JP2018073949A - 金属配線層形成方法、金属配線層形成装置および記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
2a 基板本体
2b TEOS層
5 触媒
6 シード層
7 金属配線層
10 金属配線層形成装置
11 前洗浄部
12 密着層形成部
13 触媒付与部
14 第1焼きしめ部
15 シード層形成部
16 第2焼きしめ部
17 金属配線層形成部
20 制御装置
21 記憶媒体
Claims (9)
- 基板に対して金属配線層を形成する金属配線層形成方法において、
基板を準備する工程と、
前記基板に対してCoを主成分とするシード層を形成する工程と、
前記シード層上にWを主成分とする金属配線層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする金属配線層形成方法。 - シード層はめっき処理を施すことにより得られることを特徴とする請求項1記載の金属配線層形成方法。
- シード層を形成する工程の前に、基板上に触媒を付与する工程を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の金属配線層形成方法。
- 金属配線層はCVDにより得られることを特徴とする請求項1記載の金属配線層形成方法。
- 基板と、
前記基板上に形成されたCoを主成分とするシード層と、
前記シード層上に形成されたWを主成分とする金属配線層と、を備えたことを特徴とする金属配線層積層体。 - 基板に対して金属配線層を形成する金属配線層形成装置において、
前記基板に対してCoを主成分とするシード層を形成するシード層形成部と、
前記シード層上にWを主成分とする金属配線層を形成する金属配線層形成部とを備えたことを特徴とする金属配線層形成装置。 - シード層はめっき処理を施すことにより得られ、
基板上に触媒を付与する触媒付与部を更に備えたことを特徴とする請求項6記載の金属配線層形成装置。 - 前記金属配線層形成部はCVDにより前記金属配線層を形成することを特徴とする請求項6記載の金属配線層形成装置。
- コンピューターに金属配線層形成方法を実行させるためのコンピュータープログラムを格納した記憶媒体において、
前記金属配線層形成方法は、
基板に対して金属配線層を形成する金属配線層形成方法であって、
基板を準備する工程と、
前記基板に対してCoを主成分とするシード層を形成する工程と、
前記シード層上にWを主成分とする金属配線層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする記憶媒体。
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JP2016210886A JP2018073949A (ja) | 2016-10-27 | 2016-10-27 | 金属配線層形成方法、金属配線層形成装置および記憶媒体 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240019319A (ko) | 2021-06-18 | 2024-02-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 금속 함유 막 및 금속 함유 막의 제조 방법 |
Citations (4)
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JP2005536628A (ja) * | 2002-04-03 | 2005-12-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 無電解堆積法 |
JP2012009788A (ja) * | 2010-06-28 | 2012-01-12 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法及び処理システム |
JP2012501543A (ja) * | 2008-08-29 | 2012-01-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 障壁表面上のコバルト堆積 |
JP2015079885A (ja) * | 2013-10-17 | 2015-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 金属配線層形成方法、金属配線層形成装置および記憶媒体 |
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2016
- 2016-10-27 JP JP2016210886A patent/JP2018073949A/ja active Pending
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