JP2018111848A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】メンテナンス後の復帰が容易となる成膜装置の提供。【解決手段】基材を収容するチャンバー10と、チャンバー10内の基材に対して成膜を行うための放電用の電極25を有すると共にチャンバー10に取り外し可能として設けられている電極ユニット20とを備え、電極25は、直線部31,32と、一つの直線部31と別の直線部32とを繋げている折り返し部33とを有し、電極ユニット20は、更に、折り返し部33を覆うと共に内部の気密性が確保された大気ボックス27を有しており、大気ボックス27はチャンバー10内に設けられている成膜装置。【選択図】図3
Description
本発明は、基材に薄膜を形成するための成膜装置に関する。
例えばディスプレイ用の薄膜トランジスタや太陽電池等に用いられる基板にシリコン窒化膜を形成する方法として、化学気相成長法(CVD)が知られており、その中でも、プラズマCVDが広く用いられている。従来のプラズマCVD装置は、基材を収容するチャンバー及び放電用の電極の他、チャンバー内に原料ガスを導入するガス導入部、チャンバーのガスを排出するガス排出部、及び、電極に高周波電流を供給するための電源部等を備えている。
このようなプラズマCVD装置等の成膜装置では、近年、より広い面積の基材に対して成膜を可能とするための技術開発が進められている。その理由としては、例えば、所定面積の基材から得られる製品の数を多くすることで生産能率を高めるためや、ディスプレイや太陽電池が大型化しているためである。このように基材が大型化すれば、成膜装置においても、基材を収容するチャンバーを広くする必要があり、これに応じて電極を長尺化し更に広域に設置する必要がある。
そこで、図5(平面図)に示すように、電極90をU字形状とする構成が提案されている。すなわち、電極90は、細長い一対の直線部91,92の他に、これら直線部91,92を折り返して繋げている折り返し部93を有している。直線部91,92は、チャンバー99の一方側(図5では左側)の壁部98を貫通しており、プラズマCVD装置の場合、これら直線部91,92には整合器100及び図外の高周波電源部が接続されている。そして、チャンバー99内(反応室99a)の気密性を確保するために、電極90の一方側(図5では左側)にはフランジ94が設けられており、このフランジ94と壁部98との間にOリング等によるシール部材を介在させている。
反対側の折り返し部93については、真空となるチャンバー99外に位置させて大気に露出させた環境とする必要がある(例えば、特許文献1の図2参照)。これは、折り返し部93で起きることのある異常放電を防止したり、折り返し部93でプラズマ密度が高くなってガス分解が促進されて膜厚や膜質の均一性に悪影響を及ぼすのを防止したりするためである。
図5に示す成膜装置では、折り返し部93をチャンバー99外に位置させることから、チャンバー99の他方側(図5では右側)において、チャンバー99内(反応室99a)の気密性を確保するための構造が必要である。そこで、電極90の他方側にフランジ95が設けられており、このフランジ95と壁部97との間にOリング等によるシール部材を介在させている。
このような成膜装置では、例えば電極90及びその周辺を清掃する等のメンテナンスが定期的に必要となる。このメンテナンスを行うためには、チャンバー99を解体するのではなく、先ず、電極90の銅管90a内の水を抜き、折り返し部(銅管ブロック)93を外し、そして、電極90の銅管90a及びその外周の石英管90bをチャンバー99から慎重に引き抜くことで行われる。
しかし、その作業性は悪く、特に電極90が長尺である場合、困難である。このため、銅管90a、石英管90b、折り返し部93、及び、フランジ94,95を一体化させた電極ユニット96を構成し、メンテナンスの際に、フランジ94,95とチャンバー99(壁部98,97)との締結を解いて壁部98に形成されている孔98aから、電極ユニット96を一体的に(図5では左側へ)抜き出すことが考えられる。
この場合、電極ユニット96をチャンバー99から抜き出し、清掃等のメンテナンスを終えた後、この電極ユニット96を復帰させるためには、電極ユニット96を一方側の壁部98の孔98aから挿入して、他方側の壁部97の孔97aに折り返し部93を挿通させる必要がある。しかし、特に電極90が長尺化されていると、前記のような復帰作業の際、電極ユニット96の他方側(図5では右側)が撓みやすい。このため、チャンバー99の壁部97に対してフランジ95が傾き、Oリング等のシール部材をこのフランジ95と壁部97との間に適切な状態で介在させることは難しく、復帰の作業に手間を要する。シール部材が適切な状態に復帰されないと、チャンバー99の気密性が保証できず、成膜作業に支障をきたす。
このように、従来の成膜装置では、メンテナンス後の復帰(組み立て)が困難となったり、気密性の確保が困難となったりするという問題点がある。
そこで、本発明は、メンテナンス後の復帰が容易となる成膜装置を提供することを目的とする。
そこで、本発明は、メンテナンス後の復帰が容易となる成膜装置を提供することを目的とする。
本発明の成膜装置は、基材を収容するチャンバーと、前記チャンバー内の前記基材に対して成膜を行うための放電用の電極を有すると共に当該チャンバーに取り外し可能として設けられている電極ユニットと、を備え、前記電極は、複数本の直線部と、一つの前記直線部と別の前記直線部とを繋げている折り返し部と、を有し、前記電極ユニットは、更に、前記折り返し部を覆うと共に内部の気密性が確保された大気ボックスを有し、当該大気ボックスは前記チャンバー内に設けられている。
この成膜装置によれば、電極ユニットをチャンバーから取り外して清掃等のメンテナンスを行った後、復帰させる場合、チャンバー外において電極の折り返し部側に大気ボックスを取り付けた状態としてから、これをチャンバー内に入れて設置すればよい。つまり、電極の折り返し部を覆う大気ボックス内の気密性を確保するための作業を、チャンバー外で行うことができるので、従来のように、メンテナンス後の電極の組み立てが困難となったり、気密性の確保が困難となったりするという問題点が解消される。そして、電極の折り返し部は、気密性が確保された大気ボックスにより覆われていることから、この折り返し部における異常放電等の不具合を防ぐことができる。
前記のとおり、真空となるチャンバー内に大気ボックスが設けられることから、大気ボックスにおけるエアのリークチェックが必要となる。そこで、前記成膜装置は、前記大気ボックスの気密性を検出する検出手段を、更に備えているのが好ましい。
また、前記電極ユニットは、更に、前記折り返し部の反対側の部分であって前記チャンバーの第一壁部を貫通している貫通部と、当該貫通部に設けられ前記第一壁部に対して着脱可能に取り付けられているフランジと、を有し、前記チャンバーは、前記第一壁部と対向する第二壁部に設けられ前記大気ボックス側を支持する支持部を有しているのが好ましい。
この場合、電極ユニットは、チャンバーの第一壁部にフランジを介して取付けられ、その反対側の第二壁部においては支持部によって支持された構成となり、電極ユニットが長尺であってもその長手方向の両側において安定して支持される。
この場合、電極ユニットは、チャンバーの第一壁部にフランジを介して取付けられ、その反対側の第二壁部においては支持部によって支持された構成となり、電極ユニットが長尺であってもその長手方向の両側において安定して支持される。
また、前記電極ユニットは、更に、前記折り返し部の反対側の部分であって前記チャンバーの第一壁部を貫通している貫通部と、当該貫通部に設けられ前記第一壁部に対して着脱可能に取り付けられているフランジと、を有し、前記検出手段は、一端が前記大気ボックス内で開口し、他端側が前記フランジに接続されているリークチェック用配管を有しているのが好ましい。
この場合、電極ユニットと共にリークチェック配管を取り外すことができ、メンテナンスが容易となる。
この場合、電極ユニットと共にリークチェック配管を取り外すことができ、メンテナンスが容易となる。
本発明の成膜装置によれば、電極ユニットのメンテナンス後、その復帰が容易となる。
図1は、本発明の成膜装置の実施の一形態を示す概略図である。図2は、図1に示す成膜装置7の一部を示す概略図(図1のA矢視)である。図1において、成膜装置7は、基材Wを収容するチャンバー10と、このチャンバー10に設けられている電極ユニット20とを備えている。また、この成膜装置7は、更に、チャンバー10内にガスを導入する第一ガス導入部51及び第二ガス導入部52と、チャンバー10のガスを排出するガス排出部55と、電極ユニット20が有している電極(ICP電極)25に高周波電流を供給するための電源部60(図2参照)とを備えている。なお、電源部60には高周波電源の他に、整合器が含まれる。
成膜装置7は、チャンバー10内を真空状態とし、電極25により発生させたプラズマによって基材Wに薄膜を形成するためのプラズマCVD装置である。本実施形態では、薄膜としてシリコン窒化膜が生成される。基材Wは、枚葉状の基板であってもよいが、本実施形態では、ロールトゥロールで搬送される帯状の部材(樹脂フィルム)である。
チャンバー10は、箱体からなり、例えば、ガラス等の絶縁材やステンレス鋼等の金属材が用いられて構成されている。図1に示すチャンバー10は、遮蔽板13によって、基材Wが存在する反応室11と、その隣りのプラズマ生成室12とに区画されている。遮蔽板13は、例えば薄い金属製の網からなり、イオントラップとして機能する。そして、チャンバー10内は真空ポンプ56によって真空状態とされる。
プラズマ生成室12に電極ユニット20が設けられている。本実施形態では、二組の電極ユニット20が設けられており、図2に示すように、これらは電気的に並列となって電源部60に接続されている。二組の電極ユニット20それぞれは同じものであり、チャンバー10の幅方向に沿って長く構成されている。チャンバー10の幅方向に直交する方向が、基材Wの搬送方向となる。電極ユニット20の具体的構成については、後に説明する。
図1において、第一ガス導入部51は、配管51a、バルブ51b及び第一ガスのタンク51cを含む。第一ガス導入部51は、プラズマ生成室12と繋がっており、第一ガスをプラズマ生成室12に供給する。第一ガスは、プラズマ生成ガスであり、例えば、窒素源となるアンモニアガス又は窒素ガスとすることができる。
第二ガス導入部52は、配管52a、バルブ52b及び第二ガスのタンク52cを含む。第二ガス導入部52は、反応室11と繋がっており、第二ガスを反応室11に供給する。第二ガスは、成膜ガスであり、例えば、窒素源及びシリコン源となるヘキサメチルジシラザンガス(HDMSガス)とすることができる。
ガス排出部55は、配管55a及びバルブ55bを含み、真空ポンプ56及び反応室11と繋がっている。ガス排出部55は、反応室11のガスを排出する。
以上の構成を備えている成膜装置7によって行われる成膜方法について説明する。
チャンバー10を密閉空間とし、チャンバー10内を真空状態とする。具体的には、真空ポンプ56によりチャンバー10の圧力が所定値以下となるまで減圧する。また、バルブ51bを開くことによりプラズマ生成ガスをプラズマ生成室12に導入し、バルブ52bを開くことにより成膜ガスを反応室11に導入する。反応室11の圧力が所定値まで低下するとバルブ51b,52bおよびバルブ55bの開度を制御して、プラズマ生成ガスおよび成膜ガスを供給しながら反応室11の圧力が所定値である状態を維持する。電源60から電極25に高周波電流を流す。これにより、プラズマ生成室12においてプラズマが発生し、基材Wが、その発生領域の近傍を通過すると、高密度のプラズマを受け、基材Wの移動に伴いその表面に対して順次表面反応が進み、シリコン窒化膜が形成される。以上のようにして、基材Wへの成膜が行われる。
チャンバー10を密閉空間とし、チャンバー10内を真空状態とする。具体的には、真空ポンプ56によりチャンバー10の圧力が所定値以下となるまで減圧する。また、バルブ51bを開くことによりプラズマ生成ガスをプラズマ生成室12に導入し、バルブ52bを開くことにより成膜ガスを反応室11に導入する。反応室11の圧力が所定値まで低下するとバルブ51b,52bおよびバルブ55bの開度を制御して、プラズマ生成ガスおよび成膜ガスを供給しながら反応室11の圧力が所定値である状態を維持する。電源60から電極25に高周波電流を流す。これにより、プラズマ生成室12においてプラズマが発生し、基材Wが、その発生領域の近傍を通過すると、高密度のプラズマを受け、基材Wの移動に伴いその表面に対して順次表面反応が進み、シリコン窒化膜が形成される。以上のようにして、基材Wへの成膜が行われる。
電極ユニット20の構成について説明する。図3は電極ユニット20の平面図であり、図4は、電極ユニット20の側面図である。電極ユニット20は、電極25、電極フレーム26、大気ボックス27、第一フランジ28、及び、第二フランジ29を有しており、これらが一体となって構成されている。電極ユニット20は、チャンバー10が備えている第一壁部16に形成された孔16aを貫通した状態となって、このチャンバー10に取り付けられている。また、電極ユニット20は、後にも説明するが、チャンバー10から取り外し可能となっている。第一フランジ28におけるチャンバー10へのボルト等による締結を解除することで、電極ユニット20をチャンバー10から取り外すことができる。本実施形態では(図2参照)、二つの電極ユニット20がプラズマ生成室12に設けられているが、電極ユニット20それぞれを独立してチャンバー10から取り外すことができる。
電極ユニット20の各部について説明する。
電極25は、二本の直線部31,32と、一つの直線部31と別の直線部32とを折り返して繋げている折り返し部33とを有しており、U字形の電極である(図3参照)。直線部31,32それぞれは、銅管34と、その外周側に設けられている石英管35とを有して構成されている。折り返し部33は、銅製ブロックからなり、前記銅管34の中空部と連続する流路が内部に形成されている。銅管34の中空部と銅製ブロック(折り返し部33)の流路とには冷却媒体(水)が流れる。
電極25は、二本の直線部31,32と、一つの直線部31と別の直線部32とを折り返して繋げている折り返し部33とを有しており、U字形の電極である(図3参照)。直線部31,32それぞれは、銅管34と、その外周側に設けられている石英管35とを有して構成されている。折り返し部33は、銅製ブロックからなり、前記銅管34の中空部と連続する流路が内部に形成されている。銅管34の中空部と銅製ブロック(折り返し部33)の流路とには冷却媒体(水)が流れる。
電極フレーム26は、二本の直線部31,32を収容している部材であり、例えばステンレス鋼等の鋼製からなる。電極フレーム26は、直線部31,32の長手方向と同方向に長い箱状であるが、反応室11(図1参照)側に向かって開口している。この電極フレーム26の長手方向一方側(図3では左側)に第一フランジ28が取り付けられており、電極フレーム26の長手方向他方側(図3では右側)に第二フランジ29が取り付けられている。そして、第二フランジ29に大気ボックス27が取り付けられている。
第一フランジ28は、図示していないがボルト(締結部材)によって、チャンバー10が有する第一壁部16に取り付けられている。このボルトを外すことで、電極ユニット20を第一壁部16から取り外すことができる。また、フランジ28と第一壁部16との間には、図示していないがOリング等のシール部材が介在しており、チャンバー10内の気密性を確保している。
このように、電極ユニット20は、第一壁部16を貫通している貫通部30を有しており、この貫通部30に設けられている第一フランジ28が、第一壁部16に対して着脱可能に取り付けられている。前記貫通部30は、電極25の折り返し部33の(当該電極25の長手方向について)反対側の部分であり、銅管34の一部、この一部の外周側の石英管35の一部、及びこれら一部を囲む電極フレーム26の一部により構成された部分である。
このように、電極ユニット20は、第一壁部16を貫通している貫通部30を有しており、この貫通部30に設けられている第一フランジ28が、第一壁部16に対して着脱可能に取り付けられている。前記貫通部30は、電極25の折り返し部33の(当該電極25の長手方向について)反対側の部分であり、銅管34の一部、この一部の外周側の石英管35の一部、及びこれら一部を囲む電極フレーム26の一部により構成された部分である。
大気ボックス27は、電極25の直線部31,32を貫通させているベース部38と、ベース部38に取り付けられているカバー部36とを有している。ベース部38は板状であり、カバー部36は有底筒状であり、ベース部38にカバー部36を被せることでベース部38とカバー部36との間に空間37が形成され、この空間37に電極25の折り返し部33を収容した状態とする。ベース部38とカバー部36とはボルト等によって分解可能として連結されており、これらの間にはOリング等のシール部材が介在している。ベース部38と電極25の直線部31,32それぞれとの間にはOリンク等のシール部材が介在している。このため、大気ボックス27内の前記空間37は密閉状態が確保されている。大気ボックス27の組み立ては大気中で行われることから、空間37は大気圧にある。大気ボックス27は、電極25と共にチャンバー10内のプラズマ生成室12に設けられており、成膜の際にはプラズマ生成室12は真空となるが、大気ボックス27は大気圧が維持される。
以上のように、本実施形態の成膜装置7は、チャンバー10に取り外し可能として設けられている電極ユニット20を備えている。電極ユニット20は、チャンバー10内の基材Wに対して成膜を行うための放電用の電極25、及び、この電極25の折り返し部33を覆うと共に内部の気密性が確保された大気ボックス27を有している。チャンバー10は、その幅方向(図2参照)の両側において、相互離れた第一壁部16と第二壁部17とを有しており、電極25の直線部31,32、及び、電極25の折り返し部33を収容している大気ボックス27は、第一壁部16と第二壁部17との間に設けられている。つまり、大気ボックス27は電極25の直線部31,32と共にチャンバー10内に設けられている。
この構成を備えている成膜装置7によれば、電極ユニット20をチャンバー10から取り外して清掃等のメンテナンスを行った後、復帰させる場合、先ず、チャンバー10外において大気中で電極25の折り返し部33側に大気ボックス27を取り付け、電極ユニット20を組み立て完了状態とする。そして、この電極ユニット20をチャンバー10の第一壁部16の孔16a(図3参照)からチャンバー10内に挿し入れ、第一フランジ28を第一壁部16に固定し、電極ユニット20をチャンバー10に設置する。
このように、本実施形態では、電極25の折り返し部33を収容する大気ボックス27内の気密性を確保するための作業を、チャンバー10外で行うことができるので、従来(図5参照)のように、メンテナンス後のチャンバー99における電極90の組み立てが困難となったり、チャンバー99内の気密性の確保が困難となったりするという問題点が解消される。つまり、電極ユニット20のメンテナンス後、その復帰が容易となる。
そして、本実施形態の前記構成によれば、電極25の折り返し部33は、気密性が確保された大気ボックス27により覆われていることから、この折り返し部33における異常放電等の不具合を防ぐことができる。
このように、本実施形態では、電極25の折り返し部33を収容する大気ボックス27内の気密性を確保するための作業を、チャンバー10外で行うことができるので、従来(図5参照)のように、メンテナンス後のチャンバー99における電極90の組み立てが困難となったり、チャンバー99内の気密性の確保が困難となったりするという問題点が解消される。つまり、電極ユニット20のメンテナンス後、その復帰が容易となる。
そして、本実施形態の前記構成によれば、電極25の折り返し部33は、気密性が確保された大気ボックス27により覆われていることから、この折り返し部33における異常放電等の不具合を防ぐことができる。
また、図4に示すように、本実施形態の成膜装置7では、チャンバー10は、電極ユニット20の大気ボックス27側を支持する支持部18を有している。支持部18は、第一壁部16と対向する第二壁部17に設けられている。本実施形態では、支持部18は第二壁部17に固定されている部材である。また、大気ボックス27のカバー部36には突起39が設けられている。突起39が支持部18上に載った状態となることで、電極ユニット20の荷重(自重)を、突起39及び支持部18を介してチャンバー10の第二壁部17が受けることができる。この構成によれば、電極ユニット20は、チャンバー10の第一壁部16に第一フランジ28を介して取付けられており、その反対側の第二壁部17においては支持部18によって支持された構成となる。このため、電極ユニット20は長尺体であるが、その長手方向の両側において安定して支持される。
前記のとおり、大気ボックス27は、真空となるチャンバー10内に設けられることから、大気ボックス27におけるエア(大気)のリークチェックが必要となる。そこで、成膜装置7は、大気ボックス27の気密性を検出する検出手段40(図3参照)を更に備えている。本実施形態では、大気ボックス27の気密性の検出は、ヘリウムリークチェックにより行われる。そのために、検出手段40は、リークチェック用配管41を有しており、この配管41の一端は大気ボックス27内で開口しており、他端側が第一フランジ28に接続されている。そして、チャンバー10内の真空となる領域に、ガス(ヘリウムガス)の存在を検出する検出器(図示せず)が設けられている。
配管41の他端側から大気ボックス27内へリウムガスを供給することで、大気ボックス27の気密性の低下を検出することが可能となる。また、配管41は、電極ユニット20に含まれる第一フランジ28と接続されていることから、メンテナンスの際、電極ユニット20と共に配管41を取り外すことができ、メンテナンス作業が容易となる。
以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明の成膜装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、基材Wは、帯状でなく、枚葉状であってもよい。また、基材Wに形成する薄膜は、シリコン窒化膜以外であってもよい。
7:成膜装置 10:チャンバー 16:第一壁部
17:第二壁部 18:支持部 20:電極ユニット
25:電極 26:電極フレーム 27:大気ボックス
28:第一フランジ 29:第二フランジ 30:貫通部
31:直線部 32:直線部 33:折り返し部
40:検出手段 41:リークチェック用配管 W:基材
17:第二壁部 18:支持部 20:電極ユニット
25:電極 26:電極フレーム 27:大気ボックス
28:第一フランジ 29:第二フランジ 30:貫通部
31:直線部 32:直線部 33:折り返し部
40:検出手段 41:リークチェック用配管 W:基材
Claims (4)
- 基材を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内の前記基材に対して成膜を行うための放電用の電極を有すると共に当該チャンバーに取り外し可能として設けられている電極ユニットと、
を備え、
前記電極は、複数本の直線部と、一つの前記直線部と別の前記直線部とを繋げている折り返し部と、を有し、
前記電極ユニットは、更に、前記折り返し部を覆うと共に内部の気密性が確保された大気ボックスを有し、当該大気ボックスは前記チャンバー内に設けられている、成膜装置。 - 前記大気ボックスの気密性を検出する検出手段を、更に備えている請求項1に記載の成膜装置。
- 前記電極ユニットは、更に、前記折り返し部の反対側の部分であって前記チャンバーの第一壁部を貫通している貫通部と、当該貫通部に設けられ前記第一壁部に対して着脱可能に取り付けられているフランジと、を有し、
前記チャンバーは、前記第一壁部と対向する第二壁部に設けられ前記大気ボックス側を支持する支持部を有している、請求項1又は2に記載の成膜装置。 - 前記電極ユニットは、更に、前記折り返し部の反対側の部分であって前記チャンバーの第一壁部を貫通している貫通部と、当該貫通部に設けられ前記第一壁部に対して着脱可能に取り付けられているフランジと、を有し、
前記検出手段は、一端が前記大気ボックス内で開口し、他端側が前記フランジに接続されているリークチェック用配管を有している、請求項2に記載の成膜装置。
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