタンを有する、請求項1に記載の方法。
13. さらに、
    荷電粒子顕微鏡内のサンプルホルダにサンプルを提供するステップと、
    少なくとも前記サンプルが前記サンプルホルダにある間、冷却装置を用いて、前記サンプルを極低温に維持するステップと、
    ソース源から荷電粒子のビームを提供するステップと、
    照明器を用いて、前記サンプルに照射されるように前記ビームを誘導するステップと、
    検出器を用いて放射線の流束を検出するステップであって、前記放射線は、前記照射に応じて前記サンプルから放射されるステップと、
    を有する、請求項12に記載の方法。
14. 荷電粒子顕微鏡における、請求項1に記載の方法を用いて調製されたサンプルの使用であって、前記荷電粒子顕微鏡は、
    前記サンプルを保持するサンプルホルダと、
    少なくとも前記サンプルホルダにある間、前記サンプルを極低温に維持する冷却装置と、
    荷電粒子のビームを形成するソース源と、
    前記ビームが前記サンプルに照射されるように前記ビームを誘導する照明器と、
    前記照射に応じて前記サンプルから放射される放射線の流束を検出する検出器と、
    を有する、使用。
15. 荷電粒子顕微鏡における評価のためのサンプルを調製するための機器であって、
    前記サンプルは、凍結剤を用いて急冷され、
    当該機器は、
    −極低温流体を輸送する一組の導管であって、各々は、マウスピースまで開通しており、該マウスピースは、前記サンプルが配置される介在ギャップを介して相互に対面するように配置される、一組の導管と、
    −前記導管を介して極低温流体をくみ上げ、前記マウスピースから一斉に流出させ、2つの対向する側から前記サンプルを極低温流体に急速浸漬させる、ポンプ機構と、
    を有する機器。
16. 前記導管は、プランジャ内に配置され、各導管は、前記プランジャの下側に入口開口を有し、前記ギャップは、前記プランジャの上側にスロットとして提供される、請求項15に記載の機器。