JP2018091836A - 半導体処理システム内の光信号の校正のためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、本出願と共に本出願の譲受人に譲渡され、参照により本明細書に組み込まれる、2017年2月8日にKuenyによって出願された「SYSTEM AND METHOD FOR IN−CHAMBER CALIBRATION OF OPTICAL SIGNALS」と題する米国仮特許出願第62/456424号および、2016年11月14日にKuenyによって出願された「A SYSTEM AND METHOD FOR IN−CHAMBER CALIBRATION OF A FIBER OPTIC COUPLED SPECTROMETER」と題する米国仮特許出願第62/421862号の利益を主張する。
要素1:拡散板、遮光環、レンズ、ミラー、開口、フィルタおよび窓から成るグループから光変形要素が選択される。要素2:光源がキセノンフラッシュランプである。要素3:筐体内に論理回路が置かれ、光源の動作を制御するように、かつ外部システムと通信するように構成される。要素4:校正光が、プラズマ放射を提供して光検出装置により観測されたものと少なくとも等しい波長域、空間範囲および角度範囲をもつ。要素5:光源がフラッシュランプであり、光学校正装置が論理回路と光源に結合されたトリガアセンブリをさらに含み、トリガアセンブリがフラッシュランプにトリガ信号を提供するように構成される。要素6:トリガ信号が交互に切り替わるフラッシュオン信号とフラッシュオフ信号を含む。要素7:筐体がメインボディおよび拡張ボディを含み、光変形要素の少なくとも一部分が拡張ボディ内に置かれる。要素8:動作が半導体ウェーハ処理である。要素9:光信号データが、測定された光信号データからの2つ以上のスペクトルの一部分に基づく強度比を含む。要素10:測定された光信号のデータを分光計が生成して報告するように構成され、このデータは、プラズマ光と、プラズマ処理チャンバ、ビューポートおよび光学結合システムを通るプラズマ光の伝播とに関連する。要素11:光学結合システムが光ファイバケーブルを含み、分光計が光ファイバケーブルを介して校正光を受け取るための光学ポートを含む。要素12:光学校正装置が、筐体と、筐体内に置かれた光源と、筐体内に置かれた光学変形要素とを含み、光源は連続スペクトルをもつ光源光を提供するように構成され、光変形要素は、光源光を、動作中のプラズマ処理チャンバ内のプラズマ放射を近似する校正光に変形するように構成される。要素13:光学校正装置が論理回路をさらに含み、論理回路は筐体内に置かれ、光源の動作を制御するように、かつ外部システムと通信するように構成される。要素14:光源がフラッシュランプであり、光学校正装置が、論理回路および光源に結合されたトリガアセンブリをさらに含み、トリガアセンブリはフラッシュランプにトリガ信号を提供するように構成される。要素15:論理回路が、光学校正装置のための基準スペクトルを格納するメモリをさらに含む。要素16:測定された光信号のデータを生成して報告するように光検出装置を構成することをさらに含み、このデータは、プラズマ光と、プラズマ処理チャンバ、ビューポートおよび光学結合システムを通るプラズマ光の伝播とに関連する。要素17:基準プラズマ処理チャンバおよび第2のプラズマ処理チャンバの中に光学校正装置を置き、基準および第2のプラズマ処理チャンバのそれぞれの中で光学校正装置から校正光を生成することをさらに含む。要素18:第1の基準強度比を判断することが、基準プラズマ処理チャンバ内の校正光から少なくとも1つのスペクトルを記録し、光信号データに基づいてマッチングパラメータを計算することを含む。要素19:第1の動作強度比を判断することが、基準プラズマ処理チャンバ内でプラズマを生成し、基準プラズマ処理チャンバ内のプラズマから放射される光から少なくとも1つのスペクトルを記録し、光信号データに基づいてマッチングパラメータを計算することを含む。要素20:特性比を使用して第2のプラズマ処理チャンバを調整することをさらに含む。要素21:第1の基準強度比を判断するために、基準プラズマ処理チャンバ内の校正光から少なくとも1つのスペクトルを記録してマッチングパラメータを計算する命令を実行するようにプロセッサが構成される。要素22:動作強度比を判断するために、基準プラズマ処理チャンバ内のプラズマから少なくとも1つのスペクトルを記録してマッチングパラメータを計算する命令を実行するようにプロセッサが構成される。要素23:基準プラズマチャンバと第2のプラズマチャンバの間での一様な処理のために、特性比を使用して第2のプラズマチャンバを調整するチャンバ調節信号を提供する命令を実行するようにプロセッサが構成される。
100 処理ライン
101、102、103、104 ツール
110、120、130、140 処理モジュール
112、122、132、142 処理チャンバ
113、123、133、143 ビューポート
115、125、135、145 光結合システム
116、126、136、146 光カプラ
117、127、137、147 光ファイバ
119、129、139、149 分光計
150 ローカル処理コントローラ
180 ツールコントローラ
199 ラインコントローラ
300 特性評価システム
310 処理チャンバ
312 ビューポート
320 光校正装置
321 通信回路
322 光源
323 メモリ
324 光変形要素
326 論理回路
327 インタフェースパネル
328 筐体
330 分光計
340 チャンバコントローラ
350 光結合システム
352 光カプラ
354 光ファイバケーブル
360 ローカル処理コントローラ
400 光校正装置
410 メインボディ
420 拡張部
430 光指向アセンブリ
435 変向ミラー
440 出口ポート
450 光源
460 ランプトリガアセンブリ
470 論理回路
480、482 遮光環
484 拡散板
490 インタフェースパネル
492 テキストディスプレイ
510 光校正装置
520 処理チャンバ
530 ウェーハペデスタル
540 チャンバ蓋
550 校正光
560 ビューポート
570 光結合システム
580 分光計
600 分光計
610 入力ポート
630 光検出装置
640 プロセッサ
650 出力ポート
700 チャンバ特性評価装置
710 パラメータ決定装置
720 チャンバ分析装置
Claims (19)
- 処理チャンバに関連する光信号のチャンバ内校正のための光学校正装置であって、
筐体と、
前記筐体内に置かれ、連続スペクトルをもつ光源光を提供するように構成された光源と、
前記筐体内に置かれ、前記光源光を、動作中の前記処理チャンバ内のプラズマ放射を近似する校正光へ変形するように構成された光変形要素とを備える
光学校正装置。 - 前記光変形要素が、拡散板、遮光環、レンズ、ミラー、開口、フィルタ、および窓から成るグループから選択される、請求項1に記載の光学校正装置。
- 前記光源がキセノンフラッシュランプである、請求項1に記載の光学校正装置。
- 前記校正光が、プラズマ放射を提供して光検出装置により観測されるものと少なくとも等しい波長域、空間範囲および角度範囲をもつ、請求項1に記載の光学校正装置。
- 前記筐体内に置かれ、前記光源の動作を制御するように、かつ、外部システムと通信するように構成された論理回路をさらに備える、請求項1に記載の光学校正装置。
- 前記光源がフラッシュランプであり、前記光学校正装置が前記論理回路および前記光源に結合されたトリガアセンブリをさらに含み、前記トリガアセンブリが前記フラッシュランプにトリガ信号を提供するように構成される、請求項5に記載の光学校正装置。
- 前記トリガ信号が、交互に切り替わるフラッシュオン信号およびフラッシュオフ信号を含む、請求項6に記載の光学校正装置。
- 前記筐体がメインボディおよび拡張ボディを含み、前記光変形要素の少なくとも一部分が前記拡張ボディ内に置かれる、請求項1に記載の光学校正装置。
- 前記動作が半導体ウェーハ処理である、請求項1に記載の光学校正装置。
- プラズマ処理チャンバのための特性評価システムであって、
ビューポートをもつプラズマ処理チャンバ内に配置された光学校正装置と、
前記ビューポートに結合され、前記光学校正装置により放射される校正光を受け取るように配置された光学結合システムと、
前記光学校正装置に前記光学結合システムを介して光学的に結合されており、かつ、測定された光信号のデータを生成および報告するように構成された分光計とを備え、前記データが、前記校正光と、前記プラズマ処理チャンバ、前記ビューポート、および前記光学結合システムを通る前記校正光の伝播とに関連する、
特性評価システム。 - 前記光信号データが、測定された光信号データからの2つ以上のスペクトルの一部分に基づく強度比を含む、請求項10に記載の特性評価システム。
- 前記分光計が、測定された光信号のデータを生成および報告するように構成されており、前記データが、プラズマ光と、前記プラズマ処理チャンバ、前記ビューポートおよび前記光学結合システムを通る前記プラズマ光の伝播とに関連する、請求項10に記載の特性評価システム。
- 前記光学結合システムが光ファイバケーブルを含み、前記分光計が前記光ファイバケーブルを介して前記校正光を受け取るための光学ポートを含む、請求項10に記載の特性評価システム。
- 前記光学校正装置が、
筐体と、
前記筐体内に置かれ、連続スペクトルをもつ光源光を提供するように構成された光源と、
前記筐体内に置かれ、前記光源光を、動作中の前記処理チャンバ内のプラズマ放射を近似する前記校正光へ変形するように構成された光変形要素とを含む、
請求項10に記載の特性評価システム。 - 前記光源がキセノンフラッシュランプである、請求項14に記載の特性評価システム。
- 前記光変形要素が、拡散板、遮光環、レンズ、ミラー、開口、フィルタ、および窓から成るグループから選択される、請求項14に記載の特性評価システム。
- 前記光学校正装置が前記筐体内に置かれた論理回路をさらに含み、前記論理回路が、前記光源の動作を制御するように、かつ、外部システムと通信するように構成される、請求項14に記載の特性評価システム。
- 前記光源がフラッシュランプであり、前記光学校正装置が前記論理回路および前記光源に結合されたトリガアセンブリをさらに含み、前記トリガアセンブリが前記フラッシュランプにトリガ信号を提供するように構成された、請求項17に記載の特性評価システム。
- 前記論理回路が前記光学校正装置のための基準スペクトルを格納したメモリをさらに含む、請求項17に記載の特性評価システム。
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