JP2018060168A - 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイ - Google Patents

Abstract

【課題】優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーを提供すること。
【解決手段】光スキャナー３は、光反射部３１１を備える第１可動部３１と、内側に第１可動部３１が位置する第２可動部３２と、第１可動部３１と第２可動部３２とを接続し、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに揺動可能に支持する第１軸部３３と、第２可動部３２に接続し、第２可動部３２を第１軸Ｊ１と交差する第２軸Ｊ２まわりに揺動可能に支持する第２軸部３４と、第２軸部３４に設けられている弾性部３８と、を有し、第２軸部３４は、孔３４５を有し、孔３４５に弾性部３８が配置されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ及びヘッドアップディスプレイに関する。

例えば、特許文献１には、ジンバル型の光スキャナーが開示されている。このような光スキャナーは、光反射部を有する第１可動部と、内側に第１可動部が位置する枠状の第２可動部と、第１可動部と第２可動部とを接続し、第１可動部を第１軸まわりに揺動可能に支持する第１軸部と、第２可動部を第１軸と交差する第２軸まわりに揺動可能に支持する第２軸部と、第１軸および第２軸の両軸に対して傾斜するように第２可動部に設けられた永久磁石と、を有している。そして、永久磁石に磁界を作用させると、第２可動部が第２軸まわりに非共振で揺動すると共に、第１可動部が第１軸まわりに共振で揺動し、これにより、第１可動部が第１軸および第２軸の両軸まわりに揺動するようになっている。

特開２０１３−２１６９２１号公報

しかしながら、このような構成の光スキャナーでは、第２可動部が枠状をなしていて質量が大きい上に、第２可動部に永久磁石が設けられているため、第２可動部の慣性モーメントが大きくなる。慣性モーメントが大きくなると、共振振動のＱ値（共振振動の発生のし易さを現す値であり、Ｑ値が大きい程、共振が起き易い）が大きくなるため、非共振で揺動させているはずの第２可動部に共振の振動が重畳してしまうおそれがある。その結果、光スキャナーの揺動特性が低下する可能性がある。

本発明の目的は、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーを提供すること、さらには、この光スキャナーを有する信頼性の高い画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイを提供することにある。

このような目的は、下記の発明により達成される。

本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部を備える第１可動部と、内側に前記第１可動部が位置する第２可動部と、前記第１可動部と前記第２可動部とを接続し、前記第１可動部を第１軸まわりに揺動可能に支持する第１軸部と、前記第２可動部に接続し、前記第２可動部を前記第１軸と交差する第２軸まわりに揺動可能に支持する第２軸部と、前記第２軸部に設けられている弾性部と、を有し、前記第２軸部は、孔を有し、前記孔に前記弾性部が配置されていることを特徴とする。
これにより、弾性部によって第２可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナーとなる。

本発明の光スキャナーでは、前記孔は、貫通孔または有底の孔であることが好ましい。
これにより、弾性部を配置し易くなる。

本発明の光スキャナーでは、前記弾性部のヤング率は、前記第２軸部のヤング率よりも小さいことが好ましい。
これにより、効果的に、弾性部によって第２可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。

本発明の光スキャナーでは、前記弾性部のヤング率は、１０ＭＰａ以上、１００ＭＰａ以下であることが好ましい。
これにより、より効果的に、弾性部によって第２可動部の不要な振動を吸収、緩和することができる。

本発明の光スキャナーでは、前記弾性部の構成材料は、シリコーンを含んでいることが好ましい。
これにより、弾性部の構成が簡単となる。

本発明の光スキャナーでは、前記第２軸部は、一対の梁部を有し、前記一対の梁部は、それぞれ、前記第２軸に沿って配置されている複数の前記孔を有していることが好ましい。
これにより、１つの孔が大きくなり過ぎることを防止することができる。そのため、第２軸部の機械的強度の低下を抑制することができる。

本発明の光スキャナーでは、前記第１可動部は、前記第１軸まわりに共振で揺動し、前記第２可動部は、前記第２軸まわりに非共振で揺動することが好ましい。
これにより、第１可動部を第１軸まわりに大きな揺動角で揺動させることができると共に、第２軸まわりに所望の波形で揺動させることができる。

本発明の画像表示装置は、本発明の光スキャナーを有することを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高い画像表示装置が得られる。

本発明のヘッドマウントディスプレイは、本発明の光スキャナーと、前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイが得られる。

本発明のヘッドアップディスプレイは、本発明の光スキャナーを有することを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナーの効果を享受でき、信頼性の高いヘッドアップディスプレイが得られる。

本発明の光スキャナーの製造方法は、光反射性を有する光反射部を備える第１可動部と、内側に前記第１可動部が位置する第２可動部と、前記第１可動部と前記第２可動部とを接続し、前記第１可動部を第１軸まわりに揺動可能に支持する第１軸部と、前記第２可動部に接続し、前記第２可動部を前記第１軸と交差する第２軸まわりに揺動可能に支持する第２軸部と、前記第２軸部の有する孔に設けられている弾性部と、を有する光スキャナーの製造方法であって、前記第１可動部、前記第２可動部、前記第１軸部、前記第２軸部及び前記孔を含む構造体を形成する構造体形成工程と、前記光反射部を形成する光反射部形成工程と、前記孔に対応する開口部を有するマスクを介して、前記構造体に前記弾性部の構成材料をスプレーコート法で塗布する塗布工程と、を含むことを特徴とする。
これにより、弾性部によって第２可動部の不要な振動を吸収、緩和することが可能な光スキャナーを製造することができる。

本発明の光スキャナーの製造方法において、前記マスクの前記開口部は、前記第２軸部及び第２可動部の少なくとも一部に対応する開口であり、前記構成材料は、黒色の顔料を含むことが好ましい。
これにより、第２軸部及び第２可動部の少なくとも一部は、反射率の低い黒色の構成材料で覆われる。したがって、第２軸部及び第２可動部に入射した光が、第２軸部及び第２可動部で反射されて迷光となることを抑制する光スキャナーを製造することができる。

本発明の光スキャナーの製造方法は、前記塗布工程において前記構造体を加熱することが好ましい。
これにより、構造体に塗布された弾性部の構成材料は、構造体を加熱することより粒状に堆積するので、第２軸部及び第２可動部に入射した光は散乱光として反射され減衰する。したがって、第２軸部及び第２可動部に入射した光が、第２軸部及び第２可動部で反射されて迷光となることをさらに抑制する光スキャナーを製造することができる。

第１実施形態に係る画像表示装置の構成図である。 図１に示す画像表示装置が有する光スキャナーの平面図である。 図２中のＡ−Ａ線断面図である。 図２に示す光スキャナーが有する第２軸部の平面図である。 図４に示す第２軸部の断面図である。 図２に示す光スキャナーが有する第２軸部の平面図である。 図６に示す第２軸部の断面図である。 図６に示す第２軸部の横断面図である。 図８に示す第２軸部の変形例を示す横断面図である。 図２に示す光スキャナーが有する電圧印加部のブロック図である。 図１０に示す電圧印加部で生成される第１電圧の波形を示す図である。 図１０に示す電圧印加部で生成される第２電圧の波形を示す図である。 光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図。 各工程における第２軸での断面図。 各工程における第２軸での断面図。 各工程における第２軸での断面図。 各工程における第２軸での断面図。 各工程における第２軸での断面図。 各工程における第２軸での断面図。 第２実施形態における光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図。 各工程における第２軸での断面図である。 各工程における第２軸での断面図である。 図１６Ｂの平面図。 図１６Ｂの２軸部の拡大断面図である。 第３実施形態に係る光スキャナーの平面図である。 図１９に示す光スキャナーが有する第２軸部の断面図である。 図１９に示す光スキャナーが有する第２軸部の断面図である。 第２軸部に形成された凹部の横断面形状を示す断面図である。 第２軸部に形成された凹部の横断面形状を示す断面図である。 第４実施形態に係る光スキャナーの平面図である。 図２４中のＢ−Ｂ線断面図である。 図２４に示す光スキャナーの変形例を示す平面図である。 第５実施形態に係るヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。 第６実施形態に係るヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。

以下、本発明の光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る画像表示装置の構成図である。図２は、図１に示す画像表示装置が有する光スキャナーの平面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。図４は、図２に示す光スキャナーが有する第２軸部の平面図である。図５は、図４に示す第２軸部の断面図である。図６は、図２に示す光スキャナーが有する第２軸部の平面図である。図７は、図６に示す第２軸部の断面図である。図８は、図６に示す第２軸部の横断面図である。図９は、図８に示す第２軸部の変形例を示す横断面図である。図１０は、図２に示す光スキャナーが有する電圧印加部のブロック図である。図１１は、図１０に示す電圧印加部で生成される第１電圧の波形を示す図である。図１２は、図１０に示す電圧印加部で生成される第２電圧の波形を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２の紙面手前側および図３、図５、図７、図１４Ａ〜図１４Ｆの上側を「上」とも言い、図２の紙面奥側、図３、図５、図７、図１４Ａ〜図１４Ｆの下側を「下」とも言う。

図１に示すように、画像表示装置１は、スクリーンや壁面等の対象物１０に描画用レーザーＬＬを二次元走査することにより画像（映像）を表示する装置である。このような画像表示装置１は、描画用レーザー（変調光）ＬＬを生成する変調光生成部２と、変調光生成部２で生成された描画用レーザーＬＬを２次元的に走査する光スキャナー３と、光スキャナー３で走査した描画用レーザーＬＬを反射させるミラー１１とを有している。なお、画像表示装置１の構成としては、光スキャナー３を有していれば、特に限定されず、例えば、ミラー１１を省略してもよいし、他の部品（部材）が追加されていてもよい。以下、このような画像表示装置１について詳細に説明する。

≪変調光生成部≫
図１に示すように、変調光生成部２は、波長の異なる複数の光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂと、光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂを駆動する駆動回路２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂと、光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂから出射された光を平行光化するコリメータレンズ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂと、光合成部２３と、集光レンズ２６と、を有している。

光源２１Ｒは、赤色光を出射し、光源２１Ｇは、緑色光を出射し、光源２１Ｂは、青色光を出射する。このような３色の光を用いることで、フルカラーの画像を表示することができる。なお、光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂとしては、特に限定されず、例えば、レーザーダイオード、ＬＥＤ等を用いることができる。

駆動回路２２Ｒは、光源２１Ｒを駆動し、駆動回路２２Ｇは、光源２１Ｇを駆動し、駆動回路２２Ｂは、光源２１Ｂを駆動する。このような駆動回路２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂにより駆動された光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂから出射された３つの光は、それぞれ、対応するコリメータレンズ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂによって平行光化されて光合成部２３に入射する。

光合成部２３は、光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂからの光を合成する。このような光合成部２３は、２つのダイクロイックミラー２３１、２３２を有している。ダイクロイックミラー２３１は、赤色光を透過させるとともに緑色光を反射する機能を有し、ダイクロイックミラー２３２は、赤色光および緑色光を透過させるとともに青色光を反射する機能を有する。このようなダイクロイックミラー２３１、２３２を用いることで、光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂからの赤色光、緑色光および青色光の３色の光を合成することができる。そのため、光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂからの光の強度をそれぞれ独立して変調することで、所定の色の描画用レーザーＬＬが生成される。生成された描画用レーザーＬＬは、集光レンズ２６によって所望のＮＡ（開口数）とされた後、光スキャナー３に入射する。

以上、変調光生成部２について説明したが、この変調光生成部２の構成としては、描画用レーザーＬＬを生成することができれば、本実施形態の構成に限定されない。

≪光スキャナー≫
光スキャナー３は、変調光生成部２で生成された描画用レーザーＬＬを２次元走査する機能を有する。図２に示すように、このような光スキャナー３は、光反射性を有する光反射部３１１を備える第１可動部３１と、内側に第１可動部３１が位置する枠状の第２可動部３２と、第１可動部３１と第２可動部３２とを接続し、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに揺動可能に支持する第１軸部３３と、第２可動部３２に接続し、第２可動部３２を第１軸Ｊ１と交差する第２軸Ｊ２まわりに揺動可能に支持する第２軸部３４と、第２軸部３４に設けられている弾性部３８と、を有している。また、第２軸部３４は、孔３４５を有し、この孔３４５に弾性部３８が配置されている。このような構成によれば、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収、緩和（以下、単に「吸収」とも言う。）することができるため、光スキャナー３の揺動特性の低下を抑制することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナー３となる。以下、このような光スキャナー３について詳細に説明する。

図２および図３に示すように、光スキャナー３は、前述した第１可動部３１、第２可動部３２、第１軸部３３および第２軸部３４に加えて、内側に第２可動部３２が位置し、第２軸部３４を介して第２可動部３２と接続されている支持部３５を備える構造体３０と、第１可動部３１および第２可動部３２を揺動させる駆動機構３９と、を有している。

第１可動部３１は、板状をなしている。また、第１可動部３１の平面視形状は、円形となっている。ただし、第１可動部３１の平面視形状としては、特に限定されず、円形の他にも、楕円形、長円形、三角形、四角形、五角形以上の多角形であってもよい。

このような第１可動部３１の上面（一方の主面）には、表面が光反射面となっている光反射部３１１が設けられており、この光反射部３１１によって描画用レーザーＬＬが反射される。このような光反射部３１１は、例えば、アルミニウム等の金属材料を第１可動部３１の上面に成膜することで形成することができる。ただし、光反射部３１１の構成としては、描画用レーザーＬＬを反射することができれば、特に限定されない。例えば、第１可動部３１の上面が光反射性を有する場合には、第１可動部３１の上面が光反射部３１１として機能してもよい。

第２可動部３２は、枠状をなしており、構造体３０（静止時の第１可動部３１）の厚さ方向から見た平面視（以下、単に「平面視」とも言う）で、第１可動部３１を囲んで設けられている。すなわち、第２可動部３２の内側に第１可動部３１が設けられている。ここで、前記「枠状」には、本実施形態のような環状のものの他、枠の周方向の一部が欠損した構成、例えばＣ字状のようなものが含まれるものとする。

また、第２可動部３２の下面にはリブ３２１が設けられており、このリブ３２１の下面には永久磁石３９１が配置されている。リブ３２１は、第２可動部３２の機械的強度を補強する補強部としての機能と、第１可動部３１と永久磁石３９１との間に、これらの接触を防止するためのスペースを確保するギャップ材としての機能と、を有している。

支持部３５は、枠状をなしており、平面視で、第２可動部３２を囲んで設けられている。すなわち、支持部３５の内側に第２可動部３２が設けられている。また、支持部３５は、他の部分（第１、第２可動部３１、３２および第１、第２軸部３３、３４）よりも厚く形成されている。これにより、支持部３５の機械的強度を高めることができ、支持部３５の剛性を高めることができる。なお、支持部３５の構成としては、第２軸部３４を介して第２可動部３２を支持することができれば、特に限定されず、例えば、枠状をなしていなくてもよいし、複数に分割されていてもよい。

第１軸部３３は、第１可動部３１を第２可動部３２に対して第１軸Ｊ１まわりに揺動可能に支持している。このような第１軸部３３は、第１軸Ｊ１に沿って、第１可動部３１をその両側から支持するように設けられている。具体的には、第１軸部３３は、第１可動部３１の一方側に位置し、第１軸Ｊ１に沿って延在する第１梁部３３１と、他方側に位置し、第１軸Ｊ１に沿って延在する第１梁部３３２と、を有し、第１梁部３３１、３３２で第１可動部３１を両持ち支持している。このような第１軸部３３は、第１可動部３１の第１軸Ｊ１まわりの揺動に伴って捩じれ変形する。

第２軸部３４は、第２可動部３２を支持部３５に対して第２軸Ｊ２まわりに揺動可能に支持している。このような第２軸部３４は、第２軸Ｊ２に沿って、第２可動部３２をその両側から支持するように設けられている。具体的には、第２軸部３４は、一対の梁部として、第２可動部３２の一方側（図２中左側）に位置し、第２軸Ｊ２に沿って延在する第２梁部３４１と、他方側（図２中右側）に位置し、第２軸Ｊ２に沿って延在する第２梁部３４２と、を有し、第２梁部３４１、３４２で第２可動部３２を両持ち支持している。このような第２軸部３４は、第２可動部３２の第２軸Ｊ２まわりの揺動に伴って捩じれ変形する。

以下、このような第２軸部３４について、詳細に説明する。図４ないし図７に示すように、一対の第２梁部３４１、３４２は、それぞれ、孔３４５として、第２軸部３４を上下方向に貫通する貫通孔３４３を有し、貫通孔３４３に弾性部３８が配置されている。そのため、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収でき、第２可動部３２を精度よく安定して揺動させることができる。さらには、貫通孔３４３内に弾性部３８を配置する際に、弾性部３８と第２軸部３４との間にボイドが発生し難くなり（すなわち、貫通孔３４３内の空気の逃げ道が確保され）、弾性部３８を配置し易くなる。また、ボイドが発生し難い分、弾性部３８によって、より効果的に、第２可動部３２の不要な振動を吸収することができる。なお、本実施形態では、貫通孔３４３は、第２軸部３４の厚さ方向を貫通して設けられている。これにより、貫通孔３４３の形成が容易となる。

弾性部３８は、貫通孔３４３内に隙間なく配置（充填）されていることが好ましい。これにより、より効果的に、第２可動部３２の不要な振動を吸収することができる。

貫通孔３４３の開口形状や断面形状としては、特に限定されない。また、貫通孔３４３は、第２軸部３４の幅方向に貫通して設けられていてもよい。

また、貫通孔３４３は、第２梁部３４１、３４２のそれぞれにおいて、第２軸Ｊ２に沿って、間隔を空けて複数並んで配置されている。すなわち、一対の第２梁部３４１、３４２は、それぞれ、第２軸Ｊ２に沿って配置されている複数の貫通孔３４３を有している。特に、本実施形態では、第２梁部３４１、３４２のそれぞれに２つずつ計４つの貫通孔３４３を有している。そして、各貫通孔３４３内に（好ましくは、貫通孔３４３を埋めるように）、弾性部３８が配置されている。このような構成によれば、それぞれの貫通孔３４３を小さくすることができる。そのため、第２梁部３４１、３４２の機械的強度の過度な低下を防止することができる。また、貫通孔３４３を複数形成することで、第２梁部３４１、３４２の途中に、両サイドに延びる部分３４ａ、３４ｂを連結する梁部３４ｃを形成することができるため、言い換えると、第２梁部３４１、３４２を、それぞれ、一対の部分３４ａ、３４ｂと、部分３４ａ、３４ｂを連結する梁部３４ｃと、を有する構成とすることができるため、第２梁部３４１、３４２の機械的強度の過度な低下を防止することができる。また、梁部３４ｃによって、部分３４ａ、３４ｂを一体的に（１つの弾性体として）変形させることができ、第２可動部３２を精度よく安定して揺動させることができる。

特に、本実施形態では、貫通孔３４３は、各第２梁部３４１、３４２のほぼ全長にわたって配置されている。そのため、弾性部３８をより多く配置することができ、より効果的に、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収することができる。なお、本実施形態では、第２梁部３４１、３４２に、それぞれ、２つの貫通孔３４３が形成されているが、第２梁部３４１、３４２に形成される貫通孔３４３の数としては、特に限定されず、それぞれ、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。貫通孔３４３の数は、例えば、第２梁部３４１、３４２の長さ等によって、適宜設定すればよい。

なお、本実施形態では、図８に示すように、第２梁部３４１、３４２の横断面形状が矩形であり、貫通孔３４３の横断面形状も矩形であるが、第２梁部３４１、３４２および貫通孔３４３の横断面形状としては特に限定されず、例えば、図９に示すように、第２梁部３４１、３４２の横断面形状が、幅が厚さ方向に漸減するテーパー状であり、貫通孔３４３の横断面形状も、幅が厚さ方向に漸減するテーパー状であってもよい。ただし、図８および図９に示すように、第２梁部３４１、３４２の横断面形状と貫通孔３４３の横断面形状とが対応した形状であることが好ましい。

ここで、弾性部３８のヤング率は、第２軸部３４（第２梁部３４１、３４２）のヤング率よりも小さいことが好ましい。これにより、より効果的に、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収でき、第２可動部３２を精度よく安定して揺動させることができる。弾性部３８のヤング率としては、特に限定されないが、第２軸部３４（第２梁部３４１、３４２）の弾性率の１／１０以下であることが好ましく、１／１００以下であることがより好ましく、１／１０００以下であることがさらに好ましい。これにより、上述した効果がより顕著となる。具体的には、弾性部３８のヤング率は、１０ＭＰａ以上、１００ＭＰａ以下であることが好ましい。これにより、十分に柔らかい弾性部３８となり、より効果的に、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収することができる。特に、このような値のヤング率を有する弾性部３８は、後述するように、第２軸部３４がシリコンで構成されていている場合に好適である。

このような弾性部３８の構成材料としては、特に限定されないが、シリコーンを含んでいることが好ましい。これにより、十分に柔らかい弾性部３８を、簡単に得ることができる。また、シリコーンとしては、特に限定されず、シリコーンオイル、シリコーンゴム、シリコーン樹脂等を用いることができる。また、弾性部３８は、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を主材料とすることが好ましい。これにより、合成時に、ＰＤＭＳの分子量やＭＱレジンの添加量を制御することで、より簡単に、目的のヤング率を有する弾性部３８を得ることができる。ただし、弾性部３８の構成材料としては、シリコーンに限定されず、他の樹脂材料、ゴム材料等を用いることもできる。なお、各貫通孔３４３に設けられている弾性部３８は、ヤング率が等しくてもよいし、ヤング率が異なっていてもよい。また、同じ材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。

また、例えば、弾性部３８としてシリコーンオイルを用いる場合、図示されていないが、内部に弾性部３８が配置された貫通孔３４３の上部開口および下部開口を、例えば、膜状のものにより覆うような構成とすることができる。これにより、弾性部３８の貫通孔３４３からの離脱を抑制することができる。

また、弾性部３８は、第２軸部３４よりも描画用レーザーＬＬを反射し難いことが好ましい。すなわち、弾性部３８は、描画用レーザーＬＬの反射率が、第２軸部３４よりも低いことが好ましい。これにより、光反射部３１１からずれて、弾性部３８に入射した描画用レーザーＬＬが、弾性部３８で反射されて迷光となってしまうことを抑制することができる。弾性部３８での描画用レーザーＬＬの反射率を低くする方法としては、特に限定されないが、例えば、弾性部３８の構成材料に、クロム（Ｃｒ）やカーボンブラック等を含有させて、弾性部３８を黒色とすることが挙げられる。また、弾性部３８の構成材料として、液晶ディスプレイのブラックマトリクスの形成に使用されるブラックレジストを用いてもよい。

次に、駆動機構３９について説明する。駆動機構３９は、第１可動部３１を第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２の両軸まわりに揺動させる機構であり、図３に示すように、第２可動部３２に設けられた永久磁石３９１と、永久磁石３９１に作用させる磁界を発生するコイル３９２と、コイル３９２に接続された電圧印加部３９３と、を有している。

永久磁石３９１は、リブ３２１の下面に設けられている。また、永久磁石３９１は、一端側がＳ極であり、他端側がＮ極である棒状（長手形状）をなしており、両端部が第２可動部３２の中心を介して反対側に位置するように配置されている。また、永久磁石３９１は、第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２の両軸に対して傾斜して配置されている。なお、特に限定されないが、永久磁石３９１の磁化の方向（図２中の鎖線ａで示す方向）は、例えば、第１軸Ｊ１に対して１０°以上、６０°以下の範囲内で傾斜していることが好ましく、３０°以上、４５°以下の範囲内で傾斜していることがより好ましい。すなわち、図２中のθが、１０°≦θ≦６０°であることが好ましく、３０°≦θ≦４５°であることがより好ましい。これにより、より確実に、第１可動部３１および第２可動部３２をそれぞれの軸まわりに揺動させることができる。

以上のような永久磁石３９１としては、特に限定されず、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。

図３に示すように、コイル３９２は、永久磁石３９１の直下に位置し、永久磁石３９１と対向して配置されている。そして、コイル３９２は、電圧印加部３９３に電気的に接続されており、電圧印加部３９３からコイル３９２に電圧が印加されることで、コイル３９２から磁界が発生し、この磁界が永久磁石３９１に作用するようになっている。なお、コイル３９２は、磁心を有していてもよい。

電圧印加部３９３は、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに揺動させるための第１電圧と、第２可動部３２を第２軸Ｊ２まわりに揺動させるための第２電圧と、を重畳させた駆動電圧をコイル３９２に印加するように構成されている。これにより、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに揺動させつつ、第２可動部３２を第２軸Ｊ２まわりに揺動させることができ、その結果、第１可動部３１を第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２の両軸まわりに揺動させることができる。

電圧印加部３９３は、図１０に示すように、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに揺動させるための第１電圧Ｖ１を発生する第１電圧発生部３９３ａ（主走査ドライバー）と、第２可動部３２を第２軸Ｊ２まわりに揺動させるための第２電圧Ｖ２を発生する第２電圧発生部３９３ｂ（副走査ドライバー）と、第１電圧Ｖ１と第２電圧Ｖ２とを重畳する電圧重畳部３９３ｃと、を備え、電圧重畳部３９３ｃで重畳した電圧をコイル３９２に印加する。

第１電圧発生部３９３ａは、周期Ｔ１で周期的に変化する第１電圧Ｖ１（主走査用電圧）を発生する。図１１に示すように、第１電圧Ｖ１は、例えば、正弦波である。また、第１電圧Ｖ１の周波数は、例えば、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。また、第１電圧Ｖ１の周波数は、第１可動部３１および第１軸部３３を主とする第１揺動系のねじり共振周波数と等しくなるように設定されている。これにより、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに共振で揺動させることができるため、第１可動部３１の揺動角を大きくすることができる。

一方、第２電圧発生部３９３ｂは、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２電圧Ｖ２（副走査用電圧）を発生する。第２電圧Ｖ２は、図１２に示すように、例えば、鋸波である。また、第２電圧Ｖ２の周波数は、例えば、３０〜１２０Ｈｚ（特に、６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。また、第２電圧Ｖ２の周波数は、第１可動部３１、第１軸部３３、第２可動部３２および第２軸部３４を主とする第２揺動系のねじり共振周波数と異なるように設定されている。これにより、第２可動部３２を第２軸Ｊ２まわりに非共振で揺動させることができるため、第２可動部３２の揺動の波形を第２電圧Ｖ２の波形に対応したものとすることができる（すなわち、一方側へはゆっくり揺動させ、他方側へは素早く揺動させることができる）。

なお、第１揺動系のねじり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２揺動系のねじり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ２≦ｆ１／１０の関係を満たすことがより好ましい。このように、ｆ１とｆ２を十分に離すことで、第１電圧Ｖ１によって第２可動部３２が共振で揺動してしまうことを効果的に抑制することができる。

電圧重畳部３９３ｃは、コイル３９２に電圧を印加するための加算器３９３ｄを備えている。加算器３９３ｄは、第１電圧発生部３９３ａから第１電圧Ｖ１を受けると共に、第２電圧発生部３９３ｂから第２電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル３９２に印加する。

第１電圧Ｖ１と第２電圧Ｖ２とを重畳した重畳電圧Ｖをコイル３９２に印加すると、重畳電圧Ｖに応じた磁界がコイル３９２から発生し、この磁界が永久磁石３９１に作用する。すると、第１可動部３１が第１軸Ｊ１まわりに揺動すると共に、第２可動部３２が第２軸Ｊ２まわりに揺動し、その結果、第１可動部３１が第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２の両軸まわりに２次元的に揺動する。上述したように、第１可動部３１は、第１軸Ｊ１まわりに共振で揺動し、第２可動部３２は、第２軸Ｊ２まわりに非共振で揺動する。そのため、第１可動部３１を第１軸Ｊ１まわりに大きな揺動角で揺動させることができると共に、第２軸Ｊ２まわりに所望の波形で揺動させることができる。そのため、例えば、第１可動部３１の２次元的な揺動が画像描画に適したものとなり、より鮮明な画像を表示できるようになる。

ここで、光スキャナー３では、第２可動部３２に永久磁石３９１が設けられているため、第２可動部３２の質量が大きくなり、それに伴って、第２可動部３２の慣性モーメントが大きくなる。慣性モーメントが大きくなる程、共振振動のＱ値（共振の発生のし易さを現す値であり、Ｑ値が大きい程、共振が起き易い）が大きくなるため、共振の振動が発生し易くなる。そのため、非共振で振動する第２可動部３２に、共振の振動（周期が短く、細かい振動）が不要な振動として混じってしまい、第２可動部３２の振動特性が悪化してしまうおそれがある。このような問題に鑑み、本実施形態では、第２軸部３４に弾性部３８を設け、この弾性部３８によって、上述した共振の振動（不要振動）を吸収できるようになっている。そのため、第２可動部３２を精度よく安定して揺動させることができる。このように、共振のＱ値が大きいにも関わらず、非共振で揺動させる第２可動部３２を有する構成において、弾性部３８の効果がより顕著に発揮される。

以上のような光スキャナー３を有する画像表示装置１は、光スキャナー３の効果を享受することができるため、信頼性の高い画像表示装置となる。

≪製造方法≫
図１３は、光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図である。図１４Ａ〜図１４Ｆは、各工程における第２軸での断面図である。次に、光スキャナー３の製造方法について図１３、図１４Ａ〜図１４Ｆを参照して説明する。

ステップＳ１は、第１可動部３１、第２可動部３２、第１軸部３３、第２軸部３４及び孔３４５を含む構造体３０を形成する構造体形成工程である。図１４Ａに示すように、基板４を用意する。基板４は、第１シリコン層（デバイス層）４１と、酸化シリコン層（ボックス層）４２と、第２シリコン層（ハンドル層）４３とがこの順に積層したＳＯＩ基板である。構造体３０は、基板４をフォトリソグラフィー技法およびエッチング技法（ドライエッチング、ウェットエッチング等）を用いてパターニングすることで形成する。これにより、基板４には、図１４Ｂに示すように、第１可動部３１、第２可動部３２、第１軸部３３、第２軸部３４、支持部３５及び貫通孔３４３（孔３４５）が形成される。このように、エッチング技法を用いることで、基板４を容易に、かつ精度よくパターニングすることができる。なお、第１可動部３１、第２可動部３２、第１軸部３３、及び第２軸部３４は第１シリコン層４１から形成され、支持部３５は第１シリコン層４１、酸化シリコン層４２および第２シリコン層４３から形成され、リブ３２１は酸化シリコン層４２および第２シリコン層４３から形成されている。なお、構造体３０は、ＳＯＩ基板から形成されていなくてもよいし、シリコン以外の材料で形成されてもよい。

ステップＳ２は、光反射部３１１を形成する光反射部形成工程である。光反射部３１１は、第１可動部３１の上面（第１シリコン層４１側）にアルミニウム膜を成膜することで形成する。アルミニウム膜は、第１可動部３１に対応する上面を開口させたマスク（図示せず）を構造体３０に重ね合わせた状態で蒸着やスパッタリングを行うことで成膜できる。これにより、図１４Ｃに示すように、第１可動部３１の上面に光反射部３１１が形成される。

ステップＳ３は、孔３４５に対応する開口部５１を有するマスク５０を介して、構造体３０に弾性部３８の構成材料３８１をスプレーコート法で塗布する塗布工程である。弾性部３８は、孔３４５（貫通孔３４３）に構成材料３８１を充填することで形成する。図１４Ｄに示すように、まず、孔３４５に対応する上面を開口させた開口部５１を有するマスク５０を構造体３０の上面に重ね合わせる。そして、構造体３０の上方に設置したノズル６１から微細な液滴を噴出するスプレーコート法によって構成材料３８１を構造体３０に向かって吐出する。これにより、図１４Ｅに示すように、狭小の孔３４５上に着弾した構成材料３８１の液滴が孔３４５内に引き込まれて堆積することにより弾性部３８が形成される。なお、開口部５１は、マスク５０と構造体３０との重ね合せ精度を考慮して、孔３４５よりも大きめに開口されていてもよい。また、構成材料３８１は、ノズル６１と構造体３０との間に電圧を印加し、帯電した構成材料３８１の液滴を静電気力により構造体３０上に捕集する静電スプレーコート法によって塗布させてもよい。

ステップＳ４は、光スキャナー３を組み立てる組立工程である。組立工程では、第２可動部３２の下面に永久磁石３９１を設け、永久磁石３９１と対向する位置にコイル３９２を設置する。これにより、図１４Ｆに示すように、光スキャナー３が得られる。
上述した製造方法により、弾性部３８によって第２可動部３２の不要な振動を吸収、緩和することが可能な光スキャナー３を製造することができる。

＜第２実施形態＞
図１５は、第２実施形態における光スキャナーの製造工程を説明するフローチャート図である。図１６Ａ及び図１６Ｂは、各工程における第２軸での断面図である。図１７は、図１６Ｂの平面図である。図１８は、図１６Ｂの２軸部の拡大断面図である。次に、本発明の第２実施形態に係る光スキャナー３の製造方法について図１５、図１６Ａ、図１６Ｂ、図１７及び図１８を参照して説明する。なお、第１実施形態と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。また、ステップＳ１１、ステップＳ１２及びステップＳ１４は、第１実施形態で説明したステップＳ１、ステップＳ２及びステップＳ４と同じであるので、その説明は省略する。本実施形態の光スキャナー３は、第２軸部３４、第２可動部３２の上面に、黒色の顔料を含む構成材料３８１が塗布されている。

ステップＳ１３は、構造体３０に弾性部３８の構成材料３８１をスプレーコート法で塗布する塗布工程である。本工程で用いるマスク５０の開口部５１は、第２軸部３４及び第２可動部３２の少なくとも一部にも対応する開口である。本実施形態で使用するマスク５０は、第２軸部３４及び第２可動部３２に対応する上面が全面開口されている。また、本実施形態で塗布する構成材料３８１には、黒色の顔料が含まれている。黒色の顔料としてはブラックカーボンなどを用いることができる。

図１６Ａに示すように、まず、構造体３０をヒーター６２で１００℃程度に加熱させ、第２軸部３４及び第２可動部３２に対応する上面を全面開口させた開口部５１１を有するマスク５０を構造体３０の上面に重ね合わせる。そして、構造体３０の上方に設置したノズル６１から微細な液滴を噴出するスプレーコート法によって構成材料３８１を構造体３０に向かって吐出する。これにより、図１６Ｂに示すように、構成材料３８１が孔３４５内に堆積し弾性部３８を形成するので、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。さらに、図１７に示すように、構成材料３８１が第２軸部３４及び第２可動部３２の上面に塗布される。これにより、第２軸部３４及び第２可動部３２は、光の反射率の低い黒色の構成材料３８１で覆われる。したがって、光反射部３１１からずれて第２軸部３４及び第２可動部３２に入射した描画用レーザーＬＬが、第２軸部３４及び第２可動部３２で反射されて迷光となることを抑制することができる。

また、図１８に示すように、本実施形態では構造体３０を加熱しているため、構造体３０（第２軸部３４及び第２可動部３２）に着弾した構成材料３８１の液滴は、構成材料３８１に含まれる溶媒が蒸発することにより粒状に堆積する。これにより、光反射部３１１からずれて第２軸部３４及び第２可動部３２に入射した描画用レーザーＬＬは、第２軸部３４及び第２可動部３２に粒状に堆積した構成材料３８１で散乱光として反射され減衰する。したがって、第２軸部３４及び第２可動部３２に入射した描画用レーザーＬＬが、第２軸部３４及び第２可動部３２で反射されて迷光となることを、さらに抑制することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る光スキャナーについて説明する。

図１９は、本発明の第３実施形態に係る光スキャナーの平面図である。図２０および図２１は、それぞれ、図１９に示す光スキャナーが有する第２軸部の断面図である。図２２および図２３は、それぞれ、第２軸部に形成された凹部の横断面形状を示す断面図である。

以下、第３実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第３実施形態に係る光スキャナーは、第２軸部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。

図１９ないし図２１に示すように、第２軸部３４（第２梁部３４１、３４２）は、孔３４５として有底の孔である凹部３４４を有し、この凹部３４４に弾性部３８が配置されている。このような構成によれば、前述した第１実施形態と同様に、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収することができるため、光スキャナー３の揺動特性の低下を抑制することができる。そのため、優れた揺動特性を発揮することのできる光スキャナー３となる。

なお、本実施形態では、凹部３４４は、第２軸部３４の上面に開口して設けられている。これにより、凹部３４４の形成が容易となる。ただし、凹部３４４は、第２軸部３４の側面に開口して設けられていてもよいし、下面に開口して設けられていてもよい。また、本実施形態では、図２２に示すように、第２軸部３４（第２梁部３４１、３４２）の横断面形状が矩形であり、凹部３４４の横断面形状が矩形であるが、第２軸部３４（第２梁部３４１、３４２）および凹部３４４の横断面形状としては特に限定されず、例えば、図２３に示すように、第２軸部３４（第２梁部３４１、３４２）の横断面形状がＶ字であり、凹部３４４の横断面形状が三角形であってもよい。

また、一対の第２梁部３４１、３４２は、それぞれ、第２軸Ｊ２に沿って配置されている複数の凹部３４４を有している。そして、各凹部３４４内に、弾性部３８が設けられている。このような構成によれば、１つの凹部３４４が大きくなり過ぎることを防止することができる。そのため、第２梁部３４１、３４２の機械的強度の過度な低下を防止することができる。

特に、本実施形態では、複数の凹部３４４が、第２梁部３４１、３４２のそれぞれにおいて、ほぼ全長にわたって配置されている。そのため、弾性部３８をより多く配置することができ、より効果的に、弾性部３８で第２可動部３２の不要な振動を吸収することができる。なお、本実施形態では、第２梁部３４１、３４２に、それぞれ、２つの凹部３４４が形成されているが、第２梁部３４１、３４２に形成される凹部３４４の数としては、特に限定されず、それぞれ、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。凹部３４４の数は、例えば、第２梁部３４１、３４２の長さ等によって、適宜設定すればよい。

以上のような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る光スキャナーについて説明する。

図２４は、本発明の第４実施形態に係る光スキャナーの平面図である。図２５は、図２４中のＢ−Ｂ線断面図である。図２６は、図２４に示す光スキャナーの変形例を示す平面図である。

以下、第４実施形態の光スキャナーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第４実施形態に係る光スキャナーは、第１可動部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。

図２４および図２５に示すように、第１可動部３１は、第１軸部３３が接続された基部３１Ａと、基部３１Ａに対して板厚方向に離間して配置された板状のミラー保持部３１Ｂと、基部３１Ａとミラー保持部３１Ｂとの間に位置し、これらを連結する柱状の連結部３１Ｃと、を有している。また、ミラー保持部３１Ｂは、平面視で、基部３１Ａ、第１軸部３３、第２可動部３２および第２軸部３４と重なって設けられている。そして、基部３１Ａの下面に永久磁石３９１が設けられており、ミラー保持部３１Ｂの上面に光反射部３１１が設けられている。

このような構成によれば、例えば、次の効果を発揮することができる。すなわち、光反射部３１１を設けなくてよい分、基部３１Ａを、前述した第１実施形態の第１可動部３１に対して小さくすることができ、その分、構造体３０の平面サイズを小さくすることができる。また、ミラー保持部３１Ｂが第２可動部３２に対して板厚方向に離間しているため、第２可動部３２の揺動を阻害することなく、ミラー保持部３１Ｂを大きくすることができ、その分、光反射部３１１を大きくすることができる。このように、本実施形態によれば、光反射部３１１を大きくしつつ、光スキャナー３の小型化を図ることができる。

以上のような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

なお、本実施形態では、平面視で、ミラー保持部３１Ｂが第２軸部３４の全域と重なって設けられているが、例えば、図２６に示すように、平面視で、ミラー保持部３１Ｂが第２軸部３４の一部と重なっており、弾性部３８がミラー保持部３１Ｂの外側に露出した構成となっていてもよい。この場合、少なくとも、ミラー保持部３１Ｂの外側に露出した弾性部３８については、例えば、クロム（Ｃｒ）やカーボンブラック等を含有させて黒色とすることで、描画用レーザーＬＬを反射し難くしておくことが好ましい。

＜第５実施形態＞
次に、本発明のヘッドアップディスプレイについて説明する。

図２７は、第５実施形態に係るヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。

図２７に示すように、ヘッドアップディスプレイシステム１０００では、画像表示装置１が、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ１１００を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ１１００により、フロントガラス１２００に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。なお、ヘッドアップディスプレイシステム１０００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。

このようなヘッドアップディスプレイ１１００は、画像表示装置１（光スキャナー３）を有している。そのため、上述した光スキャナー３の効果を享受でき、信頼性の高いヘッドアップディスプレイ１１００が得られる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明のヘッドマウントディスプレイについて説明する。

図２８は、第６実施形態に係るヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。

図２８に示すように、ヘッドマウントディスプレイ２０００は、画像表示装置１（光スキャナー３）と、画像表示装置１（光スキャナー３）を搭載し、観察者の頭部に装着されるフレーム２１００と、を有している。そして、画像表示装置１によって、フレーム２１００の本来レンズである部位に設けられた表示部（光反射層材）２２００に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。

表示部２２００は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部２２００が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置１からの情報を重ねて使用することができる。また、表示部２２００は、入射した光の少なくとも一部を反射すればよく、例えば、ハーフミラーなどを用いることができる。

このようなヘッドマウントディスプレイ２０００は、画像表示装置１（光スキャナー３）を有している。そのため、上述した光スキャナー３の効果を享受でき、信頼性の高いヘッドマウントディスプレイ２０００が得られる。なお、ヘッドマウントディスプレイ２０００の構成としては、特に限定されず、例えば、ヘッドマウントディスプレイ２０００に、２つ画像表示装置１を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部２２００に表示するようにしてもよい。

以上、本発明の光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。例えば、第２軸部が、弾性部が配置された貫通孔と弾性部が配置された凹部の両方を有していてもよい。

また、前述した実施形態では、駆動機構が永久磁石と、コイルと、を有し、永久磁石が第２可動部に設けられ、コイルが永久磁石に対向するように設けられている構成について説明したが、これとは、反対に、コイルが第２可動部に設けられ、永久磁石がコイルに対向するように設けられていてもよい。

また、前述した実施形態では、第２軸部の各第２梁部に複数の孔（貫通孔または有底の孔）が設けられており、全ての孔に弾性部が配置（充填）されている構成について説明したが、少なくとも１つの孔に弾性部が配置されていれば、弾性部が配置されていない孔があってもよい。また、孔の全域を埋めるように弾性部が配置されていてもよいし、孔の一部を埋めるように弾性部が配置されていてもよい。すなわち、孔内に弾性部が存在しない空隙（領域）があってもよい。

１…画像表示装置、１０…対象物、１１…ミラー、２…変調光生成部、２１Ｂ，２１Ｇ，２１Ｒ…光源、２２Ｂ，２２Ｇ，２２Ｒ…駆動回路、２３…光合成部、２３１，２３２…ダイクロイックミラー、２４Ｂ，２４Ｇ，２４Ｒ…コリメータレンズ、２６…集光レンズ、３…光スキャナー、３０…構造体、３１…第１可動部、３１Ａ…基部、３１Ｂ…ミラー保持部、３１Ｃ…連結部、３１１…光反射部、３２…第２可動部、３２１…リブ、３３…第１軸部、３３１，３３２…第１梁部、３４…第２軸部、３４ａ，３４ｂ…部分、３４ｃ…梁部、３４１，３４２…第２梁部、３４３…貫通孔、３４４…凹部、３４５…孔、３５…支持部、３８…弾性部、３８１…構成材料、３９…駆動機構、３９１…永久磁石、３９２…コイル、３９３…電圧印加部、３９３ａ…第１電圧発生部、３９３ｂ…第２電圧発生部、３９３ｃ…電圧重畳部、３９３ｄ…加算器、４…基板、４１…第１シリコン層、４２…酸化シリコン層、４３…第２シリコン層、５０…マスク、５１，５１１…開口部、６１…ノズル、６２…ヒーター、１０００…ヘッドアップディスプレイシステム、１１００…ヘッドアップディスプレイ、１２００…フロントガラス、２０００…ヘッドマウントディスプレイ、２１００…フレーム、２２００…表示部、Ｊ１…第１軸、Ｊ２…第２軸、ＬＬ…描画用レーザー、Ｔ１、Ｔ２…周期、Ｖ…重畳電圧、Ｖ１…第１電圧、Ｖ２…第２電圧、ａ…鎖線。

Claims (13)

1. 光反射性を有する光反射部を備える第１可動部と、
   内側に前記第１可動部が位置する第２可動部と、
   前記第１可動部と前記第２可動部とを接続し、前記第１可動部を第１軸まわりに揺動可能に支持する第１軸部と、
   前記第２可動部に接続し、前記第２可動部を前記第１軸と交差する第２軸まわりに揺動可能に支持する第２軸部と、
   前記第２軸部に設けられている弾性部と、を有し、
   前記第２軸部は、孔を有し、前記孔に前記弾性部が配置されていることを特徴とする光スキャナー。
2. 前記孔は、貫通孔または有底の孔であることを特徴とする請求項１に記載の光スキャナー。
3. 前記弾性部のヤング率は、前記第２軸部のヤング率よりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の光スキャナー。
4. 前記弾性部のヤング率は、１０ＭＰａ以上、１００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光スキャナー。
5. 前記弾性部の構成材料は、シリコーンを含んでいることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の光スキャナー。
6. 前記第２軸部は、一対の梁部を有し、
   前記一対の梁部は、それぞれ、前記第２軸に沿って配置されている複数の前記孔を有していることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光スキャナー。
7. 前記第１可動部は、前記第１軸まわりに共振で揺動し、
   前記第２可動部は、前記第２軸まわりに非共振で揺動することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光スキャナー。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の光スキャナーを有することを特徴とする画像表示装置。
9. 請求項１から７のいずれか１項に記載の光スキャナーと、
   前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
10. 請求項１から７のいずれか１項に記載の光スキャナーを有することを特徴とするヘッドアップディスプレイ。
11. 光反射性を有する光反射部を備える第１可動部と、内側に前記第１可動部が位置する第２可動部と、前記第１可動部と前記第２可動部とを接続し、前記第１可動部を第１軸まわりに揺動可能に支持する第１軸部と、前記第２可動部に接続し、前記第２可動部を前記第１軸と交差する第２軸まわりに揺動可能に支持する第２軸部と、前記第２軸部の有する孔に設けられている弾性部と、を有する光スキャナーの製造方法であって、
    前記第１可動部、前記第２可動部、前記第１軸部、前記第２軸部及び前記孔を含む構造体を形成する構造体形成工程と、
    前記光反射部を形成する光反射部形成工程と、
    前記孔に対応する開口部を有するマスクを介して、前記構造体に前記弾性部の構成材料をスプレーコート法で塗布する塗布工程と、
    を含むことを特徴とする光スキャナーの製造方法。
12. 前記マスクの前記開口部は、前記第２軸部及び前記第２可動部の少なくとも一部に対応する開口であり、
    前記構成材料は、黒色の顔料を含むことを特徴とする請求項１１に記載の光スキャナーの製造方法。
13. 前記塗布工程において前記構造体を加熱することを特徴とする請求項１２に記載の光スキャナーの製造方法。

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