JP2018030277A - Surface modification device - Google Patents

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明路 東
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Toshio Suzuki
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大介 二木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface modification device for removing gas or crystal-shaped debris such as crystals generated in an electric discharging process.SOLUTION: There is provided a surface modification device having a treatment roller 1, an electric discharge electrode 4 facing the treatment roller 1 and an electrode chamber 2 surrounding the electric discharge electrode 4, for a discharge treatment of a surface of a film F transported along the treatment roller 1 by discharging between the treatment roller 1 and the discharge electrode 4 to remove gas or crystal-shaped debris generated in the discharge treatment process. It has an aspiration means V for aspirating the crystal-shaped debris contained in the wake at a downstream side in a transportation direction of the film F than the electric discharge electrode 4.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、コロナ放電処理によって、絶縁性のフィルムの表面を改質する表面改質装置に関する。   The present invention relates to a surface modification apparatus for modifying the surface of an insulating film by corona discharge treatment.

この種のものとして、図3に示した表面改質装置が従来から知られている。
この装置は、処理ローラ1と、上記処理ローラ1に対向配置した電極チャンバ2と、この電極チャンバ2内に設けられた放電電極4とを備えている。
上記電極チャンバ2は、上記処理ローラ1の所定の範囲を覆う大きさを有する。すなわち、電極チャンバ2の開口部2aは、処理ローラ1の軸方向長さにほぼ等しくするとともに、上記軸方向両端の開口部2aの曲率を、処理ローラ1の曲率とほぼ等しくしている。
As this type of apparatus, the surface modification apparatus shown in FIG. 3 is conventionally known.
The apparatus includes a processing roller 1, an electrode chamber 2 disposed opposite to the processing roller 1, and a discharge electrode 4 provided in the electrode chamber 2.
The electrode chamber 2 has a size that covers a predetermined range of the processing roller 1. That is, the opening 2a of the electrode chamber 2 is substantially equal to the axial length of the processing roller 1, and the curvature of the opening 2a at both ends in the axial direction is substantially equal to the curvature of the processing roller 1.

さらに、電極チャンバ2には、上記軸方向に長さを持った3本の放電電極4を、処理ローラ1の曲率に沿って設けている。
なお、上記放電電極4のそれぞれは、絶縁体からなる電極ホルダ3及び支持棒5を介して電極チャンバ2の天井部2bに固定している。
Further, the electrode chamber 2 is provided with three discharge electrodes 4 having a length in the axial direction along the curvature of the processing roller 1.
Each of the discharge electrodes 4 is fixed to the ceiling 2b of the electrode chamber 2 via an electrode holder 3 made of an insulator and a support bar 5.

上記天井部2bには、複数の排気口2cを形成するとともに、この排気口2cを、図示していない吸引機に接続している。
したがって、処理ローラ1に沿ってフィルムFを搬送しながら、放電電極4に高周波高電圧を印加してコロナ放電させると、その放電エネルギーによって、フィルム1の表面が改質される。
また、コロナ放電させる過程で有害なオゾンが発生するが、このオゾンは、吸引機の吸引力にひかれて上記排気口2cから排気される。
A plurality of exhaust ports 2c are formed in the ceiling portion 2b, and the exhaust ports 2c are connected to a suction machine (not shown).
Therefore, when a high frequency high voltage is applied to the discharge electrode 4 to cause corona discharge while the film F is conveyed along the processing roller 1, the surface of the film 1 is modified by the discharge energy.
Further, harmful ozone is generated in the process of corona discharge, and this ozone is exhausted from the exhaust port 2c by the suction force of the suction machine.

特開2010−043215号公報JP 2010-043215 A

上記のようにコロナ放電の処理過程ではオゾンが生成されるが、このオゾンと反応して放電チャンバ内に結晶状異物が生成されることも知られている。
しかし、従来の表面改質装置の吸引機は、比較的軽いオゾン等のガスを吸引する目的のもとで、その吸引力が設定されている。したがって、相対的に重い結晶状異物を吸引できないという問題があった。
As described above, ozone is generated in the process of corona discharge, and it is also known that crystalline foreign substances are generated in the discharge chamber by reacting with ozone.
However, the suction device of the conventional surface modification apparatus has a suction force set for the purpose of sucking a relatively light gas such as ozone. Therefore, there is a problem that relatively heavy crystalline foreign matters cannot be sucked.

この問題を解決するために、吸引機の吸引力を強くすることも考えられる。
しかし、その吸引力が強すぎると、開口部2aに対応した部分で、フィルムFがバタついてしまう。例えば、吸引力が強すぎると、フィルムFが処理ローラ1からはがされるようにして持ち上げられるが、ある程度持ち上げられると、今度は、フィルムF側の張力によって処理ローラ1側に再び引き戻される。このようにフィルムFが引き上げられたり、引き戻されたりが繰り返されるので、フィルムFが上記のようにバタついてしまう。
In order to solve this problem, it is conceivable to increase the suction force of the suction machine.
However, if the suction force is too strong, the film F will flutter at the portion corresponding to the opening 2a. For example, if the suction force is too strong, the film F is lifted so as to be peeled off from the processing roller 1, but if it is lifted to some extent, this time, it is pulled back again to the processing roller 1 side by the tension on the film F side. Since the film F is repeatedly pulled up and pulled back in this manner, the film F flutters as described above.

そして、フィルムFが上記のように引き上げられると、フィルムFと放電電極4との間隔が一定でなくなり、放電エネルギーの安定性も損なわれてしまう。もし、放電エネルギーが安定でなければ、表面改質処理も不均一になり、フィルムFの品質を低下させてしまう。
また、フィルムFが引き上げられたときに、フィルムFが放電電極4に接触すると、フィルムFを損傷してしまう。
And if the film F is pulled up as mentioned above, the space | interval of the film F and the discharge electrode 4 will become non-constant, and stability of discharge energy will also be impaired. If the discharge energy is not stable, the surface modification process will be non-uniform and the quality of the film F will be reduced.
Moreover, when the film F contacts the discharge electrode 4 when the film F is pulled up, the film F is damaged.

このような理由から、吸引機の吸引力を大きくするにも限界があった。
そのために、従来の表面改質装置では、放電チャンバ内の結晶状異物を十分に取り切れなかった。
このように取り切れなかった結晶状異物は、高速搬送されるフィルムの表面に発生する同伴流に乗って、電極チャンバ2から流出してしまう。
また、電極チャンバ2内で除去しきれなかったオゾンも、同伴流に乗って電極チャンバ2から流出することもあった。
For these reasons, there is a limit to increasing the suction force of the suction machine.
Therefore, in the conventional surface modification apparatus, the crystalline foreign matter in the discharge chamber cannot be removed sufficiently.
The crystalline foreign matter that cannot be removed in this manner flows out of the electrode chamber 2 on the entrained flow generated on the surface of the film that is conveyed at high speed.
In addition, ozone that could not be removed in the electrode chamber 2 sometimes flowed out of the electrode chamber 2 along with the accompanying flow.

このように、同伴流とともに流出した結晶状異物は、そのままフィルムFに付着したり、あるいはフィルムFの搬送過程で周囲に飛散したりする。
フィルムFに付着した結晶状異物は、フィルムFを汚して品質を低下させ、飛散した結晶状異物は、例えば外部装置に付着してそれを酸化させるという問題を発生していた。
In this way, the crystalline foreign matter that flows out along with the entrained flow adheres to the film F as it is, or scatters around in the course of transporting the film F.
Crystalline foreign matter adhering to the film F has a problem that the film F is soiled to deteriorate the quality, and the scattered crystal foreign matter adheres to, for example, an external device and oxidizes it.

さらに、放電処理されたフィルムFの搬送方向の下流側には、フィルムFの搬送方向を転換させるガイドローラや、フィルムFのバタつきを押えるニップローラなどが備わっているが、上記のようにフィルムFに結晶状異物が付着していると、この結晶状異物が上記ローラの表面に付着したり、あるいはその表面に堆積したりする。   Further, on the downstream side of the transport direction of the film F subjected to the discharge treatment, a guide roller for changing the transport direction of the film F and a nip roller for pressing the flutter of the film F are provided. As described above, the film F When the crystalline foreign matter adheres to the surface, the crystalline foreign matter adheres to or accumulates on the surface of the roller.

ガイドローラやニップローラに付着もしくは堆積した結晶状異物は、それを放置しておくと、接触するフィルム表面を汚したり、あるいはその表面を傷つけたりするので、積極的に取り除かなくてはならない。
しかし、ガイドローラやニップローラに付着もしくは堆積した結晶状異物を取り除くためには、フィルムFの搬送ラインを止めなければならないので、結晶状異物を取り除く度に、作業を停止しなければならない。
Crystalline foreign matter adhering to or depositing on the guide roller or nip roller must be removed positively if it is left untreated because it will contaminate or damage the surface of the film that comes in contact with it.
However, in order to remove the crystalline foreign matter adhering to or accumulating on the guide roller or the nip roller, the conveyance line of the film F must be stopped. Therefore, the operation must be stopped every time the crystalline foreign matter is removed.

また、上記同伴流に乗って電極チャンバ2から流出したオゾンは、人体に悪影響を及ぼす危険もあった。
このように、従来の表面改質装置では、電極チャンバ2内で生成されるオゾンや結晶状異物を除去できないために、種々の問題を発生していた。
この発明の目的は、オゾン及びNox等のガスの排気はもちろん、電極チャンバ内に生成する結晶状異物も除去できる表面改質装置を提供することである。
In addition, the ozone flowing out from the electrode chamber 2 on the accompanying flow has a risk of adversely affecting the human body.
As described above, in the conventional surface modification apparatus, since ozone and crystalline foreign matters generated in the electrode chamber 2 cannot be removed, various problems have occurred.
An object of the present invention is to provide a surface modification apparatus capable of removing not only exhaust gases such as ozone and Nox but also crystalline foreign matters generated in an electrode chamber.

この発明は、処理ローラと、この処理ローラに対向する放電電極と、この放電電極を囲う電極チャンバとを設け、上記処理ローラと上記放電電極との間で放電させて、上記処理ローラに沿って搬送されるフィルム表面を改質する表面改質装置を前提としている。
そして、第1の発明は、上記放電電極よりも上記フィルムの搬送方向の下流側に、上記フィルムに同伴する同伴流とともにオゾン等のガス及び結晶状異物を吸引する吸引手段を備えたことを特徴としている。
The present invention provides a processing roller, a discharge electrode facing the processing roller, and an electrode chamber surrounding the discharge electrode, and discharges between the processing roller and the discharge electrode along the processing roller. It is premised on a surface modification device for modifying the film surface to be conveyed.
And the 1st invention was provided with the suction means which sucks gas, such as ozone, and a crystalline foreign material with the entrained flow accompanying the film in the downstream of the conveyance direction of the film rather than the discharge electrode. It is said.

第2の発明は、上記吸引手段が、処理ローラで搬送されるフィルムと対向するセット位置と、処理ローラで搬送されるフィルム位置から退避するオフセット位置との間で移動可能にした点に特徴を有する。   The second invention is characterized in that the suction means is movable between a set position facing the film conveyed by the processing roller and an offset position retracted from the film position conveyed by the processing roller. Have.

第1の発明によれば、電極チャンバよりもフィルムの搬送方向下流側に、フィルムに沿って発生する同伴流に含まれるガスや結晶状異物を吸引する吸引手段を設けたので、電極チャンバの吸引力は、相対的に軽いオゾン等のガスのみを排気できる能力を備えればよい。言い換えると、電極チャンバ内の吸引力を必要以上に強くしなくてもよいので、吸引力が強すぎてフィルムをバタつかせることがない。フィルムのバタつきを押えられるので、バタつきが要因になっていた問題は発生しない。   According to the first aspect of the present invention, the suction means for sucking the gas and the crystalline foreign matter included in the entrained flow generated along the film is provided downstream of the electrode chamber in the film transport direction. The force only needs to be capable of exhausting only a relatively light gas such as ozone. In other words, the suction force in the electrode chamber does not have to be increased more than necessary, so that the suction force is too strong and the film does not flutter. Since the flutter of the film can be suppressed, the problem caused by the flutter does not occur.

また、電極チャンバとは別に設けた上記吸引手段によって、上記同伴流に含まれるガスや結晶状異物を除去できるので、吸引手段の吸引力は、結晶状異物を吸引するために必要な大きさに自由に設定できる。このように吸引手段の吸引力を必要な大きさに設定できるので、上記同伴流に含まれるガスとともに結晶状異物を確実に除去できる。
したがって、電極チャンバからのオゾンの流出や、フィルムに対する結晶状異物による弊害という問題をことごとく解決できる。
Further, since the gas and crystalline foreign matter contained in the entrained flow can be removed by the suction means provided separately from the electrode chamber, the suction force of the suction means has a magnitude necessary for sucking the crystalline foreign matter. Can be set freely. Thus, the suction force of the suction means can be set to a required magnitude, so that the crystalline foreign matter can be reliably removed together with the gas contained in the accompanying flow.
Therefore, it is possible to solve all the problems of ozone outflow from the electrode chamber and harmful effects caused by crystalline foreign matters on the film.

第2の発明によれば、搬送ラインにフィルムをセットするとき、当該吸引手段をオフセット位置に退避させておけば、フィルムを搬送ラインにセットするときの作業がやりやすくなる。そして、フィルムを搬送ラインにセットした後は、吸引手段をセット位置に復帰させれば、オゾン等のガスとともに結晶状異物を除去することができる。   According to the second invention, when the film is set on the transport line, the work for setting the film on the transport line can be easily performed by retracting the suction means to the offset position. And after setting a film in a conveyance line, if a suction means is returned to a set position, a crystalline foreign material can be removed with gas, such as ozone.

第1実施形態における処理ローラ、電極チャンバ及び吸引手段である吸引ボックスとの位置関係を示した概略図である。It is the schematic which showed the positional relationship with the process roller in 1st Embodiment, the electrode chamber, and the suction box which is a suction means. 第1実施形態における吸引ボックスを示した斜視図である。It is the perspective view which showed the suction box in 1st Embodiment. 従来の表面改質装置の処理ローラと電極チャンバとの位置関係を示した概略図である。It is the schematic which showed the positional relationship of the processing roller and electrode chamber of the conventional surface modification apparatus.

図1,2を用いてこの表面改質装置の実施形態を説明する。
なお、本発明は従来の構成に、電極チャンバ2とは別な位置で結晶状異物等を除去するための吸引手段を加えたことが異なっており、従来と同様の構成要素には図3と同じ符号を用いている。
An embodiment of the surface modification apparatus will be described with reference to FIGS.
The present invention is different from the conventional configuration in that a suction means for removing crystalline foreign matters and the like is added at a position different from the electrode chamber 2. The same symbols are used.

図1に示すように、この表面改質装置は、その前提として、処理ローラ1と、上記処理ローラ1に対向配置した電極チャンバ2と、この電極チャンバ2内に設けられた放電電極4とを備えている。
上記電極チャンバ2は、上記処理ローラ1の所定の範囲を覆う大きさを有する。すなわち、電極チャンバ2の開口部2aは、処理ローラ1の軸方向長さにほぼ等しくするとともに、上記軸方向両端の開口部2aの曲率を、処理ローラ1の曲率とほぼ等しくしている。
As shown in FIG. 1, this surface modification apparatus has, as its premise, a processing roller 1, an electrode chamber 2 disposed to face the processing roller 1, and a discharge electrode 4 provided in the electrode chamber 2. I have.
The electrode chamber 2 has a size that covers a predetermined range of the processing roller 1. That is, the opening 2a of the electrode chamber 2 is substantially equal to the axial length of the processing roller 1, and the curvature of the opening 2a at both ends in the axial direction is substantially equal to the curvature of the processing roller 1.

さらに、電極チャンバ2には、上記軸方向に長さを持った3本の放電電極4が、処理ローラ1の曲率に沿って設けられている。そして、この放電電極4には、図示していない高電圧源が接続されている。
そして、上記放電電極4のそれぞれは、絶縁体からなる電極ホルダ3及び支持棒5を介して電極チャンバ2の天井部2bに固定している。
なお、上記放電電極4には、いろいろあるがその種類は問わない。例えば、ワイヤー、針、誘電体あるいはバー等のいずれであってもよい。
Further, the electrode chamber 2 is provided with three discharge electrodes 4 having a length in the axial direction along the curvature of the processing roller 1. The discharge electrode 4 is connected to a high voltage source (not shown).
Each of the discharge electrodes 4 is fixed to the ceiling portion 2b of the electrode chamber 2 via an electrode holder 3 made of an insulator and a support rod 5.
There are various types of the discharge electrode 4, but the type is not limited. For example, any of a wire, a needle, a dielectric, or a bar may be used.

上記天井部2bには、複数の排気口2cが形成されるとともに、この排気口2cには、図示していない吸引機が接続されている。
上記のように構成された電極チャンバ2と処理ローラ1の間には、処理ローラ1に沿ってフィルムFを搬送させている。そして、放電電極4に高周波高電圧を印加してコロナ放電させると、その放電エネルギーによって、イオンが生成されるとともに、このイオンによってフィルムFの表面が改質される。
なお、上記電極チャンバ2は、上記処理ローラ1の最上部に対向するように設けているが、上記処理ローラ1に対向する位置であれば、上記電極チャンバ2をどの位置に配置してもかまわない。
A plurality of exhaust ports 2c are formed in the ceiling portion 2b, and a suction machine (not shown) is connected to the exhaust ports 2c.
The film F is conveyed along the processing roller 1 between the electrode chamber 2 and the processing roller 1 configured as described above. When a high frequency high voltage is applied to the discharge electrode 4 for corona discharge, ions are generated by the discharge energy, and the surface of the film F is modified by the ions.
The electrode chamber 2 is provided so as to face the uppermost part of the processing roller 1. However, the electrode chamber 2 may be arranged at any position as long as the electrode chamber 2 faces the processing roller 1. Absent.

また、コロナ放電の処理過程では、有害なオゾンが発生することが知られている。このように発生したオゾンは、吸引機の吸引力にひかれて上記排気口2cから排気される。
さらに、オゾンは、コロナ放電の処理過程で生成され続けるので、このオゾンと反応して放電チャンバ2内に結晶状異物が生成されることも知られている。
Further, it is known that harmful ozone is generated in the process of corona discharge. The generated ozone is exhausted from the exhaust port 2c by the suction force of the suction machine.
Further, since ozone continues to be generated in the process of corona discharge, it is also known that crystalline foreign substances are generated in the discharge chamber 2 by reacting with ozone.

電極チャンバ2に接続された吸引機は、比較的軽いオゾン等のガスを吸引する目的のもとで、その吸引力が設定されている。そのため、相対的に重い結晶状異物を吸引できず、フィルムFの搬送によって発生する同伴流とともに、電極チャンバ2から流出する。
なお、同伴流には、結晶状異物だけでなく、吸引しきれなかったオゾンなどのガスも含まれている。
The suction device connected to the electrode chamber 2 has a suction force set for the purpose of sucking a relatively light gas such as ozone. Therefore, relatively heavy crystalline foreign substances cannot be sucked and flow out of the electrode chamber 2 together with the accompanying flow generated by the conveyance of the film F.
The entrained flow includes not only crystalline foreign substances but also gases such as ozone that could not be sucked.

この実施形態では、上記放電電極4よりも上記フィルムFの搬送方向の下流側に、同伴流に含まれるガスや結晶状異物を吸引する吸引手段Vが備えられている。
この吸引手段Vは、上記処理ローラ1に対向配置した吸引ボックス6と、この吸引ボックス6に接続される図示しない吸引機からなる。
In this embodiment, a suction means V for sucking gas and crystalline foreign matter contained in the accompanying flow is provided downstream of the discharge electrode 4 in the transport direction of the film F.
The suction means V includes a suction box 6 disposed opposite to the processing roller 1 and a suction machine (not shown) connected to the suction box 6.

この吸引ボックス6は、上記処理ローラ1の軸方向長さにほぼ等しくするとともに、上記処理ローラ1に対向する対向面6aを備え、この対向面6aの曲率を処理ローラ1の曲率とほぼ等しくしている。そして、この対向面6aには、複数の小孔7を形成している。また、この吸引ボックス6は、配管8及び10を介して吸引機に連続する排気口6bとを備えている。   The suction box 6 is substantially equal to the axial length of the processing roller 1, and includes a facing surface 6 a that faces the processing roller 1. The curvature of the facing surface 6 a is substantially equal to the curvature of the processing roller 1. ing. A plurality of small holes 7 are formed in the facing surface 6a. In addition, the suction box 6 includes an exhaust port 6 b that continues to the suction device via the pipes 8 and 10.

上記吸引ボックス6に接続した吸引機を作動させて、吸引ボックス6内を負圧にするとともに、高速で移動するフィルムFの表面に同伴する同伴流に含まれるガスや結晶状異物を、上記吸引ボックス6の内部に吸い込む。
このように、吸引手段Vを電極チャンバ2とは別にしたので、吸引手段Vの吸引力を上げて、同伴流に含まれるガスや結晶状異物を除去できる。
The suction machine connected to the suction box 6 is operated to make the inside of the suction box 6 have a negative pressure, and gas and crystalline foreign substances contained in the accompanying flow accompanying the surface of the film F moving at a high speed are sucked into the suction box 6. Inhale inside box 6.
Thus, since the suction means V is separated from the electrode chamber 2, the suction force of the suction means V can be increased to remove the gas and the crystalline foreign matter contained in the accompanying flow.

なお、この実施形態では吸引ボックス6を用いているが、結晶状異物を吸引できる構造であれば、どのような形状でもかまわない。例えば、パイプを上記処理ローラ1の軸方向に並べてもよい。   In this embodiment, the suction box 6 is used. However, any shape may be used as long as it can suck crystalline foreign matters. For example, pipes may be arranged in the axial direction of the processing roller 1.

さらに、この吸引ボックス6は、図2に示す移動レール9,9上を移動可能に設けられ、吸引ボックス6を、処理ローラ1で搬送されるフィルムFと対向するセット位置と、処理フィルムFから退避するオフセット位置との間で移動可能にしている。
したがって、搬送ラインにフィルムFをセットするとき、当該吸引手段Vをオフセット位置に退避させておけば、作業がやりやすくなる。そして、フィルムFを搬送ラインにセットした後は、吸引手段Vをセット位置に復帰させれば、オゾン等のガスとともに結晶状異物を除去することができる。
Further, the suction box 6 is provided so as to be movable on the moving rails 9, 9 shown in FIG. 2, and the suction box 6 is disposed at a set position facing the film F conveyed by the processing roller 1 and from the processing film F. It can be moved between the offset position for retraction.
Therefore, when the film F is set on the transport line, the work can be easily performed by retracting the suction means V to the offset position. And after setting the film F to a conveyance line, if a suction means V is returned to a set position, a crystalline foreign material can be removed with gas, such as ozone.

なお、図中符号11は、上記吸引ボックス6よりも、フィルムFの搬送方向下流側に設けたニップローラで、フィルムFを処理ローラ1に押し付けるものである。このニップローラ11でフィルムFを処理ローラ1に押し付けておけば、吸引手段Vの吸引力を上げても、フィルムFが処理ローラ1と上記対向面6aとの間でバタついたりしない。
また、符号12は、フィルムFの搬送過程でのたるみを押えたり、搬送方向を転換したりするガイドローラである。
Reference numeral 11 in the drawing denotes a nip roller provided on the downstream side in the transport direction of the film F with respect to the suction box 6 and presses the film F against the processing roller 1. If the film F is pressed against the processing roller 1 by the nip roller 11, even if the suction force of the suction means V is increased, the film F will not flutter between the processing roller 1 and the facing surface 6a.
Reference numeral 12 denotes a guide roller that suppresses slack in the process of transporting the film F and changes the transport direction.

そして、この実施形態では、吸引手段Vで結晶状異物を取り除くことができるので、ニップローラ11やガイドローラ12に、上記結晶状異物が付着したりしない。
ニップローラ11やガイドローラ12に結晶状異物が付着しないので、例えば、その付着物を取り除くために、ニップローラ11やガイドローラ12を短期間で清掃しなくてもよくなる。言い換えると、それらローラ11,12を清掃するために、搬送ラインを止めなくてもよくなる。
In this embodiment, since the crystalline foreign matter can be removed by the suction means V, the crystalline foreign matter does not adhere to the nip roller 11 and the guide roller 12.
Since no crystalline foreign matter adheres to the nip roller 11 or the guide roller 12, for example, the nip roller 11 or the guide roller 12 does not need to be cleaned in a short period of time in order to remove the adhering matter. In other words, it is not necessary to stop the transport line in order to clean the rollers 11 and 12.

放電処理過程において生成されるガスや結晶などの結晶状異物を除去する場合に有用である。   This is useful for removing crystalline foreign matters such as gas and crystals generated in the discharge treatment process.

F…フィルム、1…処理ローラ、2…電極チャンバ、2a…開口部、2c…排気口、4…放電電極、6…吸引ボックス、6a…対向面、6b…排気口、7…吸引口、11…ニップローラ、12…ガイドローラ F ... film, 1 ... processing roller, 2 ... electrode chamber, 2a ... opening, 2c ... exhaust port, 4 ... discharge electrode, 6 ... suction box, 6a ... opposing surface, 6b ... exhaust port, 7 ... suction port, 11 ... Nip roller, 12 ... Guide roller

Claims (2)

処理ローラと、この処理ローラに対向する放電電極と、この放電電極を囲う電極チャンバとを設け、上記処理ローラと上記放電電極との間で放電させて、上記処理ローラに沿って搬送されるフィルムの表面を改質する表面改質装置であって、
上記放電電極よりも上記フィルムの搬送方向の下流側に、同伴流に含まれるガスや結晶状異物を吸引する吸引手段が備えられた表面改質装置。
A film provided with a processing roller, a discharge electrode facing the processing roller, and an electrode chamber surrounding the discharge electrode, discharged between the processing roller and the discharge electrode, and conveyed along the processing roller A surface modification device for modifying the surface of
A surface modification apparatus provided with a suction means for sucking a gas or a crystalline foreign substance contained in the entrained flow downstream of the discharge electrode in the transport direction of the film.
上記吸引手段は、処理ローラで搬送されるフィルムと対向するセット位置と、処理ローラで搬送されるフィルムから退避するオフセット位置との間で移動可能にされた請求項1に記載の表面改質装置。   The surface modification apparatus according to claim 1, wherein the suction means is movable between a set position facing the film conveyed by the processing roller and an offset position retracted from the film conveyed by the processing roller. .
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