JP2018120746A - Chuck device and chuck method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for chucking sheets properly.SOLUTION: A chuck device 100 according to the present invention having a chuck surface 11 includes a hand 10 for chucking a seat 70 placed on a placement surface 51, a rotation mechanism 21 rotatably holding the hand 10 such that an angle of the chuck surface 11 with respect to the placement surface 51 is a predetermined angle before the hand 10 contacts the seat 70 and rotatably holding the hand 10 such that the predetermined angle decreases after the hand 10 has contacted the seat 70, and an elevating mechanism 22 for lowering the hand 10 such that the hand 10 chucks one end side of the seat 70 in a state where the angle of the chuck surface 11 with respect to the placement surface 51 is kept at the predetermined angle.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、シートをチャックするための技術に関する。   The present invention relates to a technique for chucking a sheet.

特許文献１には、シートと基板とを貼り合せる装置が開示されている。特許文献１の装置は、基板を保持する基板保持器と、シートを保持するシート保持器と、を備えている。そして、基板保持器と、シート保持器とを移動することで、シートを基板に貼り合せている。さらに、特許文献１の装置は、基板とシートとをニップする弾性ローラを備えている。したがって、特許文献１の装置によれば、気泡無くシートを基板に貼り合せることができる。   Patent Document 1 discloses an apparatus for bonding a sheet and a substrate. The apparatus of Patent Document 1 includes a substrate holder that holds a substrate and a sheet holder that holds a sheet. Then, the sheet is bonded to the substrate by moving the substrate holder and the sheet holder. Furthermore, the apparatus of Patent Document 1 includes an elastic roller that nips a substrate and a sheet. Therefore, according to the apparatus of Patent Document 1, the sheet can be bonded to the substrate without bubbles.

特開２００４−１４６０２７号公報JP 2004-146027 A

しかしながら、特許文献１の装置では、装置構成が大型化、複雑化してしまうという問題点がある。例えば、基板保持器、シート保持器、及び弾性ローラを駆動するための機構が必要となる。したがって、装置を簡素な構成とすることが困難である。   However, the apparatus of Patent Document 1 has a problem that the apparatus configuration becomes large and complicated. For example, a mechanism for driving the substrate holder, the sheet holder, and the elastic roller is required. Therefore, it is difficult to make the apparatus simple.

このようなシートの製造プロセス中において、気泡が発生した状態でシートがチャックされると、適切に後のプロセスを施すことができなくなってしまうという問題がある。したがって、気泡が発生することなく、シートを適切のチャックすることが望まれる。   In such a sheet manufacturing process, if the sheet is chucked in a state where bubbles are generated, there is a problem that the subsequent process cannot be appropriately performed. Therefore, it is desired to properly chuck the sheet without generating bubbles.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成で、シートを適切にチャックする技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique for appropriately chucking a sheet with a simple configuration.

本実施形態の一態様に係るチャック装置は、チャック面を有し、載置面に載置されているシートをチャックするハンドと、前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持し、且つ、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記所定の角度が減少するように前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、前記載置面に対する前記チャック面の角度が前記所定の角度に保たれた状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させる昇降機構と、を備えたものである。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。   A chuck device according to an aspect of the present embodiment has a chuck surface, a hand for chucking a sheet placed on the placement surface, and the placement surface before the hand contacts the sheet. Rotation that holds the hand so that the angle of the chuck surface becomes a predetermined angle, and holds the hand rotatably so that the predetermined angle decreases after the hand contacts the sheet. A holding mechanism and a lifting mechanism for lowering the hand so that the hand chucks one end side of the sheet in a state where the angle of the chuck surface with respect to the mounting surface is maintained at the predetermined angle. It is provided. Thereby, a sheet | seat can be chucked appropriately with a simple structure.

上記のチャック装置は、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御する制御部をさらに備えていてもよい。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。   The chuck device is configured to reduce the predetermined angle while lowering the hand after the hand contacts the sheet so that the chuck surface approaches the other end side of the sheet. And a control unit for controlling the elevating mechanism. Thereby, a sheet | seat can be chucked appropriately with a simple structure.

上記のチャック装置において、前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることが好ましい。これにより、シートをより適切にチャックすることができる。   In the chuck device described above, it is preferable that an air hole for releasing air between the sheet and the chuck surface is provided in the hand. Thereby, a sheet | seat can be chucked more appropriately.

上記のチャック装置において、前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックするものであってもよい。これにより、狭いスペースにハンドを挿入することができる。   In the above chuck device, the hand may chuck the sheet by an electrostatic chuck. Thereby, a hand can be inserted in a narrow space.

本実施形態の一態様に係るチャック方法は、チャック面を有し、載置面に載置されたシートをチャックするハンドと、前記載置面に対する前記チャック面の角度を変えるよう、前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、前記ハンドを下降させる昇降機構と、を備えたチャック装置を用いたチャック方法であって、前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持するステップと、前記載置面に対して前記チャック面が前記所定の角度になっている状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させるステップと前記ハンドが前記シートの一端側に接触した後において、前記ハンドが回転することで前記所定の角度が減少するステップと、を備えたものである。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。   A chuck method according to an aspect of the present embodiment includes a hand having a chuck surface and chucking a sheet placed on the placement surface, and the hand so as to change an angle of the chuck surface with respect to the placement surface. A chuck method using a chuck device comprising: a rotation holding mechanism that holds the hand in a rotatable manner; and an elevating mechanism that lowers the hand, wherein the hand is in contact with the seat before the hand is in contact with the seat. Holding the hand so that the angle of the chuck surface becomes a predetermined angle, and the hand is at one end side of the sheet in a state where the chuck surface is at the predetermined angle with respect to the mounting surface The hand is lowered so as to chuck the sheet, and after the hand contacts the one end side of the sheet, the hand rotates to In which degree is provided with a step of decreasing. Thereby, a sheet | seat can be chucked appropriately with a simple structure.

上記のチャック方法において、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御するようにしてもよい。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。   In the chucking method, after the hand contacts the sheet, the rotation holding mechanism is configured such that the predetermined angle is decreased while the hand is lowered and the chuck surface approaches the other end side of the sheet. And the elevating mechanism may be controlled. Thereby, a sheet | seat can be chucked appropriately with a simple structure.

上記のチャック方法において、前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることが好ましい。これにより、シートをより適切にチャックすることができる。   In the above chucking method, it is preferable that an air hole for releasing air between the sheet and the chuck surface is provided in the hand. Thereby, a sheet | seat can be chucked more appropriately.

上記のチャック方法において、前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックするものであってもよい。これにより、狭いスペースにハンドを挿入することができる。   In the above chucking method, the hand may chuck the sheet by an electrostatic chuck. Thereby, a hand can be inserted in a narrow space.

本発明によれば、簡素な構成で、シートを適切にチャックする技術を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a technique for appropriately chucking a sheet with a simple configuration.

実施の形態１にかかるチャック装置の構成を示すＸＺ平面図である。3 is an XZ plan view showing the configuration of the chuck device according to the first embodiment; FIG. 実施の形態１にかかるチャック装置の構成を示すＹＺ平面図である。1 is a YZ plan view showing a configuration of a chuck device according to a first embodiment; 実施の形態１にかかるチャック装置のハンドの構成を示すＸＹ平面図である。3 is an XY plan view showing the configuration of the hand of the chuck device according to the first embodiment; FIG. 実施の形態１にかかるチャック装置の動作を示すＸＺ平面図である。FIG. 6 is an XZ plan view showing the operation of the chuck device according to the first exemplary embodiment. 実施の形態１にかかるチャック装置の動作を示すＸＺ平面図である。FIG. 6 is an XZ plan view showing the operation of the chuck device according to the first exemplary embodiment. 実施の形態１にかかるチャック装置の動作を示すＸＺ平面図である。FIG. 6 is an XZ plan view showing the operation of the chuck device according to the first exemplary embodiment. 空気穴を有するハンドの構成を示すＸＹ平面図である。It is XY top view which shows the structure of the hand which has an air hole. 実施の形態２にかかるチャック装置の動作を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view illustrating an operation of the chuck device according to the second embodiment. 実施の形態２にかかるチャック装置の構成を示すＸＺ平面図である。FIG. 5 is an XZ plan view showing a configuration of a chuck device according to a second embodiment. 実施の形態３にかかるチャック装置の構成を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view illustrating a configuration of a chuck device according to a third embodiment.

以下、本発明の実施形態の一例について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施形態を示すものであって、本発明の技術的範囲が以下の実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The following description shows preferred embodiments of the present invention, and the technical scope of the present invention is not limited to the following embodiments.

実施の形態１．
本実施の形態にかかるチャック装置は、シート状デバイスであるシート状二次電池をチャックする。以下、本実施の形態にかかるチャック装置について、図１〜図３を参照して説明する。なお、説明の明確化のため、図にはＸＹＺ３次元直交座標系が示されている。Ｚ方向は、鉛直方向となり、ＸＹ平面は水平面方向となる。シート７０はＸＹ平面と平行になっている。図１は、チャック装置１００の構成を示すＸＺ平面図である。図２は、チャック装置１００の構成を示すＹＺ平面図である。図３は、チャック装置１００のハンド１０の構成を示すＸＹ平面図である。なお、正方形状のシート７０の端辺は、Ｘ方向、及びＹ方向と平行になるように載置されている。 Embodiment 1 FIG.
The chuck device according to the present embodiment chucks a sheet-like secondary battery that is a sheet-like device. Hereinafter, the chuck device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. For clarity of explanation, an XYZ three-dimensional orthogonal coordinate system is shown in the figure. The Z direction is the vertical direction, and the XY plane is the horizontal plane direction. The sheet 70 is parallel to the XY plane. FIG. 1 is an XZ plan view showing the configuration of the chuck device 100. FIG. 2 is a YZ plan view showing the configuration of the chuck device 100. FIG. 3 is an XY plan view showing the configuration of the hand 10 of the chuck device 100. Note that the edge of the square sheet 70 is placed so as to be parallel to the X direction and the Y direction.

チャック装置１００は、ハンド１０と、アーム機構２０とを備えている。また、チャック対象となるシート７０は、ステージ５０の上に載置されている。ステージ５０の載置面５１は、ＸＹ平面と平行になっている。よって、シート７０は、ＸＹ平面と平行な状態で、ステージ５０の上に配置されている。シート７０は、基材シート上に設けられた充電層等を有している。基材シートには、アルミニウムなどの金属材料が用いられる。   The chuck device 100 includes a hand 10 and an arm mechanism 20. The sheet 70 to be chucked is placed on the stage 50. The placement surface 51 of the stage 50 is parallel to the XY plane. Therefore, the sheet 70 is disposed on the stage 50 in a state parallel to the XY plane. The sheet 70 has a charging layer or the like provided on the base sheet. A metal material such as aluminum is used for the base sheet.

ハンド１０は、載置面５１に載置されているシート７０をチャックする。したがって、ハンド１０の下面がチャック面１１となっている。チャック面１１は平面となっている。例えば、ハンド１０は、平行平板型の部材である。   The hand 10 chucks the sheet 70 placed on the placement surface 51. Therefore, the lower surface of the hand 10 is the chuck surface 11. The chuck surface 11 is a flat surface. For example, the hand 10 is a parallel plate type member.

具体的には、ハンド１０は、静電チャック、又は真空チャックによりシート７０をチャックする。静電チャックの場合に、ハンド１０は、セラミックと、電極とを有している。セラミックに内蔵された電極に電圧が印可されることで、シート７０をチャックするためのクーロン力が発生する。真空チャックの場合、チャック面１１に設けられた吸着穴内の空気を排気することで、シート７０が吸着される。なお、静電チャックを用いた場合、真空チャックを用いた場合よりもハンド１０を薄くすることができる。よって、静電チャックを用いた場合、より狭いスペースにハンド１０を挿入することができる。   Specifically, the hand 10 chucks the sheet 70 by an electrostatic chuck or a vacuum chuck. In the case of an electrostatic chuck, the hand 10 has a ceramic and an electrode. When a voltage is applied to the electrode built in the ceramic, a Coulomb force for chucking the sheet 70 is generated. In the case of a vacuum chuck, the sheet 70 is adsorbed by exhausting the air in the adsorption holes provided in the chuck surface 11. When the electrostatic chuck is used, the hand 10 can be made thinner than when the vacuum chuck is used. Therefore, when the electrostatic chuck is used, the hand 10 can be inserted in a narrower space.

ここでは、ハンド１０に静電チャックを用いた一例について説明する。シート７０は、３００ｍｍ×３００ｍｍの正方形となっている。図３に示すように、ハンド１０の静電チャック範囲は３１０ｍｍ×３１０ｍｍの正方形となっている。よって、チャック面１１は、シート７０よりも大きくなっている。   Here, an example in which an electrostatic chuck is used for the hand 10 will be described. The sheet 70 is a square of 300 mm × 300 mm. As shown in FIG. 3, the electrostatic chuck range of the hand 10 is a square of 310 mm × 310 mm. Therefore, the chuck surface 11 is larger than the sheet 70.

アーム機構２０は、例えば、ハンド１０を動作させるためのロボットアームである。アーム機構２０は、ハンド１０を移動可能に保持している。アーム機構２０は、ハンド１０をステージ５０の上方に保持している。アーム機構２０は、回転機構２１と、昇降機構２２と、制御部２５と、を備えている。   The arm mechanism 20 is, for example, a robot arm for operating the hand 10. The arm mechanism 20 holds the hand 10 so as to be movable. The arm mechanism 20 holds the hand 10 above the stage 50. The arm mechanism 20 includes a rotation mechanism 21, an elevating mechanism 22, and a control unit 25.

回転機構２１は、ハンド１０の上面に取り付けられている。回転機構２１はハンド１０を保持している。回転機構２１は、モータなどのアクチュエータ２１ａを有している。回転機構２１の回転軸は、Ｙ方向と平行になっている。すなわち、回転機構２１の回転軸は、シート７０の端辺と平行になっている。アクチュエータ２１ａが駆動することで、ハンド１０がＹ軸周りに回転する。回転機構２１が駆動することで、ハンド１０のチャック面１１の傾きが変化する。回転機構２１は、シート７０に対するチャック面１１の傾きを変えるよう、ハンド１０を回転させる。   The rotation mechanism 21 is attached to the upper surface of the hand 10. The rotation mechanism 21 holds the hand 10. The rotation mechanism 21 has an actuator 21a such as a motor. The rotation axis of the rotation mechanism 21 is parallel to the Y direction. That is, the rotation axis of the rotation mechanism 21 is parallel to the end side of the sheet 70. When the actuator 21a is driven, the hand 10 rotates around the Y axis. When the rotation mechanism 21 is driven, the inclination of the chuck surface 11 of the hand 10 changes. The rotation mechanism 21 rotates the hand 10 so as to change the inclination of the chuck surface 11 with respect to the sheet 70.

昇降機構２２は、ハンド１０を昇降させる。昇降機構２２は、モータ等のアクチュエータ２２ａを備えている。昇降機構２２は、回転機構２１を保持している。アクチュエータ２２ａが駆動することで、回転機構２１が上下方向（Ｚ方向）に移動する。これにより、ハンド１０を上下方向に移動させることができる。   The lifting mechanism 22 moves the hand 10 up and down. The lifting mechanism 22 includes an actuator 22a such as a motor. The elevating mechanism 22 holds the rotating mechanism 21. When the actuator 22a is driven, the rotation mechanism 21 moves in the vertical direction (Z direction). Thereby, the hand 10 can be moved up and down.

制御部２５は、プロセッサやメモリなどを有しており、回転機構２１と昇降機構２２とを制御する。例えば、制御部２５は、アクチュエータ２１ａ、及ぶアクチュエータ２２ａを駆動するための駆動信号を生成する。アクチュエータ２１ａ、及びアクチュエータ２２ａは、サーボモータなどであり、制御部２５からの駆動信号に応じた駆動量で駆動する。これにより、回転機構２１の回転量と、昇降機構２２の移動量を制御することができる。すなわち、制御部２５は、ハンド１０のチャック面１１の角度と、ハンド１０のＺ方向位置とを制御することができる。   The control unit 25 includes a processor, a memory, and the like, and controls the rotation mechanism 21 and the lifting mechanism 22. For example, the control unit 25 generates a drive signal for driving the actuator 21a and the actuator 22a. The actuators 21a and 22a are servo motors or the like, and are driven with a drive amount corresponding to a drive signal from the control unit 25. Thereby, the rotation amount of the rotation mechanism 21 and the movement amount of the elevating mechanism 22 can be controlled. That is, the control unit 25 can control the angle of the chuck surface 11 of the hand 10 and the position of the hand 10 in the Z direction.

次に、チャック装置１００を用いたチャック方法について、図１、図４〜図６を参照して説明する。図１、図４〜図６は、チャック装置１００の動作を説明するためのＸＺ平面図である。なお、以下に説明するチャック装置１００の回転機構２１、及び昇降機構２２の動作は、制御部２５によって制御される。   Next, a chucking method using the chuck device 100 will be described with reference to FIGS. 1 and 4 to 6. 1 and 4 to 6 are XZ plan views for explaining the operation of the chuck device 100. FIG. The operations of the rotation mechanism 21 and the lifting mechanism 22 of the chuck device 100 described below are controlled by the control unit 25.

図１は、ハンド１０がチャックを開始する前の待機位置にある状態を示している。図１に示すように、チャック開始前の状態では、ハンド１０がシート７０と接触していない。すなわち、ハンド１０は、シート７０の上方に離間して配置されている。また、シート７０に対してチャック面１１が傾いている。具体的には、シート７０の一端側（−Ｘ側）では、シート７０の他端側（＋Ｘ側）よりも、Ｚ方向におけるシート７０とチャック面１１との距離が小さくなっている。つまり、チャック面１１が載置面５１に対して所定の角度を有している。なお、本実施の形態において、シート７０の−Ｘ側の端部をシート７０の一端とし、シート７０の＋Ｘ側の端部をシート７０の他端とする。シート７０の一端は、他端よりもチャック面１１に近くなっている。   FIG. 1 shows a state where the hand 10 is in a standby position before starting chucking. As shown in FIG. 1, the hand 10 is not in contact with the sheet 70 before the chuck is started. That is, the hand 10 is disposed above the seat 70 so as to be spaced apart. Further, the chuck surface 11 is inclined with respect to the sheet 70. Specifically, the distance between the sheet 70 and the chuck surface 11 in the Z direction is smaller on one end side (−X side) of the sheet 70 than on the other end side (+ X side) of the sheet 70. That is, the chuck surface 11 has a predetermined angle with respect to the mounting surface 51. In the present embodiment, the end portion on the −X side of the sheet 70 is one end of the sheet 70, and the end portion on the + X side of the sheet 70 is the other end of the sheet 70. One end of the sheet 70 is closer to the chuck surface 11 than the other end.

図１に示す状態から、昇降機構２２がハンド１０を下降させていくと、図４に示す状態となる。図４は、ハンド１０が下降している下降中の状態を示している。図４では、図１と同様に、チャック面１１がシート７０に対して傾いている。すなわち、シート７０に対してチャック面１１が傾いた状態で、昇降機構２２がハンド１０を下降させていく。   When the lifting mechanism 22 lowers the hand 10 from the state shown in FIG. 1, the state shown in FIG. 4 is obtained. FIG. 4 shows a state where the hand 10 is descending. In FIG. 4, the chuck surface 11 is inclined with respect to the sheet 70 as in FIG. 1. That is, the lifting mechanism 22 lowers the hand 10 while the chuck surface 11 is inclined with respect to the sheet 70.

ハンド１０とシート７０とが接近した部分からチャックが開始される。ハンド１０がシート７０の一端側を他端側よりも早くチャックする。図４では、ハンド１０がシート７０の一端側のみをチャックしており、他端側をチャックしていない。シート７０の一端では、他端よりもシート７０とチャック面１１との距離が短いため、静電チャックのクーロン力によってシート７０の一端側のみがチャックされる。チャック開始時点では、シート７０の一端側がチャック面１１と接触しており、他端側は接触していない。したがって、シート７０は、チャック面１１の傾きの減少に伴って、載置面５１に載置されていた状態から、一端側を徐々に変形させながらハンド１０にチャックされる。   Chucking is started from a portion where the hand 10 and the sheet 70 approach each other. The hand 10 chucks one end side of the sheet 70 earlier than the other end side. In FIG. 4, the hand 10 chucks only one end side of the sheet 70 and does not chuck the other end side. At one end of the sheet 70, since the distance between the sheet 70 and the chuck surface 11 is shorter than the other end, only one end side of the sheet 70 is chucked by the Coulomb force of the electrostatic chuck. At the start of chucking, one end side of the sheet 70 is in contact with the chuck surface 11 and the other end side is not in contact. Therefore, as the inclination of the chuck surface 11 decreases, the sheet 70 is chucked by the hand 10 while gradually deforming one end side from the state of being placed on the placement surface 51.

このように、シート７０に対してチャック面１１が傾いた状態でハンド１０がシート７０の一端側をチャックするように、昇降機構２２がハンド１０を下降させる。なお、図１から図４までの間、回転機構２１の回転角は、変化せず一定となっている。   In this way, the lifting mechanism 22 lowers the hand 10 so that the hand 10 chucks one end side of the sheet 70 with the chuck surface 11 tilted with respect to the sheet 70. In addition, the rotation angle of the rotation mechanism 21 is constant without changing between FIGS.

そして、図４に示す状態となったら、制御部２５がハンド１０を下降させながら、チャック面１１の傾きを変えて、チャック面１１がシート７０の他端側と近づくように、回転機構２１、及び昇降機構２２を制御する。具体的には、昇降機構２２による下降と、回転機構２１による回転とが同期して行われるように、制御部２５が、アクチュエータ２１ａ、及びアクチュエータ２２ａを制御する。これにより、ハンド１０が矢印Ｂの方向に下降中に、シート７０の他端側がチャック面１１に近づくように、ハンド１０が矢印Ａの方向に回転する。   Then, when the state shown in FIG. 4 is reached, the control unit 25 changes the inclination of the chuck surface 11 while lowering the hand 10, so that the chuck surface 11 approaches the other end side of the sheet 70, And the lifting mechanism 22 is controlled. Specifically, the control unit 25 controls the actuator 21a and the actuator 22a so that the lowering by the elevating mechanism 22 and the rotation by the rotating mechanism 21 are performed in synchronization. As a result, while the hand 10 is descending in the direction of arrow B, the hand 10 rotates in the direction of arrow A so that the other end side of the sheet 70 approaches the chuck surface 11.

図５に示すように、チャック面１１がＸＹ平面と平行になるまで、回転機構２１がハンド１０を回転させる。図５は、ハンド１０の下降が終了した状態を示している。チャック面１１が水平になるまで回転機構２１がハンド１０を回転させる。そして、チャック面１１が水平になるタイミングで昇降機構２２によるハンド１０の下降が終了する。これにより、チャック面１１がステージ５０の載置面５１と平行になり、ハンド１０がシート７０の全体をチャックする。なお、アクチュエータ２１ａの回転量が大きくなり過ぎないようにメカストッパを回転機構２１に設けてもよい。   As shown in FIG. 5, the rotating mechanism 21 rotates the hand 10 until the chuck surface 11 is parallel to the XY plane. FIG. 5 shows a state where the lowering of the hand 10 is finished. The rotating mechanism 21 rotates the hand 10 until the chuck surface 11 becomes horizontal. And the descent | fall of the hand 10 by the raising / lowering mechanism 22 is complete | finished at the timing when the chuck | zipper surface 11 becomes horizontal. As a result, the chuck surface 11 becomes parallel to the placement surface 51 of the stage 50, and the hand 10 chucks the entire sheet 70. A mechanical stopper may be provided in the rotation mechanism 21 so that the rotation amount of the actuator 21a does not become too large.

このように、ハンド１０の下降中に、回転機構２１がチャック面１１の傾きを徐々に変化させている。よって、シート７０の一端から他端に向けて、ハンド１０が徐々にシート７０をチャックしていく。このようにすることで、シート７０のチャック時に、シート７０とチャック面１１との間の空気を、シート７０の他端側から逃がすことができる。シート７０とチャック面１１との間に気泡が発生するのを防ぐことができる。よって、シート７０にしわを発生させることなく、ハンド１０がシート７０をチャックすることができる。また、チャック面１１がステージ５０の載置面５１と平行であるため、シート７０は平坦にチャックされる。   Thus, the rotating mechanism 21 gradually changes the inclination of the chuck surface 11 while the hand 10 is being lowered. Therefore, the hand 10 gradually chucks the sheet 70 from one end of the sheet 70 toward the other end. By doing so, air between the sheet 70 and the chuck surface 11 can be released from the other end side of the sheet 70 when the sheet 70 is chucked. It is possible to prevent bubbles from being generated between the sheet 70 and the chuck surface 11. Therefore, the hand 10 can chuck the sheet 70 without generating wrinkles on the sheet 70. Further, since the chuck surface 11 is parallel to the placement surface 51 of the stage 50, the sheet 70 is chucked flat.

ハンド１０がシート７０の全体をチャックしたら、図６に示すように、昇降機構２２がハンド１０を上昇させる。すなわち、ハンド１０がステージ５０から離れていく。なお、ハンド１０がステージ５０から離れていく際に、回転機構２１がハンド１０を回転させることで、チャック面１１が元の傾きに戻る。すなわち、図６に示す状態では、チャック面１１が図１に示したチャック面１１と平行になっている。なお、ハンド１０がシート７０をチャックした後のチャック面１１の傾きは特に限定されるものではない。   When the hand 10 chucks the entire sheet 70, the lifting mechanism 22 raises the hand 10 as shown in FIG. That is, the hand 10 moves away from the stage 50. When the hand 10 moves away from the stage 50, the rotation mechanism 21 rotates the hand 10 so that the chuck surface 11 returns to the original inclination. That is, in the state shown in FIG. 6, the chuck surface 11 is parallel to the chuck surface 11 shown in FIG. The inclination of the chuck surface 11 after the hand 10 chucks the sheet 70 is not particularly limited.

これにより、シート７０とチャック面１１との間に気泡が発生するのを防ぐことができる。シート７０にしわが残らなくなり、歩留まり向上を図ることできる。よって、簡素な構成で、しわを発生させることなく、チャック装置１００がシート７０をハンドリングすることができる。   Thereby, it is possible to prevent bubbles from being generated between the sheet 70 and the chuck surface 11. No wrinkles remain on the sheet 70, and the yield can be improved. Therefore, the chuck device 100 can handle the sheet 70 with a simple configuration without generating wrinkles.

シート７０に次のプロセスを施すため、アーム機構２０は、別の装置（図示省略）にシート７０を搬送する。別の装置では、シート７０に気泡が発生していない状態でプロセスを施すことができるため、シート７０に対する処理を適切に施すことができる。   In order to perform the following process on the sheet 70, the arm mechanism 20 conveys the sheet 70 to another apparatus (not shown). In another apparatus, since the process can be performed in a state where no bubbles are generated in the sheet 70, the process for the sheet 70 can be appropriately performed.

また、回転機構２１の回転軸がＹ方向に沿って配置されている。回転機構２１の回転軸がチャック前のシート７０と平行になっている。よって、回転機構２１が回転することで、シート７０の−Ｘ側の端辺から、＋Ｘ側の端辺に向けて、シート７０が徐々にチャックされていく。したがって、シート７０とチャック面１１との間に気泡が発生するのをより効果的に、防ぐことができる。   The rotation axis of the rotation mechanism 21 is arranged along the Y direction. The rotation axis of the rotation mechanism 21 is parallel to the sheet 70 before chucking. Therefore, the rotation of the rotation mechanism 21 causes the sheet 70 to be gradually chucked from the −X side end side of the sheet 70 toward the + X side end side. Accordingly, it is possible to more effectively prevent bubbles from being generated between the sheet 70 and the chuck surface 11.

さらに、チャック面１１とシート７０との間の空気を逃がすための空気穴をハンド１０に設けるようにしてもよい。図７に、空気穴１２を有するハンド１０の構成の一例を示す。図７は、ハンド１０のチャック範囲を模式的に示すＸＹ平面図である。   Further, an air hole for releasing air between the chuck surface 11 and the sheet 70 may be provided in the hand 10. FIG. 7 shows an example of the configuration of the hand 10 having the air holes 12. FIG. 7 is an XY plan view schematically showing the chuck range of the hand 10.

ハンド１０には、一定間隔で空気穴１２が設けられている。空気穴１２は、ハンド１０を貫通穴である。ここでは、Ｘ方向、及ぶＹ方向に空気穴１２が３０ｍｍピッチで配置されている。Ｘ方向に１０個、Ｙ方向に１０個の空気穴がアレイ状に配列されている。空気穴１２の直径は１ｍｍである。また、ハンド１０には、２つの電極穴１３が設けられている。静電チャックのチャック電極に接続するために設けられている。電極穴１３は、空気穴１２と重ならない位置に配置されている。   The hand 10 is provided with air holes 12 at regular intervals. The air hole 12 is a through hole in the hand 10. Here, the air holes 12 are arranged at a pitch of 30 mm in the X direction and the Y direction. Ten air holes in the X direction and ten air holes in the Y direction are arranged in an array. The diameter of the air hole 12 is 1 mm. The hand 10 is provided with two electrode holes 13. It is provided to connect to the chuck electrode of the electrostatic chuck. The electrode hole 13 is disposed at a position that does not overlap the air hole 12.

このように、ハンド１０に空気を逃がすための空気穴１２を設けることで、気泡が発生するのを効果的に防ぐことができる。よって、より適切にシート７０をチャックすることが可能となる。   Thus, by providing the air hole 12 for letting air escape in the hand 10, it can prevent effectively that a bubble generate | occur | produces. Therefore, the sheet 70 can be chucked more appropriately.

さらに、本実施の形態において、回転機構２１の回転軸は駆動軸ではなく、従動軸となっていてもよい。すなわち、回転機構２１にはアクチュエータ２１ａが設けられいなくてもよく。この場合、回転機構２１は、ハンド１０がシート７０に接触する前において、ハンド１０を所定の角度に保持する回転保持機構となり、ハンド１０に外力が加わった場合に、ハンド１０がＹ軸周りに回転する。制御部２５は、昇降機構２２のみを制御して、回転機構２１を制御する必要がなくなる。すなわち、制御部２５は、昇降機構２２のみをストロークで昇降させればよい。   Furthermore, in the present embodiment, the rotating shaft of the rotating mechanism 21 may be a driven shaft instead of a driving shaft. That is, the rotation mechanism 21 does not need to be provided with the actuator 21a. In this case, the rotation mechanism 21 is a rotation holding mechanism that holds the hand 10 at a predetermined angle before the hand 10 contacts the sheet 70. When an external force is applied to the hand 10, the hand 10 moves around the Y axis. Rotate. The control unit 25 controls only the lifting mechanism 22 and does not need to control the rotating mechanism 21. That is, the control part 25 should just raise / lower only the raising / lowering mechanism 22 with a stroke.

具体的には、回転機構２１は、ハンド１０がシート７０に接触する前では、載置面５１に対するチャック面１１の角度が所定の角度となるようにハンド１０を保持する。すなわち、ハンド１０がシート７０に接触する前では、載置面５１とチャック面１１との間の角度が０度ではない所定の角度になっている。そして、昇降機構２２がハンド１０を下降させていき、ハンド１０がシート７０に接触すると、ハンド１０の下降に応じて、チャック面１１と載置面５１の角度が徐々に減少していく。チャック面１１と載置面５１の角度が０度、すなわち、チャック面１１と載置面５１が平行となると、昇降機構２２が下降を終了する。チャック面１１の回転角度は、メカストッパなどにより規制してもよい。   Specifically, the rotation mechanism 21 holds the hand 10 so that the angle of the chuck surface 11 with respect to the placement surface 51 becomes a predetermined angle before the hand 10 contacts the sheet 70. That is, before the hand 10 contacts the sheet 70, the angle between the placement surface 51 and the chuck surface 11 is a predetermined angle that is not 0 degrees. Then, when the lifting mechanism 22 lowers the hand 10 and the hand 10 contacts the sheet 70, the angle between the chuck surface 11 and the placement surface 51 gradually decreases as the hand 10 descends. When the angle between the chuck surface 11 and the mounting surface 51 is 0 degree, that is, when the chuck surface 11 and the mounting surface 51 are parallel, the elevating mechanism 22 ends the lowering. The rotation angle of the chuck surface 11 may be regulated by a mechanical stopper or the like.

本実施の形態にかかるチャック装置は、ハンド１０がシート７０に接触する前において、チャック面１１が載置面５１に対する角度が所定の角度となるようにハンド１０を保持し、且つ、ハンド１０がシート７０に接触した後において、所定の角度が減少するようにハンド１０を回転可能に保持する回転保持機構を備えている。また、チャック装置は、載置面５１に対してチャック面１１が所定の角度に保たれた状態で、ハンド１０がシートの７０一端側をチャックするように、昇降機構２２がハンド１０を下降させる。シート７０がチャック面１１と接触した後は、昇降機構２２の回転に応じて、載置面５１とチャック面１１との間の角度が徐々に減少していく。   The chuck device according to the present embodiment holds the hand 10 so that the chuck surface 11 is at a predetermined angle with respect to the placement surface 51 before the hand 10 contacts the sheet 70, and the hand 10 A rotation holding mechanism is provided that holds the hand 10 rotatably so that the predetermined angle decreases after contacting the sheet 70. Further, in the chuck device, the lifting mechanism 22 lowers the hand 10 so that the hand 10 chucks one end side of the sheet 70 with the chuck surface 11 kept at a predetermined angle with respect to the placement surface 51. . After the sheet 70 comes into contact with the chuck surface 11, the angle between the placement surface 51 and the chuck surface 11 gradually decreases as the lifting mechanism 22 rotates.

本実施の形態にかかるチャック方法は、ハンド１０がシート７０に接触する前において、載置面５１に対するチャック面１１の角度が所定の角度となる様にハンド２０を保持するステップと、載置面５１に対してチャック面１１が所定の角度になっている状態で、ハンド１０がシート７０の一端側をチャックするように、ハンド１０を下降させるステップと、ハンド１０がシートの一端側に接触した後において、ハンド１０が回転することで所定の角度が減少するステップと、を備えている。   The chucking method according to the present embodiment includes a step of holding the hand 20 so that the angle of the chuck surface 11 with respect to the mounting surface 51 becomes a predetermined angle before the hand 10 contacts the sheet 70, and the mounting surface In the state where the chuck surface 11 is at a predetermined angle with respect to 51, the step of lowering the hand 10 so that the hand 10 chucks one end side of the sheet 70, and the hand 10 contacts the one end side of the sheet And a step of decreasing a predetermined angle by rotating the hand 10 later.

実施の形態２．
本実施の形態のチャック装置について、図８、及び図９を用いて説明する。図８は、本実施の形態にかかるチャック装置のアーム機構２０Ａを模式的に示す斜視図である。図９は、アーム機構２０Ａに取り付けられたハンド１０を示す側面図である。なお、アーム機構２０Ａ以外の構成、及び動作は、実施の形態１と同様であるため、適宜説明を省略する。 Embodiment 2. FIG.
The chuck device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a perspective view schematically showing an arm mechanism 20A of the chuck device according to the present embodiment. FIG. 9 is a side view showing the hand 10 attached to the arm mechanism 20A. Since the configuration and operation other than the arm mechanism 20A are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted as appropriate.

図８に示すように、アーム機構２０Ａが６軸のロボットアームとなっている。アーム機構２０Ａは、Ｓ軸、Ｌ軸、Ｕ軸、Ｒ軸、Ｔ軸、及びＢ軸を有している。各軸は、それぞれサーボモータ等のアクチュエータが設けられた関節機構である。また、アーム機構２０Ａは、本体２６と、アーム２７と、手首２８とを備えている。図９に示すように、手首２８の先端に、実施の形態１で示したハンド１０（図８では、図示を省略）が取り付けられている。本体２６はアーム２７を移動可能に保持している。アーム２７は、手首２８を移動可能に保持している   As shown in FIG. 8, the arm mechanism 20A is a six-axis robot arm. The arm mechanism 20A has an S axis, an L axis, a U axis, an R axis, a T axis, and a B axis. Each axis is a joint mechanism provided with an actuator such as a servo motor. The arm mechanism 20 </ b> A includes a main body 26, an arm 27, and a wrist 28. As shown in FIG. 9, the hand 10 (not shown in FIG. 8) shown in the first embodiment is attached to the tip of the wrist 28. The main body 26 holds an arm 27 so as to be movable. The arm 27 holds the wrist 28 movably.

Ｓ軸は、アーム機構２０Ａの本体２６を回転させる回転軸である。Ｌ軸はアーム機構２０Ａの本体２６を前後に動かす回転軸である。Ｕ軸は、アーム２７を上下に動かす回転軸である。Ｒ軸は、アーム２７を回転させる回転軸である。Ｔ軸は手首２８を回転させる回転軸である。Ｂ軸は手首２８を上下に振る回転軸である。   The S axis is a rotation axis that rotates the main body 26 of the arm mechanism 20A. The L axis is a rotation axis that moves the main body 26 of the arm mechanism 20A back and forth. The U axis is a rotation axis that moves the arm 27 up and down. The R axis is a rotation axis that rotates the arm 27. The T axis is a rotation axis for rotating the wrist 28. The B axis is a rotation axis that swings the wrist 28 up and down.

アーム機構２０ＡのＴ軸が実施の形態１の回転機構２１に対応する。図９に示すように、アーム機構２０ＡのＴ軸が駆動することで、ハンド１０が図９の矢印Ａ方向に回転する。これにより、ハンド１０のチャック面１１の傾きが変化する。また、Ｕ軸が実施の形態１の昇降機構２２に対応する。アーム機構２０ＡのＵ軸が駆動することで、ハンド１０が図９の矢印Ｂ方向に移動する。   The T-axis of the arm mechanism 20A corresponds to the rotation mechanism 21 of the first embodiment. As shown in FIG. 9, the hand 10 rotates in the direction of arrow A in FIG. 9 by driving the T-axis of the arm mechanism 20A. Thereby, the inclination of the chuck surface 11 of the hand 10 changes. The U-axis corresponds to the lifting mechanism 22 of the first embodiment. Driving the U axis of the arm mechanism 20A causes the hand 10 to move in the direction of arrow B in FIG.

ステージ５０Ａの上に、シート７０Ａが載置されている。実施の形態１と同様に、シート７０Ａに対してチャック面１１Ａが傾いた状態で、Ｕ軸がハンド１０Ａを下降させていく。これにより、ハンド１０Ａがシート７０Ａの一端側をチャックする。そして、Ｕ軸がハンド１０Ａを下降させている間、Ｔ軸がチャック面１１Ａの傾きを変えることで、チャック面１１Ａがシート７０Ａの他端側と近づいていく。   A sheet 70A is placed on the stage 50A. As in the first embodiment, the U-axis lowers the hand 10A while the chuck surface 11A is inclined with respect to the sheet 70A. Thereby, the hand 10A chucks one end side of the sheet 70A. Then, while the U-axis lowers the hand 10A, the T-axis changes the inclination of the chuck surface 11A, so that the chuck surface 11A approaches the other end side of the sheet 70A.

このように６軸のアーム機構２０Ａによっても、実施の形態１と同様にハンド１０を動作させることができる。よって、実施の形態１と同様に、シート７０を適切にチャックすることができる。また、アーム機構２０Ａによって、チャックしたシート７０を任意の位置に移動させることができる。よって、シート７０のハンドリングが容易になる。もちろん、アーム機構２０Ａの回転軸の数は、６軸に限られるものではない。また、Ｕ軸のみを駆動してハンド１０を上下に移動したが、Ｕ軸とともに他の回転軸を駆動することで、ハンド１０を上下に移動させてもよい。   As described above, the hand 10 can be operated by the 6-axis arm mechanism 20A as in the first embodiment. Therefore, similarly to the first embodiment, the sheet 70 can be properly chucked. Further, the chucked sheet 70 can be moved to an arbitrary position by the arm mechanism 20A. Therefore, handling of the sheet 70 becomes easy. Of course, the number of rotation axes of the arm mechanism 20A is not limited to six axes. Moreover, although the hand 10 was moved up and down by driving only the U axis, the hand 10 may be moved up and down by driving another rotating shaft together with the U axis.

実施の形態３．
図１０は、実施の形態３にかかるチャック装置１００Ｂの要部構成を模式的に示す斜視図である。図１０では、アーム機構２０Ｂの先端部分のみを示している。実施の形態３では、実施の形態２で示したアーム機構２０Ａと同様に６軸のアーム機構２０Ｂを用いている。よって、アーム機構２０Ｂは、Ｓ軸、Ｌ軸、Ｕ軸、Ｒ軸、Ｔ軸、及びＢ軸を有している。なお、実施の形態３にかかるチャック装置１００Ｂの基本的構成、及び動作については、実施の形態１、２と重複するため、適宜説明を省略する。 Embodiment 3 FIG.
FIG. 10 is a perspective view schematically illustrating a main configuration of the chuck device 100B according to the third embodiment. In FIG. 10, only the tip portion of the arm mechanism 20B is shown. In the third embodiment, a 6-axis arm mechanism 20B is used as in the arm mechanism 20A shown in the second embodiment. Therefore, the arm mechanism 20B has an S axis, an L axis, a U axis, an R axis, a T axis, and a B axis. Since the basic configuration and operation of the chuck device 100B according to the third embodiment are the same as those in the first and second embodiments, description thereof will be omitted as appropriate.

本実施の形態では、Ｂ軸とＴ軸との２軸によって、回転機構が構成されている。このようにすることで、シート７０Ｂの対角線に沿った回転軸周りに、ハンド１０Ａが回転する。すなわち、回転機構の回転軸が実施の形態１と異なっている。回転機構２１の回転軸は、シート７０の端辺と平行になっていない。また、Ｕ軸によって、昇降機構が構成されている。シート７０Ｂの＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の角部において、シート７０Ｂとハンド１０Ｂとが最も接近しており、−Ｘ側かつ−Ｙ側の角部において最も離れている。   In the present embodiment, a rotation mechanism is constituted by two axes, the B axis and the T axis. In this way, the hand 10A rotates around the rotation axis along the diagonal line of the sheet 70B. That is, the rotating shaft of the rotating mechanism is different from that of the first embodiment. The rotation axis of the rotation mechanism 21 is not parallel to the end side of the sheet 70. Moreover, the raising / lowering mechanism is comprised by the U-axis. The sheet 70B and the hand 10B are closest to each other at the corners of the sheet 70B on the + X side and the + Y side, and are most distant from each other at the corners on the −X side and the −Y side.

実施の形態１で説明したように、アーム機構２０Ｂがハンド１０Ｂを下降させながら、チャック面の傾きを変える。具体的には、シート７０Ｂに対してチャック面が傾いた状態でハンド１０Ｂがシート７０の一端側をチャックするように、Ｕ軸がハンド１０Ｂを下降させる。その後、Ｕ軸がハンド１０Ｂを下降させながら、チャック面の傾きを変えて、チャック面をシート７０の他端側と近づけていく。なお、本実施の形態では、シート７０Ｂの一端は、＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の角部となり、他端側はシート７０Ｂの一端は、−Ｘ側かつ−Ｙ側の角部となる。   As described in the first embodiment, the arm mechanism 20B changes the inclination of the chuck surface while lowering the hand 10B. Specifically, the U-axis lowers the hand 10B so that the hand 10B chucks one end side of the sheet 70 with the chuck surface inclined with respect to the sheet 70B. Thereafter, the U-axis lowers the hand 10 </ b> B, changes the inclination of the chuck surface, and brings the chuck surface closer to the other end side of the sheet 70. In the present embodiment, one end of the sheet 70B is a corner portion on the + X side and the + Y side, and the other end side is a corner portion on the −X side and the −Y side.

このようにすることで、シート７０Ｂの＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の角部から、−Ｘ側かつ−Ｙ側の角に向けて、徐々にハンド１０Ｂがシート７０Ｂをチャックしていく。よって、実施の形態１と同様に、気泡の発生を防ぐことができる。これにより、シート７０Ｂを適切にチャックすることができる。なお、昇降機構を２軸によって構成してもよい。   In this way, the hand 10B gradually chucks the sheet 70B from the + X side and + Y side corners of the sheet 70B toward the −X side and −Y side corners. Therefore, generation of bubbles can be prevented as in the first embodiment. Thereby, the sheet 70B can be properly chucked. Note that the lifting mechanism may be constituted by two axes.

上記したチャック装置は、ロールトゥロール方式で製造されたシート状二次電池のチャックに好適である。もちろん、本実施の形態では、チャック装置におけるチャック対象物は、シート状二次電池に限られるものではなく、二次電池以外のシート状デバイスであってもよい。例えば、ロールトゥロール方式で、基材の片面、又は両面に充電層や電極層等を形成することで、シートにデバイスを製造する。ロールトゥロール方式では、シート状デバイスが形成されたロールが製造される。そして、シート状デバイスのロールを切断した後、チャック装置がチャックする。チャック装置は、シートを次の工程に搬送して、プロセスを施す。チャック対象物は、シート状デバイスに限らず、種々の用途のフィルムやシートであってもよい。なお、チャックするシート７０の平面形状は正方形に限られず、長方形や円形などの他の形状であってもよい。   The above-described chuck device is suitable for a chuck for a sheet-like secondary battery manufactured by a roll-to-roll method. Of course, in the present embodiment, the chuck object in the chuck device is not limited to the sheet-like secondary battery, and may be a sheet-like device other than the secondary battery. For example, a device is manufactured on a sheet by forming a charging layer, an electrode layer, or the like on one side or both sides of a base material by a roll-to-roll method. In the roll-to-roll method, a roll on which a sheet-like device is formed is manufactured. Then, after the roll of the sheet-like device is cut, the chuck device chucks. The chuck device conveys the sheet to the next step and performs the process. The chuck object is not limited to a sheet-like device, and may be a film or a sheet for various uses. The planar shape of the sheet 70 to be chucked is not limited to a square, and may be another shape such as a rectangle or a circle.

以上、本発明の実施形態の一例を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態による限定は受けない。   As mentioned above, although an example of embodiment of this invention was demonstrated, this invention includes the appropriate deformation | transformation which does not impair the objective and advantage, Furthermore, the limitation by said embodiment is not received.

１００ チャック装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ ハンド
１１ チャック面
２０、２０Ａ、２０Ｂ アーム機構
２１ 回転機構
２１ａ アクチュエータ
２２ 昇降機構
２２ａ アクチュエータ
２５ 制御部
２６ 本体
２７ アーム
２８ 手首
５０ ステージ
７０、７０Ａ、７０Ｂ シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Chuck apparatus 10, 10A, 10B Hand 11 Chuck surface 20, 20A, 20B Arm mechanism 21 Rotating mechanism 21a Actuator 22 Lifting mechanism 22a Actuator 25 Control part 26 Main body 27 Arm 28 Wrist 50 Stage 70, 70A, 70B Sheet

Claims (8)

チャック面を有し、載置面に載置されているシートをチャックするハンドと、
前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持し、且つ、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記所定の角度が減少するように前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、
前記載置面に対する前記チャック面の角度が前記所定の角度に保たれた状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させる昇降機構と、
を備えたチャック装置。 A hand having a chuck surface and chucking a sheet placed on the placement surface;
Before the hand contacts the sheet, the hand is held so that the angle of the chuck surface with respect to the mounting surface is a predetermined angle, and after the hand contacts the sheet, the predetermined A rotation holding mechanism that rotatably holds the hand so that the angle of
An elevating mechanism for lowering the hand so that the hand chucks one end side of the sheet in a state where the angle of the chuck surface with respect to the placement surface is maintained at the predetermined angle;
A chuck device comprising: 前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御する制御部をさらに備えた請求項１に記載のチャック装置。   After the hand contacts the sheet, the rotation holding mechanism and the lifting mechanism are controlled so that the predetermined angle is decreased while the hand is lowered and the chuck surface approaches the other end side of the sheet. The chuck device according to claim 1, further comprising a control unit that performs the operation. 前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることを特徴とする請求項１、又は２に記載のチャック装置。   The chuck device according to claim 1, wherein an air hole for allowing air to escape between the sheet and the chuck surface is provided in the hand. 前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックする請求項１〜３のいずれか１項に記載のチャック装置。   The chuck device according to claim 1, wherein the hand chucks the sheet by an electrostatic chuck. チャック面を有し、載置面に載置されたシートをチャックするハンドと、
前記載置面に対する前記チャック面の角度を変えるよう、前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、
前記ハンドを下降させる昇降機構と、を備えたチャック装置を用いたチャック方法であって、
前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持するステップと、
前記載置面に対して前記チャック面が前記所定の角度になっている状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させるステップと、
前記ハンドが前記シートの一端側に接触した後において、前記ハンドが回転することで前記所定の角度が減少するステップと、
を備えたチャック方法。 A hand having a chuck surface and chucking the sheet placed on the placement surface;
A rotation holding mechanism that rotatably holds the hand so as to change an angle of the chuck surface with respect to the placement surface;
A chucking method using a chuck device comprising a lifting mechanism for lowering the hand,
Holding the hand so that an angle of the chuck surface with respect to the placement surface is a predetermined angle before the hand contacts the sheet;
Lowering the hand so that the hand chucks one end side of the sheet in a state where the chuck surface is at the predetermined angle with respect to the placement surface;
After the hand contacts one end of the sheet, the predetermined angle is decreased by rotating the hand;
A chuck method comprising: 前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御する、請求項５に記載のチャック方法。   After the hand contacts the sheet, the rotation holding mechanism and the lifting mechanism are controlled so that the predetermined angle is decreased while the hand is lowered and the chuck surface approaches the other end side of the sheet. The chuck method according to claim 5. 前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることを特徴とする請求項５、又は６に記載のチャック方法。   The chucking method according to claim 5 or 6, wherein an air hole for releasing air between the sheet and the chuck surface is provided in the hand. 前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックする請求項５〜７のいずれか１項に記載のチャック方法。   The chucking method according to claim 5, wherein the hand chucks the sheet with an electrostatic chuck.
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