JP2018114229A - 物品搬送設備 - Google Patents
物品搬送設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018114229A JP2018114229A JP2017008742A JP2017008742A JP2018114229A JP 2018114229 A JP2018114229 A JP 2018114229A JP 2017008742 A JP2017008742 A JP 2017008742A JP 2017008742 A JP2017008742 A JP 2017008742A JP 2018114229 A JP2018114229 A JP 2018114229A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article
- fire
- vehicle
- fire extinguishing
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Fire-Extinguishing By Fire Departments, And Fire-Extinguishing Equipment And Control Thereof (AREA)
Abstract
【課題】消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持できる物品搬送設備を提供する。
【解決手段】工場内の複数の処理設備2間を結ぶ搬送経路Rと、搬送経路Rに沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車3と、制御装置と、を備え、物品搬送車3又は物品搬送車3とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車3Fを少なくとも一台備え、制御装置は、複数の物品搬送車3を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、消火用移動車3Fを搬送経路Rに沿って火災発生場所FPへ移動させる。
【選択図】図5
【解決手段】工場内の複数の処理設備2間を結ぶ搬送経路Rと、搬送経路Rに沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車3と、制御装置と、を備え、物品搬送車3又は物品搬送車3とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車3Fを少なくとも一台備え、制御装置は、複数の物品搬送車3を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、消火用移動車3Fを搬送経路Rに沿って火災発生場所FPへ移動させる。
【選択図】図5
Description
本発明は、消火用移動車を備えた工場内の物品搬送設備に関する。
例えば、下記の特許文献1には、工場内で火災が発生した場合に消火を行う消火装置が開示されている。この消火装置は、工場内の空間に敷設された高架式のモノレール1と、当該モノレール1を走行する移動車2と、を備えている。そして、移動車2は、消火剤容器7を有しており、モノレール1に沿って火災発生地点まで走行可能に構成されている。特許文献1の消火装置は、消火剤容器7を有する移動車2を火災発生地点まで走行させることで当該火災発生地点において消火剤を撒き、消火を行う。
このように、特許文献1では、消火専用の移動車2が走行するための専用のモノレール1が工場内に設けられている。しかしながら、工場内の複数の処理設備間で物品を搬送する物品搬送設備を設置する場合には、特許文献1に記載されたような消火装置があると、モノレール1によって、物品搬送設備の配置スペースが制限されることになる。そのため、物品搬送設備による物品の搬送経路が制限されたり、処理設備の配置が制限されたりして、工場内の空間の利用効率が低下するおそれがあった。
そこで、消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持できる物品搬送設備の実現が望まれる。
本開示に係る物品搬送設備は、
工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる。
工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる。
本構成によれば、通常時は物品を搬送するために用いられる搬送経路を利用して、消火装置を備えた消火用移動車を火災発生場所に移動させることができる。そのため、物品搬送設備内に、搬送経路とは別に消火移動車専用の経路を設ける必要がない。従って、本構成によれば、消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持することができる。
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
1.第一実施形態
1−1.物品搬送設備の機械的構成
第一実施形態に係る物品搬送設備について、図面を参照して説明する。
図1及び2に示すように、物品搬送設備1は、工場内の複数の処理設備2間を結ぶ搬送経路Rと、搬送経路Rに沿って移動して物品Wを搬送する複数の物品搬送車3と、を備えている。
1−1.物品搬送設備の機械的構成
第一実施形態に係る物品搬送設備について、図面を参照して説明する。
図1及び2に示すように、物品搬送設備1は、工場内の複数の処理設備2間を結ぶ搬送経路Rと、搬送経路Rに沿って移動して物品Wを搬送する複数の物品搬送車3と、を備えている。
搬送経路Rは、複数の処理設備2を経由するように形成されている。そのため、物品搬送車3は、搬送経路Rを移動することで複数の処理設備2のそれぞれに物品を搬送することができる。例えば、搬送経路Rは、工場内の床に形成されていても良いし、床から上方に離間した空間に形成されていても良い。本実施形態では、搬送経路Rは、半導体製造工場の天井Cから吊り下げられたレール99に沿って形成されている(図2参照)。図2に示す例では、レール99は、支持部材98によって天井Cに吊り下げ支持されている。
図1に示す例では、処理設備2は、半導体製造工場に設置された半導体製造設備2A及び保管設備2Bの少なくとも一方を含んでいる。複数の半導体製造設備2Aによって半導体ウエハに対する各処理工程が実施される。例えば、半導体製造設備2Aでは、半導体ウエハの成膜処理、現像処理及びエッチング処理等の加工処理が行われる。また、保管設備2Bでは、半導体ウエハの保管処理が行われる。例えば、保管設備2Bでは、上記加工処理を待つ半導体ウエハが仮保管処理される。
図1に示す例では、搬送経路Rは、各処理工程が実施される複数の処理設備2を結ぶ工程内経路R1と、当該複数の工程内経路R1を結ぶ工程間経路R2と、を有している。そのため、物品搬送車3は、工程内経路R1及び工程間経路R2を移動することで半導体製造設備2A及び保管設備2Bに物品Wを搬送することができる。
本実施形態では、物品Wは、半導体ウエハを収容する容器である。図2には、物品Wとして、半導体ウエハを収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)が例示されている。半導体ウエハは、物品WとしてのFOUPに収容された状態で物品搬送車3によって各処理設備2に搬送され、各処理設備2において処理される。
図2に示す例では、物品搬送車3は、レール99を走行するための走行装置31と、当該物品搬送車3と処理設備2(図1参照)とで物品Wを受け渡しするための移載装置32と、を備えている。更に、この物品搬送車3は、移載装置32により保持された物品Wを収容する収容空間33Sを囲むカバー体33を備えている。
図2に示す例では、走行装置31は、レール99上を転動する走行輪31Aと、当該走行輪31Aを回転駆動する走行用モータ31Bと、を有している。これにより物品搬送車3は、レール99(搬送経路R)に沿って移動することができる。また、走行装置31は、移動経路を変更するためのガイド輪31Cを有している。ガイド輪31Cは、搬送経路Rの分岐路上に設けられたガイドレール(不図示)に当接自在に構成されている。
カバー体33は、収容空間33Sを囲むように形成されている。本実施形態では、カバー体33は、収容空間33Sの前方を覆う前カバー部33Aと、収容空間33Sの後方を覆う後カバー部33Bと、収容空間33Sの上方を覆って前カバー部33Aと後カバー部33Bとをつなぐ連結部33Cと、を備えている。収容空間33Sの下方はカバー体33により覆われずに開放されている。また、本例では、収容空間33Sの両側方も開放されている。なお、カバー体33が、収容空間33Sの両側方又は一方の側方を覆うように形成されていてもよい。従って、本例では、図2に示すように、カバー体33は、側方から見て角ばったU字状に形成されている。なお、前カバー部33A及び後カバー部33Bは、上下方向に延びる板状又は柱状とされている。
本実施形態では、移載装置32は、処理設備2に隣接して配置されているロードポート2Cとの間で物品Wの受け渡しを行う(図1参照)。図2に示す例では、移載装置32は、物品Wを把持するための把持装置32Gと、物品Wを昇降させるための昇降装置32Hと、を有している。ただし、移載装置32は、このような構成に限らず、これらの装置に加えて、物品Wを旋回させる旋回装置や、水平方向に沿い且つ搬送方向に直交する方向に物品Wを横行させる横行装置等を有していても良い。
把持装置32Gは、物品Wを把持する把持部32GAを有している。図2に示す例では、把持部32GAは、物品Wのトップフランジを両側から挟むことにより当該物品Wを把持している。把持部32GAは、把持用モータ(不図示)により把持状態と把持解除状態とに切り換え可能に構成されている。
昇降装置32Hは、把持部32GAを昇降させることにより、把持部32GAに把持された物品Wを昇降させる。図2に示す例では、昇降装置32Hは、昇降ベルト32HBを有している。昇降装置32Hは、昇降用モータ(不図示)により昇降ベルト32HBを巻き取り及び繰り出し可能に構成されており、昇降ベルト32HBに連結された把持部32GAを昇降可能に構成されている。
物品搬送車3は、以上のように構成されているため、各処理設備2に移動できると共に、レール99よりも下方に配置されたロードポート2Cとの間で物品Wの受け渡しを行うことができる。
物品搬送設備1では、万が一火災が発生した場合に、自動的に消火が行われる。図2に示す例では、天井Cには、火災を感知するための火災感知器96と、固定消火装置97と、が設置されている。火災感知器96が火災を感知することで固定消火装置97が自動的に作動し、消火を行う。火災感知器96としては、例えば、煙感知式、熱感知式、又は炎感知式等の各種の感知器を用いることができる。固定消火装置97としては、例えば、消火剤散布式、又は水散布式(スプリンクラー)等の各種の装置を用いることができる。
本実施形態では、レール99は天井Cから吊り下げられているため、レール99は、固定消火装置97よりも下方に配置される(図2参照)。このような構成では、火災が発生した場合に、固定消火装置97の下方のレール99による死角となる領域において、レール99が邪魔となり固定消火装置97による消火が適切に行えないことがある。また、固定消火装置97とは別に、他の消火設備を設ける場合には、物品搬送設備1の配置スペースが制限されることになる。そのため、物品Wの搬送経路Rが制限されたり、処理設備2の配置が制限されたりして、工場内の空間の利用効率が低下するおそれがある。
そこで、図2及び3に示すように、物品搬送設備1は、物品搬送車3又は物品搬送車3とは異なる移動車に消火装置Fを備えた消火用移動車3Fを少なくとも一台備えている。ここで、物品搬送車3とは異なる移動車とは、物品Wの搬送は行わないが、搬送経路Rを移動可能に構成された移動体である。移動車は、物品搬送車3と同様に走行装置31を備えることで、搬送経路Rを移動することができる。
物品搬送車3又は移動車の少なくとも一方が消火装置Fを備えることで、これらを消火用移動車3Fとして、レール99の下方の領域の消火を行わせることができる。また、物品搬送設備1内に、搬送経路Rとは別に消火用移動車3F専用の経路を設ける必要がない。従って、固定消火装置97とは別の消火設備である消火用移動車3Fを備えながらも、工場内の空間の利用効率を良好に維持することができる。
本実施形態では、複数の物品搬送車3の一部又は全部、及び、物品搬送車3とは異なる単数又は複数の移動車、の内の少なくとも一方が、消火装置Fを備えた消火用移動車3Fとされている。例えば、物品搬送設備1は、物品Wの搬送のみを行う物品搬送専用の物品搬送車3と、物品Wの搬送及び消火を行う消火用移動車3Fとしての物品搬送車3とを備える構成とすることができる。又は、物品搬送設備1は、物品Wの搬送のみを行う物品搬送専用の物品搬送車3と、消火のみを行う消火専用の消火用移動車3Fとしての移動車とを備える構成とすることができる。ここで、消火用移動車3Fは、1台だけでもよいし、複数台あってもよい。或いは、物品搬送設備1は、全ての物品搬送車3が物品Wの搬送及び消火を行う消火用移動車3Fである構成とすることもできる。図1に示す例では、物品搬送設備1は、複数の物品搬送車3の一部が消火装置F(図3等参照)を備えた消火用移動車3Fとされている。
消火装置Fは、消火剤を散布する。消化剤としては、液状又は粉末状の各種の消化薬剤を用いると好適であるが、これらに代えて水や不活性ガス等を用いてもよい。図2に例示したように、消火装置Fは、消火剤を収納した消火剤タンクF2と、消火剤を噴出させる噴出口F1と、当該噴出口F1を開閉する開閉弁F3と、を備えている。消火装置Fは、開閉弁F3が閉じた状態で噴出口F1を閉じ、開閉弁F3が開いた状態で噴出口F1を開くように構成されている。例えば、開閉弁F3として、電磁力を利用して開閉を行う電磁弁を用いることができる。ここで、開閉弁F3は、火災時以外に誤って消火剤を散布しないように、開放信号が入力されない状態では弁を閉じた状態となるノーマルクローズ型の弁を用いると好適である。
図2に示すように、本実施形態では、消火装置Fは、カバー体33の前カバー部33Aに取り付けられている。具体的には、消火装置Fの噴出口F1が、前カバー部33Aの下部に下方へ向けて取り付けられ、消火剤タンクF2が前カバー部33Aの内部に収容されている。開閉弁F3は、噴出口F1と消火剤タンクF2との間に設けられている。
1−2.物品搬送設備の制御構成
次に、物品搬送設備1の制御構成について説明する。
次に、物品搬送設備1の制御構成について説明する。
図3及び4に示すように、物品搬送設備1は、制御装置4を備えている。制御装置4は、物品搬送車3及び消火用移動車3Fを制御する。より具体的には、制御装置4は、複数の物品搬送車3を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、消火用移動車3Fを搬送経路Rに沿って火災発生場所FPへ移動させる。
制御装置4は、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、制御装置4の各機能が実現される。図3及び4に示す例では、制御装置4は、物品搬送設備1全体の制御を行う統括制御装置4HUと、物品搬送車3(消火用移動車3F)の制御を行う個別制御装置4HDと、を含んで構成されている。統括制御装置4HUは、物品搬送設備1のいずれかの領域に固定された状態で配置されている。個別制御装置4HDは、複数の物品搬送車3(消火用移動車3F)のそれぞれに配置されて当該物品搬送車3(消火用移動車3F)と共に搬送経路R上を移動する。統括制御装置4HUと個別制御装置4HDとは、無線通信により信号の受け渡しを行う。
個別制御装置4HDは、統括制御装置4HUからの指令を受けて、走行装置31、把持装置32G及び昇降装置32Hの作動を制御する。より具体的には、個別制御装置4HDは、走行用モータ31B(図2参照)を制御して、物品搬送車3(消火用移動車3F)を目的地まで移動させる。また、把持モータ(不図示)及び昇降モータ(不図示)を制御して、物品搬送車3に処理設備2(図1参照)との間で物品Wの受け渡しを行わせる。
また、消火用移動車3Fについては、個別制御装置4HDは、消火装置Fの作動を制御する。具体的には、個別制御装置4HDは、消火装置Fの開閉弁F3を開くように制御することにより、消火剤タンクF2内の消火剤を噴出口F1から噴出させる。
ここで、本実施形態では、物品搬送車3(消火用移動車3F)は、自己の現在位置の情報を検出する位置情報検出部34を有している。位置情報検出部34は、搬送経路Rに分散配置された複数の位置情報記憶部M1のそれぞれの位置情報を検出可能に構成されている。複数の位置情報記憶部M1は、搬送経路Rを区画した複数の領域のそれぞれに割り当てられている。位置情報記憶部M1は、当該位置情報記憶部M1が配置された領域の位置情報を記憶している。これにより、個別制御装置4HDは、当該個別制御装置4HDが配置される物品搬送車3(消火用移動車3F)の現在位置を把握可能となっている。例えば、位置情報記憶部M1としてバーコードを用いることができる。この場合には、位置情報検出部34としてバーコードリーダが用いられる。
また、本実施形態では、火災感知器96は複数配置されており、搬送経路Rを区画した複数の領域のそれぞれに割り当てられている。図4に示す例では、火災感知器96のそれぞれは、当該火災感知器96が設置された位置を示す位置情報M2を有している。この位置情報M2は、火災感知器96のそれぞれに備えられた記憶装置に格納されている。そして、火災感知器96は、火災を感知した場合には、火災が発生したことを示す火災発生情報と共に、当該火災感知器96の位置情報M2も統括制御装置4HUへ送信する。
統括制御装置4HUは、位置情報取得部41を有している。位置情報取得部41は、物品搬送車3(消火用移動車3F)が位置情報検出部34により得た当該物品搬送車3(消火用移動車3F)の現在位置情報を取得する。また、位置情報取得部41は、火災を感知した場合に火災感知器96から送信される位置情報M2に基づいて、火災が発生した位置の情報を取得する。これにより、制御装置4は、工場内で発生した火災の情報、すなわち、火災発生場所FPの位置情報を取得することができる。
制御装置4は、以上のように構成されているため、火災が発生した場合に、火災発生場所FPの位置(領域)を把握することができる。そして、制御装置4は、火災発生場所FPの位置(領域)に消火用移動車3Fを移動させ、当該消火用移動車3Fに消火を行わせることができる。
本実施形態では、物品搬送車3(消火用移動車3F)は、搬送経路Rを一方向にのみ移動し、逆方向には移動しないようになっている。換言すれば、物品搬送車3(消火用移動車3F)は、搬送方向における前方側にしか移動しない。このように搬送経路Rを一方通行にすることにより、複数の物品搬送車3による高い搬送効率が確保されている。
本実施形態では、消火用移動車3Fを兼ねた物品搬送車3において、消火装置Fが、移載装置32よりも搬送方向の前方側に配置されている。具体的には、上述したとおり、消火装置Fは、カバー体33の前カバー部33Aに取り付けられている(図2及び図3参照)。そして、消火装置Fは、カバー体33の下端部から下方へ向けて噴出口F1を突出させている。これにより、消火用移動車3Fを兼ねた物品搬送車3が搬送方向の前方側に向かって移動して火災発生場所FPを消火装置Fの消火範囲内に入れた場合に、当該物品搬送車3が備える移載装置32が火災発生場所FPの上を通過しないようにすることができる。従って、火災の熱による移載装置32の故障等の発生を抑制できる。
図5に示すように、本実施形態では、制御装置4(図4参照)は、消火用移動車3Fであるか否かに関わらず、物品Wを搬送中の物品搬送車3については、火災発生場所FPから離れる方向に移動させる。つまり、制御装置4は、物品Wを搬送中でない消火用移動車3Fを火災発生場所FPに移動させ、物品Wを搬送中の物品搬送車3(消火用移動車3F)を火災発生場所FPから離れる方向に移動させる。これにより、物品搬送車3に搬送されている途中の物品Wを火災発生場所FPから遠ざけることができ、その結果、火災の熱による物品Wの損傷等を抑制できる。また、制御装置4は、火災発生場所FPから十分に離れた位置に移動した物品搬送車3を、当該位置に停止させると好適である。これにより、火災による損傷等の可能性が低い安全な位置に退避させた状態に、物品Wを維持することができる。
2.その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
(1)上記の実施形態では、制御装置4は、物品Wを搬送中の物品搬送車3を火災発生場所FPから離れる方向に移動させる例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。例えば、制御装置4は、火災が発生した場合に、消火用移動車3F以外の全ての物品搬送車3及び移動車を火災発生場所FPから離れる方向に移動させても良い。
(2)上記の実施形態では、消火装置Fは、カバー体33の下端部から下方に向けて噴出口F1を突出させている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。例えば、消火装置Fは、カバー体33の下端部から斜め前下方に向けて噴出口F1を突出させていても良い。或いは、消火装置Fは、カバー体33の搬送方向における前方側の端部(前方面)から前方又は斜め前下方に向けて噴出口F1を突出させていても良い。これらの構成によれば、消火用移動車3Fを火災発生場所FPの上方に位置させることなく消火を行うことができる。その結果、火災の熱による消火用移動車3Fの損傷等を更に抑制できる。
(3)上記の実施形態では、物品搬送車3(消火用移動車3F)は、搬送経路Rを一方向にのみ移動し、逆方向には移動しないように構成されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。物品搬送車3(消火用移動車3F)は、搬送経路Rに沿って双方向に移動するように構成されていても良い。この場合、消火装置Fは、カバー体33の搬送方向における後方側部分(具体的には後カバー部33B)に取り付けられていても良い。更にこの場合、消火装置Fの噴出口F1は、カバー体33の下端部から下方又は斜め後下方に向けて突出していても良いし、搬送方向における後方側の端部(後方面)から後方又は斜め後下方に向けて突出するように構成されていても良い。
(4)上記の実施形態では、火災感知器96から統括制御装置4HUへ送信された位置情報に基づいて、火災発生場所FPの位置情報を取得する例について説明した。しかし、火災発生場所FPの位置情報を取得する方法はこれに限定されない。例えば、作業者が端末装置を用いて、火災発生場所の位置情報を統括制御装置4HUに入力する構成や、各物品搬送車3が火災検知装置を備えており、当該火災検知装置により火災が検知された際の物品搬送車3の位置情報が統括制御装置4HUへ送信される構成等とされても好適である。
(5)なお、前述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
3.上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる。
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる。
本構成によれば、通常時は物品を搬送するために用いられる搬送経路を利用して、消火装置を備えた消火用移動車を火災発生場所に移動させることができる。そのため、物品搬送設備内に、搬送経路とは別に消火移動車専用の経路を設ける必要がない。従って、本構成によれば、消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持することができる。
ここで、前記制御装置は、前記消火用移動車であるか否かに関わらず、物品を搬送中の前記物品搬送車については、前記火災発生場所から離れる方向に移動させると好適である。
本構成によれば、物品搬送車に搬送されている途中の物品を火災発生場所から遠ざけることができ、その結果、火災の熱による物品の損傷等を抑制できる。
また、前記物品搬送車は、当該物品搬送車と前記処理設備とで物品を受け渡しするための移載装置を備え、
前記消火用移動車を兼ねた前記物品搬送車において、前記消火装置が、前記移載装置よりも搬送方向の前方側に配置されていると好適である。
前記消火用移動車を兼ねた前記物品搬送車において、前記消火装置が、前記移載装置よりも搬送方向の前方側に配置されていると好適である。
本構成によれば、消火用移動車を兼ねた物品搬送車が搬送方向の前方側に向かって移動して火災発生場所を消火装置の消火範囲内に入れた場合に、当該物品搬送車が備える移載装置が火災発生場所の上を通過しないようにすることができる。従って、火災の熱による移載装置の故障等を抑制できる。
また、前記処理設備は、半導体製造工場に設置された半導体製造設備及び保管設備の少なくとも一方を含み、
前記搬送経路は、前記半導体製造工場の天井から吊り下げられたレールに沿って形成され、
前記天井には固定消火装置が設置され、
前記レールは、前記固定消火装置よりも下方に配置されていると好適である。
前記搬送経路は、前記半導体製造工場の天井から吊り下げられたレールに沿って形成され、
前記天井には固定消火装置が設置され、
前記レールは、前記固定消火装置よりも下方に配置されていると好適である。
本構成によれば、固定消火装置の下方のレールによる死角となる領域であっても、消火用移動車によって適切に消火を行うことができる。
本開示に係る技術は、消火用移動車を備えた工場内の物品搬送設備に利用することができる。
1 :物品搬送設備
2 :処理設備
2A :半導体製造設備
2B :保管設備
3 :物品搬送車
3F :消火用移動車
4 :制御装置
32 :移載装置
97 :固定消火装置
99 :レール
C :天井
F :消火装置
FP :火災発生場所
R :搬送経路
W :物品
2 :処理設備
2A :半導体製造設備
2B :保管設備
3 :物品搬送車
3F :消火用移動車
4 :制御装置
32 :移載装置
97 :固定消火装置
99 :レール
C :天井
F :消火装置
FP :火災発生場所
R :搬送経路
W :物品
Claims (4)
- 工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる物品搬送設備。 - 前記制御装置は、前記消火用移動車であるか否かに関わらず、物品を搬送中の前記物品搬送車については、前記火災発生場所から離れる方向に移動させる請求項1に記載の物品搬送設備。
- 前記物品搬送車は、当該物品搬送車と前記処理設備とで物品を受け渡しするための移載装置を備え、
前記消火用移動車を兼ねた前記物品搬送車において、前記消火装置が、前記移載装置よりも搬送方向の前方側に配置されている請求項1又は2に記載の物品搬送設備。 - 前記処理設備は、半導体製造工場に設置された半導体製造設備及び保管設備の少なくとも一方を含み、
前記搬送経路は、前記半導体製造工場の天井から吊り下げられたレールに沿って形成され、
前記天井には固定消火装置が設置され、
前記レールは、前記固定消火装置よりも下方に配置されている請求項1から3のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017008742A JP2018114229A (ja) | 2017-01-20 | 2017-01-20 | 物品搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017008742A JP2018114229A (ja) | 2017-01-20 | 2017-01-20 | 物品搬送設備 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018114229A true JP2018114229A (ja) | 2018-07-26 |
Family
ID=62983584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017008742A Pending JP2018114229A (ja) | 2017-01-20 | 2017-01-20 | 物品搬送設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018114229A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220093852A (ko) * | 2020-12-28 | 2022-07-05 | 정민교 | 자동 소화 기능을 갖는 레일 시스템 |
-
2017
- 2017-01-20 JP JP2017008742A patent/JP2018114229A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220093852A (ko) * | 2020-12-28 | 2022-07-05 | 정민교 | 자동 소화 기능을 갖는 레일 시스템 |
KR102587867B1 (ko) * | 2020-12-28 | 2023-10-11 | 정민교 | 자동 소화 기능을 갖는 레일 시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105819136B (zh) | 物品搬运设备 | |
EP2597058B1 (en) | Goods transport facility | |
EP3423164B1 (en) | Robotic fire extinguishing device and handling method | |
JP2012111620A (ja) | 自動倉庫設備 | |
JP5458856B2 (ja) | 自動倉庫システム及び消火ユニット | |
JP6610475B2 (ja) | 容器保管設備 | |
KR20160084809A (ko) | 물품 보관 설비 | |
JP2018114229A (ja) | 物品搬送設備 | |
US3602313A (en) | Fire protection system | |
US10081491B2 (en) | Article storage facility | |
CN113631490B (zh) | 具有基于泡沫的防火系统的自动网格式存取系统 | |
JP6614600B1 (ja) | エレベータ装置、エレベータシステム、及びエレベータ装置の制御方法 | |
JP2021112269A (ja) | 防災設備 | |
JP5835368B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP5949625B2 (ja) | 物品収納設備 | |
JP5949624B2 (ja) | 物品収納設備 | |
US20230227297A1 (en) | Stacker crane | |
JPH05111544A (ja) | 機械式駐車場の消火ロボツト | |
JP3118648B2 (ja) | 機械式駐車場の消火設備 | |
WO2023203911A1 (ja) | 搬送システム | |
JP2010067146A (ja) | 搬送システム | |
JP2022156447A (ja) | 搬送ロボット稼働設備用防災システム | |
JP4441878B2 (ja) | 物品収納設備 | |
JPH05111545A (ja) | 機械式駐車場の消火システム | |
JP2005284780A (ja) | 有軌道台車システム |