JP2018132822A - 自動圧力調整バルブおよびバルブ制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
さらに好ましい実施形態では、前記電流指令生成部は、弁体駆動時のモータ駆動開始からモータ駆動停止までのモータ電流値を正弦波的に変化させるようなモータ電流指令値を生成する。
本発明の好ましい実施形態によるバルブ制御装置は、圧力計測値および圧力目標値に基づいて、圧力調整バルブに設けられた弁体駆動モータのモータ電流指令値を生成する電流指令生成部を備え、前記電流指令生成部は、弁体駆動時のモータ駆動開始からモータ駆動停止までのモータ電流値を連続的に変化させるようなモータ電流指令値を生成する。
電流指令生成部136におけるモータ回転目標位置θmsの設定は、例えば以下のように行われる。まず、自動調圧バルブ1のバルブ開度θの変化dθとチャンバ2の圧力変化dPとの関係は、次式(1)に示す排気の式に基づいて与えられる。
Q=V・(dP/dt)+P・S(Q,θ) …(1)
dθ=−{(1/P)・S/(dS/dθ)}・dP …(2)
Δθ={(1/P)・S/(dS/dθ)}・Kp・ΔP …(3)
図7は、図5に示したモータ制御の変形例を示す図であり、(a)はモータ回転速度の変化を示し、(b)はモータ回転加速度の変化を示す。図5に示したモータ制御例では、図5(b),(c)に示すように加速→減速という制御を行ったが、図7に示す制御例では、加速→一定速度→減速という制御が行われる。時刻t0から時刻t2までは図5の場合と同様に一定加速度で加速を行うので、図5(b)に示した場合と同様にモータ回転速度は放物線状に上昇する。その後、時刻t2から時刻t3までは加速度をゼロとする。摩擦等の無い理想状態を仮定すると、時刻t2〜t3間におけるモータ回転速度は一定速度となる。さらに、時刻t3から時刻t1までは一定加速度(負の値)で減速を行う。その結果、モータ回転速度は放物線状に減少し、時刻t1においてゼロとなる。
Claims (3)
- 弁体と、
前記弁体を駆動するモータと、
前記弁体を弁体目標位置に駆動するためのモータ電流指令値を生成する電流指令生成部と、を備える自動圧力調整バルブにおいて、
前記電流指令生成部は、弁体駆動時のモータ駆動開始からモータ駆動停止までのモータ電流値を連続的に変化させるようなモータ電流指令値を生成する、自動圧力調整バルブ。 - 請求項1に記載の自動圧力調整バルブにおいて、
前記電流指令生成部は、弁体駆動時のモータ駆動開始からモータ駆動停止までのモータ電流値を正弦波的に変化させるようなモータ電流指令値を生成する、自動圧力調整バルブ。 - 圧力計測値および圧力目標値に基づいて、圧力調整バルブに設けられた弁体駆動モータのモータ電流指令値を生成する電流指令生成部を備え、
前記電流指令生成部は、弁体駆動時のモータ駆動開始からモータ駆動停止までのモータ電流値を連続的に変化させるようなモータ電流指令値を生成する、バルブ制御装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112032380A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-12-04 | 中车青岛四方车辆研究所有限公司 | 一种减压装置及其压力输出调节的闭环控制方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH03237506A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-23 | Toshiba Corp | 電子制御膨張弁の制御方法 |
JP2008211120A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Fujitsu Ltd | 樹脂層の熱処理方法 |
WO2010087224A1 (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-05 | 三菱電機株式会社 | バルブ制御装置 |
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2017
- 2017-02-13 JP JP2017024149A patent/JP6769329B2/ja active Active
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