JP2018101955A - 弾性波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下面に端子が設けられ、平面形状が略矩形の第1基板と、下面に弾性波素子が設けられ、弾性波素子が第1基板の上面に空隙を挟み対向するように第1基板上に実装された第2基板と、第1基板の上面と第2基板の下面との間に設けられ、第1基板の第1辺と弾性波素子との間に設けられ、弾性波素子と端子との少なくとも一方と電気的に接続しない第1ダミーバンプと、第1基板の上面と第2基板の下面との間に設けられ、第1辺に対向する第2辺と弾性波素子との間に設けられ、弾性波素子と端子との少なくとも一方と電気的に接続しない第2ダミーバンプと、第1基板の上面と第2基板の下面との間に設けられ、平面視において第1ダミーバンプより第2辺側かつ第2ダミーバンプより第1辺側のみに位置し、弾性波素子の少なくとも1つと端子の少なくとも1つとを電気的に接続する接続バンプと、を具備する弾性波デバイス。
【選択図】図6
Description
基板20
材料:HTCC、厚さ:125μm、線熱膨張係数:7.1μK−1
Lx1:1.5mm、Ly1:1.1mm
バンプ36
材料:金、厚さ:25μm、径:60μm、線熱膨張係数:14.4μK−1
基板10a、10b
材料:42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム、厚さ:150μm、線熱膨張係数(X方向/Y方向):16.1μK−1/9.5μK−1
Lx2:0.71mm、Ly2:0.82mm
Lx3:0.46mm、Ly3:0.82mm
X方向をX軸方位とした。
封止部30
材料:AgSn半田、基板10a、10b上の厚さ:35μm、線熱膨張係数:30μK−1
リッド32
材料:コバール、厚さ:25μm、線熱膨張係数:5.13μK−1
保護膜34
材料:ニッケル、厚さ:10μm、線熱膨張係数:14μK−1
端子22、内部配線24、配線26、パッド28、環状電極29、弾性波素子12a、12b、配線16およびパッド18はシミュレーションにおいて考慮していない。
他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ52は共通端子Antに入力した高周波信号のうち受信帯域の信号を受信端子Rxに通過させ他の周波数の信号を抑圧する。
12,12a、12b 弾性波素子
16、26 配線
18、28 パッド
22 端子
24 内部配線
29 環状電極
30 封止部
32 リッド
34 保護膜
35、35a、35b ダミーバンプ
36 接続バンプ
38 空隙
50、50a 送信フィルタ
52 受信フィルタ
Claims (10)
- 下面に端子が設けられ、平面形状が略矩形の第1基板と、
下面に弾性波素子が設けられ、前記弾性波素子が前記第1基板の上面に空隙を挟み対向するように前記第1基板上に実装された1または複数の第2基板と、
前記第1基板の上面と前記1または複数の第2基板の下面との間に設けられ、平面視において前記第1基板の第1辺に直交する方向における前記第1辺と前記弾性波素子との間に設けられ、前記弾性波素子と前記端子との少なくとも一方と電気的に接続しない複数の第1ダミーバンプと、
前記第1基板の上面と前記1または複数の第2基板の下面との間に設けられ、平面視において前記直交する方向における前記第1辺に対向する第2辺と前記弾性波素子との間に設けられ、前記弾性波素子と前記端子との少なくとも一方と電気的に接続しない複数の第2ダミーバンプと、
前記第1基板の上面と前記1または複数の第2基板の下面との間に設けられ、平面視において前記複数の第1ダミーバンプより前記第2辺側かつ前記複数の第2ダミーバンプより前記第1辺側のみに位置し、前記弾性波素子と前記端子とを電気的に接続する複数の接続バンプと、
を具備する弾性波デバイス。 - 前記1または複数の第2基板は前記第1辺から前記第2辺に向かう方向に配列する複数の第2基板であり、
前記複数の第2基板のうち最も前記第1辺側の第2基板と前記第1基板との間に設けられた複数のバンプのうち最も前記第1辺側に設けられたバンプは前記複数の第1ダミーバンプであり、
前記複数の第2基板のうち最も前記第2辺側の第2基板と前記第1基板との間に設けられた複数のバンプのうち最も前記第2辺側に設けられたバンプは前記複数の第2ダミーバンプであり、
前記第1辺側の第2基板と前記第1基板との間に設けられた複数のバンプのうち最も前記第2辺側に設けられたバンプは前記接続バンプであり、
前記第2辺側の第2基板と前記第1基板との間に設けられた複数のバンプのうち最も前記第1辺側に設けられたバンプは前記接続バンプである請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記1または複数の第2基板は単一の第2基板である請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の第2基板のうち前記第1辺側の第2基板と前記第2辺側の第2基板との間に設けられた第2基板と前記第1基板との間に設けられたバンプは全て前記接続バンプである請求項2記載の弾性波デバイス。
- 前記1または複数の第2基板の少なくとも1つの基板は、回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板または回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板であり、前記第1辺から前記第2辺に向かう方向は前記少なくとも1つの基板のX軸方位である請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1基板は略長方形であり、前記第1辺および前記第2辺は短辺である請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波素子は、前記複数の第1ダミーバンプと前記複数の接続バンプとの間に設けられた第1弾性波素子と、前記複数の第2ダミーバンプと前記複数の接続バンプとの間に設けられた第2弾性波素子を含む請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1弾性波素子を含む第1フィルタと、
前記第2弾性波素子を含む第2フィルタと、
を具備する請求項7記載の弾性波デバイス。 - 前記弾性波素子を含むフィルタを具備する請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記フィルタを含むマルチプレクサを具備する請求項9記載の弾性波デバイス。
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