JP2018120912A - 基板収納容器及び基板収納容器の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容器本体に係止部を備えていても、成形時の金型構造が複雑化することがない基板収納容器及び基板収納容器の製造方法を提供する。【解決手段】前面に開口部１１を有する容器本体１と、開口部１１を閉鎖する蓋体と、被係止部９２を有する機能部材９０と、機能部材９０を容器本体１に固定する係止部８１と、を備える基板収納容器において、係止部８１は、容器本体１にインサート成形されており、機能部材９０の被係止部９２は、係止部８１に対して着脱可能に固定されている。【選択図】図２

Description

本発明は、基板を収納する基板収納容器及び基板収納容器の製造方法に関する。

半導体ウエハなどの基板を収納する基板収納容器は、容器本体の内側に、基板を支持する基板支持部材や基板支持補助部材、あるいは、内部環境を改善する吸湿剤やケミカル吸着剤などの機能部材を備えている。また、容器本体の開口部を閉鎖する蓋体の内側に、これらの機能部材が備えられることもある（例えば、特許文献１参照）。

ここで、容器本体の内側に機能部材を取付ける場合、容器本体の内側に、挿入孔（開口）、爪状、鍵状などの係止部を形成する必要がある。

特開２００８−０６０２９７号公報

しかしながら、容器本体の内側に、係止部をインジェクション成形により一体成形しようとすると、係止部の形状によっては、金型の離型方向に対してアンダーカットが生じることがある。そのため、スライドコア、傾斜コアなどの機構を用いて金型を構成する必要があり、金型が大型化、複雑化していた。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、容器本体に係止部を備えていても、成形時の金型構造が複雑化することがない基板収納容器及び基板収納容器の製造方法を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る一つの態様は、前面に開口部を有する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、被係止部を有する機能部材と、前記機能部材を前記容器本体内に固定する係止部と、を備える基板収納容器において、前記係止部は、前記容器本体にインサート成形されており、前記機能部材の前記被係止部は、前記係止部に対して着脱可能に固定されているものである。
（２）上記（１）の態様において、前記係止部は、前記容器本体の少なくとも１か所にインサート成形されていてもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記係止部は、前記容器本体と溶着可能な熱可塑性樹脂から形成されていてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、前記機能部材は、吸湿剤、ケミカル吸着剤の少なくとも１種を有してもよい。
（５）上記（４）の態様において、前記ケミカル吸着剤は、有機ガス成分を吸着する有機ガス用吸着剤、酸性ガス成分を吸着する酸性ガス用吸着剤、及び、アルカリ性ガス成分を吸着するアルカリ性ガス用吸着剤の少なくとも１種からなってもよい。
（６）上記（１）から（３）までのいずれか一つに態様において、前記機能部材は、基板を支持する基板支持部材又は基板支持補助部材の少なくとも１種であってもよい。
（７）上記（６）の態様において、前記基板支持部材は、前記容器本体と溶着しない熱可塑性樹脂から形成されていてもよい。
（８）上記（６）の態様において、前記基板支持補助部材は、熱可塑性エラストマーから形成されていてもよい。
（９）本発明に係る別の一つの態様は、前面に開口部を有する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、被係止部を有する機能部材と、前記機能部材を前記容器本体内に固定する係止部と、を備え、前記機能部材の前記被係止部が、前記係止部に着脱可能に固定されている基板収納容器の製造方法において、前記係止部と、前記容器本体の一部を構成するベース部と、からなる係止部品を形成する工程と、前記係止部品を、金型に配置し、溶融した熱可塑性樹脂を加熱圧縮して前記容器本体との半製品をインサート成形する工程と、前記機能部材の前記被係止部を、前記半製品の前記係止部に係合固定する工程と、を含むものである。

本発明によれば、容器本体に係止部を備えていても、成形時の金型構造が複雑化することがない基板収納容器及び基板収納容器の製造方法を提供することができる。

実施形態に係る基板収納容器を示す概略分解斜視図である。 （ａ）容器本体の正面斜視図、（ｂ）機能部材を示す斜視図である。 基板収納容器の製造方法を示すフローチャートである。 （ａ）係止部品を示す斜視図、（ｂ）底面側から見た斜視図である。 （ａ）金型に係止部品をセットした状態の概略斜視図、（ｂ）インサート成形における熱可塑性樹脂の形状を示す概略斜視図である。 （ａ）半製品を示す斜視図、（ｂ）係止部を示す部分拡大斜視図である。 （ａ）容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例１における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例２における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例３における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例４における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例５における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例６における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。 （ａ）変形例７における容器本体の斜視図、（ｂ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材を係止部に係合固定する様子を示す断面斜視図である。

以下、本発明の実施形態及び変形例について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態及び変形例においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
まず、本発明に係る実施形態の基板収納容器１００について説明する。

図１は、基板収納容器１００を示す概略分解斜視図である。図２は、（ａ）容器本体１の正面斜視図、（ｂ）機能部材９０を示す斜視図である。
図１に示される基板収納容器１００は、基板Ｗを収納するもので、前面に開口部１１を有する容器本体１と、開口部１１を閉鎖する蓋体２と、パッキン３と、を備えている。

容器本体１は、箱状体のものであり、枠状の前枠板１０、左側板２０、右側板３０、天板４０、底板５０及び背板６０で構成されている（なお、天板４０側を上方、底板５０側を下方と呼ぶ。）。このうち前枠板１０には、開口部１１が形成されており、さらに、開口部１１の周りには、パッキン３の接触面１２が形成されている。

本実施形態では、基板収納容器１００は、前枠板１０に開口部１１が形成され、前枠板１０に蓋体２を取付けるフロントオープン型のものとするが、天板４０に開口部１１が形成され、蓋体２を取付けるトップオープン型、底板５０に開口部１１が形成され、蓋体２を取付けるボトムオープン型などであってもよい。ただし、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗを収納する場合は、容器本体１への挿入操作の行い易さから、フロントオープン型のものが好ましい。

一方、蓋体２は、容器本体１の開口部１１を閉鎖するように装着されるものである。この蓋体２に取付けられるパッキン３は、矩形枠状のもので、容器本体１の前枠板１０と蓋体２との間に配置され、蓋体２を容器本体１に装着した際に、前枠板１０の接触面１２と蓋体２とに密着することで、基板収納容器１００の気密性を確保し、基板収納容器１００への外部からの埃、湿気などの侵入を低減させる。

これら容器本体１及び蓋体２の材料としては、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、液晶ポリマー、環状ポリオレフィンなどを用いることができる。また、パッキン３の材料としては、シリコーンゴム、ニトリルゴム、フッ素ゴム、熱可塑性エラストマーなどの弾性体を用いることができる。

ところで、容器本体１の内側には、基板支持部材７１及び基板支持補助部材７２が配置されている。基板支持部材７１は、基板Ｗの載置及び前後の位置決めをする機能を有しており、左側板２０、右側板３０にそれぞれ２か所に配置されている。

基板支持部材７１は、複数の溝が高さ方向に形成された、いわゆる溝ティースで構成している。基板支持部材７１は、同じ高さの右側板３０側の２か所の溝、左側板２０側の２か所の溝で、収納された基板Ｗを載置する。

基板支持部材７１の材料は、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、液晶ポリマー、ポリカーボネートとポリブチレンテレフタレートとのアロイ樹脂、これらにシリコン粒子などの摺動剤が添加されたものなどを用いることができる。なお、基板支持部材７１の材料は、容器本体１と同様のものでも、異なるもの（容器本体１と溶着しない熱可塑性樹脂など）でもよい。

一方、基板支持補助部材７２は、背板６０に配置されている。この基板支持補助部材７２は、基板収納容器１００の搬送時など通常の状態では、基板Ｗに接触しないものであるが、落下などの強い衝撃が加わった際には、基板Ｗに接触して、大きく移動（振動）しないよう補助的に支持し、基板Ｗの破損を防止するように機能する。

基板支持補助部材７２の材料は、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、液晶ポリマー、環状ポリオレフィン、ポリカーボネートとポリブチレンテレフタレートとのアロイ樹脂、これらにシリコン粒子などの摺動剤が添加されたものなどを用いることができる。なお、基板支持補助部材７２の材料は、容器本体１と同様のものでも、異なるもの（容器本体１と溶着しない熱可塑性樹脂など）でも、熱可塑性エラストマーであってもよい。

そして、この基板収納容器１００に収納される基板Ｗは、例えば、シリコンウエハが挙げられるが、これに限られず、石英ウエハ、ガリウムヒ素ウエハなどであってもよい。

また、背板６０の左右両側の上方と下方には、係止部８１が、容器本体１にインサート成形により一体化されて４か所に形成されている。この係止部８１は、内部環境を改善する機能を奏する機能部材９０を脱着可能に取付け、固定されている。

機能部材９０は、本体９１と被係止部９２とを有している。本体９１は、上下に細長い箱状のものであり、少なくとも一つの面に複数のスリット９１０が形成されている。

本体９１の内部には、シート状又はペレット状の図示しない吸湿剤、ケミカル吸着剤の少なくとも１種を有している。ケミカル吸着剤は、例えば、有機ガス成分を吸着する有機ガス用吸着剤、酸性ガス成分を吸着する酸性ガス用吸着剤、及び、アルカリ性ガス成分を吸着するアルカリ性ガス用吸着剤の少なくとも１種から選択される。

被係止部９２は、本体９１の長手方向の両端に、突起として形成されているものである。くわしくは、被係止部９２は、本体９１の両端から長手方向に立ち上がり、その後屈曲して後方に曲がった板形状の突起として形成されている（図７（ｂ）及び（ｃ）参照）。

そして、機能部材９０は、図２（ａ）に示すように、スリット９１０が形成された面を前方に向け、被係止部９２を容器本体１の内側の上下に向かい合う係止部８１に着脱可能に固定されている。

つぎに、本発明に係る実施形態の基板収納容器１００の製造方法を、添付図面を参照して容器本体１について説明する。
図３は、基板収納容器１００の製造方法を示すフローチャートである。図４は、（ａ）係止部品８０を示す斜視図、（ｂ）底面側から見た斜視図である。図５は、（ａ）金型Ｍに係止部品８０をセットした状態の概略斜視図、（ｂ）インサート成形における熱可塑性樹脂Ｒの形状を示す斜視図である。図６は、（ａ）半製品Ｈを示す斜視図、（ｂ）係止部品８０を示す部分拡大斜視図である。図７は、（ａ）容器本体１の斜視図、（ｂ）機能部材９０を係止部８１に係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０を係止部８１に係合固定する様子を示す断面斜視図である。

基板収納容器１００の製造方法は、図３に示すように、係止部品形成工程Ｓ１（ステップ１）と、インサート成形工程Ｓ２（ステップ２）と、係合固定工程Ｓ３（ステップ３）と、を少なくとも含んでいる。なお、成形型を用いた樹脂成形に必要な、成形品の離型工程や突出し工程や、付加的に行われるバリを除去する整形工程などについては、説明を省略する。

係止部品形成工程Ｓ１では、図４に示すような、係止部８１と、容器本体１の一部を構成するベース部８２と、からなる係止部品８０を形成する。ベース部８２は、図１に示した容器本体１の背板６０と左側板２０又は右側板３０とで形成される内壁の角の一部を構成するように、略Ｌ字型の形状を有している。また、ベース部８２の内壁を構成する面には、係止開口８１０を有する係止部８１が形成されている。

係止部８１及びベース部８２は、インジェクション成形、圧縮成形などにより、容器本体１と熱溶着可能な熱可塑性樹脂、又は、容器本体１と同じ樹脂材料から形成されている。また、係止部８１とベース部８２とは、熱溶着可能な材料であれば異なる樹脂材料から形成されてもよい。

インサート成形工程Ｓ２では、図５（ａ）に示すように、係止部品８０を、係止開口８１０が上下方向に向くように、２点鎖線で簡略して示した金型Ｍの４か所に配置し、溶融した熱可塑性樹脂Ｒを加熱圧縮して金型Ｍに流し、容器本体１にインサート成形により一体化し、図６（ａ）に示すような半製品Ｈを製造する。

なお、図５（ｂ）は、熱可塑性樹脂Ｒが金型Ｍに流された状態のものを示している。また、図中では、係止部品８０が配置される部分Ｋは、空洞で示している。図６（ｂ）は、係止部品８０が左側板２０及び背板６０の内壁の一部を構成している状態を示している。

係合固定工程Ｓ３では、図７に示すように、機能部材９０の上方及び下方の被係止部９２を、半製品Ｈの対応する係止開口８１０にそれぞれ差し込み、係合固定する。

このようにして、内側に係止部８１を備えた容器本体１（基板収納容器１００）を製造することができる。

上述した基板収納容器１００の製造方法であれば、あらかじめ係止開口８１０を形成した係止部品８０を用いてインサート成形により容器本体１と一体化するために、アンダーカットが生じることがなく、容器本体１を成形する金型Ｍは、複雑化することがなく、簡単な構造となる。

ここで、係止部品８０の係止構造について、各種の変形例を説明する。

（変形例１）
図８は、（ａ）変形例１における容器本体１Ａの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ａを係止部８１Ａに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ａを係止部８１Ａに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例１は、係止部８１Ａ及び被係止部９２Ａの形状が実施形態と異なる以外は、実施形態と同様である。

変形例１では、係止部品８０Ａの係止部８１Ａは、実施形態における係止開口８１０の一方がふさがった矩形の凹部８１０Ａを有している。上方及び下方の係止部８１Ａの凹部８１０Ａは向かい合って開口している。一方、被係止部９２Ａは、機能部材９０Ａの両端から後方に延び、その後屈曲して上方に曲がった板形状の突起として形成されている。機能部材９０Ａは、両端の被係止部９２Ａが、係止部８１Ａの凹部８１０Ａに差し込まれて係合固定される。差し込む方向は実線矢印で示した。以下の変形例においても同様である。

（変形例２）
図９は、（ａ）変形例２における容器本体１Ｂの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ａを係止部８１Ｂに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ａを係止部８１Ｂに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例２は、係止部８１Ｂの形状が変形例１と異なる以外は、実施形態と同様であり、機能部材９０Ａは変形例１と同じものである。

変形例２の係止部８１Ｂの形状は、変形例１の係止部８１Ａの袋状の凹部８１０Ａの中央部を除いて、左右方向に分割した形状になっている。機能部材９０Ａは、両端の被係止部９２Ａが、係止部８１Ｂの分割された形状の係止部８１Ｂに差し込まれて係合固定される。

（変形例３）
図１０は、（ａ）変形例３における容器本体１Ｃの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ｃを係止部８１Ｃに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ｃを係止部８１Ｃに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例３は、係止部８１Ｃの形状及び被係止部９２Ｃの形状が実施形態と異なる以外は、実施形態と同様である。

変形例３の係止部８１Ｃの形状は、ベース部８２から前方に向かって立ち上がる先端が矢尻状の形状を有している。一方、機能部材９０Ｃの長手方向の両端の被係止部９２Ｃの形状が、前後方向に矩形の孔９２０Ｃを有する形状である。機能部材９０Ｃは、両端の被係止部９２Ｃの孔９２０Ｃに、係止部８１Ｃの矢尻状の先端が差し込まれて係合固定される。

（変形例４）
図１１は、（ａ）変形例４における容器本体１Ｄの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ｄを係止部８１Ｄに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ｄを係止部８１Ｄに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例４は、係止部品８０Ｄの形状及び機能部材９０Ｄの本体９１Ｄの形状が実施形態と異なる以外は、実施形態と同様である。

変形例４の係止部８１Ｄの形状は、ベース部８２から前方に立ち上がってＬ字型に上又は下に曲がって延びる板状である。一方、被係止部９２Ｄの形状は変形例２と同様で、左右方向の幅が若干広い。本体９１Ｄはその一面が容器本体１Ｄのコーナーの内壁に沿った形状をしている。機能部材９０Ｄは、両端の被係止部９２Ｄが、Ｌ字型の形状の係止部８１Ｄに差し込まれて係合固定される。ここで、機能部材９０Ｄの本体９１Ｄの形状が容器本体１Ｄの内壁のコーナーに沿った形状をしているので、機能部材９０Ｄが容器本体１Ｄの内壁のコーナーに接触して左右のずれが少なくなり、がたつきが抑えられる。

（変形例５）
図１２は、（ａ）変形例５における容器本体１Ｅの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ｅを係止部８１Ｅに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ｅを係止部８１Ｅに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例５は、係止部品８０Ｅの形状及び機能部材９０Ｅの形状が実施形態と異なり、機能部材９０Ｅが一つで背板６０の左右方向の中ほどに取付けられている以外は、実施形態と同様である。

変形例５は、機能部材９０Ｅが基板Ｗを後方で支える基板支持補助部材７２とは異なる第２の基板支持補助部材である。機能部材９０Ｅは、細長い略板形状の本体９１Ｅと本体９１Ｅの長手方向に基板Ｗの収納枚数に応じて凹部が上下に並んだ突起部９００Ｅを有している。また、本体９１Ｅの上端及び下端から左右方向へ延びる被係止部９２Ｅが凸部として形成されている。この機能部材９０Ｅは、熱可塑性エラストマーから形成されていてもよい。

係止部品８０Ｅは、背板６０の中央の上下に２つ設けられている。係止部品８０Ｅは、ベース部８２Ｅと係止部８１Ｅを備えている。係止部８１Ｅは、ベース部８２Ｅに左右方向に長い直方体の凸部を設け、その凸部に左右方向に延びる溝を形成した形状である。そして、上方の係止部８１Ｅの下の凸部の一部が欠け、下方の係止部８１Ｅの上の凸部の一部が欠けた形状である。機能部材９０Ｅは、被係止部９２Ｅが係止部８１Ｅの溝に差し込まれて係合固定される。

（変形例６）
図１３は、（ａ）変形例６における容器本体１Ｆの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ｆを係止部８１Ｆに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ｆを係止部８１Ｆに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例６は、係止部品８０Ｆの形状及び機能部材９０Ｆの形状が実施形態と異なり、係止部品８０Ｆ及び機能部材９０Ｆが左側板２０と右側板３０との前方に設けられている以外は、実施形態と同様である。

変形例６では、係止部品８０Ｆのベース部８２Ｆは、左側板２０と右側板３０の内壁の形状に合わせ、屈曲した形状を有している。係止部８１Ｆは、ベース部８２Ｆの両端から２つのかぎ状突起が向かい合って形成されている。また、機能部材９０Ｆは実施形態と同様の機能を有していて、被係止部９２Ｆの形状が異なる。機能部材９０Ｆの被係止部９２Ｆは、機能部材９０Ｆの両端から延びた板形状で、ベース部８２Ｆの形状に合わせた形状を有している。機能部材９０Ｆは、被係止部９２Ｆが係止部８１Ｆ２つのかぎ状突起に嵌め込まれて係合固定される。

（変形例７）
図１４は、（ａ）変形例７における容器本体１Ｇの斜視図、（ｂ）機能部材９０Ｇを係止部８１Ｆに係合固定する様子を示す斜視図、（ｃ）機能部材９０Ｇを係止部８１Ｆに係合固定する様子を示す断面斜視図である。変形例７は、機能部材９０Ｇの形状が実施形態と異なる以外は、変形例６と同様である。

変形例７では、機能部材９０Ｇが基板支持補助部材７２とは異なる第３の基板支持補助部材である。また、変形例６と同様の係止部８１Ｆを有する係止部品８０Ｆを備えている。機能部材９０Ｇは、本体９１Ｇの両端に変形例６と同様の被係止部９２Ｆを有し、本体９１Ｇには基板Ｗの収納枚数に応じて櫛歯状の細長い突起部９００Ｇが形成されている。そして、機能部材９０Ｇは、被係止部９２Ｇが係止部８１Ｆに嵌め込まれて係合固定される。このように機能部材９０Ｇを係止部品８０Ｆに係合することで、容器本体１に基板Ｗを移載しやすくなり、クロススロットなどの不具合の発生を抑制することができる。また、撓みやすい基板Ｗ、例えば厚さが５００μｍ以下の薄板を用いたものなどを容器本体１に収納するとき、機能部材９０Ｇでも基板Ｗを支持するため、基板Ｗの撓みや変形を抑制することができる。

以上、変形例によれば、種々の機能部材９０Ａ〜９０Ｇに対しても、上記実施形態と同様の効果が得られる。

（その他の変形例）
係止部８１は、容器本体１の少なくとも１か所にインサート成形により一体化されていてもよい。実施形態では、４か所に、変形例５では、２か所にインサート成形により一体化されているが、これらの数及び位置に限らない。
また、機能部材９０の形状及びスリット９１０の数は、実施形態及び変形例に示したものに限らない。さらに、被係止部９２は、機能部材９０の端部以外に形成されていてもよい。

あるいは、上記実施形態及び変形例では、基板支持部材７１及び基板支持補助部材７２は、容器本体１と一体に形成されていたが、これら基板支持部材７１及び基板支持補助部材７２を、基板Ｗを支持する機能を奏する機能部材としてもよい。つまり、上記実施形態の基板支持部材７１又は基板支持補助部材７２の少なくとも一方を、被係止部を有する機能部材として構成し、容器本体１の係止部に対して着脱可能に固定してもよい。このとき、係止部及び被係止部の形状は、実施形態及び変形例に示した係止部８１，８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃ，８１Ｄ，８１Ｅ，８１Ｆ及び被係止部９２，９２Ａ，９２Ｃ，９２Ｄ，９２Ｅ，９２Ｆの形状を用いてもよいし、適宜組み合わせてもよいし、その他の係止形状を用いてもよい。

上記実施形態及び変形例では、容器本体１の内側に係止部８１を形成し、機能部材９０を係止固定したが、容器本体１の外側に係止部８１を形成し、手持ち用ハンドル、基板収納容器用識別部材などの機能部材９０を係止固定してもよい。

以上、本発明の好ましい実施形態及び変形例について詳述したが、本発明は上述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ 容器本体
２ 蓋体
３ パッキン
１０ 前枠板、１１ 開口部、１２ 接触面
２０ 左側板
３０ 右側板
４０ 天板
５０ 底板
６０ 背板
７１ 基板支持部材
７２ 基板支持補助部材
８０，８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃ，８０Ｄ，８０Ｅ，８０Ｆ 係止部品、８１，８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃ，８１Ｄ，８１Ｅ，８１Ｆ 係止部、８２，８２Ｅ，８２Ｆ ベース部、８１０ 係止開口、８１０Ａ 凹部
９０，９０Ａ，９０Ｃ，９０Ｄ，９０Ｅ，９０Ｆ，９０Ｇ 機能部材、９１，９１Ｄ，９１Ｅ 本体、９２，９２Ａ，９２Ｃ，９２Ｄ，９２Ｅ，９２Ｆ 被係止部、９００Ｅ，９００Ｇ 突起部、９１０ スリット、９２０Ｃ 孔
１００ 基板収納容器
Ｈ 半製品
Ｍ 金型
Ｒ 熱可塑性樹脂
Ｗ 基板

Claims (9)

1. 前面に開口部を有する容器本体と、
   前記開口部を閉鎖する蓋体と、
   被係止部を有する機能部材と、
   前記機能部材を前記容器本体に固定する係止部と、を備える基板収納容器において、
   前記係止部は、前記容器本体にインサート成形されており、
   前記機能部材の前記被係止部は、前記係止部に対して着脱可能に固定されている
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記係止部は、前記容器本体の少なくとも１か所にインサート成形されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記係止部は、前記容器本体と溶着可能な熱可塑性樹脂から形成されている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
4. 前記機能部材は、吸湿剤、ケミカル吸着剤の少なくとも１種を有する
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
5. 前記ケミカル吸着剤は、有機ガス成分を吸着する有機ガス用吸着剤、酸性ガス成分を吸着する酸性ガス用吸着剤、及び、アルカリ性ガス成分を吸着するアルカリ性ガス用吸着剤の少なくとも１種からなる
   ことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
6. 前記機能部材は、基板を支持する基板支持部材又は基板支持補助部材の少なくとも１種である
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
7. 前記基板支持部材は、前記容器本体と溶着しない熱可塑性樹脂から形成されている
   ことを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。
8. 前記基板支持補助部材は、熱可塑性エラストマーから形成されている
   ことを特徴とする請求項６に記載の基板収納容器。
9. 前面に開口部を有する容器本体と、
   前記開口部を閉鎖する蓋体と、
   被係止部を有する機能部材と、
   前記機能部材を前記容器本体に固定する係止部と、を備え、
   前記機能部材の前記被係止部が、前記係止部に着脱可能に固定されている基板収納容器の製造方法において、
   前記係止部と、前記容器本体の一部を構成するベース部と、からなる係止部品を形成する工程と、
   前記係止部品を、金型に配置し、溶融した熱可塑性樹脂を加熱圧縮して前記容器本体との半製品をインサート成形する工程と、
   前記機能部材の前記被係止部を、前記半製品の前記係止部に係合固定する工程と、を含む
   ことを特徴とする基板収納容器の製造方法。

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