JP2018065111A - インクジェット塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】設定された着弾位置を精度よく補正し、ロールトゥロール方式の帯状基材に精度よく液滴を着弾させて塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】一方向に延びる帯状基材に塗布材料である液滴を吐出して帯状基材上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、帯状基材には、帯状基材が延びる方向に沿って一定間隔で膜形成領域を含む製品領域が形成されており、前記膜形成領域に液滴を吐出する液滴ノズルユニットと、液滴ノズルユニットの上流側に第1撮像ユニット、下流側に第2撮像ユニットが配置され、第1、第2撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から位置基準領域のずれ量を算出し、液滴ノズルユニットは、位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、膜形成領域に液滴を吐出するように構成する。【選択図】図6
Description
本発明は、いわゆるロールトゥロールによって搬送される帯状基材に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置に関するものであり、特に、帯状基材の搬送に伴うずれを補正して塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置に関するものである。
従来より、インクジェット塗布装置により、枚葉基材上の膜形成領域に塗布材料の液滴を吐出してカラーフィルタや絶縁膜(膜パターン)が形成されている。近年では、枚葉基材だけでなく、生産効率を向上させるため、長尺上の帯状基材をいわゆるロールトゥロール(Roll to Roll)で搬送しつつ、液滴を吐出するインクジェット塗布装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。
このインクジェット塗布装置は、図7に示すように、操出ロール100と巻取ロール101とに帯状基材103が掛け渡されており、水平に走行する帯状基材103上には液滴を吐出する液滴ノズルユニット104が配置されている。そして、帯状基材103を走行させつつ帯状基材103の膜形成領域105(図7(b)参照)に液滴を吐出することにより連続的に帯状基材103上に塗布膜が形成され、効率よく製品を製造することができる。このロールトゥロールによる搬送では、帯状基材103に蛇行等が生じることにより設定された着弾位置がずれてしまうことがある。そのため、帯状基材103には、アライメントマーク106が付されており、液滴ノズルユニット104の上流側に配置されるカメラ107でアライメントマーク106を撮像し、その撮像情報から基準位置とのずれ量を演算し、着弾位置を補正して着弾させることにより、帯状基材103の膜形成領域105に精度よく液滴を吐出して塗布膜を形成することができるようになっている。
近年では、インクジェット塗布装置が様々な分野に適用されており、着弾位置の精度が極めて重要になってきた。特に、有機EL(有機エレクトロルミネッセンス)や、半導体の保護膜、回路電極等に用いられる場合には、その傾向が顕著である。上述したような帯状基材103に付されたアライメントマーク106でずれ量を演算すると、アライメントマーク106と膜形成領域105との位置関係がすでに誤差を含んでいる虞がある。
そこで、本発明は、設定された着弾位置を精度よく補正し、ロールトゥロール方式の帯状基材に精度よく液滴を着弾させて塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、一方向に延びる帯状基材に塗布材料である液滴を吐出して帯状基材上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、前記帯状基材には、帯状基材が延びる方向に沿って一定間隔で膜形成領域を含む製品領域が形成されており、前記膜形成領域に液滴を吐出する液滴ノズルユニットと、前記液滴ノズルユニットの上流側に配置され、前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第1撮像ユニットと、を備え、前記第1撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出することを特徴としている。
上記本発明のインクジェット塗布装置によれば、帯状基板上の製品領域が位置基準領域に設定されており、この位置基準領域からずれ量が算出されるため、従来のように、製品領域とは別のアライメントマークからずれ量を算出する場合に比べて、すれ量の精度を高めることができる。
また、前記液滴ノズルユニットの下流側に前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第2撮像ユニットが配置され、前記第1撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報と前記第2撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出する構成にしてもよい。
この構成によれば、上流側に配置される第1撮像ユニットだけでなく、下流側に配置される第2撮像ユニットが配置され、これらの位置基準領域情報からずれ量が算出されるため、第1撮像ユニットのみの場合に比べて、より精度よくずれ量を算出することができる。すなわち、第1撮像ユニットのみの場合、仮に、第1撮像ユニットで撮像した位置基準領域は、ずれが全くない状態で通過し、その後、帯状基材が蛇行するような場合には、ずれ量はなしと判断される。この点、下流側に第2撮像ユニットが存在すれば、第2撮像ユニットで撮像された位置基準領域は、ずれが生じているため、このずれ量を着弾位置の補正に反映させることができる。
また、前記第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、搬送方向と直交する方向に延びるラインスキャンカメラである構成にしてもよい。
この構成によれば、帯状基材の搬送方向と直交する方向(幅方向)にも位置基準領域を設定することにより、帯状基材の幅方向のずれについても精度よく補正することができる。すなわち、帯状基材の幅方向に伸び縮みが起因するずれが生じていても補正することができる。
また、前記第2撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報は、前記膜形成領域に形成された塗布膜の良否判断に用いられる構成にしてもよい。
この構成によれば、検査機構を別途も受けることなく、塗布動作後、塗布膜の検査を行うことができる。
本発明によれば、設定された着弾位置を精度よく補正し、ロールトゥロール方式の帯状基材に精度よく液滴を着弾させて塗布膜を形成することができる。
本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
図1は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図2は、インクジェット塗布装置の上面図である。
インクジェット塗布装置は、図1、図2に示すように、搬送される帯状基材W上に塗布材料である液滴を吐出する液滴ノズルユニット2と、帯状基材W上の特定領域(位置基準領域R)を撮像する第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2とを有しており、第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2で撮像された位置基準領域情報から着弾位置を補正し、帯状基材W上に精度よく液滴を吐出し、塗布膜を形成するものである。
ここで、帯状基材Wは、フィルム等の一方向に延びる薄い帯状の長尺部材であり、操出ロール11と巻取ロール12に掛け渡されており、巻取ロール12及び操出ロール11が回転することにより所定速度で搬送される。帯状基材W上には、製品部分である製品領域30が長手方向に沿って形成されており、図3の例では、幅方向に3列形成され、長手方向に一定間隔で形成されている。この製品領域30には、塗布膜が形成される膜形成領域31が形成されており、この膜形成領域31に塗布材料が塗布されることにより所定の塗布膜が形成される。すなわち、帯状基材Wが搬送されて製品領域30が液滴ノズルユニット2を通過すると、液滴ノズルユニット2から液滴が吐出され、すべての製品領域30の膜形成領域31に塗布膜が形成される。
なお、以下の説明では、帯状基材Wが搬送される方向をX軸方向、帯状基材Wの幅方向をY軸方向、X軸およびY軸方向の双方に直交する方向をZ軸方向として説明を進めることとする。
液滴ノズルユニット2は、基板W上に塗布材料を着弾させて塗布するものであり、塗布材料を吐出するヘッドユニット21を有している。このヘッドユニット21は、直方体形状を有しており、長手方向がY軸方向になるように帯状基材Wに跨がるように配置されている。具体的には、ヘッドユニット21は、図示しないフレームに設けられており、複数のノズル22aが配置されたノズル面23を帯状基材Wに対向する姿勢で取り付けられている。本実施形態では、ヘッドユニット21のノズル面23は、帯状基材Wの製品領域30が配置される幅方向寸法よりも大きい寸法に形成されている。また、ヘッドユニット21は、Y軸方向に移動できるように取り付けられており、フレームに設けられたY軸方向に延びるレール沿って、リニアモータ81(図5参照)を駆動制御することによりヘッドユニット21がY軸方向の任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、着弾位置情報に基づいてノズル22aが液滴すべき着弾位置に位置するようにY軸方向に移動して調節できるようになっている。
ヘッドユニット21は、図4に示すように、複数のヘッドモジュール22を備えている。本実施形態では、複数のヘッドモジュール22がY軸方向に沿って配列されており、塗布方向に対して直交する方向(Y軸方向)に配置されている。ヘッドモジュール22は、複数のノズル22aを有しており、ノズル22aが一方向に所定の配列ピッチで整列した状態で設けられている。ヘッドモジュール22は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置であり、ヘッドモジュール22に駆動電圧が印加されると、各ノズル22aに駆動電圧が印加され、各ノズル22aから所定の液量の液滴が吐出されるようになっている。
また、ヘッドモジュール22は、それぞれが互いに重複する部分を有するようにずらして配置されている。図4の例では、隣接するヘッドモジュール22がX軸方向に交互にずらして配置されている。すなわち、これらのヘッドモジュール22は、ノズル22aの配置間隔とヘッドモジュール22の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにX軸方向にずらしつつY軸方向に配列される。すなわち、ヘッドユニット21は、X軸方向に見てノズル22aがY軸方向に等間隔で配置されており、ヘッドユニット21全体としてX軸方向に見て、すべてのノズル22aがY軸方向に沿って配列ピッチtで配列され、X軸方向から見てY軸方向に亘って等間隔で配置されている。
したがって、着弾位置情報に基づいて帯状基材Wが搬送されることによりヘッドユニット21が相対的にX軸方向にしつつ、ヘッドユニット21をY軸方向に駆動制御することにより、所定の着弾位置に液滴が吐出され、帯状基材Wの膜形成領域31に塗布膜が形成されるようになっている。
また、液滴ノズルユニット2の上流側には、第1撮像ユニットC1が設けられている。この第1撮像ユニットC1は、帯状基材Wの位置基準領域Rを撮像するものであり、撮像された位置基準領域情報から液滴ノズルユニット2の着弾位置を補正するためのものである。この第1撮像ユニットC1は、一方向に延びるラインスキャンカメラが用いられており、長手方向が帯状基材Wを幅方向に横切るように配置されている。そして、第1撮像ユニットC1は、帯状基材WがX軸方向に搬送された状態で連続的に帯状基材Wの表面を撮像するように構成されており、撮像された画像データは、後述の制御装置に入力されるようになっている。すなわち、本実施形態では、各製品領域30の角部が着弾位置の基準点Pとして設定されており、この基準点Pを有する製品領域30を含む領域が位置基準領域Rである。本実施形態では、ラインスキャンカメラにより、帯状基材Wの幅方向全体が位置基準領域Rとして撮像される。
また、液滴ノズルユニット2の下流側には、第2撮像ユニットC2が設けられている。この第2撮像ユニットC2は、帯状基材Wの位置基準領域Rを撮像するものであり、撮像された位置基準領域情報から液滴ノズルユニット2の着弾位置を補正するためのものである。第2撮像ユニットC2は、第1撮像ユニットC1と同様に、一方向に延びるラインスキャンカメラが用いられており、長手方向が帯状基材Wを幅方向に横切るように配置されている。そして、第2撮像ユニットC2は、帯状基材WがX軸方向に搬送された状態で連続的に帯状基材Wの表面を撮像するように構成されており、撮像された画像データは、後述の制御装置に入力されるようになっている。すなわち、帯状基材Wの幅方向全体が位置基準領域Rとして撮像され、その画像データから、後述の制御装置により、各製品領域30の基準点Pが取得されるようになっている。
また、第2撮像ユニットC2は、本実施形態では、膜形成領域31に形成された塗布膜の検査カメラとして機能するように構成されている。すなわち、第2撮像ユニットC2により撮像される位置基準領域情報は、帯状基材Wの幅方向における製品領域30がすべて撮像されており、製品領域30(正確には膜形成領域31)に形成された塗布膜が撮像されている。この位置基準領域情報が後述の制御装置に入力され、それぞれの塗布膜の良否が判断されるようになっている。
なお、本実施形態では、第1撮像ユニットC1と第2撮像ユニットC2とで、位置基準領域Rを同じ領域としているが、互いに異なる領域として設定してもよい。例えば、第1撮像ユニットC1の位置基準領域Rは、基準点Pを有する製品領域30の一部を含む領域であり、第2撮像ユニットC2の位置基準領域Rは、基準点Pを有する製品領域30全体を含む領域として設定してもよい。すなわち、第2撮像ユニットC2に検査カメラ機能を求める場合は、少なくとも第2撮像ユニットC2の位置基準領域Rとして、製品領域30の膜形成領域31全体が含まれるようにすればよい。
次に、上記インクジェット塗布装置の制御系の構成について図5に示すブロック図を用いて説明する。
図5は、このインクジェット塗布装置に設けられた制御装置90の制御系を示すブロック図である。図5に示すように、インクジェット塗布装置は、上述した各種ユニットの駆動を制御する制御装置90が設けられている。この制御装置90は、制御本体部91、駆動制御部92、撮像ユニット制御部94、位置検出部93、入出力装置制御部95とを有している。そして、制御本体部91は、主制御部91a、画像処理部91b、位置演算部91c、補正量演算部、記憶部91eとを有している。なお、本実施形態では、これらの構成が制御装置90に統合されている例について説明するが、これらの構成がメインコントローラ、サブコントローラに適宜分かれて構成されているものであってもよい。
主制御部91aは、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、駆動制御部92を介して各ユニットのサーボモータ82、リニアモータ81等の駆動装置を駆動制御するとともに塗布動作に必要な各種演算を行うものである。具体的には、ヘッドユニット21に供給される駆動電圧を制御して、各ノズル22aから吐出される液滴量を制御することができる。
画像処理部91bは、撮像ユニット制御部94から入力された画像データから検出対象である点、形状を検出するものである。本実施形態では、膜形成領域31の位置の基準となる基準点Pを検出する。具体的には、撮像ユニット制御部94から入力された位置基準領域情報である画像データから、画像処理を行って各製品領域30の角部(基準点P)を検出する。すなわち、記憶部91eに製品領域30の基準点形状データが記憶されており、この基準点形状に該当するする製品領域30の角部が検出される。本実施形態では、帯状基材Wの幅方向全体の画像データから幅方向に配列される製品領域30の角部が3カ所検出される。
また、画像処理部91bは、膜形成領域31に形成された塗布膜の形状についても検出する。具体的には、記憶部91eに記憶された基準となる基準塗布膜データが記憶されており、第2撮像ユニットC2で撮像された位置基準領域情報(画像データ)から画像処理を行って基準塗布膜データに該当する領域を塗布膜として検出する。そして、主制御部91aにより、基準塗布膜データと、検出された塗布膜とが比較され、製品としての良否が判断される。
また、位置演算部91cは、着弾位置、基準点P等の位置データを演算するものであり、例えば、画像処理部91bで検出された位置基準領域R上の基準点Pの位置を演算する。すなわち、エンコーダ83(図5参照)から位置検出部93から入力されるX軸方向の位置情報と、画像処理部91bで検出された位置基準領域Rにおける基準位置のX軸方向及びY軸方向の位置情報から、対象となる製品領域30の基準点Pの位置を座標として演算する。また、後述する補正演算部91dでこの基準点Pの位置情報を基に着弾位置を補正し、補正量を加味した新たな着弾位置を演算する。
また、補正演算部91dは、搬送中の帯状基材Wが蛇行、張力の影響等により、予め設定された着弾位置、基準点Pがずれた場合に、その補正量を演算するものである。本実施形態では、第1撮像ユニットC1で撮像された位置基準領域情報と、第2撮像ユニットC2で撮像された位置基準領域情報とに基づいて、ずれ量が演算される。具体的には、図6に示すように、対象とする製品領域30について、第1撮像ユニットC1から得られた位置基準領域情報の基準点P(第1基準点P1という)と、第2撮像ユニットC2から得られた位置基準領域情報の基準点P(第2基準点P2という)とから、ずれ量を算出し、第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2と、液滴ノズルユニット2との位置関係から、液滴ノズルユニット2が配置される位置でのずれ量を算出する。すなわち、対象とする製品領域30がヘッドユニット21の直下(塗布される位置)に到達した時点の補正量を算出する。例えば、第1撮像ユニットC1から第2撮像ユニットC2まで一次関数的に変化したと仮定してヘッドユニット21直下のずれ量を算出してもよいし、他の近似式を用いる方法により算出してもよい。この補正量を基にして、位置演算部91cにより設定着弾位置が補正される。そして、補正後の着弾位置情報に基づいて、液滴が吐出されることにより、対象とする製品領域30の膜形成領域31に精度よく塗布膜が形成される。
記憶部91eは、様々な各種データが格納されているとともに、演算結果等を一時的に格納するためのものである。具体的には、ずれ量がない場合の着弾位置情報である設定着弾位置、膜形成領域31に形成される塗布膜の基準塗布膜データ、基準点形状データ等が記憶されている。
また、駆動制御部92は、制御本体部91からの制御信号に基づいて、リニアモータ81、サーボモータ82等を駆動制御するものである。具体的には、操出ロール11、巻取ロール12を駆動制御することにより帯状基材Wの走行を制御し、液滴ノズルユニット2の移動及び、各ノズル22aの吐出動作を制御する。
撮像ユニット制御部94は、カメラ等の撮像ユニットを制御するものであり、撮像ユニットを制御し、撮像ユニットからの画像データを取り込んで適切な変換を行って制御本体部91に出力するものである。本実施形態では、第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2の画像データを制御本体部91に出力する。
位置検出部93は、エンコーダ83からの信号に基づいて帯状基材W上の製品領域30(位置基準領域R)の位置情報を検知するものである。この得られた位置情報により、位置基準領域Rの基準点Pが演算され、すれ量が演算される。
入出力装置制御部95は、キーボード84、タッチパネル85等(図5参照)の各入出力装置を制御するものである。具体的には、対象となる製品の設定着弾位置データ、基準塗布膜データ等が入力される。
次にこの塗布装置における動作について説明する。
まず、操出ロール11及び巻取ロール12が駆動制御されることにより、帯状基材Wが所定速度で搬送される。帯状基材Wが搬送された状態で、第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2は、連続的に帯状基材Wの位置基準領域Rを撮像する。すなわち、帯状基材W上のすべての製品領域30が位置基準領域情報(画像データ)として制御本体部91に取り込まれる。
第1撮像ユニットC1からの位置基準領域情報が取り込まれると、それぞれの製品領域30の基準点Pが抽出される。そして、これらの基準点Pは製品領域30毎にエンコーダ83のX軸方向の位置情報と共に記憶される。すなわち、製品領域30の帯状基材W上の現在の位置情報と、搬送方向における位置情報とが特定される。
また、第2撮像ユニットC2からの位置基準領域情報からも同様に、それぞれの製品領域30の基準点Pが抽出される。
ここで、図6は、帯状基材Wが蛇行して斜めに走行している状態を示す図であり、図中の2点鎖線は、帯状基材Wがずれを生じることなく走行した状態を示している。この図6において、特定の製品領域30に注目すると、特定の製品領域30が第1撮像ユニットC1で撮像された際に、第2撮像ユニットC2では、特定の製品領域30と同じ列の下流側に位置する他の製品領域30が撮像される。そして、第1撮像ユニットC1から得られた位置基準領域情報の基準点P1(特定の製品領域30の基準点P)と、第2撮像ユニットC2から得られた位置基準領域情報の基準点P2(同列の他の製品領域30の基準点P)とから、ずれ量を算出し、液滴ノズルユニット2が配置された位置でのすれ量が算出される。このずれ量に基づいて、特定の製品領域30に対する設定着弾位置が補正される。その後、特定の製品領域30がヘッドユニット21で塗布される際に、補正された着弾位置情報に基づいて、特定の製品領域30の膜形成領域31に液滴が吐出され塗布膜が形成される。
そして、第2撮像ユニットC2から得られた位置基準領域情報から、特定の製品領域30に形成された塗布膜と、基準塗布膜データとを比較することにより、形成された塗布膜の良否について判定される。
このように、すべての製品領域30において、上流側に配置される第1撮像ユニットC1と、下流側に配置される第2撮像ユニットC2からの位置基準領域情報からずれ量が算出されるため、第1撮像ユニットC1のみでずれ量を算出する場合に比べて、帯状基材Wが蛇行したり、張力変化による変形などが生じた場合でも、精度よくずれ量を算出することができる。仮に、第1撮像ユニットC1で撮像した位置基準領域Rは、ずれが全くない状態で通過し、その後、帯状基材Wが蛇行するような場合であっても、下流側に第2撮像ユニットC2が存在すれば、第2撮像ユニットC2で撮像された位置基準領域Rは、ずれが生じているため、このずれ量を着弾位置の補正に反映させることができる。
また、上記実施形態では、第1撮像ユニットC1から得られた位置基準領域情報の基準点P(特定の製品領域30の基準点P)と、第2撮像ユニットC2から得られた位置基準領域情報の基準点P(同列の他の製品領域30の基準点P)とから、ずれ量を算出し、このずれ量を基にヘッドユニット21におけるずれ量が算出されたが、それぞれの製品領域30のずれ量の変化も加味してずれ量を算出してもよい。例えば、第1撮像ユニットC1における基準点Pの位置変化よりも、第2撮像ユニットC2における基準点Pの位置変化が大きい場合には、第1撮像ユニットC1における基準点Pと第2撮像ユニットC2における基準点Pから算出されるずれ量に、さらに第2撮像ユニットC2における基準点P側に近づくように微少な補正値を加味させることで、製品領域30の位置ずれをさらに精度よく補正することができる。
また、上記実施形態では、第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2にラインスキャンカメラを用いる例について説明したが、CCDカメラなど、他のカメラを使用してもよい。
また、上記実施形態では、第1撮像ユニットC1及び第2撮像ユニットC2によりずれ量を算出する例について説明したが、第1撮像ユニットC1のみからずれ量を算出するものであってもよい。すなわち、特定の製品領域30において、第1撮像ユニットC1の位置基準領域情報からずれ量を算出し、このずれ量に基づいて設定着弾位置が補正され、特定の製品領域30にヘッドユニット21から液滴が吐出されるように構成してもよい。このように構成することにより、製品領域30から直接ずれ量が算出されるため、別途アライメントマークを付した場合より、精度よくずれ量を算出することができる。
2 液滴ノズルユニット
21 ヘッドユニット
30 製品領域
31 膜形成領域
C1 第1撮像ユニット
C2 第2撮像ユニット
P 基準点
W 帯状基材
21 ヘッドユニット
30 製品領域
31 膜形成領域
C1 第1撮像ユニット
C2 第2撮像ユニット
P 基準点
W 帯状基材
Claims (4)
- 一方向に延びる帯状基材に塗布材料である液滴を吐出して帯状基材上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、
前記帯状基材には、帯状基材が延びる方向に沿って一定間隔で膜形成領域を含む製品領域が形成されており、前記膜形成領域に液滴を吐出する液滴ノズルユニットと、
前記液滴ノズルユニットの上流側に配置され、前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第1撮像ユニットと、
を備え、
前記第1撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出することを特徴とするインクジェット塗布装置。 - 前記液滴ノズルユニットの下流側に前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第2撮像ユニットが配置され、前記第1撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報と前記第2撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット塗布装置。
- 前記第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、搬送方向と直交する方向に延びるラインスキャンカメラであることを特徴とする請求項2に記載のインクジェット塗布装置。
- 前記第2撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報は、前記膜形成領域に形成された塗布膜の良否判断に用いられることを特徴とする請求項3に記載のインクジェット塗布装置。
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- 2016-10-21 JP JP2016206667A patent/JP2018065111A/ja active Pending
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