JP2018069290A - Reflow device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent occurrence of a problem such that a flux fume is liquified in a cooling zone of a reflow device and is dropped onto a heated product, whereby quality of the heated product is decreased.SOLUTION: A reflow device has a heating zone including a furnace body which performs soldering of a heated product, and a cooling zone in which the soldered heated product is cooled, and causes the heated product to pass the heating zone and the cooling zone by a transport device. In the reflow device, blowing means for blowing a gas onto the heated product is located at a connection part between the heating zone and the cooling zone, and a gas blowing angle of the blowing means with respect to the a transport direction of the transport device is so made as to be variable.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、リフロー装置に関し、特に、液化したフラックスがプリント回路基板等の被加熱物上に垂れることを防止するようにしたものである。   The present invention relates to a reflow apparatus, and in particular, prevents a liquefied flux from dripping onto a heated object such as a printed circuit board.

電子部品又はプリント回路基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中にプリント回路基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、被加熱物を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。   A reflow apparatus is used in which a solder composition is supplied in advance to an electronic component or a printed circuit board, and the printed circuit board is conveyed in a reflow furnace by a conveyor. The reflow apparatus includes a transport conveyor for transporting an object to be heated and a reflow furnace main body to which the object to be heated is supplied by the transport conveyor. For example, the reflow furnace is divided into a plurality of zones along a transfer path from a carry-in port to a carry-out port, and the plurality of zones are arranged in-line. The plurality of zones have roles such as a heating zone and a cooling zone depending on their functions.

はんだ組成物は、例えば粉末はんだ、フラックスとを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化しリフロー炉内に充満する。気化したフラックスは、フラックスヒュームと称される。   The solder composition includes, for example, powder solder and flux. The flux contains rosin as a component, removes the oxide film on the surface of the metal to be soldered, prevents reoxidation by heating during soldering, reduces the surface tension of the solder and improves wetting It works. This flux is vaporized by heating and fills the reflow furnace. The vaporized flux is called flux fume.

加熱ゾーンから冷却ゾーンに基板が搬送される時に、被加熱物と共にフラックスヒュームが冷却ゾーンに持ち込まれる。フラックスヒュームは、温度の低い部位に付着し易く、冷却ゾーンで冷却されると、冷却パネルに付着する。付着している部位からフラックスが滴下し、被加熱物の上面に付着することもあり、被加熱物の品質(性能)を損なうこととなる。   When the substrate is transported from the heating zone to the cooling zone, flux fume is brought into the cooling zone together with the object to be heated. Flux fume easily adheres to a low temperature part, and adheres to the cooling panel when cooled in the cooling zone. The flux may drop from the adhering portion and adhere to the upper surface of the object to be heated, which impairs the quality (performance) of the object to be heated.

特許第3384584号公報Japanese Patent No. 338484

特許文献1には噴流式はんだ付け装置において、フラックスヒュームがチャンバ内の内壁に付着、堆積して被加熱物に付着することを防止するために、噴流はんだ付けの後に不活性ガス(例えばN2ガス)をチャンバ内に吹き出す吸い込み口と吸い出し口を設ける構成が記載されている。しかしながら、特許文献1は噴流式はんだ付け装置であり、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを備えるリフロー装置において、冷却ゾーンにおけるフラックスヒュームの付着により生じる問題を解決する点には記載乃至示唆されていない。   In Patent Document 1, in a jet-type soldering apparatus, an inert gas (for example, N2 gas) is used after jet soldering in order to prevent flux fumes from adhering to and accumulating on the inner wall of the chamber and adhering to an object to be heated. ) In the chamber is provided. However, Patent Document 1 is a jet-type soldering apparatus, and in a reflow apparatus including a heating zone and a cooling zone, there is no description or suggestion in solving a problem caused by adhesion of flux fume in the cooling zone.

したがって、本発明の目的は、リフロー装置の冷却ゾーンにおけるフラックスヒュームの滴下による被加熱物の品質低下を防止することができるリフロー装置を提供することにある。   Therefore, the objective of this invention is providing the reflow apparatus which can prevent the quality fall of the to-be-heated material by dripping of the flux fume in the cooling zone of a reflow apparatus.

本発明は、被加熱物に対してはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
吹き出し手段の気体の搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされたリフロー装置である。
本発明は、被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーンが第1のパネルの複数の小孔を通じて熱風を被加熱物に吹き付ける構成とされ、冷却ゾーンが第2のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を被加熱物に吹き付ける構成とされ、
搬送装置の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する第2のパネルの角度が可変とされたリフロー装置である。
本発明は、被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーンが第1のパネルの複数の小孔を通じて熱風を被加熱物に吹き付ける構成とされ、冷却ゾーンが第2のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を被加熱物に吹き付ける構成とされ、
搬送装置の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する第1のパネルの角度が可変とされたリフロー装置である。
本発明は、被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって被加熱物を通過させるリフロー装置において、
加熱ゾーンが第1のパネルの複数の小孔を通じて熱風を被加熱物に吹き付ける構成とされ、冷却ゾーンが第2のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を被加熱物に吹き付ける構成とされ、
加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
吹き出し手段の気体の搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされ、
搬送装置の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する第1のパネルの角度が可変とされ、
搬送装置の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する第2のパネルの角度が可変とされたリフロー装置である。
The present invention has a heating zone having a furnace body for soldering an object to be heated, and a cooling zone for cooling the object to be heated that has been soldered, and the heating zone and the cooling zone are heated by a transport device. In a reflow device that passes objects,
At the connecting part between the heating zone and the cooling zone, a blowing means for blowing gas to the object to be heated is arranged,
This is a reflow apparatus in which the blowing angle of the blowing means relative to the conveying direction of the gas conveying apparatus is variable.
The present invention has a heating zone having a furnace body for performing soldering by blowing hot air against an object to be heated, and a cooling zone for cooling the object to be heated that has been soldered. In the reflow device that passes the object to be heated by the transport device,
The heating zone is configured to blow hot air to the object to be heated through the plurality of small holes of the first panel, and the cooling zone is configured to spray the cooling gas to the object to be heated through the plurality of small holes of the second panel.
This is a reflow device in which the angle of the second panel with respect to the plane formed by the transport direction of the transport device and the direction orthogonal to the transport direction is variable.
The present invention has a heating zone having a furnace body for performing soldering by blowing hot air against an object to be heated, and a cooling zone for cooling the object to be heated that has been soldered. In the reflow device that passes the object to be heated by the transport device,
The heating zone is configured to blow hot air to the object to be heated through the plurality of small holes of the first panel, and the cooling zone is configured to spray the cooling gas to the object to be heated through the plurality of small holes of the second panel.
This is a reflow device in which the angle of the first panel with respect to a plane formed by a transport direction of the transport device and a direction orthogonal to the transport direction is variable.
The present invention has a heating zone having a furnace body for performing soldering by blowing hot air against an object to be heated, and a cooling zone for cooling the object to be heated that has been soldered. In the reflow device that passes the object to be heated by the transport device,
The heating zone is configured to blow hot air to the object to be heated through the plurality of small holes of the first panel, and the cooling zone is configured to spray the cooling gas to the object to be heated through the plurality of small holes of the second panel.
At the connecting part between the heating zone and the cooling zone, a blowing means for blowing gas to the object to be heated is arranged,
The blowing angle with respect to the conveying direction of the gas conveying device of the blowing means is variable,
The angle of the first panel with respect to the plane formed by the transport direction of the transport device and the direction orthogonal to the transport direction is variable,
This is a reflow device in which the angle of the second panel with respect to the plane formed by the transport direction of the transport device and the direction orthogonal to the transport direction is variable.

少なくとも一つの実施形態によれば、冷却ゾーンの第2のパネルを通じて吹き出される冷却用気体によってフラックスヒュームが加熱ゾーンから冷却ゾーンに移動することが阻止される。したがって、冷却ゾーンにおいてフラックスヒュームが液化することが抑制される。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本開示の内容が限定して解釈されるものではない。   According to at least one embodiment, the cooling fumes blown through the second panel of the cooling zone prevent flux fumes from moving from the heating zone to the cooling zone. Therefore, liquefaction of flux fumes in the cooling zone is suppressed. Note that the effects described here are not necessarily limited, and may be any effects described in the present disclosure. In addition, the contents of the present disclosure are not construed as being limited by the exemplified effects in the following description.

本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the outline of the conventional reflow apparatus which can apply this invention. リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the temperature profile at the time of reflow. リフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of one heating zone of a reflow apparatus. 本発明の第1の実施の形態の説明に用いるリフロー装置の断面の概略を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the outline of the cross section of the reflow apparatus used for description of the 1st Embodiment of this invention. 加熱パネルの一例の平面図、冷却パネルの一例の平面図、気体吹き出しパイプ並びに気体吹き出しパイプの拡大断面図である。It is a top view of an example of a heating panel, a top view of an example of a cooling panel, an expanded sectional view of a gas blowing pipe and a gas blowing pipe. パネル角度可変機構の一例の正面図である。It is a front view of an example of a panel angle variable mechanism. 本発明の第2の実施の形態の説明に用いる略線図である。It is a basic diagram used for description of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態の説明に用いる略線図である。It is a basic diagram used for description of the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態の説明に用いる略線図である。It is a basic diagram used for description of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態の説明に用いる略線図である。It is a basic diagram used for description of the 5th Embodiment of this invention.

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
<1.リフロー装置の一例>
<2.第1の実施の形態>
<3.第2の実施の形態>
<4.第3の実施の形態>
<5.第4の実施の形態>
<6.第5の実施の形態>
<7.変形例>
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。
Embodiments of the present invention will be described below. The description will be given in the following order.
<1. Example of reflow equipment>
<2. First Embodiment>
<3. Second Embodiment>
<4. Third Embodiment>
<5. Fourth Embodiment>
<6. Fifth embodiment>
<7. Modification>
Note that the embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is specifically described in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.

<1.リフロー装置の一例>
図1は、本発明を適用できる従来のリフロー装置101の概略的構成を示す。図1では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口11からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向(図1に向かって左から右方向)へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口12から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。
<1. Example of reflow equipment>
FIG. 1 shows a schematic configuration of a conventional reflow apparatus 101 to which the present invention can be applied. In FIG. 1, illustration of the flux collection | recovery apparatus arrange | positioned outside a reflow furnace for convenience of explanation is abbreviate | omitted. An object to be heated, on which electronic components for surface mounting are mounted on both sides of the printed circuit board, is placed on a conveyor, and is carried into the furnace body of the reflow apparatus from the carry-in entrance 11. The conveyor conveys the object to be heated in the direction of the arrow (from left to right as viewed in FIG. 1) at a predetermined speed, and the object to be heated is taken out from the carry-out port 12. The transport direction of the transport conveyor is the horizontal direction.

搬入口11から搬出口12に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば9個のゾーンZ1からZ9に順次分割され、これらのゾーンZ1〜Z9がインライン状に配列されている。入口側から7個のゾーンZ1〜Z7が加熱ゾーンであり、出口側の2個のゾーンZ8及びZ9が冷却ゾーンである。冷却ゾーンZ8及びZ9に関連して強制冷却ユニット14が設けられている。   A reflow furnace is sequentially divided into, for example, nine zones Z1 to Z9 along the conveyance path from the carry-in port 11 to the carry-out port 12, and these zones Z1 to Z9 are arranged in-line. Seven zones Z1 to Z7 from the inlet side are heating zones, and two zones Z8 and Z9 on the outlet side are cooling zones. A forced cooling unit 14 is provided in relation to the cooling zones Z8 and Z9.

上述した複数のゾーンZ1〜Z9がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図2に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部R1であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート(予熱)部R2であり、次の区間が本加熱部R3であり、最後の区間が冷却部R4である。   The plurality of zones Z1 to Z9 described above controls the temperature of the object to be heated according to the temperature profile during reflow. FIG. 2 shows an outline of an example of the temperature profile. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the surface temperature of a printed circuit board on which an object to be heated, such as an electronic component, is mounted. The first section is the temperature raising portion R1 where the temperature rises due to heating, the next section is the preheating (preheating) portion R2 where the temperature is substantially constant, the next section is the main heating portion R3, and the last section is This is the cooling unit R4.

昇温部R1は、常温からプリヒート部R2(例えば150°C〜170°C)まで基板を加熱する期間である。プリヒート部R2は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部R3(例えばピーク温度で220°C〜240°C)は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部R3では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部R3は、プリヒート部R2を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部R4は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。   The temperature raising portion R1 is a period in which the substrate is heated from room temperature to a preheating portion R2 (for example, 150 ° C. to 170 ° C.). The preheating portion R2 is a period for performing isothermal heating, activating the flux, removing oxide films on the surfaces of the electrodes and solder powder, and eliminating uneven heating of the printed circuit board. The main heating portion R3 (for example, 220 ° C. to 240 ° C. at the peak temperature) is a period in which the solder is melted and the joining is completed. In the main heating part R3, the temperature needs to be raised to a temperature exceeding the melting temperature of the solder. Even when the preheating portion R2 has passed, the main heating portion R3 needs to be heated to a temperature exceeding the melting temperature of the solder because there is uneven temperature rise. The last cooling section R4 is a period in which the printed circuit board is rapidly cooled to form a solder composition.

図2において、曲線1は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。Sn−Pb共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線2で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部R2における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。   In FIG. 2, curve 1 shows the temperature profile of lead-free solder. The temperature profile in the case of Sn—Pb eutectic solder is shown by curve 2. Since the melting point of lead-free solder is higher than the melting point of eutectic solder, the set temperature in the preheating portion R2 is higher than that of eutectic solder.

リフロー装置では、図2における昇温部R1の温度制御を、主としてゾーンZ1及びZ2が受け持つ。プリヒート部R2の温度制御は、主としてゾーンZ3、Z4及びZ5が受け持つ。本加熱部R3の温度制御は、ゾーンZ6及びZ7が受け持つ。冷却部R4の温度制御は、ゾーンZ8及びゾーンZ9が受け持つ。   In the reflow apparatus, the zones Z1 and Z2 are mainly responsible for the temperature control of the temperature raising portion R1 in FIG. The temperature control of the preheating part R2 is mainly handled by the zones Z3, Z4 and Z5. The temperature control of the main heating unit R3 is handled by the zones Z6 and Z7. The temperature control of the cooling unit R4 is handled by the zone Z8 and the zone Z9.

加熱ゾーンZ1〜Z7のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体15及び下部炉体35を有する。例えばゾーンZ1の上部炉体15及び下部炉体35から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。   Each of the heating zones Z1 to Z7 has an upper furnace body 15 and a lower furnace body 35 each including a blower. For example, hot air is blown against an object to be heated conveyed from the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 in the zone Z1.

図3を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンZ6を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図3に示されている。上部炉体15と下部炉体35との対向間隙内で、プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物(ワークとも称される)Wが搬送コンベヤ31上に置かれて搬送される。上部炉体15内及び下部炉体35内は、雰囲気ガスである例えば窒素(N2)ガスが充満している。上部炉体15及び下部炉体35は、被加熱物Wに対して熱風(熱せられた雰囲気ガス)を噴出して被加熱物Wを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。   An example of the heating device will be described with reference to FIG. For example, FIG. 3 shows a cross section when the zone Z6 is cut along a plane orthogonal to the transport direction. Within a gap between the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35, an object to be heated (also referred to as a workpiece) W on which surface mounting electronic components are mounted on both sides of the printed circuit board is placed on the conveyor 31. Are transported. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 are filled with, for example, nitrogen (N2) gas, which is an atmospheric gas. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 heat the article to be heated W by blowing hot air (heated atmospheric gas) onto the article to be heated W. In addition, you may irradiate infrared rays with a hot air.

上部炉体15は、例えばターボファンの構成の送風機16と、送風機16からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板17a,17bと、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ18と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル(蓄熱部材)19とを有し、加熱パネル19の小孔を通過した熱風が被加熱物Wに対して上側から吹きつけられる。加熱パネル19は、例えばアルミニウムの金属板に多数の小孔が形成されたものである。   The upper furnace body 15 includes, for example, a blower 16 configured as a turbofan, and air guide plates 17a and 17b arranged to face each other in order to disperse the air from the blower 16 and to make the temperature distribution in the furnace body uniform. The heater 18 is formed by bending a plurality of heater wires, and a heating panel (heat storage member) 19 having a large number of small holes through which hot air passes, and the hot air that has passed through the small holes of the heating panel 19 is heated. Sprayed from above on W. The heating panel 19 is formed by forming a large number of small holes in, for example, an aluminum metal plate.

下部炉体35も上述した上部炉体15と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機26と、送風機26からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板27a,27bと、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ28と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル(蓄熱部材)29とを有する。加熱パネル29の小孔を通過した熱風が被加熱物Wに対して下側から吹きつけられる。   The lower furnace body 35 has the same configuration as the upper furnace body 15 described above. That is, for example, a blower 26 having a turbofan structure, air guide plates 27a and 27b arranged to face each other in order to disperse the air from the blower 26 and make the temperature distribution in the furnace uniform, and heater wires It has a heater 28 configured by bending a plurality of times, and a heating panel (heat storage member) 29 having a large number of small holes through which hot air passes. Hot air that has passed through the small holes of the heating panel 29 is blown against the object to be heated W from below.

上部炉体15に対して、フラックス回収装置41が設けられる。フラックス回収装置41は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体15の背面側に設置される。下部炉体35に対して、フラックス回収装置61が設けられる。フラックス回収装置61は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体35の背面側に設置される。フラックス回収装置41は、上部炉体15から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部42と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器43とからなる。同様に、フラックス回収装置61は、下部炉体35から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部62と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器63とからなる。   A flux recovery device 41 is provided for the upper furnace body 15. The flux recovery device 41 is installed on the back side of the upper furnace body 15 in a space surrounded by an outer plate, for example. A flux recovery device 61 is provided for the lower furnace body 35. The flux collection device 61 is installed on the back side of the lower furnace body 35 in a space surrounded by an outer plate, for example. The flux recovery device 41 includes a radiator section 42 that cools the atmospheric gas derived from the upper furnace body 15 and a recovery container 43 that recovers the flux liquefied by cooling. Similarly, the flux recovery device 61 includes a radiator unit 62 that cools the atmospheric gas derived from the lower furnace body 35 and a recovery container 63 that recovers the flux liquefied by cooling.

送風機16によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置41に導出するための導出口としての穴52が設けられる。穴52は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置41からのガスを上部炉体15内に導入するための導入口としての穴53が設けられる。これらの穴52及び53は、実際には、接続用管54及び55のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管54及び55のそれぞれとフラックス回収装置41の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体35においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置61に導出され、フラックス回収装置61からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。   A hole 52 serving as an outlet for leading atmospheric gas to the flux recovery device 41 is provided in a path through which hot air circulates by the blower 16. The hole 52 is provided at a location where the pressure is high in the furnace. A hole 53 as an inlet for introducing the gas from the flux recovery device 41 into the upper furnace body 15 is provided at a location where the pressure is low. These holes 52 and 53 actually correspond to openings on one end sides of the connecting pipes 54 and 55, respectively. Each of the connection pipes 54 and 55 and the connection pipe of the flux recovery apparatus 41 are connected by a hose not shown. Also in the lower furnace body 35, the atmospheric gas is led out to the flux recovery device 61 from a hole provided at a high pressure in the furnace, and the gas having a reduced flux component from the flux recovery device 61 has a low pressure in the furnace. It is introduced from the hole provided in the place.

なお、フラックス回収装置41及び61は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンにフラックス回収装置41及び61を配置しても良い。   In addition, the flux collection | recovery apparatuses 41 and 61 are provided in the zone where dirt of atmospheric gas is large in each zone of a reflow apparatus. However, you may arrange | position the flux collection | recovery apparatuses 41 and 61 in all the zones of a reflow apparatus.

冷却ゾーンZ8、Z9は、加熱ゾーンと異なり、ヒータ18及び28を有しない構成とされ、上下に設けられている送風機によって冷却用気体(N2ガス等の不活性ガス又はエアー)が冷却パネルを介して被加熱物Wに吹きつけられる構成とされている。冷却パネルは、アルミニウム等の金属板に多数の小孔が形成されたものである。   Unlike the heating zone, the cooling zones Z8 and Z9 are configured not to have the heaters 18 and 28, and the cooling gas (inert gas such as N2 gas or air) is passed through the cooling panel by the blowers provided above and below. Thus, it is configured to be sprayed onto the object to be heated W. The cooling panel is formed by forming a large number of small holes in a metal plate such as aluminum.

フラックス回収装置41及び61を設置した場合でも、フラックス成分を完全に除去できず、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8、Z9まで移動し、冷却ゾーンZ8、Z9において冷却されることによってフラックスヒュームが液化し、フラックスが被加熱物上に滴下(垂れる)等で付着する問題を無くすことができない。本発明は、フラックスが被加熱物に付着することを有効に防止するものである。   Even when the flux recovery devices 41 and 61 are installed, the flux component cannot be completely removed, the flux fumes move to the cooling zones Z8 and Z9, and the flux fumes are liquefied by being cooled in the cooling zones Z8 and Z9. The problem that the flux adheres to the object to be heated by dripping (dripping) cannot be eliminated. The present invention effectively prevents the flux from adhering to the object to be heated.

<2.第1の実施の形態>
図4を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。加熱ゾーンZ7及び冷却ゾーンZ8の間に連結部としての連結ゾーンZ78を設ける。図4は、加熱ゾーンZ7、連結ゾーンZ78及び冷却ゾーンZ8を搬送コンベア31の搬送方向と平行する面で切断した断面図であり、各ゾーンの構成を簡略化して示す。
<2. First Embodiment>
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. A connecting zone Z78 as a connecting portion is provided between the heating zone Z7 and the cooling zone Z8. FIG. 4 is a cross-sectional view of the heating zone Z7, the connection zone Z78, and the cooling zone Z8 cut along a plane parallel to the transport direction of the transport conveyor 31, and shows a simplified configuration of each zone.

加熱ゾーンZ7では、加熱パネルP1(図3における加熱パネル19)及び加熱パネルP2(図3における加熱パネル29)(個々の加熱パネルを区別する必要がない場合は単に加熱パネルPと称する)の小孔を通じて熱風が斜線矢印で示すように、被加熱物Wの上面及び下面に吹き付けられる。搬送コンベア31の搬送方向と搬送方向に直交する方向がなす平面(すなわち、搬送面と平行な面を意味する。以下同様)と加熱パネルPが平行な場合には、加熱パネルと垂直な方向(法線方向)に熱風が吹き出される。   In the heating zone Z7, the heating panel P1 (the heating panel 19 in FIG. 3) and the heating panel P2 (the heating panel 29 in FIG. 3) (simply referred to as the heating panel P when it is not necessary to distinguish the individual heating panels) are small. Hot air is blown through the holes on the upper and lower surfaces of the article to be heated W as indicated by the hatched arrows. When the plane formed by the conveyance direction of the conveyor 31 and the direction orthogonal to the conveyance direction (that is, a plane parallel to the conveyance surface; the same applies hereinafter) and the heating panel P are parallel, the direction perpendicular to the heating panel ( Hot air is blown out in the normal direction).

冷却ゾーンZ8において、冷却パネルQ1及びQ2(個々の冷却パネルを区別する必要がない場合は単に冷却パネルQと称する)の小孔を通じて冷却用気体が矢印で示すように、被加熱物Wの上面及び下面に吹き付けられ、被加熱物Wが冷却される。搬送コンベア31の搬送方向と搬送方向に直交する方向がなす平面と冷却パネルQが平行な場合には、冷却パネルQと垂直な方向(法線方向)に冷却用気体が吹き出される。   In the cooling zone Z8, the upper surface of the object W to be heated is such that the cooling gas is indicated by an arrow through the small holes of the cooling panels Q1 and Q2 (referred to simply as the cooling panel Q when there is no need to distinguish between the individual cooling panels). And the to-be-heated material W is cooled by spraying on a lower surface. When the plane formed by the conveyance direction of the conveyance conveyor 31 and the direction orthogonal to the conveyance direction is parallel to the cooling panel Q, the cooling gas is blown out in a direction (normal direction) perpendicular to the cooling panel Q.

連結ゾーンZ78において、吹き出し手段としての気体吹き出しパイプR11,R12,R13及びR14(個々の気体吹き出しパイプを区別する必要がない場合は単に気体吹き出しパイプRと称する)が配置されている。気体吹き出しパイプRは、搬送コンベア31の搬送方向と直交する方向に延長する管状部材の周面に複数の小孔が延長方向に形成されたものである。   In the connection zone Z78, gas blowing pipes R11, R12, R13 and R14 (referred to simply as gas blowing pipes R when there is no need to distinguish individual gas blowing pipes) are arranged as blowing means. The gas blowing pipe R is formed by forming a plurality of small holes in the extending direction on the peripheral surface of a tubular member extending in a direction orthogonal to the conveying direction of the conveying conveyor 31.

気体吹き出しパイプRは、固定のベース部に対して回転自在に支持され、小孔から吹き出される気体の吹き出し角度が可変とされている。気体は、エアーや不活性ガスであるN2(窒素)等を用いることができ、不活性ガスを用いることがより好ましい。図4の例では、搬送コンベア31を挟んで気体吹き出しパイプR11及びR21が対向配置され、搬送コンベア31を挟んで気体吹き出しパイプR12及びR22が対向配置されている。そして、それぞれの吹き出し口が向き合う回転位置とされている。この場合では、気体吹き出しパイプRから気体が矢印で示すように、搬送コンベア31に対して垂直方向に吹き出す。   The gas blowing pipe R is rotatably supported with respect to the fixed base part, and the blowing angle of the gas blown out from the small hole is variable. As the gas, air, N2 (nitrogen), which is an inert gas, or the like can be used, and it is more preferable to use an inert gas. In the example of FIG. 4, the gas blowing pipes R <b> 11 and R <b> 21 are opposed to each other with the conveyance conveyor 31 interposed therebetween, and the gas blowing pipes R <b> 12 and R <b> 22 are opposed to each other with the conveyance conveyor 31 interposed therebetween. And it is set as the rotation position where each blowing outlet faces. In this case, gas blows out from the gas blowing pipe R in the vertical direction with respect to the conveyor 31 as indicated by arrows.

図5に、冷却パネルQ(図5A)、加熱パネルP(図5B)、気体吹き出しパイプR(図5C)からなるリフロー装置の一部の構成例を示す。矢印が搬送コンベア31の搬送方向を示している。冷却パネルQ及び加熱パネルPは、それぞれ多数の小孔が金属板に形成された構成である。気体吹き出しパイプRは、図5Dに拡大して示すように、金属の管状の形状であり、周面に小孔rが整列して形成されたものである。この小孔rを通じて気体が吹き出す。なお、小孔rを周面に2列以上形成し、同時に2箇所の小孔rから異なる吹き出し角度でもって気体を吹き出すようにしてもよい。   FIG. 5 shows a configuration example of a part of a reflow apparatus including a cooling panel Q (FIG. 5A), a heating panel P (FIG. 5B), and a gas blowing pipe R (FIG. 5C). Arrows indicate the transport direction of the transport conveyor 31. Each of the cooling panel Q and the heating panel P has a configuration in which a large number of small holes are formed in a metal plate. As shown in an enlarged view in FIG. 5D, the gas blowing pipe R has a metal tubular shape and is formed by arranging small holes r on the peripheral surface. Gas is blown out through the small holes r. Note that two or more rows of the small holes r may be formed on the peripheral surface, and gas may be blown out from the two small holes r at different blowing angles at the same time.

図6は、加熱パネルPの角度可変機構の一例を示す。加熱パネルPの一端側に取り付け部71が固着されている。固定のベース部72に二つの長穴73a及び73bが形成されている。長穴73a及び73bは、円弧の一部をなすように弧状とされている。この長穴73a内に、取り付け部71と固着されたロックピン74aが挿入され、長穴73b内に、取り付け部71と固着されたロックピン74bが挿入される。   FIG. 6 shows an example of an angle variable mechanism of the heating panel P. An attachment portion 71 is fixed to one end side of the heating panel P. Two elongated holes 73 a and 73 b are formed in the fixed base portion 72. The long holes 73a and 73b are formed in an arc shape so as to form a part of an arc. The lock pin 74a fixed to the attachment portion 71 is inserted into the elongated hole 73a, and the lock pin 74b fixed to the attachment portion 71 is inserted into the elongated hole 73b.

図示のように、長穴73a及び73bの下端にロックピン74a及び74bが位置している状態では、加熱パネルPが水平位置に保持される。この状態からロックピン74a及び74bを緩めて加熱パネルPを上方向に起こせば、図6において仮想線で示すように、加熱パネルPの取り付け部71の設けられていない端部が上方向に回転し、加熱パネルPが傾いたものとされる。所望の位置でロックピン74a及び74bを締めつけることで、加熱パネルPの位置を保持できる。なお、図6に示される長穴73a及び73bの長さを長くしてロックピン73a及び73bがより下方向に変位可能とすれば、加熱パネルPを水平位置より下側まで回転させることができる。図6は、加熱パネルPの傾斜角可変機構であるが、冷却パネルQに関しても同様の傾斜角可変機構が設けられている。   As shown in the drawing, in the state where the lock pins 74a and 74b are positioned at the lower ends of the long holes 73a and 73b, the heating panel P is held in the horizontal position. If the lock pins 74a and 74b are loosened from this state and the heating panel P is raised upward, the end of the heating panel P where the mounting portion 71 is not provided rotates upward as shown by the phantom line in FIG. The heating panel P is inclined. The position of the heating panel P can be maintained by tightening the lock pins 74a and 74b at desired positions. If the length of the long holes 73a and 73b shown in FIG. 6 is increased so that the lock pins 73a and 73b can be displaced downward, the heating panel P can be rotated from the horizontal position to the lower side. . FIG. 6 shows a variable tilt angle mechanism of the heating panel P, but a similar tilt angle variable mechanism is provided for the cooling panel Q as well.

加熱パネルPの傾斜は、搬送コンベア31の搬送方向と搬送方向と直交する方向がなす平面に対する角度で規定される。例えば水平面に対する加熱パネルPの回転角で加熱パネルPの傾斜が規定される。加熱パネルPの前後の端部に関して、搬入口11に近い端部を前端とし、搬入口11から遠い端部を後端とすると、図8に示す仮想線の状態は、矢印を搬送方向とすると、前端が後端より高くなる状態である。この状態を上昇と定義する。逆に加熱パネルPの前端が後端より低くなる状態を下降と定義する。冷却パネルQに関しても同様に傾斜を定義する。   The inclination of the heating panel P is defined by an angle with respect to a plane formed by the transport direction of the transport conveyor 31 and the direction orthogonal to the transport direction. For example, the inclination of the heating panel P is defined by the rotation angle of the heating panel P with respect to the horizontal plane. With respect to the front and rear end portions of the heating panel P, assuming that the end portion close to the carry-in port 11 is the front end and the end portion far from the carry-in port 11 is the rear end, the state of the phantom line shown in FIG. The front end is higher than the rear end. This state is defined as rising. Conversely, a state in which the front end of the heating panel P is lower than the rear end is defined as descending. The inclination is similarly defined for the cooling panel Q.

第1の実施の形態では、気体吹き出しパイプRによって気体の吹き出し方向を可変することができる。例えば気体を垂直方向に対して加熱ゾーンZ7側に向かうように、斜めに吹き出すようにすれば、加熱ゾーンZ7から被加熱物Wと一緒に冷却ゾーンZ8に持ち込まれようとするフラックスヒュームの進入を抑え、冷却ゾーンZ8に進入するフラックスヒュームの量を減少させ、冷却ゾーンZ8において液化するフラックスの量を減少できる。したがって、冷却ゾーンZ8において、液化したフラックスが被加熱物W上に付着する問題を防止することができる。   In the first embodiment, the gas blowing direction can be changed by the gas blowing pipe R. For example, if the gas is blown obliquely so as to go to the heating zone Z7 side with respect to the vertical direction, the flux fume entering the cooling zone Z8 together with the article to be heated W from the heating zone Z7 is allowed to enter. The amount of flux fumes entering the cooling zone Z8 can be reduced, and the amount of flux liquefied in the cooling zone Z8 can be reduced. Therefore, the problem that the liquefied flux adheres to the article to be heated W in the cooling zone Z8 can be prevented.

<3.第2の実施の形態>
図7を参照して本発明の第2の実施の形態について説明する。図7に示すように、加熱ゾーンZ7において、加熱パネルP1の前端が上昇し、加熱パネルP2の前端が下降する。なお、上述したように、前端を被加熱物Wが到来する入口側の端部と定義し、後端を被加熱物Wが出て行く出口側の端部と定義する。この定義は、冷却パネルQ1及びQ2についても同様である。したがって、加熱パネルP1及びP2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンZ7の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンZ78に移動することを抑えることができる。
<3. Second Embodiment>
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 7, in the heating zone Z7, the front end of the heating panel P1 rises and the front end of the heating panel P2 falls. As described above, the front end is defined as the end on the inlet side where the article to be heated W arrives, and the rear end is defined as the end on the outlet side from which the article to be heated W leaves. This definition is the same for the cooling panels Q1 and Q2. Accordingly, the hot air blown to the article to be heated W through the heating panels P1 and P2 is inclined so as to be directed toward the inlet side of the heating zone Z7 with respect to the vertical direction. As a result, it is possible to suppress the flux fume from moving to the connection zone Z78.

また、連結ゾーンZ78において、気体吹き出しパイプRが気体を加熱ゾーンZ7の出口方向に斜めに吹き出す。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンZ78に移動することを抑えることができると共に、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを抑えることができる。   Further, in the connection zone Z78, the gas blowing pipe R blows gas obliquely toward the outlet of the heating zone Z7. As a result, it is possible to suppress the flux fume from moving to the connection zone Z78 and to suppress the flux fume from moving to the cooling zone Z8.

さらに、冷却ゾーンZ8において、冷却パネルQ1が上昇し、冷却パネルQ2が下降する。したがって、冷却パネルQ1及びQ2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して連結ゾーンZ8の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンZ8に移動することを抑えることができる。このように、第2の実施の形態によれば、加熱パネルP、気体吹き出しパイプR及び冷却パネルQが協働してフラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを抑えるので、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8で液化して被加熱物Wに付着することを防止することができる。   Further, in the cooling zone Z8, the cooling panel Q1 rises and the cooling panel Q2 falls. Therefore, the cooling gas blown to the article to be heated W through the cooling panels Q1 and Q2 is inclined so as to be directed toward the inlet side of the connection zone Z8 with respect to the vertical direction. As a result, it is possible to suppress the flux fume from moving to the connection zone Z8. As described above, according to the second embodiment, the heating panel P, the gas blowing pipe R, and the cooling panel Q cooperate to suppress the flux fume from moving to the cooling zone Z8. It is possible to prevent liquefaction with Z8 and adhesion to the article to be heated W.

<4.第3の実施の形態>
図8を参照して本発明の第3の実施の形態について説明する。図8に示すように、加熱ゾーンZ7において、加熱パネルP1が下降し、加熱パネルP2が上昇する。したがって、加熱パネルP1及びP2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンZ7の出口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンZ78に移動することを促進することができる。
<4. Third Embodiment>
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8, in the heating zone Z7, the heating panel P1 is lowered and the heating panel P2 is raised. Therefore, the hot air blown to the article to be heated W through the heating panels P1 and P2 is inclined so as to be directed toward the outlet side of the heating zone Z7 with respect to the vertical direction. As a result, the flux fume can be promoted to move to the connection zone Z78.

また、連結ゾーンZ78において、気体吹き出しパイプRが気体を冷却ゾーンZ8の入口方向に斜めに吹き出す。その結果、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを促進することができる。   Further, in the connection zone Z78, the gas blowing pipe R blows gas obliquely toward the inlet of the cooling zone Z8. As a result, the flux fumes can be promoted to move to the cooling zone Z8.

さらに、冷却ゾーンZ8において、冷却パネルQ1が下降し、冷却パネルQ2が上昇する。したがって、冷却パネルQ1及びQ2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンZ8の出口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを促進することができる。このように、第3の実施の形態によれば、加熱パネルP、気体吹き出しパイプR及び冷却パネルQが協働してフラックスヒュームを連結ゾーンZ78及び冷却ゾーンZ8を通過することを促進するで、フラックスヒュームを終段のフラックス除去装置又は炉外の排気系統に迅速に移動させることができ、フラックスヒュームによる影響を防止することができる。   Further, in the cooling zone Z8, the cooling panel Q1 is lowered and the cooling panel Q2 is raised. Therefore, the cooling gas blown to the article to be heated W through the cooling panels Q1 and Q2 is inclined so as to be directed toward the outlet side of the cooling zone Z8 with respect to the vertical direction. As a result, the flux fumes can be promoted to move to the cooling zone Z8. As described above, according to the third embodiment, the heating panel P, the gas blowing pipe R, and the cooling panel Q cooperate to promote the passage of flux fumes through the connection zone Z78 and the cooling zone Z8. The flux fume can be quickly moved to the final stage flux removal apparatus or the exhaust system outside the furnace, and the influence of the flux fume can be prevented.

<5.第4の実施の形態>
図9を参照して本発明の第4の実施の形態について説明する。図9に示すように、加熱ゾーンZ7において、加熱パネルP1が上昇し、加熱パネルP2が上昇する。したがって、加熱パネルP1を通じて被加熱物Wに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンZ7の出口側に向かうように傾いたものとなり、加熱パネルP2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンZ7の入口側に向かうように傾いたものとなる。
<5. Fourth Embodiment>
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 9, in the heating zone Z7, the heating panel P1 rises and the heating panel P2 rises. Accordingly, the hot air blown to the object to be heated W through the heating panel P1 is inclined to the exit side of the heating zone Z7 with respect to the vertical direction, and the hot air blown to the object to be heated W through the heating panel P2 is vertical. With respect to the heating zone Z7, it is inclined toward the inlet side.

また、連結ゾーンZ78において、気体吹き出しパイプR11及びR12が気体を加熱ゾーンZ7の出口方向に斜めに吹き出し、気体吹き出しパイプR21及びR22が気体を冷却ゾーンZ8の入口方向に斜めに吹き出す。   In the connection zone Z78, the gas blowing pipes R11 and R12 blow the gas obliquely toward the outlet of the heating zone Z7, and the gas blowing pipes R21 and R22 blow the gas obliquely toward the inlet of the cooling zone Z8.

さらに、冷却ゾーンZ8において、冷却パネルQ1が上昇し、冷却パネルQ2が上昇する。したがって、冷却パネルQ1を通じて被加熱物Wに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンZ8の入口側に向かうように傾いたものとなり、冷却パネルQ2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンZ8の出口側に向かうように傾いたものとなる。   Further, in the cooling zone Z8, the cooling panel Q1 rises and the cooling panel Q2 rises. Accordingly, the cooling gas blown to the heated object W through the cooling panel Q1 is inclined so as to be directed toward the inlet side of the cooling zone Z8 with respect to the vertical direction, and the cooling gas blown to the heated object W through the cooling panel Q2. The gas is inclined so as to be directed toward the outlet side of the cooling zone Z8 with respect to the vertical direction.

<6.第5の実施の形態>
図10を参照して本発明の第5の実施の形態について説明する。図10に示すように、加熱ゾーンZ7において、加熱パネルP1が上昇し、加熱パネルP2が下降する。したがって、加熱パネルP1及びP2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる熱風が垂直方向に対して加熱ゾーンZ7の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンZ78に移動することを抑えることができる。
<6. Fifth embodiment>
A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 10, in the heating zone Z7, the heating panel P1 rises and the heating panel P2 falls. Accordingly, the hot air blown to the article to be heated W through the heating panels P1 and P2 is inclined so as to be directed toward the inlet side of the heating zone Z7 with respect to the vertical direction. As a result, it is possible to suppress the flux fume from moving to the connection zone Z78.

また、連結ゾーンZ78において、対向する気体吹き出しパイプR11及びR21が気体を加熱ゾーンZ7の出口方向に斜めに吹き出す。その結果、フラックスヒュームが連結ゾーンZ78に移動することを抑えることができると共に、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを抑えることができる。さらに、対向する気体吹き出しパイプR12及びR22が気体を垂直方向に吹き出す。   Further, in the connection zone Z78, the opposed gas blowing pipes R11 and R21 blow the gas obliquely in the direction of the outlet of the heating zone Z7. As a result, it is possible to suppress the flux fume from moving to the connection zone Z78 and to suppress the flux fume from moving to the cooling zone Z8. Further, the opposing gas blowing pipes R12 and R22 blow out the gas in the vertical direction.

さらに、冷却ゾーンZ8において、冷却パネルQ1が上昇し、冷却パネルQ2が下降する。したがって、冷却パネルQ1及びQ2を通じて被加熱物Wに吹き付けられる冷却用気体が垂直方向に対して冷却ゾーンZ8の入口側に向かうように傾いたものとなる。その結果、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを抑えることができる。このように、第5の実施の形態によれば、加熱パネルP、気体吹き出しパイプR及び冷却パネルQが協働してフラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを抑えるので、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8で液化して被加熱物Wに付着することを防止することができる。さらに、気体吹き出しパイプR12及びR22の吹き出す気体によってエアカーテンが形成されるので、フラックスヒュームが冷却ゾーンZ8に移動することを抑えることができる。   Further, in the cooling zone Z8, the cooling panel Q1 rises and the cooling panel Q2 falls. Therefore, the cooling gas blown to the article to be heated W through the cooling panels Q1 and Q2 is inclined so as to be directed toward the inlet side of the cooling zone Z8 with respect to the vertical direction. As a result, it is possible to suppress the flux fume from moving to the cooling zone Z8. As described above, according to the fifth embodiment, the heating panel P, the gas blowing pipe R, and the cooling panel Q cooperate to suppress the flux fume from moving to the cooling zone Z8. It is possible to prevent liquefaction with Z8 and adhesion to the article to be heated W. Furthermore, since the air curtain is formed by the gas blown out from the gas blowing pipes R12 and R22, it is possible to suppress the flux fume from moving to the cooling zone Z8.

<7.変形例>
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば加熱パネルP及び冷却パネルQの傾斜角度可変機構としては、図6に示す機構以外にパネルの中心部に回転軸を設ける構成等の他の構成が可能である。また、冷却ゾーンの前側の加熱ゾーンとして、被加熱物Wを加熱するゾーンに限らず、はんだ付けされた被加熱物Wを加熱しないで搬送するゾーンを設け、このゾーンに上述した加熱パネルを設けるようにしてもよい。さらに、気体吹き出しパイプは、搬送面の上下方向に配置する場合に限らず、搬送面の左右両側に配置するようにしてもよい。この場合に、上下方向及び左右両側方向の両方から気体を吹き出してもよい。なお、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
<7. Modification>
Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications based on the technical idea of the present invention are possible. For example, as the mechanism for varying the tilt angle of the heating panel P and the cooling panel Q, other configurations such as a configuration in which a rotation shaft is provided at the center of the panel other than the mechanism shown in FIG. Further, the heating zone on the front side of the cooling zone is not limited to the zone for heating the heated object W, but a zone for conveying the soldered heated object W without heating is provided, and the heating panel described above is provided in this zone. You may do it. Further, the gas blowing pipes are not limited to being arranged in the vertical direction of the conveyance surface, but may be arranged on both the left and right sides of the conveyance surface. In this case, the gas may be blown out from both the up-down direction and the left-right direction. Note that the configurations, methods, steps, shapes, materials, numerical values, and the like given in the above-described embodiments are merely examples, and different configurations, methods, steps, shapes, materials, numerical values, etc. are used as necessary. May be. The configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, and the like of the above-described embodiments can be combined with each other without departing from the gist of the present invention.

11・・・搬入口
12・・・搬出口
14・・・強制冷却ユニット
15・・・上部炉体
16,26・・・送風機
18,28・・・ヒータ
19,29,P・・・加熱パネル
31・・・搬送コンベヤ
35・・・下部炉体
Q・・・冷却パネル
R・・・気体吹き出しパイプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Carry-in port 12 ... Carry-out port 14 ... Forced cooling unit 15 ... Upper furnace body 16, 26 ... Blower 18, 28 ... Heater 19, 29, P ... Heating panel 31 ... Conveyor 35 ... Lower furnace body Q ... Cooling panel R ... Gas blowing pipe

Claims (8)

被加熱物に対してはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
前記加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、前記被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
前記吹き出し手段の前記気体の前記搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされたリフロー装置。
A heating zone having a furnace body for soldering the object to be heated; and a cooling zone for cooling the soldered object to be heated; and the heating zone and the cooling zone are conveyed by a conveying device. In the reflow device that passes
A blowing means for blowing gas to the object to be heated is disposed at the connection between the heating zone and the cooling zone,
The reflow apparatus in which the blowing angle of the gas with respect to the conveying direction of the conveying device is variable.
前記吹き出し手段は、前記搬送装置の搬送方向と直交する方向に延長し、周面に複数の小孔が延長方向に形成された管状部材である請求項1に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1, wherein the blowing means is a tubular member that extends in a direction orthogonal to the conveying direction of the conveying apparatus and has a plurality of small holes formed in the extending direction on the peripheral surface. 前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面を挟んで、第1の前記管状部材及び第2の前記管状部材が対向して配置された請求項2に記載のリフロー装置。   The reflow device according to claim 2, wherein the first tubular member and the second tubular member are arranged to face each other across a plane formed by a conveyance direction of the conveyance device and a direction orthogonal to the conveyance direction. 複数の前記第1の前記管状部材及び複数の前記第2の前記管状部材を有し、それぞれの吹き出し角度が可変とされた請求項3に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 3, comprising a plurality of the first tubular members and a plurality of the second tubular members, each of which has a variable blowing angle. 被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
前記加熱ゾーンが第1のパネルの複数の小孔を通じて熱風を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、前記冷却ゾーンが第2のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、
前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面に対する前記第2のパネルの角度が可変とされたリフロー装置。
A heating zone having a furnace body for performing soldering by blowing hot air on the object to be heated; and a cooling zone for cooling the soldered object to be heated, and conveying the heating zone and the cooling zone. In the reflow apparatus for passing the object to be heated by
The heating zone is configured to blow hot air to the object to be heated through a plurality of small holes in the first panel, and the cooling zone sprays a cooling gas to the object to be heated through the plurality of small holes in the second panel. With the configuration,
A reflow apparatus in which an angle of the second panel with respect to a plane formed by a transport direction of the transport apparatus and a direction orthogonal to the transport direction is variable.
被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
前記加熱ゾーンが第1のパネルの複数の小孔を通じて熱風を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、前記冷却ゾーンが第2のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、
前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面に対する前記第1のパネルの角度が可変とされたリフロー装置。
A heating zone having a furnace body for performing soldering by blowing hot air on the object to be heated; and a cooling zone for cooling the soldered object to be heated, and conveying the heating zone and the cooling zone. In the reflow apparatus for passing the object to be heated by
The heating zone is configured to blow hot air to the object to be heated through a plurality of small holes in the first panel, and the cooling zone sprays a cooling gas to the object to be heated through the plurality of small holes in the second panel. With the configuration,
A reflow apparatus in which an angle of the first panel with respect to a plane formed by a transport direction of the transport apparatus and a direction orthogonal to the transport direction is variable.
被加熱物に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けを行う炉体を有する加熱ゾーンと、前記はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンを有し、前記加熱ゾーン及び冷却ゾーンを搬送装置によって前記被加熱物を通過させるリフロー装置において、
前記加熱ゾーンが第1のパネルの複数の小孔を通じて熱風を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、前記冷却ゾーンが第2のパネルの複数の小孔を通じて冷却用気体を前記被加熱物に吹き付ける構成とされ、
前記加熱ゾーン及び冷却ゾーン間の連結部に、前記被加熱物に気体を吹き付ける吹き出し手段を配置し、
前記吹き出し手段の前記気体の前記搬送装置の搬送方向に対する吹き出し角度が可変とされ、
前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面に対する前記第1のパネルの角度が可変とされ、
前記搬送装置の搬送方向と前記搬送方向と直交する方向がなす平面に対する前記第2のパネルの角度が可変とされたリフロー装置。
A heating zone having a furnace body for performing soldering by blowing hot air on the object to be heated; and a cooling zone for cooling the soldered object to be heated, and conveying the heating zone and the cooling zone. In the reflow apparatus for passing the object to be heated by
The heating zone is configured to blow hot air to the object to be heated through a plurality of small holes in the first panel, and the cooling zone sprays a cooling gas to the object to be heated through the plurality of small holes in the second panel. With the configuration,
A blowing means for blowing gas to the object to be heated is disposed at the connection between the heating zone and the cooling zone,
The blowing angle of the blowing means with respect to the conveying direction of the conveying device is variable,
An angle of the first panel with respect to a plane formed by a transport direction of the transport device and a direction orthogonal to the transport direction is variable,
A reflow apparatus in which an angle of the second panel with respect to a plane formed by a transport direction of the transport apparatus and a direction orthogonal to the transport direction is variable.
前記気体が不活性ガスである請求項1又は7に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1 or 7, wherein the gas is an inert gas.
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