JP6133631B2 - Reflow device - Google Patents

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

本技術は、リフロー装置に関する。   The present technology relates to a reflow apparatus.

電子部品またはプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベアで搬送し、はんだ付けを行ったり、熱硬化性接着剤によって電子部品を基板上に固定したりするために、リフロー装置が使用されている。リフロー装置の従来技術として、以下の技術が開示されている。   A solder composition is supplied in advance to an electronic component or a printed wiring board, and the substrate is transferred into a reflow furnace by a transfer conveyor and soldered, or the electronic component is placed on the substrate by a thermosetting adhesive. For example, a reflow device is used to fix the device. The following techniques are disclosed as conventional techniques of the reflow apparatus.

特許文献１のリフロー装置では、基板を加熱するリフロー炉の１つの加熱空間内に、基板を搬送する搬送コンベアを２つ搬送方向に沿って並列に設置し、複数の基板を並行して搬送しながら加熱することによって、面積生産性を向上している。   In the reflow apparatus of Patent Document 1, two transport conveyors for transporting a substrate are installed in parallel along the transport direction in one heating space of a reflow furnace for heating the substrate, and a plurality of substrates are transported in parallel. The area productivity is improved by heating while heating.

特許文献２および特許文献３のリフロー装置では、基板を搬送する搬送コンベアを２つ搬送方向に沿って並列に設置し、さらに２つの搬送コンベアの間に隔壁を設けて、基板を加熱する加熱炉の加熱空間を２つに仕切っている。このリフロー装置では、２つの搬送コンベアのそれぞれで搬送される基板の温度を、それぞれ独立した温度プロファイルに従って制御することができる。   In the reflow apparatuses of Patent Document 2 and Patent Document 3, two conveying conveyors for conveying a substrate are installed in parallel along the conveying direction, and a partition is provided between the two conveying conveyors to heat the substrate. The heating space is divided into two. In this reflow apparatus, the temperature of the board | substrate conveyed by each of two conveyance conveyors can be controlled according to each independent temperature profile.

特開２０１１−１１９５４４号公報JP 2011-119544 A 特開２０１１−１１９４６３号公報JP 2011-119463 A 特開２０１１−１１９４６４号公報JP 2011-119464 A

しかしながら、特許文献２および特許文献３のリフロー装置では、隔壁を介して隣接する加熱空間の間で温度干渉が生じるため、基板の温度制御が不安定になってしまう。特に、２つの加熱空間の温度差が大きい場合、低い温度の加熱空間が高い温度の加熱空間から受ける温度干渉の影響が大きいため、低い温度側の加熱空間で搬送される基板の温度制御が不安定になってしまう。また、温度干渉のみならず、従来技術では隔壁を介して隣接する加熱空間の間での酸素濃度雰囲気干渉が生じるため、炉内の酸素濃度制御も不安定になってしまう。特に、２つの加熱空間の酸素濃度差が大きい場合、低酸素濃度雰囲気側の加熱空間が高酸素濃度（大気等）の加熱空間から受ける酸素濃度干渉の影響が大きいため、基板が搬送される、低酸素濃度雰囲気側の加熱空間で、酸素濃度制御が不安定になってしまう。   However, in the reflow apparatuses of Patent Document 2 and Patent Document 3, temperature interference occurs between adjacent heating spaces via the partition walls, so that the temperature control of the substrate becomes unstable. In particular, when the temperature difference between the two heating spaces is large, the temperature interference of the low temperature heating space from the high temperature heating space is large, and thus the temperature control of the substrate transported in the low temperature heating space is not possible. It becomes stable. Further, not only temperature interference but also oxygen concentration atmosphere interference between adjacent heating spaces via the partition wall occurs in the prior art, so that oxygen concentration control in the furnace becomes unstable. In particular, when the oxygen concentration difference between the two heating spaces is large, the heating space on the low oxygen concentration atmosphere side is greatly affected by oxygen concentration interference received from the heating space with a high oxygen concentration (such as the atmosphere), so the substrate is transported. Oxygen concentration control becomes unstable in the heating space on the low oxygen concentration atmosphere side.

したがって、本技術の目的は、隔壁によって搬送装置ごとに炉内が複数の空間に仕切られたリフロー装置において、隔壁を介して隣り合う空間の間の温度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、基板の温度制御を安定して行うことができるリフロー装置を提供することにある。さらに、隔壁を介して隣り合う空間の間の酸素濃度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、酸素濃度制御を安定して行うことができるリフロー装置を提供することにある。   Therefore, an object of the present technology is to suppress temperature interference between adjacent spaces through the partition walls in the reflow device in which the inside of the furnace is partitioned into a plurality of spaces for each transfer device by the partition walls, thereby It is an object of the present invention to provide a reflow apparatus that can stably control the temperature of a substrate. Furthermore, it is providing the reflow apparatus which can perform oxygen concentration control stably in each of several space by suppressing the oxygen concentration interference between adjacent spaces through a partition.

上述した課題を解決するために、本技術は、複数のゾーンに分割されたリフロー炉内に、被加熱物を搬送する複数の搬送装置が、搬送方向に沿って並列に設けられ、複数の搬送装置によって搬送される複数の被加熱物をそれぞれ加熱し、隣り合う搬送装置の間に、断熱隔壁が設けられ、
リフロー炉の炉体は、上部炉体と下部炉体とから構成され、
上部炉体は、開閉され、
断熱隔壁は、上部炉体内を仕切る第１の隔壁と、下部炉体内を仕切る第２の隔壁とを含み、
第１の隔壁の対向端部および第２の隔壁の対向端部の一方が開放形状であり、
上部炉体が閉じた状態において、他方の対向端部が、一方の開放形状の対向端部に嵌合されるようにしたリフロー装置である。
In order to solve the above-described problem, in the present technology, in a reflow furnace divided into a plurality of zones, a plurality of conveying devices that convey an object to be heated are provided in parallel along the conveying direction, and a plurality of conveying devices are provided. a plurality of object to be heated is conveyed by the apparatus is heated, respectively, during the transport device adjacent adiabatic partition wall provided et al is,
The furnace body of the reflow furnace is composed of an upper furnace body and a lower furnace body,
The upper furnace body is opened and closed,
The heat insulating partition includes a first partition that partitions the upper furnace body and a second partition that partitions the lower furnace body,
One of the opposing end of the first partition and the opposing end of the second partition is an open shape,
In the state where the upper furnace body is closed, the other facing end is fitted to one opening shaped facing end .

本技術によれば、隔壁を介して隣り合う空間の間の温度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、基板の温度制御を安定して行うことができる。さらに、隔壁を介して隣り合う空間の間の酸素濃度干渉を抑制することで、複数の空間のそれぞれで、酸素濃度制御を安定して行うことができる。   According to the present technology, the temperature control of the substrate can be stably performed in each of the plurality of spaces by suppressing the temperature interference between the adjacent spaces via the partition walls. Furthermore, by suppressing the oxygen concentration interference between the adjacent spaces through the partition walls, the oxygen concentration control can be stably performed in each of the plurality of spaces.

図１Ａは、リフロー装置を上方から見た略線図である。図１Ｂは、リフロー装置を側方から見た略線図である。FIG. 1A is a schematic diagram of the reflow device as viewed from above. FIG. 1B is a schematic diagram of the reflow device as viewed from the side. 図２は、リフロー炉の構成を示す概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the reflow furnace. 図３は、リフロー時の温度プロファイルの一例を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing an example of a temperature profile during reflow. 図４は、リフロー装置の１つのゾーンの構成の一例を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of one zone of the reflow apparatus. 図５は、隔壁の構成例を示す概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of a partition wall. 図６Ａは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。図６Ｂは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。FIG. 6A is a schematic cross-sectional view for explaining a fitting structure of a partition wall. FIG. 6B is a schematic cross-sectional view for explaining the fitting structure of the partition walls. 図７Ａは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。図７Ｂは、隔壁の嵌合構造を説明するための概略断面図である。FIG. 7A is a schematic cross-sectional view for explaining a fitting structure of a partition wall. FIG. 7B is a schematic cross-sectional view for explaining the fitting structure of the partition walls. 図８は、隔壁の構成例を示す概略断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of the partition wall. 図９は、隔壁の第１の構成例を示す概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a first configuration example of the partition wall. 図１０Ａは、隔壁の第２の構成例の１例を示す概略断面図である。図１０Ｂは、隔壁の第２の構成例の他の例を示す概略断面図である。FIG. 10A is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a second configuration example of a partition wall. FIG. 10B is a schematic cross-sectional view illustrating another example of the second configuration example of the partition walls. 図１１は、隔壁の第３の構成例の一例を示す概略断面図である。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a third configuration example of the partition walls. 図１２Ａは、隔壁の第３の構成例の一例を示す概略断面図である。図１２Ｂは、隔壁の第３の構成例の他の例を示す概略断面図である。FIG. 12A is a schematic cross-sectional view illustrating an example of a third configuration example of the partition wall. FIG. 12B is a schematic cross-sectional view illustrating another example of the third configuration example of the partition walls. 図１３Ａは、隔壁の第４の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１２Ｂは、隔壁の第４の構成例の第２の例を示す概略断面図である。FIG. 13A is a schematic cross-sectional view illustrating a first example of a fourth configuration example of the partition walls. FIG. 12B is a schematic cross-sectional view illustrating a second example of the fourth configuration example of the partition walls. 図１４Ａは、隔壁の第４の構成例の第３の例を示す概略断面図である。図１４Ｂは、隔壁の第４の構成例の第４の例を示す概略断面図である。図１４Ｃは、隔壁の第４の構成例の第５の例を示す概略断面図である。図１４Ｄは、隔壁の第４の構成例の第６の例を示す概略断面図である。FIG. 14A is a schematic cross-sectional view illustrating a third example of the fourth configuration example of the partition walls. FIG. 14B is a schematic cross-sectional view illustrating a fourth example of the fourth configuration example of the partition walls. FIG. 14C is a schematic cross-sectional view illustrating a fifth example of the fourth configuration example of the partition walls. FIG. 14D is a schematic cross-sectional view illustrating a sixth example of the fourth configuration example of the partition walls. 図１５Ａは、隔壁の第５の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１５Ｂは、隔壁の第５の構成例の第２の例を示す概略断面図である。FIG. 15A is a schematic cross-sectional view illustrating a first example of a fifth configuration example of the partition walls. FIG. 15B is a schematic cross-sectional view illustrating a second example of the fifth configuration example of the partition walls. 図１６Ａは、隔壁の第５の構成例の第３の例を示す概略断面図である。図１６Ｂは、隔壁の第５の構成例の第４の例を示す概略断面図である。図１６Ｃは、隔壁の第５の構成例の第５の例を示す概略断面図である。図１６Ｄは、隔壁の第５の構成例の第６の例を示す概略断面図である。FIG. 16A is a schematic cross-sectional view illustrating a third example of the fifth configuration example of the partition walls. FIG. 16B is a schematic cross-sectional view illustrating a fourth example of the fifth configuration example of the partition walls. FIG. 16C is a schematic cross-sectional view illustrating a fifth example of the fifth configuration example of the partition walls. FIG. 16D is a schematic cross-sectional view illustrating a sixth example of the fifth configuration example of the partition walls. 図１７Ａは、隔壁の第６の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１７Ｂは、隔壁の第６の構成例の第２の例を示す概略断面図である。FIG. 17A is a schematic cross-sectional view illustrating a first example of a sixth configuration example of the partition walls. FIG. 17B is a schematic cross-sectional view illustrating a second example of the sixth configuration example of the partition walls. 図１８Ａは、隔壁の第６の構成例の第３の例を示す概略断面図である。図１８Ｂは、隔壁の第６の構成例の第４の例を示す概略断面図である。図１８Ｃは、隔壁の第６の構成例の第５の例を示す概略断面図である。図１８Ｄは、隔壁の第６の構成例の第６の例を示す概略断面図である。FIG. 18A is a schematic cross-sectional view illustrating a third example of the sixth configuration example of the partition walls. FIG. 18B is a schematic cross-sectional view illustrating a fourth example of the sixth configuration example of the partition walls. FIG. 18C is a schematic cross-sectional view illustrating a fifth example of the sixth configuration example of the partition walls. FIG. 18D is a schematic cross-sectional view illustrating a sixth example of the sixth configuration example of the partition walls. 図１９Ａは、隔壁の第７の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図１９Ｂは、隔壁の第７の構成例の第２の例を示す概略断面図である。図１９Ｃは、隔壁の第７の構成例の第３の例を示す概略断面図である。FIG. 19A is a schematic cross-sectional view showing a first example of a seventh configuration example of the partition walls. FIG. 19B is a schematic cross-sectional view illustrating a second example of the seventh configuration example of the partition walls. FIG. 19C is a schematic cross-sectional view illustrating a third example of the seventh configuration example of the partition walls. 図２０Ａは、隔壁の第８の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図２０Ｂは、隔壁の第８の構成例の第２の例を示す概略断面図である。図２０Ｃは、隔壁の第８の構成例の第３の例を示す概略断面図である。FIG. 20A is a schematic cross-sectional view illustrating a first example of the eighth configuration example of the partition walls. FIG. 20B is a schematic cross-sectional view illustrating a second example of the eighth configuration example of the partition walls. FIG. 20C is a schematic cross-sectional view illustrating a third example of the eighth configuration example of the partition walls. 図２１Ａは、隔壁の第９の構成例の第１の例を示す概略断面図である。図２１Ｂは、隔壁の第９の構成例の第２の例を示す概略断面図である。図２１Ｃは、隔壁の第９の構成例の第３の例を示す概略断面図である。FIG. 21A is a schematic cross-sectional view illustrating a first example of a ninth configuration example of a partition wall. FIG. 21B is a schematic cross-sectional view illustrating a second example of the ninth configuration example of the partition walls. FIG. 21C is a schematic cross-sectional view illustrating a third example of the ninth configuration example of the partition walls. 図２２Ａは第１０の構成例の隔壁の概略断面図である。図２２Ｂは第１０の構成例の隔壁を側方から見た概略図である。FIG. 22A is a schematic cross-sectional view of the partition wall of the tenth configuration example. FIG. 22B is a schematic view of the partition wall of the tenth configuration example viewed from the side.

以下、本技術の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
１．第１の実施の形態
２．第２の実施の形態
３．他の実施の形態（変形例） Hereinafter, embodiments of the present technology will be described with reference to the drawings. The description will be given in the following order.
1. First Embodiment 2. FIG. Second Embodiment 3. FIG. Other embodiment (modification)

１．第１の実施の形態
本技術の第１の実施の形態によるリフロー装置について、図面を参照しながら説明する。図１Ａおよび図１Ｂは、本技術の第１の実施の形態によるリフロー装置の外板を除いた全体構成を概略的に示す。図１Ａは、リフロー装置を上方から見た略線図である。図１Ｂは、リフロー装置を側方から見た略線図である。 1. First Embodiment A reflow apparatus according to a first embodiment of the present technology will be described with reference to the drawings. 1A and 1B schematically show an overall configuration excluding the outer plate of the reflow device according to the first embodiment of the present technology. FIG. 1A is a schematic diagram of the reflow device as viewed from above. FIG. 1B is a schematic diagram of the reflow device as viewed from the side.

図１Ａおよび図１Ｂに示すように、リフロー装置は、搬送方向に沿って並列に設置された、被加熱物Ｗを搬送する搬送装置である第１の搬送コンベア１０ａおよび第２の搬送コンベア１０ｂと、リフロー炉２とを備える。なお、以下では、第１の搬送コンベア１０ａと第２の搬送コンベア１０ｂとを区別しない場合は、搬送コンベア１０とする。   As shown in FIG. 1A and FIG. 1B, the reflow device includes a first transport conveyor 10a and a second transport conveyor 10b that are installed in parallel along the transport direction and that transport the article to be heated W. The reflow furnace 2 is provided. In addition, below, when not distinguishing the 1st conveyance conveyor 10a and the 2nd conveyance conveyor 10b, it is set as the conveyance conveyor 10. FIG.

リフロー炉２は、被加熱物Ｗ（例えば、両面に表面実装用電子部品が搭載されたプリント配線基板）を上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送コンベア１０は、被加熱物Ｗをリフロー炉２内に搬送するためものである。   The reflow furnace 2 is for heating an object to be heated W (for example, a printed wiring board on which both surface mounting electronic components are mounted) from above and below and cooling after heating. The transport conveyor 10 is for transporting the article to be heated W into the reflow furnace 2.

リフロー炉２の内部は、隔壁２０によって、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａと、第２の搬送コンベア１０ｂ側の第２の空間４０ｂとに仕切られている。隔壁２０は、断熱性を有する断熱隔壁である。隔壁２０は内部に空間を有し、リフロー炉２には、隔壁２０の内部空間に導通する複数のガス導入管２１が設けられ、このガス導入管２１からガスが、隔壁２０の内部空間に導入される。   The interior of the reflow furnace 2 is partitioned by a partition wall 20 into a first space 40a on the first transport conveyor 10a side and a second space 40b on the second transport conveyor 10b side. The partition wall 20 is a heat insulating partition wall having a heat insulating property. The partition wall 20 has a space inside, and the reflow furnace 2 is provided with a plurality of gas introduction pipes 21 that conduct to the interior space of the partition wall 20, and gas is introduced from the gas introduction pipes 21 into the interior space of the partition wall 20. Is done.

図２は、リフロー炉の構成を示す概略断面図である。図２に示すように、被加熱物Ｗが、搬送コンベア１０の上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベア１０が所定速度で矢印方向（図の左から右方向）へ被加熱物Ｗを搬送し、被加熱物Ｗが搬出口１２から取り出される。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the reflow furnace. As shown in FIG. 2, the article to be heated W is placed on the conveyor 10 and is carried into the furnace of the reflow device from the carry-in entrance 11. The conveyor 10 conveys the article to be heated W at a predetermined speed in the direction of the arrow (from left to right in the figure), and the article to be heated W is taken out from the carry-out port 12.

搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入り口側から８個のゾーンＺ１〜Ｚ８が加熱ゾーンであり、出口側の１個のゾーンＺ９が冷却ゾーンである。ゾーンＺ９に関連して強制冷却ユニット１３が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。各ゾーンでは、上部炉体１７および下部炉体１８のそれぞれの温度が予め設定された温度となるように制御され、また、送風機の送風量も所定値とされる。   A reflow furnace is sequentially divided into, for example, nine zones Z1 to Z9 along the conveyance path from the carry-in port 11 to the carry-out port 12, and these zones Z1 to Z9 are arranged in-line. Eight zones Z1 to Z8 from the entrance side are heating zones, and one zone Z9 on the exit side is a cooling zone. A forced cooling unit 13 is provided in relation to the zone Z9. The number of zones is an example, and other numbers of zones may be provided. In each zone, the temperature of each of the upper furnace body 17 and the lower furnace body 18 is controlled to be a preset temperature, and the air flow rate of the blower is also set to a predetermined value.

上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図３は、温度プロファイルの概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物Ｗ（例えば電子部品が実装されたプリント配線基板）の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。   The plurality of zones Z1 to Z9 described above controls the temperature of the object to be heated according to the temperature profile during reflow. FIG. 3 shows an outline of the temperature profile. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the surface temperature of the object to be heated W (for example, a printed wiring board on which electronic components are mounted). The first section is the temperature raising portion R1 where the temperature rises due to heating, the next section is the preheating (preheating) portion R2 where the temperature is substantially constant, the next section is the main heating portion R3, and the last section is This is the cooling unit R4.

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント配線基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント配線基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。   The temperature raising portion R1 is a period in which the substrate is heated from room temperature to a preheating portion R2 (for example, 150 ° C. to 170 ° C.). The preheating portion R2 is a period for performing isothermal heating, activating the flux, removing the oxide film on the surface of the electrodes and solder powder, and eliminating the heating unevenness of the printed wiring board. The main heating portion R3 (for example, 220 ° C. to 240 ° C. at the peak temperature) is a period in which the solder is melted and the joining is completed. In the main heating part R3, the temperature needs to be raised to a temperature exceeding the melting temperature of the solder. Even when the preheating portion R2 has passed, the main heating portion R3 needs to be heated to a temperature exceeding the melting temperature of the solder because there is uneven temperature rise. The last cooling part R4 is a period in which the printed wiring board is rapidly cooled to form a solder composition.

図３において、曲線ａは、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線ｂで示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。さらに、図３における曲線ｃは、電子部品をプリント配線基板に固定するための熱硬化性接着剤を硬化する場合のプロファイルを示す。はんだに比して接着剤は、設定温度が低く、また、複雑な温度制御が不要である。   In FIG. 3, curve a shows the temperature profile of lead-free solder. The temperature profile in the case of eutectic solder is shown by the curve b. Since the melting point of lead-free solder is higher than the melting point of eutectic solder, the set temperature in the preheating portion R2 is higher than that of eutectic solder. Further, a curve c in FIG. 3 shows a profile in the case of curing a thermosetting adhesive for fixing the electronic component to the printed wiring board. The adhesive has a lower set temperature than solder and does not require complicated temperature control.

使用されているはんだの種類（鉛フリーはんだと共晶はんだ）、プリント配線基板の種類等に応じてプロファイルが曲線ａおよび曲線ｂの何れかになるように温度制御がなされる。また、リフロー装置を接着剤の硬化工程に使用する場合には、曲線ｃのプロファイルが使用される。   The temperature is controlled so that the profile is either curve a or curve b according to the type of solder used (lead-free solder and eutectic solder), the type of printed wiring board, and the like. Moreover, when using a reflow apparatus for the hardening process of an adhesive agent, the profile of the curve c is used.

リフロー装置では、図３における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１およびＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４およびＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６、Ｚ７およびＺ８が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ９が受け持つ。   In the reflow apparatus, the zones Z1 and Z2 are mainly responsible for the temperature control of the temperature raising portion R1 in FIG. The zones Z3, Z4 and Z5 are mainly responsible for the temperature control of the preheating part R2. The zone Z6, Z7 and Z8 are responsible for temperature control of the main heating unit R3. The zone Z9 is responsible for temperature control of the cooling unit R4.

搬入口１１および搬出口１２のそれぞれには、リフロー炉２内の雰囲気ガスが外部に流出することを防止するガス流出制限部として、ガスシール機構１４および１５が設けられている。ガスシール機構１４および１５としては、例えばラビリンスシール機構を使用できる。搬出口１２側には、フラックス回収システム１６が設けられている。   Each of the carry-in entrance 11 and the carry-out exit 12 is provided with gas seal mechanisms 14 and 15 as gas outflow restricting portions that prevent the atmospheric gas in the reflow furnace 2 from flowing out. As the gas seal mechanisms 14 and 15, for example, a labyrinth seal mechanism can be used. A flux recovery system 16 is provided on the carry-out port 12 side.

このリフロー装置では、被加熱物Ｗが第１の搬送コンベア１０ａにより搬送され、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａを通る搬送路と、被加熱物Ｗが第２の搬送コンベア１０ｂにより搬送され、第２の搬送コンベア１０ｂ側の第２の空間４０ｂを通る搬送路とが設けられる。第１の搬送コンベア１０ａによる搬送路および第２の搬送コンベア１０ｂ側による搬送路では、それぞれ独立した温度プロファイルに従って、被加熱物Ｗの温度が制御される。   In this reflow apparatus, the article to be heated W is conveyed by the first conveyor 10a, the conveyance path passing through the first space 40a on the first conveyor 10a side, and the article W to be heated is the second conveyor 10b. And a conveyance path passing through the second space 40b on the second conveyance conveyor 10b side is provided. In the conveyance path by the 1st conveyance conveyor 10a and the conveyance path by the 2nd conveyance conveyor 10b side, the temperature of the to-be-heated material W is controlled according to an independent temperature profile, respectively.

図４を参照してリフロー装置の一つのゾーンの構成の一例について説明する。なお、図４には、ゾーンＺ７を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が示されている。   An example of the configuration of one zone of the reflow apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows a cross section when the zone Z7 is cut along a plane orthogonal to the transport direction.

図４に示すように、上部炉体１７と下部炉体１８との対向間隙内で、被加熱物Ｗが、搬送コンベア１０上に置かれて搬送される。   As shown in FIG. 4, the object to be heated W is placed on the conveyor 10 and conveyed in the facing gap between the upper furnace body 17 and the lower furnace body 18.

上部炉体１７内および下部炉体１８内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ2）ガスが充満している。なお、雰囲気ガスは窒素（Ｎ2）ガスに代えて大気ガスであってもよい。上部炉体１７および下部炉体１８は、被加熱物Ｗに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出して被加熱物Ｗを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。 The upper furnace body 17 and the lower furnace body 18 are filled with, for example, nitrogen (N 2 ) gas, which is an atmospheric gas. The atmospheric gas may be atmospheric gas instead of nitrogen (N 2 ) gas. The upper furnace body 17 and the lower furnace body 18 heat the article to be heated W by jetting hot air (heated atmospheric gas) to the article to be heated W. In addition, you may irradiate infrared rays with a hot air.

上部炉体１７および下部炉体１８内は、第１の搬送コンベア１０ａと第２の搬送コンベア１０ｂとの間に設けられた隔壁２０によって、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａと、第２の搬送コンベア側の第２の空間４０ｂとに仕切られている。   The inside of the upper furnace body 17 and the lower furnace body 18 is separated from the first space 40a on the first transport conveyor 10a side by the partition wall 20 provided between the first transport conveyor 10a and the second transport conveyor 10b. The second space 40b on the second conveyor side is partitioned.

第１の空間４０ａにおいて、上部炉体１７は、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有し、パネル３３の小孔を通過した熱風が、第１の搬送コンベア１０ａによって搬送される被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。パネル３３は、例えばアルミニウムからなる。   In the first space 40a, the upper furnace body 17 includes, for example, a blower 31 configured as a turbo fan, a heater 32 configured by bending a plurality of heater wires, and a panel having a large number of small holes through which hot air passes (heat storage member). ) 33, and the hot air that has passed through the small holes in the panel 33 is blown from the upper side to the article to be heated W conveyed by the first conveyor 10 a. The panel 33 is made of aluminum, for example.

第１の空間４０ａにおいて、下部炉体１８も上述した上部炉体１７と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有する。パネル３３の小孔を通過した熱風が、第１の搬送コンベア１０ａによって搬送される被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。   In the first space 40a, the lower furnace body 18 has the same configuration as the upper furnace body 17 described above. That is, for example, it has a blower 31 configured as a turbo fan, a heater 32 configured by bending a plurality of heater wires, and a panel (heat storage member) 33 having a large number of small holes through which hot air passes. The hot air that has passed through the small holes of the panel 33 is blown from the lower side to the article to be heated W conveyed by the first conveyor 10a.

第２の空間４０ｂにおいて、上部炉体１７は、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有し、パネル３３の小孔を通過した熱風が、第２の搬送コンベア１０ｂによって搬送される被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。   In the second space 40b, the upper furnace body 17 includes, for example, a blower 31 configured as a turbo fan, a heater 32 configured by bending a plurality of heater wires, and a panel having a large number of small holes through which hot air passes (heat storage member). ) 33 and the hot air that has passed through the small holes in the panel 33 is blown from the upper side to the object to be heated W conveyed by the second conveyor 10b.

第２の空間４０ｂにおいて、下部炉体１８も上述した上部炉体１７と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有する。パネル３３の小孔を通過した熱風が、第２の搬送コンベア１０ｂによって搬送される被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。   In the second space 40b, the lower furnace body 18 has the same configuration as that of the upper furnace body 17 described above. That is, for example, it has a blower 31 configured as a turbo fan, a heater 32 configured by bending a plurality of heater wires, and a panel (heat storage member) 33 having a large number of small holes through which hot air passes. The hot air that has passed through the small holes in the panel 33 is blown from the lower side to the article to be heated W conveyed by the second conveyor 10b.

隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとにより構成されている。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａは、パネル３３とほぼ同じ高さの位置で、ガスが導入される内部空間が形成された部分と、隔壁２０ｂに対向する対向端部とに分けられる。隔壁２０ｂは、パネル３３とほぼ同じ高さの位置で、ガスが導入される内部空間が形成された部分と、隔壁２０ａに対向する対向端部とに分けられる。なお、図４に示す隔壁２０では、ガスが導入される内部空間と対向端部の内部空間とが仕切られているが、仕切られていなくてもよい。   The partition wall 20 includes a partition wall 20 a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17 and a partition wall 20 b on the side of the lower furnace body 18 that partitions the interior of the lower furnace body 18. The partition wall 20a and the partition wall 20b are, for example, two metal plate-like bodies (for example, stainless steel plates, etc.) that each have a space into which gas is introduced. The partition wall 20a is divided into a portion where an internal space into which a gas is introduced is formed at a position substantially the same height as the panel 33, and an opposite end portion facing the partition wall 20b. The partition wall 20b is divided into a portion where an internal space into which gas is introduced is formed at a position substantially the same height as the panel 33, and an opposite end portion facing the partition wall 20a. In the partition wall 20 shown in FIG. 4, the internal space into which the gas is introduced and the internal space at the opposite end are partitioned, but they may not be partitioned.

隔壁２０ａ、２０ｂの対向する対向端部の一方は先細り形状とされ、他方は開放形状とされている。先細り形状とされた一方の対向端部は、開放形状とされた他方の対向端部に嵌合されている。図５Ａは、嵌合部分の拡大断面図である。図４に示す例では、図５Ａに示すように、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、対向端面が開放された開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図５Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。   One of the opposing end portions of the partition walls 20a and 20b has a tapered shape, and the other has an open shape. One opposing end portion that is tapered is fitted to the other opposing end portion that is open. FIG. 5A is an enlarged cross-sectional view of a fitting portion. In the example shown in FIG. 4, as shown in FIG. 5A, the opposing end portion of the partition wall 20 a has a U-shaped cross-section downward, so that the opposing end surface is open, and the opposing end of the partition wall 20 b is formed. The portion is tapered, and the opposite end of the tapered partition 20b is fitted to the opposite end of the opened partition 20a. In addition, as shown to FIG. 5B, the opposing edge part of the partition 20a is made into a taper shape, and the opposing edge part of the partition 20b is made into an open shape by making a cross-section upward U-shape, and a taper-shaped partition wall. The opposed end portion of 20a may be fitted to the opposed end portion of the opened partition wall 20b.

このリフロー装置では、上部炉体１７は、昇降することによって開閉される。なお、図４、図５Ａおよび図５Ｂに示す例は上部炉体１７が閉じた状態である。上部炉体１７が閉じた状態において、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。これにより、２つの隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの設置位置のずれを吸収できる。例えば、上下方向の位置ずれおよび水平方向の位置のずれは、開閉時に先細り形状によって嵌合がスムーズになされて、隔壁の対向端部同士が隙間なく嵌合されることにより吸収される。これにより隔壁２０ａの対向端部と隔壁２０ｂの対向端部との間に隙間が生じてしまうことを防止して、雰囲気ガスが他の空間に流れてしまうことを抑制することで、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制できる。   In this reflow apparatus, the upper furnace body 17 is opened and closed by moving up and down. In addition, the example shown to FIG. 4, FIG. 5A and FIG. 5B is the state which the upper furnace body 17 closed. In the state where the upper furnace body 17 is closed, the opposing end of the tapered partition 20b is fitted to the opposing end of the opened partition 20a. Thereby, the shift | offset | difference of the installation position of the two partition walls 20a and the partition walls 20b can be absorbed. For example, the vertical position shift and the horizontal position shift are absorbed when the opposing ends of the partition walls are fitted with no gap between them when the fitting is smoothly performed by the tapered shape at the time of opening and closing. This prevents a gap from being generated between the opposing end of the partition wall 20a and the opposing end of the partition wall 20b, and suppresses the atmospheric gas from flowing into another space, whereby the first Temperature interference between the space 40a and the second space 40b can be suppressed.

例えば、熱膨張により炉体が水平方向に変形した場合において、図６Ａに示す従来例では、水平方向において、隔壁１２０ａと隔壁１２０ｂとの設置位置のずれ（矢印で示す幅のずれ）が生じる。一方、図６Ｂに示す本技術では、熱膨張により炉体が水平方向に変形した場合において、熱膨張による水平方向の炉体変形に追従でき、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの嵌合がスムーズになされることにより、水平方向の設置位置のずれを吸収できる。   For example, in the case where the furnace body is deformed in the horizontal direction due to thermal expansion, in the conventional example shown in FIG. 6A, the installation positions of the partition wall 120a and the partition wall 120b are displaced in the horizontal direction (the displacement of the width indicated by the arrow). On the other hand, in the present technology shown in FIG. 6B, when the furnace body is deformed in the horizontal direction due to thermal expansion, it is possible to follow the horizontal deformation of the furnace body due to thermal expansion, and the partition wall 20a and the partition wall 20b are smoothly fitted. Therefore, it is possible to absorb the displacement of the horizontal installation position.

例えば、熱膨張により炉体が垂直方向に変形した場合において、図７Ａに示す従来例では、垂直方向において、隔壁１２０ａと隔壁１２０ｂとの設置位置のずれ（矢印で示す幅のずれ）により、隙間が生じて気密性が低下してしまう。一方、本技術では、熱膨張により炉体が垂直方向に変形した場合において、図７Ｂに示す本技術では、熱膨張による垂直方向の炉体変形に追従でき、隔壁２０ａと隔壁２０ｂとの嵌合がスムーズになされ、垂直方向の設置位置のずれを吸収できるため、隙間が生じることを抑制できる。   For example, when the furnace body is deformed in the vertical direction due to thermal expansion, in the conventional example shown in FIG. 7A, the gap is caused by the displacement of the installation position of the partition wall 120a and the partition wall 120b (shift in the width indicated by the arrow) in the vertical direction. Will occur and the airtightness will be reduced. On the other hand, in the present technology, when the furnace body is deformed in the vertical direction due to thermal expansion, the present technology shown in FIG. 7B can follow the vertical furnace body deformation due to thermal expansion, and the partition wall 20a and the partition wall 20b are fitted. Can be made smoothly, and the deviation of the installation position in the vertical direction can be absorbed.

隔壁２０には、内部空間にガスを導入するためのガス導入口２２が設けられている。   The partition wall 20 is provided with a gas inlet 22 for introducing gas into the internal space.

ガスは、ガス導入管２１から導入され、ガス導入口２２を介して、隔壁２０の内部の空間に導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。通常、ガスの温度は、例えば、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂの両方の温度より低い温度であり、例えば、常温または常温より低い温度等である。ガスが導入された隔壁２０は、断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂと間の温度干渉を抑制する機能を有する。 The gas is introduced from the gas introduction pipe 21 and is introduced into the space inside the partition wall 20 through the gas introduction port 22. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used. Usually, the temperature of gas is lower than the temperature of both the first space 40a and the second space 40b, for example, normal temperature or a temperature lower than normal temperature. The partition wall 20 into which the gas has been introduced has a function of suppressing temperature interference between the first space 40a and the second space 40b due to a heat insulating effect.

ガスは、隔壁２０の内部空間に導入された後、リフロー炉２内に排出されてもよいので、炉内の雰囲気ガスと同じ種類のガスを用いることが好ましい。例えば、リフロー炉２の雰囲気ガスにＮ2ガスを用いる場合には、隔壁２０の内部空間に導入されるガスとしては、Ｎ2ガスを用い、リフロー炉２の雰囲気ガスに大気ガスを用いる場合には、隔壁２０に導入されるガスとしては、大気ガスを用いることが好ましい。 Since the gas may be discharged into the reflow furnace 2 after being introduced into the internal space of the partition wall 20, it is preferable to use the same type of gas as the atmospheric gas in the furnace. For example, in the case of using N 2 gas in the atmospheric gas reflow furnace 2, as the gas introduced into the interior space of the partition 20, with N 2 gas, when using atmospheric gases into the atmosphere gas in the reflow furnace 2 It is preferable to use atmospheric gas as the gas introduced into the partition wall 20.

図８は、搬送方向に沿った隔壁２０の断面図である。隔壁２０は、例えば、ゾーンＺ１〜Ｚゾーン８の炉体内を、第１の搬送コンベア１０ａ側の第１の空間４０ａと、第２の搬送コンベア１０ｂ側の第２の空間４０ｂとの２つに仕切っている。なお、ゾーンＺ１〜Ｚゾーン９の炉体内を２つに仕切る構成としてもよい。   FIG. 8 is a cross-sectional view of the partition wall 20 along the transport direction. For example, the partition wall 20 is divided into two zones, a first space 40a on the first transfer conveyor 10a side and a second space 40b on the second transfer conveyor 10b side, in the furnace body of the zone Z1 to Z zone 8. Partitioning. In addition, it is good also as a structure which partitions off the furnace body of the zone Z1-Z zone 9 into two.

隔壁２０は、図８に示すように、３つに区切られている。なお、３つに区切られているのは、リフロー装置の構造に対応させたものであって、特にこのように区切られている必要はないし、区切る位置および数も上述の例に限定されない。   The partition 20 is divided into three as shown in FIG. In addition, what is divided | segmented into three is made to respond | correspond to the structure of a reflow apparatus, Comprising: It does not need to be divided especially in this way, The position and the number to divide are not limited to the above-mentioned example.

ガスは、矢印に示すように、３つのガス導入管２１から隔壁２０のガス導入口２２を介して、隔壁２０の内部の空間に導入される。ガスが雰囲気ガスと同一種類の場合、隔壁２０の内部の空間に導入されたガスは、炉内に排出されてもよい。例えば、部材間の隙間等から、炉内に排出されてもよい。また、ガスを炉内に排出するための排出口を設けて、この排出口から炉内にガスが排出されてもよい。   The gas is introduced into the space inside the partition wall 20 from the three gas introduction pipes 21 through the gas introduction ports 22 of the partition wall 20 as indicated by arrows. When the gas is the same type as the atmospheric gas, the gas introduced into the space inside the partition wall 20 may be discharged into the furnace. For example, you may discharge | emit into a furnace from the clearance gap between members. Further, a discharge port for discharging the gas into the furnace may be provided, and the gas may be discharged from the discharge port into the furnace.

このリフロー装置では、ガスを通すことにより高めた隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を独立して且つ安定に行うことができる。   In this reflow apparatus, the temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20 enhanced by passing gas. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be performed independently and stably in each of the first space 40a and the second space 40b.

２．第２の実施の形態
第２の実施の形態によるリフロー装置について説明する。第２の実施の形態によるリフロー装置は、隔壁の構成を変えたこと以外は第１の実施の形態によるリフロー装置と同様である。したがって、以下では、隔壁の構成例について説明し、その他の構成は、第１の実施の形態と同様であるので、説明を適宜省略する。 2. Second Embodiment A reflow apparatus according to a second embodiment will be described. The reflow apparatus according to the second embodiment is the same as the reflow apparatus according to the first embodiment except that the configuration of the partition walls is changed. Therefore, the configuration example of the partition wall will be described below, and the other configuration is the same as that of the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted as appropriate.

（第１の構成例）
図９は、隔壁の第１の構成例の概略断面図である。隔壁２０は、内部に空間を有し、内部の壁に複数のフィン５１が設けられ、内部空間にガスが導入されたものである。ガスを通すことにより高めた隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。なお、図示は省略するが、隔壁２０には、ヒートゾーン〔温度プロファイルの本加熱部Ｒ３の温度制御を受け持つゾーン（例えばゾーンＺ６〜Ｚ８）〕に対応する位置に、ガスを排出するガス排出口が設けられている。 (First configuration example)
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a first configuration example of the partition wall. The partition wall 20 has a space inside, a plurality of fins 51 are provided on the inner wall, and gas is introduced into the internal space. Temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20 enhanced by passing the gas. Although not shown, the partition wall 20 has a gas discharge port for discharging gas at a position corresponding to a heat zone (a zone in charge of temperature control of the main heating portion R3 of the temperature profile (for example, zones Z6 to Z8)). Is provided.

隔壁２０では、隔壁２０の内部空間に導入されたガスが、図中の矢印に示すように、温度の低いゾーンから温度の高いゾーンに向かって流動し、ガス排出口から炉内（ヒートゾーン）に排出される。   In the partition wall 20, the gas introduced into the inner space of the partition wall 20 flows from the low temperature zone to the high temperature zone as shown by the arrows in the figure, and from the gas discharge port into the furnace (heat zone). To be discharged.

複数のフィン５１を設けることによって、隔壁２０の内部のガスの流動経路が、蛇行するように形成され、流動経路がより長いものとされている。このようなガスの流動経路では、ガスは温度の低いゾーンから温度の高いゾーンに向かって流動し、各ゾーンの熱で徐々に昇温された後、最終的に、ヒートゾーンに対応する位置に設けられたガス排出口から炉内（ヒートゾーン）に排出される。ヒートゾーンに排出されるガスは、排出時に炉内の温度と同程度に昇温されている。したがって、隔壁２０内に導入されて排出されるガスが炉内温度に与える影響を、低減できる。   By providing the plurality of fins 51, the flow path of the gas inside the partition wall 20 is formed so as to meander, and the flow path is longer. In such a gas flow path, the gas flows from a zone having a low temperature toward a zone having a high temperature, gradually heated by the heat of each zone, and finally at a position corresponding to the heat zone. It is discharged into the furnace (heat zone) from the provided gas outlet. The gas discharged to the heat zone is heated to the same temperature as that in the furnace at the time of discharge. Therefore, the influence which the gas introduce | transduced in the partition 20 discharges | emits on the furnace temperature can be reduced.

（第２の構成例）
第２の構成例では、隔壁２０自体が断熱材で構成されている。この場合、隔壁２０の内部にガスを導入する必要はないので、隔壁２０にはガス導入口が設けられていなくてもよい。 (Second configuration example)
In the second configuration example, the partition wall 20 itself is formed of a heat insulating material. In this case, since it is not necessary to introduce gas into the partition 20, the partition 20 may not be provided with a gas inlet.

具体的には、例えば、図１０Ａに示すように、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部空間に、断熱材２０ｄ１が充填されている。第１の実施の形態と同様、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図１０Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。   Specifically, for example, as shown in FIG. 10A, the heat insulating material 20d1 is filled in the internal spaces of the partition walls 20a and 20b. As in the first embodiment, the opposing end of the partition wall 20a has an U-shaped cross-section and is open, the opposing end of the partition 20b is tapered, and the tapered partition The opposite end portion of 20b is fitted to the opposite end portion of the opened partition wall 20a. In addition, as shown to FIG. 10B, the opposing edge part of the partition 20a is made into a taper shape, and the opposing edge part of the partition 20b is made into an open shape by making a cross-section upward U-shape, and a taper-shaped partition wall. The opposed end portion of 20a may be fitted to the opposed end portion of the opened partition wall 20b.

第２の構成例の隔壁２０を備えたリフロー装置では、断熱材で構成された隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。   In the reflow apparatus including the partition wall 20 of the second configuration example, the temperature interference between the first space 40a and the second space 40b is suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20 formed of a heat insulating material. it can. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b.

（第３の構成例）
図１１は、隔壁の第３の構成例の概略断面図である。図１１に示すように、隔壁２０では、内部空間の中心部分に、隔壁２０の厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されている。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の両方には、ガスが導入されている。なお、ガスが一方の空隙２０ｄ２のみに導入されるようにしてもよい。この場合、例えば、隔壁２０で仕切られる２つの空間の温度が低い方の空間に面した空隙２０ｄ２に対して、ガスが導入されることが好ましい。 (Third configuration example)
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of a third configuration example of the partition wall. As shown in FIG. 11, in the partition wall 20, a heat insulating material 20 d 1 having a thickness smaller than the thickness of the partition wall 20 is disposed in the central portion of the internal space, and a gap 20 d 2 is formed between the heat insulating material 20 d 1 and the inner surface of the partition wall 20. ing. Two gaps 20d2 are formed with the heat insulating material 20d1 interposed therebetween, and gas is introduced into both of the two gaps 20d2. The gas may be introduced only into one of the gaps 20d2. In this case, for example, the gas is preferably introduced into the gap 20d2 facing the space where the temperature of the two spaces partitioned by the partition wall 20 is lower.

図１２Ａに示すように、第１の実施の形態と同様、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図１２Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。   As shown in FIG. 12A, as in the first embodiment, the opposing end of the partition wall 20a is formed into an open shape by having a U-shaped cross section downward, and the opposing end of the partition wall 20b is tapered. The opposite end of the tapered partition 20b is fitted to the opposite end of the opened partition 20a. As shown in FIG. 12B, the opposing end of the partition wall 20a has a tapered shape, and the opposing end of the partition wall 20b has an U-shaped cross section. The opposed end portion of 20a may be fitted to the opposed end portion of the opened partition wall 20b.

第３の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。   In the reflow apparatus including the partition wall of the third configuration example, temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b.

（第４の構成例）
図１３Ａは、第４の構成例の隔壁の概略断面図である。第１の実施の形態と同様、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとにより構成されている。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 (Fourth configuration example)
FIG. 13A is a schematic cross-sectional view of a partition wall of a fourth configuration example. As in the first embodiment, the partition wall 20 is composed of a partition wall 20a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17 and a partition wall 20b on the lower furnace body 18 side that partitions the interior of the lower furnace body 18. . The partition wall 20a and the partition wall 20b are, for example, two metal plate-like bodies (for example, stainless steel plates, etc.) that each have a space into which gas is introduced. Gas is introduced into the spaces inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

隔壁２０ａの対向端部が断面Ｍ字状とされることで、対向端面が開放された開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされている。上部炉体１７が閉じた状態において、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。なお、図１３Ｂに示すように、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が、断面Ｍ字状とされることで、開放形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されていてもよい。   The opposing end portion of the partition wall 20a has an M-shaped cross section, so that the opposing end surface is open, and the opposing end portion of the partition wall 20b is tapered. In the state where the upper furnace body 17 is closed, the opposing end of the tapered partition 20b is fitted to the opposing end of the opened partition 20a. As shown in FIG. 13B, the opposite end of the partition wall 20a is tapered, and the opposite end of the partition wall 20b is M-shaped in cross section. The opposed end portion may be fitted to the opposed end portion of the opened partition wall 20b.

なお、図１４Ａ〜図１４Ｂに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材２０ｄ１が充填されていてもよい。また、図１４Ｃ〜図１４Ｄに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０ａおよび２０ｂのそれぞれの厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されていてもよい。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の少なくとも一方には、ガスが導入されている。なお、図に示す例では、２つの空隙２０ｄ２の両方にガスが導入されている。   In addition, as shown to FIG. 14A-FIG. 14B, the heat insulating material 20d1 may be filled into the internal space of the partition 20a, 20b. Further, as shown in FIGS. 14C to 14D, the partition walls 20a and 20b are each provided with a heat insulating material 20d1 having a thickness smaller than the thickness of each of the partition walls 20a and 20b at the central portion of the internal space. A gap 20 d 2 may be formed between the inner surface of the partition wall 20. Two gaps 20d2 are formed with the heat insulating material 20d1 interposed therebetween, and gas is introduced into at least one of the two gaps 20d2. In the example shown in the figure, gas is introduced into both of the two gaps 20d2.

第４の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。   In the reflow apparatus including the partition walls of the fourth configuration example, temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition walls 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b.

（第５の構成例）
図１５Ａは、第５の構成例の隔壁の概略断面図である。第１の実施の形態と同様、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとから構成されている。隔壁２０ａは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体２０ｄ４（例えばステンレス板等の金属板状体等）と板状のガイドプレート２０ｄ５（例えばステンレス板等の金属板状体等）とから構成されている。隔壁２０ｂは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体（例えばステンレス板等の金属板状体等）で構成されている。隔壁２０ａ、２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 (Fifth configuration example)
FIG. 15A is a schematic cross-sectional view of a partition wall of a fifth configuration example. As in the first embodiment, the partition wall 20 is composed of a partition wall 20 a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17 and a partition wall 20 b on the lower furnace body 18 side that partitions the interior of the lower furnace body 18. . The partition wall 20a includes, for example, a plate-like body 20d4 (for example, a metal plate-like body such as a stainless steel plate) having a space into which gas is introduced and a plate-shaped guide plate 20d5 (for example, a metal plate-like body such as a stainless steel plate). ). The partition wall 20b is configured by, for example, a plate-like body (for example, a metal plate-like body such as a stainless steel plate) having a space into which gas is introduced. Gas is introduced into the space inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

隔壁２０ａと隔壁２０ｂとは対向している。隔壁２０ａは、板状体２０ｄ４の両側面のそれぞれに、板状のガイドプレート２０ｄ５が付設されたものである。ガイドプレート２０ｄ５は、板状体２０ｄ４の長手方向に沿って付設され、一部が板状体２０ｄ４の端部から突き出るようにされる。対向する突き出た部分は、それぞれ内側に向かって傾斜しており、対向する突き出た部分の間には、空隙が形成される。対向する突き出た部分の先端の間隔は、隔壁２０ｂの先端の幅より広い幅とされ、これにより、隔壁２０ａの対向端部には、隔壁２０ｂの対向端部が入り込める大きさの幅を有する、開放形状が形成される。上部炉体１７が閉じた状態において、隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。なお、図１５Ｂに示すように、隔壁２０ｂが板状体２０ｄ４と板状のガイドプレート２０ｄ５とから構成され、隔壁２０ａが内部にガスが導入される空間を有する板状体で構成され、隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されるようにしてもよい。   The partition wall 20a and the partition wall 20b are opposed to each other. The partition wall 20a has a plate-shaped guide plate 20d5 attached to each of both side surfaces of the plate-shaped body 20d4. The guide plate 20d5 is provided along the longitudinal direction of the plate-like body 20d4, and a part thereof protrudes from the end of the plate-like body 20d4. The opposing protruding portions are inclined inward, and a gap is formed between the protruding portions facing each other. The distance between the tips of the protruding portions facing each other is wider than the width of the tip of the partition wall 20b, so that the opposite end of the partition wall 20a has a width that allows the opposite end of the partition wall 20b to enter. An open shape is formed. In the state where the upper furnace body 17 is closed, the opposite end of the partition wall 20b is fitted to the opposite end of the opened partition wall 20a. As shown in FIG. 15B, the partition wall 20b is composed of a plate-shaped body 20d4 and a plate-shaped guide plate 20d5. The partition wall 20a is composed of a plate-shaped body having a space into which gas is introduced, and the partition wall 20a. The opposite end portion may be fitted to the opposite end portion of the opened partition wall 20b.

なお、図１６Ａ〜図１６Ｂに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材２０ｄ１が充填されていてもよい。また、図１６Ｃ〜図１６Ｄに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０の厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されていてもよい。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の少なくとも一方には、ガスが導入されている。なお、図に示す例では、２つの空隙２０ｄ２の両方にガスが導入されている。   In addition, as shown to FIG. 16A-FIG. 16B, the heat insulating material 20d1 may be filled into the internal space of the partition walls 20a and 20b. Also, as shown in FIGS. 16C to 16D, the partition walls 20a and 20b are each provided with a heat insulating material 20d1 having a thickness smaller than the thickness of the partition wall 20 in the central portion of the internal space, and the heat insulating material 20d1 and the inner surfaces of the partition walls 20 A gap 20d2 may be formed between the two. Two gaps 20d2 are formed with the heat insulating material 20d1 interposed therebetween, and gas is introduced into at least one of the two gaps 20d2. In the example shown in the figure, gas is introduced into both of the two gaps 20d2.

第５の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。   In the reflow apparatus including the partition walls of the fifth configuration example, temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition walls 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b.

（第６の構成例）
図１７Ａは、第６の構成例の隔壁の概略断面図である。第１の実施の形態と同様、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂとから構成されている。隔壁２０ａは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体２０ｄ４（例えばステンレス板等の金属板状体等）と板状のガイドプレート２０ｄ５（例えばステンレス板等の金属板状体等）とから構成されている。隔壁２０ｂは、例えば、内部にガスが導入される空間を有する板状体（例えばステンレス板等の金属板状体等）で構成されている。隔壁２０ａ、２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 (Sixth configuration example)
FIG. 17A is a schematic cross-sectional view of a partition wall of a sixth configuration example. As in the first embodiment, the partition wall 20 is composed of a partition wall 20 a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17 and a partition wall 20 b on the lower furnace body 18 side that partitions the interior of the lower furnace body 18. . The partition wall 20a includes, for example, a plate-like body 20d4 (for example, a metal plate-like body such as a stainless steel plate) having a space into which gas is introduced and a plate-shaped guide plate 20d5 (for example, a metal plate-like body such as a stainless steel plate). ). The partition wall 20b is configured by, for example, a plate-like body (for example, a metal plate-like body such as a stainless steel plate) having a space into which gas is introduced. Gas is introduced into the space inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

隔壁２０ａと隔壁２０ｂとは対向している。隔壁２０ａは、板状体２０ｄ４の両側面のそれぞれに、板状のガイドプレート２０ｄ５が付設されたものである。ガイドプレート２０ｄ５は、板状体２０ｄ４の長手方向に沿って付設され、一部が板状体２０ｄ４の端部から突き出るようにされる。対向する突き出た部分は、それぞれ外側に向かって傾斜しており、対向する突き出た部分の間には、空隙が形成される。対向する突き出た部分の先端の間隔は、隔壁２０ｂの先端の幅より広い幅とされ、これにより、隔壁２０ａの対向端部には、隔壁２０ｂの対向端部が入り込める大きさの幅を有する、開放形状が形成される。上部炉体１７が閉じた状態において、隔壁２０ｂの対向端部は、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。なお、図１６Ｂに示すように、隔壁２０ｂが板状体２０ｄ４と板状のガイドプレート２０ｄ５とから構成され、隔壁２０ａが内部にガスが導入される空間を有する板状体で構成され、隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合されるようにしてもよい。   The partition wall 20a and the partition wall 20b are opposed to each other. The partition wall 20a has a plate-shaped guide plate 20d5 attached to each of both side surfaces of the plate-shaped body 20d4. The guide plate 20d5 is provided along the longitudinal direction of the plate-like body 20d4, and a part thereof protrudes from the end of the plate-like body 20d4. Opposing protruding portions are inclined outward, and a gap is formed between the protruding portions facing each other. The distance between the tips of the protruding portions facing each other is wider than the width of the tip of the partition wall 20b, so that the opposite end of the partition wall 20a has a width that allows the opposite end of the partition wall 20b to enter. An open shape is formed. In the state where the upper furnace body 17 is closed, the opposite end of the partition wall 20b is fitted to the opposite end of the opened partition wall 20a. As shown in FIG. 16B, the partition wall 20b is composed of a plate-shaped body 20d4 and a plate-shaped guide plate 20d5. The partition wall 20a is composed of a plate-shaped body having a space into which gas is introduced, and the partition wall 20a. The opposite end portion may be fitted to the opposite end portion of the opened partition wall 20b.

なお、図１８Ａ〜図１８Ｂに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材２０ｄ１が充填されていてもよい。また、図１８Ｃ〜図１８Ｄに示すように、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０の厚みより小さい厚みの断熱材２０ｄ１が配され、断熱材２０ｄ１と隔壁２０の内面との間に空隙２０ｄ２が形成されていてもよい。空隙２０ｄ２は、断熱材２０ｄ１を挟んで２つ形成され、この２つの空隙２０ｄ２の少なくとも一方には、ガスが導入されている。なお、図に示す例では、２つの空隙２０ｄ２の両方にガスが導入されている。   In addition, as shown to FIG. 18A-FIG. 18B, the heat insulating material 20d1 may be filled into the internal space of the partition walls 20a and 20b. Further, as shown in FIGS. 18C to 18D, the partition walls 20a and 20b are each provided with a heat insulating material 20d1 having a thickness smaller than the thickness of the partition wall 20 at the center portion of the internal space, and the inner surfaces of the heat insulating material 20d1 and the partition wall 20 A gap 20d2 may be formed between the two. Two gaps 20d2 are formed with the heat insulating material 20d1 interposed therebetween, and gas is introduced into at least one of the two gaps 20d2. In the example shown in the figure, gas is introduced into both of the two gaps 20d2.

第６の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。   In the reflow apparatus provided with the partition wall of the sixth configuration example, temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b.

（第７の構成例）
図１９Ａは、第７の構成例の隔壁の概略断面図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、フッ素ゴム等の耐熱性を有する弾性体とにより構成されている。耐熱性を有する弾性体は、隔壁２０ａの対向端面と隔壁２０ｂとの対向端面との間に配置されている。図１９Ａの例では、耐熱性を有する弾性体として、隔壁２０ａの対向端面と隔壁２０ｂとの対向端面との間に、耐熱チューブ２０ｅ１が配置されている。なお、耐熱性を有する弾性体は、耐熱チューブ２０ｅ１に限定されるものではない。例えば、耐熱性を有する弾性体は、図１９Ｂおよび図１９Ｃに示すように、種々の形状の耐熱パッキン２０ｅ２であってもよい。また、耐熱性を有する弾性体は、耐熱スポンジ等であってもよい。また、図１９Ａ〜図１９Ｃに示す耐熱チューブ２０ｅ１および耐熱パッキン２０ｅ２のように、耐熱性を有する弾性体が空洞を有する場合、空洞にガスを導入するようにしてもよい。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 (Seventh configuration example)
FIG. 19A is a schematic cross-sectional view of a partition wall according to a seventh configuration example. The partition wall 20 is composed of a partition wall 20a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17, a partition wall 20b on the lower furnace body 18 side that partitions the interior of the lower furnace body 18, and an elastic body having heat resistance such as fluorine rubber. Has been. The elastic body having heat resistance is disposed between the opposed end surface of the partition wall 20a and the opposed end surface of the partition wall 20b. In the example of FIG. 19A, as an elastic body having heat resistance, a heat resistant tube 20e1 is disposed between the opposed end surface of the partition wall 20a and the opposed end surface of the partition wall 20b. Note that the heat-resistant elastic body is not limited to the heat-resistant tube 20e1. For example, the elastic body having heat resistance may be heat-resistant packing 20e2 having various shapes as shown in FIGS. 19B and 19C. The elastic body having heat resistance may be a heat resistant sponge or the like. Moreover, when the elastic body which has heat resistance has a cavity like the heat resistant tube 20e1 and the heat resistant packing 20e2 shown to FIG. 19A-FIG. 19C, you may make it introduce | transduce gas into a cavity. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が、耐熱性を有する弾性体を介して、対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 The partition wall 20a and the partition wall 20b are, for example, two metal plate-like bodies (for example, stainless steel plates, etc.) each having a space into which gas is introduced, facing each other through a heat-resistant elastic body. is there. Gas is introduced into the spaces inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

なお、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材が充填されていてもよい。また、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０ａおよび２０ｂのそれぞれの厚みより小さい厚みの断熱材が配され、断熱材と隔壁の内面との間に空隙が形成されていてもよい。空隙は、断熱材を挟んで２つ形成され、この２つの空隙の少なくとも一方には、ガスが導入されている。   In addition, the heat insulating material may be filled in the internal space of the partition walls 20a and 20b. In addition, each of the partition walls 20a and 20b is provided with a heat insulating material having a thickness smaller than the thickness of each of the partition walls 20a and 20b in the central portion of the internal space, and a gap is formed between the heat insulating material and the inner surface of the partition wall. May be. Two voids are formed with a heat insulating material interposed therebetween, and gas is introduced into at least one of the two voids.

第７の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。また、第７の構成例では、耐熱性を有する弾性体を備えているので、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、気密性を確保することができる。例えば、各空間ごとの酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間を通る搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間を通る搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。   In the reflow apparatus provided with the partition wall of the seventh configuration example, temperature interference between the first space 40 a and the second space 40 b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b. In the seventh configuration example, since the heat-resistant elastic body is provided, airtightness can be ensured in each of the first space 40a and the second space 40b. For example, an oxygen concentration atmosphere for each space can be maintained. For example, when heating is performed in an atmospheric state on a conveyance path passing through one space and heating is performed at an oxygen concentration of 50 ppm or the like on a conveyance path passing through the other space, the interference of the oxygen concentration atmosphere between the two spaces Can be suppressed.

（第８の構成例）
図２０Ａは、第８の構成例の隔壁の概略断面図である。図２０Ａは、第８の構成例の隔壁の概略断面図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、フッ素ゴム等の耐熱性を有する弾性体とにより構成されている。 (Eighth configuration example)
FIG. 20A is a schematic cross-sectional view of the partition wall of the eighth configuration example. FIG. 20A is a schematic cross-sectional view of the partition wall of the eighth configuration example. The partition wall 20 is composed of a partition wall 20a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17, a partition wall 20b on the lower furnace body 18 side that partitions the interior of the lower furnace body 18, and an elastic body having heat resistance such as fluorine rubber. Has been.

隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 The partition wall 20a and the partition wall 20b are, for example, two metal plate-like bodies (for example, stainless steel plates, etc.) that each have a space into which gas is introduced. Gas is introduced into the spaces inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

図２０Ａに示すように、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。コ字状の両側壁を連結する連結壁２０ａ１と、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端面との間には、耐熱性を有する弾性体が介在されている。図２０Ａの例では、耐熱性を有する弾性体として、耐熱チューブ２０ｅ１が介在されている。なお、耐熱性を有する弾性体は、耐熱チューブ２０ｅ１に限定されるものではない。例えば、耐熱性を有する弾性体は、図２０Ｂおよび図２０Ｃに示すように、種々の形状の耐熱パッキン２０ｅ２であってもよい。また、耐熱性を有する弾性体は、耐熱スポンジ等であってもよい。図２０Ａ〜図２０Ｃに示す耐熱チューブ２０ｅ１および耐熱パッキン２０ｅ２のように、耐熱性を有する弾性体が空洞を有する場合、空洞にガスを導入するようにしてもよい。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 As shown in FIG. 20A, the opposing end of the partition wall 20a has an U-shaped cross-section and is open, the opposing end of the partition wall 20b is tapered, and the tapered partition wall 20b has a tapered shape. The opposite end is fitted to the opposite end of the opened partition wall 20a. An elastic body having heat resistance is interposed between the connecting wall 20a1 connecting the U-shaped side walls and the opposing end face of the tapered partition 20b. In the example of FIG. 20A, a heat-resistant tube 20e1 is interposed as an elastic body having heat resistance. Note that the heat-resistant elastic body is not limited to the heat-resistant tube 20e1. For example, the elastic body having heat resistance may be heat-resistant packing 20e2 having various shapes as shown in FIGS. 20B and 20C. The elastic body having heat resistance may be a heat resistant sponge or the like. When the elastic body having heat resistance has a cavity like the heat resistant tube 20e1 and the heat resistant packing 20e2 shown in FIGS. 20A to 20C, a gas may be introduced into the cavity. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

なお、隔壁２０ａ、２０ｂの内部空間に断熱材が充填されていてもよい。また、隔壁２０ａ、２０ｂは、それぞれ、内部空間の中心部分に、隔壁２０ａおよび２０ｂのそれぞれの厚みより小さい厚みの断熱材が配され、断熱材と隔壁の内面との間に空隙が形成されていてもよい。空隙は、断熱材を挟んで２つ形成され、この２つの空隙の少なくとも一方には、ガスが導入されている。   In addition, the heat insulating material may be filled in the internal space of the partition walls 20a and 20b. In addition, each of the partition walls 20a and 20b is provided with a heat insulating material having a thickness smaller than the thickness of each of the partition walls 20a and 20b in the central portion of the internal space, and a gap is formed between the heat insulating material and the inner surface of the partition wall. May be. Two voids are formed with a heat insulating material interposed therebetween, and gas is introduced into at least one of the two voids.

第８の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。また、第８の構成例では、耐熱性を有する弾性体を備えているので、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、気密性を確保することができる。例えば、各空間ごとの酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間に設けられる搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間に設けられた搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、隔壁２０で仕切られた２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。   In the reflow apparatus including the partition walls of the eighth configuration example, temperature interference between the first space 40 a and the second space 40 b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition walls 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b. In the eighth configuration example, since the elastic body having heat resistance is provided, airtightness can be ensured in each of the first space 40a and the second space 40b. For example, an oxygen concentration atmosphere for each space can be maintained. For example, when heating is performed in an atmospheric state in a conveyance path provided in one space and heating is performed at an oxygen concentration of 50 ppm or the like in a conveyance path provided in the other space, two spaces partitioned by a partition wall 20 are used. The interference of the oxygen concentration atmosphere can be suppressed.

（第９の構成例）
図２１Ａは、第９の構成例の隔壁の概略断面図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、板ばね材２０ｆ１とにより構成されている。 (Ninth configuration example)
FIG. 21A is a schematic cross-sectional view of the partition wall of the ninth configuration example. The partition wall 20 includes a partition wall 20a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17, a partition wall 20b on the side of the lower furnace body 18 that partitions the interior of the lower furnace body 18, and a leaf spring material 20f1.

隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 The partition wall 20a and the partition wall 20b are, for example, two metal plate-like bodies (for example, stainless steel plates, etc.) that each have a space into which gas is introduced. Gas is introduced into the spaces inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

隔壁２０ａは対向端面に開口を有し、板ばね材２０ｆ１は隔壁２０ａの対向端面の開口を覆うように設けられている。板ばね材２０ｆ１としては、例えば、耐熱フィルム等の耐熱性を有する弾性体を用いることができる。   The partition wall 20a has an opening at the opposing end surface, and the leaf spring material 20f1 is provided so as to cover the opening of the opposing end surface of the partition wall 20a. As the leaf spring material 20f1, for example, an elastic body having heat resistance such as a heat resistant film can be used.

隔壁２０ｂの対向端部は先細り形状とされている。上部炉体１７が閉じた状態において、板ばね材２０ｆ１は隔壁２０ｂの対向端部によって押し込まれることにより、Ｖ字曲線状に湾曲する。隔壁２０ｂの対向端部は、板ばね材２０ｆ１がＶ字曲線状に湾曲することにより形成された空間（凹部）に入りこむ。これにより、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。なお、図２１Ｂの例では、上部炉体１７が閉じた状態において、板ばね材２０ｆ２は、隔壁２０ｂの対向端部によって押し込まれることによりＶ字状に屈曲し、隔壁２０ｂの対向端部は、板ばね材２０ｆ２がＶ字状に屈曲することにより形成された空間（凹部）に入りこむ。これにより、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部は、隔壁２０ａの対向端部に嵌合される。   The opposite end of the partition wall 20b is tapered. In a state where the upper furnace body 17 is closed, the leaf spring material 20f1 is bent into a V-shaped curve by being pushed in by the opposing end of the partition wall 20b. The opposing end portion of the partition wall 20b enters a space (concave portion) formed by the leaf spring material 20f1 being curved in a V-shaped curve. Thereby, the opposing edge part of the taper-shaped partition 20b is fitted by the opposing edge part of the partition 20a. In the example of FIG. 21B, in a state where the upper furnace body 17 is closed, the leaf spring material 20f2 is bent into a V shape by being pushed by the opposing end portion of the partition wall 20b, and the opposing end portion of the partition wall 20b is The leaf spring material 20f2 enters a space (concave portion) formed by bending it into a V shape. Thereby, the opposing edge part of the taper-shaped partition 20b is fitted by the opposing edge part of the partition 20a.

第９の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。また、第９の構成例では、板ばね材を備えているので、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、気密性を確保することができる。例えば、各空間ごとの酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間に設けられた搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間に設けられた搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、隔壁２０で仕切られた２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。   In the reflow apparatus provided with the partition wall of the ninth configuration example, temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b. In the ninth configuration example, since the leaf spring material is provided, airtightness can be secured in each of the first space 40a and the second space 40b. For example, an oxygen concentration atmosphere for each space can be maintained. For example, in the case where heating is performed in an atmospheric state in a conveyance path provided in one space and heating is performed at an oxygen concentration of 50 ppm or the like in a conveyance path provided in the other space, two partitions separated by a partition wall 20 are used. Interference of the oxygen concentration atmosphere between the spaces can be suppressed.

（第１０の構成例）
図２２Ａは第１０の構成例の隔壁の概略断面図である。図２２Ｂは第１０の構成例の隔壁を側方から見た概略図である。隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、隔壁２０ａの内部空間に配置された弾性体２０ｇおよび構造物２０ｈとにより構成されている。 (Tenth configuration example)
FIG. 22A is a schematic cross-sectional view of the partition wall of the tenth configuration example. FIG. 22B is a schematic view of the partition wall of the tenth configuration example viewed from the side. The partition wall 20 includes a partition wall 20a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17, a partition wall 20b on the side of the lower furnace body 18 that partitions the interior of the lower furnace body 18, an elastic body 20g disposed in the internal space of the partition wall 20a, It is comprised by the structure 20h.

隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂは、例えば、それぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの内部の空間には、ガスが導入される。このガスとしては、Ｎ2ガス、大気ガス等を用いることができる。 The partition wall 20a and the partition wall 20b are, for example, two metal plate-like bodies (for example, stainless steel plates, etc.) that each have a space into which gas is introduced. Gas is introduced into the spaces inside the partition walls 20a and 20b. As this gas, N 2 gas, atmospheric gas, or the like can be used.

図２２Ａに示すように、隔壁２０ａの対向端部が、断面下向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ｂの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ｂの対向端部が、開放されている隔壁２０ａの対向端部に嵌合されている。   As shown in FIG. 22A, the opposing end of the partition wall 20a has an U-shaped cross-section and is open, the opposing end of the partition wall 20b is tapered, and the tapered partition wall 20b has a tapered shape. The opposite end is fitted to the opposite end of the opened partition wall 20a.

隔壁２０ａは、コ字状の両側面を連結する連結壁２０ａ１によって２つの空間に仕切られ、上側の空間には、構造物２０ｈおよび構造物２０ｈを支持する弾性体２０ｇが配置されている。弾性体２０ｇの上端は、コ字状の両側面を連結する連結壁２０ａ１に固定され、弾性体２０ｇの下端は構造物２０ｈの下端面に固定されている。図２２Ｂに示すように、隔壁２０ａの両側面のそれぞれには、２つの長孔２０ｉが設けられ、構造物２０ｈに取り付けられたネジ２０ｊが長孔２０ｉに挿入され、弾性体２０ｇの変形に追従して、隔壁２０ａが長孔２０ｉの範囲で上下方向に変位する構成とされている。   The partition wall 20a is partitioned into two spaces by a connecting wall 20a1 that connects both U-shaped side surfaces, and a structure 20h and an elastic body 20g that supports the structure 20h are disposed in the upper space. The upper end of the elastic body 20g is fixed to a connecting wall 20a1 that connects both U-shaped side surfaces, and the lower end of the elastic body 20g is fixed to the lower end surface of the structure 20h. As shown in FIG. 22B, two long holes 20i are provided on both side surfaces of the partition wall 20a, and screws 20j attached to the structure 20h are inserted into the long holes 20i to follow the deformation of the elastic body 20g. The partition 20a is configured to be displaced in the vertical direction within the range of the long hole 20i.

構造物２０ｈは、例えば、板状またはブロック状等の部材である。構造物２０ｈは、特に限定されないが、例えば、金属板等である。図示は省略するが、構造物２０ｈの上端面は炉体内部の上壁面に密接および固定されており、構造物２０ｈの上端面と、炉体内部の上壁面との間に、隙間が生じない構成とされている。また、上部炉体が閉じた状態において、隔壁２０ｂの上端面は、隔壁２０ａの連結壁２０ａ１に密接しており、構造物２０ｈの上端面と隔壁２０ａの連結壁２０ａ１との間に隙間が生じない構成とされている。   The structure 20h is a member such as a plate shape or a block shape, for example. Although the structure 20h is not specifically limited, For example, it is a metal plate etc. Although illustration is omitted, the upper end surface of the structure 20h is closely and fixed to the upper wall surface inside the furnace body, and no gap is formed between the upper end surface of the structure 20h and the upper wall surface inside the furnace body. It is configured. In the state where the upper furnace body is closed, the upper end surface of the partition wall 20b is in close contact with the connection wall 20a1 of the partition wall 20a, and a gap is generated between the upper end surface of the structure 20h and the connection wall 20a1 of the partition wall 20a. There is no configuration.

なお、隔壁２０は、上部炉体１７内を仕切る上部炉体１７側の隔壁２０ａと下部炉体１８内を仕切る下部炉体１８側の隔壁２０ｂと、隔壁２０ｂの内部空間に配置された弾性体２０ｇおよび構造物２０ｈとにより構成されていてもよい。この場合、隔壁２０ｂの対向端部が、断面上向コ字状とされることで、開放形状とされ、隔壁２０ａの対向端部が先細り形状とされ、先細り形状の隔壁２０ａの対向端部が、開放されている隔壁２０ｂの対向端部に嵌合される。   The partition wall 20 includes a partition wall 20a on the upper furnace body 17 side that partitions the interior of the upper furnace body 17, a partition wall 20b on the side of the lower furnace body 18 that partitions the interior of the lower furnace body 18, and an elastic body disposed in the internal space of the partition wall 20b. 20g and the structure 20h may be comprised. In this case, the opposing end portion of the partition wall 20b is formed in an U shape in an upward cross section, thereby forming an open shape, the opposing end portion of the partition wall 20a is tapered, and the opposing end portion of the tapered partition wall 20a is It is fitted to the opposite end of the opened partition wall 20b.

第１０の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、隔壁２０の断熱効果によって、第１の空間４０ａと第２の空間４０ｂとの間の温度干渉を抑制することができる。したがって、第１の空間４０ａおよび第２の空間４０ｂのそれぞれで、被加熱物Ｗの温度制御を安定して行うことができる。   In the reflow apparatus including the partition wall of the tenth configuration example, temperature interference between the first space 40a and the second space 40b can be suppressed by the heat insulating effect of the partition wall 20. Therefore, the temperature control of the object to be heated W can be stably performed in each of the first space 40a and the second space 40b.

また、第１０の構成例の隔壁を備えたリフロー装置では、例えば、加熱により炉体のソリ等の上下方向の変形が発生した場合、炉体の変形に伴い、弾性体２０ｇも上下方向に変形する。そして、弾性体２０ｇの上下方向の変形に追従して、隔壁２０ｂの上端面と隔壁２０ａの連結壁２０ａ１とが密接した状態で、隔壁２０ａが上下方向に変位する。これにより、加熱により炉体のソリ等の上下方向の変形が発生した場合でも、構造物２０ｈの上端面と炉体内部の上壁面とが密接した状態および隔壁２０ｂの上端面と隔壁２０ａの連結壁２０ａ１とが密接した状態を維持することができる。したがって、加熱することにより炉体に変形が生じた場合でも、隔壁２０ａによって仕切られた各空間の気密性を確保することができる。例えば、各空間の酸素濃度雰囲気を維持することができる。例えば、一方の空間を通る搬送路では大気状態で加熱し、他方の空間を通る搬送路では酸素濃度が５０ｐｐｍ等での加熱等を行う場合において、２つの空間の間での酸素濃度雰囲気の干渉を抑制することができる。   Further, in the reflow apparatus having the partition wall of the tenth configuration example, for example, when vertical deformation such as warping of the furnace body occurs due to heating, the elastic body 20g is also deformed in the vertical direction along with the deformation of the furnace body. To do. Then, following the vertical deformation of the elastic body 20g, the partition wall 20a is displaced in the vertical direction in a state where the upper end surface of the partition wall 20b and the connecting wall 20a1 of the partition wall 20a are in close contact with each other. Thereby, even when vertical deformation such as warping of the furnace body occurs due to heating, the upper end surface of the structure 20h and the upper wall surface inside the furnace body are in close contact with each other, and the upper end face of the partition wall 20b is connected to the partition wall 20a. A state in which the wall 20a1 is in close contact can be maintained. Therefore, even when the furnace body is deformed by heating, the airtightness of each space partitioned by the partition wall 20a can be ensured. For example, the oxygen concentration atmosphere in each space can be maintained. For example, when heating is performed in an atmospheric state on a conveyance path passing through one space and heating is performed at an oxygen concentration of 50 ppm or the like on a conveyance path passing through the other space, the interference of the oxygen concentration atmosphere between the two spaces Can be suppressed.

３．他の実施の形態
本技術は、上述した本技術の実施の形態に限定されるものでは無く、本技術の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。 3. Other Embodiments The present technology is not limited to the above-described embodiments of the present technology, and various modifications and applications can be made without departing from the gist of the present technology.

例えば、上述の実施の形態および実施例において挙げた数値、構造、形状、材料、原料、製造プロセス等はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれらと異なる数値、構造、形状、材料、原料、製造プロセス等を用いてもよい。   For example, the numerical values, structures, shapes, materials, raw materials, manufacturing processes and the like given in the above-described embodiments and examples are merely examples, and different numerical values, structures, shapes, materials, raw materials, and the like as necessary. A manufacturing process or the like may be used.

また、上述の実施の形態および実施例の構成、方法、工程、形状、材料および数値等は、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。   The configurations, methods, processes, shapes, materials, numerical values, and the like of the above-described embodiments and examples can be combined with each other without departing from the gist of the present technology.

例えば、リフロー装置に設ける搬送コンベア１０の数は２つに限られず、さらに多数の搬送コンベア１０を設けて、同時により多くの基板のはんだ付けを行うことができるようにしてもよい。この場合、隣り合う搬送コンベア１０の間に隔壁２０が設けられ、多数の搬送コンベア１０ごとに、炉体内が複数の空間に仕切られる。各空間は、第１の空間４０ａと同様の構成を有する。すなわち、各空間において、上部炉体１７は、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有し、パネル３３の小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０によって搬送される被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。パネル３３は、例えばアルミニウムからなる。   For example, the number of transfer conveyors 10 provided in the reflow apparatus is not limited to two, and a larger number of transfer conveyors 10 may be provided so that more boards can be soldered at the same time. In this case, the partition 20 is provided between the adjacent conveyance conveyors 10, and the furnace body is partitioned into a plurality of spaces for each of the large number of conveyance conveyors 10. Each space has a configuration similar to that of the first space 40a. That is, in each space, the upper furnace body 17 is, for example, a blower 31 configured as a turbo fan, a heater 32 configured by bending a plurality of heater wires, and a panel having a large number of small holes through which hot air passes (heat storage member). The hot air that has passed through the small holes of the panel 33 is blown from the upper side to the article to be heated W conveyed by the conveyor 10. The panel 33 is made of aluminum, for example.

各空間において、下部炉体１８も上述した上部炉体１７と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機３１と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ３２と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）３３とを有する。パネル３３の小孔を通過した熱風が、搬送コンベア１０によって搬送される被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。   In each space, the lower furnace body 18 also has the same configuration as the upper furnace body 17 described above. That is, for example, it has a blower 31 configured as a turbo fan, a heater 32 configured by bending a plurality of heater wires, and a panel (heat storage member) 33 having a large number of small holes through which hot air passes. The hot air that has passed through the small holes in the panel 33 is blown from the lower side to the object to be heated W conveyed by the conveyor 10.

２・・・リフロー炉
１０・・・搬送コンベア
１０ａ・・・第１の搬送コンベア
１０ｂ・・・第２の搬送コンベア
１１・・・搬入口
１２・・・搬出口
１３・・・強制冷却ユニット
１４・・・ガスシール機構
１６・・・フラックス回収システム
１７・・・上部炉体
１８・・・下部炉体
２０・・・隔壁
２０ａ・・・隔壁
２０ａ１・・・連結壁
２０ｂ・・・隔壁
２０ｄ１・・・断熱材
２０ｄ２・・・空隙
２０ｄ４・・・板状体
２０ｄ５・・・ガイドプレート
２０ｅ１・・・耐熱チューブ
２０ｅ２・・・耐熱パッキン
２０ｆ１、２０ｆ２・・・板ばね材
２０ｈ・・・構造物
２１・・・ガス導入管
２２・・・ガス導入口
３１・・・送風機
３２・・・ヒータ
３３・・・パネル
４０ａ・・・第１の空間
４０ｂ・・・第２の空間
５１・・・フィン
Ｗ・・・被加熱物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 ... Reflow furnace 10 ... Conveyor 10a ... 1st conveyer 10b ... 2nd conveyer 11 ... Inlet 12 ... Outlet 13 ... Forced cooling unit 14 ... Gas seal mechanism 16 ... Flux recovery system 17 ... Upper furnace body 18 ... Lower furnace body 20 ... Partition 20a ... Partition 20a1 ... Connecting wall 20b ... Partition 20d1 ..Heat insulation 20d2 ... Gap 20d4 ... Plate-like body 20d5 ... Guide plate 20e1 ... Heat resistant tube 20e2 ... Heat resistant packing 20f1, 20f2 ... Plate spring material 20h ... Structure 21 ... Gas introduction pipe 22 ... Gas introduction port 31 ... Blower 32 ... Heater 33 ... Panel 40a ... First space 40b ... Second space 51 ... Fin W ··· object to be heated

Claims (15)

複数のゾーンに分割されたリフロー炉内に、被加熱物を搬送する複数の搬送装置が、搬送方向に沿って並列に設けられ、前記複数の搬送装置によって搬送される複数の前記被加熱物をそれぞれ加熱し、隣り合う前記搬送装置の間に、断熱隔壁が設けられ、
前記リフロー炉の炉体は、上部炉体と下部炉体とから構成され、
前記上部炉体は、開閉され、
前記断熱隔壁は、前記上部炉体内を仕切る第１の隔壁と、前記下部炉体内を仕切る第２の隔壁とを含み、
前記第１の隔壁の対向端部および前記第２の隔壁の対向端部の一方が開放形状であり、
前記上部炉体が閉じた状態において、前記他方の対向端部が、前記一方の開放形状の対向端部に嵌合されるようにしたリフロー装置。 In the reflow furnace divided into a plurality of zones, a plurality of conveying devices for conveying the object to be heated are provided in parallel along the conveying direction, and the plurality of objects to be heated conveyed by the plurality of conveying devices are respectively heated, between adjacent said conveying device, a heat insulating partition wall provided et al is,
The furnace body of the reflow furnace is composed of an upper furnace body and a lower furnace body,
The upper furnace body is opened and closed,
The heat insulating partition includes a first partition that partitions the upper furnace body, and a second partition that partitions the lower furnace body,
One of the opposing end of the first partition and the opposing end of the second partition is an open shape,
A reflow apparatus in which the other opposed end is fitted to the one open shaped opposed end in a state where the upper furnace body is closed . 前記断熱隔壁の内部空間にガスが導入された請求項１に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1, wherein gas is introduced into the internal space of the heat insulating partition. 前記断熱隔壁の内部の壁に、フィンが設けられた請求項２に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 2, wherein a fin is provided on a wall inside the heat insulating partition wall. 前記ガスは、リフロー炉の雰囲気ガスと同一種類のガスである請求項２〜３の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to any one of claims 2 to 3, wherein the gas is the same type of gas as an atmosphere gas in a reflow furnace. 前記断熱隔壁は、前記リフロー炉のヒートゾーンに対応する位置に、内部空間に導入されたガスを排出する排出口を備えた請求項２〜４の何れかに記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to any one of claims 2 to 4, wherein the heat insulating partition wall includes a discharge port for discharging the gas introduced into the internal space at a position corresponding to a heat zone of the reflow furnace. 前記ガスは、Ｎ2ガスまたは大気ガスである請求項２〜５の何れかに記載のリフロー装
置。 The gas reflow apparatus according to any one of claims 2-5 is N 2 gas or air gas. 前記断熱隔壁は、断熱材を含む請求項１に記載のリフロー装置。   The reflow apparatus according to claim 1, wherein the heat insulating partition includes a heat insulating material. 前記断熱隔壁の内部空間に断熱材が配され、
前記断熱材と前記隔壁の内面との間の空隙にガスが導入された請求項１に記載のリフロー装置。 A heat insulating material is arranged in the internal space of the heat insulating partition,
The reflow apparatus according to claim 1, wherein gas is introduced into a gap between the heat insulating material and the inner surface of the partition wall. 前記断熱隔壁は、前記第１の隔壁および前記第２の隔壁の合わせ面の間に介在された耐熱性を有する弾性体をさらに含む請求項１に記載のリフロー装置。 The heat insulating partition wall, a reflow apparatus according to claim 1, further comprising an elastic body having an intervening thermostable between the mating surfaces of the first partition wall and the second partition wall. 前記耐熱性を有する弾性体は、空洞を有し、
前記空洞に、ガスが導入される請求項９に記載のリフロー装置。 The heat-resistant elastic body has a cavity,
The reflow apparatus according to claim 9 , wherein a gas is introduced into the cavity. 前記耐熱性を有する弾性体は、耐熱チューブ、耐熱パッキンまたは耐熱スポンジである請求項９〜１０の何れかに記載のリフロー装置。 The reflow apparatus according to any one of claims 9 to 10 , wherein the heat-resistant elastic body is a heat-resistant tube, a heat-resistant packing, or a heat-resistant sponge. 前記断熱隔壁は、前記一方の開口形状の対向端部の開口を覆うように設けられた耐熱性を有する弾性体をさらに含む請求項１に記載のリフロー装置。 The reflow apparatus according to claim 1 , wherein the heat insulating partition further includes a heat-resistant elastic body provided so as to cover an opening of the opposite end portion of the one opening shape. 前記耐熱性を有する弾性体は、板ばね材である請求項１２に記載のリフロー装置。 An elastic body having a heat resistance, reflow apparatus according to claim 1 2 which is a plate spring material. 前記他方の対向端部は、先細り形状である請求項１に記載のリフロー装置。 The reflow apparatus according to claim 1 , wherein the other opposing end has a tapered shape. 前記断熱隔壁は、前記第１の隔壁および前記第２の隔壁の何れか一方の隔壁の内部空間に設けられた、構造物および該構造物を支持する弾性体をさらに含み、
前記一方の隔壁は、他方の隔壁の対向端面が密接する密接面を有し、
前記構造物の一端が前記炉体に固定され、前記構造物の他端と前記密接面との間に前記弾性体が配置され、
前記上部炉体が閉じた状態において、前記弾性体の変形に追従して、前記一方の隔壁の前記密接面に前記他方の隔壁の対向端面が密接した状態で、前記一方の隔壁が変位する請求項１に記載のリフロー装置。 The heat insulating partition further includes a structure provided in an internal space of one of the first partition and the second partition, and an elastic body that supports the structure,
The one partition wall has a close contact surface with which the opposite end surface of the other partition wall is in close contact,
One end of the structure is fixed to the furnace body, and the elastic body is disposed between the other end of the structure and the contact surface,
In a state where the upper furnace body is closed, following the deformation of the elastic body, the one partition wall is displaced in a state where the opposite end surface of the other partition wall is in close contact with the contact surface of the one partition wall. Item 2. A reflow apparatus according to Item 1 .
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