JP2018084525A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】ガス透過性の変換部とケーシングとの隙間を確実にシールし、変換部の破損を抑制しつつ検知精度を向上させたガスセンサを提供する。
【解決手段】ケーシング12、50、及びケーシング内に収容され、被測定ガスGに含まれる第1ガス成分を第2ガス成分に変換するガス透過性の変換部14を有する調整ユニット10と、変換部を通過した第2ガス成分を検出する検知部24aと、変換部及び検知部を加熱するための1つ以上のヒータ24bと、を備えたガスセンサ1であって、ケーシングの内面と変換部の外面との間に、金属繊維を除く無機繊維からなるシール材14aが介在され、シール材に対して上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該シール材単体の上下流における差圧(単位:Pa)が、変換部の上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該変換部単体の上下流における差圧(単位:Pa)に対して大きい。
【選択図】図1
【解決手段】ケーシング12、50、及びケーシング内に収容され、被測定ガスGに含まれる第1ガス成分を第2ガス成分に変換するガス透過性の変換部14を有する調整ユニット10と、変換部を通過した第2ガス成分を検出する検知部24aと、変換部及び検知部を加熱するための1つ以上のヒータ24bと、を備えたガスセンサ1であって、ケーシングの内面と変換部の外面との間に、金属繊維を除く無機繊維からなるシール材14aが介在され、シール材に対して上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該シール材単体の上下流における差圧(単位:Pa)が、変換部の上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該変換部単体の上下流における差圧(単位:Pa)に対して大きい。
【選択図】図1
Description
本発明は、被測定ガスに含まれる特定ガス成分の濃度を検知するガスセンサに関する。
従来から、被測定ガスに含まれる特定ガス成分の濃度を検知するガスセンサが知られている(特許文献1)。
このガスセンサは、チャンバ内に被測定ガスとしての大気が一定量供給されるように構成され、チャンバ内で触媒にてCO等の可燃性ガスを燃焼除去する前処理を行った後、被測定ガスをセンサ素子に接触させて、NOx濃度を検知している。
このガスセンサは、チャンバ内に被測定ガスとしての大気が一定量供給されるように構成され、チャンバ内で触媒にてCO等の可燃性ガスを燃焼除去する前処理を行った後、被測定ガスをセンサ素子に接触させて、NOx濃度を検知している。
特許文献1のガスセンサでは、チャンバの流路を横断するように触媒をチャンバ内に充填し、触媒を透過した被測定ガスをセンサ素子に導入している。
ところで、このようなガス透過性の触媒をチャンバ内に配置する場合、チャンバ内面と触媒の外面との隙間をシール材でシールし、被測定ガスが隙間から漏れずに触媒内を優先的に透過するように構成する必要がある。
しかしながら、シール材として一般に用いられるゴム等の弾性体は耐熱性が低く、高温の被測定ガスや、被測定ガスを触媒の活性温度に加熱した場合にシール性が低下したり、シール材から雑ガスが発生してセンサ素子のガス検知に影響を与えるという問題がある。
一方、金属製のシール材は、熱伝導率が高すぎて触媒の熱をチャンバに逃がしてしまい、触媒を活性温度に維持し難いという問題がある。又、金属製の硬いシール材でシールするためには、シール材に大きな荷重を掛けて変形させる必要があり、金属よりも強度の低い触媒が破損したり、触媒が潰れてガス透過性が低下するおそれがある。
ところで、このようなガス透過性の触媒をチャンバ内に配置する場合、チャンバ内面と触媒の外面との隙間をシール材でシールし、被測定ガスが隙間から漏れずに触媒内を優先的に透過するように構成する必要がある。
しかしながら、シール材として一般に用いられるゴム等の弾性体は耐熱性が低く、高温の被測定ガスや、被測定ガスを触媒の活性温度に加熱した場合にシール性が低下したり、シール材から雑ガスが発生してセンサ素子のガス検知に影響を与えるという問題がある。
一方、金属製のシール材は、熱伝導率が高すぎて触媒の熱をチャンバに逃がしてしまい、触媒を活性温度に維持し難いという問題がある。又、金属製の硬いシール材でシールするためには、シール材に大きな荷重を掛けて変形させる必要があり、金属よりも強度の低い触媒が破損したり、触媒が潰れてガス透過性が低下するおそれがある。
そこで、本発明は、ガス透過性の変換部とケーシングとの隙間を確実にシールし、変換部の破損を抑制しつつ検知精度を向上させたガスセンサを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサは、自身の内部に被測定ガスを導入可能なケーシング、及び、前記ケーシング内に収容され、該被測定ガスに含まれる第1ガス成分を第2ガス成分に変換するガス透過性の変換部を有する調整ユニットと、前記変換部を通過した前記被測定ガスに含まれる前記第2ガス成分を検出する検知部と、前記変換部、及び、前記検知部を加熱するための1つ以上のヒータと、を備えたガスセンサであって、前記ケーシングの内面と前記変換部の外面との間に、金属繊維を除く無機繊維からなるシール材が介在され、前記シール材に対して上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該シール材単体の上下流における差圧(単位:Pa)が、前記変換部の上流から下流に向けて前記一定流量の空気を流したときの当該変換部単体の上下流における差圧(単位:Pa)に対して大きい。
このガスセンサによれば、シール材が金属繊維を除く無機繊維からなるため、柔軟で変形し易く、ガス透過性の変換部とケーシングとの隙間を確実にシールすることができると共に、金属製のシール材のように大きな荷重を掛けて変形させる必要がない。そのため、変換部が破損したり、変換部が潰れてガス透過性が低下することを抑制できる。
又、無機繊維は耐熱性が高いので、高温の被測定ガスや、被測定ガスを変換部の活性温度に加熱した場合にシール性が低下したり、シール材から雑ガスが発生してセンサ素子のガス検知に影響を与えることを抑制できる。
又、無機繊維は耐熱性が高いので、高温の被測定ガスや、被測定ガスを変換部の活性温度に加熱した場合にシール性が低下したり、シール材から雑ガスが発生してセンサ素子のガス検知に影響を与えることを抑制できる。
本発明のガスセンサにおいて、前記変換部が多孔質状をなしてもよい。
変換部が多孔質状の場合、変換部の外面が平坦でなく突没し、段差を形成することがあるが、このガスセンサによれば、シール材が柔軟なため、この段差に容易に追随して変形し、シール性を高めることができる。
変換部が多孔質状の場合、変換部の外面が平坦でなく突没し、段差を形成することがあるが、このガスセンサによれば、シール材が柔軟なため、この段差に容易に追随して変形し、シール性を高めることができる。
この発明によれば、ガス透過性の変換部とケーシングとの隙間を確実にシールし、変換部の破損を抑制しつつ検知精度を向上させたガスセンサが得られる。
以下に、本発明を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態におけるガスセンサ1の分解斜視図、図2は図1のA−A線に沿う断面図である。
図1において、ガスセンサ1は、調整ユニット10と、センサユニット20と、パイプ状のガス流通管40と、板状のセラミック配線基板50と、を備え、全体として箱状に形成されている。
図1において、ガスセンサ1は、調整ユニット10と、センサユニット20と、パイプ状のガス流通管40と、板状のセラミック配線基板50と、を備え、全体として箱状に形成されている。
調整ユニット10は、略矩形箱状でフランジを有し上面(図1の上方に向く面)が開口する金属製のケーシング12と、ケーシング12のフランジに接着剤(図示せず)を介して接着される矩形枠状のパッキン13と、ケーシング12内に収容される変換部14と、を有している。そして、パッキン13の枠体にケーシング12のフランジ及びセラミック配線基板50の下面の外周部分が接着剤(図示せず)を介して固着することで、ケーシング12の開口をセラミック基板50が閉塞し、ケーシング12の内部空間が第1チャンバC1を形成する。
ケーシング12の下面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット12a及びアウトレット12bがそれぞれ離間して突出しており、インレット12a及びアウトレット12bは第1チャンバC1に連通している。
ケーシング12の下面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット12a及びアウトレット12bがそれぞれ離間して突出しており、インレット12a及びアウトレット12bは第1チャンバC1に連通している。
第1チャンバC1におけるインレット12aとアウトレット12bとの間に、直方体形状をなすと共に、多孔質状をなしガス透過性の変換部14が配置され、変換部14の外表面には第1チャンバC1の内壁面との隙間をシールする無機繊維からなるシール材14aが設けられている。なお、変換部14の対向する2面(図2における左側面と右側面)はシール材14aで覆われず、変換部14の一方の面から他方の面にかけて通気可能となっている。
そして、インレット12aから第1チャンバC1に導入された被測定ガスGが変換部14に接触(透過)し、被測定ガスGに含まれる第1ガス成分(具体的にはNO)が第2ガス成分(具体的にはNO2)に変換された後、アウトレット12bから調整ユニット10の外部に排出される。
なお、変換部14の外面に対向して第1チャンバC1の内壁面となる、調整ユニット10のケーシング12、及びセラミック配線基板50の下面が、特許請求の範囲の「ケーシング」に相当する。
そして、インレット12aから第1チャンバC1に導入された被測定ガスGが変換部14に接触(透過)し、被測定ガスGに含まれる第1ガス成分(具体的にはNO)が第2ガス成分(具体的にはNO2)に変換された後、アウトレット12bから調整ユニット10の外部に排出される。
なお、変換部14の外面に対向して第1チャンバC1の内壁面となる、調整ユニット10のケーシング12、及びセラミック配線基板50の下面が、特許請求の範囲の「ケーシング」に相当する。
センサユニット20は、ケーシング12と同一形状で下面が開口する金属製の第2ケーシング22と、第2ケーシング22のフランジに積層される矩形枠状のパッキン23と、第2ケーシング22内に収容されるセンサ素子部24と、センサ素子部24をセラミック配線基板50の上面の所定位置に接着するための接着剤26と、上記セラミック配線基板50と、を有している。そして、パッキン23の枠体に第2ケーシング22のフランジ及びセラミック配線基板50の上面の外周部分が接着剤(図示せず)を介して固着されることで、第2ケーシング22の開口をセラミック配線基板50が閉塞し、第2ケーシング22の内部空間が第2チャンバC2を形成する。
センサ素子部24は略矩形板状をなし、図2に示すように、ベース部24cの上面(図1の上方に向く面)側に検知部24aが配置され、ベース部24cの下面側にヒータ24bが配置されており、検知部24aとヒータ24bがベース部24cの上下に積層された一体構造となっている。
セラミック配線基板50の上面の中央には凹部50rが形成され、凹部50rに接着剤26が配置され、接着剤26の上面にヒータ24b側が接するようにしてセンサ素子部24が配置されている。
第2ケーシング22の上面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット22a及びアウトレット22bがそれぞれ離間して突出しており、インレット22a及びアウトレット22bは第2チャンバC2に連通している。
セラミック配線基板50の上面の中央には凹部50rが形成され、凹部50rに接着剤26が配置され、接着剤26の上面にヒータ24b側が接するようにしてセンサ素子部24が配置されている。
第2ケーシング22の上面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット22a及びアウトレット22bがそれぞれ離間して突出しており、インレット22a及びアウトレット22bは第2チャンバC2に連通している。
センサ素子部24は、第2チャンバC2におけるインレット22aとアウトレット22bとの間で凹部50rに配置され、インレット22aはガス流通管40でアウトレット12bと接続されている。そして、調整ユニット10を通過して第2ガス成分に変換された被測定ガスGは、ガス流通管40を通ってインレット22aから第2チャンバC2に導入され、検知部24aに接触して第2ガス成分の濃度が測定された後、アウトレット22bからセンサユニット20の外部に排出される。
検知部24aは第2ガス成分の濃度に応じて電気的特性が変化し、その変化した電気信号を検知することで第2ガス成分の濃度を検出する。又、ヒータ24bは通電加熱により、検知部24aを動作温度に加熱する。そして、検知部24aの出力端子、及びヒータ24bの通電端子はセラミック配線基板50に図示しないワイヤボンディングで電気的に接続されている。
ベース部24cは例えば絶縁性のセラミック基板を用いて構成することができる。又、検知部24aは例えば金属酸化物半導体を用いて構成することができる。ヒータ24bは例えばベース部24cの表面に形成されたミアンダ状の導電パターンからなる発熱抵抗体を採用することができる。なお、検知部24aは、固体電解質体に一対の電極を設けた公知の構成をなす混成電位式の検知部等を採用してもよい。
ベース部24cは例えば絶縁性のセラミック基板を用いて構成することができる。又、検知部24aは例えば金属酸化物半導体を用いて構成することができる。ヒータ24bは例えばベース部24cの表面に形成されたミアンダ状の導電パターンからなる発熱抵抗体を採用することができる。なお、検知部24aは、固体電解質体に一対の電極を設けた公知の構成をなす混成電位式の検知部等を採用してもよい。
ここで、セラミック基板50の端部50e(図1の左側)はケーシング12、22よりも狭幅とされて、ケーシング12、22の外側(図1の左側)へ延びており、端部50eの表裏面には、検知部24a及びヒータ24bに対して上記ワイヤボンディング及びセラミック配線基板50の表面上に形成された配線(リード導体)を介して電気的に接続された、複数の電極パッド50pが配置されている。そして、検知部24から出力された電気信号はセラミック配線基板50の電極パッド50pを介して外部に出力され、電極パッド50pを介して外部から供給された電力によりヒータ24bが通電加熱する。
ここで、図2に示すように、ヒータ24bがセンサユニット20内の検知部24aとベース部24cを介して積層されている(熱結合されている)ことにより、ヒータ24bの熱は矢印H1のように検知部24aに伝わる。一方、ヒータ24bは、接着剤26及びセラミック配線基板50の凹部50rを介して調整ユニット10内の変換部14に積層されている(熱結合されている)。これにより、ヒータ24bの熱は矢印H2のように変換部14に伝わる。
このように、ヒータ24bにより、検知部24aと変換部14とをそれぞれ活性温度に加熱している。そして、本実施形態では、単一のヒータ24bで検知部24aと変換部14とを加熱するので、両者にそれぞれ別個にヒータを設けた場合に比べ、ガスセンサ1が小型化するという利点がある。但し、両者にそれぞれ別個にヒータを設けても構わない。
このように、ヒータ24bにより、検知部24aと変換部14とをそれぞれ活性温度に加熱している。そして、本実施形態では、単一のヒータ24bで検知部24aと変換部14とを加熱するので、両者にそれぞれ別個にヒータを設けた場合に比べ、ガスセンサ1が小型化するという利点がある。但し、両者にそれぞれ別個にヒータを設けても構わない。
なお、本実施形態においては、ヒータ24bとセラミック配線基板50の間に接着剤26を配置しているが、無機繊維の不織物からなる断熱シートを介在させても良い。断熱シートを介在させることで、単一のヒータ24bで検知部24aと変換部14とをそれぞれ別の活性温度に加熱させられ、例えば検知部24aを変換部14よりも高い温度に加熱することができる。
次に、図3を参照し、シール材14aについて説明する。図3は、変換部14の外面に介在するシール材14aの断面写真を示す図である。
図3において、シール材14aは、無機繊維(具体的には、アルミナ繊維からなる不織布)からなる。
又、変換部14は、例えば呼気G中のNOをNO2に変換する触媒となるPtをゼオライトに担持させた多孔質状のバルク体である。この多孔質は、Ptが担持されたゼオライト粒子を含むペーストを塗布した後、焼成して形成することができ、各ゼオライト粒子が隙間を設けて結合して多孔質状となり、ガス透過性を有する。
なお、図3では、断面写真を撮影するため、変換部14の外側に治具200を配置し、治具200の内面と変換部14の外面との間に、シール材14aを挟み込んで治具200を変換部14側に押圧することで、シール材14aを圧縮している。
図3において、シール材14aは、無機繊維(具体的には、アルミナ繊維からなる不織布)からなる。
又、変換部14は、例えば呼気G中のNOをNO2に変換する触媒となるPtをゼオライトに担持させた多孔質状のバルク体である。この多孔質は、Ptが担持されたゼオライト粒子を含むペーストを塗布した後、焼成して形成することができ、各ゼオライト粒子が隙間を設けて結合して多孔質状となり、ガス透過性を有する。
なお、図3では、断面写真を撮影するため、変換部14の外側に治具200を配置し、治具200の内面と変換部14の外面との間に、シール材14aを挟み込んで治具200を変換部14側に押圧することで、シール材14aを圧縮している。
図3に示すように、シール材14aは多数の無機繊維の集合体からなるため柔軟で変形し易く、ガス透過性(多孔質状)の変換部14とケーシング(ケーシング12、セラミック配線基板50)との隙間を確実にシールすることができると共に、金属製のシール材のように大きな荷重を掛けて変形させる必要がない。そのため、シール材14の設置によって、ガス透過性の変換部14が破損したり、変換部14が潰れてガス透過性が低下することを抑制できる。
又、無機繊維は耐熱性が高いので、高温の被測定ガスや、被測定ガスを変換部14の活性温度に加熱した場合にシール性が低下したり、シール材14から雑ガスが発生してセンサ素子部24(検知部24a)のガス検知に影響を与えることを抑制できる。
特に、図3に示すように変換部14が多孔質状の場合、変換部14の外面が平坦でなく突没し、段差Dを形成することがあるが、シール材14aが柔軟なため、この段差Dに容易に追随して変形し、セラミック配線基板50と変換部14との間、及び、ケーシング12と変換部14との間を確実にシールすることができる。
又、無機繊維は耐熱性が高いので、高温の被測定ガスや、被測定ガスを変換部14の活性温度に加熱した場合にシール性が低下したり、シール材14から雑ガスが発生してセンサ素子部24(検知部24a)のガス検知に影響を与えることを抑制できる。
特に、図3に示すように変換部14が多孔質状の場合、変換部14の外面が平坦でなく突没し、段差Dを形成することがあるが、シール材14aが柔軟なため、この段差Dに容易に追随して変形し、セラミック配線基板50と変換部14との間、及び、ケーシング12と変換部14との間を確実にシールすることができる。
ここで、シール材14aに対して上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該シール材14a単体の上下流における差圧(単位:Pa)が、変換部14の上流から下流に向けて上記一定流量の空気を流したときの変換部14単体の上下流における差圧(単位:Pa)に対して大きいことが必要である。
これにより、被測定ガスGは、シール材14aに比べて差圧(圧損)が小さい変換部14を優先的に透過し、第1ガス成分が第2ガス成分に確実に変換される。
これにより、被測定ガスGは、シール材14aに比べて差圧(圧損)が小さい変換部14を優先的に透過し、第1ガス成分が第2ガス成分に確実に変換される。
上記した差圧(圧損)は図4に示すようにして測定することができる。図4は、シール材14a単体の差圧を測定する方法を示した模式図である。なお、この測定方法では、実際のケーシング(ケーシング12、セラミック配線基板50)内で隣接するシール材14aと変換部14に実際に流れるガス流を再現すべく、シール材14aと変換部14のうち、一方を同一寸法で中実(ガス不透過性)の金属材に代えて、差圧(圧損)を測定している。
まず、シール材14a単体の差圧を測定する場合、変換部14に代えて変換部14と同一寸法で中実(ガス不透過性)の金属材301を準備する。金属体301を所定のガス流通部(流路)300の内側に配置し、ガス流通部(好ましくはケーシング内面と同寸)300の内面と金属体301の外面との間に無機繊維からなるシール材14aを介在させる。
そして、シール材14aの上流側のガス流通管300から下流に向けて一定流量(例えば、200sccm)に設定した空気を流し、差圧計302により、上流側の圧力P1と下流側の圧力P1との差圧ΔP=P1−P2(単位:Pa)を測定し、シール材14aの差圧とする。
まず、シール材14a単体の差圧を測定する場合、変換部14に代えて変換部14と同一寸法で中実(ガス不透過性)の金属材301を準備する。金属体301を所定のガス流通部(流路)300の内側に配置し、ガス流通部(好ましくはケーシング内面と同寸)300の内面と金属体301の外面との間に無機繊維からなるシール材14aを介在させる。
そして、シール材14aの上流側のガス流通管300から下流に向けて一定流量(例えば、200sccm)に設定した空気を流し、差圧計302により、上流側の圧力P1と下流側の圧力P1との差圧ΔP=P1−P2(単位:Pa)を測定し、シール材14aの差圧とする。
差圧計302は例えば、ダイヤフラム式の圧力センサであり、背圧側が配管301aにより上流側に連通し、圧力測定側が配管301bにより下流側に連通することで、上下流の圧力差(差圧)を測定する。
なお、変換部14単体の差圧を測定する場合、シール材14aに代えてシール材14aと同一寸法で中実(ガス不透過性)のラバー材をガス流通管300の内面と変換部14の外面との間に介在させるか、もしくは接着剤で変換部14とガス流通部300との隙間を埋めて、上記と同様にして一定流量に設定した空気を流し、差圧計302を用いて差圧ΔP(単位:Pa)を測定する。
なお、変換部14単体の差圧を測定する場合、シール材14aに代えてシール材14aと同一寸法で中実(ガス不透過性)のラバー材をガス流通管300の内面と変換部14の外面との間に介在させるか、もしくは接着剤で変換部14とガス流通部300との隙間を埋めて、上記と同様にして一定流量に設定した空気を流し、差圧計302を用いて差圧ΔP(単位:Pa)を測定する。
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
シール材は金属繊維を除く無機繊維の集合体(成形体)であれば、不織布や織物である必要はない。また、無機繊維として、上記実施形態で用いたアルミナ繊維やシリカ繊維に代表されるセラミック繊維以外に、ガラス繊維等を用いることもできる。
また、上記実施形態では、ケーシング12、パッキン23、セラミック配線基板50、パッキン13、第2ケーシング22の各部材を接着剤を用いて固着するようにしたが、接着剤を用いずに、ケーシング12及び第2ケーシング22の外側から他部材を用いてセラミック配線基板50に向かう力(付勢力)を付与し、各部材が位置ずれしないよう固定してガスセンサ1を構成するようにしてもよい。
ガスセンサ、及びそれを構成する調整ユニット、検知部およびヒータの形状等は上記実施形態に限定されない。変換部、シール材及び検知部の種類、ヒータの個数等も限定されない。
又、変換部はガス透過性であればよく、多孔質状の他、セラミック基体の一定方向に貫通するスリットを多数設けた形態、メッシュ、ハニカム構造等を用いてもよい。
シール材は金属繊維を除く無機繊維の集合体(成形体)であれば、不織布や織物である必要はない。また、無機繊維として、上記実施形態で用いたアルミナ繊維やシリカ繊維に代表されるセラミック繊維以外に、ガラス繊維等を用いることもできる。
また、上記実施形態では、ケーシング12、パッキン23、セラミック配線基板50、パッキン13、第2ケーシング22の各部材を接着剤を用いて固着するようにしたが、接着剤を用いずに、ケーシング12及び第2ケーシング22の外側から他部材を用いてセラミック配線基板50に向かう力(付勢力)を付与し、各部材が位置ずれしないよう固定してガスセンサ1を構成するようにしてもよい。
ガスセンサ、及びそれを構成する調整ユニット、検知部およびヒータの形状等は上記実施形態に限定されない。変換部、シール材及び検知部の種類、ヒータの個数等も限定されない。
又、変換部はガス透過性であればよく、多孔質状の他、セラミック基体の一定方向に貫通するスリットを多数設けた形態、メッシュ、ハニカム構造等を用いてもよい。
1 ガスセンサ
10 調整ユニット
12 ケーシング
50 セラミック配線基板
14 変換部
14a シール材
24 センサ素子部
24a 検知部
24b ヒータ
G 被測定ガス
10 調整ユニット
12 ケーシング
50 セラミック配線基板
14 変換部
14a シール材
24 センサ素子部
24a 検知部
24b ヒータ
G 被測定ガス
Claims (2)
- 自身の内部に被測定ガスを導入可能なケーシング、及び、前記ケーシング内に収容され、該被測定ガスに含まれる第1ガス成分を第2ガス成分に変換するガス透過性の変換部を有する調整ユニットと、
前記変換部を通過した前記被測定ガスに含まれる前記第2ガス成分を検出する検知部と、
前記変換部、及び、前記検知部を加熱するための1つ以上のヒータと、
を備えたガスセンサであって、
前記ケーシングの内面と前記変換部の外面との間に、金属繊維を除く無機繊維からなるシール材が介在され、
前記シール材に対して上流から下流に向けて一定流量の空気を流したときの当該シール材単体の上下流における差圧(単位:Pa)が、前記変換部の上流から下流に向けて前記一定流量の空気を流したときの当該変換部単体の上下流における差圧(単位:Pa)に対して大きいガスセンサ。 - 前記変換部が多孔質状をなす請求項1に記載のガスセンサ。
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