JP2018108907A - ガラス板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るガラス板を示す模式的平面図である。また、図2は、本発明の第1の実施形態に係るガラス板における貫通孔部分を拡大して示す模式的断面図である。
図3は、本発明の第1の実施形態に係るガラス板の製造方法の一例を示す模式的断面図である。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るガラス板における貫通孔部分を拡大して示す模式的断面図である。
図6は、本発明の第3の実施形態に係るガラス板における貫通孔部分を拡大して示す模式的断面図である。
図7は、ガラスインターポーザーを用いたデバイスの一例を示す模式的断面図である。本発明のガラス板は、上述のように、ガラスインターポーザーとして用いることができるものである。図7は、ガラスインターポーザー41の使用例を示している。図7に示すように、プリント基板50の上には、貫通電極51が設けられており、貫通電極51は、ガラスインターポーザー41の貫通孔42に通されている。貫通孔42に通されている貫通電極51は、ガラスインターポーザー41の上に搭載された積層半導体60の貫通電極61に接続されている。
実施例においては、まず、ガラス板本体3としてのガラスフィルム(日本電気硝子社製、商品名「OA−10G」,厚み:150μm)に、光学粘着フィルム4a(厚み:25μm)を介して、PETフィルム4b(厚み:38μm)を貼り合わせ、ガラス板1を用意し、支持台の上に固定した。次に、支持台の上に固定されたガラス板1の第1の樹脂層4側からフェムト秒レーザーを照射することにより、ガラス板1に貫通孔2を形成した。なお、フェムト秒レーザーを照射するに際には、目的とする貫通孔2の形状に沿ってフェムト秒レーザーを走査させた。得られたガラス板1において、第1の主面1aにおける貫通孔2の孔径D1、第2の主面1bにおける貫通孔2の孔径D2、及びテーパー角θを測定した。なお、貫通孔2の孔径D1及びD2は、デジタルマイクロスコープを用いて第1及び第2の主面1a,1bの表面形状を観察し、それぞれランダムに選んだ10個の貫通孔2における孔径の平均値から求めた。また、テーパー角θは、ガラス板本体3の厚みをtとし、この厚みtと、貫通孔2の孔径D1及びD2とから、下記式(1)により算出した。
1a,1b…第1,第2の主面
1c…内側面
2…貫通孔
3…ガラス板本体
3a…主面
4,5…第1,第2の樹脂層
4a,5a…光学粘着フィルム
4b,5b…PETフィルム
10…支持台
11…液体層
12…凝固層
13…パルスレーザー
41…ガラスインターポーザー
42…貫通孔
50…プリント基板
51…貫通電極
60…積層半導体
61…貫通電極
Claims (9)
- 貫通孔を有するガラス板であって、
前記ガラス板の厚みが、50μm以上、2mm以下であり、
前記貫通孔の孔径が、500μm以下であり、
前記貫通孔のテーパー角が、86度以上である、ガラス板。 - 前記ガラス板が、ガラス板本体と、前記ガラス板本体上に設けられた樹脂層とを備える、請求項1に記載のガラス板。
- 前記ガラス板本体の厚みが、500μm以下である、請求項2に記載のガラス板。
- 前記貫通孔の孔径が、100μm以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス板。
- インターポーザー用である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス板。
- 貫通孔を有するガラス板の製造方法であって、
支持台の上に、ガラス板を載置して固定する工程と、
前記支持台の上に固定された前記ガラス板に、パルスレーザーを照射することにより、前記ガラス板に貫通孔を形成する工程と、
を備え、
前記パルスレーザーを照射するに際し、目的とする前記貫通孔の形状に沿って前記パルスレーザーを走査する、ガラス板の製造方法。 - 前記パルスレーザーの波長が、1000nm以上である、請求項6に記載のガラス板の製造方法。
- 前記パルスレーザーが、フェムト秒レーザーである、請求項6又は7に記載のガラス板の製造方法。
- 前記ガラス板が、ガラス板本体と、前記ガラス板本体の主面上に設けられた樹脂層とを備え、前記ガラス板の前記樹脂層側からパルスレーザーを照射する、請求項6〜8のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。
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