JP2018073902A - Reflow device - Google Patents

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Shoichiro Matsuhisa
正一郎 松久
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce heating temperature difference occurring due to difference in thermal capacity.SOLUTION: A reflow device includes a blower, a first heater placed in a gas flow path formed by the blower, a heating panel having multiple small holes, and blowing hot wind formed by the first heater to a heated object through the small hole, and a second heater attached to the heating panel via a shield plate, so as to be parallel with and/or orthogonal to the transport direction of the heated object, and heating the heated object with radiation heat. The second heater is turned ON/OFF independently in relation to the thermal capacity of an electronic component mounted on the heated object.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、リフロー装置に関し、特に、電子部品間の熱容量の相違によるはんだ付けの不良を防止するようにしたものである。   The present invention relates to a reflow apparatus, and in particular, prevents soldering failure due to a difference in heat capacity between electronic components.

電子部品又はプリント回路基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中にプリント回路基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、被加熱物を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。   A reflow apparatus is used in which a solder composition is supplied in advance to an electronic component or a printed circuit board, and the printed circuit board is conveyed in a reflow furnace by a conveyor. The reflow apparatus includes a transport conveyor for transporting an object to be heated and a reflow furnace main body to which the object to be heated is supplied by the transport conveyor. For example, the reflow furnace is divided into a plurality of zones along a transfer path from a carry-in port to a carry-out port, and the plurality of zones are arranged in-line. The plurality of zones have roles such as a heating zone and a cooling zone depending on their functions.

加熱ゾーンにおいて、プリント回路基板に対して熱風を吹き付けることによってはんだ付けがなされる。同一のプリント回路基板上に実装されている複数の電子部品の熱容量は一定ではない。QFP(Quad Flat Package)、BGA(Ball Grid Array)等の大型部品は、熱容量が大きく、アルミ電解コンデンサ等の小型部品は、熱容量が小さい。これらの電子部品が混合して実装されている場合には、リフロー工程において、熱容量が小さい電子部品の温度上昇と熱容量が大きい電子部品の温度上昇の間に差が生じる。熱容量が小さい電子部品に熱風の温度を合わせると、熱容量が大きな電子部品の加熱が不十分となり、はんだ付けの不良が発生するおそれがあった。逆に、熱容量の大きい電子部品に熱風の温度を合わせると、熱容量の小さい電子部品の損傷が発生するおそれがあった。   In the heating zone, soldering is performed by blowing hot air against the printed circuit board. The heat capacities of a plurality of electronic components mounted on the same printed circuit board are not constant. Large parts such as QFP (Quad Flat Package) and BGA (Ball Grid Array) have a large heat capacity, and small parts such as an aluminum electrolytic capacitor have a small heat capacity. When these electronic components are mixed and mounted, a difference occurs between the temperature rise of the electronic component having a small heat capacity and the temperature rise of the electronic component having a large heat capacity in the reflow process. When the temperature of the hot air is adjusted to an electronic component having a small heat capacity, heating of the electronic component having a large heat capacity becomes insufficient, which may cause a soldering failure. Conversely, when the temperature of hot air is adjusted to an electronic component having a large heat capacity, the electronic component having a small heat capacity may be damaged.

かかる温度差を少なくするリフロー装置が特許文献1に記載されている。特許文献1では、複数のパイプノズルから回路基板へ熱風を吹き出すことで、回路基板平面上に複数の熱風吹き付け点を分散させると共に、吹き付けられた熱風が回路基板から跳ね返った後、配列されたパイプノズル同士間の空間により形成される流路を通して熱風を炉体内に循環させる構成としている。さらに、大型部品に対する供給熱量を増加させるために、輻射熱ヒーターをパイプノズルの間に設けることが記載されている。   A reflow apparatus that reduces such a temperature difference is described in Patent Document 1. In Patent Document 1, by blowing hot air from a plurality of pipe nozzles onto a circuit board, a plurality of hot air blowing points are dispersed on the circuit board plane, and after the blown hot air bounces off the circuit board, the arranged pipes Hot air is circulated in the furnace through a flow path formed by the space between the nozzles. Furthermore, it is described that a radiant heat heater is provided between pipe nozzles in order to increase the amount of heat supplied to a large component.

特許第4043694号公報Japanese Patent No. 4043694

特許文献1に記載されているリフロー装置は、輻射熱ヒーターによって大型電子部品に対する供給熱量を増加させるものであるが、輻射熱ヒーターが被加熱物の電子部品のみならず、パイプノズルを支持する支持板をも加熱するので、支持板で加熱される領域が拡大し、局所的加熱を行う面で問題があった。   The reflow apparatus described in Patent Document 1 increases the amount of heat supplied to a large electronic component by using a radiant heater, but the radiant heater has a support plate that supports not only the electronic component to be heated but also the pipe nozzle. As a result, the region heated by the support plate is enlarged, and there is a problem in terms of performing local heating.

したがって、本発明の目的は、被加熱物上に熱容量の相違する電子部品が混合して実装されている場合でも、熱容量の大きな電子部品に対して加熱能力を増強させることができるリフロー装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a reflow device capable of enhancing the heating capability for an electronic component having a large heat capacity even when electronic components having different heat capacities are mixed and mounted on an object to be heated. There is to do.

本発明は、送風機と、送風機により形成される気体流路中に配置される第1のヒーターと、複数の小孔を有し、第1のヒーターにより形成される熱風を小孔を通じて被加熱物に吹き付ける加熱パネルと、被加熱物の搬送方向と平行及び/又は直交するように、加熱パネルに対して遮蔽板を介して取り付けられ、被加熱物を輻射熱で加熱する第2のヒーターとを備え、第2のヒーターを被加熱物に実装される電子部品の熱容量と関連して独立にON/OFFするようにしたリフロー装置である。   The present invention includes a blower, a first heater disposed in a gas flow path formed by the blower, and a plurality of small holes, and hot air formed by the first heater is heated through the small holes. And a second heater that is attached to the heating panel via a shielding plate so as to be parallel and / or orthogonal to the conveying direction of the object to be heated and heats the object to be heated with radiant heat. A reflow device in which the second heater is independently turned on / off in association with the heat capacity of the electronic component mounted on the object to be heated.

少なくとも一つの実施形態によれば、熱容量が大きな電子部品に対しては、第2のヒーターの輻射熱によって追加加熱するので、被加熱物の熱容量の相違による問題の発生を低減できる。また、第2のヒーターの熱が遮蔽板を介して加熱パネルに拡散することを防止できるので、局所加熱を良好に行うことができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。   According to at least one embodiment, since an electronic component having a large heat capacity is additionally heated by the radiant heat of the second heater, the occurrence of problems due to the difference in the heat capacity of the object to be heated can be reduced. Moreover, since it can prevent that the heat | fever of a 2nd heater diffuses into a heating panel via a shielding board, local heating can be performed favorably. Note that the effects described here are not necessarily limited, and may be any effects described in the present disclosure. Further, the contents of the present invention are not construed as being limited by the exemplified effects in the following description.

本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。It is a basic diagram which shows the outline of the conventional reflow apparatus which can apply this invention. リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the temperature profile at the time of reflow. リフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of one heating zone of a reflow apparatus. リフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of one heating zone of a reflow apparatus. 本発明の一実施の形態の説明に用いるリフロー装置の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the reflow apparatus used for description of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の説明に用いるリフロー装置の断面を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross section of the reflow apparatus used for description of one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の一部の正面図及び平面図である。It is the one part front view and top view of one Embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態の一部の拡大図である。It is a partial enlarged view of one embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の一部の拡大図である。It is a partial enlarged view of one embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態のヒーターの配列方法の変形例の説明に使用する一部の拡大図である。It is a partial enlarged view used for description of the modification of the arrangement method of the heater of one embodiment of this invention. 本発明の温度プロファイルの一例を示す略線図である。It is a basic diagram which shows an example of the temperature profile of this invention.

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
<1.リフロー装置の一例>
<2.一実施の形態>
<3.変形例>
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。
Embodiments of the present invention will be described below. The description will be given in the following order.
<1. Example of reflow equipment>
<2. Embodiment>
<3. Modification>
Note that the embodiment described below is a preferred specific example of the present invention, and various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is specifically described in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.

<1.リフロー装置の一例>
図1は、本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略的構成を示す。図1では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口11からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向(図1に向かって左から右方向)へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口12から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。
<1. Example of reflow equipment>
FIG. 1 shows a schematic configuration of a conventional reflow apparatus to which the present invention can be applied. In FIG. 1, illustration of the flux collection | recovery apparatus arrange | positioned outside a reflow furnace for convenience of explanation is abbreviate | omitted. An object to be heated, on which electronic components for surface mounting are mounted on both sides of the printed circuit board, is placed on a conveyor, and is carried into the furnace body of the reflow apparatus from the carry-in entrance 11. The conveyor conveys the object to be heated in the direction of the arrow (from left to right as viewed in FIG. 1) at a predetermined speed, and the object to be heated is taken out from the carry-out port 12. The transport direction of the transport conveyor is the horizontal direction.

搬入口11から搬出口12に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば9個のゾーンZ1からZ9に順次分割され、これらのゾーンZ1〜Z9がインライン状に配列されている。入口側から7個のゾーンZ1〜Z7が加熱ゾーンであり、出口側の2個のゾーンZ8及びZ9が冷却ゾーンである。冷却ゾーンZ8及びZ9に関連して強制冷却ユニット14が設けられている。   A reflow furnace is sequentially divided into, for example, nine zones Z1 to Z9 along the conveyance path from the carry-in port 11 to the carry-out port 12, and these zones Z1 to Z9 are arranged in-line. Seven zones Z1 to Z7 from the inlet side are heating zones, and two zones Z8 and Z9 on the outlet side are cooling zones. A forced cooling unit 14 is provided in relation to the cooling zones Z8 and Z9.

上述した複数のゾーンZ1〜Z9がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図2に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。加熱のための熱風の温度は、より高いものとされる。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部R1であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート(予熱)部R2であり、次の区間が本加熱部R3であり、最後の区間が冷却部R4である。   The plurality of zones Z1 to Z9 described above controls the temperature of the object to be heated according to the temperature profile during reflow. FIG. 2 shows an outline of an example of the temperature profile. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the surface temperature of a printed circuit board on which an object to be heated, such as an electronic component, is mounted. The temperature of the hot air for heating is higher. The first section is the temperature raising portion R1 where the temperature rises due to heating, the next section is the preheating (preheating) portion R2 where the temperature is substantially constant, the next section is the main heating portion R3, and the last section is This is the cooling unit R4.

昇温部R1は、常温からプリヒート部R2(例えば150°C〜170°C)まで基板を加熱する期間である。プリヒート部R2は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部R3(例えばピーク温度で220°C〜240°C)は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部R3では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部R3は、プリヒート部R2を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部R4は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。   The temperature raising portion R1 is a period in which the substrate is heated from room temperature to a preheating portion R2 (for example, 150 ° C. to 170 ° C.). The preheating portion R2 is a period for performing isothermal heating, activating the flux, removing oxide films on the surfaces of the electrodes and solder powder, and eliminating uneven heating of the printed circuit board. The main heating portion R3 (for example, 220 ° C. to 240 ° C. at the peak temperature) is a period in which the solder is melted and the joining is completed. In the main heating part R3, the temperature needs to be raised to a temperature exceeding the melting temperature of the solder. Even when the preheating portion R2 has passed, the main heating portion R3 needs to be heated to a temperature exceeding the melting temperature of the solder because there is uneven temperature rise. The last cooling section R4 is a period in which the printed circuit board is rapidly cooled to form a solder composition.

図2において、曲線1は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。Sn−Pb共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線2で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部R2における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。また、プリント回路基板の表面温度よりも高い温度に熱風の温度が設定される。例えば熱風の温度が300℃〜350℃に設定される。   In FIG. 2, curve 1 shows the temperature profile of lead-free solder. The temperature profile in the case of Sn—Pb eutectic solder is shown by curve 2. Since the melting point of lead-free solder is higher than the melting point of eutectic solder, the set temperature in the preheating portion R2 is higher than that of eutectic solder. Further, the temperature of the hot air is set to a temperature higher than the surface temperature of the printed circuit board. For example, the temperature of the hot air is set to 300 ° C to 350 ° C.

リフロー装置では、図2における昇温部R1の温度制御を、主として加熱ゾーンZ1及びZ2が受け持つ。プリヒート部R2の温度制御は、主として加熱ゾーンZ3、Z4及びZ5が受け持つ。本加熱部R3の温度制御は、加熱ゾーンZ6及びZ7が受け持つ。冷却部R4の温度制御は、冷却ゾーンZ8及びゾーンZ9が受け持つ。   In the reflow apparatus, the heating zones Z1 and Z2 are mainly responsible for temperature control of the temperature raising portion R1 in FIG. The temperature control of the preheating part R2 is mainly handled by the heating zones Z3, Z4 and Z5. The heating zones Z6 and Z7 are responsible for temperature control of the main heating unit R3. The cooling zone Z8 and the zone Z9 are responsible for temperature control of the cooling unit R4.

加熱ゾーンZ1〜Z7のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体15及び下部炉体35を有する。例えばゾーンZ1の上部炉体15及び下部炉体35から搬送される被加熱物Wに対して熱風が吹きつけられる。   Each of the heating zones Z1 to Z7 has an upper furnace body 15 and a lower furnace body 35 each including a blower. For example, hot air is blown against the article to be heated W conveyed from the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 in the zone Z1.

図3を参照して加熱ゾーン(加熱装置)の一例について説明する。例えばZ1〜Z7の何れかの加熱ゾーンを搬送方向と平行な面で切断した場合の断面が図3に示されており、搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図4に示されている。上部炉体15と下部炉体35との対向間隙内で、プリント回路基板の片面又は両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物(ワークとも称される)Wが搬送コンベア41上に置かれて搬送される。上部炉体15内及び下部炉体35内は、雰囲気ガスである例えば窒素(N2)ガスが充満している。上部炉体15及び下部炉体35は、被加熱物Wに対して熱風(熱せられた雰囲気ガス)を噴出して被加熱物Wを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。   An example of the heating zone (heating device) will be described with reference to FIG. For example, a cross section when cutting any one of the heating zones Z1 to Z7 along a plane parallel to the transport direction is shown in FIG. 3, and a cross section when cut along a plane orthogonal to the transport direction is shown in FIG. It is shown. Within the gap between the upper furnace body 15 and the lower furnace body 35, an object to be heated (also referred to as a workpiece) W on which one or both surfaces of the printed circuit board are mounted is mounted on the conveyor 41. Placed and transported. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 are filled with, for example, nitrogen (N2) gas, which is an atmospheric gas. The upper furnace body 15 and the lower furnace body 35 heat the article to be heated W by blowing hot air (heated atmospheric gas) onto the article to be heated W. In addition, you may irradiate infrared rays with a hot air.

上部炉体15は、例えばターボファンの構成の送風機16(モータ及び回転羽根からなる)と、送風機16からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために設けられた整流機構17と、ヒーター線を複数回折り返して構成したヒーター18を有する。整流機構17は、多数の小孔が均等間隔で穿設されたパンチング板などで構成される。   The upper furnace body 15 includes, for example, a blower 16 (comprising a motor and rotary blades) configured as a turbofan, and a rectifying mechanism provided to disperse the wind from the blower 16 to make the temperature distribution in the furnace body uniform. 17 and a heater 18 configured by bending a plurality of heater wires. The rectifying mechanism 17 is configured by a punching plate in which a large number of small holes are formed at equal intervals.

さらに、ヒーター18により形成された熱風が通過する多数の小孔例えば噴射ノズル19が平板状の支持板20から被加熱物Wに対して突出されてなる加熱パネル21を有し、加熱パネル21の噴射ノズル19を通過した熱風が被加熱物Wに対して上側から吹きつけられる。加熱パネル21の支持板20及び噴射ノズル19は、アルミニウム、亜鉛またはマグネシウムなどを材料とするダイカスト法を含む鋳造法、または絞り加工法により一体に成形されている。   Furthermore, a large number of small holes, for example, injection nozzles 19 through which hot air formed by the heater 18 passes, have a heating panel 21 protruding from the flat support plate 20 with respect to the object W to be heated. Hot air that has passed through the spray nozzle 19 is blown against the article W to be heated from above. The support plate 20 and the injection nozzle 19 of the heating panel 21 are integrally formed by a casting method including a die casting method using aluminum, zinc or magnesium as a material, or a drawing method.

加熱パネル21の支持板20と所定の間隙を介して平行に回収板22が配置されている。回収板22は、加熱パネル21が被加熱物Wに吹き付けた熱風の戻り気体を回収するための孔又はスリットを有する。   A recovery plate 22 is arranged in parallel with the support plate 20 of the heating panel 21 via a predetermined gap. The collection plate 22 has a hole or a slit for collecting the return gas of hot air blown to the article W to be heated by the heating panel 21.

噴射ノズル19から噴出され回収板22によって回収された被加熱物加熱後の熱風は、加熱パネル21の支持板20及び回収板22の対向間隙を通り、さらに回収通路を通って送風機16の中心部の吸い込み口から吸い込まれ、下方に吹き出される。吹き出された気体がヒーター18により加熱される。   The heated hot air blown from the injection nozzle 19 and recovered by the recovery plate 22 passes through the gap between the support plate 20 of the heating panel 21 and the recovery plate 22, and further passes through the recovery passage to pass through the central portion of the blower 16. It is sucked in from the suction mouth and blows out downward. The blown gas is heated by the heater 18.

下部炉体35も上述した上部炉体15と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機26と、送風機26からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された整流機構27と、ヒーター線を複数回折り返して構成したヒーター28とを有する。   The lower furnace body 35 has the same configuration as the upper furnace body 15 described above. That is, for example, a blower 26 having a turbofan configuration, a rectifying mechanism 27 disposed oppositely to disperse the air from the blower 26 and make the temperature distribution in the furnace uniform, and a plurality of heater wires are folded back. And a heater 28 configured as described above.

さらに、ヒーター28により形成された熱風が通過する多数の小孔例えば噴射ノズル29が平板状の支持板30から被加熱物Wに対して突出されてなる加熱パネル31を有する。加熱パネル31の噴射ノズル29を通過した熱風が被加熱物Wに対して下側から吹きつけられる。支持板30に対して碁盤状又は五の目格子状に複数の噴射ノズル29が形成されている。   In addition, a large number of small holes, for example, injection nozzles 29 through which hot air formed by the heater 28 passes, are provided with a heating panel 31 protruding from the flat support plate 30 with respect to the object to be heated W. Hot air that has passed through the spray nozzle 29 of the heating panel 31 is blown against the article W to be heated from below. A plurality of injection nozzles 29 are formed on the support plate 30 in a grid pattern or a five grid pattern.

加熱パネル31の支持板30と所定の間隙を介して平行に回収板32が配置されている。回収板32は、加熱パネル31が被加熱物Wに吹き付けた熱風の戻り気体を回収するための孔又はスリットを有する。   A recovery plate 32 is arranged in parallel with the support plate 30 of the heating panel 31 via a predetermined gap. The collection plate 32 has a hole or a slit for collecting the return gas of hot air blown to the article W to be heated by the heating panel 31.

噴射ノズル29から噴出され回収板32によって回収された被加熱物加熱後の熱風は、加熱パネル31の支持板30及び回収板32の間隙を通り、さらに回収通路を通って送風機26の中心部の吸い込み口から吸い込まれ、上方に吹き出される。吹き出された気体がヒーター28により加熱される。   The heated hot air blown from the injection nozzle 29 and recovered by the recovery plate 32 passes through the gap between the support plate 30 and the recovery plate 32 of the heating panel 31 and further passes through the recovery passageway to the central portion of the blower 26. It is sucked from the suction port and blown upward. The blown gas is heated by the heater 28.

冷却ゾーンZ8、Z9は、加熱ゾーンと異なり、ヒーター18及び28を有しない構成とされ、上下に設けられている送風機によって冷却用気体(N2ガス等の不活性ガス又は大気)が冷却パネルを介して被加熱物Wに吹きつけられる構成とされている。冷却パネルは、アルミニウム等の金属板に多数の小孔が形成されたものである。   Unlike the heating zones, the cooling zones Z8 and Z9 are configured not to have the heaters 18 and 28, and the cooling gas (inert gas such as N2 gas or the atmosphere) is passed through the cooling panel by the blowers provided above and below. Thus, it is configured to be sprayed onto the object to be heated W. The cooling panel is formed by forming a large number of small holes in a metal plate such as aluminum.

かかるリフロー装置において、BGA等の熱容量が大きな電子部品と、アルミ電解コンデンサのような熱容量が小さな電子部品が混合して実装されている被加熱物Wの場合には、リフロー工程(予熱工程及び本加熱工程)において良好なはんだ付けがされなかったり、電子部品が損傷するおそれがある。本発明は、かかるリフロー工程時に生じる温度差をなるべく小さくするものである。   In such a reflow apparatus, in the case of an object to be heated W in which an electronic component having a large heat capacity such as a BGA and an electronic component having a small heat capacity such as an aluminum electrolytic capacitor are mounted and mixed, a reflow process (a preheating process and a book) There is a risk that good soldering may not be performed in the heating step) or electronic components may be damaged. The present invention minimizes the temperature difference that occurs during the reflow process.

<2.一実施の形態>
図5及び図6を参照して本発明の一実施の形態について説明する。一実施の形態は、図3及び図4に示すようなリフロー装置に対して本発明を適用したものである。したがって、図5及び図6において、図3及び図4と対応する部分には同一の参照符号を付すことにする。
<2. Embodiment>
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In one embodiment, the present invention is applied to a reflow apparatus as shown in FIGS. Therefore, in FIG. 5 and FIG. 6, the same reference numerals are given to the portions corresponding to FIG. 3 and FIG.

送風機16により形成された気体は、その周辺から下方に吹き出され、整流機構17を介して加熱パネル21に吹き付けられる。加熱パネル21の噴射ノズル19を通じて被加熱物Wに対して吹き付けられる。この気体の流路中に第1のヒーターとしてのヒーター18が設けられ、ヒーター18によって気体が加熱され、熱風が形成される。   The gas formed by the blower 16 is blown downward from the periphery and blown to the heating panel 21 via the rectifying mechanism 17. It is sprayed against the object to be heated W through the spray nozzle 19 of the heating panel 21. A heater 18 as a first heater is provided in the gas flow path, and the gas is heated by the heater 18 to form hot air.

図7A及び図7Bに示すように、加熱パネル21と平行して配置されている回収板22の被加熱物Wと対向する面に遮蔽板23を介して第2のヒーターとしてのヒーターHaが設けられる。図7Aは、図6と同様に被加熱物Wの搬送方向と直交する面で切断した断面図であり、図7Bは、加熱パネル21、ヒーターHa及び回収板23を下から見た平面図である。但し、図7A及び図7Bにおいては、簡単のため回収板22に形成されているスリットの図示を省略する。また、加熱物Wの搬送方向を図7Bにおいて矢印で示す。   As shown in FIGS. 7A and 7B, a heater Ha serving as a second heater is provided on the surface of the recovery plate 22 disposed in parallel with the heating panel 21 and facing the object to be heated W via a shielding plate 23. It is done. 7A is a cross-sectional view taken along a plane orthogonal to the conveyance direction of the article to be heated W as in FIG. 6, and FIG. 7B is a plan view of the heating panel 21, the heater Ha, and the recovery plate 23 as viewed from below. is there. However, in FIG. 7A and FIG. 7B, illustration of the slit formed in the collection | recovery board 22 is abbreviate | omitted for simplicity. Moreover, the conveyance direction of the heating object W is shown by the arrow in FIG. 7B.

ヒーターHaは、棒状例えば円柱状のもので、その延長方向が被加熱物Wの搬送方向と平行するように複数本のヒーターHaが配置されている。ヒーターHaとしては、輻射(放射)加熱を行うもので、例えば図8に拡大して示すように、赤外線(又は遠赤外線)を被加熱物Wに対して照射することによって加熱を行う。図8は、噴射ノズル19、ヒーターHa及び遮蔽板23を部分的に示す。ヒーターHaとしては、赤外線を放射するようになされたシーズヒーター、セラミックヒーター、石英管ヒーター等の種々のものを使用できる。   The heater Ha has a rod shape, for example, a cylindrical shape, and a plurality of heaters Ha are arranged so that the extending direction thereof is parallel to the conveyance direction of the article to be heated W. The heater Ha performs radiant (radiant) heating. For example, as shown in an enlarged view in FIG. 8, the object to be heated W is heated by irradiating infrared rays (or far infrared rays). FIG. 8 partially shows the spray nozzle 19, the heater Ha, and the shielding plate 23. As the heater Ha, various heaters such as a sheathed heater, a ceramic heater, a quartz tube heater, etc. adapted to radiate infrared rays can be used.

遮蔽板23は、アルミニウム等の反射率の高い金属を折り曲げ加工した反射板であり、ヒーターHaの管面に沿った円弧状又は底辺が開口された台形状の断面を有する。ヒーターHaで発生して回収板22に向かう方向の赤外線が遮蔽板23によって下方に反射されるので、反射成分によっても加熱がなされると共に、赤外線が遮蔽板23を介して回収板22に拡散されることを防止することができる。これによって、局所的加熱の効果が減少することを防止できる。また、ヒーターHaの温度を検出するために熱電対などの温度検出センサー24がヒーターHaの少なくとも一つの表面に取り付けられている。なお、温度検出センサーは、回収板22に接触して設けるようにしてもよい。   The shielding plate 23 is a reflecting plate formed by bending a metal having high reflectance such as aluminum, and has a circular arc shape along the tube surface of the heater Ha or a trapezoidal cross section with an open bottom. Since the infrared ray generated in the heater Ha and directed toward the recovery plate 22 is reflected downward by the shielding plate 23, the infrared ray is also diffused to the recovery plate 22 through the shielding plate 23 while being heated by the reflection component. Can be prevented. This can prevent the effect of local heating from decreasing. Further, a temperature detection sensor 24 such as a thermocouple is attached to at least one surface of the heater Ha in order to detect the temperature of the heater Ha. The temperature detection sensor may be provided in contact with the recovery plate 22.

上述した一実施の形態では、図9に示すように、被加熱物Wの搬送方向と平行する方向に延長するように、ヒーターHa及び遮蔽板23が配置されている。回収板22、32に対して、被加熱物Wに吹き付けた熱風の戻り気体を回収するためのスリットG(又は孔)が形成されている。スリットGは、被加熱物Wにおいて反射した戻り気体を回収する経路を形成するものである。すなわち、スリットGを通過した被加熱物加熱後の熱風は、加熱パネル21の支持板20及び回収板22の対向間隙を通り、さらに回収通路を通って送風機16の中心部の吸い込み口から吸い込まれ、下方に吹き出される。吹き出された気体がヒーター18により加熱される。このスリットGを塞ぐことがないように、ヒーターHaが設けられている。   In the above-described embodiment, as illustrated in FIG. 9, the heater Ha and the shielding plate 23 are disposed so as to extend in a direction parallel to the conveyance direction of the article to be heated W. A slit G (or hole) for collecting the return gas of hot air blown to the article to be heated W is formed in the collection plates 22 and 32. The slit G forms a path for collecting the return gas reflected from the heated object W. That is, the hot air after heating the object to be heated that has passed through the slit G passes through the gap between the support plate 20 and the recovery plate 22 of the heating panel 21, passes through the recovery passage, and is sucked from the suction port at the center of the blower 16. , Blown down. The blown gas is heated by the heater 18. A heater Ha is provided so as not to block the slit G.

図10は、ヒーターHaの配置の変形例を説明するための拡大平面図であり、被加熱物Wの搬送方向を矢印で示す。図10Aに示すように、ヒーターHaは、被加熱物Wの搬送方向と直交するように設けるようにしてもよい。さらに、図10Bに示すように、搬送方向と平行する方向に配置されたヒーターHa1と、搬送方向と直交する方向に配置されたヒーターHa2を設けるようにしてもよい。   FIG. 10 is an enlarged plan view for explaining a modified example of the arrangement of the heaters Ha, and the conveyance direction of the article to be heated W is indicated by an arrow. As shown in FIG. 10A, the heater Ha may be provided so as to be orthogonal to the conveyance direction of the article W to be heated. Furthermore, as shown in FIG. 10B, a heater Ha1 disposed in a direction parallel to the transport direction and a heater Ha2 disposed in a direction orthogonal to the transport direction may be provided.

上述した上部炉体15のヒーターHaと同様に、下部炉体35においても、第2のヒーターとしてのヒーターHbが設けられている。すなわち、加熱パネル31と平行して配置されている回収板32の被加熱物Wと対向する面に遮蔽板33を介して第2のヒーターとしてのヒーターHbが設けられる。ヒーターHbは、ヒーターHaと同様に棒状例えば円柱状のもので、その延長方向が被加熱物Wの搬送方向と平行するように複数本のヒーターHbが配置されている。ヒーターHbは、輻射(放射)加熱を行うものである。なお、ヒーターHa及びHbは、長手方向を複数に分割して、分割部分を独立してON/OFF可能としてもよい。   Similar to the heater Ha of the upper furnace body 15 described above, the lower furnace body 35 is also provided with a heater Hb as a second heater. That is, a heater Hb as a second heater is provided via the shielding plate 33 on the surface of the recovery plate 32 arranged in parallel with the heating panel 31 so as to face the object to be heated W. The heater Hb has a rod shape, for example, a columnar shape like the heater Ha, and a plurality of heaters Hb are arranged so that the extending direction thereof is parallel to the conveying direction of the article to be heated W. The heater Hb performs radiation (radiation) heating. Note that the heaters Ha and Hb may be divided into a plurality of longitudinal directions, and the divided portions may be independently turned on / off.

遮蔽板33は、アルミニウム等の反射率の高い金属を折り曲げ加工した反射板であり、ヒーターHbの管面に沿った円弧状又は底辺が開口された台形状の断面を有する。ヒーターHbで発生して回収板32に向かう方向の赤外線が遮蔽板33によって上方に反射されるので、赤外線が遮蔽板33を介して回収板32に拡散されることを防止することができる。これによって、局所的加熱の効果が減少することを防止できる。また、ヒーターHbの温度を検出するために熱電対などの温度検出センサーがヒーターHbの少なくとも一つの表面に取り付けられている。なお、温度検出センサーは、回収板32に接触して設けるようにしてもよい。ヒーターHaと同様に、ヒーターHbに関しても図10に示すような配置例が可能である。   The shielding plate 33 is a reflecting plate formed by bending a metal having high reflectance such as aluminum, and has a circular arc shape along the tube surface of the heater Hb or a trapezoidal cross section with an open bottom. Since the infrared rays generated in the heater Hb and directed toward the collection plate 32 are reflected upward by the shielding plate 33, it is possible to prevent the infrared rays from being diffused to the collection plate 32 through the shielding plate 33. This can prevent the effect of local heating from decreasing. Further, a temperature detection sensor such as a thermocouple is attached to at least one surface of the heater Hb in order to detect the temperature of the heater Hb. The temperature detection sensor may be provided in contact with the collection plate 32. Similar to the heater Ha, the heater Hb can be arranged as shown in FIG.

ヒーターHa及びHbのそれぞれは、被加熱物Wに実装される電子部品の熱容量と関連して独立にON/OFF可能となされている。この場合、熱容量が大きい電子部品に対する熱風の温度を高くするように、ヒーターHa及びHbがONとされる。リフロー処理の対象とする被加熱物Wの大きさ、搭載される部品、その配置等の情報は、例えば基板のガーバーデータ等をもとに予め作成しておき、その情報に基づいて本発明のリフロー装置の例えば制御部によってヒーターHa及びHbのON/OFFが制御される。例えば高熱容量部品であるBGAが配置されている被加熱物Wのライン上近傍のヒーターのみを所定の温度に設定の上ONさせるといったヒーターHa及びHbのON/OFF制御がされる。   Each of the heaters Ha and Hb can be independently turned on / off in association with the heat capacity of the electronic component mounted on the article to be heated W. In this case, the heaters Ha and Hb are turned on so as to increase the temperature of the hot air for the electronic component having a large heat capacity. Information such as the size of the object to be heated W to be reflowed, the components to be heated, and the arrangement thereof is prepared in advance based on, for example, the Gerber data of the substrate, and based on the information, For example, the control unit of the reflow apparatus controls ON / OFF of the heaters Ha and Hb. For example, ON / OFF control of the heaters Ha and Hb is performed such that only the heaters near the line of the object to be heated W on which the BGA, which is a high heat capacity component, is arranged are set to a predetermined temperature and turned on.

例えば図11に拡大して示すように、被加熱物Wが熱容量の大きな電子部品(BGA等)P1,P2と、熱容量が小さな電子部品(アルミ電解コンデンサ等)Q1,Q2の両者が実装されている場合、電子部品P1及びP2の直上のヒーターHaが選択的にONとされる。この結果、細線の温度プロファイルで示すように、電子部品P1及びP2に対しての加熱温度は、熱風(例えば200℃の温度)に加えてヒーターHaの部分加熱が加わるので、例えば230℃となる。一方、電子部品Q1及びQ2に対する加熱は、ヒーターHaがOFFであるため、部分加熱がなされず200℃の熱風による加熱となる。電子部品P1及びP2の熱容量が大きいので、このように加熱の温度をより高くした結果、電子部品P1及びP2の表面温度と電子部品Q1及びQ2の表面温度がほぼ等しくなり、熱容量の違いによる温度差を少ないものとできる。なお、図11では省略しているが、ヒーターHbもヒーターHaと同様に制御される。   For example, as shown in an enlarged view in FIG. 11, both the electronic parts (BGA and the like) P1 and P2 having a large heat capacity and the electronic parts (aluminum electrolytic capacitors and the like) Q1 and Q2 having a small heat capacity are mounted. If there is, the heater Ha immediately above the electronic components P1 and P2 is selectively turned on. As a result, as shown in the temperature profile of the thin line, the heating temperature for the electronic components P1 and P2 is, for example, 230 ° C. because the partial heating of the heater Ha is applied in addition to the hot air (for example, a temperature of 200 ° C.). . On the other hand, the heating of the electronic components Q1 and Q2 is performed by hot air at 200 ° C. without partial heating because the heater Ha is OFF. Since the heat capacities of the electronic parts P1 and P2 are large, the surface temperature of the electronic parts P1 and P2 and the surface temperature of the electronic parts Q1 and Q2 become substantially equal as a result of increasing the heating temperature in this way. The difference can be reduced. Although omitted in FIG. 11, the heater Hb is also controlled in the same manner as the heater Ha.

被加熱物Wは、搬送コンベア41によって搬送されるので、静止しているわけではない。したがって、搬送中の被加熱物Wの電子部品のそれぞれに対して適切な加熱温度となるように、ヒーターHa及びHbがON/OFFされる。但し、被加熱物Wの搬送速度を変化させたり、被加熱物Wの搬送を停止した状態で加熱処理を行うことも可能である。   Since the article to be heated W is transported by the transport conveyor 41, it is not stationary. Therefore, the heaters Ha and Hb are turned on / off so that the heating temperature is appropriate for each of the electronic components of the article to be heated W being conveyed. However, it is also possible to perform the heat treatment in a state where the conveyance speed of the article to be heated W is changed or the conveyance of the article to be heated W is stopped.

<2.変形例>
以上、本開示の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えばヒーターHa及びHbを複数の噴射ノズル毎に一つ配置するようにしてもよい。さらに、上側炉体と下側炉体の一方のみを有する構成としてもよい。さらに、複数の加熱ゾーンの全てに第2のヒーターを設けてもよいし、その一部の加熱ゾーンに第2のヒーターを設けてもよい。また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本開示の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
<2. Modification>
Although the embodiments of the present disclosure have been specifically described above, the present disclosure is not limited to the above-described embodiments, and various modifications based on the technical idea of the present disclosure are possible. For example, one heater Ha and Hb may be arranged for each of a plurality of spray nozzles. Furthermore, it is good also as a structure which has only one of an upper side furnace body and a lower side furnace body. Furthermore, the second heater may be provided in all of the plurality of heating zones, or the second heater may be provided in a part of the heating zones. Further, the configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, and the like given in the above-described embodiments are merely examples, and different configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, etc. are used as necessary. May be. The configurations, methods, steps, shapes, materials, numerical values, and the like of the above-described embodiments can be combined with each other without departing from the gist of the present disclosure.

11・・・搬入口
12・・・搬出口
14・・・強制冷却ユニット
15・・・上部炉体
16,26・・・送風機
18,28・・・第1のヒーター
19,29・・・噴射ノズル
20,30・・・支持板
22,32・・・回収板
23,33・・・遮蔽板
35・・・下部炉体
41・・・搬送コンベヤ
Ha,Hb・・・第2のヒーター
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Carry-in port 12 ... Carry-out port 14 ... Forced cooling unit 15 ... Upper furnace body 16, 26 ... Blower 18, 28 ... First heater 19, 29 ... Injection Nozzles 20, 30 ... support plate 22, 32 ... recovery plate 23, 33 ... shielding plate 35 ... lower furnace body 41 ... transport conveyor Ha, Hb ... second heater

Claims (8)

送風機と、
前記送風機により形成される気体流路中に配置される第1のヒーターと、
複数の小孔を有し、前記第1のヒーターにより形成される熱風を前記小孔を通じて被加熱物に吹き付ける加熱パネルと、
被加熱物の搬送方向と平行及び/又は直交するように、前記加熱パネルに対して遮蔽板を介して取り付けられ、被加熱物を輻射熱で加熱する第2のヒーターとを備え、
前記第2のヒーターを被加熱物に実装される電子部品の熱容量と関連して独立にON/OFFするようにしたリフロー装置。
A blower,
A first heater disposed in a gas flow path formed by the blower;
A heating panel that has a plurality of small holes and blows hot air formed by the first heater onto the object to be heated through the small holes;
A second heater that is attached to the heating panel via a shielding plate so as to be parallel and / or orthogonal to the conveyance direction of the heated object, and that heats the heated object with radiant heat,
A reflow apparatus in which the second heater is independently turned on / off in association with the heat capacity of an electronic component mounted on an object to be heated.
前記遮蔽板は、前記第2のヒーターと前記加熱パネルの間に介在され、前記第2のヒーターの発生する赤外線又は遠赤外線を前記被加熱物側に反射させる反射板である請求項1に記載のリフロー装置。   The said shielding board is interposed between the said 2nd heater and the said heating panel, and is a reflecting plate which reflects the infrared rays or far infrared rays which the said 2nd heater generate | occur | produces in the said to-be-heated material side. Reflow equipment. 熱容量が大きい電子部品に対する加熱温度を高くするように、前記第2のヒーターがONとされる請求項1又は2に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1 or 2, wherein the second heater is turned on so as to increase a heating temperature for an electronic component having a large heat capacity. 前記加熱パネルは、平板状の支持板と、前記支持板から被加熱物に対して突出する複数の噴射ノズルを有する請求項1乃至3の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the heating panel includes a flat support plate and a plurality of injection nozzles that protrude from the support plate with respect to an object to be heated. 前記支持板と間隙を介してほぼ平行に配され、前記加熱パネルが被加熱物に吹き付けた熱風の戻り気体を通過させる孔又はスリットを有する回収板が設けられ、
前記第2のヒーターが前記回収板に取り付けられる請求項1乃至4の何れかに記載のリフロー装置。
A recovery plate is provided that has a hole or a slit that is arranged substantially in parallel with the support plate through a gap, and that allows the return of hot air blown to the object to be heated by the heating panel.
The reflow apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the second heater is attached to the recovery plate.
前記第2のヒーターに温度検出センサーを設けた請求項1乃至5の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1, wherein a temperature detection sensor is provided in the second heater. 前記加熱パネルに温度検出センサーを設けた請求項1乃至6の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein a temperature detection sensor is provided on the heating panel. 前記第2のヒーターが棒状である請求項1乃至7の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow device according to any one of claims 1 to 7, wherein the second heater has a rod shape.
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