JP2018089593A - フィルタ膜 - Google Patents
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Abstract
【課題】 検査や実験等の用途で使用した際に、開口が他の物質で塞がりにくく、効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができるフィルタ膜を提供する。【解決手段】 複数の開口が形成され、前記開口を利用して処理媒体中の特定の材料を、他の材料から選択的に分離するフィルタ膜であって、前記フィルタ膜は、前記処理媒体が供給される側である第一の面と、第一の面と反対側の第二の面とを有し、前記開口を含み、前記第二の面に垂直な断面の形状は、少なくとも前記第二の面から第一の面に向かって形成された開口部と、前記開口部が前記第一の面に到達する前に開口部の大きさが拡張された拡張部とを含み、前記第一面は、二以上の領域に分割されていることを特徴とするフィルタ膜。【選択図】 図5
Description
本発明は、フィルタ膜に関する。
近年、経済の急激な発展に伴い、人々の経済活動により発生する空気汚染は、徐々に悪化しており、特に、自動車や工場等から発生する排気ガスにより大気が汚染され、人々の健康に悪影響を与えている。このため、汚染した大気から汚染物質を取り除くためのフィルタが種々研究されている(特許文献1参照)。
また、健康に影響を与える空気に含まれているウィルス、細菌等が人体に侵入するのを防止するためのフィルタについても、種々研究が進んでいる。
一方、逆に生体中の細胞の構成成分のなかから特定の成分のみを選択的に濾過し、特定の成分のみを得るフィルタについても研究が進んでおり、特許文献2には、フィルム単独で形状を維持できるように、厚さ方向に貫通する、精密形成された複数のミクロンスケールの細孔を含むポリマーフィルタ層と、精密形成された多孔質支持構造を含むポリマー支持層とからなるフィルタ膜が開示されている。上記のような比較的厚い構造とすることにより、フィルム単独で形状を維持でき、かつ、塊状に不可逆な凝集を起こさないフィルタ膜を作製することができる。
一方、逆に生体中の細胞の構成成分のなかから特定の成分のみを選択的に濾過し、特定の成分のみを得るフィルタについても研究が進んでおり、特許文献2には、フィルム単独で形状を維持できるように、厚さ方向に貫通する、精密形成された複数のミクロンスケールの細孔を含むポリマーフィルタ層と、精密形成された多孔質支持構造を含むポリマー支持層とからなるフィルタ膜が開示されている。上記のような比較的厚い構造とすることにより、フィルム単独で形状を維持でき、かつ、塊状に不可逆な凝集を起こさないフィルタ膜を作製することができる。
特許文献2に開示されたようなフィルタ膜では、ポリマーフィルタ層とポリマー支持層とを別々に作製し、両者を積層、接着してフィルタ膜を作製する必要がある。しかし、ポリマーフィルタ層とポリマー支持層との間の剥離を防止するとともに、作製したフィルタ膜の破損を防止し、かつ、接着強度を確保するためには、接着工程が煩雑になってしまうという問題点がある。
また、接着の際、ポリマー支持層がポリマーフィルタ層の細孔を一部塞いでしまい、細孔の面積や細孔径にばらつきが発生し易い。このため、検査や実験等の用途で使用した際には、再現性の乏しいデータとなってしまうという問題点がある。
さらに、フォトリソグラフィー法やエッチング法により比較的厚い構造のフィルタ膜を作製しようとすると、露光時の歪みやエッチングの量のばらつき等により細孔の形状が不均一になってしまう。このため、上記と同様、検査や実験等の用途で使用した際には、再現性の乏しいデータとなってしまうという問題点がある。
さらには、平面上に単に細孔が形成されているのみでは、フィルタとして使用した際、細孔より大きい形状の物質が細孔を塞いでしまい、短時間で濾過が困難になり易いという問題がある。
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、検査や実験等の用途で使用した際に、開口が他の物質で塞がりにくく、効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができるフィルタ膜を提供することを目的とする。
上記目的を解決するための本発明のフィルタ膜は、複数の開口が形成され、上記開口を利用して処理媒体中の特定の材料を、他の材料から選択的に分離するフィルタ膜であって、上記フィルタ膜は、上記処理媒体が供給される側である第一の面と、第一の面と反対側の第二の面とを有し、
上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状は、少なくとも上記第二の面から第一の面に向かって形成された開口部と、上記開口部が上記第一の面に到達する前に開口部の大きさが拡張された拡張部とを含み、上記第一面は、二以上の領域に分割されていることを特徴とする。
上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状は、少なくとも上記第二の面から第一の面に向かって形成された開口部と、上記開口部が上記第一の面に到達する前に開口部の大きさが拡張された拡張部とを含み、上記第一面は、二以上の領域に分割されていることを特徴とする。
本発明のフィルタ膜では、上記処理媒体が供給される側である第一の面と、第一の面と反対側の第二の面とを有し、上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状は、少なくとも上記第二の面から第一の面に向かって形成された開口部と、上記開口部が上記第一の面に到達する前に開口部の大きさが拡張された拡張部とを含んでいるので、上記拡張部の存在により、検査や実験等の用途で使用した際に、開口部が濾過対象外物質で塞がりにくく、効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
また、第一面は、二以上の領域に分割されているので、拡張部の容積が多くなり、開口部が濾過対象外物質でより塞がりにくくなり、効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
なお、本発明のフィルタ膜は、空気や特性成分のガス及び液体中に存在する粉塵やウィルス、細菌等を取り除き、清浄な空気、ガス、液体等を得るためのフィルタ膜として使用することができるとともに、逆に、空気や特性成分のガス及び液体中に存在する特定サイズの粒子、ウィルス、細菌、細胞等のみを選択的に濾過、分離して得るためのフィルタ膜としても使用することができる。
本発明のフィルタ膜において、上記フィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が上記拡張部の間に点在していることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が上記拡張部の間に点在していると、濾過処理流体中の開口部よりも大きな物質は、濾過処理中、フィルタ膜に到達した際、島状部に支えられた状態となり、島状部以外の部分には、大きな容積の拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口部方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が上記拡張部の間に点在していると、濾過処理流体中の開口部よりも大きな物質は、濾過処理中、フィルタ膜に到達した際、島状部に支えられた状態となり、島状部以外の部分には、大きな容積の拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口部方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜において、上記フィルタ膜を平面視した際、上記島状部は、四角形からなり、上記島状部は、上下左右に規則的に配置されていることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、上記島状部は、四角形からなり、上記島状部は、上下左右に規則的に配置されていると、濾過処理流体中の開口部よりも大きな物質は、フィルタ膜のいずれの部分に到達しても、濾過処理中、島状部に支えられた状態となり、島状部以外の部分には、大きな容積の拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、上記島状部は、四角形からなり、上記島状部は、上下左右に規則的に配置されていると、濾過処理流体中の開口部よりも大きな物質は、フィルタ膜のいずれの部分に到達しても、濾過処理中、島状部に支えられた状態となり、島状部以外の部分には、大きな容積の拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜において、上記フィルタ膜を平面視した際、所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有することが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有すると、繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に対して機械的特性に優れ、上記特性を利用して繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に伸ばしながら、フィルタ装置等に設置することにより、破損等を発生させず、フィルタとして好適に使用することができる。
また、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、所定幅の帯状部からなる第一の面に支えられた状態となり、第一の面以外の部分には拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
なお、上記帯状部は、必ずしも長細い長方形のように直線状でなくてもよく、全体が曲線を描くように形成された曲線状であってもよく、途中に屈曲部があってもよい。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有すると、繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に対して機械的特性に優れ、上記特性を利用して繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に伸ばしながら、フィルタ装置等に設置することにより、破損等を発生させず、フィルタとして好適に使用することができる。
また、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、所定幅の帯状部からなる第一の面に支えられた状態となり、第一の面以外の部分には拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
なお、上記帯状部は、必ずしも長細い長方形のように直線状でなくてもよく、全体が曲線を描くように形成された曲線状であってもよく、途中に屈曲部があってもよい。
本発明のフィルタ膜において、上記フィルタ膜を平面視した際、上記第一の面は、縞模様を形成していることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、上記第一の面が、所定の形状が複数回繰り返す、縞模様を形成していると、縞模様が繰り返す方向に垂直な方向に対して機械的特性に優れ、上記特性を利用して繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に伸ばしながら、フィルタ装置等に設置することにより、破損等を発生させず、フィルタとして使用することができる。
また、上記フィルタ膜を平面視した際、上記第一の面が縞模様を形成していると、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、縞模様の第一の面に支えられた状態となり、第一の面以外の部分には拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜で、上記フィルタ膜を平面視した際、上記第一の面が、所定の形状が複数回繰り返す、縞模様を形成していると、縞模様が繰り返す方向に垂直な方向に対して機械的特性に優れ、上記特性を利用して繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に伸ばしながら、フィルタ装置等に設置することにより、破損等を発生させず、フィルタとして使用することができる。
また、上記フィルタ膜を平面視した際、上記第一の面が縞模様を形成していると、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、縞模様の第一の面に支えられた状態となり、第一の面以外の部分には拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜において、上記フィルタ膜は、全体的に同一材料からなり、一体的に形成されていることが望ましい。
本発明のフィルタ膜が全体的に同一材料からなり、一体的に形成されていると、二つの層を接着した場合のような層分離を起こすことはなく、より機械的特性に優れるとともに、細孔の面積や細孔径にばらつきが発生しにくい。そのため、検査や実験等の用途で使用した際に、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜が全体的に同一材料からなり、一体的に形成されていると、二つの層を接着した場合のような層分離を起こすことはなく、より機械的特性に優れるとともに、細孔の面積や細孔径にばらつきが発生しにくい。そのため、検査や実験等の用途で使用した際に、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜において、上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状において、上記拡張部の上記第一の面から続く壁面と、上記第一の面とのなす角度は、43〜80°であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状において、上記拡張部の上記第一の面から続く壁面と、上記第一の面とのなす角度が43〜80°であると、第一の面から続く拡張部の第一の面に平行な断面の断面積は、第一の面に近づくに従って広くなっている。従って、上記第一の面に形成された開口よりも大きな濾過対象外物質が第一の面に近づいても、上記開口と濾過対象外物質との間に空隙が形成され易く、開口部が塞がりにくく、濾過を長時間に渡って連続的に行うことができ、効率よく濾過工程を終了することができる。
また、第二の面と開口部を構成する壁面とのなす角度も、43〜80°であることが望ましい。開口部の入口が出口より少し大きいため、所定の径以下の濾過対象物が詰まることなく、通過しやすい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状において、上記拡張部の上記第一の面から続く壁面と、上記第一の面とのなす角度が43〜80°であると、第一の面から続く拡張部の第一の面に平行な断面の断面積は、第一の面に近づくに従って広くなっている。従って、上記第一の面に形成された開口よりも大きな濾過対象外物質が第一の面に近づいても、上記開口と濾過対象外物質との間に空隙が形成され易く、開口部が塞がりにくく、濾過を長時間に渡って連続的に行うことができ、効率よく濾過工程を終了することができる。
また、第二の面と開口部を構成する壁面とのなす角度も、43〜80°であることが望ましい。開口部の入口が出口より少し大きいため、所定の径以下の濾過対象物が詰まることなく、通過しやすい。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部の径(r1)は、0.1〜10.0μmであることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部の径(r1)が0.1〜10.0μmであると、非常に微細な粉塵、ウィルス等を含むガス等から粉塵、ウィルス等を除去することができる。また、細胞を構成するような液中の微細な成分も、濾過により選択的に分離することができる。
本明細書において、開口部の径とは、第二の面における開口部の径を意味する。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部の径(r1)が0.1〜10.0μmであると、非常に微細な粉塵、ウィルス等を含むガス等から粉塵、ウィルス等を除去することができる。また、細胞を構成するような液中の微細な成分も、濾過により選択的に分離することができる。
本明細書において、開口部の径とは、第二の面における開口部の径を意味する。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1であると、開口部の単位面積当たりの数が充分に多く、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜となり、このフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本明細書において、開口部同士の間隔とは、第二の面における開口部同士の間隔を意味する。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1であると、開口部の単位面積当たりの数が充分に多く、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜となり、このフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本明細書において、開口部同士の間隔とは、第二の面における開口部同士の間隔を意味する。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が1〜4μmであり、上記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が3〜16μmであることが望ましい。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が1〜4μmであり、上記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が3〜16μmであると、機械的強度を有し、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が1〜4μmであり、上記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が3〜16μmであると、機械的強度を有し、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のアスペクト比(t1/r1)は、8以下であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部のアスペクト比(t1/r1)が8以下であると、開口部が細すぎず、かつ、長くないので、濾過物質が詰まりにくい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部のアスペクト比(t1/r1)が8以下であると、開口部が細すぎず、かつ、長くないので、濾過物質が詰まりにくい。
本発明のフィルタ膜において、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合((a1/A)×100)は、4〜30%であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合が4〜30%であると、開口部の単位面積当たりの開口部の面積が充分に大きく、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本明細書において、開口部が形成された面積とは、第二面における開口部の面積を意味する。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合が4〜30%であると、開口部の単位面積当たりの開口部の面積が充分に大きく、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本明細書において、開口部が形成された面積とは、第二面における開口部の面積を意味する。
本発明のフィルタ膜において、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合((a2/A)×100)は、20〜80%であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が20〜80%であると、拡張部の面積が充分に大きいので、当該フィルタ膜に詰まり等が発生しにくく、効率よく濾過作業を行うことができる。
本明細書において、拡張部が形成された面積とは、第一面における開口部の面積を意味する。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が20〜80%であると、拡張部の面積が充分に大きいので、当該フィルタ膜に詰まり等が発生しにくく、効率よく濾過作業を行うことができる。
本明細書において、拡張部が形成された面積とは、第一面における開口部の面積を意味する。
(発明の詳細な説明)
以下、本発明のフィルタ膜について詳述する。
以下、本発明のフィルタ膜について詳述する。
本発明のフィルタ膜は、複数の開口が形成され、上記開口を利用して処理媒体中の特定の材料を、他の材料から選択的に分離するフィルタ膜であって、上記フィルタ膜は、上記処理媒体が供給される側である第一の面と、第一の面と反対側の第二の面とを有し、上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状は、少なくとも上記第二の面から第一の面に向かって形成された開口部と、上記開口部が上記第一の面に到達する前に開口部の大きさが拡張された拡張部とを含み、上記第一面は、二以上の領域に分割されていることを特徴とする。なお、上記開口は、開口部と拡張部とを含む上位概念の言葉である。
本発明のフィルタ膜は、空気や特性成分のガス及び液体中に存在する粉塵やウィルス、細菌等を取り除き、清浄な空気、ガス、液体等を得るためのフィルタ膜として使用することができるとともに、逆に、空気や特性成分のガス及び液体中に存在する特定サイズの粒子、ウィルス、細菌、細胞等のみを選択的に濾過、分離して得るためのフィルタ膜としても使用することができる。
上記した本発明のフィルタ膜の形状、構造等の一例について、さらに詳述する。
図1(a)は、本発明のフィルタ膜の一例を模式的に示す平面図であり、図1(b)は、図1(a)に示すフィルタ膜のA−A線断面図である。
図1(a)は、本発明のフィルタ膜の一例を模式的に示す平面図であり、図1(b)は、図1(a)に示すフィルタ膜のA−A線断面図である。
図1(a)及び(b)に示す本発明のフィルタ膜10は、処理媒体が供給される側である第一の面11と、第一の面と反対側の第二の面12とを有し、開口16を含み、第二の面12に垂直な断面の形状は、少なくとも第二の面12から第一の面11に向かって形成された開口部13と、開口部13が第一の面11に到達する前に開口部13の大きさが拡張された拡張部14とを含み、拡張部14を除いた第一の面11は、連続している。なお、図1(a)及び(b)に示すように、開口16は、開口部13と拡張部14とを含む上位概念の言葉である。
本発明のフィルタ膜10は、図1(a)及び(b)に示すように、開口部13と拡張部14とからなる複数の開口16が形成され、開口16を利用して処理媒体中の特定の物質を、他の物質から選択的に分離するフィルタ膜として使用することができる。
本発明のフィルタ膜の開口は、概念的には、開口部が形成された層と拡張部が形成された層の二つの層に分けて考えることができるが、フィルタ膜自体は、全体的に同一材料からなり、一体的に形成されていることが望ましい。
上記フィルタ膜が全体的に同一材料からなり、一体的に形成されていると、二つの層を接着した場合のような層分離を起こすおそれはなく、より機械的特性に優れるとともに、二つの層を積み重ねた際に発生する不都合、すなわち細孔の面積や細孔径にばらつきが発生しにくい。そのため、検査や実験等の用途で使用した際に、再現性のよいデータを得ることができる。
上記フィルタ膜が全体的に同一材料からなり、一体的に形成されていると、二つの層を接着した場合のような層分離を起こすおそれはなく、より機械的特性に優れるとともに、二つの層を積み重ねた際に発生する不都合、すなわち細孔の面積や細孔径にばらつきが発生しにくい。そのため、検査や実験等の用途で使用した際に、再現性のよいデータを得ることができる。
また、本発明のフィルタ膜では、二以上の領域に分割されているので、拡張部の容積が多くなり、開口部が濾過対象外物質でより塞がりにくくなり、効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
なお、本発明のフィルタ膜は、空気や特性成分のガス及び液体中に存在する粉塵やウィルス、細菌等を取り除き、清浄な空気、ガス、液体等を得るためのフィルタ膜として使用することができるとともに、逆に、空気や特性成分のガス及び液体中に存在する特定サイズの粒子、ウィルス、細菌、細胞等のみを選択的に濾過、分離して得るためのフィルタ膜としても使用することができる。
本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料としては、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、シリカハイブリッドコンポジット等が挙げられる。上記樹脂は、高い柔軟性を有するので、機械的特性に優れ、フィルタ膜の自立性を確保し易い。なお、本発明のフィルタ膜の製造方法については、後で詳しく説明することにする。
本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料として、ネガ型のシリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂等を使用することができる。これらの樹脂を使用すると、紫外線等の光を照射することにより、照射した部分は溶剤に対する溶解性が増加し、現像液を用いて光を照射した部分を溶解し、除去することができる。
本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料として、ネガ型のシリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂等を使用することができる。これらの樹脂を使用すると、紫外線等の光を照射することにより、照射した部分は溶剤に対する溶解性が増加し、現像液を用いて光を照射した部分を溶解し、除去することができる。
シリコーン系樹脂は、4官能型のテトラアルコキシシランを主成分に、トリアルコキシシラン等を組み合わせたもので、最終的には、樹脂中にSiOの3次元的な構造が形成される。また、シリコーン系樹脂は、触媒を用いることにより、又は、加熱により硬化させることができる。このように、樹脂フィルムとしてシリコーン系樹脂を用いた場合、SiOの3次元的な構造を有するので、硬く、耐摩耗性に優れている。
アクリル系樹脂は、多官能モノマー/単官能モノマー/ポリマー系からなり、多官能モノマーの種類、量によって架橋度を制御したものである。多官能モノマーとしては、ポリオールアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート等が挙げられる。このように、樹脂フィルムとしてアクリル系樹脂を用いた場合、紫外線により短時間で硬化させることができという特徴を有している。
シリカハイブリッドコンポジットとは、シリカゾル等の無機微粒子又は上記したシリコーン系樹脂を用いたSiOの3次元的な構造体とハードコート層の形成に用いられるアクリル系樹脂やその他の樹脂を組み合わせたものであり、ラジカル重合性のアクリロイル基(AC)とメタクリロイル基(MAC)、またはカチオン重合性のオキセタニル基(OX)とラジカル重合性のアクリロイル基(AC)、メタクリロイル基(MAC)、又は、カチオン重合性のオキセタニル基(OX)を有する樹脂を組み合わせることにより、紫外線等の光により硬化させることができる。
本発明のフィルタ膜において、開口部の径(r1)は、0.1〜10.0μmであることが望ましい。
本明細書において、開口部の径とは、第二の面における開口部の径を意味する。
従って、図1(b)においては、第二の面12で測定される径r1が開口部13の径となる。
開口部の径r1は、走査型電子顕微鏡(SEM)を用い、フィルタ膜の第二の面を撮影することにより得られた写真からその値を測定することができる。
本明細書において、開口部の径とは、第二の面における開口部の径を意味する。
従って、図1(b)においては、第二の面12で測定される径r1が開口部13の径となる。
開口部の径r1は、走査型電子顕微鏡(SEM)を用い、フィルタ膜の第二の面を撮影することにより得られた写真からその値を測定することができる。
第二の面から見た開口部の形状は、特に限定されるものではなく、円形でもよく、楕円形であってもよく、レーストラック形状であってもよく、その他の曲線から構成される形状であってもよい。第二の面から見た開口部の形状は、四角形等の多角形であってもよいが、濾過をスムーズに行うためには、円、楕円等の曲線から構成される形状が好ましい。
また、本発明のフィルタ膜において、第二の面から平面視した開口部の形状が円でない場合には、最も幅の狭い部分を開口部の径(r1)とする。
また、本発明のフィルタ膜において、第二の面から平面視した開口部の形状が円でない場合には、最も幅の狭い部分を開口部の径(r1)とする。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部の径(r1)が0.1〜10.0μmであると、非常に微細な粉塵、ウィルス等を含むガス等から粉塵、ウィルス等を除去することができる。また、細胞を構成するような液中の微細な成分も、濾過により選択的に分離することができる。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部の径(r1)が0.1μm未満であると、開口部の径が小さすぎるため、正確な開口部を形成しようとすると、開口部形成の費用が高くなりすぎる。一方、開口部の径(r1)が10.0μmを超えると、開口部の径が大きくなりすぎ、濾過が容易になるので、本発明のような開口部と拡張部とを有するフィルタ膜を作製しても、本発明のフィルタ膜の特徴を充分に発揮することができない。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1であると、開口部の単位面積当たりの数が充分に多く、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本明細書において、開口部同士の間隔とは、第二の面における開口部同士の間隔を意味する。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1であると、開口部の単位面積当たりの数が充分に多く、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本明細書において、開口部同士の間隔とは、第二の面における開口部同士の間隔を意味する。
従って、図1(b)においては、第二の面12で測定される開口部13同士の間隔dが開口部同士の間隔となる。
開口部同士の間隔dは、走査型電子顕微鏡(SEM)を用い、フィルタ膜の第二の面を撮影することにより得られた写真からその値を測定することができる。
開口部同士の間隔dは、走査型電子顕微鏡(SEM)を用い、フィルタ膜の第二の面を撮影することにより得られた写真からその値を測定することができる。
開口部同士の間隔(d)が開口部の径(r1)に対して0.2r1未満であると、間隔(d)が短すぎるため、フィルタ膜の強度が低下し、破壊され易くなる。一方、開口部同士の間隔(d)が開口部の径(r1)に対して1.2r1を超えると、開口部同士の間隔が広すぎるため、開口部の単位面積当たりの数が少なくなり、濾過の効率が低下してしまう。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)は、1〜4μmであり、上記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)は、3〜16μmであることが好ましい。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が1〜4μmであり、上記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が3〜16μmであると、機械的強度を有し、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が1〜4μmであり、上記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が3〜16μmであると、機械的強度を有し、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
図1(b)に示すように、拡張部14の底面14aが第二の面12に対して平行に形成されている場合は、底面14aと第二の面12との距離が開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)となり、底面14aと第一の面11との距離が拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)となる。
図2は、本発明のフィルタ膜において、開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状を模式的に示す断面図である。
図2に示すように、本発明のフィルタ膜20において、拡張部24の底面24aが第二の面22と平行でない場合には、第二の面22に対して垂直な断面において、底面24aを延長した線と拡張部24の第一の面21に続く壁面24bを延長した線とが交わった点pにおける第二の面22との最短距離を、開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)とし、第一の面21と第二の面22との間の厚さ(T)から開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)を引いた値(T−t1)を、拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)とする。
図2に示すように、本発明のフィルタ膜20において、拡張部24の底面24aが第二の面22と平行でない場合には、第二の面22に対して垂直な断面において、底面24aを延長した線と拡張部24の第一の面21に続く壁面24bを延長した線とが交わった点pにおける第二の面22との最短距離を、開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)とし、第一の面21と第二の面22との間の厚さ(T)から開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)を引いた値(T−t1)を、拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)とする。
開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が1μm未満であると、開口部の厚さ(t1)が薄すぎ、濾過の際、開口部に亀裂等が形成されるおそれが発生する。一方、開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が4μmを超えると、開口部の厚さ(t1)が厚すぎ、濾過対象物質が開口部を抜けにくくなるため、濾過がスムーズに進行しない場合がある。
拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が3μm未満であると、拡張部の容積が小さくなってしまうため、濾過の際、濾過対象外物質が詰まり易くなる。一方、拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)が16μmを超えると、拡張部の容積が大きくなりすぎ、フィルタ膜の製造が難しくなるため、フィルタ膜が高価になってしまう。
本発明のフィルタ膜において、上記開口部のアスペクト比(t1/r1)は、8以下であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部のアスペクト比(t1/r1)は、8以下であると、開口部が細すぎず、かつ、長くないので、濾過対象外物質が詰まりにくい。
開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)は、上述したように規定されており、開口部の径(r1)も、上述のように規定されているので、本明細書において、開口部のアスペクト比(t1/r1)は、明確に規定されている。
本発明のフィルタ膜で、上記開口部のアスペクト比(t1/r1)は、8以下であると、開口部が細すぎず、かつ、長くないので、濾過対象外物質が詰まりにくい。
開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)は、上述したように規定されており、開口部の径(r1)も、上述のように規定されているので、本明細書において、開口部のアスペクト比(t1/r1)は、明確に規定されている。
上記開口部のアスペクト比(t1/r1)が8を超えると、開口部の径(r1)に比べて開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)が厚くなりすぎるため、濾過対象物質が開口部を抜けにくくなり、濾過を効率的に行うことが難しくなる。
本発明のフィルタ膜において、上記開口を含み、上記第二の面に垂直な断面の形状において、上記拡張部の上記第一の面から続く壁面と、上記第一の面とのなす角度は、43〜80°であることが望ましい。
図1及び図2において、第一の面21から続く拡張部24の壁面24bと第一の面21とのなす角度は、αで表示される。図2において、拡張部24と第一の面21との境界部分が曲線により構成されている場合は、第一の面21から続く拡張部24の壁面24bと第一の面21とのなす角度は、拡張部24の直線部分を第一の面21に延長した際、この直線と第一の面21とのなす角度とする。
本発明のフィルタ膜で、拡張部の第一の面から続く壁面と第一の面とのなす角度(α)が43〜80°であると、第一の面から続く拡張部の第一の面に平行な断面の断面積は、第一の面に近づくに従って広くなっている。従って、第一の面に形成された開口部よりも大きな濾過対象外物質が第一の面に近づいても、上記開口部と濾過対象外物質との間に空隙が形成され易く、開口部が塞がりにくく、濾過を長時間に渡って連続的に行うことができ、効率よく濾過工程を行うことができる。
本発明のフィルタ膜で、拡張部の第一の面から続く壁面と第一の面とのなす角度(α)が43〜80°であると、第一の面から続く拡張部の第一の面に平行な断面の断面積は、第一の面に近づくに従って広くなっている。従って、第一の面に形成された開口部よりも大きな濾過対象外物質が第一の面に近づいても、上記開口部と濾過対象外物質との間に空隙が形成され易く、開口部が塞がりにくく、濾過を長時間に渡って連続的に行うことができ、効率よく濾過工程を行うことができる。
本発明のフィルタ膜において、拡張部の第一の面から続く壁面と第一の面とのなす角度(α)が43°未満であると、拡張部が第一の面に近づくに従って急激に拡張しているため、濾過対象外物質が第一の面に近づいた際、開口部が塞がり易くなる。
一方、拡張部の第一の面から続く壁面と第一の面とのなす角度(α)が80°を超えると、第一の面から垂直に近い角度で拡張部の第一の面から続く壁面が形成されているので、濾過対象外物質が拡張部に嵌り易くなり、やはり開口部に詰まりが発生し易い。
また、第二の面と開口部を構成する壁面とのなす角度も、43〜80°であることが望ましい。開口部の入口が出口より少し大きいため、所定の径以下の濾過対象物が詰まることなく、通過しやすい。
一方、拡張部の第一の面から続く壁面と第一の面とのなす角度(α)が80°を超えると、第一の面から垂直に近い角度で拡張部の第一の面から続く壁面が形成されているので、濾過対象外物質が拡張部に嵌り易くなり、やはり開口部に詰まりが発生し易い。
また、第二の面と開口部を構成する壁面とのなす角度も、43〜80°であることが望ましい。開口部の入口が出口より少し大きいため、所定の径以下の濾過対象物が詰まることなく、通過しやすい。
本発明のフィルタ膜において、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合は、4〜30%であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合が4〜30%であると、開口部全体の単位面積当たりの開口部の面積が充分に大きく、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合が4〜30%であると、開口部全体の単位面積当たりの開口部の面積が充分に大きく、かつ、機械的強度も保つことができ、耐久性に優れたフィルタ膜を用いて効率よく濾過を行うことができる。
本発明のフィルタ膜において、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合が4%未満であると、開口部の面積が小さすぎるので、濾過を効率よく行うことが難しくなる。一方、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記開口部が形成された面積(a1)の割合が30%を超えると、開口部の面積が大きすぎるため、フィルタ膜を支持する部分の面積が小さくなり、フィルタ膜の機械的強度が小さくなり、破損し易くなる。
本発明のフィルタ膜において、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合は、20〜80%であることが望ましい。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が20〜80%であると、拡張部の面積が充分に大きいので、当該フィルタ膜に詰まり等が発生しにくく、効率よく濾過作業を行うことができる。
本発明のフィルタ膜で、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が20〜80%であると、拡張部の面積が充分に大きいので、当該フィルタ膜に詰まり等が発生しにくく、効率よく濾過作業を行うことができる。
本発明のフィルタ膜において、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が20%未満であると、拡張部の容積が小さすぎることとなり、上記拡張部の存在により、検査や実験等の用途で使用した際に、開口部が濾過対象外物質で塞がりにくくなるという本発明の効果を得られにくくなる。
一方、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が80%を超えると、拡張部の容積が大きくなりすぎ、厚さの厚い連続した第一の面を含む部分の容積が小さくなりすぎ、フィルタ膜の自立性が大きく低下してしまう。
一方、平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する上記拡張部が形成された面積(a2)の割合が80%を超えると、拡張部の容積が大きくなりすぎ、厚さの厚い連続した第一の面を含む部分の容積が小さくなりすぎ、フィルタ膜の自立性が大きく低下してしまう。
次に、本発明のフィルタ膜の具体的な形状について説明する。
本発明のフィルタ膜においては、上記フィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が上記拡張部の間に点在していることが望ましい。
本発明のフィルタ膜においては、上記フィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が上記拡張部の間に点在していることが望ましい。
すなわち、本発明の実施形態1に係るフィルタ膜としては、フィルタ膜を平面視した際、第一の面である正方形の複数の島状部が縦横に整列した状態で点在しており、島状部以外の部分に円形の開口部と拡張部とからなる開口が形成されており、拡張部のなかに開口部が縦横に規則正しく配置されている構造のフィルタ膜を挙げることができる。
また、本発明の実施形態2に係るフィルタ膜としては、ほぼ実施形態1に係るフィルタ膜と同様に構成されているが、島状部の配置状態が異なり、横方向の配列を観察すると、一番の上の列の島状部と一つ下の列の島状部では、1/2ピッチずれて配置されており、上の列の2つの島状部の間に下の列の島状部が配置されるとともに、島状部以外の部分に開口部と拡張部とからなる開口が形成され、拡張部のなかに開口部が縦横に規則正しく配置されているフィルタ膜を挙げることができる。
さらに、本発明の実施形態3に係るフィルタ膜としては、島状部の配置状態は、実施形態2に係るフィルタ膜と同様であり、拡張部のなかに開口部が配置されている点は、実施形態1及び実施形態2に係るフィルタ膜と同様であるが、開口部の平面視した形状が楕円形である点が実施形態1及び実施形態2に係るフィルタ膜と異なり、開口部の楕円形状は、お互いの配置方向が90°異なる2種類のものが一定の規則に従って配置されているフィルタ膜を挙げることができる。
さらに、本発明の実施形態4に係るフィルタ膜としては、島状部の配置状態は、実施形態1に係るフィルタ膜と同様であり、拡張部のなかに開口部が配置されている点は、実施形態1及び実施形態2に係るフィルタ膜と同様であるが、開口部の平面視した形状が楕円形である点で実施形態3に係るフィルタ膜と同様であり、開口部の楕円形状は、お互いの配置方向が90°異なる2種類のものが一定の規則に従って配置されているフィルタ膜を挙げることができる。
このような構成のフィルタ膜では、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、フィルタ膜のいずれの部分に到達しても、濾過処理中、島状部に支えられた状態となり、島状部以外の部分には、大きな容積の拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口部を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
上記フィルタ膜について、さらに図面を用いて具体的に説明する。
図3は、本発明の実施形態1に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図であり、図4は、本発明の実施形態2に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図である。また、図5は、本発明の実施形態3に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図であり、図6は、本発明の実施形態4に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図である。
図3は、本発明の実施形態1に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図であり、図4は、本発明の実施形態2に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図である。また、図5は、本発明の実施形態3に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図であり、図6は、本発明の実施形態4に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図である。
図3に示す本発明の実施形態1に係るフィルタ膜30では、フィルタ膜30を平面視した際、第一の面である正方形の複数の島状部31が縦横に整列した状態で点在しており、島状部31以外の部分に円形の開口部33と拡張部34とからなる開口36が形成され、拡張部34のなかに開口部33が縦横に規則正しく配置されている。
図4に示す本発明の実施形態2に係るフィルタ膜40では、ほぼ図3に示すフィルタ膜30と同様に構成されているが、島状部41の配置状態が異なり、横方向の配列を観察すると、一番の上の列の島状部41と一つ下の列の島状部41では、ピッチが1/2ずれて配置されており、上の列の2つの島状部41の間に下の列の島状部41が配置された態様となっている。島状部41以外の部分に開口部43と拡張部44とからなる開口46が形成されており、拡張部44のなかに開口部43が縦横に規則正しく配置されている点は、図3に示したフィルタ膜30と同様である。
図5に示す本発明の実施形態3に係るフィルタ膜50では、島状部51の配置状態は、図4と同様であり、拡張部54のなかに開口部53が配置されている点は、図3及び図4に示したフィルタ膜30、40と同様であるが、開口部53の平面視した形状が楕円形である点が図3及び図4に示したフィルタ膜30、40と異なる。また、開口部53の楕円形状は、お互いの配置方向が90°異なる2種類のものが一定の規則に従って配置されている。
図6に示す本発明の実施形態4に係るフィルタ膜60では、島状部61の配置状態は、図3と同様であり、拡張部64のなかに開口部63が配置されている点は、図3及び図4に示したフィルタ膜30、40と同様であるが、開口部63の平面視した形状が楕円形である点で図5に示したフィルタ膜50と同様である。また、開口部63の楕円形状は、お互いの配置方向が90°異なるものが一定の規則に従って配置されている。
このような図3〜図6に示した実施形態に係るフィルタ膜30、40、50、60では、濾過処理流体中の開口36、46、56、66よりも大きな物質は、フィルタ膜30、40、50、60のいずれの部分に到達しても、濾過処理中、島状部31、41、51、61に支えられた状態となり、島状部31、41、51、61以外の部分には、大きな容積の拡張部34、44、54、64が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部33、43、53、63よりも大きな物質が開口部33、43、53、63を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
また、本発明のフィルタ膜は、フィルタ膜を平面視した際、所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有していることが望ましい。
本発明の実施形態5に係るフィルタ膜としては、平面視した際、第一の面からなる所定幅の帯状部が上下にほぼ平行に3列並んでおり、これらの間に円形の開口部と拡張部とからなる帯形状の開口が形成されており、開口部は、拡張部中に縦に2列で形成されているが、そのピッチが1/2ずれており、平面視した開口部を辿っていくとジグザクの形状となるフィルタ膜が挙げられる。
本発明の実施形態6に係るフィルタ膜としては、平面視した際、第一の面からなる所定幅の帯状部が上下にほぼ平行に3列並んでおり、これらの間に楕円形の開口部と拡張部とからなる帯形状の開口が形成されており、開口部は、拡張部中に縦に1列で形成されているフィルタ膜が挙げられる。
すなわち、上記した本発明の実施形態5及び6に係るフィルタ膜では、フィルタ膜を平面視した際、所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有しており、第一の面(帯状部)は、縞模様を形成している。
上記した本発明の実施形態5及び6に係るフィルタ膜では、フィルタ膜を平面視した際、第一の面(帯状部)が、所定の形状が複数回繰り返す縞模様を形成しているので、縞模様が繰り返す方向に垂直な方向に対して機械的特性に優れ、上記特性を利用して繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に伸ばしながら、フィルタ装置等に設置することにより、破損等を発生させず、フィルタとして使用することができる。
また、上記フィルタ膜を平面視した際、第一の面(帯状部)が縞模様を形成しているので、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、縞模様の第一の面帯状部に支えられた状態となり、第一の面からなる帯状部以外の部分には拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
また、上記フィルタ膜を平面視した際、第一の面(帯状部)が縞模様を形成しているので、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、縞模様の第一の面帯状部に支えられた状態となり、第一の面からなる帯状部以外の部分には拡張部が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口部よりも大きな物質が開口を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
上記本発明の実施形態5及び6に係るフィルタ膜に関し、さらに図面を用いて具体的に説明する。
図7は、本発明の実施形態5に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図であり、図8は、本発明の実施形態6に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図である。
図7に示す本発明の実施形態5に係るフィルタ膜70では、平面視した際、第一の面からなる所定幅の帯状部71が上下にほぼ平行に3列並んでおり、これらの間に円形の開口部73と拡張部74とからなる帯形状の開口76が形成されている。開口部73は、拡張部74中に縦に2列で形成されているが、そのピッチが1/2ずれており、平面視した開口部73を辿っていくとジグザクの形状となる。
図7は、本発明の実施形態5に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図であり、図8は、本発明の実施形態6に係るフィルタ膜を模式的に示す平面図である。
図7に示す本発明の実施形態5に係るフィルタ膜70では、平面視した際、第一の面からなる所定幅の帯状部71が上下にほぼ平行に3列並んでおり、これらの間に円形の開口部73と拡張部74とからなる帯形状の開口76が形成されている。開口部73は、拡張部74中に縦に2列で形成されているが、そのピッチが1/2ずれており、平面視した開口部73を辿っていくとジグザクの形状となる。
図8に示す本発明の実施形態6に係るフィルタ膜80では、平面視した際、第一の面からなる所定幅の帯状部81が上下にほぼ平行に3列並んでおり、これらの間に楕円形の開口部83と拡張部84とからなる帯形状の開口86が形成されている。開口部83は、拡張部84中に縦に1列で形成されている。
本発明の実施形態5及び6に係るフィルタ膜70、80では、フィルタ膜70、80を平面視した際、所定幅の帯状部71、81からなる第一の面が拡張部74、84を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有しており、第一の面(帯状部71、81)は、縞模様を形成している。
上記した本発明の実施形態5及び6に係るフィルタ膜70、80では、フィルタ膜70、80を平面視した際、第一の面(帯状部71、81)が、所定の形状が複数回繰り返す、縞模様を形成しているので、縞模様が繰り返す方向に垂直な方向に対して機械的特性に優れ、上記特性を利用して繰り返し構造を有する方向に垂直な方向に伸ばしながら、フィルタ装置等に設置することにより、破損等を発生させず、フィルタとして使用することができる。
また、上記フィルタ膜70、80を平面視した際、第一の面(帯状部71、81)が縞模様を形成しているので、濾過処理流体中の開口よりも大きな物質は、縞模様の第一の面帯状部(71、81)に支えられた状態となり、第一の面からなる帯状部(71、81)以外の部分には拡張部74、84が存在するため空隙部分が存在し易く、この空隙部分を介して流体が開口方向に流通するため、開口76、86よりも大きな物質が開口部73、83を塞ぎにくく、より効率よく濾過工程を進めることができ、再現性のよいデータを得ることができる。
本発明のフィルタ膜は、上記した実施形態1〜6に係るフィルタ膜に限定されるものではなく、第一面が二以上の領域に分割されているものであればよい。しかしながら、上記したフィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が上記拡張部の間に点在している構造のフィルタ膜や所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有するフィルタ膜が望ましい。
次に、上記したフィルタ膜の製造方法について説明する。
上記したフィルタ膜の製造方法としては、平板状の基体部と、上記基体部上に形成され、上記した本発明のフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜部とからなるマスターモールドを作製するマスターモールド作製工程と、上記工程により作製された上記マスターモールドに、透明な熱可塑性樹脂フィルムを熱ラミネートし、上記マスターモールドの凹凸形状を転写した後剥離し、ミラーイメージモールドを作製する転写モールド作製工程と、基体部上に形成された感光性樹脂からなる感光性樹脂層に、上記ミラーイメージモールドを押し付けた後上記感光性樹脂層を硬化させ、上記基体部上に上記した本発明のフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜を作製するフィルタ膜作製工程とを含むフィルタ膜の製造方法が望ましい。
上記したフィルタ膜の製造方法としては、平板状の基体部と、上記基体部上に形成され、上記した本発明のフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜部とからなるマスターモールドを作製するマスターモールド作製工程と、上記工程により作製された上記マスターモールドに、透明な熱可塑性樹脂フィルムを熱ラミネートし、上記マスターモールドの凹凸形状を転写した後剥離し、ミラーイメージモールドを作製する転写モールド作製工程と、基体部上に形成された感光性樹脂からなる感光性樹脂層に、上記ミラーイメージモールドを押し付けた後上記感光性樹脂層を硬化させ、上記基体部上に上記した本発明のフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜を作製するフィルタ膜作製工程とを含むフィルタ膜の製造方法が望ましい。
上記したフィルタ膜の製造方法では、上記マスターモールド作製工程で作製したマスターモールドを利用し、上記転写モールド作製工程を介して作製した同じミラーイメージモールドを使用して、最終的なフィルタ膜を製造することができるので、開口部の形状等の構成が設計通りのフィルタ膜を再現性よく製造することができる。
図9(a)〜(h)は、上記フィルタ膜の製造方法における各工程を模式的に示す断面図である。
(1)マスターモールド作製工程
上記フィルタ膜の製造方法では、マスターモールド作製工程として、平板状の基体部と、上記基体部上に形成され、上記した本発明のフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜部とからなるマスターモールドを作製する。
(1)マスターモールド作製工程
上記フィルタ膜の製造方法では、マスターモールド作製工程として、平板状の基体部と、上記基体部上に形成され、上記した本発明のフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜部とからなるマスターモールドを作製する。
マスターモールド作製方法は、特に限定されるものではないが、上記基体部上にフォトリソグラフィー及び/又はエッチングの手法を用いて樹脂製のマスターモールドを作製する方法を採用することができる。
図10(a)〜(f)は、上記フィルタ膜の製造方法の一例における2段階のマスターモールド作製工程を模式的に示した断面図である。なお、図9及び図10に示した製造方法では、マスターモールドとして樹脂製のものを作製する。
マスターモールドを構成する樹脂は、特に限定されるものではないが、本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料と同じものを使用することができる。上記樹脂材料としては、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリカハイブリッドコンポジット等が挙げられる。上記樹脂は、高い柔軟性を有するので、機械的特性に優れ、ミラーイメージモールドを多数回作製しても、摩耗しにくい。
これらのシリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリカハイブリッドコンポジットについては、本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料の説明で詳しく説明したので、ここではその説明を省略する。下記の処理では、上記した樹脂でネガ型の感光性樹脂を使用する。
マスターモールドを構成する樹脂は、特に限定されるものではないが、本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料と同じものを使用することができる。上記樹脂材料としては、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリカハイブリッドコンポジット等が挙げられる。上記樹脂は、高い柔軟性を有するので、機械的特性に優れ、ミラーイメージモールドを多数回作製しても、摩耗しにくい。
これらのシリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリカハイブリッドコンポジットについては、本発明のフィルタ膜を構成する樹脂材料の説明で詳しく説明したので、ここではその説明を省略する。下記の処理では、上記した樹脂でネガ型の感光性樹脂を使用する。
このマスターモールド作製工程では、まず、基体部101上に上記樹脂を溶剤等に溶解させた塗布液を調製した後、該塗布液を塗布し、乾燥させ、開口部形成用の塗布層102a´を形成する(図10(a)参照)。塗布層102a´の形成後、塗布層102a´を硬化させて硬化樹脂層102aとし、平面視した際、開口部の形状の硬化樹脂層表面103aが露光するようにパターン形成されたガラス板106aをマスクとして設置し、露光する(図10(b)参照)。露光の光源としては、ランプ等が使用される。
基体部101の材料は特に限定されるものではなく、例えば、ビスマレイミドトリアジン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂、シリコン等の金属、アルミナ、ガラス等のセラミック等が挙げられる。
基体部101の材料は特に限定されるものではなく、例えば、ビスマレイミドトリアジン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂、シリコン等の金属、アルミナ、ガラス等のセラミック等が挙げられる。
次に、硬化樹脂層102aを所定の時間、現像液と接触させ、硬化樹脂層表面103aを含む部分を溶解除去し、凹部(開口部)103を形成する(図10(c)参照)。
次に、再度、上記塗布液を塗布し、乾燥させ、拡張部形成用の塗布層102b´を形成する(図10(d)参照)。次に、塗布層102b´を硬化させて硬化樹脂層102bとし、拡張部の形状の硬化樹脂層表面104aが露光するようにパターン形成されたガラス板106bをマスクとして設置し、露光する(図10(e)参照)。
次に、硬化樹脂層102bを所定の時間、現像液と接触させ、硬化樹脂層表面104aを含む部分を溶解除去して凹部(拡張部)104及び開口部103を形成する。これにより、開口部103と拡張部104とを有するマスターモールド102の作製を終了する(図10(f)及び図9(a)参照)。なお、硬化樹脂層102aは、2回目の露光で溶解しないように処理されている。また、基体部101は、上記現像液と接触してもエッチングされない材料である必要がある。
上記工程では、2回塗布層を形成し、2回現像処理することにより、マスターモールドを作成しているが、1回の現像処理により、開口部と拡張部とを形成してもよい。
図11(a)〜(c)は、本発明のフィルタ膜の製造方法の一例における1段階のマスターモールド作製工程を模式的に示した断面図である。
このマスターモールド作製工程では、まず、基体部101上に上記樹脂を溶剤等に溶解させた塗布液を調製した後、該塗布液を塗布し、乾燥させ、開口部及び拡張部形成用の厚い塗布層102c´を形成する(図11(a)参照)。塗布層102c´の形成後、塗布層102c´を硬化させて硬化樹脂層102cとし、硬化樹脂層表面104bが露光するようにパターン形成されたガラス板106cをマスクとして設置し、露光するが、その際、ガラス板106cのパターンとして、拡張部となる部分と開口部となる部分で、濃淡を付けたパターンを形成しており、露光することにより、開口部及び拡張部となる部分を一括して露光することができる(図11(b)参照)。
このマスターモールド作製工程では、まず、基体部101上に上記樹脂を溶剤等に溶解させた塗布液を調製した後、該塗布液を塗布し、乾燥させ、開口部及び拡張部形成用の厚い塗布層102c´を形成する(図11(a)参照)。塗布層102c´の形成後、塗布層102c´を硬化させて硬化樹脂層102cとし、硬化樹脂層表面104bが露光するようにパターン形成されたガラス板106cをマスクとして設置し、露光するが、その際、ガラス板106cのパターンとして、拡張部となる部分と開口部となる部分で、濃淡を付けたパターンを形成しており、露光することにより、開口部及び拡張部となる部分を一括して露光することができる(図11(b)参照)。
この後、硬化樹脂層102cを所定の時間、現像液と接触させ、硬化樹脂層102cの露光した硬化樹脂層表面104bを含む部分を溶解除去し、拡張部104及び開口部103を形成する。これにより、開口部103と拡張部104とを有するマスターモールド102cの作製を終了する(図11(c)及び図9(a)参照)。
上記したマスターモールド作製工程では、パターン成形されたガラス板をマスクとして用い、露光、現像によりマスターモールドを作製しているが、レーザー光源等の集光された光源を用いて、マスクを用いることなく、開口部となる部分等の特定の領域を照射、露光し、現像処理してマスターモールドを作製してもよい。開口部と拡張部等、深さの異なる凹部を形成する場合には、レーザー光等を、照射する場所に応じてその出力を調整することにより、露光の深さを調整することができ、これにより一度に開口部と拡張部とを形成することが可能になる。
(2)転写モールド作製工程
本発明の転写モールド作製工程では、上記マスターモールド作製工程により作製されたマスターモールド102に、透明な熱可塑性樹脂フィルム108´を用い(図9(b)参照)、熱可塑性樹脂フィルム108´を熱ラミネートしてマスターモールドの凹凸形状を転写し(図9(c)参照)、その後剥離することにより、ミラーイメージモールド108を作製する(図9(d)参照)。
本発明の転写モールド作製工程では、上記マスターモールド作製工程により作製されたマスターモールド102に、透明な熱可塑性樹脂フィルム108´を用い(図9(b)参照)、熱可塑性樹脂フィルム108´を熱ラミネートしてマスターモールドの凹凸形状を転写し(図9(c)参照)、その後剥離することにより、ミラーイメージモールド108を作製する(図9(d)参照)。
透明な熱可塑性樹脂フィルムの材料としては、シクロオレフィンポリマー、ポリ塩化ビニール(PVC)、ポリカーボネート(PC)系樹脂、ポリアミド樹脂、ポリメチルメタアクリレート樹脂等のアクリル樹脂、ポリスチレン樹脂等が挙げられる。
上記工程では、透明な熱可塑性樹脂フィルム108´を熱ラミネートすることによりマスターモールドを作製していたが、マスターモールド102上に、液状の樹脂を塗布し、硬化させた後、剥離することにより、ミラーイメージモールド108を作製してもよい。この方法によれば、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂を使用してミラーイメージモールド108を作製することができる。
上記工程では、透明な熱可塑性樹脂フィルム108´を熱ラミネートすることによりマスターモールドを作製していたが、マスターモールド102上に、液状の樹脂を塗布し、硬化させた後、剥離することにより、ミラーイメージモールド108を作製してもよい。この方法によれば、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂を使用してミラーイメージモールド108を作製することができる。
熱ラミネートの温度は、80〜200℃が好ましく、熱ラミネートの時間は、0.5〜5分が好ましい。
(3)フィルタ膜作製工程
本発明のフィルタ膜作製工程では、別の基体部111上に形成された感光性樹脂からなる感光性樹脂層112´に、透明なミラーイメージモールド108を押し付けた後(図9(e)参照)、紫外線等を透明なミラーイメージモールド108を介して照射し、感光性樹脂層112´を硬化させ(図9(f)参照)、基体部111上にフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜112を作製し(図9(g)参照)、基体部111を剥離することにより、開口部113及び拡張部114が形成された本発明のフィルタ膜112の作製を終了する(図9(h)参照)。
本発明のフィルタ膜作製工程では、別の基体部111上に形成された感光性樹脂からなる感光性樹脂層112´に、透明なミラーイメージモールド108を押し付けた後(図9(e)参照)、紫外線等を透明なミラーイメージモールド108を介して照射し、感光性樹脂層112´を硬化させ(図9(f)参照)、基体部111上にフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜112を作製し(図9(g)参照)、基体部111を剥離することにより、開口部113及び拡張部114が形成された本発明のフィルタ膜112の作製を終了する(図9(h)参照)。
感光性樹脂層112´は、溶剤に溶かした感光性樹脂を基体部111に塗布し、乾燥させることにより形成することができる。感光性樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シリカハイブリッドコンポジット等が挙げられる。
別の基体部111の材料は、特に限定されるものではなく、例えば、ビスマレイミドトリアジン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂、シリコン等の金属、アルミナ、ガラス等のセラミック等が挙げられる。
別の基体部111の材料は、特に限定されるものではなく、例えば、ビスマレイミドトリアジン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂、シリコン等の金属、アルミナ、ガラス等のセラミック等が挙げられる。
上記フィルタ膜作製工程では、感光性樹脂を使用しているが、熱硬化性のシリコーン系樹脂等を使用し、ミラーイメージモールド108を押し付けた後、加熱等を行うことにより、樹脂を硬化させてもよい。
本発明のフィルタ膜の製造方法においては、上記マスターモールド作製工程において、フォトリソグラフィー及び/又はエッチングの手法を用いて、上記基体部と上記フィルタ膜部とが一体的に形成されたシリコン製又はガラス製のマスターモールドを作製してもよい。
図12(a)〜(f)は、本発明の別のフィルタ膜の製造方法の一例におけるマスターモールド作製工程を模式的に示した断面図である。図12(a)〜(f)に示した製造方法では、マスターモールドとしてシリコン製又はガラス製のものを作製する。
マスターモールド作製工程では、まず、フォトリソグラフィーの手法を用い、シリコン製又はガラス製の基材121の表面に、平面視した際、開口部の形状の基材表面121aが露出するようにエッチングレジスト層126を形成する(図12(a)参照)。
ガラスの材料は特に限定されるものではなく、例えば、ソーダガラス等の汎用ガラス、石英ガラス、テンパックス等の耐熱ガラスを使用することができる。
ガラスの材料は特に限定されるものではなく、例えば、ソーダガラス等の汎用ガラス、石英ガラス、テンパックス等の耐熱ガラスを使用することができる。
次に、基材表面121aを所定の時間、エッチングガスと接触させ、基材121に凹部(開口部)123を形成し(図12(b)参照)、エッチンングレジスト層126を剥離する(図12(c)参照)。
次に、フォトリソグラフィーの手法を用い、凹部(開口部)123を有する基材121上に、拡張部の形状の基材表面121aが露出するように別のエッチングレジスト層127を形成する(図12(d)参照)。
次に、エッチングレジスト層127が形成された基材表面121aを、所定時間エッチングガスと接触させることにより、基材121に所定深さの拡張部124及び開口部123を形成し(図12(e))、エッチングレジスト層127を剥離することにより開口部123及び拡張部124を有するシリコン製又はガラス製のマスターモールド122を作製する(図12(f))。
作製されたマスターモールドでは、基体部とフィルタ膜部とが一体的に形成されている。
作製されたマスターモールドでは、基体部とフィルタ膜部とが一体的に形成されている。
得られたマスターモールド122を用いた本発明のフィルタ膜の製造方法は、上述の図9(a)〜(h)を用いて説明したフィルタ膜の製造方法と同様であるので、ここではその説明を省略する。
(実施例)
以下、本発明をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。
以下、本発明をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。
(実施例1)
(1)マスターモールド作製工程
ビスマレイミドトリアジン樹脂からなる基体部101の表面に、感光性のアクリル樹脂をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解させて調製した該塗布液を塗布し、乾燥させ、塗布層102´を形成した(図10(a))。塗布層102a´の形成後、塗布層102a´を硬化させて硬化樹脂層102aとし、平面視した際、開口部の形状の硬化樹脂層表面103aが露光するようにパターン形成されたガラス板106aをマスクとして設置し、露光した(図10(b)参照)。
(1)マスターモールド作製工程
ビスマレイミドトリアジン樹脂からなる基体部101の表面に、感光性のアクリル樹脂をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解させて調製した該塗布液を塗布し、乾燥させ、塗布層102´を形成した(図10(a))。塗布層102a´の形成後、塗布層102a´を硬化させて硬化樹脂層102aとし、平面視した際、開口部の形状の硬化樹脂層表面103aが露光するようにパターン形成されたガラス板106aをマスクとして設置し、露光した(図10(b)参照)。
次に、硬化樹脂層102aを所定の時間、現像液と接触させ、硬化樹脂層表面103aを含む部分を溶解除去し、凹部(開口部)103を形成した(図10(c)参照)。
この後、塗布層102a´を熱処理し、硬化樹脂層102aとする。
この後、塗布層102a´を熱処理し、硬化樹脂層102aとする。
次に、再度、上記塗布液を塗布し、乾燥させ、拡張部形成用の塗布層102b´を形成した(図10(d)参照)。次に、塗布層102b´を硬化させて硬化樹脂層102bとし、拡張部の形状の硬化樹脂層表面104aが露光するようにパターン形成されたガラス板106bをマスクとして設置し、露光した(図10(e)参照)。
次に、硬化樹脂層102bを所定の時間、現像液と接触させ、硬化樹脂層表面104aを含む部分を溶解除去して凹部(拡張部)104及び開口部103を形成した。これにより、開口部103と拡張部104とを有するマスターモールド102の作製を終了した(図10(f)及び図9(a)参照)。なお、硬化樹脂層102aは、2回目の露光で溶解しないように処理されている。
(2)転写モールド作製工程
本発明の転写モールド作製工程では、上記マスターモールド作製工程により作製されたマスターモールド102に、シクロオレフィンポリマーからなる透明な熱可塑性樹脂フィルム108´を用い(図9(b)参照)、熱可塑性樹脂フィルム108´を熱ラミネートしてマスターモールドの凹凸形状を転写し(図9(c)参照)、その後剥離することにより、ミラーイメージモールド108を作製した(図9(d)参照)。
本発明の転写モールド作製工程では、上記マスターモールド作製工程により作製されたマスターモールド102に、シクロオレフィンポリマーからなる透明な熱可塑性樹脂フィルム108´を用い(図9(b)参照)、熱可塑性樹脂フィルム108´を熱ラミネートしてマスターモールドの凹凸形状を転写し(図9(c)参照)、その後剥離することにより、ミラーイメージモールド108を作製した(図9(d)参照)。
(3)フィルタ膜作製工程
本発明のフィルタ膜作製工程では、別の基体部111上に形成された感光性のポリイミド樹脂からなる感光性樹脂層112´に、透明なミラーイメージモールド108を押し付けた後(図9(e)参照)、紫外線等を透明なミラーイメージモールド108を介して照射し、感光性樹脂層112´を硬化させ(図9(f)参照)、基体部111上にフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜112を作製し(図9(g)参照)、基体部111を剥離することにより、開口部113及び拡張部114が形成された本発明のフィルタ膜112の作製を終了した(図9(h)参照)。
得られたフィルタ膜は、平面視した構造が図3に示したものと同様であった。
形成されたフィルタ膜112において、開口部113の第二の面における径は、0.5μmであった。
本発明のフィルタ膜作製工程では、別の基体部111上に形成された感光性のポリイミド樹脂からなる感光性樹脂層112´に、透明なミラーイメージモールド108を押し付けた後(図9(e)参照)、紫外線等を透明なミラーイメージモールド108を介して照射し、感光性樹脂層112´を硬化させ(図9(f)参照)、基体部111上にフィルタ膜と同様の構成のフィルタ膜112を作製し(図9(g)参照)、基体部111を剥離することにより、開口部113及び拡張部114が形成された本発明のフィルタ膜112の作製を終了した(図9(h)参照)。
得られたフィルタ膜は、平面視した構造が図3に示したものと同様であった。
形成されたフィルタ膜112において、開口部113の第二の面における径は、0.5μmであった。
(実施例2)
(1)マスターモールド作製工程
基体部101上に上記樹脂を溶剤等に溶解させた塗布液を調製した後、該塗布液を塗布し、乾燥させ、開口部及び拡張部形成用の厚い塗布層102c´を形成した(図11(a)参照)。塗布層102c´の形成後、塗布層102c´を硬化させて硬化樹脂層102cとし、硬化樹脂層表面104bが露光するようにパターン形成されたガラス板106cをマスクとして設置し、露光するが、その際、ガラス板106cのパターンとして、拡張部となる部分と開口部となる部分で、濃淡を付けたパターンを形成しており、露光することにより、開口部及び拡張部となる部分を一括して露光することができる(図11(b)参照)。
(1)マスターモールド作製工程
基体部101上に上記樹脂を溶剤等に溶解させた塗布液を調製した後、該塗布液を塗布し、乾燥させ、開口部及び拡張部形成用の厚い塗布層102c´を形成した(図11(a)参照)。塗布層102c´の形成後、塗布層102c´を硬化させて硬化樹脂層102cとし、硬化樹脂層表面104bが露光するようにパターン形成されたガラス板106cをマスクとして設置し、露光するが、その際、ガラス板106cのパターンとして、拡張部となる部分と開口部となる部分で、濃淡を付けたパターンを形成しており、露光することにより、開口部及び拡張部となる部分を一括して露光することができる(図11(b)参照)。
この後、硬化樹脂層102cを所定の時間、現像液と接触させ、硬化樹脂層表面104bを含む部分を溶解除去し、拡張部104及び開口部103を形成した。これにより、開口部103と拡張部104とを有するマスターモールド102cの作製を終了した(図11(c)及び図9(a)参照)。
この後、実施例1と同様に(2)転写モールド作製工程及び(3)フィルタ膜作製工程を行い、本発明のフィルタ膜を作製した。
形成されたフィルタ膜において、開口部の第二の面における径は、0.5μmであった。
形成されたフィルタ膜において、開口部の第二の面における径は、0.5μmであった。
(実施例3)
(1)マスターモールド作製工程
まず、シリコン製の基材121の表面に、フォトリソグラフィーの手法を用い、平面視した際、開口部の形状の基材表面121aが露出するようにエッチングレジスト層126を形成した(図12(a)参照)。
(1)マスターモールド作製工程
まず、シリコン製の基材121の表面に、フォトリソグラフィーの手法を用い、平面視した際、開口部の形状の基材表面121aが露出するようにエッチングレジスト層126を形成した(図12(a)参照)。
次に、基材表面121aを所定の時間、エッチングガスと接触させ、基材121に凹部(開口部)123を形成し(図12(b)参照)、エッチンングレジスト層126を剥離した(図12(c)参照)。
次に、フォトリソグラフィーの手法を用い、凹部(開口部)123を有する基材121上に、拡張部の形状の基材表面121aが露出するように別のエッチングレジスト層127を形成した(図12(d)参照)。
次に、エッチングレジスト層127が形成された基材表面121aを、所定時間エッチングガスと接触させることにより、基材121に所定深さの拡張部124及び開口部123を形成し(図12(e))、エッチングレジスト層127を剥離することにより開口部123及び拡張部124を有するシリコン製のマスターモールド122を作製した(図12(f))。
この後、実施例1と同様に(2)転写モールド作製工程及び(3)フィルタ膜作製工程を行い、本発明のフィルタ膜を作製した。
形成されたフィルタ膜において、開口部の第二の面における径は、0.5μmであった。
形成されたフィルタ膜において、開口部の第二の面における径は、0.5μmであった。
10、20、30、40、50、60、70、80、112 フィルタ膜
11、21 第一の面
31、41、51、61 島状部
71、81 帯状部
12、22 第二の面
13、33、43、53、63、73、83、103、113、123 開口部
14、24、34、44、54、64、74、84、104、114、124 拡張部
14a、24a 底面
24b 壁面
16、36、46、56、66、76、86 開口
101、111 基体部
102、122 マスターモールド
102a´、102b´、102c´ 塗布層
102a、102b 硬化樹脂層
102c マスターモールド(硬化樹脂層)
103a、104a、104b 硬化樹脂層表面
106a、106b、106c ガラス板
108´ 熱可塑性樹脂フィルム
108 ミラーイメージモールド
112´ 感光性樹脂層
121 基材
121a 基材表面
126、127 エッチングレジスト層
11、21 第一の面
31、41、51、61 島状部
71、81 帯状部
12、22 第二の面
13、33、43、53、63、73、83、103、113、123 開口部
14、24、34、44、54、64、74、84、104、114、124 拡張部
14a、24a 底面
24b 壁面
16、36、46、56、66、76、86 開口
101、111 基体部
102、122 マスターモールド
102a´、102b´、102c´ 塗布層
102a、102b 硬化樹脂層
102c マスターモールド(硬化樹脂層)
103a、104a、104b 硬化樹脂層表面
106a、106b、106c ガラス板
108´ 熱可塑性樹脂フィルム
108 ミラーイメージモールド
112´ 感光性樹脂層
121 基材
121a 基材表面
126、127 エッチングレジスト層
Claims (13)
- 複数の開口が形成され、前記開口を利用して処理媒体中の特定の材料を、他の材料から選択的に分離するフィルタ膜であって、
前記フィルタ膜は、前記処理媒体が供給される側である第一の面と、第一の面と反対側の第二の面とを有し、
前記開口を含み、前記第二の面に垂直な断面の形状は、
少なくとも前記第二の面から第一の面に向かって形成された開口部と、前記開口部が前記第一の面に到達する前に開口部の大きさが拡張された拡張部とを含み、
前記第一面は、二以上の領域に分割されていることを特徴とするフィルタ膜。 - 前記フィルタ膜を平面視した際、複数の島状部からなる第一の面が前記拡張部の間に点在している請求項1に記載のフィルタ膜。
- 前記フィルタ膜を平面視した際、前記島状部は、四角形からなり、前記島状部は、上下左右に規則的に配置されている請求項2に記載のフィルタ膜。
- 前記フィルタ膜を平面視した際、所定幅の帯状部からなる第一の面が拡張部を挟んで複数回繰り返す繰り返し構造を有する請求項1に記載のフィルタ膜。
- 前記フィルタ膜を平面視した際、前記第一の面は、縞模様を形成している請求項4に記載のフィルタ膜。
- 前記フィルタ膜は、全体的に同一材料からなり、一体的に形成されている請求項1〜5のいずれか1に記載のフィルタ膜。
- 前記開口を含み、前記第二の面に垂直な断面の形状において、
前記拡張部の前記第一の面から続く壁面と、前記第一の面とのなす角度は、43〜80°である請求項1〜6のいずれか1に記載のフィルタ膜。 - 前記開口部の径(r1)は、0.1〜10.0μmである請求項1〜7のいずれか1に記載のフィルタ膜。
- 前記開口部同士の間隔(d)と開口部の径(r1)との関係は、0.2r1≦d≦1.2r1である請求項8に記載のフィルタ膜。
- 前記開口部のみが形成されている部分の厚さ(t1)は、1〜4μmであり、前記拡張部のみが形成されている部分の厚さ(t2)は、3〜16μmである請求項1〜9のいずれか1に記載のフィルタ膜。
- 前記開口部のアスペクト比(t1/r1)は、8以下である請求項8〜10のいずれか1に記載のフィルタ膜。
- 平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する前記開口部が形成された面積(a1)の割合は、4〜30%である請求項1〜11のいずれか1に記載のフィルタ膜。
- 平面視した際のフィルタ膜の総面積(A)に対する前記拡張部が形成された面積(a2)の割合は、20〜80%である請求項1〜12のいずれか1に記載のフィルタ膜。
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