JP2018117022A - 圧電素子、圧電アクチュエーター、超音波探触子、超音波装置、電子機器、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
圧電素子は、下電極、圧電膜、及び上電極が積層され構成され、積層方向において、これら下電極、圧電膜、及び上電極が重なる領域は、電極間への電圧印加によって変形する領域である(以下、能動部とも称す)。超音波トランスデューサーは、電圧印加に応じた能動部の変形によって振動膜を振動させることにより超音波を送信する。
例えば、圧電膜のうち、上電極によって覆われている部分(被覆部)では、当該上電極によって上記応力が緩和される。一方で、上電極によって覆われていない部分(非被覆部)では、上電極による応力緩和がなく、被覆部と比べて上記クラックが生じ易い。
上述のように、圧電素子の駆動時に、能動部の変形により、圧電体層に応力が作用し、クラックが生じるおそれがある。これに対して、本適用例では、第1部分は、第2電極層が積層され、第2部分は、導電層が積層され、応力が緩和される。このため、応力によって第1部分及び第2部分にクラックが発生することを抑制できる。また、第3部分の少なくとも一部の膜厚は、能動部を含む第1部分の膜厚よりも小さいため、能動部の変形に応じて、第3部分を変形し易くできる。このため、応力によって第3部分にクラックが発生することを抑制できる。したがって、本適用例によれば、圧電体層におけるクラック、ひいては焼損の発生を抑制でき、圧電素子の性能の低下を抑制できる。
本適用例では、第3部分は、平面視にて第1部分との境界部を少なくとも含む位置における膜厚が、第1部分の膜厚よりも小さい。すなわち、第3部分は、少なくとも、平面視において第2電極層の端部に沿う位置における膜厚が、第1部分の膜厚よりも小さい。これにより、圧電膜の第3部分のうち、能動部の駆動時に応力が集中する、第1部分との境界部の近傍位置をより変形し易くできる。したがって、境界部において、圧電体層にクラックが生じることをより確実に抑制でき、ひいては圧電体層の焼損をより確実に抑制できる。
本適用例では、第3部分は、平面視にて、上記境界部から離れるほど膜厚が漸減する。このような構成では、第1部分と第3部分との境界部やその近傍に、例えば、段差等の応力が集中し易い角部が形成される場合と比べて、第3部分の境界部における応力集中を抑制できる。したがって、圧電体層の境界部におけるクラックの発生を抑制でき、ひいては圧電体層の焼損をより確実に抑制できる。
本適用例では、第3部分は、第1部分と第2部分との間に位置する溝部を有するため、第2電極層と導電層との間の絶縁をより確実に得ることができる。例えば、第1部分と第2部分との間の距離が小さい、すなわち、第2電極層と導電層との距離が小さいと、圧電体層の第3部分の表面に水が付着した際に、第2電極層と導電層との間で通電する可能性がある。これに対して、上記溝部を形成することにより、第2電極層と導電層との間の平面距離に対して、溝内面に沿った実際の距離を大きくすることができ、上述の絶縁をより確実に得ることができる。
本適用例では、溝部の内面は、湾曲していため、溝部の内面に応力が集中し易い角部が形成される場合と比べて、第3部分における応力集中を抑制できる。したがって、圧電体層におけるクラックの発生をより確実に抑制でき、ひいては圧電体層の焼損をより確実に抑制できる。
本適用例では、第2部分の少なくとも一部の厚みが、第1部分の膜厚よりも小さい。このような構成では、第3部分とともに第2部分も変形し易くできるため、第3部分に応力が集中して、第3部分にクラックが生じることをより確実に抑制できる。
本適用例では、圧電素子が振動膜に設けられることで、圧電素子の駆動に応じて、振動膜を振動させることができる。このような圧電アクチュエーターでは、振動可能な振動膜に圧電素子が設けられる構成であるため、圧電素子に応力が加わりやすい構成となる。これに対して、本適用例では、上述した適用例と同様に、圧電素子は、応力が加わった場合でも、圧電体層にクラックの発生を抑制可能な構成となる。したがって、振動方向に圧電体層が変形した場合でも、圧電体層のクラックを抑制でき、ひいては焼損の発生を抑制でき、圧電素子の性能の低下を抑制できる。
このため、上記適用例と同様に、圧電体層における圧電体層におけるクラックや焼損の発生を抑制でき、圧電素子の性能の低下を抑制できる。これにより、電子機器の性能低下を抑制できる。
本適用例では、液体噴射ヘッドは、上記適用例と同様の圧電体層を備える。よって、圧電体層における圧電体層におけるクラックや焼損の発生を抑制でき、圧電素子の性能の低下を抑制でき、ひいては液体噴射ヘッドの性能低下を抑制できる。
本適用例では、液体噴射装置に設けられる液体噴射ヘッドは、上記適用例と同様の圧電素子を備える。よって、圧電体層における圧電体層におけるクラックや焼損の発生を抑制でき、圧電素子の性能の低下を抑制でき、ひいては液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置の性能低下を抑制できる。
以下、第1実施形態に係る超音波測定装置について、図面に基づいて説明する。
図1は、超音波測定装置1の概略構成を示す斜視図である。
超音波測定装置1は、図1に示すように、超音波プローブ2と、超音波プローブ2にケーブル3を介して電気的に接続された制御装置10と、を備えている。
この超音波測定装置1は、超音波プローブ2を生体(例えば人体)の表面に接触させ、超音波プローブ2から生体内に超音波を送出する。また、生体内の器官にて反射された超音波を超音波プローブ2にて受信し、その受信信号に基づいて、例えば生体内の内部断層画像を取得したり、生体内の器官の状態(例えば血流等)を測定したりする。
制御装置10は、制御部に相当し、図1に示すように、ボタンやタッチパネル等を含む操作部11と、表示部12と、を備える。また、制御装置10は、図示は省略するが、メモリー等により構成された記憶部と、CPU(Central Processing Unit)等により構成された演算部と、を備える。制御装置10は、記憶部に記憶された各種プログラムを、演算部に実行させることにより、超音波測定装置1を制御する。例えば、制御装置10は、超音波プローブ2の駆動を制御するための指令を出力したり、超音波プローブ2から入力された受信信号に基づいて、生体の内部構造の画像を形成して表示部12に表示させたり、血流等の生体情報を測定して表示部12に表示させたりする。このような制御装置10としては、例えば、タブレット端末やスマートフォン、パーソナルコンピューター等の端末装置を用いることができ、超音波プローブ2を操作するための専用端末装置を用いてもよい。
図2は、超音波プローブ2の概略構成を示す断面図である。
超音波プローブ2は、超音波探触子に相当し、図2に示すように、筐体21と、筐体21内部に収納する超音波デバイス22と、超音波デバイス22を制御するためのドライバー回路等が設けられた回路基板23と、を備えている。なお、超音波デバイス22と、回路基板23とにより超音波センサー24が構成される。
筐体21は、図1に示すように、例えば平面視矩形状の箱状に形成され、厚み方向に直交する一面(センサー面21A)には、センサー窓21Bが設けられており、超音波デバイス22の一部が露出している。また、筐体21の一部(図1に示す例では側面)には、ケーブル3の通過孔21Cが設けられ、ケーブル3は、通過孔21Cから筐体21の内部の回路基板23に接続されている。また、ケーブル3と通過孔21Cとの隙間は、例えば樹脂材等が充填されることで、防水性が確保されている。
なお、本実施形態では、ケーブル3を用いて、超音波プローブ2と制御装置10とが接続される構成例を示すが、これに限定されず、例えば超音波プローブ2と制御装置10とが無線通信により接続されていてもよく、超音波プローブ2内に制御装置10の各種構成が設けられていてもよい。
回路基板23は、後述する超音波デバイス22の信号端子413及び共通端子415(図3参照)と電気的に接続され、制御装置10の制御に基づいて超音波デバイス22を制御する。
具体的には、回路基板23は、送信回路や受信回路等を備えている。送信回路は、超音波デバイス22に超音波送信させる駆動信号を出力する。受信回路は、超音波を受信した超音波デバイス22から出力された受信信号を取得し、当該受信信号の増幅処理、A−D変換処理、整相加算処理等を実施して制御装置10に出力する。
図3は、超音波デバイス22を構成する素子基板41を封止板42側から見た場合について模式的に示す図である。また、図4は、図3に示すA−A線で切断した超音波デバイス22の断面(ZX断面)を模式的に示す断面図である。また、図5は、素子基板41に設けられる超音波トランスデューサー45を、封止板42側から見た場合について模式的に示す平面図である。また、図6は、図5に示すB−B線で切断した超音波トランスデューサー45の断面(YZ断面)を模式的に示す断面図である。
超音波デバイス22は、図2及び図4に示すように、素子基板41と、封止板42と、音響層43(図4参照)と、音響レンズ44と、を含み構成される。
図3に示すように、素子基板41を基板厚み方向(Z方向)から見た平面視(以下、単に平面視とも称す)において、素子基板41の中央のアレイ領域Ar1には、超音波の送受信を行う超音波トランスデューサー45を含む超音波トランスデューサーアレイ46が設けられている。この超音波トランスデューサーアレイ46は、複数の超音波トランスデューサー45がマトリクス状に配置された1次元アレイとして構成される。すなわち、超音波トランスデューサーアレイ46は、1CHの送受信チャンネルとして機能する送受信列45Aを複数有する。これら複数の送受信列45Aのそれぞれは、Y方向(スライス方向)に沿って配置された複数の超音波トランスデューサー45により構成され、X方向(スキャン方向)に複数配置される。なお、図3では、説明の便宜上、超音波トランスデューサー45の配置数を減らしているが、実際には、より多くの超音波トランスデューサー45が配置される。
ここで、以降の説明にあたり、基板本体部411の音響レンズ44側の面を前面411Aと称し、封止板42側の面を背面411Bと称する。また、振動膜412の封止板42とは反対側の面を超音波送受面412Aと称し、封止板42側の面を作動面412Bと称する。
図2及び図4に示す封止板42は、厚み方向から見た際の平面形状が例えば素子基板41と同形状に形成され、Si等の半導体基板や、絶縁体基板により構成される。なお、封止板42の材質や厚みは、超音波トランスデューサー45の周波数特性に影響を及ぼすため、超音波トランスデューサー45にて送受信する超音波の中心周波数に基づいて設定することが好ましい。
音響層43は、図4に示すように、超音波送受面412A側に配置される。すなわち、音響層43は、開口部411C内に充填されている。
音響レンズ44は、素子基板41の前面411A側、すなわち素子基板41及び音響層43の+Z側に配置される。音響レンズ44は、生体表面に密着され、超音波トランスデューサー45から送信された超音波を生体内で収束させる。また、音響レンズ44は、生体内で反射した超音波を、音響層43を介して超音波トランスデューサー45に伝搬させる。
圧電素子5は、図5及び図6に示すように、順に積層された下部電極51と、圧電膜6、及び上部電極52と、導電層53と、を備える。
圧電素子5は、下部電極51と上部電極52との間の電圧印加によって変形する能動部50を有する。この能動部50は、駆動部に相当する可撓部412C上に位置し、後述する下部電極本体部511、圧電膜本体部611、及び上部電極本体部521が、Z方向(積層方向)に積層されて構成される。
下部電極本体部511は、平面視において、圧電膜6及び上部電極52と重なり、振動膜412のうちの可撓部412Cに設けられる。つまり、下部電極本体部511は、複数の圧電素子5のそれぞれに設けられる。
下部電極接続部512は、図5に示すように、下部電極本体部511の±Y側のそれぞれからY方向に沿って延出する。この下部電極接続部512は、図3に示すように、送受信列45Aに含まれる複数の下部電極本体部511のうちの隣り合う下部電極本体部511を接続する。
この上部電極52は、図5に示すように、少なくとも一部が圧電膜6上に設けられ、上部電極本体部521と、上部電極接続部522と、を有する。
上部電極接続部522は、上部電極本体部521の±X側のそれぞれからX方向に沿って延出し、X方向において隣り合う上部電極本体部521を接続する。また、上部電極接続部522は、X方向において設けられた複数の圧電素子5のうちの±X側の圧電素子5の下部電極本体部511と、共通電極線414とを接続する。
これに対して、本実施形態では、凹部512Aが形成された場合でも、導電層53が図6に示すように、少なくとも下部電極接続部512の凹部512Aと重なる位置に、凹部512Aを覆って設けられる。これにより、凹部512Aにおける電気抵抗の増大や断線が抑制される。また、導電層53のY方向における端部は、圧電膜6上に設けられ、上部電極52とY方向に離間しており、上部電極52とは導通していない。
圧電膜6は、平面視において、略矩形状の外形を有し、可撓部412Cと重なる位置に、下部電極51の一部を覆うように設けられる。この圧電膜6は、圧電膜本体部611を含む第1被覆部61と、第2被覆部62と、非被覆部63と、を有する。
この第1溝側面631Bが形成されている領域により漸減部632が構成される。漸減部632は、溝部631の第1溝側面631Bを含む側壁部分であり、平面視において、境界部Pから、第1被覆部61とは反対側に向かうにしたがって膜厚が漸減する。
第2溝側面631Cは、溝底面631Aと第2被覆部62とに連続し、第2被覆部62から離れるにしたがって、素子基板41側(+Z側)に傾斜する。
なお、本実施形態では、第2溝側面631CのY方向の寸法も、第1溝側面631Bと同様である。すなわち、溝部631の内面に沿った場合の上部電極52と導電層53との距離は、溝部631がない場合と比べて、約2.2y増大している。
また、溝部631の溝底面631Aが形成された領域における膜厚は、圧電膜6の最大膜厚よりも小さく、例えば100nm以上500nm以下である。圧電膜6の膜厚を100nm以上とすることにより、超音波トランスデューサー45が駆動時の圧電膜6の変形により、非被覆部63にクラックが生じることを抑制できる。また、圧電膜6の膜厚を500nm以下とすることにより、超音波トランスデューサー45が駆動時に溝部631を変形し易くできる。
上述のように構成される第1実施形態では、以下の効果を得ることができる。
本実施形態では、圧電膜6のうち第1被覆部61は、上部電極52が積層され、第2被覆部62は、導電層53が積層されているため、第1被覆部61及び第2被覆部62でのクラックの発生を抑制できる。また、非被覆部63の少なくとも一部の膜厚は、能動部50を含む第1被覆部61の膜厚よりも小さい。このような構成では、電圧印加によって能動部50が変形した場合でも、非被覆部63の厚み寸法が小さくなる一部が変形することで、能動部50と非能動部との境界部Pを含む被覆部63におけるクラックの発生を抑制できる。
以上から、本実施形態の圧電素子5によれば、圧電膜6におけるクラックの発生、ひいては焼損の発生を抑制でき、圧電素子5の性能の低下を抑制できる。
以下、第2実施形態について説明する。
第1実施形態の超音波トランスデューサーでは、溝部631は、略平面状の溝底面631Aと、それぞれ溝底面631Aに連続する略平面状の第1溝側面631B、及び第2溝側面631Cと、を有していた。これに対して、第2実施形態では、溝部631は湾曲する溝内面を有する点で、第1実施形態と相違する。
なお、以降の説明にあたり、第1実施形態と同様の構成については、同符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
図7に示すように、超音波トランスデューサー47では、圧電膜6の非被覆部63に溝部634が形成されている。
溝部634は、湾曲する溝内面634Aを有する点以外は、第1実施形態の溝部631と略同様に構成される。すなわち、溝部634は、上部電極52の±Y側のそれぞれの端部523に沿って形成される。また、溝部634は、非被覆部63におけるY方向に第1被覆部61と第2被覆部62とが重なる領域では、第1被覆部61から第2被覆部62に亘って形成される。また、溝内面634Aは、Y方向における中心部に向かうにしたがって、溝部634の深さ寸法が大きくなるように、+Z側に向かって凹状に湾曲する。
第2実施形態では、第1実施形態と同様の作用効果に加え、以下の作用効果を得ることができる。
第2実施形態では、溝部634の溝内面634Aは、湾曲面である。具体的には、溝内面634Aは、Y方向における中心部に向かうにしたがって、溝部634の深さ寸法が大きくなるように、+Z側に向かって凹状に湾曲する。このような構成では、溝内面634Aに応力が集中し易い角部が形成される場合と比べて、非被覆部63における応力集中を抑制できる。したがって、圧電膜6におけるクラックの発生を抑制でき、ひいては圧電膜6の焼損をより確実に抑制できる。
以下、第3実施形態について説明する。
第1実施形態の超音波トランスデューサーでは、第1被覆部61と第2被覆部62とは溝部634を挟んで位置し、第2被覆部62の膜厚が、第1被覆部61の膜厚と略同じであった。これに対して、第3実施形態では、第2被覆部62の膜厚が、第1被覆部61の膜厚よりも小さい点で、第1実施形態と相違する。
なお、以降の説明にあたり、第1実施形態と同様の構成については、同符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
図8に示すように、超音波トランスデューサー48の圧電膜6は、第1被覆部61と、第1被覆部61よりも膜厚が小さい第2被覆部64と、非被覆部65と、を有する。
非被覆部65は、圧電膜6のうちの、平面視において上部電極52及び導電層53と重ならない領域であり、漸減部651と、薄肉部652と、を有する。
なお、本実施形態においても漸減部651のY方向の寸法yと、Z方向の寸法zとの比は、例えば1:2であり、傾斜面651Aの寸法は、約2.2yである。
第3実施形態では、第1実施形態と同様の作用効果に加え、以下の作用効果を得ることができる。
第2被覆部62の少なくとも一部の厚みが、第1被覆部61の膜厚よりも小さい。このような構成では、非被覆部63とともに第2被覆部62も変形し易くできる。このため、圧電素子5の駆動時に非被覆部63に、応力が集中し、クラックが生じることをより確実に抑制できる。
また、非能動部の一部である第2被覆部62と非被覆部63を変形させ易くできるため、超音波トランスデューサー45の出力の向上を図ることができる。
なお、本発明は上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良、及び各実施形態を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。
図9に示す変形例の超音波トランスデューサー49では、漸減部651の傾斜面651Aと、薄肉部652の−Z側の面(上面とも称す)652Aとが湾曲面653によって接続されている点で、上記第3実施形態と相違する。この湾曲面653は、+Z側に向かって凹状に湾曲する。このような構成では、傾斜面651Aと上面652Aとの境界部分に応力が集中することを抑制でき、非被覆部65にクラックが生じることをより確実に抑制できる。
また、上記第3実施形態及び変形例では、漸減部651が非被覆部65のみに形成されていたが、漸減部が非被覆部65から第2被覆部64の少なくとも一部に亘って形成されてもよい。例えば、圧電膜6の膜厚が、平面視において第1被覆部61から離れるにしたがって小さくなってもよい。
図10は、第3実施形態の一変形例に係る超音波トランスデューサー48Aを模式的に示す断面図である。
図10に示す超音波トランスデューサー48Aでは、非被覆部65Aは、平面視において、第1被覆部61から離れるにしたがって、膜厚が段階的に小さくなる。すなわち、被覆部65Aの漸減部654は、複数の段部を有し、各段部の膜厚は、第1被覆部61側から第2被覆部64側に向かうにしたがって、小さくなる。このような構成では、複数の段部のうち、第2被覆部64側よりも第1被覆部61(境界部P)側の端部の強度を増大させることができ、境界部P近傍におけるクラックの発生を抑制できる。また、第2被覆部64側の強度を低下させることにより、仮にクラックが生じたとしても、クラックの発生位置を境界部Pから遠ざけることができ、ひいては焼損の発生をより確実に抑制できる。
また、漸減部654の段部の側面と、薄肉部652の上面との境界に角部を形成し、当該境界にクラックが発生し易くしてもよい。これにより、クラックの発生位置を境界部Pから遠ざけることができ、焼損をより確実に抑制できる。
図11は、第2実施形態の一変形例に係る超音波トランスデューサー47Aを模式的に示す断面図である。
図11に示す超音波トランスデューサー47Aでは、非被覆部63Aは、複数の溝部としての第1溝部635と第2溝部636とを有する。第1溝部635は、湾曲する溝内面を有し、平面視において、上部電極52の端部523に沿って形成されている。第2溝部636は、湾曲する溝内面を有し、平面視において、導電層53のY方向における端部に沿って形成されている。このような構成では、上部電極52と導電層53との実際の距離をより増大させることができる。
例えば、溝部や漸減部が、少なくとも能動部50を構成する上部電極本体部521の端部に沿う位置に形成されてもよい。すなわち、圧電膜の膜厚が、平面視において、少なくとも上部電極本体部521の端部に沿う位置において、第1被覆部61の膜厚よりも小さい構成としてもよい。このような構成でも、駆動時に圧電膜に生じる応力が、非被覆部63のうちの能動部50の端部に沿う位置に集中することを抑制でき、圧電膜にクラックが生じることを抑制できる。
プリンター100は、液体噴射装置に相当し、図12に示すように、メディアを供給する供給ユニット110と、メディアを搬送する搬送ユニット120と、記録ヘッド70が取り付けられるキャリッジ130と、キャリッジ130を移動させるキャリッジ移動ユニット140と、プリンター100を制御する制御ユニット(図示略)と等を備える。このプリンター100は、例えばパーソナルコンピューター等の外部機器から入力された印刷データに基づいて、各ユニット110,120,140及びキャリッジ130を制御し、メディアMに画像を印刷する。
複数の圧力室711は、後述するようにノズルプレート72に形成されたノズル列を構成する各ノズル721に、一対一に対応して設けられている。すなわち、各圧力室711は、ノズル列方向に沿って、ノズル721の形成ピッチと同じピッチで形成されている。
連通部713は、複数の圧力室711に沿って形成されている。この連通部713は、後述する振動板731の連通開口部734及び封止板74の液室空部742と連通し、インクタンク(図示略)から供給されたインクが充填される。連通部713に充填されたインクは、インク供給路712を介して圧力室711に供給される。すなわち、連通部713は、各圧力室711に共通なインク室であるリザーバー(共通液室)を構成する。
なお、インク供給路712は、圧力室711よりも狭い幅で形成されており、連通部713から圧力室711に流入するインクに対して流路抵抗となる部分である。
振動板731は、圧力室形成基板71の上に形成された弾性膜732と、この弾性膜732上に形成された絶縁体膜733と、を含む。なお、弾性膜732としては、例えば、厚さが300〜2000nmの二酸化シリコン(SiO2)が好適に用いられる。また、絶縁体膜733としては、例えば、厚さが30〜600nmの酸化ジルコニウム(ZrOx)が好適に用いられる。この振動板731の圧力室711を閉塞する領域は、圧電素子5の駆動によってノズル721に対して接離する方向に撓み変形が許容される領域(可撓部)である。なお、振動板731における圧力室形成基板71の連通部713に対応する部分には、当該連通部713と連通する連通開口部734が設けられている。
なお、図13では、一方向に沿って配置された複数の圧電素子5の非被覆部に亘る溝部が形成されている構成を例示しているが、これに限定されず、各圧電素子5に個別に溝部が形成されてもよい。
Claims (13)
- 第1電極層、圧電体層、及び第2電極層が順に積層された圧電素子であって、
前記第1電極層から前記圧電体層に亘って位置する導電層を備え、
前記圧電体層は、前記第1電極層、前記圧電体層、及び前記第2電極層の積層方向から見た平面視において、前記第2電極層と重なる第1部分と、前記導電層と重なる第2部分と、前記第2電極層及び前記導電層と重ならない第3部分とを有し、
前記第3部分の少なくとも一部の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載の圧電素子において、
前記平面視にて前記第1部分との境界部を少なくとも含む位置における前記第3部分の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項2に記載の圧電素子において、
前記第3部分は、前記平面視において、前記境界部から離れるにしたがって膜厚が漸減する
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧電素子において、
前記第3部分は、前記平面視において、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する溝部を有する
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項4に記載の圧電素子において、
前記溝部の内面は、湾曲している
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧電素子において、
前記第2部分の少なくとも一部の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする圧電素子。 - 第1電極層、圧電体層、及び第2電極層が順に積層された圧電素子と、前記圧電素子により駆動される駆動部と、を具備し、
前記圧電素子は、前記第1電極層から前記圧電体層に亘って位置する導電層を備え、
前記圧電体層は、前記第1電極層、前記圧電体層、及び前記第2電極層の積層方向から見た平面視において、前記第2電極層と重なる第1部分と、前記導電層と重なる第2部分と、前記第2電極層及び前記導電層と重ならない第3部分とを有し、
前記第3部分の少なくとも一部の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項7に記載の圧電アクチュエーターにおいて、
前記駆動部は、振動膜であり、
前記圧電素子は、前記振動膜に設けられる
ことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 振動膜と、第1電極層、圧電体層、及び第2電極層が順に前記振動膜に積層された圧電素子と、前記振動膜及び前記圧電素子を収納する筐体と、を具備し、
前記圧電素子は、前記第1電極層から前記圧電体層に亘って位置する導電層を備え、
前記圧電体層は、前記第1電極層、前記圧電体層、及び前記第2電極層の積層方向から見た平面視において、前記第2電極層と重なる第1部分と、前記導電層と重なる第2部分と、前記第2電極層及び前記導電層と重ならない第3部分とを有し、
前記第3部分の少なくとも一部の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする超音波探触子。 - 振動膜と、第1電極層、圧電体層、及び第2電極層が順に前記振動膜に積層された圧電素子と、前記圧電素子を制御する制御部と、を具備し、
前記圧電素子は、前記第1電極層から前記圧電体層に亘って位置する導電層を備え、
前記圧電体層は、前記第1電極層、前記圧電体層、及び前記第2電極層の積層方向から見た平面視において、前記第2電極層と重なる第1部分と、前記導電層と重なる第2部分と、前記第2電極層及び前記導電層と重ならない第3部分とを有し、
前記第3部分の少なくとも一部の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする超音波装置。 - 振動膜と、第1電極層、圧電体層、及び第2電極層が順に積層された圧電素子と、前記圧電素子を制御する制御部と、前記圧電素子により駆動される駆動部と、を具備し、
前記圧電素子は、前記第1電極層から前記圧電体層に亘って位置する導電層を備え、
前記圧電体層は、前記第1電極層、前記圧電体層、及び前記第2電極層の積層方向から見た平面視において、前記第2電極層と重なる第1部分と、前記導電層と重なる第2部分と、前記第2電極層及び前記導電層と重ならない第3部分とを有し、
前記第3部分の少なくとも一部の膜厚は、前記第1部分の膜厚よりも小さい
ことを特徴とする電子機器。 - 請求項7又は請求項8に記載の圧電アクチュエーターを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項12に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
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