JP2018115050A - 部材貼り付け装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の搬送や位置決めに要する時間が短く、生産性の高い部材貼り付け装置を提供する。【解決手段】被貼り付け部材に複数の貼り付け部材を貼り付ける部材貼り付け装置であって、基台１１０と、回転軸１２１を中心に間欠的に回転する回転テーブル１２０と、回転テーブル１２０の第１停止位置において、フレキシブル基板が格納されているパレット１０及び複数の補強板が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の所定位置に載置するための搬入ステージ１３０と、回転テーブル１２０の第２停止位置において、複数の補強板をトレイ２０からフレキシブル基板に順次移送して仮圧着する移送・仮圧着装置１４０と、回転テーブル１２０の第３停止位置において、フレキシブル基板に仮圧着されている補強板をフレキシブル基板に対して一括して本圧着する真空圧着装置１５０とを備える部材貼り付け装置１００。【選択図】図１

Description

本発明は、被貼り付け部材に貼り付け部材を貼り付ける部材貼り付け装置に関する。

所定方向に沿って搬送される基板の側辺部に異方性導電部材を介して電子部品を圧着する実装装置が知られている（例えば、特許文献１及び２参照。）。図１７は、特許文献１に記載の実装装置９００の構成を示す図である。特許文献１に記載の実装装置９００は、搬入された基板をストックするローダユニット９１０と、基板に異方性導電部材を貼着する貼着ユニット９２０と、基板の異方性導電部材が貼着された一側部に複数の電子部品を所定間隔で１つづつ仮圧着する仮圧着ユニット９３０と、基板の一側部に仮圧着された複数の電子部品を加圧加熱して一度に本圧着する本圧着ユニット９４０と、電子部品が本圧着された基板を受けてストックするアンローダユニット９５０とを備える（図１７参照。）。

そして、特許文献１に記載の実装装置９００においては、ローダユニット９１０、貼着ユニット９２０、仮圧着ユニット９３０、本圧着ユニット９４０及びアンローダユニット９５０が基板の搬送方向に沿って一列に配置されている。また、貼着ユニット９２０、仮圧着ユニット９３０及び本圧着ユニット９４０が、長手方向を基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置されている。

特許文献１に記載の実装装置９００によれば、貼着ユニット９２０、仮圧着ユニット９３０及び本圧着ユニット９４０が、長手方向を基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置されていることから、特許文献２に記載の実装装置（パネルの組み立て装置）よりも、実装装置のライン長の短縮化を図ることができる。

特開２００８−１８２０４１号公報 特開２００３−０５９９７５号公報

しかしながら、特許文献１に記載の実装装置９００においては、ローダユニット９１０から貼着ユニット９２０への基板の受け渡し、貼着ユニット９２０から仮圧着ユニット９３０への基板の受け渡し、仮圧着ユニット９３０から本圧着ユニット９４０への基板の受け渡し、及び、本圧着ユニット９４０からアンローダユニット９５０への基板の受け渡しを受け渡し手段により行っているため、基板の搬送や位置決めに時間がかかり、生産性を高める上での障害となってしまうという問題がある。

なお、このような問題は、基板の側辺部に異方性導電部材を介して電子部品を圧着する実装装置だけに起こるわけではなく、基板の任意の位置に部材を貼り付ける部材貼り付け装置、また、異方性導電部材を介さずに部材を貼り付ける部材貼り付け装置、また、基板以外の被貼り付け部材に部材を貼り付ける部材貼り付け装置、また、電子部品以外の貼り付け部材を貼り付ける貼り付け装置にも同様に起こりうる問題である。すなわち、上記のような問題は、被貼り付け部材に貼り付け部材を貼り付ける部材貼り付け装置全般に起こりうる問題である。

そこで、本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、基板の搬送や位置決めに要する時間が短く、生産性の高い部材貼り付け装置を提供することを目的とする。

［１］本発明の部材貼り付け装置は、被貼り付け部材に複数の貼り付け部材を貼り付ける部材貼り付け装置であって、基台と、前記基台の中央部に配設され、前記基台の上面に垂直な所定の回転軸を中心に複数の作業領域が所定角度ピッチで周方向に沿って配置され、前記回転軸を中心に間欠的に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの第１停止位置において、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における所定位置に載置するための搬入ステージと、前記回転テーブルの第２停止位置において、前記複数の貼り付け部材を前記トレイから前記被貼り付け部材の所定位置に順次移送して仮圧着する移送・仮圧着装置と、前記回転テーブルの第３停止位置において、前記被貼り付け部材に仮圧着されている前記複数の前記貼り付け部材を前記被貼り付け部材に対して一括して本圧着する真空圧着装置とを備えることを特徴とする。

本発明の部材貼り付け装置によれば、回転軸を中心に間欠的に回転する回転テーブルと、回転テーブルの第１停止位置において、被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の貼り付け部材が格納されているトレイを回転テーブルの作業領域における所定位置に載置するための搬入ステージと、回転テーブルの第２停止位置において、複数の貼り付け部材をトレイから被貼り付け部材の所定位置に順次移送して仮圧着する移送・仮圧着装置と、回転テーブルの第３停止位置において、被貼り付け部材に仮圧着圧着されている複数の貼り付け部材を被貼り付け部材に対して一括して本圧着する真空圧着装置とを備えることから、ある工程の実施位置から次の工程の実施位置への基板の受け渡しを回転テーブルの間欠的な回転により行うことができ、特許文献１に記載の実装装置の場合のように、ある工程の実施位置から次の工程の実施位置への基板の受け渡しを受け渡し手段により行う必要がなくなる。また、回転テーブルの作業領域における所定位置にパレット及びトレイをいったん載置した後は、回転テーブルの作業領域と、パレット及びトレイの位置関係は回転テーブルの回転中常に維持される。このため、本発明の部材貼り付け装置は、基板の搬送や位置決めに要する時間が短く、生産性の高い部材貼り付け装置となる。

また、本発明の部材貼り付け装置によれば、比較的長時間を要する本圧着の工程中に、複数の貼り付け部材をトレイから被貼り付け部材の所定位置に順次移送して仮圧着することができるため、各工程で無駄な待ち時間がなく、作業も中断せずに、全体として、効率良く、貼り付け作業を行うことができる。

なお、本発明において、被貼り付け部材には、フレキシブル基板、リジッド基板、ガラス基板などの基板、パネルその他の部材が含まれる。本発明において、貼り付け部材には、補強板、放熱板などの金属製の部材、保護フィルム、カバーレーフィルムなどの樹脂製の部材、半導体チップなどの電子部品その他の部材が含まれる。被貼り付け部材に貼り付け部材を貼り付けるための接着剤は、被貼り付け部材の貼り付け面に設けられていてもよいし、貼り付け部材の貼り付け面に設けられていてもよい。

また、本発明において、「所定回転ピッチ」とは、回転テーブルがｎ回間欠的に回転すると回転テーブルが初期回転位置に戻るような条件を満たす回転ピッチであり、例えば、「６０°」、「７２°」、「９０°」又は「１２０°」である。また、「間欠的に回転」とは、単一の所定回転ピッチ（例えば「１２０°」）で順方向に間欠的に回転する場合のみならず、２つの回転ピッチ（例えば、「１２０°」及び「−２４０°」）で順方向及び逆方向に間欠的に回転する場合（例えば「１２０°」→「１２０°」→「−２４０°」）も含む（後述する図１５及び図１６参照。）。

［２］本発明の部材貼り付け装置においては、前記移送・仮圧着装置は、前記基台の前記上面に平行なｘ軸及びｙ軸に沿って移動可能、かつ、前記ｘ軸及び前記ｙ軸に垂直な前記ｚ軸の回りに回転可能、かつ、前記ｚ軸に沿って昇降可能な吸着ノズルにより前記貼り付け部材の移送及び仮圧着をすることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、被貼り付け部材の所望の位置に貼り付け部材を正しい姿勢で貼り付けることができる。

［３］本発明の部材貼り付け装置においては、前記移送・仮圧着装置は、前記基台の前記上面に平行なｘ軸及びｙ軸で規定される平面内の所定の位置に移動可能な多関節アームの先端部に吸着ノズルが取り付けられ、当該吸着ノズルが、前記ｘ軸及び前記ｙ軸に垂直な前記ｚ軸の回りに回転可能、かつ、前記ｚ軸に沿って昇降可能に構成された多関節アームロボットの前記吸着ノズルにより前記貼り付け部材の移送及び仮圧着をすることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によっても、被貼り付け部材の所望の位置に貼り付け部材を正しい姿勢で貼り付けることができる。

［４］本発明の部材貼り付け装置においては、前記吸着ノズルには、吸着した前記貼り付け部材を加熱するヒータが配設されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、被貼り付け部材に貼り付け部材を仮圧着する際に貼り付け部材を高い温度にすることができ、仮圧着を確実に行うことができるようになる。

［５］本発明の部材貼り付け装置においては、前記移送・仮圧着装置は、各前記貼り付け部材を前記被貼り付け部材に対して所定の第１押圧力で押圧することにより前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に仮圧着し、前記真空圧着装置は、前記被貼り付け部材に仮圧着された前記複数の貼り付け部材を前記第１押圧力よりも高い第２押圧力で一括して押圧することにより、前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に本圧着することが好ましい。

ところで、被貼り付け部材に貼り付け部材を本圧着により確実に貼り付けるためにはある程度の時間がかかる場合（例えば３分）がある。本態様の部材貼り付け装置によれば、被貼り付け部材に対して各貼り付け部材を１個ずつ順次貼り付ける間の時間を利用することにより、また、第１押圧力よりも高い第２押圧力を用いることにより、被貼り付け部材に対して複数の貼り付け部材を確実に本圧着することができるようになる。

［６］本発明の部材貼り付け装置においては、前記真空圧着装置は、１５０℃〜２５０℃の温度雰囲気、かつ、０．０１〜３０ｋＰａの圧力雰囲気下で、前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に本圧着することが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、高温・高圧の雰囲気下で本圧着できるため、複数の貼り付け部材を被貼り付け部材に確実に本圧着できる。

［７］本発明の部材貼り付け装置においては、前記真空圧着装置は、前記複数の貼り付け部材の平面形状に対応する平面形状を有する下向き突起部を有する押圧部材で前記複数の貼り付け部材を押圧することにより、前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に本圧着することが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、被貼り付け部材に対して複数の貼り付け部材を貼り付ける部位に確実に圧力がかかるため、複数の貼り付け部材を被貼り付け部材に確実に本圧着できる。

［８］本発明の部材貼り付け装置においては、前記回転テーブルの前記作業領域及び前記真空圧着装置の前記押圧部材には、前記被貼り付け部材及び前記貼り付け部材を加熱するヒータが埋設されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、被貼り付け部材に貼り付け部材を本圧着する際に貼り付け部材及び被貼り付け部材を高い温度にすることができ、本圧着を確実に行うことができるようになる。

［９］本発明の部材貼り付け装置においては、前記真空圧着装置は、上部チャンバの底面を、前記パレットを囲む位置において前記回転テーブルの上面に密着可能に構成されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、回転テーブルの作業領域が第３停止位置で停止したときに、回転テーブルと上部チャンバとで真空チャンバが構成され、当該真空チャンバ中で本圧着工程を実施できる。

［１０］本発明の部材貼り付け装置においては、前記真空圧着装置は、上部チャンバの底面を、前記パレットの外周部において前記パレットの上面に密着可能に構成されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、回転テーブルの作業領域が第３停止位置で停止したときに、パレットと上部チャンバとで真空チャンバが構成され、当該真空チャンバ中で本圧着工程を実施できる。

［１１］本発明の部材貼り付け装置においては、前記被貼り付け部材の載置位置及び姿勢を計測するための第１カメラ、及び、前記吸着ヘッドが吸着した各前記貼り付け部材の前記吸着ヘッドに対する吸着位置及び姿勢を計測するための第２カメラが配設されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、第１カメラにより被貼り付け部材の載置位置及び姿勢を計測するとともに、第２カメラにより貼り付け部材の吸着位置及び姿勢を計測した後、被貼り付け部材の正しい位置に貼り付け部材を正しい姿勢で仮圧着できる。

［１２］本発明の部材貼り付け装置においては、前記回転テーブルの各前記作業領域には、前記パレット及び前記トレイを固定するための複数のピン又は孔が配設され、前記パレット及び前記トレイには、前記複数のピン又は孔に嵌合可能な複数の孔又はピンが配設されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、回転テーブルの作業領域にパレット及びトレイをそれぞれ正しい位置に、かつ、簡便に載置することができる。この場合、パレットをトレイよりも回転テーブルの外周側に載置することが好ましい。爾後の移送・仮圧着の工程と本圧着の工程を容易に実施できるようになるからである。

［１３］本発明の部材貼り付け装置においては、前記回転テーブルには、前記パレットを固定するためのパレット固定機構、及び、前記トレイを固定するためのトレイ固定機構が配設され、前記パレット固定機構は、前記トレイ固定機構よりも前記回転テーブルの外周側に配設されていることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によっても、回転テーブルの作業領域にパレット及びトレイをそれぞれ正しい位置に、かつ、簡便に載置することができる。また、パレットをトレイよりも回転テーブルの外周側に載置できるようになり、爾後の移送・仮圧着の工程と本圧着の工程を容易に実施できるようになる。

［１４］本発明の部材貼り付け装置においては、 前記所定角度ピッチは１２０°であり、前記搬入ステージは、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを搬出する搬出ステージを兼ね、前記回転テーブルは、前記所定の回転軸を中心に、「順方向に１２０°の回転ピッチで間欠的に回転する」又は「１２０°で２回順方向に間欠的に回転した後２４０°で１回逆方向に回転して初期位置に戻るという動作を繰り返す」ことが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、パレット及びトレイを搬出及び搬入する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に仮圧着する動作、及び、貼り付け部材を被貼り付け部材に本圧着する動作を３つの作業領域を用いて実施することができるようになる。

［１５］本発明の部材貼り付け装置においては、前記回転テーブルの第１停止位置における、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを前記回転テーブルの前記作業領域から搬出するとともに、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置に載置する動作と、前記回転テーブルの第２停止位置における、前記複数の貼り付け部材を前記トレイから前記被貼り付け部材の前記所定位置に順次移送及び仮圧着する動作と、前記回転テーブルの第３停止位置における、前記被貼り付け部材に前記複数の前記貼り付け部材を一括して本圧着する動作を、前記回転テーブルの一の停止期間中に実施することが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、パレット及びトレイを搬出及び搬入する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に仮圧着する動作、及び、貼り付け部材を被貼り付け部材に本圧着する動作を３つの作業領域を用いて同時に（同一タクトタイム内に）実施することができるようになる。

［１６］本発明の部材貼り付け装置においては、 前記所定角度ピッチは９０°であり、前記回転テーブルの第４停止位置において、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを、前記回転テーブルの前記作業領域から搬出する搬出ステージをさらに備え、前記回転テーブルは、前記所定の回転軸を中心に、「順方向に９０°の回転ピッチで間欠的に回転する」又は「９０°で３回順方向に間欠的に回転した後２７０°で１回逆方向に回転して初期位置に戻るという動作を繰り返す」ことが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、パレット及びトレイを搬入する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に仮圧着する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に本圧着する動作、及び、パレット及びトレイを搬出する動作を４つの作業領域を用いて実施することができるようになる。

［１７］本発明の部材貼り付け装置においては、前記回転テーブルの第１停止位置における、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置に載置する動作と、前記回転テーブルの第２停止位置における、前記複数の貼り付け部材を前記トレイから前記被貼り付け部材の前記所定位置に順次移送及び仮圧着する動作と、前記回転テーブルの第３停止位置における、前記被貼り付け部材に前記複数の前記貼り付け部材を一括して本圧着する動作と、前記回転テーブルの第４停止位置における、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを、前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置から搬出する動作を、前記回転テーブルの一の停止期間中に実施することが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、パレット及びトレイを搬入する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に仮圧着する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に本圧着する動作、及び、パレット及びトレイを搬出する動作を４つの作業領域を用いて同時に（同一タクトタイム内に）実施することができるようになる。

［１８］本発明の部材貼り付け装置においては、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置に載置する搬入装置と、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット及び前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを前記回転テーブルの前記作業領域から搬出する搬出装置をさらに備えることが好ましい。

本態様の部材貼り付け装置によれば、、パレット及びトレイを搬入する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に仮圧着する動作、貼り付け部材を被貼り付け部材に本圧着する動作、及び、パレット及びトレイを搬出する動作を、人手を介さずに、全自動で実施することができるようになる。

実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の斜視図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の側面図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の側面図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の平面図である。 パレット１０及びトレイ２０を説明するために示す図である。 フレキシブル基板３０及び補強板４０を説明するために示す図である。 移送・仮圧着装置１４０の斜視図である。 真空圧着装置１５０を説明するために示す図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の動作を説明するために示す図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の動作を説明するために示す図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の動作を説明するために示す図である。 実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の動作を説明するために示す図である。 変形例１における真空圧着装置の要部拡大図である。 変形例２における真空圧着装置の要部拡大図である。 変形例３における回転テーブルの回転動作を説明するために示す図である。 変形例４及び５における回転テーブルの回転動作を説明するために示す図である。 特許文献１に記載の実装装置９００の構成を示す図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。

実施形態においては、貼り付け部材としての補強板を被貼り付け部材としてのフレキシブル基板に貼り付ける貼り付け部材、すなわち、補強板貼り付け装置を用いて、本発明の部材貼り付け装置を説明する。

１．実施形態に係る補強板貼り付け装置の構成
図１は、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の斜視図である。図２は、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の側面図である。図３は、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の側面図である。図４は、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の平面図である。図５は、パレット１０及びトレイ２０を説明するために示す図である。図５（ａ）は複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着する前の段階のパレット１０及びトレイ２０を示す図であり、図５（ｂ）は複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着した後のパレット１０及びトレイ２０を示す図である。図６は、フレキシブル基板３０及び補強板４０を説明するために示す図である。図６（ａ）はフレキシブル基板３０及び補強板４０の平面図であり、図６（ｂ）はフレキシブル基板３０及び補強板４０の側面図である。図７は、移送・仮圧着装置１４０の斜視図である。図８は、真空圧着装置１５０を説明するために示す図である。図８（ａ）は真空圧着装置１５０の全体を含む断面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）の符号Ａの部分を拡大した要部拡大断面図であり、図８（ｃ）は図８（ｂ）の要部拡大断面図をさらに拡大して示す断面図である。

実施形態に係る補強板貼り付け装置１００は、フレキシブル基板に複数の補強板を貼り付ける補強板貼り付け装置であって、図１〜図８に示すように、基台１１０と、基台１１０の中央部に配設され、基台１１０の上面に垂直な所定の回転軸１２１を中心に複数の作業領域１２２が所定角度ピッチ（１２０°）で周方向に沿って配置され、回転軸１２１を中心に間欠的に回転する回転テーブル１２０と、回転テーブル１２０の第１停止位置において、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域１２２における所定位置に載置するための搬入ステージ１３０と、回転テーブル１２０の第２停止位置において、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０の所定位置に順次移送して仮圧着する移送・仮圧着装置１４０と、回転テーブル１２０の第３停止位置において、フレキシブル基板３０に仮圧着されている複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に対して一括して本圧着する真空圧着装置１５０とを備える。

移送・仮圧着装置１４０は、図７に示すように、基台１１０の上面に平行なｘ軸及びｙ軸に沿って移動可能、かつ、ｘ軸及びｙ軸に垂直なｚ軸の回りに回転可能、かつ、ｚ軸に沿って昇降可能な吸着ノズル１４５により補強板４０の移送及び仮圧着をする。吸着ノズル１４５には、吸着した補強板４０を加熱する図示しないヒータが配設されている。

移送・仮圧着装置１４０は、各補強板４０をフレキシブル基板３０に対して所定の第１押圧力で押圧することにより、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着し、真空圧着装置１５０は、フレキシブル基板３０に仮圧着された複数の補強板４０を第１押圧力よりも高い第２押圧力で一括して押圧することにより、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する。

真空圧着装置１５０は、１５０℃〜２５０℃の温度雰囲気、かつ、０．０１〜３０ｋＰａの圧力雰囲気下で、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する。

真空圧着装置１５０は、図８に示すように、複数の補強板４０の平面形状に対応する平面形状を有する下向き突起部１５６を有する押圧部材１５５で複数の補強板４０を押圧することにより、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する。

回転テーブル１２０の作業領域及び真空圧着装置１５０の押圧部材１５５には、フレキシブル基板３０及び補強板４０を加熱するための図示しないヒータが埋設されている。

真空圧着装置１５０は、上部チャンバの底面を、パレット１０を囲む位置において回転テーブル１２０の上面に密着可能に構成されている。

移送・仮圧着装置１４０には、図７に示すように、フレキシブル基板３０の載置位置及び姿勢を計測するための第１カメラ１４６が配設され、基台１１０には、図４に示すように、吸着ノズル１４５が吸着した補強板４０の吸着ノズル１４５に対する吸着位置及び姿勢を計測するための第２カメラ１１１が配設されている。

回転テーブル１２０の各作業領域１２２には、パレット１０及びトレイ２０を固定するための図示しない複数のピン又は孔が配設され、パレット及びトレイには、回転テーブル１２０の複数のピン又は孔に嵌合可能な図示しない複数の孔又はピンが配設されている。

実施形態に係る補強板貼り付け装置１００においては、所定角度ピッチは１２０°であり、搬入ステージ１３０は、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が載置されたパレット１０、及び、複数の補強板４０が取り出されたトレイ２０を搬出する搬出ステージを兼ね、回転テーブル１２０は、所定の回転軸を中心に、順方向に１２０°の回転ピッチで間欠的に回転する。

そして、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００においては、回転テーブル１２０の第１停止位置における、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が格納されたパレット１０、及び、複数の補強板４０が取り出されたトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域１２２から搬出するとともに、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域１２２における所定位置に載置する動作と、回転テーブル１２０の第２停止位置における、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０の所定位置に順次移送及び仮圧着する動作と、回転テーブル１２０の第３停止位置における、フレキシブル基板３０に仮圧着された複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に対して一括して本圧着する動作を、回転テーブル１２０の一の停止期間中に実施する。

２．実施形態に係る補強板貼り付け装置の動作
図９〜図１２は、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００の動作を説明するために示す図である。図９は以下の第１工程における動作を示す図であり、図１０は第２工程における動作を示す図であり、図１１は第３工程における動作を示す図であり、図１２は第４工程における動作を示す図である。

（１）第１工程
まず、最初に回転テーブル１２０を回転して、回転テーブル１２０の作業領域Ａを回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）に移動する（図９（ａ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の作業領域Ｂは回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）に位置することになり、回転テーブル１２０の作業領域Ｃは回転テーブル１２０の第３停止位置（２４０°）に位置することになる。

次に、回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）において、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域Ａにおける所定位置に載置する（図９（ａ）及び図９（ｂ）参照。）。

（２）第２工程
次に、回転テーブル１２０を１２０°回転して、回転テーブル１２０の作業領域Ａを回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）に移動する（図９（ｃ）及び図１０（ａ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の作業領域Ｂは回転テーブル１２０の第３停止位置（２４０°）に位置することになり、回転テーブル１２０の作業領域Ｃは回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）に位置することになる。

次に、回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）において、移送・仮圧着装置１４０を用いて、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０に順次移送して仮圧着する動作を行う（図１０（ａ）及び図１０（ｂ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）においては、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域Ｂにおける所定位置に載置する動作も行う。

（３）第３工程
次に、回転テーブル１２０を１２０°回転して、回転テーブル１２０の作業領域Ａを回転テーブル１２０の第３停止位置（２４０°）に移動する（図１０（ｃ）及び図１１（ａ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の作業領域Ｂは回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）に位置することになり、回転テーブル１２０の作業領域Ｃは回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）に位置することになる。

次に、回転テーブル１２０の第３停止位置（２４０°）において、真空圧着装置１５０を用いて、フレキシブル基板３０に複数の補強板４０を一括して本圧着する動作を行う（図１１（ａ）及び図１１（ａ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）においては、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０に順次移送して仮圧着する動作も行い、回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）においては、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域Ｃにおける所定位置に載置する。

（４）第４工程
次に、回転テーブル１２０を１２０°回転して、回転テーブル１２０の作業領域Ａを回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）に移動する（図１１（ｃ）及び図１２（ａ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の作業領域Ｂは回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）に位置することになり、回転テーブル１２０の作業領域Ｃは回転テーブル１２０の第３停止位置（２４０°）に位置することになる。

次に、回転テーブル１２０の第１停止位置（０°）においては、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が格納されたパレット１０、及び、複数の補強板４０が取り出されたトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域Ａから搬出するとともに、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域Ａにおける所定位置に載置する（図１２（ａ）〜図１２（ｃ）参照。）。このとき、回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）においては、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０に順次移送して仮圧着する動作も行い、回転テーブル１２０の第３停止位置（２４０°）において、真空圧着装置１５０を用いて、フレキシブル基板３０に複数の補強板４０を一括して本圧着する動作も行う。

（５）第５工程以降
次に、回転テーブル１２０を１２０°回転して、回転テーブル１２０の作業領域Ａを回転テーブル１２０の第２停止位置（１２０°）に向けて移動し（図１２（ｄ）参照。）、その後、上記第２工程から第４工程までの工程を繰り返す。これにより、複数の補強板４０が貼り付けられた多数のフレキシブル基板３０を高い生産性で製造することとができる。

３．実施形態に係る補強板貼り付け装置の効果
実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、回転軸を中心に間欠的に回転する回転テーブル１２０と、回転テーブル１２０の第１停止位置において、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域における所定位置に載置するための搬入ステージ１３０と、回転テーブル１２０の第２停止位置において、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０の所定位置に順次移送して仮圧着する移送・仮圧着装置１４０と、回転テーブル１２０の第３停止位置において、フレキシブル基板３０に仮圧着されている複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に対して一括して本圧着する真空圧着装置１５０とを備えることから、ある工程の実施位置から次の工程の実施位置への基板の受け渡しを回転テーブルの間欠的な回転により行うことができ、特許文献１に記載の実装装置の場合のように、ある工程の実施位置から次の工程の実施位置への基板の受け渡しを受け渡し手段により行う必要がなくなる。また、回転テーブル１２０の作業領域１２２における所定位置にパレット１０及びトレイ２０をいったん載置した後は、回転テーブル１２０の作業領域１２２と、パレット１０及びトレイ２０の位置関係は回転テーブル１２０の回転中常に維持される。このため、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００は、基板の搬送や位置決めに要する時間が短く、生産性の高い補強板貼り付け装置となる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、比較的長時間を要する本圧着の工程中に、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０に順次移送して仮圧着することができるため、各工程で無駄な待ち時間がなく、作業も中断せずに、全体として、効率良く、貼り付け作業を行うことができる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、移送・仮圧着装置１４０が、基台１１０の上面に平行なｘ軸及びｙ軸に沿って移動可能、かつ、ｘ軸及びｙ軸に垂直なｚ軸の回りに回転可能、かつ、ｚ軸に沿って昇降可能な吸着ノズル１４５により補強板４０の移送及び仮圧着をすることから、フレキシブル基板３０の所望の位置に補強板４０を正しい姿勢で貼り付けることができる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、吸着ノズル１４５には、吸着した補強板４０を加熱する図示しないヒータが配設されていることから、フレキシブル基板３０に補強板４０を貼り付ける際に補強板４０を高い温度にすることができ、仮圧着を確実に行うことができるようになる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、移送・仮圧着装置１４０が、各補強板４０をフレキシブル基板３０に対して所定の第１押圧力で押圧することにより複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着し、真空圧着装置１５０が、フレキシブル基板３０に仮圧着された複数の補強板４０を第１押圧力よりも高い第２押圧力で一括して押圧することにより、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着することから、フレキシブル基板３０に対して各補強板４０を１個ずつ仮圧着する間の時間を利用することにより、また、第１押圧力よりも高い第２押圧力を用いることにより、フレキシブル基板３０に対して複数の補強板４０を確実に本圧着することができるようになる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、真空圧着装置１５０が、１５０℃〜２５０℃の温度雰囲気、かつ、０．０１〜３０ｋＰａの圧力雰囲気下で、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着することから、高温・高圧の雰囲気下での本圧着となり、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に確実に本圧着できる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、真空圧着装置１５０が、複数の補強板４０の平面形状に対応する平面形状を有する下向き突起部１５６を有する押圧部材１５５で複数の補強板４０を押圧することにより、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着することから、フレキシブル基板３０に対して複数の補強板４０を貼り付ける部位に確実に圧力がかかるようになり、複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に確実に本圧着できる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、回転テーブル１２０の作業領域及び真空圧着装置１５０の押圧部材１５５に、フレキシブル基板３０及び補強板４０を加熱するヒータが埋設されていることから、フレキシブル基板３０に補強板４０を本圧着する際にフレキシブル基板３０及び補強板４０を高い温度にすることができ、本圧着を確実に行うことができる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、真空圧着装置１５０が、上部チャンバの底面を、パレット１０を囲む位置において回転テーブル１２０の上面に密着可能に構成されていることから、回転テーブル１２０の作業領域１２２が第３停止位置で停止したときに、回転テーブル１２０と上部チャンバとで真空チャンバが構成され、当該真空チャンバ中で本圧着工程を実施できる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、フレキシブル基板３０の載置位置及び姿勢を計測するための第１カメラ１４６が配設され、基台１１０に、吸着ノズル１４５が吸着した補強板４０の吸着ノズル１４５に対する吸着位置及び姿勢を計測するための第２カメラ１１１が配設されていることから、第１カメラ１４６によりフレキシブル基板３０の載置位置及び姿勢を計測するとともに、第２カメラ１１１により補強板４０の吸着位置及び姿勢を計測した後、フレキシブル基板３０の正しい位置に補強板４０を正しい姿勢で仮圧着できる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、回転テーブル１２０の各作業領域１２２には、パレット１０及びトレイ２０を固定するための複数のピン又は孔が配設され、パレット１０及びトレイ２０には、複数のピン又は孔に嵌合可能な複数の孔又はピンが配設されていることから、回転テーブル１２０の作業領域にパレット１０及びトレイ２０をそれぞれ正しい位置に、かつ、簡便に載置することができる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、所定角度ピッチが１２０°であり、かつ、搬入ステージ１３０が、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が格納されたパレット１０、及び、複数の補強板４０が取り出されたトレイ２０を搬出する搬出ステージを兼ね、回転テーブル１２０が、所定の回転軸を中心に、順方向に１２０°の回転ピッチで間欠的に回転することから、パレット１０及びトレイ２０を搬出及び搬入する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着する動作、及び、補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する動作を３つの作業領域を用いて実施することができるようになる。

また、実施形態に係る補強板貼り付け装置１００によれば、回転テーブル１２０の第１停止位置における、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が格納されたパレット１０、及び、複数の補強板４０が取り出されたトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域から搬出するとともに、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域における所定位置に載置する動作と、回転テーブル１２０の第２停止位置における、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０に順次移送及び仮圧着する動作と、回転テーブル１２０の第３停止位置における、フレキシブル基板３０に圧着されている複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に対して一括して本圧着する動作を、回転テーブル１２０の一の停止期間中に実施することから、パレット１０及びトレイ２０を搬出及び搬入する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着する動作、及び、補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する動作を３つの作業領域を用いて同時に（同一タクトタイム内に）実施することができるようになる。

なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。

（１）上記した実施形態においては、基台の上面に平行なｘ軸及びｙ軸に沿って移動可能、かつ、ｚ軸の回りに回転可能、かつ、ｚ軸に沿って昇降可能な吸着ノズルにより補強板の移送及び仮圧着をする移送・仮圧着装置を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、基台の上面に平行なｘ軸及びｙ軸で規定される平面内の所定の位置に移動可能な多関節アームの先端部に吸着ノズルが取り付けられ、当該吸着ノズルがｚ軸の回りに回転可能、かつ、ｚ軸に沿って昇降可能に構成された多関節アームロボットの吸着ノズルにより補強板の移送及び仮圧着をする移送・仮圧着装置を用いてもよい。このような補強板貼り付け装置によっても、フレキシブル基板の所望の位置に補強板を正しい姿勢で貼り付けることができる。

（２）上記した実施形態においては、上部チャンバの底面を、パレット１０を囲む位置において回転テーブル１２０の上面に密着可能に構成された真空圧着装置１５０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１３は、変形例１における真空圧着装置の要部拡大図である。例えば、図１３に示すように、上部チャンバの底面を、パレット１０の外周部においてパレット１０の上面に密着可能に構成された真空圧着装置を用いてもよい。この場合、回転テーブル１０の作業領域１２２が第３停止位置で停止したときに、パレット１０と上部チャンバとで真空チャンバが構成され、当該真空チャンバ中で本圧着工程を実施できる。

（３）上記した実施形態においては、貼り付け部材として、底面から２つの側面が立設した構造の補強板を用いたため、各補強板の凹部に対応した下向き突起部を有する押圧部材を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。図１４は、変形例２における真空圧着装置の要部拡大図である。貼り付け部材として、例えば、平面状の補強板を用いる場合には、図１４に示すように、複数の補強板をまたぐように連続した下向き突起部を有する押圧部材を用いることができる。

（４）上記した実施形態においては、回転テーブルの作業領域に配設されたピン又は孔と、パレット及びトレイに配設された孔又はピンを用いて、回転テーブルの作業領域にパレット及びトレイを固定したが、本発明はこれに限定されるものではない。種々のパレット固定機構及びトレイ固定機構を用いて、回転テーブルの作業領域にパレット及びトレイを固定してもよい。この場合、パレット固定機構は、トレイ固定機構よりも回転テーブルの外周側に配設されていることが好ましい。このような構成とすることにより、仮圧着の工程と本圧着の工程を容易に実施できるようになる。

（５）上記した実施形態においては、図９〜図１２に示すように、回転テーブルを「１２０°」の回転ピッチで順方向に間欠的に回転させながら、被貼り付け部材に対する貼り付け部材の貼り付け動作を行ったが（図１５（ａ）参照。）、本発明はこれに限定されるものではない。回転テーブルを「１２０°」の回転ピッチで２回順方向に間欠的に回転させた後「２４０°」の回転ピッチで１回逆方向回転させて初期位置に戻るという動作を繰り返しながら、被貼り付け部材に対する貼り付け部材の貼り付け動作を行ってもよい（変形例３、図１５（ｂ）参照。）。

また、回転テーブルを「９０°」の回転ピッチで順方向に間欠的に回転させながら、被貼り付け部材に対する貼り付け部材の貼り付け動作を行ってもよい（変形例４、図１６（ａ）参照。）、また、回転テーブルを「９０°」の回転ピッチで３回順方向に間欠的に回転させた後「２７０°」の回転ピッチで１回逆方向に回転させて初期位置に戻るという動作を繰り返しながら、被貼り付け部材に対する貼り付け部材の貼り付け動作を行ってもよい（変形例５、図１６（ｂ）参照。）。これにより、パレット１０及びトレイ２０を搬入する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する動作、及び、パレット１０及びトレイ２０を搬出する動作を４つの作業領域を用いて実施することができるようになる。

この場合、回転テーブル１２０の第１停止位置における、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域における所定位置に載置する動作と、回転テーブル１２０の第２停止位置における、複数の補強板４０をトレイ２０からフレキシブル基板３０に順次移送及び仮圧着する動作と、回転テーブル１２０の第３停止位置における、フレキシブル基板３０に仮圧着されている複数の補強板４０をフレキシブル基板３０に対して一括して本圧着する動作と、回転テーブル１２０の第４停止位置における、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が格納されたパレット１０、及び、補強板４０が取り出されたトレイ２０を、回転テーブル１２０の作業領域から搬出する動作を、回転テーブル１２０の一の停止期間中に実施することが好ましい。これにより、パレット１０及びトレイ２０を搬入する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する動作、及び、パレット１０及びトレイ２０を搬出する動作を４つの作業領域を用いて同時に（同一タクトタイム内に）実施することができるようになる。

（６）実施形態に係る補強板貼り付け装置１００は、フレキシブル基板３０が格納されているパレット１０及び複数の補強板４０が格納されているトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域における所定位置に載置する搬入装置と、複数の補強板４０が本圧着されたフレキシブル基板３０が載置されたパレット１０及び複数の補強板４０が取り出されたトレイ２０を回転テーブル１２０の作業領域から搬出する搬出装置をさらに備えていてもよい。これにより、パレット１０及びトレイ２０を搬入する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に仮圧着する動作、補強板４０をフレキシブル基板３０に本圧着する動作、及び、パレット１０及びトレイ２０を搬出する動作を、人手を介さずに、全自動で実施することができるようになる。

（７）上記した実施形態においては、被貼り付け部材として、フレキシブル基板を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。被貼り付け部材として、例えば、リジッド基板、ガラス基板などの基板、パネルその他の部材を用いることもできる。

（８）上記した実施形態においては、貼り付け部材として、補強板を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。貼り付け部材として、例えば、放熱板などの金属製の部材、保護フィルム、カバーレイフィルムなどの樹脂製の部材、半導体チップなどの電子部品その他の部材を用いることもできる。

１０・・・パレット、１１・・・溝、２０・・・トレイ、２１・・・凹部、３０・・・フレキシブル基板、３１・・・位置決め用孔又はマーク、３２・・・接着剤、４０・・・補強板、４１・・・位置決め用孔、４２・・・底部、４３・・・側部、１００・・・補強板貼り付け装置、１１０・・・基台、１１１・・・第２カメラ、１１２・・・円形レール、１１３・・・撮影用孔、１２０・・・回転テーブル、１２１・・・回転駆動部、１２２・・・作業領域、１３０・・・搬入ステージ、１４０・・・移送・仮圧着装置、１４１・・・門型フレーム、１４２・・・Ｘ駆動部、１４３・・・Ｙ駆動部、１４４・・・Ｚθ駆動部、１４５・・・吸着ノズル、１４６・・・第１カメラ、１５０・・・真空圧着装置、１５１・・・真空チャンバ、１５２・・・上部チャンバ昇降装置、１５３・・・押圧装置、１５４，１５７・・・上部チャンバの底部、１５５・・・押圧部材、１５６・・・下向き突起部、１５８・・・位置決め治具

［２］本発明の部材貼り付け装置においては、前記移送・仮圧着装置は、前記基台の前記上面に平行なｘ軸及びｙ軸に沿って移動可能、かつ、前記ｘ軸及び前記ｙ軸に垂直なｚ軸の回りに回転可能、かつ、前記ｚ軸に沿って昇降可能な吸着ノズルにより前記貼り付け部材の移送及び仮圧着をすることが好ましい。

［３］本発明の部材貼り付け装置においては、前記移送・仮圧着装置は、前記基台の前記上面に平行なｘ軸及びｙ軸で規定される平面内の所定の位置に移動可能な多関節アームの先端部に吸着ノズルが取り付けられ、当該吸着ノズルが、前記ｘ軸及び前記ｙ軸に垂直なｚ軸の回りに回転可能、かつ、前記ｚ軸に沿って昇降可能に構成された多関節アームロボットの前記吸着ノズルにより前記貼り付け部材の移送及び仮圧着をすることが好ましい。

［１１］本発明の部材貼り付け装置においては、前記被貼り付け部材の載置位置及び姿勢を計測するための第１カメラ、及び、前記吸着ノズルが吸着した各前記貼り付け部材の前記吸着ノズルに対する吸着位置及び姿勢を計測するための第２カメラが配設されていることが好ましい。

Claims (18)

1. 被貼り付け部材に複数の貼り付け部材を貼り付ける部材貼り付け装置であって、
   基台と、
   前記基台の中央部に配設され、前記基台の上面に垂直な所定の回転軸を中心に複数の作業領域が所定角度ピッチで周方向に沿って配置され、前記回転軸を中心に間欠的に回転する回転テーブルと、
   前記回転テーブルの第１停止位置において、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における所定位置に載置するための搬入ステージと、
   前記回転テーブルの第２停止位置において、前記複数の貼り付け部材を前記トレイから前記被貼り付け部材の所定位置に順次移送して仮圧着する移送・仮圧着装置と、
   前記回転テーブルの第３停止位置において、前記被貼り付け部材に仮圧着されている前記複数の前記貼り付け部材を前記被貼り付け部材に対して一括して本圧着する真空圧着装置とを備えることを特徴とする部材貼り付け装置。
2. 請求項１に記載の部材貼り付け装置において、
   前記移送・仮圧着装置は、前記基台の前記上面に平行なｘ軸及びｙ軸に沿って移動可能、かつ、前記ｘ軸及び前記ｙ軸に垂直な前記ｚ軸の回りに回転可能、かつ、前記ｚ軸に沿って昇降可能な吸着ノズルにより前記貼り付け部材の移送及び仮圧着をすることを特徴とする部材貼り付け装置。
3. 請求項１に記載の部材貼り付け装置において、
   前記移送・仮圧着装置は、前記基台の前記上面に平行なｘ軸及びｙ軸で規定される平面内の所定の位置に移動可能な多関節アームの先端部に吸着ノズルが取り付けられ、当該吸着ノズルが、前記ｘ軸及び前記ｙ軸に垂直な前記ｚ軸の回りに回転可能、かつ、前記ｚ軸に沿って昇降可能に構成された多関節アームロボットの前記吸着ノズルにより前記貼り付け部材の移送及び仮圧着をすることを特徴とする部材貼り付け装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
   前記吸着ノズルには、吸着した前記貼り付け部材を加熱するヒータが配設されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
   前記移送・仮圧着装置は、各前記貼り付け部材を前記被貼り付け部材に対して所定の第１押圧力で押圧することにより前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に仮圧着し、
   前記真空圧着装置は、前記被貼り付け部材に仮圧着された前記複数の貼り付け部材を前記第１押圧力よりも高い第２押圧力で一括して押圧することにより、前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に本圧着することを特徴とする部材貼り付け装置。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
   前記真空仮圧着装置は、１５０℃〜２５０℃の温度雰囲気、かつ、０．０１〜３０ｋＰａの圧力雰囲気下で、前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に本圧着することを特徴とする部材貼り付け装置。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
   前記真空圧着装置は、前記複数の貼り付け部材の平面形状に対応する平面形状を有する下向き突起部を有する押圧部材で前記複数の貼り付け部材を押圧することにより、前記複数の貼り付け部材を前記被貼り付け部材に本圧着することを特徴とする部材貼り付け装置。
8. 請求項７に記載の部材貼り付け装置において、
   前記回転テーブルの前記作業領域及び前記真空圧着装置の前記押圧部材には、前記被貼り付け部材及び前記貼り付け部材を加熱するヒータが埋設されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
   前記真空圧着装置は、上部チャンバの底面を、前記パレットを囲む位置において前記回転テーブルの上面に密着可能に構成されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
10. 請求項１〜８のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記真空圧着装置は、上部チャンバの底面を、前記パレットの外周部において前記パレットの上面に密着可能に構成されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
11. 請求項１〜１０のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記被貼り付け部材の載置位置及び姿勢を計測するための第１カメラ、及び、前記吸着ヘッドが吸着した各前記貼り付け部材の前記吸着ヘッドに対する吸着位置及び姿勢を計測するための第２カメラが配設されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
12. 請求項１〜１１のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記回転テーブルの各前記作業領域には、前記パレット及び前記トレイを固定するための複数のピン又は孔が配設され、
    前記パレット及び前記トレイには、前記複数のピン又は孔に嵌合可能な複数の孔又はピンが配設されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
13. 請求項１〜１１のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記回転テーブルには、前記パレットを固定するためのパレット固定機構、及び、前記トレイを固定するためのトレイ固定機構が配設され、
    前記パレット固定機構は、前記トレイ固定機構よりも前記回転テーブルの外周側に配設されていることを特徴とする部材貼り付け装置。
14. 請求項１〜１３のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記所定角度ピッチは１２０°であり、
    前記搬入ステージは、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを搬出する搬出ステージを兼ね、
    前記回転テーブルは、前記所定の回転軸を中心に、「順方向に１２０°の回転ピッチで間欠的に回転する」又は「１２０°で２回順方向に間欠的に回転した後２４０°で１回逆方向に回転して初期位置に戻るという動作を繰り返す」ことを特徴とする部材貼り付け装置。
15. 請求項１４に記載の部材貼り付け装置において、
    前記回転テーブルの第１停止位置における、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを前記回転テーブルの前記作業領域から搬出するとともに、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置に載置する動作と、前記回転テーブルの第２停止位置における、前記複数の貼り付け部材を前記トレイから前記被貼り付け部材の前記所定位置に順次移送及び仮圧着する動作と、前記回転テーブルの第３停止位置における、前記被貼り付け部材に前記複数の前記貼り付け部材を一括して本圧着する動作を、前記回転テーブルの一の停止期間中に実施することを特徴とする部材貼り付け装置。
16. 請求項１〜１３のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記所定角度ピッチは９０°であり、
    前記回転テーブルの第４停止位置において、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを、前記回転テーブルの前記作業領域から搬出する搬出ステージをさらに備え、
    前記回転テーブルは、前記所定の回転軸を中心に、「順方向に９０°の回転ピッチで間欠的に回転する」又は「９０°で３回順方向に間欠的に回転した後２７０°で１回逆方向に回転して初期位置に戻るという動作を繰り返す」ことを特徴とする部材貼り付け装置。
17. 請求項１６に記載の部材貼り付け装置において、
    前記回転テーブルの第１停止位置における、前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置に載置する動作と、前記回転テーブルの第２停止位置における、前記複数の貼り付け部材を前記トレイから前記被貼り付け部材の前記所定位置に順次移送及び仮圧着する動作と、前記回転テーブルの第３停止位置における、前記被貼り付け部材に前記複数の前記貼り付け部材を一括して本圧着する動作と、前記回転テーブルの第４停止位置における、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット、及び、前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを、前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置から搬出する動作を、前記回転テーブルの一の停止期間中に実施することを特徴とする部材貼り付け装置。
18. 請求項１〜１７のいずれかに記載の部材貼り付け装置において、
    前記被貼り付け部材が格納されているパレット及び複数の前記貼り付け部材が格納されているトレイを前記回転テーブルの前記作業領域における前記所定位置に載置する搬入装置と、前記複数の貼り付け部材が本圧着された前記被貼り付け部材が格納された前記パレット及び前記複数の貼り付け部材が取り出された前記トレイを前記回転テーブルの前記作業領域から搬出する搬出装置をさらに備えることを特徴とする部材貼り付け装置。

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