JP2018071002A - 蒸着マスク - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、蒸着マスクに関するものである。
【解決手段】本発明の蒸着マスクは、フレーム、メインフィルムを備え、フレームには第一開口が貫設されており、メインフィルムは第一開口上をカバーし、メインフィルム上には複数の第二開口が設けられており、メインフィルムはプラスチックフィルムを備え、各第二開口はプラスチックフィルムを貫通し、第一開口と各第二開口は連通しており、蒸着マスクはさらに支持フレームを備え、支持フレームはフレーム上に固定され且つ第一開口を越え、フレームと支持フレームは共同でメインフィルムを支持する。本発明の蒸着マスクは、プラスチック材質を採用し、且つ支持フレームを介してさらに蒸着マスクを支持し、蒸着マスクが下垂する問題を改善し、シャドウ効果の影響を減少できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、蒸着マスクに関するものである。

現在の有機ＥＬディスプレイパネルは、基板上の蒸着有機発光材料により、蒸着有機発光材料を基板上に形成する。有機ＥＬディスプレイパネルの技術の発展に伴い、有機ＥＬディスプレイ装置のサイズも大きくなっており、蒸着マスクのサイズも大きくなっている。しかし、蒸着マスクのサイズが大きくなると、重力の作用により重さが加わるため蒸着マスクが下垂する問題が起こり、蒸着マスクの蒸着の過程において位置不良が発生して、生産効率に影響を与える。

蒸着マスクは通常金属の材質を選択する。蒸着の際はマグネットにより基板と蒸着マスクを緊密に接合し、蒸着マスク上の蒸着パターンは、一般的にはエッチングの方法により加工される。しかしながら、金属の材質上に精細なレベルのパターンを加工することは比較的そのコントロールが難しい。故に、蒸着の精度に影響を与える。蒸着マスクがプラスチックの材質を採用した場合、パターンを精細に加工する要求を満たすことができるが、プラスチックの材質は磁気を有しておらず、マグネットにより基板と蒸着マスクを緊密に貼り合わせることはできず、蒸着の過程においてプラスチックの蒸着マスクと基板との間には間隙が存在する。さらには、基板上の蒸着形成の有機発光材料パターンの実際のサイズが予め設定されたサイズ（ｓｈａｄｏｗ ｅｆｆｅｃｔ,シャドウ効果）より大きいため、蒸発の質に影響を与える。

以上の問題点に鑑みて、本発明は、シャドウ効果を改善できる蒸着マスクを提供することを目的とする。

本発明の蒸着マスクは、フレーム、メインフィルムを備え、フレームには第一開口が貫設され、メインフィルムは第一開口上をカバーし、メインフィルム上には、複数の第二開口が設けられており、メインフィルムはプラスチックフィルムを備え、各第二開口はプラスチックフィルムを貫通し、第一開口と各第二開口とは連通し、蒸着マスクはさらに支持フレームを備え、支持フレームはフレーム上に固定され、且つ第一開口を越え、フレームと支持フレームは共同でメインフィルムを支持する。

好ましくは、メインフィルムはさらにプラスチックフィルムと積層して設置された金属フィルムを備え、各第二開口は金属フィルムを貫通する。

好ましくは、各第二開口はさらにプラスチックフィルムを貫通した第一サブ開口及び金属フィルムを貫通した第二サブ開口を備え、第二サブ開口と第一サブ開口とは連通し、第二サブ開口の内径は、第一サブ開口の内径より大きい。

好ましくは、プラスチックフィルムは中央エリア及び周辺エリアを備え、複数の第二開口は対応する中央エリアに設置され、金属フィルムはプラスチックフィルムの周辺エリアをカバーする。

好ましくは、フレームと支持フレームは、メインフィルムの同一側に位置する。

好ましくは、フレームと支持フレームは何れもメインフィルムが金属フィルムを有する一側に位置する。

好ましくは、支持フレームは縦方向に延伸する少なくとも一つの第一支持フレーム及び横方向に延伸する少なくとも一つの第二支持フレーム中の少なくとも一種を備える。

好ましくは、各第一支持フレームは相対する両端を有し、各第一支持フレームの両端はフレーム上に固定され、各第二支持フレームは相対する両端を有し、各第二支持フレームの両端はフレーム上に固定される。

好ましくは、メインフィルムは非連続の層であり、且つ少なくとも二つの間隔を開けて設置されたサブフィルムを含む。

好ましくは、第一支持フレームと第二支持フレーム中の少なくとも一つは支持部及び支持部により延伸して形成された延伸部を備え、支持部は隣り合う二つのサブフィルムを支持し、延伸部は隣り合う二つのサブフィルム間に位置する。

従来の技術と比較して、本発明の蒸着マスクは、プラスチック材質を採用し、且つ支持フレームを介してさらに蒸着マスクを支持して、蒸着マスクが下垂する問題を改善し、シャドウ効果の影響を減少させる。

本発明の第一実施例に係る蒸着マスクの平面図である。 図１に示す蒸着マスクのＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 本発明の第一実施例のメインフィルムの断面図である。 本発明の第一実施例の変更実施例のメインフィルムの断面図である。 本発明の第一実施例の蒸着マスクと基板の断面図である。 本発明の第二実施例の蒸着マスクの平面図である。 本発明の第三実施例の蒸着マスクの平面図である。 本発明の第四実施例の蒸着マスクの平面図である。 本発明の第五実施例の蒸着マスクの平面図である。 本発明の第六実施例の蒸着マスクの平面図である。 本発明の第七実施例の蒸着マスクの平面図である。 本発明の第八実施例の蒸着マスクの平面図である。 図８に示す蒸着マスクのＸＩＩＩ−ＸＩＩＩに沿った断面図である。

以下具体的な実施方法を図面と合わせて本発明を説明する。

図１、図２及び図５に示すように、図１は本発明の第一実施例の蒸着マスク１００の平面図であり、図２は図１に示す蒸着マスクのＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、図５は、本発明の第一実施例の蒸着マスク１００と基板１４の断面図である。本発明の第一実施例は蒸着マスク１００を提供し、基板１４上に有機発光材料層を形成するのに用いられる。具体的には、蒸着マスク１００は、ディスプレイパネル（例えば、携帯電話のディスプレイパネル又はパソコンのディスプレイパネル等）（図示せず）の基板１４上に、有機発光材料層を形成するのに用いることができる。

図１及び図２を参照すると、蒸着マスク１００は、メインフィルム１１、支持フレーム１２及びフレーム１３を備え、メインフィルム１１が磁気を有するかどうかに基づき、基板１４上方に選択的にマグネットを設置してメインフィルム１１を吸着する（図示せず）。フレーム１３は、第一開口１０１を有する。本実施例において、この第一開口１０１は矩形を呈するが、これに限定されない。その他の実施例において、第一開口１０１は円形、菱形等のその他の形状を呈する。メインフィルム１１は、第一開口１０１上をカバーする。即ち、フレーム１３は、メインフィルム１１の周縁に固定設置される。フレーム１３及び支持フレーム１２は、メインフィルム１１の同一側に位置する。本実施例中の支持フレーム１２は、Ｘ方向（横方向）に沿って延伸する第一支持フレーム１２１及びＹ方向（縦方向）に沿って延伸する第二支持フレーム１２２を備える。各第一支持フレーム１２１は相対する両端を有し、各第一支持フレーム１２１の両端は、フレーム１３上に固定されて、且つ第一開口１０１を越える。各第二支持フレーム１２２は相対する両端を備え、各第二支持フレーム１２２の両端はフレーム１３上に固定され、且つ第一開口１０１を越える。第一支持フレーム１２１及び第二支持フレーム１２２は互いに交差して共同でメインフィルム１１を支持する。

図１、図２及び図３に示すように、図３は、本発明の第一実施例のメインフィルム１１の断面図である。メインフィルム１１には、蒸着に必要な複数の第二開口１０２が設けられている。メインフィルム１１は、中央エリア１１１１及び中央エリア１１１１を取り囲んだ周辺エリア１１１２を備え、複数の第二開口１０２は中央エリア１１１１に対応して設置されている。本実施例において、複数の第二開口１０２は、マトリクス配列を呈する。

本実施例において、メインフィルム１１は積層設置されたプラスチックフィルム１１１及び金属フィルム１１２を有する。フレーム１３及び支持フレーム１２は金属フィルム１１２の同一表面に位置する。各第二開口１０２は、プラスチックフィルム１１１及び金属フィルム１１２を貫通する。図２に示すように、各第二開口１０２と第一開口１０１とは連通している。第二開口１０２は、プラスチックフィルム１１１を貫通する第一サブ開口１０２１と金属フィルム１１２を貫通する第二サブ開口１０２２を備え、第一サブ開口１０２１と第二サブ開口１０２２は互いに連通している。第二サブ開口１０２２の内径は、第一サブ開口１０２１の内径より大きい。蒸着材料が通過する第二開口１０２の第一サブ開口１０２１及び第二サブ開口１０２２は、基板上で高精細のピクセルパターンを蒸着形成する。金属フィルム１１２は磁気を有し、基板１４上方に設置されたマグネット（図示せず）により、メインフィルム１１を基板１４の方向に近づくまで吸着することができる。

支持フレーム１２は、メインフィルム１１上の投影において、複数の第二開口１０２と重なり合わない。本実施例において、図１に示すように、第一支持フレーム１２１の数量は一であり、第二支持フレーム１２２の数量は３である。第一支持フレーム１２１と第二支持フレーム１２２の両端は、溶接の方法によってフレーム１３上に固定されるが、これに制限されない。例えば、フレーム１３上には、複数の支持フレーム１２の両端に対応する凹溝（図示せず）を設置することができ、支持フレーム１２の両端はこの凹溝中に収容される。これにより、支持フレーム１２にフレーム１３を越えさせることができる。

図４を参照すると、図４は、上述のメインフィルム１１の変更実施例である。メインフィルム１１は、プラスチックフィルム１１１及び金属フィルム１１２を備える。金属フィルム１１２は、メインフィルム１１の周辺エリア１１１２のみに設置され、各第二開口１０２はプラスチックフィルム１１１のみを貫通して、第一開口１０１と連通する。蒸着材料は、中央エリア１１１１の第二開口に位置することを介して、基板上に高精細の蒸着パターンを蒸着形成することができる。金属フィルム１１２は磁気を有し、基板１４上方に設置されているマグネットにより、メインフィルム１１を基板１４の方向に近づくまで吸着させることができる。

他の変更実施例において、メインフィルム１１はプラスチックフィルム１１１のみを備えてもよい。各第二開口１０２は、プラスチックフィルム１１１のみを貫通して、第一開口１０１と連通する。蒸着材料は、中央エリア１１１１の第二開口１０２に位置することを介して、基板上に高精細の蒸着パターンを蒸着形成する。

プラスチックフィルム１１１の材質は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリテトラフルオロチレン（ＰＴＦＥ）、シリコン（ＳＩ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルドファイド（ＰＰＳ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）中の一種から選択可能であるが、これに限定されない。好ましくは、プラスチックフィルム１１１の熱膨張値は１．０ｐｐｍ〜１５．０ｐｐｍ／Ｋの間である。また、この好ましくは、プラスチックフィルム１１１の厚さは、３μｍ〜１００μｍの間である。

金属フィルム１１２の材質は、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）及びインバー（Ｉｎｖａｒ）の内の一種を選択できるが、これに制限されない。好ましくは、金属フィルム１１２の厚さは、５μｍ〜５０μｍの間である。

支持フレーム１２の材質はインバー（Ｉｎｖａｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、ステンレス鋼等の内の一種から選択できるがこれに限定されない。フレーム１３の材質も、インバー（Ｉｎｖａｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、ステンレス鋼等の内の一種から選択できるがこれに限定されない。

メインフィルム１１は、フレーム１３と支持フレーム１２の共同での支持の下、その曲げたわみ量は８０μｍより小さくてもよい。この曲げたわみ量は、蒸着の過程において、蒸着マスク１００と基板１４との間で、蒸着マスク１００が変形して生成される距離である。具体的には、蒸着マスク１００と基板１４との間の間隔が減少することにより、蒸着材料は、さらに正確に対応する開口エリアの位置に基板を形成することができ、蒸着パターンＸ方向上の変形を５μｍより小さくし、Ｙ方向上の変形を５μｍより小さくする。メインフィルム１１は金属フィルム１１２を有することを含む場合、基板１４上方のマグネットを設置することにより、メインフィルム１１を基板１４の方向に近づくまで吸着でき、蒸着マスク１００の下垂レベルを減少できる。したがって、蒸着マスク１００は、効果的にシャドウ効果の影響を減少し、蒸着率を向上できる。

以下実施例において、第一実施例と構造及び機能が同じ部品であるため、ここでの説明は省略する。

図６を参照すると、図６は、本発明の第二実施例の蒸着マスク２００の平面図である。蒸着マスク２００は、メインフィルム２１、支持フレーム２２、フレーム２３を含む。支持フレーム２２は、Ｙ軸方向に沿って延伸する複数の第二支持フレーム２２２のみ含む。支持フレーム２２とフレーム２３は共同でメインフィルム２１を支持する。好ましくは、隣り合う二つの第二支持フレーム２２２間の間隔は同じである。

図７を参照すると、図７は、本発明の第三実施例の蒸着マスク３００の平面図である。蒸着マスク３００は、メインフィルム３１、支持フレーム３２、フレーム３３を備える。支持フレーム３２は、Ｘ軸方向に延伸する第一支持フレーム３２１のみを含む。支持フレーム３２とフレーム３３は共同でメインフィルム３１を支持する。好ましくは、隣り合う二つの第一支持フレーム３２１間の間隔は同じである。

上述の実施例のメインフィルム１１、メインフィルム２１、メインフィルム３１は何れも連続した層である。図８及び１３を参照すると、図８は、本発明の第四実施例の蒸着マスク４００の平面図である。図１３は、図８に示す蒸着マスクのＸＩＩＩ−ＸＩＩＩに沿った断面図である。蒸着マスク４００は、メインフィルム４１、支持フレーム４２、フレーム４３を備える。支持フレーム４２はＹ軸方向に沿って延伸する第二支持フレーム４２２のみを備える。メインフィルム４１は、非連続の層であり、且つ間隔を開けて設置された少なくとも２つのサブフィルム４１０を備える。本実施例において、メインフィルム４１は四つのサブフィルム４１０を備える。各第二支持フレーム４２２は、第一支持部４２２２と第一支持部４２２２により延伸して形成された第一延伸部４２２１を有する。第一支持部４２２２は隣り合う二つのサブフィルム４１０を支持し、第一延伸部４２２１は隣り合う二つのサブフィルム４１０間に位置して、隣り合う二つのサブフィルム４１０間隔を開ける。本実施例において、支持部４２２２の幅（メインフィルム４１の厚さＤ方向に垂直に沿線している）は、第一延伸部４２２１の幅（メインフィルム４１の厚さＤ方向に垂直に沿線している）より大きい。

本実施例において、第一延伸部４２２１の厚さとメインフィルム４１の厚さＤは同じであり、この際、第一延伸部４２２１とメインフィルム４１は同一面上に位置する。しかし変更が可能であり、第一延伸部４２２１の厚さはメインフィルム４１の厚さＤより大きくてもよい。この際、第一延伸部４２２１に相対してメインフィルム４１が突出している。第一延伸部４２２１の厚さもメインフィルム４１の厚さＤより小さくてもよい。支持フレーム４２とフレーム４３は共同でメインフィルム４１を支持する。具体的には、各サブフィルム４１０は、その対応する第二支持フレーム４２２の第一支持部４２２２及びフレーム４３により共同支持される。本実施例において、メインフィルム４１はそれぞれ複数のサブフィルム４１０に分けられ、さらには、蒸着マスク４００の変形レベルを減少できる。

図９を参照すると、図９は本発明における第５実施例の蒸着マスク５００の平面図である。蒸着マスク５００は、メインフィルム５１、支持フレーム５２、フレーム５３を備える。支持フレーム５２は、Ｘ軸方向に沿って延伸する第一支持フレーム５２１のみを備える。メインフィルム５１は、非連続の層であり、且つ間隔を開けて設置された少なくとも二つのサブフィルム５１０を含む。本実施例において、メインフィルム５１は四つのサブフィルム５１０を備える。各第一支持フレーム５２１は、第二支持部５２１２及び第二支持部５２１２により延伸して形成された第二延伸部５２１１を含み、第二支持部５２１２は隣り合う二つのサブフィルム５１０を支持し、第二延伸部５２１１は隣り合う二つのサブフィルム５１０間に位置して、隣り合う二つのサブフィルム５１０の間隔を開ける。本実施例において、第二支持部５２１２の幅（メインフィルム５１の厚さＤ方向に垂直している）は、第二延伸部５２１１の幅（メインフィルム５１の厚さＤ方向に垂直する）より大きい。

本実施例において、第二延伸部５２１１の厚さとメインフィルム５１の厚さＤは同じであり、この際、第二延伸部５２１１とメインフィルム５１は同一面上に位置する。しかし
、変更可能であり、第二延伸部５２１１の厚さは、メインフィルム５１の厚さＤより大きくてもよい。この際、第二延伸部５２１１に相対してメインフィルム５１が突出する。第二延伸部５２１１の厚さもメインフィルム５１の厚さＤより小さくてもよい。支持フレーム５２とフレーム５３は共同でメインフィルム５１を支持する。具体的には、各サブフィルム５１０は、その対応する第一支持フレーム５２１の第二支持部５２１２及びフレーム５３により共同支持される。本実施例において、メインフィルム５１は、それぞれ複数のサブフィルム５１０に分けられ、さらには、蒸着マスク５００の変形レベルを減少させる。

図１０を参照すると、図１０は、本発明の第六実施例の蒸着マスク６００の平面図である。蒸着マスク６００は、メインフィルム６１、支持フレーム６２、フレーム６３を備える。支持フレーム６２は、Ｘ軸方向に沿って延伸する第一支持フレーム６２１と、Ｙ軸方向に沿って延伸する第二支持フレーム６２２を備える。メインフィルム６１は、非連続した層であり、且つ間隔を開けて設置された少なくとも二つのサブフィルム６１０を含む。本実施例において、メインフィルム６１は、四つのサブフィルム６１０を備える。各第二支持フレーム６２２は、第一支持部６２２２及び第一支持部６２２２により延伸して形成された第一延伸部６２２１を含む。第一支持部６２２２は、隣り合う二つのサブフィルム６１０を支持し、第一延伸部６２２１は、隣り合う二つのサブフィルム６１０間に位置して、隣り合う二つのサブフィルム６１０の間隔を開ける。本実施例において、第一支持部６２２２の幅（メインフィルム６１の厚さＤ方向に垂直している）は、第一延伸部６２１１の幅（メインフィルム６１の厚さＤ方向に垂直する）より大きい。

本実施例において、第一延伸部６２２１の厚さとメインフィルム６１の厚さＤは同じであり、この際、第一延伸部６２２１とメインフィルム６１は同一面上に位置する。しかし変更可能であり、第一延伸部６２２１の厚さは、メインフィルム６１の厚さＤより大きくてもよい。この際、第一延伸部６２２１に相対してメインフィルム６１が突出する。第一延伸部６２２１の厚さもメインフィルム６１の厚さＤより小さくてもよい。支持フレーム６２とフレーム６３は共同でメインフィルム６１を支持する。具体的には、各サブフィルム６１０は、その対応する第二支持フレーム６２２の第一支持部６２２２、第一支持フレーム６２１及びフレーム６３により共同支持される。本実施例において、メインフィルム６１は、それぞれ複数のサブフィルム６１０に分けられ、さらに、蒸着マスク６００の変形レベルを減少させる。

図１１を参照すると、図１１は、本発明における第七実施例の蒸着マスク７００の平面図である。蒸着マスク７００は、メインフィルム７１、支持フレーム７２、フレーム７３を備える。支持フレーム７２は、Ｘ軸方向に沿って延伸する第一支持フレーム７２１と、Ｙ軸方向に沿って延伸する第二支持フレーム７２２を含む。メインフィルム７１は非連続の層であり、且つ間隔を開けて設置された少なくとも二つのサブフィルム７１０を含む。本実施例において、メインフィルム７１は、二つのサブフィルム７１０を備える。各第一支持フレーム７２１は、第二支持部７２１２及び第二支持部７２１２により延伸して形成された第二延伸部７２１１を含む。第二支持部７２１２は隣り合う二つのサブフィルム７１０を支持し、第二延伸部７２１１は隣り合う二つのサブフィルム７１０間に位置し、隣り合う二つのサブフィルム７１０の間隔を開ける。本実施例において、第二支持部７２１２の幅（メインフィルム７１の厚さＤ方向に垂直している）は、第二延伸部７２１１の幅（メインフィルム７１の厚さＤ方向に垂直する）より大きい。

本実施例において、第二延伸部７２１１の厚さは、メインフィルム７１の厚さＤと同じであり、この際、第二延伸部７２１１とメインフィルム７１は同一面上に位置する。しかし変更可能であり、第二延伸部７２１１の厚さは、メインフィルム７１の厚さＤより大きくてもよい。この際、第二延伸部７２１１に相対してメインフィルム７１が突出する。第二延伸部７２１１の厚さもメインフィルム７１の厚さＤより小さくてもよい。支持フレーム７２とフレーム７３は共同でメインフィルム７１を支持する。具体的には、各サブフィルム７１０は、その対応する第一支持フレーム７２１の第二支持部７２１２、第二支持フレーム７２２及びフレーム７３により共同支持される。本実施例において、メインフィルム７１はそれぞれ複数のサブフィルム７１０に分けられ、さらには、蒸着マスク７００の変形レベルを減少させる。

図１２を参照すると、図１２は、本発明の第八実施例の蒸着マスク８００の平面図である。蒸着マスク８００は、メインフィルム８１、支持フレーム８２、フレーム８３を備える。支持フレーム８２は、Ｘ軸方向に延伸した第一支持フレーム８２１と、Ｙ軸方向に延伸した第二支持フレーム８２２を含む。第一支持フレーム８２１と第二支持フレーム８２２は交差する箇所で重なり合う。メインフィルム８１は、非連続した層であり、且つ間隔を開けて設置された少なくとも二つのサブフィルム８１０を備える。本実施例において、メインフィルム８１は八つのサブフィルム８１０を備える。各第一支持フレーム８２１は、第二支持部８２１２及び第二支持部８２１２により延伸して形成された第二延伸部８２１１を備える。第二支持部８２１２は隣り合う二つのサブフィルム８１０を支持し、第二延伸部８２１１は、隣り合う二つのサブフィルム８１０間に位置して、隣り合う二つのサブフィルム８１０の間隔を開ける。本実施例において、第二支持部８２１２の幅は、（メインフィルム８１の厚さＤ方向に垂直している）は、第二延伸部８２１１の幅（メインフィルム８１の厚さＤ方向に垂直する）より大きい。各第二支持フレーム８２２は、第一支持部８２２２及び第一支持部８２２２により延伸して形成された第一延伸部８２２１を備え、第一支持部８２２２は隣り合う二つのサブフィルム８１０を支持する。第一延伸部８２２１は、隣り合う二つのサブフィルム８１０間に位置し、隣り合う二つのサブフィルム８１０の間隔を開ける。本実施例において、支持部８２２２の幅（メインフィルム８１の厚さＤ方向に垂直している）は、第一延伸部８２２１の幅（メインフィルム８１の厚さＤ方向に垂直する）より大きい。

本実施例において、第二延伸部８２１１の厚さとメインフィルム８１の厚さＤは同じであり、この際、第二延伸部８２１１とメインフィルム８１は同一面上に位置する。しかし変更可能であり、第二延伸部８２１１の厚さは、メインフィルム８１の厚さＤより大きくてもよい。この際、第二延伸部８２１１に相対して、メインフィルム８１が突出している。第二延伸部８２１１の厚さもメインフィルム８１の厚さＤより小さくてもよい。本実施例において、第一延伸部８２２１の厚さとメインフィルム８１の厚さＤは同じであり、この際、第一延伸部８２２１とメインフィルム８１は同一面上に位置する。しかし変更可能であり、第一延伸部８２２１の厚さは、メインフィルム８１の厚さＤより大きく、この際、第一延伸部８２２１に相対してメインフィルム８１が突出している。第一延伸部８２２１の厚さもメインフィルム８１の厚さＤより小さくてもよい。支持フレーム８２とフレーム８３は共同でメインフィルム８１を支持する。具体的には、各サブフィルム８１０はその対応する第一支持フレーム８２１の第二支持部８２１２、第二支持フレーム８２２の第一支持部８２２２及びフレーム８３により共同で支持される。本実施例において、メインフィルム８１は、それぞれ複数のサブフィルム８１０に分けられ、さらには、蒸着マスク８００の変形レベルを減少させる。

以上、実施例は本発明の技術方案のみに用いられ、本発明を限定するものではない。実施形態を参照して、本発明に対して詳細に説明したが、本分野の通常の技術者であれば理解できることであり、本発明の技術方案の精神及び範囲内から逸脱しないかぎり、本発明の技術方案に対して、変更又は同等の置き換えができる。

１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００ 蒸着マスク
１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、８１ メインフィルム
１２、２２、３２ 支持フレーム
１３、２３、３３、５３、６３、７３、８３ フレーム
１４ 基板
１０１ 第一開口
１０２ 第二開口
１１１ プラスチックフィルム
１１２ 金属フィルム
１２１、３２１、５２１、６２１、７２１、８２１ 第一支持フレーム
１２２、２２２、４２２、６２２、７２２、８２２ 第二支持フレーム
４１０、５１０、６１０、７１０、８１０ サブフィルム
１０２１ 第一サブ開口
１０２２ 第二サブ開口
１１１１ 中央エリア
１１１２ 周辺エリア
４２２１、６２２１、８２２１ 第一延伸部
４２２２、６２２２、８２２２ 第一支持部
５２１２、７２１２、８２１２ 第二支持部
５２１１、７２１１、８２１１ 第二延伸部

Claims (10)

1. 蒸着マスクであって、フレーム、メインフィルムを備え、前記フレームは第一開口が貫設されており、前記メインフィルムは前記第一開口上をカバーし、前記メインフィルム上には複数の第二開口が設けられ、前記メインフィルムは、プラスチックフィルムを備え、各前記第二開口は前記プラスチックフィルムを貫通し、前記第一開口と各前記第二開口は連通し、また、前記蒸着マスクはさらに支持フレームを備え、前記支持フレームは前記フレーム上に固定され、且つ前記第一開口を越え、前記フレームと前記支持フレームは共同で前記メインフィルムを支持することを特徴とする蒸着マスク。
2. 前記メインフィルムは前記プラスチックフィルムと積層設置された金属フィルムを含み、各前記第二開口は前記金属フィルムを貫通することを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
3. 各前記第二開口は前記プラスチックフィルムを貫通した第一サブ開口及び前記金属フィルムを貫通した第二サブ開口を備え、前記第二サブ開口と前記第一サブ開口とは連通し、前記第二サブ開口の内径は、前記第一サブ開口の内径より大きいことを特徴とする請求項２に記載の蒸着マスク。
4. 前記プラスチックフィルムは、中央エリア及び周辺エリアを含み、前記複数の第二開口は、対応する前記中央エリアに設置され、前記金属フィルムは前記プラスチックフィルムの周辺エリアをカバーしていることを特徴とする請求項２に記載の蒸着マスク。
5. 前記フレームと前記支持フレームは、前記メインフィルムの同一側に位置することを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着マスク。
6. 前記フレームと前記支持フレームは何れも前記メインフィルムが前記金属フィルムを有する一側に位置することを特徴とする請求項２又は４に記載の蒸着マスク。
7. 前記支持フレームは縦方向に延伸する少なくとも一つの第一支持フレーム及び横方向に延伸する少なくとも一つの第二支持フレーム中の少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
8. 各前記第一支持フレームは、相対する両端を備え、各前記第一支持フレームの両端は前記フレーム上に固定され、各前記第二支持フレームは相対する両端を有し、各前記第二支持フレームの両端は、前記フレーム上に固定されることを特徴とする請求項７に記載の蒸着マスク。
9. 前記メインフィルムは非連続の層であり、且つ少なくとも二つの間隔を開けて設置されたサブフィルムを含むことを特徴とする請求項７に記載の蒸着マスク。
10. 前記第一支持フレーム及び前記第二支持フレーム中の少なくとも一つは、支持部及び前記支持部により延伸して形成された延伸部を備え、前記支持部は隣り合う二つの前記サブフィルムを支持するのに用いられ、前記延伸部は、隣り合う二つの前記サブフィルム間に位置することを特徴とする請求項９に記載の蒸着マスク。