JP2018081967A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】樹脂バリによる不具合の発生を抑制することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】一面21、一面21と反対側の他面22、および、一面21と他面22とを連結する側面23を有するリード2と、樹脂によってリード2と一体化された封止体と、樹脂の一部で構成されており、封止体に接続されるとともにリード2に付着した樹脂バリ4と、を備え、一面21と側面23との間の角部24に、リード2と樹脂バリ4との密着性を高めて樹脂バリ4がリード2から剥落することを防止する剥落防止部25が形成されている。
【選択図】図2
【解決手段】一面21、一面21と反対側の他面22、および、一面21と他面22とを連結する側面23を有するリード2と、樹脂によってリード2と一体化された封止体と、樹脂の一部で構成されており、封止体に接続されるとともにリード2に付着した樹脂バリ4と、を備え、一面21と側面23との間の角部24に、リード2と樹脂バリ4との密着性を高めて樹脂バリ4がリード2から剥落することを防止する剥落防止部25が形成されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関するものである。
半導体装置の製造では、半導体チップおよびダイパッド等を樹脂封止する工程の後に、封止体すなわちパッケージとリードとをダイによって支持し、リードを連結するタイバーをカットパンチによるせん断加工で切断するタイバーカット工程が行われる。
タイバーカット工程では、カットパンチが封止体に接触することを避けるために、封止体から少し離れた場所が切断される。封止体と、隣り合う2つのリードと、タイバーとで囲まれる領域には、樹脂封止の際に金型の間から流出した樹脂による樹脂バリが発生しており、樹脂バリの一部はタイバーカットにより除去され、残りの部分は封止体に接続されるとともにリードに付着して残留する。
残留樹脂バリは、せん断時の衝撃でクラックが発生し、欠けが発生しやすい状態となっている。特に、リードは金属で構成されているため、残留樹脂バリとリードとの界面では接着性が低く、残留樹脂バリとリードとの間で剥離が発生し、あるいは欠けが発生しやすくなる。
そのため、後工程のハンドリングや搬送等で加わる振動や衝撃により、残留樹脂バリがリードから容易に脱落するようになる。樹脂バリが脱落して、次製品のリードフレームやパッケージに付着すると、切断金型等でリードフレームをクランプした際、付着した樹脂の介在によって段差が生じ、リードの付け根のパッケージ部分に大きな力が作用してパッケージにクラックや欠け等を発生させる場合がある。
これについて、特許文献1では、タイバーカットの際に樹脂バリが残留することを抑制するための方法が提案されている。具体的には、ダイと樹脂バリとを互いに離された状態として、カットパンチでリード間の樹脂バリを叩いて切断する。すると、リードの側面に付着している樹脂バリはダイにより支持されていないため、リード側面との界面で剥離するようになる。
しかしながら、樹脂バリは封止体と一体になっているため、リード側面からは剥離しても、封止体と接続されて残留する可能性がある。そして、これにより、後工程で樹脂バリが脱落しやすくなる可能性があり、異物噛み込み等の不具合が生じるおそれがある。
本発明は上記点に鑑みて、樹脂バリによる不具合の発生を抑制することができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、一面(21)、一面と反対側の他面(22)、および、一面と他面とを連結する側面(23)を有するリード(2)と、樹脂によってリードと一体化された封止体(1)と、樹脂の一部で構成されており、封止体に接続されるとともにリードに付着した樹脂バリ(4)と、を備え、一面と側面との間の角部(24)に、リードと樹脂バリとの密着性を高めて樹脂バリがリードから剥落することを防止する剥落防止部(25)が形成されている。
これによれば、リードと樹脂バリとの密着性を高めて樹脂バリがリードから剥落することを防止する剥落防止部が形成されているため、樹脂バリの剥落による不具合の発生を抑制することができる。
また、請求項6に記載の発明では、一面(21)、一面と反対側の他面(22)、および、一面と他面とを連結する側面(23)を有するリードフレーム(6)を形成することと、樹脂によってリードフレームと一体化された封止体(1)を形成することと、リードフレームのうちリード(2)を連結するタイバー(3)を、封止体を形成することによりリードフレームに付着する樹脂バリ(4)の一部と共に除去することと、を含み、封止体を形成することの前に、リードフレームのうち封止体の外側の部分において、一面と側面との間の角部(24)に、樹脂バリとリードフレームとの密着性を高めて樹脂バリがリードフレームから剥落することを防止する剥落防止部(25)を形成することを備える。
これによれば、樹脂バリとリードフレームとの密着性を高めて樹脂バリがリードフレームから剥落することを防止する剥落防止部が形成されるため、樹脂バリの剥落による不具合の発生を抑制することができる。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
第1実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置は、樹脂封止型の半導体装置であって、図1に示すように、封止体1と、リード2と、タイバー3と、樹脂バリ4と、を備える。
第1実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置は、樹脂封止型の半導体装置であって、図1に示すように、封止体1と、リード2と、タイバー3と、樹脂バリ4と、を備える。
封止体1は、内部に半導体チップおよびダイパッド等を含む樹脂封止体である。封止体1は、一般的なエポキシ樹脂等で構成されるものであり、金型を用いたトランスファーモールド法等によって成形される。
半導体装置は、複数のリード2を備えており、封止体1は、樹脂によって複数のリード2と一体化されている。リード2は、封止体1に含まれる半導体チップを外部の回路に接続するためのものであり、封止体1の内側から外側へ延設されている。
リード2は、後述するリードフレーム6の一部であり、図2に示すように、一面21、一面21と反対側の他面22、および、一面21と他面22とを連結する側面23を有している。側面23には樹脂バリ4が付着しており、一面21と側面23との間の角部24には、リード2と樹脂バリ4との密着性を高めて樹脂バリ4がリード2から剥落することを防止する剥落防止部25が形成されている。
本実施形態では、角部24の表面は、一面21および側面23に対して傾斜している曲面状の傾斜面26とされており、傾斜面26には、微細な凹凸が形成されている。剥落防止部25は、凹凸が形成された傾斜面26により構成されている。このように、傾斜面26に凹凸を形成することにより、リード2と樹脂バリ4との接触面積の増加と、凹凸に樹脂バリ4が入り込むことによるアンカー効果とによって、傾斜面26に凹凸が形成されていない場合に比べてリード2と樹脂バリ4との密着性が向上する。
後述するように、リードフレーム6は金属板5をプレス加工して形成される。このプレス加工の際に生じる加工ダレによって、傾斜面26が形成される。本実施形態では、傾斜面26は、側面23の法線方向の長さが0.2mm以下とされており、一面21の法線方向の長さが0.1mm以下とされている。なお、このプレス加工によって、他面22には、他面22から一面21とは反対側に突出する加工バリである突起部27が形成される。
後述するように、リード2およびタイバー3は、タイバーカットが行われる間はリードフレーム6の一部として一体化されており、隣り合う2つのリード2はタイバー3によって連結されている。そして、タイバーカットによってタイバー3の一部は除去され、他の部分はリード2に接続された状態で残される。
図1に示すように、封止体1と、隣り合う2つのリード2と、タイバー3とで囲まれる領域には、樹脂バリ4が形成されている。樹脂バリ4は、封止体1の形成に用いられる樹脂の一部で構成されており、封止体1に接続されるとともにリード2およびタイバー3に付着している。リード2においては、樹脂バリ4は、側面23、角部24の表面、突起部27の表面に付着している。
このような半導体装置は、図3〜図5に示す工程によって製造される。図3(a)に示す工程では、基材の表面に金属薄膜が形成された構成の金属板5を用意する。金属板5の基材は、例えばCu、Fe、Al、Ni、鉄系合金等で構成され、金属薄膜は、例えばNi、Au、Ag等で構成される。
図3(b)に示す工程では、金属板5をプレス加工することにより、リード2およびタイバー3を有するリードフレーム6を形成する。本実施形態では、リード2の一面21と側面23との間の角部24に曲面状の傾斜面26が形成されるようにプレス加工を行う。これにより、他面22の先端に一面21とは反対側に突出する加工バリである突起部27が形成される。
図3(c)に示す工程では、角部24の表面である傾斜面26に微細な凹凸を形成し、これにより剥落防止部25を形成する。本実施形態では、リードフレーム6に一面21側からパルスレーザを照射する。具体的には、レーザ光の光源を周期的に点滅させながら、レーザ光の照射点が一面21上および傾斜面26上を移動するように光源もしくはリードフレーム6を移動させる。すると、レーザにより削られた部分と、レーザの照射によって生じた金属酸化物、もしくは、金属板5の基材の材料と金属薄膜の材料との合金が積もった部分とによって、一面21および傾斜面26に凹凸が形成される。
図3(c)に示す工程の後、リードフレーム6に図示しない半導体チップを搭載し、金型を用いたトランスファーモールド法等によって半導体チップを樹脂封止し、リードフレーム6と一体化された封止体1を形成する。
このとき、金型から流出した樹脂によって、図4(a)、図5に示すように、封止体1、リード2、タイバー3で囲まれる領域に樹脂バリ4が形成される。樹脂バリ4は、側面23、および、凹凸が形成された傾斜面26に付着する。また、樹脂バリ4は、突起部27を覆って他面22の端部にも付着する。
図4(b)に示す工程では、タイバー3の一部が一面21から他面22に向かって打ち抜かれるように、リードフレーム6をせん断加工する。具体的には、リードフレーム6、樹脂バリ4をダイ7によって支持し、リードフレーム6のうち一面21側にカットパンチ8を当ててせん断加工を行う。なお、図4(b)では図示していないが、封止体1もダイ7によって支持されている。これにより、タイバー3の一部が除去され、隣り合う2つのリード2が分離する。このとき、タイバー3と共に樹脂バリ4の一部も除去される。
樹脂バリ4の残りの部分は、封止体1に接続されるとともに、図4(c)に示すようにリード2に付着した状態となる。本実施形態では、剥落防止部25が形成されて樹脂バリ4とリードフレーム6との密着性が高くなっており、また、一面21と他面22のうち剥落防止部25が形成された側からカットパンチ8が入る。これにより、封止体1と隣り合う2つのリード2とで囲まれた領域に残された樹脂バリ4の剥落が抑制される。
タイバーカットの後、半導体チップが搭載された図示しないアイランドとリード2とを分離するリードカット工程が行われる。以上のようにして半導体装置が製造される。
以上説明したように、本実施形態では、剥落防止部25を形成することにより、タイバーカット後に残る樹脂バリ4の剥落が抑制される。したがって、樹脂バリ4の剥落による不具合の発生を抑制することができる。
(第2実施形態)
第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1実施形態に対して剥落防止部25の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1実施形態に対して剥落防止部25の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
図6に示すように、本実施形態では、角部24に一面21および側面23に対して傾斜している平面状の傾斜面28が形成されており、剥落防止部25は、傾斜面28により構成されている。傾斜面28の面積は、加工ダレによって形成される傾斜面の面積よりも大きくされている。このような傾斜面28は、第1実施形態と同様に図3(a)、(b)に示す工程を行った後、封止体1を形成する前に、角部24の研削等を行うことによって形成される。
本実施形態では、傾斜面28の面積を大きくすることにより、リード2と樹脂バリ4との接触面積が増加し、樹脂バリ4の剥落が抑制される。なお、本実施形態では、一面21および傾斜面28に凹凸が形成されていないが、第1実施形態と同様に傾斜面28に凹凸を形成してもよい。これにより、リード2と樹脂バリ4との密着性がさらに向上する。
(第3実施形態)
第3実施形態について説明する。第3実施形態は、第1実施形態に対して剥落防止部25の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
第3実施形態について説明する。第3実施形態は、第1実施形態に対して剥落防止部25の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本実施形態では、図7に示すように、角部24の先端に一面21から他面22とは反対側に向かって突出した突起部29が形成されている。本実施形態では、剥落防止部25は突起部29により構成されている。そして、他面22と側面23との間の角部の表面が、他面22および側面23に対して傾斜している曲面状の傾斜面とされている。
すなわち、本実施形態では、図8(a)に示すように、リードフレーム6を形成する際に、他面22と側面23との間の角部に加工ダレが発生し、角部24に加工バリである突起部29が形成されるように金属板5がプレス加工される。
そして、図8(b)に示すように、リードフレーム6、樹脂バリ4をダイ7で支持し、リードフレーム6のうち突起部29が形成された一面21側にカットパンチ8を当てて、タイバー3が一面21から他面22に向かって打ち抜かれるようにせん断加工を行う。
このように、突起部29が形成された側にカットパンチ8を当ててせん断加工を行う本実施形態では、突起部29と樹脂バリ4との密着によって樹脂バリ4の剥落が抑制される。
なお、本実施形態では、一面21、および、突起部29の表面に凹凸が形成されていないが、第1実施形態と同様に突起部29の表面に凹凸を形成してもよい。これにより、リード2と樹脂バリ4との密着性がさらに向上する。
(他の実施形態)
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
例えば、上記第1実施形態では、レーザ加工によって角部24に凹凸を形成したが、角部24をエッチングすることにより凹凸を形成してもよく、角部24をブラスト処理することにより凹凸を形成してもよく、角部24を粗化めっき処理することにより凹凸を形成してもよい。
また、リード2のうち封止体1の外側に位置する部分のみにおいて角部24に凹凸を形成してもよい。また、リード2のうち樹脂バリ4が付着する領域の一部にのみ凹凸を形成してもよい。また、上記第1実施形態では、一面21および傾斜面26に凹凸を形成したが、傾斜面26にのみ凹凸を形成してもよい。
1 封止体
2 リード
25 剥落防止部
3 タイバー
4 樹脂バリ
6 リードフレーム
2 リード
25 剥落防止部
3 タイバー
4 樹脂バリ
6 リードフレーム
Claims (14)
- 一面(21)、前記一面と反対側の他面(22)、および、前記一面と前記他面とを連結する側面(23)を有するリード(2)と、
樹脂によって前記リードと一体化された封止体(1)と、
前記樹脂の一部で構成されており、前記封止体に接続されるとともに前記リードに付着した樹脂バリ(4)と、を備え、
前記一面と前記側面との間の角部(24)に、前記リードと前記樹脂バリとの密着性を高めて前記樹脂バリが前記リードから剥落することを防止する剥落防止部(25)が形成されている半導体装置。 - 前記剥落防止部は、前記一面および前記側面に対して傾斜するとともに凹凸が形成された曲面状の傾斜面(26)により構成されている請求項1に記載の半導体装置。
- 前記剥落防止部は、前記一面および前記側面に対して傾斜している平面状の傾斜面(28)により構成されている請求項1に記載の半導体装置。
- 前記剥落防止部は、前記一面から前記他面とは反対側に向かって突出した突起部(29)により構成されている請求項1に記載の半導体装置。
- 前記剥落防止部の表面には、凹凸が形成されている請求項3または4に記載の半導体装置。
- 一面(21)、前記一面と反対側の他面(22)、および、前記一面と前記他面とを連結する側面(23)を有するリードフレーム(6)を形成することと、
樹脂によって前記リードフレームと一体化された封止体(1)を形成することと、
前記リードフレームのうちリード(2)を連結するタイバー(3)を、前記封止体を形成することにより前記リードフレームに付着する樹脂バリ(4)の一部と共に除去することと、を含み、
前記封止体を形成することの前に、前記リードフレームのうち前記封止体の外側の部分において、前記一面と前記側面との間の角部(24)に、前記樹脂バリと前記リードフレームとの密着性を高めて前記樹脂バリが前記リードフレームから剥落することを防止する剥落防止部(25)を形成することを備える半導体装置の製造方法。 - 前記剥落防止部を形成することの一部は、前記リードフレームを形成することと同時に行われ、
前記リードフレームを形成することでは、金属板(5)をプレス加工することにより前記リードフレームを形成し、
前記剥落防止部を形成することは、前記角部の表面に凹凸を形成することを含む請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記剥落防止部を形成することは、前記一面および前記側面に対して傾斜している平面状の傾斜面(28)を形成することを含む請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記剥落防止部を形成することの一部は、前記リードフレームを形成することと同時に行われ、
前記リードフレームを形成することでは、金属板(5)をプレス加工することにより前記角部に前記一面から前記他面とは反対側に向かって突出した突起部(29)が形成されるように前記リードフレームを形成し、
前記除去することでは、前記タイバーが前記一面から前記他面に向かって打ち抜かれるようにカットパンチ(8)を前記一面に当てて前記リードフレームをせん断加工する請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記剥落防止部を形成することは、前記角部の表面に凹凸を形成することを含む請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹凸を形成することでは、前記角部にレーザを照射する請求項7または10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹凸を形成することでは、前記角部をエッチングする請求項7または10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹凸を形成することでは、前記角部をブラスト処理する請求項7または10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹凸を形成することでは、前記角部を粗化めっき処理する請求項7または10に記載の半導体装置の製造方法。
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